JP2014060242A - 搬送トレー - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 83
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 55
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 64
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 10
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 7
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 7
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 6
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
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- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】処理すべき基板Sを保持して真空処理装置に搬送される本発明の搬送トレーTは、静電吸着用の電極11が組み込まれると共に、ガス供給用のガス孔12が開設されたトレー本体1に、このガス孔を臨む、基板の外形よりも小さい透孔21を有するシート材2を仮着して構成される。透孔を塞ぐようにしてシート材上面に基板を載置し、電極に電圧印加して基板を静電吸着すると、シート材がトレー本体に密着すると共に、シート材に基板がその下面周縁部で密着し、トレー本体の上面に基板下面と透孔とでガス溜まり空間Gが画成されるように構成した。
【選択図】図2
Description
Claims (3)
- 処理すべき基板を保持して真空処理装置に搬送される搬送トレーにおいて、
静電吸着用の電極が組み込まれると共に、ガス供給用のガス孔が開設されたトレー本体に、このガス孔を臨む、基板の外形よりも小さい透孔を有するシート材を仮着して構成され、
トレー本体からシート材に向かう方向を上として、透孔を塞ぐようにしてシート材上面に基板を載置し、電極に電圧印加して基板を静電吸着すると、シート材がトレー本体に密着すると共に、シート材に基板がその下面周縁部で密着し、トレー本体の上面に基板下面と透孔とでガス溜まり空間が画成されるように構成したことを特徴とする搬送トレー。 - シート材上面に仮着される、基板の輪郭に一致する収容部を有する枠体を更に備え、電極に電圧印加すると、枠体がシート材に密着することを特徴とする請求項1記載の搬送トレー。
- 前記シート材が、前記トレー本体及び基板よりも硬度が低い材料で形成されたことを特徴とする請求項1または請求項2記載の搬送トレー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012203908A JP6007039B2 (ja) | 2012-09-18 | 2012-09-18 | 搬送トレー及び基板保持方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012203908A JP6007039B2 (ja) | 2012-09-18 | 2012-09-18 | 搬送トレー及び基板保持方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014060242A true JP2014060242A (ja) | 2014-04-03 |
JP6007039B2 JP6007039B2 (ja) | 2016-10-12 |
Family
ID=50616466
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012203908A Active JP6007039B2 (ja) | 2012-09-18 | 2012-09-18 | 搬送トレー及び基板保持方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6007039B2 (ja) |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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