JPWO2008016044A1 - 膜形成方法および膜形成装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2006年8月2日に、日本に出願された特願2006−211090号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
しかしながら、Ir(111)の表面にPZTを成膜しても、PZT(111)には優先配向せず、PZT(110)やPZT(100)などを含んだランダム配向になってしまう。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、PZT(111)の配向強度を増加させることが可能な膜形成方法および膜形成装置の提供を目的とする。
上記の膜形成方法によれば、下地膜の表面に形成された酸化膜のアシストによりPZT(111)が成長しやすくなるので、PZT(111)の配向強度を増加させることができる。
この場合、(200)配向した前記貴金属の酸化膜は、面間隔が前記貴金属よりPZT(111)に近いので、PZT(111)の配向強度を増加させることができる。また、そのような前記貴金属の酸化膜を簡単に形成することができる。
また、前記酸化ガスは、酸素ガス、一酸化二窒素ガスもしくはオゾンガスのいずれか、またはこれらの混合ガスであってもよい。
これらの場合、新たに酸化ガスを導入する必要がないので、製造コストを低減することができる。
また、前記酸化膜は、IrO2(200)を主成分としてもよい。
また、前記酸化膜は、PZT(111)を主成分としてもよい。
これらの場合、酸化膜のアシストにより、PZT(111)の配向強度を増加させることができる。
また、前記酸化物電極膜は、SrRuO3またはLaNiO3のいずれかを主成分としてもよい。
これらの場合、SrRuO3およびLaNiO3は、いずれも面間隔が前記貴金属よりPZT(111)に近いので、PZT(111)の配向強度を増加させることができる。
この場合、PZT(111)の配向強度を十分に増加させることができる。
また、前記酸化膜は、厚さ10nm以上に形成されてもよい。
この場合、さらにPZT(111)の配向強度を増加させることができる。
上記の膜形成装置によれば、酸化室で酸化処理を行うと同時に、酸化処理後の基板に対して成膜室で成膜処理を行うことが可能であり、膜形成を効率的に行うことができる。また、基板搬送室を中心として酸化室および成膜室に基板を順次搬送することができるので、製造効率を向上させることができる。その際、基板を大気にさらすことがないので、基板に対する不純物の付着等を防止することができる。
この場合、新たに酸化ガス供給手段を設ける必要がないので、製造コストを低減することができる。
13 酸化膜
15 強誘電体膜(結晶性膜)
90 膜形成装置
92 成膜室
93 基板搬送室
94 酸化室
本実施形態に係る膜形成方法は、PZT(111)を主成分とする強誘電体膜(結晶性膜)を形成するものであり、その強誘電体膜は強誘電体メモリ(Ferroelectric RAM;FeRAM)のキャパシタとして好適に用いられる。そこで、最初にFeRAMについて説明する。
図1Aは、FeRAMの一例を示す断面図である。FeRAMは、シリコン等からなる基板20に形成されたトランジスタ22と、そのトランジスタ22によって通電が制御されるキャパシタ10とを備えている。そのトランジスタ22のゲートGはワード線WLに接続され、ソースSはデータ線BLに接続されている。
次に、キャパシタを構成する強誘電体膜の形成装置について説明する。この強誘電体膜は、有機金属化学気相蒸着(Metal Organic Chemical Vapor Deposition;MOCVD)法を用いて形成する。MOCVD法は、薄膜原料を高温中で反応させて基板上に成膜するCVDプロセスのうち、特にその原料に有機金属を用いる方法であり、有機金属ガスと酸化ガスとを反応させて成膜するものである。
図2は、膜形成装置の概略構成図である。この膜形成装置40は、有機金属の有機溶媒溶液を供給する原料供給部41と、その溶液を気化して原料ガスを生成する気化器45と、その原料ガスと反応ガス等との混合ガスを生成する混合器47と、混合ガスを基板に吹き付けて成膜処理を行う成膜室50とが、順に接続されたものである。
次に、第1実施形態に係る膜形成方法について説明する。第1実施形態に係る膜形成方法は、Ir(111)を主成分とする下部電極膜12の表面を酸化することにより、IrO2(200)を主成分とする酸化膜13を形成する工程と、その酸化膜13の表面に、MOCVD法により、PZT(111)を主成分とする強誘電体膜15を形成する工程と、を有するものである。
これにより、図1Bに示すように、Ir(111)を主成分とする下部電極膜12の表面が酸化されて、IrO2(200)を主成分とする酸化膜13が形成される。同様に(111)配向した貴金属を主成分とする下部電極膜を形成した場合には、(200)配向した貴金属の酸化膜が形成される。
なお、図1Bの強誘電体膜15を構成する下層膜16および上層膜17を構成するPZTの組成いずれもPb/(Zr+Ti)≒1.17およびZr/(Zr+Ti)≒0.45を満たすように、原料ガスの供給量を調整することにより、
図4Aは、酸化膜形成工程において酸素ガスのフロー時間を変化させた場合における、強誘電体膜のX線回折(XRD)強度のグラフである。また以下の表1は、酸素ガスのフロー時間と、それによって形成される酸化膜の膜厚との関係を示すものである。表1に示すように、酸素ガスのフロー時間の増加に伴って、形成される酸化膜の膜厚が増加している。
これに対して、酸素ガスを200秒以上フローした場合には、表1に示すように厚さ約3nm以上のIrO2(200)が生成される。この場合、図4に示すように多くのPZT(111)が生成され、PZT(101),(110)およびPZT(001),(100)はほとんど生成されない。
図5Aは、厚さの異なる下部電極膜の表面を酸化した場合におけるX線回折(XRD)強度のグラフである。ここでは、厚さの異なる下部電極膜の表面に、酸素ガスを1800秒間フローして、厚さ約10nmの酸化膜を形成している。図5Aでは、当然ながら、Ir(111)からなる下部電極膜の膜厚の減少に伴って、Ir(111)のXRD強度が低下している。
図6に示すように、下部電極膜を構成するIr(111)の配向強度が高いほど、PZT(111)の配向強度が高くなっている。これは、Ir(111)の配向強度が高いほど、酸化によって多くのIrO2(200)が生成され、PZT(111)が成長しやすくなるからであると考えられる。
この構成によれば、下部電極膜の表面に形成されたIrO2(200)のアシストによりPZT(111)が成長しやすくなって、PZT(111)の配向強度を増加させることができる。
次に、第2実施形態について説明する。なお第1実施形態と同様の構成となる部分については、その詳細な説明を省略する。
上述した第1実施形態では、図1Bに示す下部電極膜12の表面を酸化して酸化膜13を形成したが、第2実施形態では下部電極膜12の表面に新たな酸化膜13を積層形成する。その酸化膜13の構成材料は、第1実施形態と同じIrO2(200)であることが望ましい。また酸化膜13の構成材料は、結晶配向した酸化物電極膜であってもよい。その酸化物電極膜として、例えばSrRuO3やLaNiO3等を採用することが可能である。
このPZT(111)からなる酸化膜は、MOCVD法以外の方法によって形成することが望ましい。具体的には、上述した酸化膜13と同様の方法で形成することが可能である。この場合にも、酸化膜を構成するPZT(111)のアシストにより、MOCVD法においてPZT(111)が成長しやすくなるので、強誘電体膜におけるPZT(111)の配向強度を増加させることができる。
また溶媒として、THF(テトラヒドロフラン)のほかに、ヘキサン、シクロヘキサン、エチルシクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、オクタン、酢酸ブチルのいずれか、またはこれらを混合したものを採用することも可能である。
Claims (13)
- (111)配向した貴金属を主成分とする下地膜上に、PZT(111)を主成分とする結晶性膜を積層形成する方法であって、
前記下地膜の表面に、面間隔が前記貴金属より前記PZT(111)に近い酸化膜を形成する工程と;
前記酸化膜の表面に、MOCVD法により前記結晶性膜を形成する工程と;
を有することを特徴とする膜形成方法。 - 前記酸化膜の形成工程では、前記下地膜の表面を酸化することにより、(200)配向した前記貴金属の酸化膜を形成することを特徴とする請求項1に記載の膜形成方法。
- 前記下地膜の表面の酸化は、前記MOCVD法に供される酸化ガスを用いて行うことを特徴とする請求項2に記載の膜形成方法。
- 前記酸化ガスは、酸素ガス、一酸化二窒素ガスもしくはオゾンガスのいずれか、またはこれらの混合ガスであることを特徴とする請求項3に記載の膜形成方法。
- 前記酸化膜の形成工程では、前記下地膜の表面に前記酸化膜を積層形成することを特徴とする請求項1に記載の膜形成方法。
- 前記酸化膜は、IrO2(200)を主成分とすることを特徴とする請求項5に記載の膜形成方法。
- 前記酸化膜は、PZT(111)を主成分とすることを特徴とする請求項5に記載の膜形成方法。
- 前記酸化膜は、結晶配向した酸化物電極膜を主成分とすることを特徴とする請求項5に記載の膜形成方法。
- 前記酸化物電極膜は、SrRuO3またはLaNiO3のいずれかを主成分とすることを特徴とする請求項8に記載の膜形成方法。
- 前記酸化膜は、厚さ3nm以上に形成されることを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれかに記載の膜形成方法。
- 前記酸化膜は、厚さ10nm以上に形成されることを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれかに記載の膜形成方法。
- (111)配向した貴金属を主成分とする下地膜が形成された基板上に、PZT(111)を主成分とする結晶性膜を形成する装置であって、
前記下地膜の表面を酸化することにより、前記貴金属の酸化膜を形成する酸化室と;
前記酸化膜の表面に、MOCVD法により前記結晶性膜を形成する成膜室と;
前記酸化室から前記成膜室に前記基板を搬送する基板搬送室と;
を備えたことを特徴とする膜形成装置。 - 前記成膜室におけるMOCVD工程に供される酸化ガスが、前記酸化室における酸化工程にも供されることを特徴とする請求項12に記載の膜形成装置。
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