JPWO2007125724A1 - 電子部品及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(発明の効果)
2…基板
2a,2b…第1,第2の主面
2c…側面
3…第1の電極パターン
3a…端部
4,4A…第2の電極パターン
4a,4b…端部
5…第3の電極パターン
5a,5b…電極パターン部分
5c…コーナー部
5d,5e…コーナー部
5f〜5h…第1〜第3の直線状部分
11…マザー基板
12…SiO2膜
13…ネガ型フォトレジストパターン
14…Cu膜
15…IDT電極
16,17…反射器
19…保護膜
21…格子状電極パターン
22〜29…SAW共振子
30…電極パターン
31…ウェハー
32…金属バンプ
G…ギャップ
Claims (13)
- 対向し合う第1,第2の主面と、第1,第2の主面を結ぶ側面とを有する基板と、
前記基板の第1の主面上に形成された電極とを備える電子部品において、
前記電極が、前記基板の側面と第1の主面との端縁から第1の主面上で内側に延ばされた第1の電極パターンと、
前記第1の電極パターンの第1の主面内における端部と所定の幅のギャップを隔てて設けられた第2の電極パターンと、
前記第1の電極パターンの前記ギャップ側の端部と、前記第2の電極パターンの前記ギャップ側の端部とを覆い、かつ前記ギャップを横切っている第3の電極パターンとを有し、
前記第3の電極パターンが、前記第1,第2の電極パターンよりも耐食性に優れた金属膜からなることを特徴とする、電子部品。 - 前記第1の電極パターンの前記ギャップ側の端部が、前記第2の電極パターンの前記ギャップ側の端部にギャップを隔てて対向しており、第3の電極パターンが直線状である、請求項1に記載の電子部品。
- 前記第2の電極パターンの前記ギャップ側の端部が、前記第1の電極パターンの延長上からずれた位置に配置されており、前記第3の電極パターンが、前記第1の電極パターンの延長上に位置している電極パターン部分から第2の電極パターンに向かって伸びるように曲げられたコーナー部を有する、請求項1に記載の電子部品。
- 前記第3の電極パターンがクランク状である、請求項3に記載の電子部品。
- 前記第3の電極パターンが、第1の直線状部分と、第1の直線状部分の端部に接続されており、第1の直線状部分と90°の角度をなして延ばされている第2の直線状部分と、第2の直線状部分の第1の直線状部分に接続されている側の端部とは反対側の端部に接続されており、かつ前記第1の直線状部分と平行に延ばされた第3の直線状部分とを有し、第2の直線状部分に対し、第1,第3の直線状部分が同じ側に配置されている、請求項3に記載の電子部品。
- 前記基板が圧電基板であり、前記圧電基板上に形成された前記電極として、前記第1〜第3の電極パターンに加えて、前記第2の電極パターンに接続されているアースパッドと、前記アースパッドに接続されているIDT電極とをさらに有し、それによって弾性表面波装置が構成されている、請求項1〜5のいずれか1項に記載の電子部品。
- 前記第1の電極パターン及び第2の電極パターンが、Cu、Agまたはこれらの合金からなる群から選択した一種の電極層を主たる電極層として含む、請求項1〜6のいずれか1項に記載の電子部品。
- 前記第3の電極パターンが、AlまたはAl合金を主たる電極層として含む、請求項1〜7のいずれか1項に記載の電子部品。
- 前記電子部品が弾性表面波装置であることを特徴とする、請求項1ないし8のいずれか1項に記載の電子部品。
- マザー基板と、前記マザー基板の一方主面上に、請求項1に記載の電子部品を複数形成するために形成される電極構造とを有するウェハーを用意する工程と、
前記第1の電極パターンが分割により得られた各電子部品の前記基板の前記第1の主面と前記側面との端縁に至るように前記ウェハーを前記第1の電極パターンの途中で切断して個々の電子部品を得る工程とを備えることを特徴とする、電子部品の製造方法。 - 前記ウェハーに設けられた電極構造が、格子状電極パターンを有し、該格子状電極パターンで囲まれた各領域に1つの電子部品が構成されており、
前記第1の電極パターンが前記格子状電極パターンに連ねられており、
前記格子状電極パターンで囲まれた領域の内側において、前記第1の電極パターンの途中で切断するようにして前記ウェハーの切断が行われる、請求項10に記載の電子部品の製造方法。 - 前記格子状電極パターンに囲まれた各領域内において、前記電極としての複数のIDT電極と、複数のアースパッドとが形成されており、前記第2の電極パターンが、前記アースパッドに電気的に接続されている、請求項11に記載の電子部品の製造方法。
- 前記電子部品が弾性表面波装置であることを特徴とする、請求項10ないし12のいずれか1項に記載の電子部品の製造方法。
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