JPH10233642A - 弾性表面波フィルタの特性測定方法及び製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 弾性表面波フィルタの製造に際し、ウエハ状
態で特性を測定するに際し、より完成品に近い伝送特性
を得ることができ、かつウエハプロービング用治具間の
測定ばらつきを抑制し得る方法を提供する。 【解決手段】 ウエハ１上に弾性表面波フィルタ用電極
パターンを形成した後に、電極プローブを接触させてウ
エハ上で伝送特性を測定するに際し、入力側プローブ組
９のアース用プローブ９ｂが接触される弾性表面波フィ
ルタのアース電極８ｂと出力側プローブ組１０のアース
用プローブ１０ｃが接触される出力側アース電極８ｅと
を、ウエハ１上において導電パターン７を介して電気的
に短絡させて伝送特性を測定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、弾性表面波フィル
タの特性測定方法及び製造方法に関し、より詳細には、
弾性表面波フィルタの製造工程においてウエハ状態にお
いて弾性表面波フィルタの特性を測定する方法及び該弾
性表面波フィルタの製造方法の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】弾性表面波フィルタは、通常、弾性表面
波フィルタ素子を、外部と接続するための外部端子を有
するパッケージ内に収納した構造を有する。この場合、
弾性表面波フィルタ素子の入出力端子及びアース電極
が、上記パッケージに構成されている外部端子にボンデ
ィングワイヤを介して接続されている。また、この種の
弾性表面波フィルタでは、入力側及び出力側のアース電
極は、ボンディングワイヤを介して、パッケージ側にお
いて共通接続されている。すなわち、弾性表面波フィル
タ素子上においては、入力側アース電極と、出力側アー
ス電極は電気的に分離されている。

【０００３】他方、弾性表面波フィルタ素子の製造は、
以下の工程により行われていた。まず、圧電単結晶や圧
電セラミックスからなるウエハを用意する。次に、ウエ
ハ上に弾性表面波フィルタを構成するための電極パター
ンを形成する。しかる後、ウエハに構成された各弾性表
面波フィルタ素子の特性を測定する。この測定は、ウエ
ハプロービンクと称されている方法により行われてい
る。すなわち、信号用プローブ及びアース用プローブか
らなる入力側プローブ組と、信号用プローブ及びアース
用プローブからなる出力側プローブ組とを用いて弾性表
面波フィルタの特性が測定されていた。

【０００４】より具体的には、弾性表面波フィルタの入
力側においては、入力側プローブ組の信号用プローブを
弾性表面波フィルタの入力側のホット側電極に、アース
用プローブを入力側アース電極に接触させ、他方、出力
側においては、上記出力側プローブ組の信号用プローブ
を弾性表面波フィルタの出力側のホット側電極に、アー
ス用プローブを出力側アース電極に接触させ、弾性表面
波フィルタの特性を測定していた。

【０００５】また、弾性表面波フィルタにおいて入力側
アース電極が複数形成されている場合には、複数のアー
ス用プローブを各アース電極に接触させ、複数のアース
用プローブ同士を短絡させることにより、入力側のアー
ス電極を共通化していた。同様に、出力側においても、
複数のアース電極が構成されている場合には、複数の出
力側アース用プローブを該複数の出力側アース電極に接
触させ、かつ複数の出力側アース用プローブを短絡させ
ることにより、出力側アース電極を共通化していた。

【０００６】また、入力側及び出力側のアース電極が単
数及び複数の如何にかかわらず、入力側アース用プロー
ブと出力側アース用プローブとをプローブにおいて短絡
させ、結果的に全てのアース電極を共通化し、上記測定
を行っていた。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の測定方法では、複数のアース電極が、アース用
プローブを介して導通されていたため、測定結果に、プ
ローブのインダクタンスや入出力プローブ間の寄生容量
が影響せざるを得なかった。

【０００８】特に、入力側アース用プローブと出力側ア
ース用プローブとが比較的大きな距離を隔てて配置され
ることが多く、入出力アース間のインピーダンスが大き
くなるため、入力側アース電極と出力側アース電極と
が、同電位及び同位相になり難かった。そのため、上記
ウエハプロービング段階で測定された弾性表面波フィル
タ素子の伝送特性は、最終的にパッケージに収納された
弾性表面波フィルタの完成品における伝送特性とかなり
異なるものとなっていた。従って、ウエハプロービング
工程により伝送特性を測定して良品選別を行ったとして
も、該良品選別を高精度に行うことができなかった。

【０００９】さらに、従来の測定方法では、プローブを
含むウエハプロービング用治具のインピーダンスが伝送
特性に影響を与えるため、ウエハプロービング用治具の
インピーダンスのばらつきが少ないことが求められる
が、これらの治具のインピーダンスを高精度に制御する
ことも困難であった。従って、ウエハプロービング用治
具を変更した場合、測定結果が異なることがあり、用い
られるウエハプロービング用治具間における測定ばらつ
きが生じざるを得なかった。

【００１０】本発明の目的は、ウエハ状態において、弾
性表面波フィルタの特性を測定するに際し、最終的な完
成品に近い伝送特性を正確に測定することができ、かつ
使用するウエハプロービング用治具間の測定ばらつきを
抑制し得る、弾性表面波フィルタの特性測定方法及び製
造方法を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明にかかる弾性表面
波フィルタの測定方法は、弾性表面波フィルタ用電極パ
ターンが形成されたウエハを用意する工程と、それぞ
れ、信号用プローブ及びアース用プローブからなる入力
側プローブ組及び出力側プローブ組を用いて、前記入力
側プローブ組のアース用プローブが接触される弾性表面
波フィルタの少なくとも一つの入力側アース電極と、前
記出力側プローブ組のアース用プローブが接触される弾
性表面波フィルタの少なくとも一つの出力側アース電極
とを前記ウエハ上において電気的に短絡させておいて、
前記ウエハに構成された弾性表面波フィルタの特性を測
定するウエハプロービング工程とを備えることを特徴と
する。

【００１２】本発明の弾性表面波フィルタの測定方法で
は、好ましくは、前記ウエハプロービング工程におい
て、前記弾性表面波フィルタの入力側アース電極の全て
が、前記弾性表面波フィルタの出力側アース電極の全て
と電気的に短絡される。

【００１３】また、本発明の弾性表面波フィルタの測定
方法においては、入力側アース電極と出力側アース電極
のウエハ上における短絡は、適宜の方法で行い得るが、
より特定的な局面によれば、ウエハ上に形成された導電
パターンにより行われる。

【００１４】本発明にかかる弾性表面波フィルタの製造
方法は、弾性表面波フィルタ用電極パターンが形成され
たウエハを用意する工程と、それぞれ、信号用プローブ
及びアース用プローブからなる入力側プローブ組及び出
力側プローブ組を用いて、前記入力側プローブ組のアー
ス用プローブが接触される弾性表面波フィルタの少なく
とも一つの入力側アース電極と、前記出力側プローブ組
のアース用プローブが接触される弾性表面波フィルタの
少なくとも一つの出力側アース電極とを前記ウエハ上に
おいて電気的に短絡させておいて、前記ウエハに構成さ
れた弾性表面波フィルタの特性を測定するウエハプロー
ビング工程と、前記ウエハプロービング工程において得
られた測定結果から良品の弾性表面波フィルタを選別す
る工程と、前記ウエハを個々の弾性表面波フィルタ単位
に切断する工程とを備えることを特徴とする。

【００１５】

【発明の実施の形態】

（第１の実施例）図１は、本発明の第１の実施例にかか
る弾性表面波フィルタの製造方法を説明するための平面
図である。図１では、ウエハ１上に弾性表面波フィルタ
を構成するための電極パターンが形成されている状態が
図示されている。

【００１６】なお、ウエハ１としては、ＬｉＴａＯ₃ 、
ＬｉＮｂＯ₃ などの圧電単結晶、またはＰＺＴ系圧電セ
ラミックスのような圧電セラミックスからなるもの、あ
るいはアルミナなどの絶縁性材料上にＺｎＯ薄膜などの
圧電薄膜を形成したものを用いることができる。さら
に、絶縁性基板上に例えば図１に示されている弾性表面
波フィルタ用電極パターンを形成した後に、上面にＺｎ
Ｏ薄膜などの圧電薄膜を形成し、後述のプローブが接触
される部分のみがＺｎＯ薄膜から電出されるように構成
してもよい。

【００１７】ウエハ１上には、複数の弾性表面波フィル
タを構成するために、各弾性表面波フィルタに応じた電
極パターンが複数形成されているが、図１では、一つの
弾性表面波フィルタ部分のみが拡大して図示されてい
る。

【００１８】図１から明らかなように、本実施例では、
弾性表面波フィルタを構成するために、１ポート型弾性
表面波共振子２〜６が用いられている。１ポート型弾性
表面波共振子２は、少なくとも１本以上の電極指を有す
るくし歯電極を互いの電極指が間挿し合うように配置し
てなるインターデジタルトランスデューサ（以下、ＩＤ
Ｔと略す。）２ａの表面波伝搬方向両側に反射器２ｂ，
２ｃを配置した構造を有する。他の１ポート型ＳＡＷ共
振子３〜６もＳＡＷ共振子２と同様に構成されている。

【００１９】１ポート型ＳＡＷ共振子２〜６は、図２に
示す後述の測定回路におけるＡで囲まれている部分を構
成するように接続されている。すなわち、１ポート型Ｓ
ＡＷ共振子３，５が直列腕共振子を、１ポート型ＳＡＷ
共振子２，４，６が並列腕共振子を構成している、２．
５段のラダー型回路を構成するように、ＳＡＷ共振子２
〜６が接続されている。

【００２０】また、図１において、１ポート型ＳＡＷ共
振子２〜６で構成されている１個の弾性表面波フィルタ
用電極パターンの周囲には、格子状に導電パターン７が
形成されている。導電パターン７は、好ましくは、ＳＡ
Ｗ共振子２〜６と同一電極材料を用いることにより、Ｓ
ＡＷ共振子２〜６の電極パターンと同一工程で形成する
ことができる。

【００２１】なお、この弾性表面波フィルタにおいて
は、アース電極８ｂ，８ｄ，８ｅと入力電極８ａ、出力
電極８ｃが形成されており、アース電極８ｂ，８ｅに
は、導電パターンに接続された電極突出部８ｂ₁ ，８ｅ
₁ が形成されている。

【００２２】本実施例では、ウエハ１上に、上記ＳＡＷ
共振子２〜６からなる弾性表面波フィルタがマトリクス
状に多数形成されており、かつ格子状の導電パターン７
が形成されている構造を用意する。この場合、各ＳＡＷ
共振子フィルタ２〜６及び導電パターン７については、
ウエハ１上にＡｌなどの導電性材料を塗布・硬化させる
ことにより、あるいはウエハ１の全面にメッキ、蒸着も
しくはスパッタリングなどにより導電膜を形成した後エ
ッチングすることにより形成することができる。

【００２３】次に、各弾性表面波フィルタの特性をウエ
ハ状態で測定する。この工程をウエハプロービング工程
と規定する。ウエハプロービング工程では、信号用プロ
ーブ９ａ及びアース用プローブ９ｂからなる入力側プロ
ーブ組９と、信号用プローブ１０ａ及びアース用プロー
ブ１０ｂ，１０ｃからなる出力側プローブ組１０を用い
る。すなわち、弾性表面波フィルタの入力電極８ａに、
信号用プローブ９ａを接触させる。また、入力側アース
電極８ｂにアース用プローブ９ｂを接触させる。

【００２４】他方、出力側においては、出力電極８ｃ
に、信号用プローブ１０ａを接触させる。さらに、出力
側アース電極８ｄ，８ｅに、それぞれアース用プローブ
１０ｂ，１０ｃを接触させる。なお、アース用プローブ
１０ｂ，１０ｃは、プローブ側において共通接続する。

【００２５】上記のように、入力側プローブ組９及び出
力側プローブ組１０を用い、図２に示す測定回路を用い
て、上記弾性表面波フィルタの伝送特性をウエハ状態で
測定する。なお、図２において、Ｂで囲まれている部分
はウエハプロービング用治具、すなわち入力側プローブ
組９及び出力側プローブ組１０を含むウエハプロービン
グ用治具による等価回路を示し、インピーダンスＺは、
このウエハプロービング用治具の等価インピーダンスを
示す。また、１１は電圧計を含む測定装置を示す。

【００２６】上記のようにして、弾性表面波フィルタの
伝送特性を測定した結果を図３に破線Ｃ，Ｄで示す。な
お、破線Ｄは、挿入損失を図３の右側のスケールで拡大
して示す特性である。

【００２７】本実施例では、上記のようにして、弾性表
面波フィルタの伝送特性をウエハ状態で測定した後、測
定された伝送特性に従って、良品を選別する。すなわ
ち、測定された伝送特性が、目的とする特性からの許容
範囲に入る場合には良品とし、入らない場合には不良品
とする。しかる後、ウエハ１を個々の弾性表面波フィル
タ単位に切断し、良品として判断された弾性表面波フィ
ルタのみを取り出し、製品とする。

【００２８】この場合、ウエハ１の切断は、格子状に形
成された導電パターン７の内側で行われる。すなわち、
ＳＡＷ共振子フィルタ２〜６が構成されている領域の周
囲において、導電パターン７よりも内側でウエハ１を切
断することにより個々の弾性表面波フィルタを得る。従
って、切断後には、入力側アース電極８ｂと、出力側ア
ース電極８ｅとは電気的に分離される。

【００２９】本実施例の特徴は、上記ウエハプロービン
グ工程において、弾性表面波フィルタの入力側のアース
電極８ｂと、出力側のアース電極８ｅとをウエハ１上に
おいて導電パターン７を用いて電気的に短絡されている
ことにある。

【００３０】すなわち、上記ウエハプロービング工程に
おいては、アース電極８ｂとアース電極８ｅとが導電パ
ターン７を介して短絡されており、かつ出力側アース電
極８ｄ，８ｅは、アース用プローブ１０ｂ，１０ｃを介
してウエハプロービング用治具内で短絡されているの
で、結果として、全てのアース電極８ｂ，８ｄ，８ｅが
ほぼ同電位及び同位相となる。

【００３１】よって、従来の弾性表面波フィルタのウエ
ハ状態における伝送特性の測定結果に比べて、最終的に
得られた弾性表面波フィルタの完成品の伝送特性に近い
測定結果を得ることができる。これを、図３並びに図４
〜図６を参照して説明する。

【００３２】図３において、実線Ｅ，Ｆは、それぞれ、
最終的に得られた弾性表面波フィルタ、すなわちウエハ
１から切断された後パッケージに格納されている弾性表
面波フィルタの伝送特性を示す。曲線Ｆは、曲線Ｅの特
性を右側のスケールに従って拡大した特性を示す。比較
のために、従来の弾性表面波フィルタのウエハ状態にお
ける伝送特性を図４及び図５を参照して説明する。

【００３３】図４は、従来法に従って、ウエハ５１上に
複数の弾性表面波フィルタを構成した場合の一つの弾性
表面波フィルタ部分を拡大して示す平面図である。ウエ
ハ５１上に、１ポート型ＳＡＷ共振子５２〜５６が構成
されている。１ポート型ＳＡＷ共振子５２〜５６は、図
１に示した１ポート型ＳＡＷ共振子２〜６とほぼ同様に
構成されている。

【００３４】もっとも、図１に示した実施例では、アー
ス電極８ｂ，８ｅが導電パターン７に接続されるように
電極突出部８ｂ₁ ，８ｅ₁ が形成されていたが、図４に
示す弾性表面波フィルタでは、上記電極突出部８ｂ₁ ，
８ｅ₁ は形成されていない。すなわち、ＳＡＷ共振子５
２の入力側アース電極５８ｂは、ウエハ１に形成された
格子状の導電パターン５７に電気的に接続されていな
い。同様に、出力側アース電極５８ｅについても、導電
パターン５７に電気的に接続されていない。

【００３５】ウエハプロービング工程においては、入力
側電極５８ａに、入力側プローブ組５９の内信号用プロ
ーブ５９ｂを接触させる。また、アース用プローブ５９
ａを入力側アース電極５８ｂに接触させる。

【００３６】また、出力側においては、出力電極５８ｃ
に、出力側プローブ組の内信号用プローブ６０ａを接触
させる。さらに、出力側アース電極５８ｄ，５８ｅにそ
れぞれ、アース用プローブ６０ｂ，６０ｃを接触させ
る。

【００３７】図５は、上記ウエハプロービング工程にお
ける測定系の等価回路を示す図であり、Ｇで囲まれる部
分が、弾性表面波フィルタの等価回路を示し、Ｈで示す
部分が、ウエハプロービング用治具の等価回路を示す。

【００３８】上記従来法でウエハ状態において測定した
伝送特性を図６に破線Ｉ，Ｊで示す。比較のために、完
成品の伝送特性を実線Ｅ，Ｆで示す。破線Ｉ，Ｊと、実
線Ｅ，Ｆとの間の隔たりは、図３に示した破線Ｃ，Ｄと
実線Ｅ，Ｆとの隔たりに比べて大きいことが判る。

【００３９】これは、上述した実施例では、入力側アー
ス電極８ｂと、出力側アース電極８ｅとがウエハ１上で
導通されており、かつ出力側アース電極８ｄ，８ｅがウ
エハプロービング用治具で短絡されているのに対し、従
来例では、入力側アース電極５８ｂと、出力側アース電
極５８ｄ，５８ｅとがウエハ５１上では短絡されておら
ず、ウエハプロービング用治具側において全て短絡され
ていることによると思われる。

【００４０】さらに、上記実施例では、ウエハ１上にお
いて、入力側アース電極８ｂと出力側アース電極８ｅと
が短絡されているので、入力側アース用プローブ９ｂと
出力側アース用プローブ１０ｃとの間のインピーダンス
のウエハプロービング用治具間ばらつきも問題とならな
い。従って、ウエハプロービング用治具間における測定
ばらつきを抑制することもできる。

【００４１】また、従来例では、図６に示したように、
完成品との特性の隔たりが大きいだけでなく、通過帯域
内における損失が大きく、波形もかなり異なっているの
に対し、上記実施例によれば、完成品において測定され
た特性との隔たりが小さいだけでなく、波形も同じよう
な形となることが判る。

【００４２】（第２の実施例）図７は、本発明の弾性表
面波フィルタの測定方法の第２の実施例を説明するため
の平面図である。第２の実施例では、ウエハ１上に形成
されている電極パターン８ｄが、電極突出部８ｄ₁ を有
し、電極突出部８ｄ₁ が導電パターン７に電気的に接続
されていることを除いては、第１の実施例と同様であ
る。従って、同一の部分に同一の参照番号を付すること
により、それぞれの部分についての詳細な説明は、第１
の実施例について行った説明を援用することにより省略
する。

【００４３】本実施例では、出力側アース電極８ｄが、
電極突出部８ｄ₁ により導電パターン７に電気的に接続
されている。従って、入力側アース電極８ｂ、及び出力
側アース電極８ｄ，８ｅが、導電パターン７を介してウ
エハ１上において短絡されている。いいかえれば、弾性
表面波フィルタの入力側及び出力側の全てのアース電極
がウエハ１上において電気的に短絡されている。

【００４４】ウエハプロービング工程においては、第１
の実施例と同様に、入力側プローブ組９及び出力側プロ
ーブ組１０を用いて伝送特性を測定するが、この場合、
全てのアース電極８ｂ，８ｄ，８ｅがウエハ１上で短絡
されているため、測定系の等価回路を示す図８における
ウエハプロービング用治具の等価インピーダンスＺ’の
影響はほぼ無視することができ、アースが一層強化さ
れ、アース電極８ｄとアース電極８ｅはさらに同電位、
同位相に近づくことになる。

【００４５】図９にウエハプロービング工程で測定され
た弾性表面波フィルタの伝送特性を破線Ｋ，Ｌで示す。
なお、破線Ｌは、破線Ｋの特性の要部を右側のスケール
に沿って拡大して示した特性である。比較のために、完
成品の伝送特性を実線Ｅ，Ｆで示す。

【００４６】破線Ｋ，Ｌを図３に示した破線Ｃ，Ｄと比
較すれば明らかなように、本発明によれば、第１の実施
例に比べてより一層完成品に近い伝送特性の得られるこ
とが判る。

【００４７】従って、本実施例のように全てのアース電
極８ｂ，８ｄ，８ｅをウエハ１上において短絡すること
により、全てのアース電極８ｂ，８ｄ，８ｅがより一層
ほぼ同電位及び同位相となるので、ウエハプロービング
工程において測定される伝送特性をより一層完成品の伝
送特性に近づけることが可能となる。

【００４８】（第３の実施例）第３の実施例は、共振子
型フィルタを用いた弾性表面波フィルタの製造方法に適
用したものである。

【００４９】まず、例えば、３６°Ｙ方向Ｘ伝搬のＬｉ
ＴａＯ₃ からなるウエハを用意する。次に、図１０に示
すように、ウエハ２１の１面に、格子状導電パターン２
２と、該格子状導電パターン２２で囲まれた各領域内
に、それぞれ一つの弾性表面波フィルタ用電極パターン
を形成する。

【００５０】この弾性表面波フィルタ用電極パターン
は、ＳＡＷ共振子を２段縦続接続させた構成を有するも
のであり、一方のＳＡＷ共振子フィルタ２３は、ＩＤＴ
２３ａ，２３ｂ，２３ｃと、反射器２３ｄ，２３ｅとを
有する。他方のＳＡＷ共振子フィルタ２４も、ＩＤＴ２
４ａ，２４ｂ，２４ｃと、反射器２４ｄ，２４ｅとを有
する。

【００５１】一方のＳＡＷ共振子フィルタでは、中央の
ＩＤＴ２３ａが入力電極２８ａ及びアース電極２８ｂを
有する。また、両側のＩＤＴ２３ｂ，２３ｃは、共通ア
ース電極２８ｃにより共通接続されている。また、ＩＤ
Ｔ２３ｂ，２３ｃのホット側の電極は、段間接続電極２
８ｄに接続されている。段間接続電極２８ｄには、他方
のＳＡＷ共振子フィルタ２４のＩＤＴ２４ｂ，２４ｃが
接続されている。ＩＤＴ２４ｂ，２４ｃの他方の電極
は、共通アース電極２８ｅに接続されている。ＳＡＷ共
振子フィルタ２４の中央のＩＤＴ２４ａは、アース電極
２８ｆと出力電極２８ｇとを有する。

【００５２】なお、共通アース電極２８ｃ，２８ｅは、
それぞれ、電極接続部２８ｃ₁ ，２８ｅ₁ により導電パ
ターン２２に電気的に接続されている。上記弾性表面波
フィルタ用電極パターンについては、第１の実施例と同
様にウエハ２１上にＡｌなどの金属を全面に蒸着、メッ
キもしくはスパッタリングなどにより形成し、しかる後
エッチングすることにより形成することができる。

【００５３】ウエハプロービング工程では、入力側プロ
ーブ組４０として、信号用プローブ４０ａ及びアース用
プローブ４０ｂ，４０ｃを用いる。すなわち、信号用プ
ローブ４０ａを入力電極２８ａに接触させ、アース用プ
ローブ４０ｂ，４０ｃを共通アース電極２８ｃ及びアー
ス電極２８ｂに、それぞれ接触させる。

【００５４】また、出力側においては、出力側プローブ
組４１として、信号用プローブ４１ａ及びアース用プロ
ーブ４１ｂ，４１ｃを用いる。すなわち、信号用プロー
ブ４１ａを出力電極２８ｇに接触させ、アース用プロー
ブ４１ｂ，４１ｃをアース電極２８ｆ及び共通アース電
極２８ｅにそれぞれ接触させる。

【００５５】なお、ＳＡＷ共振子フィルタ２３，２４の
１段の等価回路を図１１に示す。また、図１２に上記ウ
エハプロービング工程における測定系全体の等価回路を
示す。図１２において、実線Ｍは、上記導電パターン２
２内に構成されている１個の弾性表面波フィルタの等価
回路を示し、実線Ｎはウエハプロービング用治具の等価
回路を示す。

【００５６】本実施例では、ＳＡＷ共振子フィルタ２
３，２４を２段縦続接続させて弾性表面波フィルタが構
成されるが、この場合においても、入力側アース電極と
しての共通アース電極２８ｃ及び出力側アース電極とし
ての共通アース電極２８ｅが導電パターン２２に接続さ
れてウエハ２１上において電気的に短絡されている。

【００５７】また、入力側プローブ組４０のアース用プ
ローブ４０ｂ，４０ｃ並びに出力側プローブ組４１のア
ースプローブ４１ｂ，４１ｃがプローブ内で短絡されて
いる。

【００５８】従って、ウエハ２１上で入力側の少なくと
も一つのアース電極２８ｃと出力側の少なくとも一つの
アース電極２８ｅとが短絡されているので、入力側アー
ス電極と出力側アース電極とがほぼ同電位及び同位相と
なる。従って、測定される伝送特性は完成品の伝送特性
に近いものとなる。

【００５９】これを、図１３及び比較のための図１４〜
図１６を参照して説明する。図１３は、上記第３の実施
例においてウエハプロービング工程において測定された
伝送特性を示し、破線Ｏ，Ｐはウエハプロービング工程
において測定された特性を、実線Ｑ，Ｒは完成品の伝送
特性を示す。なお、破線Ｐ及び実線Ｒは、それぞれ、破
線Ｏ及び実線Ｑの要部を右側のスケールで拡大した特性
である。図１３から明らかなように、本実施例によれ
ば、完成品の伝送特性と似た波形の伝送特性を測定し得
ることが判る。

【００６０】図１４は、比較のために用意した従来の弾
性表面波装置の製造方法におけるウエハプロービング工
程を説明するための平面図である。ここでは、ウエハ７
１上に、格子状に導電パターン７２が形成されており、
導電パターン７２で構成された矩形領域内に、ＳＡＷ共
振子フィルタ７３，７４が構成されている。ＳＡＷ共振
子フィルタ７３，７４は、第３の実施例におけるＳＡＷ
共振子フィルタ２３，２４と同様に構成されている。も
っとも、共通アース電極７８ｃ，７８ｅは、それぞれ、
格子状の導電パターン７２に電気的に接続されていな
い。その他の点については、第３の実施例と同様に構成
されている。従って、相当の部分については、相当の参
照番号を付することにより、詳細な説明は省略する。

【００６１】ウエハ状態で特性を測定するに際しては、
第３の実施例と同様に、入力側プローブ組８０として、
信号用プローブ８０ａ及びアース用プローブ８０ｂ，８
０ｃを用いる。すなわち、信号用プローブ８０ａを入力
電極７８ａに接触させ、アース用プローブ８０ｂ，８０
ｃを共通アース電極７８ｃ及びアース電極７８ｂにそれ
ぞれ接触させる。

【００６２】同様に、出力側においても、出力側プロー
ブ組８１として、信号用プローブ８１a 及びアース用プ
ローブ８１ｂ，８１ｃを用意する。信号用プローブ８１
ａを出力電極７８ｇに接触させる。また、アース用プロ
ーブ８１ｂ，８１ｃをアース電極７８ｆ，共通アース電
極７８ｅにそれぞれ接触させる。

【００６３】上記ウエハプロービング工程における測定
系の等価回路を図１５に示す。図１４及び図１５を参照
して説明した従来法では、アース電極７８ｃ，７８ｂ，
７８ｅ，７８ｆに、それぞれ、アース用プローブ８０
ｂ，８０ｃ，８１ｂ，８１ｃが接触されて測定が行われ
る。この場合、アース電極８０ｂ、８０ｃは入力側アー
スプローブ内で、アース電極８１ｂ，８１ｃは出力側ア
ースプローブ内でそれぞれ短絡している。よって、図１
４及び図１５に示した従来例では、図１６に示すよう
に、得られる伝送特性は、完成品の伝送特性からかなり
異なることになる。

【００６４】なお、図１６において、破線Ｓ，Ｔは、ウ
エハプロービング工程において測定された伝送特性を示
し、破線Ｔは破線Ｓで示した特性を右側のスケールに沿
って拡大して示したものである。破線Ｓ，Ｔで示されて
いるように、通過帯域内において、左側の肩が欠けた波
形となり、完成品と異なる波形の伝送特性しか得られな
いことが判る。

【００６５】図１３と図１６との比較から、第３の実施
例においても少なくとも一つの入力側アース電極と、少
なくとも一つの出力側アース電極とがウエハ２１上で電
気的に短絡されているので、ウエハ上で完成品に近い伝
送特性を測定し得ることが判る。また、入力側アース電
極と出力側アース電極とはウエハ２１上で短絡されてい
るので、入力側のアース用プローブと出力側のアース用
プローブとの間に存在するインピーダンスＺ’のウエハ
プロービング用治具間のばらつきは問題とはならない。
従って、ウエハプロービング用治具間の測定ばらつきを
抑制することができる。

【００６６】なお、第３の実施例においても、上記ウエ
ハプロービング工程を実施した後に、第１の実施例と同
様に測定結果から良品の弾性表面波フィルタを選別す
る。また、良品を選別した後に、ウエハを個々の弾性表
面波フィルタ単位に切断し、良品の弾性表面波フィルタ
チップを得る。このようにして、目的とする特性の弾性
表面波フィルタを確実に製造することができる。

【００６７】

【発明の効果】本発明の弾性表面波フィルタの測定方法
では、ウエハプロービング工程において、入力側プロー
ブ組のアース用プローブが接触される弾性表面波フィル
タの少なくとも一つの入力側アース電極と、出力側プロ
ーブ組のアース用プローブが接触される弾性表面波フィ
ルタの少なくとも一つの出力側アース電極とをウエハ上
において電気的に短絡させているため、入力側アース電
極と出力側アース電極とがほぼ同電位及び同位相となる
ため、完成品の弾性表面波フィルタにより近い伝送特性
を得ることができると共に、入力側のアース用プローブ
と出力側のアース用プローブとの間に存在するインピー
ダンスのウエハプロービング用治具間のばらつきが問題
とならないので、ウエハプロービング用治具間の測定ば
らつきを抑制することも可能となる。

【００６８】よって、使用するウエハプロービング用治
具を変更したとしても、完成品に近い伝送特性を安定に
測定することができ、かつ測定後の良品選別を確実に行
うことができ、設計に応じた伝送特性を有する弾性表面
波フィルタを容易にかつ安定に供給することが可能とな
る。

【００６９】また、ウエハプロービング工程において、
入力側アース電極の全てを出力側アース電極の全てとウ
エハ上において短絡させた場合には、より一層完成品に
近い伝送特性をウエハ上において測定することが可能と
なる。

【００７０】また、ウエハ上における入力側アース電極
と出力側アース電極との短絡をウエハ上に形成された導
電パターンにより行う場合には、弾性表面波フィルタ用
電極パターンの形成に際し、上記短絡のための導電パタ
ーンを同時に形成することができるので、工程を増加さ
せることなく、入力側アース電極と出力側アース電極と
を容易に短絡させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例にかかる弾性表面波フィ
ルタの製造方法においてウエハ上にプローブを接触させ
た状態を示す拡大平面図。

【図２】第１の実施例におけるウエハプロービング工程
の測定系の等価回路を示す図。

【図３】第１の実施例において、ウエハプロービング工
程において測定された伝送特性と完成品の伝送特性とを
示す図。

【図４】比較のために実施した弾性表面波フィルタの測
定方法においてウエハ上にプローブを接触させた状態を
説明するための拡大平面図。

【図５】比較のために実施した弾性表面波フィルタの測
定方法の測定系を説明するための等価回路図。

【図６】比較のために実施した弾性表面波フィルタのウ
エハプロービング工程において測定された伝送特性と完
成品の伝送特性とを示す図。

【図７】本発明の第２の実施例の弾性表面波フィルタの
製造方法においてウエハプロービング工程を説明するた
めの拡大平面図。

【図８】第２の実施例におけるウエハプロービング工程
の測定系を説明するための等価回路図。

【図９】第２の実施例において、ウエハプロービング工
程において測定された伝送特性と完成品の伝送特性とを
示す図。

【図１０】本発明の第３の実施例において、ウエハプロ
ービング工程においてプローブを接触させた状態を説明
するための拡大平面図。

【図１１】第３の実施例で用いられているＳＡＷ共振子
フィルタ１段の等価回路を示す図。

【図１２】第３の実施例のウエハプロービング工程にお
ける測定系の等価回路を示す図。

【図１３】第３の実施例のウエハプロービング工程にお
いて測定された伝送特性及び完成品の伝送特性とを示す
図。

【図１４】第３の実施例の比較のために実施した従来の
ウエハプロービング工程を説明するための拡大平面図。

【図１５】図１４に示したウエハプロービング工程にお
ける測定系の等価回路を示す図。

【図１６】図１５に示したウエハプロービング工程に従
って測定された伝送特性と完成品の伝送特性とを示す
図。

【符号の説明】

１…ウエハ ２〜６…１ポート型ＳＡＷ共振子 ８ａ…入力電極 ８ｂ…入力側アース電極 ８ｃ…出力電極 ８ｄ，８ｅ…出力側アース電極 ９…入力側プローブ組 ９ａ…信号用プローブ ９ｂ…アース用プローブ １０…出力側プローブ組 １０ａ…信号用プローブ １０ｂ，１０ｃ…アース用プローブ ７…導電パターン ２１…ウエハ ２２…導電パターン ２３，２４…ＳＡＷ共振子フィルタ ２８ａ…入力電極 ２８ｂ，２８ｃ…入力側アース電極 ２８ｅ，２８ｆ…出力側アース電極 ２８ｇ…出力電極 ４０…入力側プローブ組 ４０ａ…信号用プローブ ４０ｂ，４０ｃ…アース用プローブ ４１…出力側プローブ組 ４１ａ…信号用プローブ ４１ｂ，４１ｃ…アース用プローブ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 弾性表面波フィルタ用電極パターンが形
   成されたウエハを用意する工程と、 それぞれ、信号用プローブ及びアース用プローブからな
   る入力側プローブ組及び出力側プローブ組を用いて、前
   記入力側プローブ組のアース用プローブが接触される弾
   性表面波フィルタの少なくとも一つの入力側アース電極
   と、前記出力側プローブ組のアース用プローブが接触さ
   れる弾性表面波フィルタの少なくとも一つの出力側アー
   ス電極とを前記ウエハ上において電気的に短絡させてお
   いて前記ウエハに構成された弾性表面波フィルタの特性
   を測定するウエハプロービング工程とを備えることを特
   徴とする、弾性表面波フィルタの特性測定方法。
2. 【請求項２】 前記ウエハプロービング工程において、
   前記弾性表面波フィルタの入力側アース電極の全てが、
   前記弾性表面波フィルタの出力側アース電極の全てと電
   気的に短絡されている、請求項１に記載の弾性表面波フ
   ィルタの特性測定方法。
3. 【請求項３】 前記入力側アース電極と出力側アース電
   極のウエハ上における短絡が、ウエハ上に形成された導
   電パターンにより行われている、請求項１または２に記
   載の弾性表面波フィルタの特性測定方法。
4. 【請求項４】 弾性表面波フィルタ用電極パターンが形
   成されたウエハを用意する工程と、 それぞれ、信号用プローブ及びアース用プローブからな
   る入力側プローブ組及び出力側プローブ組を用いて、前
   記入力側プローブ組のアース用プローブが接触される弾
   性表面波フィルタの少なくとも一つの入力側アース電極
   と、前記出力側プローブ組のアース用プローブが接触さ
   れる弾性表面波フィルタの少なくとも一つの出力側アー
   ス電極とを前記ウエハ上において電気的に短絡させてお
   いて前記ウエハに構成された弾性表面波フィルタの特性
   を測定するウエハプロービング工程と、 前記ウエハプロービング工程において得られた測定結果
   から良品の弾性表面波フィルタを選別する工程と、 前記ウエハを個々の弾性表面波フィルタ単位に切断する
   工程とを備えることを特徴とする、弾性表面波フィルタ
   の製造方法。