JPWO2006137299A1 - 電磁波シールドシートの製造方法およびその方法により製造された電磁波シールドシート、ならびにそれを用いたフィルターおよびディスプレイ - Google Patents
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Abstract
Description
(1)片面に金属層を有する透明基材の該金属層上に印刷法により樹脂層のパターンを形成し、該樹脂層をエッチングマスクとして前記金属層をエッチングした後、前記樹脂層のうち残存する金属層よりもシート面方向に突出している部分を除去する電磁波シールドシートの製造方法。
(2)前記金属層よりも突出している部分を粘着材もしくは超音波により除去する、前記(1)に記載の電磁波シールドシートの製造方法。
(3)前記金属層よりも突出している部分を超音波によって除去するに際し、前記透明基材を液体内に浸漬する、前記(2)に記載の電磁波シールドシートの製造方法。
(4)前記(1)〜(3)のいずれかに記載の方法により製造された電磁波シールドシート。
(5)前記(4)に記載の電磁波シールドシートと反射防止層とを備えたフィルター。
(6)前記(5)に記載のフィルターを備えたディスプレイ。
サイドエッチ量 s=(w2−w1)/2 (1)
エッチファクタ ef=d/s=2d/(w2−w1) (2)
で表される。上記(2)式のエッチファクタefは、金属層3を構成する金属の種類、エッチング液組成、エッチング条件、エッチング深さ(本発明においては実質的に金属層3の厚みに相当)にもよるが、普通1.0〜3.0の範囲にあることが知られている(金属エッチング技術、佐藤敏一/編、槇書店、1973年、78頁)。該エッチファクタが1.0〜3.0の範囲は、例えば金属層3の厚みtが15μmの場合、サイドエッチ量sが5μm〜15μmとなる。このことから本発明により例えば厚み15μm、パターン線幅10μmの金属層3を形成するには、印刷法でパターン線幅が20〜40μmの樹脂層4を印刷し、エッチング後、樹脂層4のうち残存する金属層3よりもシート面方向に関して突出している部分(サイドエッジから張り出している樹脂層5)を除去すればよい。
全光線透過率は、日本電色工業(株)製濁度計NDH2000を用い、「プラスチックス透明材料の全光線透過率の試験方法」JIS K7361−1:1997に基づいて測定した。電磁波シールドシートの場合には、透明基材側から全光線透過率を測定し、透明基材の場合には、金属層を設けない側から全光線透過率を測定した。シートの4角とシート中央の5点を測定し、その平均値を求めた。全光線透過率が70%以上あれば良好である。
印刷された樹脂層のエッチングパターンの線幅(μm)、およびエッチング後残存する金属層よりもシート面方向に突出している樹脂層を除去した後のメッシュパターンの線幅(μm)、開口率(%)は、顕微鏡写真をもとに測定した。線幅、開口率とも、シートの4角とシート中央の5点を測定点とし、各点ごとに3回測定し、のべ15点の平均値をもとめた。
・開口率(%)={(Om×Od)/(Pm×Pd)}×100
ただし、メッシュパターンは図3に示すようなパターンとなっており、Pm(μm)とPd(μm)は金属層3および樹脂層4で形成された格子間ピッチであり、Om(μm)とOp(μm)はパターンの開口幅である。
ミクロトームを用いて、電磁波シールドシートの断面を走査型電子顕微鏡(トプコン製 ABT−32 倍率2500倍)で観察し、樹脂層の厚みを測定した。シートの4角とシート中央の5点を測定点とし、各点ごとに3回測定し、のべ15点の平均値をもとめた。
金属層を金属箔ラミ法で形成した場合は、ラミネート前の導電金属箔そのものをマイクロメーターにより測定し、金属層の厚み(μm)を求めた。シートの4角とシート中央の5点を測定点とし、各点ごとに3回測定し、のべ15点の平均値を求めた。
アドバンテスト(株)製スペクトラムアナライザシステム、シールド評価機器(TR17031Aを用い、KEC(関西電子工業振興センター)法で、10MHz〜1GHzの周波数範囲の電界波減衰(dB)、磁界波減衰(dB)を測定した。
磁界波減衰:15dB以上・・○、15dB未満・・×
(6)非視認性
一般的な部屋の蛍光灯下のもとで電磁波シールドシートを0.5m離れた場所から観察した。評価基準は以下の通りである。「○」であれば良好である。
メッシュパターンの幾何学図形を認識できるもの・・・・×
(7)画質(ディスプレイ画面の視認性)
電磁波シールドシートをPDP画面の最前面に樹脂層が観察側になるよう貼りつけ、正面、上下、左右などあらゆる方向から目視観察を行い、以下基準で評価した。「○」であれば良好である。
画面にムラまたは/およびぎらつきが発生・・・×
(実施例1)
全光線透過率93%、厚み100μmのPETフィルム(東レ(株)製“ルミラー”U34)に金属層として厚み12μmの銅箔(古河サーキットフォイル(株)製)をドライラミネート用2液タイプ接着剤(東洋モートン(株)製 主剤AD−7P1/硬化剤CAT−10L)を用いてラミネートし、導電性金属シートを用意した。次に、水なし平版(東レ(株)製ネガタイプTAN24E)および紫外線硬化型インキ((株)ティーアンドケイ東華製“ベストキュアー”UV171墨インキ)を用いて、導電性金属シートの銅箔面に、線幅35μm、線ピッチ250μmの格子状パターンをオフセット印刷法(速度5m/分)で2回印刷し、その後UVキュアし、厚み3μmの格子状の黒色樹脂層を形成した。次いで、35〜40℃の範囲に温度調整した塩化第二鉄溶液でシャワー法より1.5分間エッチングして、樹脂層を印刷していない部分および樹脂層の線幅端部下の銅箔を除去し、水洗い、乾燥した。最後に、粘着材として粘着ゴムローラー(TEKNEK社製クリーニングローラーDCR、グレードF)を用い、黒色樹脂層のうち残存する銅箔よりもシート面方向に突出している部分を除去し、格子状のメッシュパターン(線幅11μm、線ピッチ250μm、開口率90%)を有する光透過性電磁波シールドシートを得た。
全光線透過率89%、厚み38μmのPETフィルム(東レ(株)製“ルミラー”T60)上に金属層として銅をスパッタ、電解めっきして厚み5μmの導電性金属シートを用意した。次に、この導電性金属シートの銅めっき面に、線幅17μm、線ピッチ250μmの格子状パターンを、実施例1と同様の方法で1回印刷し、その後UVキュアし、厚み1.5μmの格子状の黒色樹脂層を形成した。次いで、35〜40℃の範囲に温度調整した塩化第二鉄溶液でシャワー法より0.8分間エッチングして樹脂層を印刷していない部分および樹脂層の線幅端部下の銅を除去し、水洗い、乾燥した。
全光線透過率93%、厚み100μmのPETフィルムに代えて全光線透過率は93%、厚み125mのPETフィルムを用い、厚み12μmの銅箔に代えて厚み10μm銅箔(日本電解(株)製)を用いた以外は実施例1と同様に形成した導電性金属シートの銅箔面に、ニューロング精密工業社製スクリーン印刷機LS−150型および2液エポキシ樹脂硬化型インキ(藤倉化成(株)製“ドータイト”SH−3A)を用いて、線幅45μm、線ピッチ300μmの格子状パターンをスクリーン印刷法(メッシュ#400、スキージ速度6m/分、スキージ角度70度)で1回印刷し、その後120℃30分加熱し、厚み8μmの格子状の黒色樹脂層を形成した。その後は、エッチング時間を1.7分間に変えた以外は実施例1と同様の方法で、格子状のメッシュパターン(線幅23μm、線ピッチ300μm、開口率85%)を有する光透過性電磁波シールドシートを得た。得られた光透過性電磁波シールドシートを実施例1と同様に評価した。
全光線透過率92%、厚み100μmのPETフィルム(東レ(株)製“ルミラー”U426)に金属層として厚み15μmのアルミ箔(日本製箔(株)製)をドライラミネート用2液タイプ接着剤(大日本インキ化学工業(株)製“ディックドライ” 主剤LX−901/硬化剤KW−75)を用いてラミネートし、導電性金属シートを用意した。次に、この導電性金属シートのアルミ箔面に、線幅45μm、線ピッチ300μmの格子状パターンを実施例3と同様にスクリーン印刷法で印刷し、厚み8μmの格子状の黒色樹脂層を形成した。その後、45〜50℃の範囲に温度調整した苛性ソーダ液でシャワー法より3.5分間エッチングし、樹脂層を印刷していない部分および樹脂層の線幅端部下のアルミ箔を除去、その後、水洗い中にナイロン製洗浄ブラシで黒色樹脂層のうち残存するアルミ箔よりもシート面方向に突出している部分を除去して乾燥し、格子状の導電性パターン(線幅15μm、線ピッチ300μm、開口率93%)を有する光透過性電磁波シールドシートを得た。得られた光透過性電磁波シールドシートを実施例1と同様に評価した。
実施例1と同様の方法で導電性金属シートを用意、黒色樹脂層を形成し、エッチングを行って樹脂層を印刷していない部分および樹脂層の線幅端部下の銅箔を除去した。次いで、水洗いをしながら、超音波で黒色樹脂層のうち残存する銅箔よりもシート面方向に突出している部分を除去、乾燥し、格子状の導電性パターン(線幅11μm、線ピッチ250μm、開口率90%)を有する光透過性電磁波シールドシートを得た。
シートの搬送位置を振動子面から40mmとした以外は、実施例5と同様にして光透過性電磁波シールドシートを作成し、評価した。
エッチング後、残存する銅箔よりもシート面方向に突出している黒色樹脂層を粘着材で除去しないほかは、実施例1と同様に光透過性電磁波シールドシートを形成し、実施例1と同様に評価した。
実施例1と同様にして作成した光透過性電磁波シールドシートの樹脂層を研磨パッドによって完全に除去し、実施例1と同様に評価した。結果を表1に示す。
2・・・接着層(もしくは透明基材の表面処理層)
3・・・金属層
4・・・印刷法により形成した樹脂層、
5・・・エッチング後に残存する金属層よりもシート面方向に関して突出している樹脂層
6・・・レジストフィルム
Claims (6)
- 片面に金属層を有する透明基材の該金属層上に印刷法により樹脂層のパターンを形成し、該樹脂層をエッチングマスクとして前記金属層をエッチングした後、前記樹脂層のうち残存する金属層よりもシート面方向に突出している部分を除去する電磁波シールドシートの製造方法。
- 前記金属層よりも突出している部分を粘着材もしくは超音波により除去する、請求項1に記載の電磁波シールドシートの製造方法。
- 前記金属層よりも突出している部分を超音波によって除去するに際し、前記透明基材を液体内に浸漬する、請求項2に記載の電磁波シールドシートの製造方法。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の方法により製造された電磁波シールドシート。
- 請求項4に記載の電磁波シールドシートと反射防止層とを備えたフィルター。
- 請求項5に記載のフィルターを備えたディスプレイ。
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