JPS627877A - メツシユ製品の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野］ 本発明は、スクリーン印刷版、シャドウマスク。

螢光表示管用グリッド電極、高精度金属製フィルターな
どの微細なメツシュ部を有するメツシュ製品の製造方法
に関する。

（従来の技術） 従来このようなメッシュ製品は、メツシュ部とその周辺
部である枠状体からなることが多く、さらに言えば、メ
ソシュ部の厚みは枠状体の厚みに比べて薄くてることが
、パターン精度の向上および機能上好ましいものである
。第２図１イ）（ロ）は、このようなメツシュ製造を作
成する方法の一例を図示するものである。第２図におい
て、金属板（１）および耐食膜はその厚みを誇張されて
描かれている。

実際は金属板（１）は３０〜２００ミクロン程度である
。

第２図（イ）に示すように、金属板（１）の一方の面に
は。

メソシュ部に相当でろ耐食膜（２）および枠状体に相当
てる耐食膜（３ａ〕を設けているが、他方の面には枠状
体に相当する耐食膜（３ｂ）のみが設けられ。

メツシュ部に相当する耐食膜が設けられない。この状態
で両面からエツチングすると、第２図（ロ）に示すよう
に、枠状体（４）に比較してメツシュ部（５）の厚みが
減じた形でメツシュ製品ができあがる。

しかし、この従来法には以下に述べるような欠点がある
。第３図は、枠状体（４）とメツシュ部＋５）の境界部
分を拡大して示すものであるが、第３図（ハ）に示すよ
うに、メツシュ部（５）と枠状体（４）の接合部は深く
えぐり取られ、メツシ一部（５）と枠状体（４）の結合
が脆弱となり１時としてメツシュ部（５）が枠状体（４
）から脱離するという不良発生を招いた。

蛇足な力；ら、境界部分の理想的な状態は、第６図（ロ
）に示でように、枠状体（４）とメツシュ部（５）が単
調な勾配曲線により連結している状態である。

従来法が、第６図Ｐ→に示す欠点が生じる理由は。

第４図に概念的に示されろ。丁なわち、第４図はエツチ
ング途中を想定したものであるが、エツチング液（１０
）は他方の而（この場合は下側］に対してスプレーノズ
ルから噴射されるのであるが、噴射されたエツチング液
は、破食刻面に当接し、それから両端へ強制流動する傾
向があり１両端で枠状体ｆ４）Ｋ当接して、その付近（
ｆなわちメツシュ部と枠状体の境界部）を深く腐食溶解
するものである。

（発明が解決しようとてる問題点） 本発明は１以上のような従来技術の欠点を解決し、メツ
シシ部と枠状体との連結を理想的な状態としたメッシュ
製品の製造方法である。

（問題点を解決する具体的手段］ すなわち１本発明は、金属板の一方の面に形成しようと
するメツシュ部の形状と同様の形状の耐食膜と形成しよ
うとする枠状体の形状と同様の形状の耐食膜を形成し、
他方の面に形成しようとする枠状体の形状と同様の形状
の耐食膜を形成した該金属板を、エツチング液にて両面
同時に腐食溶解することにより、枠状体とメツシュ部が
一体となったメツシュ製品を製造する方法において、一
方の面のメツシュ部の形状と同様の形状に施された前記
耐食膜に対応する他方の面の位置にサイドエツチング現
象によって最終的に脱落する線幅の小なる補助レジスト
を設けた状態で両面同時エツチング処理を行なうことを
特徴とでろメツシュ製品の製造方法である。

以下１本発明の実施例を工程順に示ｆｇｉ図に基いて説
明する。

第１図（イ）に示でように、材料となる金属板（１）は
、枠状体と同一の厚さ、あるいは作成しようとするメツ
シュ製品が必要とでろ最大厚さと同一の厚さを有し、材
質としては、鉄、鋼、４２合金にッケル４２重量％、残
部鉄ノ、ステンレス鋼のほか。

銅、銅合金、アルミニウム、モリブデン、タングステン
等これらに限られず各種の金属が対象となりうる。この
金属板（１）の両面に感光性レジスＨ［（６ａ）　Ｃ６
ｂ）　ｆ施丁。感光性レジストは、ポリビニルアルコー
ル、カゼイン、ゼラチン等の高分子樹脂に喧クロム酸塩
のような光架橋剤を添加した水溶性感光性四指が安価で
使い易いが、その他に有機ｍ剤系の感光性叫脂や自己硬
化型の無溶剤感光性樹脂も用いることができる。後者は
、一般に高解像パターンの形成に適している。次に第１
図（ロ）に示すように１両面にマスク原版Ｃ７ａ）Ｃ７
ｂ）を密着配置し、上下から光を照射して、感光性レジ
スト膜（６ａ）（６ｂ）を露光する。図の実施例ではネ
ガ型の感光性レジストを用いているから、光が照射され
た部分だけが硬化し、現像でれば、第１図（ハ）に示さ
れた状態となる。本発明の特徴はメツシュ部に相当する
耐食膜（８）に対峙する他方の面に、極めて微細な線幅
の補助レジスト（９）を設けておくことである。ｆなわ
ち、メノシェＷに相当する耐食膜１８）は、メッシュ線
幅として残存するパタ　・−ンであるが、補助レジスト
（９）は、それよりもはるかに細いものであるから、エ
ツチング処理のサイドエツチング現象により消滅する。

第１図に）にエツチング途中におけろ補助レジスト（９
）が剥落する直前の様子を示す。補助レジスト（９）の
剥落の結果、第１図（ホ）に示すように、最終的には他
方の面にハーフエツチング状態が実現し、板厚を薄くて
ることができる。しかしながら、第１図（ホ）に示すよ
うに、メツシュ部（５）と枠状体（４）の境界部（Ｉ７
Ｊは。

なだらかな勾配曲線により連結しているから１強固な結
合状態にあると言える。

（作　用ン このようになる理由を第５図に概念的に示で。

本発明では、補助レジスト（ａ）により他方の面（下側
）のエツチングは、メツシュのひとつひとつについて別
個に進行することになり、下方から噴射されるエツチン
グａ！１１は、従来法のように両端部へ集中的に流れる
ことなく１個々のエツチング領域の腐食溶解に終始する
ものである。補助レジスト（９）は、メツシュ部と枠状
体の境界部の局部的なエツチング進行紮阻止する。

（補足説明） 一役に、第６図において、エツチングファクターＦ、深
度り、サイドエッチ量Ｒの関係は。

Ｆ＝Ｄ／Ｒ で表わされる。

即ち、Ｒ＝Ｄ／Ｆ　　となり、耐食膜旧）の幅Ｓはエツ
チングファクターＦと深度りにより決定される。

本発明では補助レジストの幅Ｓはサイドエツチングによ
り消滅する大きさとすれば良いが、実用的には Ｓ＝Ｄ／Ｆ 程度に設定される。通常のスプレー噴射エツチング条件
ではＦ　＝　１．５〜３．５であることが知られている
から、仮にＦ　＝　２．５とし、エツチング深度Ｄ＝　
０．１　＋ｍとすると、補助レジストの幅Ｓは。

０．１ Ｓ　＝　１■＝　０．０４　ｗｉ 程度の値が一例として導き出されろ。

なお、補助レジストの形態としては第７図（イ）に示す
ように、一本の補助レジス）　（９ａ）とすること以外
に、第７図（ロ）に示すように、複数本からなる補助レ
ジス）　（９ｂ）としても良い。複数本の補助レジス）
　（９ｂ）を用いれば、メツシュ（５）の断面形状が四
角形に近い良好な形状となるほか、補助レジストの疎密
の程度によって、エツチング深度を調節することができ
、メツシュ部（５）の厚みも制御できる。

（発明の効果］ 本発明によれば、補助Ｖズストをメツシュ部の他方の面
に形成することにより、メツシュ部と枠状体の連絡が強
固なものとなり、メツシ一部が枠状体から剥脱するよう
な不良品の発生が極力押さえられる。また、補助レジス
トを複数本の形態とすれば、メツシュ部断面の形状や厚
みを制御でき。

所望の形態の吻品を製作できるという利点もある。

【図面の簡単な説明】

第１図（イ）〜（ホ）は１本発明のメツシュ製品の製造
法の一実施例を工程順に示で説明図であり、第２図（イ
）〜１０）は、従来技術の一例を示す説明図、第６図は
、メツシュ製品のメツシュ部と枠状体の境界部を拡大し
て示し、第３図（イ）はその平面図、第３図（ロ）はそ
の良好な形態を示す断面図、第３囚（ハ）はその好まし
くない形態を示す断面図であり、第４図は従来技術エツ
チングの様子を示す説明図、第５図は１本発明のエツチ
ングの様子を示す説明図。 第６図は、サイドエツチング現象を示す説明図であり、
第７図（イ）、（ロ）は１本発明に用いる補助レジスト
の実施態様を示す説明図である。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）金属板の一方の面に形成しようとするメッシュ部
   の形状と同様の形状の耐食膜と形成しようとする枠状体
   の形状と同様の形状の耐食膜を形成し、他方の面に形成
   しようとする枠状体の形状と同様の形状の耐食膜を形成
   した該金属板を、エッチング液にて両面同時に腐食溶解
   することにより、枠状体とメッシュ部が一体となったメ
   ッシュ製品を製造する方法において、一方の面のメッシ
   ュ部の形状と同様の形状に施された前記耐食膜に対応す
   る他方の面の位置にサイドエッチング現象によって最終
   的に脱落する線幅の小なる補助レジストを設けた状態で
   両面同時エッチング処理を行なうことを特徴とするメッ
   シュ製品の製造方法。
2. （２）補助レジストが単数本である特許請求の範囲第１
   項記載のメッシュ製品の製造方法。
3. （３）補助レジストが複数本である特許請求の範囲第１
   項記載のメッシュ製品の製造方法。