JPS6317229A - 光フアイバ用母材の製造方法 - Google Patents
光フアイバ用母材の製造方法Info
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- JPS6317229A JPS6317229A JP16072986A JP16072986A JPS6317229A JP S6317229 A JPS6317229 A JP S6317229A JP 16072986 A JP16072986 A JP 16072986A JP 16072986 A JP16072986 A JP 16072986A JP S6317229 A JPS6317229 A JP S6317229A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は光ファイバ用母材の製造方法に関する。
従来光ファイバの製造方法として、ガラス微粒子が集合
してなる多孔質ガラス体を高温に保された炉の中に保持
するか通過させて該多孔質ガラス体を高温処理し、透明
ガラス体を得る間に、塩素又は塩素化合物を含む雰囲気
中で脱水処理を行い光ファイバ用母材中に残存するOH
基を減少させる方法が知られている。例えば米国特許第
3.459.522号明細書には[多孔質母材を600
℃〜1000℃で塩素処理し、残留水分を除去する」方
法が、又米国特許第4933、454号明細書には[火
炎加水分解で多孔質母材を作成し、ゾーン方式で脱水と
同時に透間化を行う」方法が提案されている。
してなる多孔質ガラス体を高温に保された炉の中に保持
するか通過させて該多孔質ガラス体を高温処理し、透明
ガラス体を得る間に、塩素又は塩素化合物を含む雰囲気
中で脱水処理を行い光ファイバ用母材中に残存するOH
基を減少させる方法が知られている。例えば米国特許第
3.459.522号明細書には[多孔質母材を600
℃〜1000℃で塩素処理し、残留水分を除去する」方
法が、又米国特許第4933、454号明細書には[火
炎加水分解で多孔質母材を作成し、ゾーン方式で脱水と
同時に透間化を行う」方法が提案されている。
しかしながら上記の2つの米国特許明細書に記載された
ような従来法では、脱水処理と同時に透明化、または、
脱水処理後そのまま透明化するため、透明化後に得られ
る光ファイバ母材中に塩素が残ってしまうという問題が
ちった。
ような従来法では、脱水処理と同時に透明化、または、
脱水処理後そのまま透明化するため、透明化後に得られ
る光ファイバ母材中に塩素が残ってしまうという問題が
ちった。
さらに光ファイバ母材中に塩素が残存するため、■例え
ば第2図の矢印イで示す部分のように塩素によシ母材の
屈折率が上昇し、伝送特性に影響を与える、■耐放射線
特性が悪化する〔長沢他、電気学会研究会資料EIM−
84−27(絶縁材料研究会、1984年)p1〜10
〕、■延伸、紡糸工程等のように1さらに高温に加熱さ
れるときに発泡しやすい、という問題があった。
ば第2図の矢印イで示す部分のように塩素によシ母材の
屈折率が上昇し、伝送特性に影響を与える、■耐放射線
特性が悪化する〔長沢他、電気学会研究会資料EIM−
84−27(絶縁材料研究会、1984年)p1〜10
〕、■延伸、紡糸工程等のように1さらに高温に加熱さ
れるときに発泡しやすい、という問題があった。
本発明は上記の問題点を解決して、ガラス微粒子が集合
してなる多孔質ガラス体を塩素又は塩素化合物ガスで脱
水する工程を含む光ファイバ母材の製造方法において、
透明化後のガラス母材中の塩素の残留を解消できる方法
を提案することを目的とするものであ◇、 〔問題点を解決するための手段〕 前記の問題点を解決するため、本発明者は、脱水処理時
に多孔質ガラス母材に吸着、若しくは、溶解した塩素を
取9除いた後透明ガラス化する方法を考えつい念。
してなる多孔質ガラス体を塩素又は塩素化合物ガスで脱
水する工程を含む光ファイバ母材の製造方法において、
透明化後のガラス母材中の塩素の残留を解消できる方法
を提案することを目的とするものであ◇、 〔問題点を解決するための手段〕 前記の問題点を解決するため、本発明者は、脱水処理時
に多孔質ガラス母材に吸着、若しくは、溶解した塩素を
取9除いた後透明ガラス化する方法を考えつい念。
すなわち本発明はガラス微粒子が集合してなる多孔質ガ
ラス体を、高温に保たれた塩素または塩素化合物を含む
雰囲気中に保持するか、又は該雰囲気中を通過させるこ
とにより脱水処理し、然る後透明ガラス化して光ファイ
バ母材を製造する方法において、上記脱水処理の後該多
孔質ガラス体中に含をれる塩素を減少させ、その後に透
明ガラス化を行うことを特徴とする光ファイバ用母材の
製造方法である。
ラス体を、高温に保たれた塩素または塩素化合物を含む
雰囲気中に保持するか、又は該雰囲気中を通過させるこ
とにより脱水処理し、然る後透明ガラス化して光ファイ
バ母材を製造する方法において、上記脱水処理の後該多
孔質ガラス体中に含をれる塩素を減少させ、その後に透
明ガラス化を行うことを特徴とする光ファイバ用母材の
製造方法である。
本発明の特に好ましい実施態様としては、脱水処理の後
、酸素を含む雰囲気中又は弗素化合物を含む雰囲気中に
おいて温度1000℃以上1200℃以下にて加熱処理
することにより塩素を減少させる上記方法を挙げること
ができる。
、酸素を含む雰囲気中又は弗素化合物を含む雰囲気中に
おいて温度1000℃以上1200℃以下にて加熱処理
することにより塩素を減少させる上記方法を挙げること
ができる。
ガラス微粒子が集合してなる多孔質ガラス体を高温に保
たれた炉の中に保持するか、または通過させ、塩素又は
塩素化合物を含む雰囲気中で脱水処理した後、透明ガラ
ス化を行う以前に、堆積体中に残存する塩素を減少させ
る方法としては、本発明者らの鋭意研究の結果では、脱
水処理の後、透明ガラス化以前に、酸素又は弗素化合物
を含む雰囲気中において処理することが、非常に有効で
ある11、またこの処理は多孔質ガラス体中で気体が拡
散し易い条件で行った方が効率的であるので、処理温度
は該多孔質ガラス母材が収縮しない範囲の高温、すなわ
ち1000℃以上1200℃以下で行うことが好ましい
。
たれた炉の中に保持するか、または通過させ、塩素又は
塩素化合物を含む雰囲気中で脱水処理した後、透明ガラ
ス化を行う以前に、堆積体中に残存する塩素を減少させ
る方法としては、本発明者らの鋭意研究の結果では、脱
水処理の後、透明ガラス化以前に、酸素又は弗素化合物
を含む雰囲気中において処理することが、非常に有効で
ある11、またこの処理は多孔質ガラス体中で気体が拡
散し易い条件で行った方が効率的であるので、処理温度
は該多孔質ガラス母材が収縮しない範囲の高温、すなわ
ち1000℃以上1200℃以下で行うことが好ましい
。
本発明に用いる弗素化合物としては、例えばE]iF4
. 512F6. SF6. NH4F 、
NF3. PFs。
. 512F6. SF6. NH4F 、
NF3. PFs。
C!F4. CCl2F2等が挙げられる。酸素又は
弗素化合物の雰囲気の条件は以下の実施例に示す。
弗素化合物の雰囲気の条件は以下の実施例に示す。
なお脱塩素処理としては、脱水処理後透明化までの時間
を長くとったり、脱水処理後に真空脱気処理する方法も
考えられるが、いずれも多孔質ガラス体中に水が再吸着
し易く、好ましくない。脱水処理の後、酸素又は弗素化
合物雰囲気での処理は、塩素を取9除く時間が非常に短
かくてすむので、水の再吸着が少なく、光ファイバとし
た時の伝送特性低下を防ぐことができる。
を長くとったり、脱水処理後に真空脱気処理する方法も
考えられるが、いずれも多孔質ガラス体中に水が再吸着
し易く、好ましくない。脱水処理の後、酸素又は弗素化
合物雰囲気での処理は、塩素を取9除く時間が非常に短
かくてすむので、水の再吸着が少なく、光ファイバとし
た時の伝送特性低下を防ぐことができる。
多孔質ガラス体を塩素または塩來化合物含有雰囲気中で
熱処理し脱水処理すると、C2がガラス体中のOH基と
置換し、5l−atの結合が多数発生する。このように
して得たガラス母材を延伸紡糸工程で加熱すると、この
5l−at結合が切れ、Ctzが遊離し、気泡が発生す
ると考えられる。
熱処理し脱水処理すると、C2がガラス体中のOH基と
置換し、5l−atの結合が多数発生する。このように
して得たガラス母材を延伸紡糸工程で加熱すると、この
5l−at結合が切れ、Ctzが遊離し、気泡が発生す
ると考えられる。
本発明において、5l−at結合が多数ある多孔質ガラ
ス体を酸素雰囲気または、弗素化合物雰囲気で軌処理す
ると、CtはQiたはFで置換される。その理由は、5
i−C6に比べ5i−F。
ス体を酸素雰囲気または、弗素化合物雰囲気で軌処理す
ると、CtはQiたはFで置換される。その理由は、5
i−C6に比べ5i−F。
5i−0は、結合エネルギが太きいがらである。
ちなみに結合エネルギーは
5i−F 23 Kcat/rnotSi−
026Kcat/mot Si−C610Kcat/mot (丈/ダーソン無機化学、(1969)床用書店、によ
る。)である。
026Kcat/mot Si−C610Kcat/mot (丈/ダーソン無機化学、(1969)床用書店、によ
る。)である。
このように本発明ではatをolたはFに置換して結合
エネルギーの大きな5i−0,5i−Fとするため、遊
離の02112はほとんど生じず気泡の発生がなくなる
のである。
エネルギーの大きな5i−0,5i−Fとするため、遊
離の02112はほとんど生じず気泡の発生がなくなる
のである。
なお弗素化合物雰囲気による熱処理では塩素を減少させ
る一方で、当然弗素添加の作用があるからこの点を考慮
して酸素又は弗素化合物のいずれかの雰囲気を選択すれ
ばよい。
る一方で、当然弗素添加の作用があるからこの点を考慮
して酸素又は弗素化合物のいずれかの雰囲気を選択すれ
ばよい。
本発明の方法は脱水処理時に多孔質ガラス母材中に吸着
、若しくは溶解した塩素を取シ除いた後透明ガラス化す
るため、 1)光ファイバの屈折率は塩素による影#を受けず伝送
特性が良くなる、 2)耐放射線特性が向上する、 3)透明化時:り高温に加熱してもガラス中に気泡が発
生、成長することが無い、 という効果がある。
、若しくは溶解した塩素を取シ除いた後透明ガラス化す
るため、 1)光ファイバの屈折率は塩素による影#を受けず伝送
特性が良くなる、 2)耐放射線特性が向上する、 3)透明化時:り高温に加熱してもガラス中に気泡が発
生、成長することが無い、 という効果がある。
実施例1
VAD法(気相釉付は法)Kよ)作成した径120叩、
長さ600 mmで中心部がGeO2を5重量%含む5
in2、外周部が純5102 である多孔質ガラス体を
、ゾーン炉を用いて不発明の方法により表1に示す条件
で、脱水処理、次に脱塩素処理、最後に透明化処理を行
った。
長さ600 mmで中心部がGeO2を5重量%含む5
in2、外周部が純5102 である多孔質ガラス体を
、ゾーン炉を用いて不発明の方法により表1に示す条件
で、脱水処理、次に脱塩素処理、最後に透明化処理を行
った。
表 1
得られた透明ガラスロンドの屈折率を測定したところ第
1図に示すように、塩素による屈折率の持上がりは無か
った。さらにファイバ化したところ延伸・紡糸の際の気
泡の発生・成長は無かった。ファイバ化後10SR/時
の放射線を1時間照射したところ1.3μでのロス増は
6eLB/1c11 と小さかった。
1図に示すように、塩素による屈折率の持上がりは無か
った。さらにファイバ化したところ延伸・紡糸の際の気
泡の発生・成長は無かった。ファイバ化後10SR/時
の放射線を1時間照射したところ1.3μでのロス増は
6eLB/1c11 と小さかった。
比較例1
実施例1と同様のガラス微粒子積層体をを用い、実施例
1の脱水処理および透明化処理のみを行なった。得られ
た透明ガラスロッド(母材)の屈折率を測定したところ
、第2図に示すように塩素による屈折率の持上がシが見
られた。該母材の延伸の際気泡が発生したため、母材の
50チは紡糸できなかった。該母材をファイバ化後カッ
トオフ測定を行なったところ、カットオフ波長かはつき
シと測定てきなかった。実施例1と同様に放射線を照射
したところ、ロス増は20 dB/kmであった。
1の脱水処理および透明化処理のみを行なった。得られ
た透明ガラスロッド(母材)の屈折率を測定したところ
、第2図に示すように塩素による屈折率の持上がシが見
られた。該母材の延伸の際気泡が発生したため、母材の
50チは紡糸できなかった。該母材をファイバ化後カッ
トオフ測定を行なったところ、カットオフ波長かはつき
シと測定てきなかった。実施例1と同様に放射線を照射
したところ、ロス増は20 dB/kmであった。
実施例2
VAD法によシ作成した径1201、長さ600mの純
5102 からなる多孔質母材を、ゾーン炉を用いて
本発明の方法によシ表2に示す条件で、脱水処理、次に
脱塩素処理、最後に透明化処理を行った。
5102 からなる多孔質母材を、ゾーン炉を用いて
本発明の方法によシ表2に示す条件で、脱水処理、次に
脱塩素処理、最後に透明化処理を行った。
表 2
得られた透明ガラスロッドの屈折率を測定したところ、
第5図に示すように、塩素による屈折率の持ち上9は見
られなかった。純シリカからなるコア材とロッドインチ
ューブ法によりコラップスしてこの母材を穴明は加工し
て、クラツド材とし純シリカからなるコア材とロツドイ
ンチューブ法によシコラツブスしてガラス母材を得、こ
れから純シリカコアシングルモードファイバを炸裂した
。延伸、紡糸の際、気泡の発生や成長は無かった。又実
施例1と同様に放射線を照射したところ、ロス増は4
aB/kmと極めて小さかった。
第5図に示すように、塩素による屈折率の持ち上9は見
られなかった。純シリカからなるコア材とロッドインチ
ューブ法によりコラップスしてこの母材を穴明は加工し
て、クラツド材とし純シリカからなるコア材とロツドイ
ンチューブ法によシコラツブスしてガラス母材を得、こ
れから純シリカコアシングルモードファイバを炸裂した
。延伸、紡糸の際、気泡の発生や成長は無かった。又実
施例1と同様に放射線を照射したところ、ロス増は4
aB/kmと極めて小さかった。
本発明は脱水処理時に多孔質ガラス母材中に吸着又は溶
解した塩素を脱塩素処理した後に透明ガラス化するので
、従来の脱塩素処理なく透明化する方法に比し、ガラス
中の気泡発生や生長がなく、また伝送特性、耐放射特性
の向上したファイバが得られる。さらにこの脱塩素処理
は非常に簡単に短時間で水の再吸着なく行える点も、製
造効率向上、製品品質向上にとり有利である。
解した塩素を脱塩素処理した後に透明ガラス化するので
、従来の脱塩素処理なく透明化する方法に比し、ガラス
中の気泡発生や生長がなく、また伝送特性、耐放射特性
の向上したファイバが得られる。さらにこの脱塩素処理
は非常に簡単に短時間で水の再吸着なく行える点も、製
造効率向上、製品品質向上にとり有利である。
第1図は実施例1で得られた本発明品の屈折率分布を示
す図、第2図は比較例1で得られた従来品の屈折率分布
を示す図、第3図は実施例2で得られた不発明品の屈折
率分布を示す図である。
す図、第2図は比較例1で得られた従来品の屈折率分布
を示す図、第3図は実施例2で得られた不発明品の屈折
率分布を示す図である。
Claims (4)
- (1)ガラス微粒子が集合してなる多孔質ガラス体を、
高温に保たれた塩素または塩素化合物を含む雰囲気中に
保持するか、又は該雰囲気中を通過させることにより脱
水処理し、然る後透明ガラス化して光ファイバ母材を製
造する方法において、上記脱水処理の後該多孔質ガラス
体中に含まれる塩素を減少させ、その後に透明ガラス化
を行うことを特徴とする光ファイバ用母材の製造方法。 - (2)脱水処理の後、酸素を含む雰囲気中で処理して塩
素を減少させる特許請求の範囲第(1)項に記載の光フ
ァイバ用母材の製造方法。 - (3)脱水処理の後、弗素化合物を含む雰囲気中で処理
して塩素を減少させる特許請求の範囲第(1)項に記載
の光ファイバ用母材の製造方法。 - (4)塩素を減少させる処理を1000℃以上1200
℃以下の温度にて行なう特許請求の範囲第(1)ないし
第(3)項のいずれかに記載の光ファイバ用母材の製造
方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16072986A JPS6317229A (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 | 光フアイバ用母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16072986A JPS6317229A (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 | 光フアイバ用母材の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6317229A true JPS6317229A (ja) | 1988-01-25 |
Family
ID=15721198
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16072986A Pending JPS6317229A (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 | 光フアイバ用母材の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6317229A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02157132A (ja) * | 1988-12-09 | 1990-06-15 | Tosoh Corp | 高純度石英ガラスの製造方法 |
EP1472190A1 (en) * | 2002-08-20 | 2004-11-03 | LG Cable Ltd. | Method of manufacturing optical fiber preform using modified chemical vapor deposition including dehydration and dechlorination process and optical fiber manufactured by the method |
KR100554424B1 (ko) * | 2002-11-07 | 2006-02-22 | 엘에스전선 주식회사 | 광섬유 프리폼 제조공정에서 이용되는 탈수 방법, 이를 이용한 광섬유 프리폼 제조방법 및 장치 |
WO2006068853A1 (en) * | 2004-12-20 | 2006-06-29 | Corning Incorporated | Methods and apparatus for processing soot articles |
JP2014101236A (ja) * | 2012-11-16 | 2014-06-05 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ファイバ母材の製造方法および光ファイバ |
-
1986
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