JPS63146903A - 光開始剤およびこれを用いた光重合性組成物 - Google Patents

光開始剤およびこれを用いた光重合性組成物

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JPS63146903A
JPS63146903A JP29417386A JP29417386A JPS63146903A JP S63146903 A JPS63146903 A JP S63146903A JP 29417386 A JP29417386 A JP 29417386A JP 29417386 A JP29417386 A JP 29417386A JP S63146903 A JPS63146903 A JP S63146903A
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alkyl group
halogen atom
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誠 鍛治
Futami Kaneko
金子 ふたみ
Nobuyuki Hayashi
信行 林
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    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/028Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、新規な光開始剤およびこれを用いた光重合性
組成物に関する。
(従来の技術) 光重合性組成物の硬化には一般にUV光源が用いられ凸
版用、レリーフ像用、フォトレジスト用等に広く適用さ
れているが、その感度はより高い系が望まれている。従
来より、この分野では感度を増大させるための光開始剤
について多くの研究がなされている。光開始剤としては
ベンゾインおよびその誘導体、置換まだは非置換の多核
キノン類等多くの物質が既に知られている。
(発明が角イ決しようとする問題点) しかしながら光開始剤として知られているこれらの化合
物は未だ感度が不十分である。
本発明は、高い感度を有する光開始剤およびこれを用い
た光重合性組成物を提供するものである。
(問題点を解決するだめの手段) 第一の発明は。
(1)下記式[1〕、  [Il]または〔■〕で表わ
される芳香族ケトン化合物 (式中HR1,R21R31R4+ Rst &、 R
71rt、、 RgRIOは、それぞれ独立に水素、炭
素数1〜8のアルキル基またはハロケン原子である) (式中、 R11w R,2,R,3・g+4・R4s
 、 R+6 + lも17および几!8は、それぞれ
独立に水素、炭素数1〜8のアルキル基またはハロゲン
原子であり、Xはメチレン、イオウまたは酸素である) (式中+ R19+ R201R211R221R23
1&4t R251R261R27および&sは、それ
ぞれ独立に水素、炭素数1〜8のアルキル基またはハロ
ゲン原子である)ならびに (2)式〔IV〕で表わされる芳香族アミノ化合物R・
37 (式中、 R29,R30,几31* R32,R13
3およびR34は。
水素、炭素数1〜8のアルキル基、シアン基、炭素数1
〜8のアルコキシカルボニル基およびアリール基から選
ばれかつR+23. R3o、 lも31+ R32*
 R43およびR34の少なくとも1つはシアノ基、炭
素数1〜8のアルコキシカルボニル基捷たはアリール基
とされ+ R291R3L g、、 R32* R,3
3およびR34の少なくとも1つは水素とされる。R3
51Rss、 R371R3!およびR39は、それぞ
れ独立に水素、炭素数1〜8のアルキル基、炭素数1〜
8のアルコキシ基。
または・・ロゲン原子である)からなる光開始剤に関す
る。
第二の発明は。
(1)常圧において100℃以上の沸点を有する付加重
合性化合物。
(2)下記式[1〕、  (It)または〔■〕で表わ
される芳香族ケトン化合物 (式中+ at、 R2t R3+ R4,R51R1
11勤+ RJI+ゐおよびRloは、それぞれ独立に
水素、炭素数1〜8のアルキル基またはハロゲン原子で
ある)R1!i   R+4 (式中+ R111RI21 R131R+41 RI
5.R,、R17およびR1111は、それぞれ独立に
水素、炭素数1〜8の=9− アルキル基または・・ロゲン原子であり、Xはメチレン
、イオウまたは酸素である) (式中、 Rts + Rzot Mast R221
R四+ R24+ R251R26*1%27およびR
2Hは、−t′れぞれ独立に水素、炭素数1〜8のアル
キル基またはハロゲン原子である)ならひに (3)式〔IV〕で表わされる芳香族アミノ化合物)R
37 (式中+ R29HR3G+ R3++ R321Jも
33およびR34は。
水素、炭素数1〜8のアルキル基、シアン基、炭素数1
〜8のアルコキシカルボニル基およびアリ−ル基から選
ばれかつ&91 R3Q+ R3++ FLsxt R
13およびR34の少なくとも1つはシアノ基、炭素数
1〜8のアルコキシカルボニル基またはアリール基とさ
れt Rn+ Rsoy Rs+y R321Rssお
よびR34の少なくとも1つは水素とされる。Rss 
v R36+ &y + Rsおよび&9は、それぞれ
独立に水素、炭素数1〜8のアルキル基、炭素数1〜8
のアルコキシ基またはハロゲン原子である)を含有して
なる光重合性組成物に関する。
本発明において用いられる芳香族ケトン化合物は上記の
式(1)、  (IDまたは〔■〕で表わされるが。
例えば式〔■〕で表わされる芳香族ケトン化合物として
はベンゾフェノン、3−メチルベンゾフェノン。
3.3′−ジメチルベンゾフェノン、3−クロロベンゾ
フェノン、3.3’−ジクロロベンゾフェノン、1−イ
ンブロビルペンゾフエノン、3−ブロモベンゾフェノン
等があげられ式〔■〕で表わされる芳香族ケトン化合物
としては、チオキサントン、2−メチルチオキサントン
、2−イソプロピルチオキサントン、2−エチルチオキ
サントン、2−クロロチオキサントン、2.4−ジメチ
ルチオキサントン。
2.4−ジイソプロピルチオキサントン、2−t−ブチ
ルチオキサントン等があげられ2式〔■〕で表わされる
芳香族ケトン化合物としては、ベンズアンスロン、1−
メチルベンズアンスロン、4−メチルベンズアンスロン
、8−メチルベンズアンスロン、1−クロロベンズアン
スロン、5−ブロモベンズアンスロン、  3.8−ジ
エチルベンズアンスロン#  1,2.3− ) 1’
ロロベンズアンスロン等カあげられる。式[11]で表
わされ、Xがイオウであるチオキサントン化合物を用い
ることが、感度の点で好ましい。
本発明において用いられる芳香族アミノ化合物は、上記
の式〔IV〕で表わされるが、この化合物としてはN−
シアノメチル−N−エチルアニリン、N−シアノメチル
ーN−エチル−(p−クロロ)アニリン、N−シアノメ
チル−N−エチル−(m−ブロモ)アニリン、N、N−
ビスシアノメチルアニリン。
N、N−ビスシアンメチル−(p−メトキシ)アニリン
、N、N−ビスシアノメチル−(p−エチル)アニリン
、N−エチル−N−フェニルグリシンエチルエステル、
N−イソプロピル−N−(p−メチル)フェニルクリシ
ンエチルエステル、N−t−フチルー N −(m−メ
トキシ)フェニルクリシンメチルエステル、N−ベンジ
ル−N−エチルアニリン、N−ベンジル−N−エチル−
(p−クロロ)アニリン、N−ベンジル−N−シアノメ
チルアニリン、N−エチル−N−(p−クロロ)フェニ
ルメチルアニリン、N−エチル−N−(p−ブロモ)フ
ェニルメチル−(p−ブロモ)アニリン。
N−シアノメチル−N−フェニルクリシンエチルエステ
ル、N−ベンジル−N−フェニルグリシンエチルエステ
ル、N、N−ジベンジルアニリン、N−ベンジル−N−
シアノメチル−(p−10口)アニリン、N−シアノメ
チル−N−ip−クロロンフェニルメチル−(p−クロ
ロ)アニリン、N、N−ビス(メトキシカルボニル)ア
ニリン等があげられる。
上記の式〔i〕、  〔n〕−tたけ(III)で表わ
される芳香族ケトン化合物100重量部に対して、上記
の13一 式〔IV〕で表わされる芳香族アミノ化合物を0.01
〜10重量部の範囲で用いることが好ましい。
第二の発明においては、常圧において100’C以上の
沸点を有する付加重合性化合物が用いられるが常圧にお
いて沸点が100 ℃より低いようなものでは系内に含
有する溶剤を乾燥等によって除去する際丑たは活性光線
を照射する際該付加重合性化合物が揮散して特性上およ
び作業性上好ましくないからである。また該付加重合性
化合物は光開始剤等と均一な組成物にするために、用い
られる有機溶剤に可溶なものが好ましい。
有機溶剤は1例えばア七トン、メチルエチルケトン、ト
ルエン、クロロホルム、メタノール、エタノール、1.
.1.1−)リクロロエタン等が用いられる。伺加重合
性化合物としては多価アルコールとα、β−不飽和カル
ボン酸とを縮合して得られるもの9例えばジエチレング
リコールジ(メタ)アクリレ・−ト(ジアクリレート址
たはジメタアクリレートの意味、以下同じ)、トリエチ
レングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレ
ングリコールジ(メタコアクリレート、トリメチロール
プロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロ
パントリ(メタ)アクリレート、1.3−プロパンジオ
ールジ(メタ)アクリレート、1.3−ブタンジオール
ジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ
(メタ)アクリレート。
ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、
ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、
2.2’−ビス(4−アクリロキシジェトキシフェニル
jプロパン等、グリシジル基含有化合物にα、β−不飽
和カルボン酸を付加して得られるもの9例えばトリメチ
ロールプロパントリグリシジルエーテルトリ(メタ)ア
クリレート、ビスフェノールAジグリシジルエーテルジ
(メタ)アクリレート等、不飽和アミド例えばメチレン
ビスアクリルアミド、エチレンビスアクリルアミド。
1.6−へキサメチレンビスアクリルアミド等、ビニル
エステル例えばジビニルサクシネート、ジビニルアジヘ
ート、ジビニルフタレート、ジピニルテレンタレート、
ジビニルベンゼン−1,3−ジスルホネートなどがあげ
られる。
付加重合性化合物は、1種または2種以上が用いられる
光重合性組成物とする場合には、必要に応じて1種以上
の高分子量有機重合体を含有しても良い。
該高分子量有機重合体は熱可塑性であり2分子量は、1
0,000〜700. OOOを有するものが好ましい
。例えば次のものが用いられる。
(A)  コポリエステル 多価アルコール、例えばジエチレングリコール。
トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール、
トリメチロールプロパン、ネオペンチルグリコール等と
多価カルボン酸9例えばテレフタル酸、イソフタル酸、
セバシン酸、アジピン酸等とカラ!4!造したコポリエ
ステル (Bl  ビニルポリマ メタクリル酸、アクリル酸、メタクリル酸またはアクリ
ル酸のアルキルエステル例エバメチル(メタ)アクリレ
ート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)ア
クリレート、β−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレー
ト、スチレン、ビニルトルエン、ビニルクロライド、ビ
ニルブチラール等のビニル単量体のホモポリマまたはコ
ポリfc)  ポリホルムアルデヒド fD)  ポリウレタン (El  ポリカーホ゛ネート (F)ナイロンまたはポリアミド fG)  セルロースエステル例工ばメチルセルロース
エチルセルロース 光重合性組成物に高分子量有機重合体を加えることによ
って銅張積層板等の基体への接着性、耐薬品性、フィル
ム性等の特性を改良することができる。この高分子量有
機重合体は該高分子量有機重合体と前記の付加重合性化
合物の合計重音を基準として80重量−以下の範囲とさ
れる。80重量%を越えるような量を含有する場合は光
硬化が十分に進まず好ましくない。
上記の付加重合性化合物10000重量高分子量有機重
合体を用いる場合には上記の付加重合性化合物と高分子
量有機重合体のa量100重量部に対して、上記の式[
1〕、 (10または[I[l〕で表わされる芳香族ケ
トン化合物を0.1〜5重量部、上記の式〔IV〕で示
される芳香族アミノ化合物を0.1〜10重量部の範囲
で用いることが好ましい。
本発明になる光重合性組成物は、捷だ必要に応じて染料
、顔料等の着色物質を含有してもよい。
着色物質は公知のものが用いられ2例えばフクシン、ク
リスタルバイオレット、メチルオレンジ。
ナイルブル−2B、  ビクトリアピュアブルー、マラ
カイトグリーン、ナイトグリーンB、スビロンブルー等
がある。
他に本発明になる光重合性組成物は保存時の安定性を高
めるためにラジカル重合禁止剤またはラジカル重合抑制
剤を含有してもよい。このようなものとしてはp−メト
キシフェノール、ハイドロキノン、ピロガロール、ナス
チルアミノ、フェノチアジン、ピリジン、ニトロベンゼ
ン、アリールフォスファイト等がある。
他に本発明になる光重合性組成物は光重合性組放物に用
いることが知られている他の添加物9例えば可塑剤、接
着促進剤等の添加物を含有してもよい。
本発明になる光重合性組成物は、ポリエチレンテレフタ
レートフィルム等の支持体上に塗布して感光性フィルム
として、印刷刷版を製造したり。
エツチング又はメッキにより回路を形成するためのホト
レジストとして使用できる。使用される活性光線源は2
50 nm〜550 nmの波長の活性光線を発生する
ものが用いられる。
このような光源としてはカーボンアーク灯、水銀灯、キ
セノンアーク灯、アルゴングローランプ。
アルゴンイオンレーザ−等がある。支持体としてはポリ
エチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチ
レンテレフタレートフィルム等の有機重合体フィルム、
銅板、アルミニューム板、鉄板等の金属板、銅はくを表
面に張った絶縁板(ガラスエポキシ基材9紙エポキシ基
材9紙フェノール基材等)などが用いられる。
(実施例) 本発明の詳細な説明する。ここで9部2%は重量部2重
量%を示す。
実施例 (1)光重合組成物の調整 アクリルポリマ(メタクリル酸/メチルメタクリレート
/ブチルメタクリレート/2−エチルへキシルアクリレ
ート−23151/6/20゜重量部比の共重合体9重
量平均分子量約90.000+           
65部(ただし、37.3%エチルセロソルブ溶液)テ
トラエチレングリコールジアクリレート35部アンチ−
ジーW−500(川口化学社製、2.2’フエノール)
)          ☆母連部光重合開始剤(表1に
示した) 塗工溶剤としてメチルエチルケトンとメタノールとの等
量混合物を加えて不揮発分40%に調整した。
上記の材料を攪拌溶解し、23μm厚のポリエチレンテ
レフタレートフィルム(東し■社s、商品名「ルミラー
」)上にバーコーターを用いて塗布し100℃熱風対流
式乾燥機で約3分間乾燥して光重合性エレメントを得た
。乾燥した光重合性組成物層の厚さは40μmであった
次にゴムロールで加圧・加熱して積層するラミネーター
を用いて清浄な表面を有する1、 6 wnn厚のガラ
スエポキシ銅張積層板上に光重合性組成物層と銅面が接
するように光重合性エレメントを積層した。
積層したサンプルのポリエチレンテレフタレートフィル
ム上にステップタブレット(犬日本スクリーン■製、商
標グレースケール、光学濃度段差0.15.最小光学濃
度0.05.最大光学濃度3.05゜21段差のネガフ
ィルム)を密着し、3KWの超高圧水銀灯(■オーク製
作新製、商標HMW−201B)で100秒間露光を行
なった。■オーク製作所「紫外線照度計UV−MOIJ
で350 nmに分光感度極大を有するセンサを使用し
て測定した露光量は5.5 mW/cm”であった。そ
の後ポリエチレンテレフタレートフィルムを除去し30
℃の2%Na2CO3水溶液中に40秒間揺動浸漬する
ことによって未硬化部分を溶出させステップタブレット
の段数を光重合性組成物の感度とした(段数が多い程感
度が高い)。表1に感度の比較を示す。
以下全白 (発明の効果) 以上の実施例で示したとおり1本発明になる光開始剤を
用いた光重合性組成物は、紫外光に対し高い感度を有す
るものである。
代理人 弁用(± 若 林 邦 彦  。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、(1)下記式〔 I 〕、〔II〕または〔III〕で表わ
    される芳香族ケトン化合物 ▲数式、化学式、表等があります▼〔 I 〕 (式中、R_1、R_2、R_3、R_4、R_5、R
    _6、R_7、R_8、R_9およびR_1_0は、そ
    れぞれ独立に水素、炭素数1〜8のアルキル基またはハ
    ロゲン原子である)▲数式、化学式、表等があります▼
    〔II〕 式中、R_1_1、R_1_2、R_1_3、R_1_
    4、R_1_5、R_1_6、R_1_7およびR_1
    _8は、それぞれ独立に水素、炭素数1〜8のアルキル
    基またはハロゲン原子であり、Xはメチレン、イオウま
    たは酸素である) ▲数式、化学式、表等があります▼〔III〕 (式中、R_1_9、R_2_0、R_2_1、R_2
    _2、R_2_3、R_2_4、R_2_5、R_2_
    6、R_2_7およびR_2_8は、それぞれ独立に水
    素、炭素数1〜8のアルキル基またはハロゲン原子であ
    る)ならびに (2)式〔IV〕で表わされる芳香族アミノ化合物▲数式
    、化学式、表等があります▼〔IV〕 (式中、R_2_9、R_3_0、R_3_1、R_3
    _2、R_3_3およびR_3_4は、水素、炭素数1
    〜8のアルキル基、シアノ基、炭素数1〜8のアルコキ
    シカルボニル基およびアリール基から選ばれかつR_2
    _9、R_3_0、R_3_1、R_3_2、R_3_
    3およびR_3_4の少なくとも1つはシアノ基、炭素
    数1〜8のアルコキシカルボニル基またはアリール基と
    され、R_2_9、R_3_0、R_3_1、R_3_
    2、R_3_3およびR_3_4の少なくとも1つは水
    素とされる。R_3_5、R_3_6、R_3_7、R
    _3_8およびR_3_9は、それぞれ独立に水素、炭
    素数1〜8のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基
    またはハロゲン原子である)からなる光開始剤。 2、(2)の芳香族ケトン化合物が式〔II〕で表わされ
    、Xがイオウであるチオキサントン化合物である特許請
    求の範囲第1項記載の光開始剤。 3、(1)常圧において100℃以上の沸点を有する付
    加重合性化合物 (2)下記式〔 I 〕、〔II〕または〔III〕で表わされ
    る芳香族ケトン化合物 ▲数式、化学式、表等があります▼〔 I 〕 (式中、R_1、R_2、R_3、R_4、R_5、R
    _6、R_7、R_8、R_9およびR_1_0は、そ
    れぞれ独立に水素、炭素数1〜8のアルキル基またはハ
    ロゲン原子である)▲数式、化学式、表等があります▼
    〔II〕 (式中、R_1_1、R_1_2、R_1_3、R_1
    _4、R_1_5、R_1_6、R_1_7およびR_
    1_8は、それぞれ独立に水素、炭素数1〜8のアルキ
    ル基またはハロゲン原子であり、Xはメチレン、イオウ
    または酸素である) ▲数式、化学式、表等があります▼〔III〕 (式中、R_1_9、R_2_0、R_2_1、R_2
    _2、R_2_3、R_2_4、R_2_5、R_2_
    6、R_2_7およびR_2_8は、それぞれ独立に水
    素、炭素数1〜8のアルキル基またはハロゲン原子であ
    る)ならびに (3)式〔IV〕で表わされる芳香族アミノ化合物▲数式
    、化学式、表等があります▼〔IV〕 (式中、R_2_9、R_3_0、R_3_1、R_3
    _2、R_3_3およびR_3_4は、水素、炭素数1
    〜8のアルキル基、シアノ基、炭素数1〜8のアルコキ
    シカルボニル基およびアリール基から選ばれかつR_2
    _9、R_3_0、R_3_1、R_3_2、R_3_
    3およびR_3_4の少なくとも1つはシアノ基、炭素
    数1〜8のアルコキシカルボニル基またはアリール基と
    され、R_2_9、R_3_0、R_3_1、R_3_
    2、R_3_3およびR_3_4の少なくとも1つは水
    素とされる。R_3_5、R_3_6、R_3_7、R
    _3_8およびR_3_9は、それぞれ独立に水素、炭
    素数1〜8のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基
    またはハロゲン原子である)を含有してなる光重合性組
    成物。
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Cited By (5)

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