JPS63121447U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63121447U JPS63121447U JP1259887U JP1259887U JPS63121447U JP S63121447 U JPS63121447 U JP S63121447U JP 1259887 U JP1259887 U JP 1259887U JP 1259887 U JP1259887 U JP 1259887U JP S63121447 U JPS63121447 U JP S63121447U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating film
- semiconductor device
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- scope
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- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Description
第1図a乃至d、と第2図a乃至cはそれぞれ
本考案の実施例を説明するために示した断面図で
ある。 1……半導体基板、2……絶縁膜、3……電極
層、4,5……層間絶縁膜、4′,5′……スル
ーホール、5″……ピンホール、4″,4……
クラツク、6,6′……第2の電極層。
本考案の実施例を説明するために示した断面図で
ある。 1……半導体基板、2……絶縁膜、3……電極
層、4,5……層間絶縁膜、4′,5′……スル
ーホール、5″……ピンホール、4″,4……
クラツク、6,6′……第2の電極層。
Claims (1)
- 多層配線構造を有する半導体装置において、層
間絶縁膜を無機絶縁層と有機樹脂層とで構成した
ことを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1259887U JPS63121447U (ja) | 1987-01-29 | 1987-01-29 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1259887U JPS63121447U (ja) | 1987-01-29 | 1987-01-29 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63121447U true JPS63121447U (ja) | 1988-08-05 |
Family
ID=30800878
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1259887U Pending JPS63121447U (ja) | 1987-01-29 | 1987-01-29 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63121447U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03251457A (ja) * | 1990-02-28 | 1991-11-08 | Canon Inc | 記録装置及び記録ヘッド |
-
1987
- 1987-01-29 JP JP1259887U patent/JPS63121447U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03251457A (ja) * | 1990-02-28 | 1991-11-08 | Canon Inc | 記録装置及び記録ヘッド |