JPS59138255U - ジヨセフソン接合装置 - Google Patents
ジヨセフソン接合装置Info
- Publication number
- JPS59138255U JPS59138255U JP3160883U JP3160883U JPS59138255U JP S59138255 U JPS59138255 U JP S59138255U JP 3160883 U JP3160883 U JP 3160883U JP 3160883 U JP3160883 U JP 3160883U JP S59138255 U JPS59138255 U JP S59138255U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lower electrode
- film
- interlayer insulating
- insulating film
- josephson
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は本考案の一実施例のジョセフソン接合装置の断面図
である。 １・・・配線用下部電極、２・・・接合部下部電極、３
・・・バリア層、４・・・接合部上部電極、５・・・層
間絶縁膜、６・・・下部電極表面絶縁膜、７・・・配線
用上部電極、８・・・基板。
である。 １・・・配線用下部電極、２・・・接合部下部電極、３
・・・バリア層、４・・・接合部上部電極、５・・・層
間絶縁膜、６・・・下部電極表面絶縁膜、７・・・配線
用上部電極、８・・・基板。
Claims (1)
- 下部電極、トンネル障壁層、上部電極、および上部電極
と下部電極間を絶縁する層間絶縁膜からなるジョセフソ
ン接合装置において、下部電極の一部をなす超電導膜の
一部分上に２μｍの寸法内で膜面方向に等しい寸法を有
する下部電極の一部、障壁層および上部電極の一部が構
成され、かつ、この三層構造部分以下の下部超電導膜上
に、三層構造に対して膜面方向に２μｍ以上近接した位
置まで、厚さ５Ｑｎｍ以上の層間絶縁膜が配置され、か
つ該層間絶縁膜によって被膜されていない下部電極部分
が自身の酸化膜によって絶縁された構造を有することを
特徴とするジョセフソン接合装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3160883U JPS59138255U (ja) | 1983-03-07 | 1983-03-07 | ジヨセフソン接合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3160883U JPS59138255U (ja) | 1983-03-07 | 1983-03-07 | ジヨセフソン接合装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59138255U true JPS59138255U (ja) | 1984-09-14 |
Family
ID=30162450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3160883U Pending JPS59138255U (ja) | 1983-03-07 | 1983-03-07 | ジヨセフソン接合装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59138255U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6216585A (ja) * | 1985-07-16 | 1987-01-24 | Agency Of Ind Science & Technol | 超伝導デバイス |
-
1983
- 1983-03-07 JP JP3160883U patent/JPS59138255U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6216585A (ja) * | 1985-07-16 | 1987-01-24 | Agency Of Ind Science & Technol | 超伝導デバイス |
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