JPS6071153U - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
- Publication number
- JPS6071153U JPS6071153U JP16212083U JP16212083U JPS6071153U JP S6071153 U JPS6071153 U JP S6071153U JP 16212083 U JP16212083 U JP 16212083U JP 16212083 U JP16212083 U JP 16212083U JP S6071153 U JPS6071153 U JP S6071153U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor
- window
- conductivity type
- semiconductor equipment
- polysilicon layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Bipolar Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は拡散により形成した抵抗をトランジスタのエミ
ッタ及びコレクタに電極により接続した従来の半導体装
置の断面図、第2図は第1図の半導体装置の等価回路図
、第3図はポリシリコンを抵抗に利用した別の従来の半
導体装置の断面図、第4図は本考案の一実施例の半導体
装置の断面図、第5a図〜第51図は第4図に示した半
導体装置の製造方法の工程を示す図である。 31・・・・・・半導体基板、32・・・・・・コレク
タ埋込領域、33,34・・・・・・埋込領域、35・
・・・・・エピタキシャル層、36・・・・・・分離領
域、37・・・・・・コレクタ引き出し領域、38.3
9・・・・・・抵抗接続用領域、 40・・・・・・
ベース領域、41・・・・・・エミッタ領域、42・・
・・・・酸化被膜、43,44・・・・・・ポリシリコ
ン層、45.46・・・・・・絶縁被膜、47・・・・
・・窓、48・・・・・・電極。 /33 0−一二 面讃〒〒ニ]す■〒二〒〒イー31
ッタ及びコレクタに電極により接続した従来の半導体装
置の断面図、第2図は第1図の半導体装置の等価回路図
、第3図はポリシリコンを抵抗に利用した別の従来の半
導体装置の断面図、第4図は本考案の一実施例の半導体
装置の断面図、第5a図〜第51図は第4図に示した半
導体装置の製造方法の工程を示す図である。 31・・・・・・半導体基板、32・・・・・・コレク
タ埋込領域、33,34・・・・・・埋込領域、35・
・・・・・エピタキシャル層、36・・・・・・分離領
域、37・・・・・・コレクタ引き出し領域、38.3
9・・・・・・抵抗接続用領域、 40・・・・・・
ベース領域、41・・・・・・エミッタ領域、42・・
・・・・酸化被膜、43,44・・・・・・ポリシリコ
ン層、45.46・・・・・・絶縁被膜、47・・・・
・・窓、48・・・・・・電極。 /33 0−一二 面讃〒〒ニ]す■〒二〒〒イー31
Claims (1)
- 半導体基板に相互に離れて形成された少なくとも2箇所
の同一の導電型の半導体部分と、該名手導体部分の一方
から他方にかけてその上面を覆うよう形晟された絶縁被
膜と、該絶縁被膜における上記各半導体部分の上面に形
成された各々の窓と、該窓の一方から他方にかけて形成
された上記半導体部分と同一の導電型の抵抗としてのポ
リン、 リコン層と、該ポリシリコン層を覆う別の絶
縁被膜とを具備することを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16212083U JPS6071153U (ja) | 1983-10-20 | 1983-10-20 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16212083U JPS6071153U (ja) | 1983-10-20 | 1983-10-20 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6071153U true JPS6071153U (ja) | 1985-05-20 |
Family
ID=30356097
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16212083U Pending JPS6071153U (ja) | 1983-10-20 | 1983-10-20 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6071153U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009038100A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5448182A (en) * | 1977-09-22 | 1979-04-16 | Nec Corp | Semiconductor integrated circuit device |
JPS54108588A (en) * | 1978-02-14 | 1979-08-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Structure of large-scale integrated circuit chip |
-
1983
- 1983-10-20 JP JP16212083U patent/JPS6071153U/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5448182A (en) * | 1977-09-22 | 1979-04-16 | Nec Corp | Semiconductor integrated circuit device |
JPS54108588A (en) * | 1978-02-14 | 1979-08-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Structure of large-scale integrated circuit chip |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009038100A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置 |
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