JPS583039U - 半導体回路装置の評価部構造 - Google Patents
半導体回路装置の評価部構造Info
- Publication number
- JPS583039U JPS583039U JP9627481U JP9627481U JPS583039U JP S583039 U JPS583039 U JP S583039U JP 9627481 U JP9627481 U JP 9627481U JP 9627481 U JP9627481 U JP 9627481U JP S583039 U JPS583039 U JP S583039U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- channel portion
- semiconductor layer
- evaluation section
- conductivity type
- circuit device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１，２図は従来の評価部を示す断面図、第３゜４図は
本考案の一実施例の評価部の平面図、断面図、第５図は
拡散の深さとチャネル部の飽和電流との関係を示すグラ
フである。 図中、１は半導体基板、２は半導体層（エピタキシャル
層）、８は分離拡散領域、１３はチャネル部、１４．１
５は導通部であるみ
本考案の一実施例の評価部の平面図、断面図、第５図は
拡散の深さとチャネル部の飽和電流との関係を示すグラ
フである。 図中、１は半導体基板、２は半導体層（エピタキシャル
層）、８は分離拡散領域、１３はチャネル部、１４．１
５は導通部であるみ
Claims (1)
- 一導電型の半導体基板上に設けられた反対導電型の半導
体層と該半導体層の表面から拡散される一導電型の分離
拡散領埴生を有してなる半導体層、路装置において、該
分離拡散領域の拡散深さを評価する評価部の構造が、前
記半導体基板と隣接して設けられた分離拡散領域とで囲
まれる該半導体層のチャネル部と、該チャネル部の両端
に導通ずる導通部とを有し、該チャネル部の断面積によ
る該チャネル部両端間め抵抗値を有し、該チャネル部の
断面積による該チャネル部両端間め抵抗値を評価するよ
うにしてなることを特徴とする半導体回路装置の評価部
構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9627481U JPS583039U (ja) | 1981-06-29 | 1981-06-29 | 半導体回路装置の評価部構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9627481U JPS583039U (ja) | 1981-06-29 | 1981-06-29 | 半導体回路装置の評価部構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS583039U true JPS583039U (ja) | 1983-01-10 |
Family
ID=29891145
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9627481U Pending JPS583039U (ja) | 1981-06-29 | 1981-06-29 | 半導体回路装置の評価部構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS583039U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6059098U (ja) * | 1983-09-28 | 1985-04-24 | 新日本製鐵株式会社 | 溶射補修装置におけるパイプ送出用ガイドロ−ラ装置 |
| JPS6148927A (ja) * | 1984-08-16 | 1986-03-10 | Matsushita Electronics Corp | 半導体装置 |
| JPS61124897U (ja) * | 1985-01-23 | 1986-08-06 |
-
1981
- 1981-06-29 JP JP9627481U patent/JPS583039U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6059098U (ja) * | 1983-09-28 | 1985-04-24 | 新日本製鐵株式会社 | 溶射補修装置におけるパイプ送出用ガイドロ−ラ装置 |
| JPS6146398Y2 (ja) * | 1983-09-28 | 1986-12-26 | ||
| JPS6148927A (ja) * | 1984-08-16 | 1986-03-10 | Matsushita Electronics Corp | 半導体装置 |
| JPS61124897U (ja) * | 1985-01-23 | 1986-08-06 |
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