JPS63178336U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63178336U JPS63178336U JP6910787U JP6910787U JPS63178336U JP S63178336 U JPS63178336 U JP S63178336U JP 6910787 U JP6910787 U JP 6910787U JP 6910787 U JP6910787 U JP 6910787U JP S63178336 U JPS63178336 U JP S63178336U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- integrated circuit
- semiconductor integrated
- coating film
- line width
- insulating coating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例による開口部を上層の
配線金属に設けた様子を示し、第１図ａは平面図
、第１図ｂは断面図、第２図は密着不良の発生し
た部分を示す断面図、第３図は密着不良発生率の
上層配線金属の線幅依存性を示すグラフである。 １１……開口部、１２……配線金属、１３……
絶縁性塗布膜。
配線金属に設けた様子を示し、第１図ａは平面図
、第１図ｂは断面図、第２図は密着不良の発生し
た部分を示す断面図、第３図は密着不良発生率の
上層配線金属の線幅依存性を示すグラフである。 １１……開口部、１２……配線金属、１３……
絶縁性塗布膜。
Claims (1)
- 多層配線間の絶縁のための絶縁性塗布膜を介し
て多層に配線される配線金属を有する半導体集積
回路において、前記絶縁性塗布膜上に形成される
配線金属の線幅が１０μｍ以上となる部分に通気
用の開口部を設け実効的な線幅を１０μｍ以下と
することを特徴とする多層配線構造を有する半導
体集積回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6910787U JPS63178336U (ja) | 1987-05-09 | 1987-05-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6910787U JPS63178336U (ja) | 1987-05-09 | 1987-05-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63178336U true JPS63178336U (ja) | 1988-11-18 |
Family
ID=30909526
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6910787U Pending JPS63178336U (ja) | 1987-05-09 | 1987-05-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63178336U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05234998A (ja) * | 1992-02-24 | 1993-09-10 | Nec Corp | 半導体装置 |
-
1987
- 1987-05-09 JP JP6910787U patent/JPS63178336U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05234998A (ja) * | 1992-02-24 | 1993-09-10 | Nec Corp | 半導体装置 |