JPS58444U - 半導体装置の多層配線構造 - Google Patents
半導体装置の多層配線構造Info
- Publication number
- JPS58444U JPS58444U JP9487981U JP9487981U JPS58444U JP S58444 U JPS58444 U JP S58444U JP 9487981 U JP9487981 U JP 9487981U JP 9487981 U JP9487981 U JP 9487981U JP S58444 U JPS58444 U JP S58444U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- multilayer wiring
- wiring structure
- semiconductor devices
- crosses
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図および第２図は本考案にカミる一実施例の平面図
と断面図、第３図は同じく他の一実施例の断面図である
。 図中、１，１′は第１層の配線層、２．２′は第２層、
３．３′は第３層、４は絶縁膜、１０は半導体基板を示
す。
と断面図、第３図は同じく他の一実施例の断面図である
。 図中、１，１′は第１層の配線層、２．２′は第２層、
３．３′は第３層、４は絶縁膜、１０は半導体基板を示
す。
Claims (1)
- 半導体素子上面に設ける多層配線として、下層の第１層
に対し、上層の第２層は直角に交叉する配線層とし、更
に上層の第３層は第２層に対して直角に交叉し、且つ第
１層に対して平行となるマトリックス状の配線構造にお
いて、第３層を第１層相互間の間隙の中心位置に設ける
ことを特徴とする半導体装置の多層配線構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9487981U JPS58444U (ja) | 1981-06-25 | 1981-06-25 | 半導体装置の多層配線構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9487981U JPS58444U (ja) | 1981-06-25 | 1981-06-25 | 半導体装置の多層配線構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58444U true JPS58444U (ja) | 1983-01-05 |
Family
ID=29889797
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9487981U Pending JPS58444U (ja) | 1981-06-25 | 1981-06-25 | 半導体装置の多層配線構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58444U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5778154A (en) * | 1981-04-15 | 1982-05-15 | Hitachi Ltd | Semiconductor device with multilayer channel |
-
1981
- 1981-06-25 JP JP9487981U patent/JPS58444U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5778154A (en) * | 1981-04-15 | 1982-05-15 | Hitachi Ltd | Semiconductor device with multilayer channel |
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