JPS6115755U - 抵抗体内蔵半導体装置 - Google Patents
抵抗体内蔵半導体装置Info
- Publication number
- JPS6115755U JPS6115755U JP10038884U JP10038884U JPS6115755U JP S6115755 U JPS6115755 U JP S6115755U JP 10038884 U JP10038884 U JP 10038884U JP 10038884 U JP10038884 U JP 10038884U JP S6115755 U JPS6115755 U JP S6115755U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistor
- insulating film
- built
- semiconductor device
- wiring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図イ及び口は本考案を説明する断面図、第２図は従
来例を説明する断面図である。 主な図面の説明、１は半導体基板、５は回路素子、６は
酸化膜、７ほポリシリコンより成る抵抗体、８はポリシ
リコンより成る保護膜、９は蒸着アルミニウムより成る
配線である。
来例を説明する断面図である。 主な図面の説明、１は半導体基板、５は回路素子、６は
酸化膜、７ほポリシリコンより成る抵抗体、８はポリシ
リコンより成る保護膜、９は蒸着アルミニウムより成る
配線である。
Claims (1)
- 一導電型の半導体基板と該基板に形成された回路素子と
前記基板表面を被覆する絶縁膜と該絶縁膜上に設けた抵
抗体と前記絶縁膜上に設けた配線とを具備する抵抗体内
蔵半導体装置において、配線下で少なくとも絶縁膜の特
に薄い部分に前記抵抗体の材料よりなる保護膜を付着さ
せて前記配線と絶縁膜とを離間して配置することを特徴
とする抵抗体内蔵半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10038884U JPS6115755U (ja) | 1984-07-03 | 1984-07-03 | 抵抗体内蔵半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10038884U JPS6115755U (ja) | 1984-07-03 | 1984-07-03 | 抵抗体内蔵半導体装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6115755U true JPS6115755U (ja) | 1986-01-29 |
| JPH0346502Y2 JPH0346502Y2 (ja) | 1991-10-01 |
Family
ID=30659847
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10038884U Granted JPS6115755U (ja) | 1984-07-03 | 1984-07-03 | 抵抗体内蔵半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6115755U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02102995U (ja) * | 1989-02-06 | 1990-08-16 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5951549A (ja) * | 1982-09-17 | 1984-03-26 | Nec Corp | 集積回路装置の製造方法 |
-
1984
- 1984-07-03 JP JP10038884U patent/JPS6115755U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5951549A (ja) * | 1982-09-17 | 1984-03-26 | Nec Corp | 集積回路装置の製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02102995U (ja) * | 1989-02-06 | 1990-08-16 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0346502Y2 (ja) | 1991-10-01 |
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