JPS6429825U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6429825U JPS6429825U JP12419987U JP12419987U JPS6429825U JP S6429825 U JPS6429825 U JP S6429825U JP 12419987 U JP12419987 U JP 12419987U JP 12419987 U JP12419987 U JP 12419987U JP S6429825 U JPS6429825 U JP S6429825U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- protective film
- wiring layer
- insulating film
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Formation Of Insulating Films (AREA)
- Local Oxidation Of Silicon (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例説明図、第２図は本
考案の一実施例製造工程図、第３図は本考案の他
の実施例説明図、第４図は本考案の他の実施例の
製造工程図、第５図は従来例説明図である。 １……半導体基板、２……配線層、３……ＳＯ
Ｇ膜、４……ＰＳＧ膜、５……プラズマＣＶＤ酸
化膜。
考案の一実施例製造工程図、第３図は本考案の他
の実施例説明図、第４図は本考案の他の実施例の
製造工程図、第５図は従来例説明図である。 １……半導体基板、２……配線層、３……ＳＯ
Ｇ膜、４……ＰＳＧ膜、５……プラズマＣＶＤ酸
化膜。
Claims (1)
- 最上配線層上部に保護膜を形成した半導体装置
において、最上配線層上に、主として配線層間に
形成された第１の絶縁膜とその上に形成した他の
絶縁膜により構成した絶縁保護膜層を設けたこと
を特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12419987U JPS6429825U (ja) | 1987-08-13 | 1987-08-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12419987U JPS6429825U (ja) | 1987-08-13 | 1987-08-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6429825U true JPS6429825U (ja) | 1989-02-22 |
Family
ID=31373721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12419987U Pending JPS6429825U (ja) | 1987-08-13 | 1987-08-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6429825U (ja) |
-
1987
- 1987-08-13 JP JP12419987U patent/JPS6429825U/ja active Pending