JPH01156566U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01156566U JPH01156566U JP5236888U JP5236888U JPH01156566U JP H01156566 U JPH01156566 U JP H01156566U JP 5236888 U JP5236888 U JP 5236888U JP 5236888 U JP5236888 U JP 5236888U JP H01156566 U JPH01156566 U JP H01156566U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating film
- gate electrode
- semiconductor substrate
- film
- film formed
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
Description
第１図乃至第３図は本考案に係り、第１図は一
実施例を示す断面図、第２図は保護膜の形成方法
を説明するための断面図、第３図は層間絶縁膜が
形成された断面図である。第４図は従来の装置の
断面図、第５図は従来の装置に層間絶縁膜が形成
された断面図である。 １……Ｓｉ基板、２……絶縁膜、３……ゲート
電極、４，４′……層間絶縁膜、１０′……Ｓｉ
Ｎ膜、１０……保護膜。
実施例を示す断面図、第２図は保護膜の形成方法
を説明するための断面図、第３図は層間絶縁膜が
形成された断面図である。第４図は従来の装置の
断面図、第５図は従来の装置に層間絶縁膜が形成
された断面図である。 １……Ｓｉ基板、２……絶縁膜、３……ゲート
電極、４，４′……層間絶縁膜、１０′……Ｓｉ
Ｎ膜、１０……保護膜。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 半導体基板と、この半導体基板の一主面に
形成された絶縁膜と、この絶縁膜上に積層形成さ
れたゲート電極と、上記絶縁膜とゲート電極との
界面を被覆し、上記ゲート電極に隣接して形成さ
れた保護膜と、を備え、上記絶縁膜とゲート電極
との界面に於ける絶縁膜の酸化を防止したことを
特徴とする半導体装置。 (2) 上記絶縁膜を酸化膜で構成したことを特徴
とする請求項第１項記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5236888U JPH01156566U (ja) | 1988-04-19 | 1988-04-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5236888U JPH01156566U (ja) | 1988-04-19 | 1988-04-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01156566U true JPH01156566U (ja) | 1989-10-27 |
Family
ID=31278369
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5236888U Pending JPH01156566U (ja) | 1988-04-19 | 1988-04-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01156566U (ja) |
-
1988
- 1988-04-19 JP JP5236888U patent/JPH01156566U/ja active Pending