JPS63106997A - メガビツト・メモリモジユールのテスト方法および装置 - Google Patents
メガビツト・メモリモジユールのテスト方法および装置Info
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- JPS63106997A JPS63106997A JP62253452A JP25345287A JPS63106997A JP S63106997 A JPS63106997 A JP S63106997A JP 62253452 A JP62253452 A JP 62253452A JP 25345287 A JP25345287 A JP 25345287A JP S63106997 A JPS63106997 A JP S63106997A
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 126
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 230000006870 function Effects 0.000 claims description 6
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- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
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- G11C—STATIC STORES
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- G11C29/04—Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
- G11C29/08—Functional testing, e.g. testing during refresh, power-on self testing [POST] or distributed testing
- G11C29/12—Built-in arrangements for testing, e.g. built-in self testing [BIST] or interconnection details
- G11C29/18—Address generation devices; Devices for accessing memories, e.g. details of addressing circuits
- G11C29/30—Accessing single arrays
- G11C29/34—Accessing multiple bits simultaneously
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F11/00—Error detection; Error correction; Monitoring
- G06F11/22—Detection or location of defective computer hardware by testing during standby operation or during idle time, e.g. start-up testing
- G06F11/26—Functional testing
- G06F11/267—Reconfiguring circuits for testing, e.g. LSSD, partitioning
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、マルチ・ビット・テストモードで任意のテス
トパターンを用いてメガ・ビット世代のメモリモジュー
ルをテストするための方法およびその方法を実施するた
めの装置に関する。
トパターンを用いてメガ・ビット世代のメモリモジュー
ルをテストするための方法およびその方法を実施するた
めの装置に関する。
メガ・ビット世代のメモリモジュールは、テスト時間を
短くするために、メモリモジュールのデータ入力端子に
読込まれたテスト情報がセルアレイの複数のセルに同時
に書取られるマルチ・ビット・テストモードを有してい
る。たとえばIM(ワード)×1 (ビット)に形成さ
れたメモリモジュールは、256KX4.128KX8
,64KX16等と同じようにテストされる。その場合
、与えられたメモリアドレス毎に、4,8.16個等の
セル、一般的にはm個のセルが1ビツト・データを用い
て同時にテストされる。
短くするために、メモリモジュールのデータ入力端子に
読込まれたテスト情報がセルアレイの複数のセルに同時
に書取られるマルチ・ビット・テストモードを有してい
る。たとえばIM(ワード)×1 (ビット)に形成さ
れたメモリモジュールは、256KX4.128KX8
,64KX16等と同じようにテストされる。その場合
、与えられたメモリアドレス毎に、4,8.16個等の
セル、一般的にはm個のセルが1ビツト・データを用い
て同時にテストされる。
それぞれm個のセル内へ実際に書込まれたデータは個々
のメーカのモジュール設計に左右される。
のメーカのモジュール設計に左右される。
書込まれたセルデータは、1つのセルグループの個々の
セルへの、1ビツト・テストモードのm次元関数 f (DE)= (DE) +、、、、、−但し、
DEIE (0,1) によって表された割当てのm次元の答である。この場合
、DEはメガ・ビット・メモリモジュール内へ読込まれ
た1つのデータ情報である。
セルへの、1ビツト・テストモードのm次元関数 f (DE)= (DE) +、、、、、−但し、
DEIE (0,1) によって表された割当てのm次元の答である。この場合
、DEはメガ・ビット・メモリモジュール内へ読込まれ
た1つのデータ情報である。
1つのセルグループのセル内容を読出す際には、逆割当
て f−’ ((DA) +、、、、、、)−DA但し、
DAC(0,1) が行われ、それゆえ、欠陥のないメモリセルの場合には
メモリモジュールのデータ出力端子に原テストデータが
現れる。DAはメガ・ビット・メモリモジュールから読
出された1つのデータ情報である。
て f−’ ((DA) +、、、、、、)−DA但し、
DAC(0,1) が行われ、それゆえ、欠陥のないメモリセルの場合には
メモリモジュールのデータ出力端子に原テストデータが
現れる。DAはメガ・ビット・メモリモジュールから読
出された1つのデータ情報である。
否定テストデータを書込む際には、セルデータは否定さ
れて1つのセルグループのセル内へ書込まれ、それゆえ
全体として先に書込まれているビットパターンに対して
否定ビットパターンがセルグループ内に立つ、これには
次式が適用される。
れて1つのセルグループのセル内へ書込まれ、それゆえ
全体として先に書込まれているビットパターンに対して
否定ビットパターンがセルグループ内に立つ、これには
次式が適用される。
二の場合、foおよびB−1oはモジュール設計によっ
て予め与えられた関数を表す。
て予め与えられた関数を表す。
従って、各メモリモジュールは内部に、モジュール設計
に左右されて従ってメーカに左右されて、テストデータ
を基本として、1つのセルグループの内部に1つの所定
のビットパターンを作り出す1つの書取り関数f (D
E)を有する。ビットパターンはメモリモジュールをテ
ストするためだけに否定され得る。しかしながら、それ
ぞれ自由に使える2つのビットパターンを用いても、メ
モリモジュールはビットパターン感度を充分にテストす
ることができない、欠陥のあるセルの場合には、その周
囲領域が特別なビットパターンを有する場合に初めて、
多くの欠陥が現れる。少なくとも2個のセルの相互関係
に起因するこのような欠陥を検知するために、異なった
テストパターンで動作する多数のトポロジカルテストが
存在する。
に左右されて従ってメーカに左右されて、テストデータ
を基本として、1つのセルグループの内部に1つの所定
のビットパターンを作り出す1つの書取り関数f (D
E)を有する。ビットパターンはメモリモジュールをテ
ストするためだけに否定され得る。しかしながら、それ
ぞれ自由に使える2つのビットパターンを用いても、メ
モリモジュールはビットパターン感度を充分にテストす
ることができない、欠陥のあるセルの場合には、その周
囲領域が特別なビットパターンを有する場合に初めて、
多くの欠陥が現れる。少なくとも2個のセルの相互関係
に起因するこのような欠陥を検知するために、異なった
テストパターンで動作する多数のトポロジカルテストが
存在する。
しかし、このトポロジカルテストは従来のマルチ・ビッ
ト・テストモードにおいては無制限に実施することがで
きなかった。というのは、このために必要なテストパタ
ーンはセルアレイ内において作成することができなかっ
たからである。トポロジカルテストはメガ・ビット・メ
モリモジュールにおいては個別ビットモードでのみ実施
することができる。しかしながら、このことは、テスト
様式とメモリモジュールのメモリ容量とに関係するテス
トサイクル時間が過比例的に高くなるので、好ましくな
い、テスト時間が数百時間になることもある。
ト・テストモードにおいては無制限に実施することがで
きなかった。というのは、このために必要なテストパタ
ーンはセルアレイ内において作成することができなかっ
たからである。トポロジカルテストはメガ・ビット・メ
モリモジュールにおいては個別ビットモードでのみ実施
することができる。しかしながら、このことは、テスト
様式とメモリモジュールのメモリ容量とに関係するテス
トサイクル時間が過比例的に高くなるので、好ましくな
い、テスト時間が数百時間になることもある。
従って、本発明は、メガ・ビット世代のメモリモジュー
ルにおいてマルチ・ビット・テストモードで1つのセル
グループの内部に任意のビットパターンを作成し、それ
によりトボロジカルテストを短時間に行うことができる
ようなメガ・ビット・メモリモジュールのテスト方法お
よびこの方法を実施するための装置を提供することを目
的とする。
ルにおいてマルチ・ビット・テストモードで1つのセル
グループの内部に任意のビットパターンを作成し、それ
によりトボロジカルテストを短時間に行うことができる
ようなメガ・ビット・メモリモジュールのテスト方法お
よびこの方法を実施するための装置を提供することを目
的とする。
このような目的を達成するために、本発明は、メガ・ビ
ット・メモリモジュール内へ個別に読込まれたm個のデ
ータ情報がテストワードレジスタ内において1つのm次
元のテストワードにまとめられ、続いて、テストワード
のビット位置を1つのm次元のセルグループのセルに固
定的に個別に割当てる際、DE−0の場合のテストワー
ドまたはDE=1の場合の否定テストワードがセルアレ
イの1つのセルグループまたは順々に複数のセルグルー
プに書取られることを特徴とする。
ット・メモリモジュール内へ個別に読込まれたm個のデ
ータ情報がテストワードレジスタ内において1つのm次
元のテストワードにまとめられ、続いて、テストワード
のビット位置を1つのm次元のセルグループのセルに固
定的に個別に割当てる際、DE−0の場合のテストワー
ドまたはDE=1の場合の否定テストワードがセルアレ
イの1つのセルグループまたは順々に複数のセルグルー
プに書取られることを特徴とする。
テスト方法を実施するために、メモリモジュール装置は
セルアレイの入力端側に、テストすべきセルグループの
個数に対応するビット幅を備えた少なくとも1つの補助
的なテストワードレジスタを有する。セルアレイの出力
端側には比較ロジック要素が設けられ、この比較ロジッ
ク要素において、セルアレイから読出されたデータ情報
が読込まれた原テストワードのデータ情報と比較される
。
セルアレイの入力端側に、テストすべきセルグループの
個数に対応するビット幅を備えた少なくとも1つの補助
的なテストワードレジスタを有する。セルアレイの出力
端側には比較ロジック要素が設けられ、この比較ロジッ
ク要素において、セルアレイから読出されたデータ情報
が読込まれた原テストワードのデータ情報と比較される
。
本発明において重要なことは、セルアレイの1つのセル
グループのセルへ設計に左右される1ビツト・データの
m次元の固定書取りが行われるのではなく、先ず、任意
の個別データを備えた1つのテストワードが1つのセル
グループの個々のセルに固定割当てされた個別ピントに
よって形成され、次に、そのテストワードがセルアレイ
の1つのセルグループのセルに書取られることである。
グループのセルへ設計に左右される1ビツト・データの
m次元の固定書取りが行われるのではなく、先ず、任意
の個別データを備えた1つのテストワードが1つのセル
グループの個々のセルに固定割当てされた個別ピントに
よって形成され、次に、そのテストワードがセルアレイ
の1つのセルグループのセルに書取られることである。
本発明の1つの有利な実施態様によれば、テストワード
レジスタ内への1つのテストワードの読込みおよび書込
み過程を制御するために、かつ、読込みの際に1つのテ
ストワードのm個のデータ情報をカウントする比較的費
用の掛かるカウンタを装置内で使わないで済ませるため
に、減らしたアドレス化すべきアドレススペースのマル
チ・ビット・テストモードのため空けられるアドレスラ
インが利用される。
レジスタ内への1つのテストワードの読込みおよび書込
み過程を制御するために、かつ、読込みの際に1つのテ
ストワードのm個のデータ情報をカウントする比較的費
用の掛かるカウンタを装置内で使わないで済ませるため
に、減らしたアドレス化すべきアドレススペースのマル
チ・ビット・テストモードのため空けられるアドレスラ
インが利用される。
次に本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
図は本発明によるメガ・ビット世代のメモリモジュール
の原理構成図である。
の原理構成図である。
図に示されたメガ・ビット・メモリモジュールMBSは
、既設のスイッチ31.S4およびセルアレイZFの他
に、セルアレイZFの前に設けられたテストワードTW
O,TWI用の2つの補助的なテストワードレジスタ、
ならびに、セルアレイZFの後に設けられた1つの比較
ロジック要素■GLを有している。テストワードレジス
タはたとえばシフトレジスタまたはラッチレジスタによ
って構成することができる。
、既設のスイッチ31.S4およびセルアレイZFの他
に、セルアレイZFの前に設けられたテストワードTW
O,TWI用の2つの補助的なテストワードレジスタ、
ならびに、セルアレイZFの後に設けられた1つの比較
ロジック要素■GLを有している。テストワードレジス
タはたとえばシフトレジスタまたはラッチレジスタによ
って構成することができる。
テストワードレジスタ間にはスイッチS3が設けられて
おり、このスイッチS3はマルチ・ビット・モードでテ
ストする際にはデータ情報DEについてテストワードT
WO,TWIの一方の内容を選択し、セルアレイZFに
転送する。
おり、このスイッチS3はマルチ・ビット・モードでテ
ストする際にはデータ情報DEについてテストワードT
WO,TWIの一方の内容を選択し、セルアレイZFに
転送する。
次の式が適用される。
f (DE)
この場合、今やf o −f Iがあてはまる必要はも
はやない、foおよびf、は今や固定設定されるのでは
なく、外部からプログラミングによって自由に選定可能
である。
はやない、foおよびf、は今や固定設定されるのでは
なく、外部からプログラミングによって自由に選定可能
である。
テストワードレジスタの書込みから、テストワードTW
OまたはTWIの一方を選択するための選択信号DEの
読出しに切換えることはスイッチS2を介して行われる
。切換え時点は、カウンタZからタイミングインターバ
ル2Xmのカウントサイクルにて導出(ケースa)され
るかまたはアドレスラインAjから導出(ケースb)さ
れる信号TWによって制御される。アドレスラインAj
の場合にはマルチ・ビット・テストモードでは用いられ
ないアドレスラインが関係する。実施例においては、カ
ウンタはメモリモジュール内に集積されているとする。
OまたはTWIの一方を選択するための選択信号DEの
読出しに切換えることはスイッチS2を介して行われる
。切換え時点は、カウンタZからタイミングインターバ
ル2Xmのカウントサイクルにて導出(ケースa)され
るかまたはアドレスラインAjから導出(ケースb)さ
れる信号TWによって制御される。アドレスラインAj
の場合にはマルチ・ビット・テストモードでは用いられ
ないアドレスラインが関係する。実施例においては、カ
ウンタはメモリモジュール内に集積されているとする。
信号TM=OFFによってマルチ・ビット・テストモー
ドが切離されると、メモリモジュールのデータ入力端子
に到来するデータ情報DEはスイッチS1を介して直接
セルアレイZFに転送され、そのセルアレイZF内の、
アドレスにより定められた位置に書込まれる。セルアレ
イZFの1つのセルの内容を読出すと、セル情報DAが
スイッチS4を介して直接メモリモジュールMBSのデ
ータ出力端子に到達する。
ドが切離されると、メモリモジュールのデータ入力端子
に到来するデータ情報DEはスイッチS1を介して直接
セルアレイZFに転送され、そのセルアレイZF内の、
アドレスにより定められた位置に書込まれる。セルアレ
イZFの1つのセルの内容を読出すと、セル情報DAが
スイッチS4を介して直接メモリモジュールMBSのデ
ータ出力端子に到達する。
メモリモジュールMBSをテストするために、信号TM
−ONがメモリモジュールMBSをマルチ・ビット・テ
ストモードにする。さらに、テストモードの投入はメモ
リモジュールMBSのカウンタZに伝達され、後続の2
Xmの書込みサイクル(WRITE信号のロー状態によ
って表されている)の到来するデータ情報がテストワー
ドレジスタに書込まれる。このためにカウンタZが制御
信号TW=ONを発生する。この制御信号はスイッチS
2を作動して、テストワードレジスタへの書込みを相応
して行わせる。カウンタZによってカウントされる、メ
モリモジュールMBSのデータ入力端子における第1の
m個のデータ情報DEは、スイッチ31.S2を介して
第1のテストワードレジスタへ到達し、そこでテストワ
ードTWOを形成する。メモリモジュールMBSのデー
タ入力端子における第2のm個のデータ情報DEは、ス
イッチS2によって制御されて、第2のテストワードレ
ジスタへ書込まれ、そこでテストワードTWIを形成す
る。テストワードTWO,TWIに関して、次の関係、 TWO−TWl があてはまることは必要ない。2つのテストワードTW
O,TWIの生成と同時に、比較ロジック要素VGLに
テストワードTWO,TWIが供給される。
−ONがメモリモジュールMBSをマルチ・ビット・テ
ストモードにする。さらに、テストモードの投入はメモ
リモジュールMBSのカウンタZに伝達され、後続の2
Xmの書込みサイクル(WRITE信号のロー状態によ
って表されている)の到来するデータ情報がテストワー
ドレジスタに書込まれる。このためにカウンタZが制御
信号TW=ONを発生する。この制御信号はスイッチS
2を作動して、テストワードレジスタへの書込みを相応
して行わせる。カウンタZによってカウントされる、メ
モリモジュールMBSのデータ入力端子における第1の
m個のデータ情報DEは、スイッチ31.S2を介して
第1のテストワードレジスタへ到達し、そこでテストワ
ードTWOを形成する。メモリモジュールMBSのデー
タ入力端子における第2のm個のデータ情報DEは、ス
イッチS2によって制御されて、第2のテストワードレ
ジスタへ書込まれ、そこでテストワードTWIを形成す
る。テストワードTWO,TWIに関して、次の関係、 TWO−TWl があてはまることは必要ない。2つのテストワードTW
O,TWIの生成と同時に、比較ロジック要素VGLに
テストワードTWO,TWIが供給される。
2Xm個のデータ情報DEが読込まれた後、カウンタZ
が制御ラインTW−OFFをセットする。
が制御ラインTW−OFFをセットする。
それによってスイッチS2が作動され、次の書込サイク
ルの際にテストワーTTWO,TWIの一方がセルアレ
イZFのm次元のセルグループに書取られる。その際に
、テストワードは1つのセルグループまたは特に順々に
複数のセルグループに書取られるようにするとことがで
きる。書取り中、外部からメモリモジュールに与えられ
るデータDEによってテストワードTWO,TWI間は
随意に切換えることができる。1つのm次元のセルグル
ープの個々のセルに1つのテストワードTWOまたはT
WIを書取る際、テストワードの1つのビット位置の内
容はそれぞれセルグループの1つのセルに書取られる。
ルの際にテストワーTTWO,TWIの一方がセルアレ
イZFのm次元のセルグループに書取られる。その際に
、テストワードは1つのセルグループまたは特に順々に
複数のセルグループに書取られるようにするとことがで
きる。書取り中、外部からメモリモジュールに与えられ
るデータDEによってテストワードTWO,TWI間は
随意に切換えることができる。1つのm次元のセルグル
ープの個々のセルに1つのテストワードTWOまたはT
WIを書取る際、テストワードの1つのビット位置の内
容はそれぞれセルグループの1つのセルに書取られる。
このようにしてセルアレイZFにおいては、周囲領域を
備えた予め設定された位置に、特別なテストワードTW
O,TWIを選択することにより、異なったビットパタ
ーンが作成される。
備えた予め設定された位置に、特別なテストワードTW
O,TWIを選択することにより、異なったビットパタ
ーンが作成される。
読取りの際には、比較ロジック要素VGLがセルアレイ
ZFのm次元のセルグループのセル内容をテストワード
TWO,TWIと比較することによって、かかるセル内
容は逆書取りが行われる。
ZFのm次元のセルグループのセル内容をテストワード
TWO,TWIと比較することによって、かかるセル内
容は逆書取りが行われる。
比較結果が正である場合は、逆関数の答としては、すな
わち、ビットパターンがTWOまたはTWIと一致して
いるかどうかによって、データ出力端子には0または1
が出力される。一方、比較結果が負である場合は、デー
タ出力端子はその代わりハイ状態またはトライステート
状態にされる。
わち、ビットパターンがTWOまたはTWIと一致して
いるかどうかによって、データ出力端子には0または1
が出力される。一方、比較結果が負である場合は、デー
タ出力端子はその代わりハイ状態またはトライステート
状態にされる。
しかしながら、同様に、欠陥のないセル内容の読取りの
際にはメモリモジュールMBSのデータ出力端子の出力
レベルは0または1であり、一方少なくとも1個、高々
m−1個の欠陥のあるセルを備えた1つのセルグループ
の読取りの際には出力レベルは欠陥セル個数に応じて逆
の値を取るとことによって、欠陥のあるセルが明らかに
される。
際にはメモリモジュールMBSのデータ出力端子の出力
レベルは0または1であり、一方少なくとも1個、高々
m−1個の欠陥のあるセルを備えた1つのセルグループ
の読取りの際には出力レベルは欠陥セル個数に応じて逆
の値を取るとことによって、欠陥のあるセルが明らかに
される。
比較ロジック要素■GLの関数には次式が適用される。
f−’ ((DA)+、、、、、−)
本装置の簡単な構成は、テストワードTWOに対する付
加のテストワードレジスタのみを有し、その内容はデー
タ情報DEに関係して否定されず(TWO)又は否定さ
れて(TWO)、テストワードのビット位置を1つのm
次元のセルグループのセルに固定的に個別に割当てる際
セルグループのセルに書込まれる。なお、この装置は2
つの付加されたテストワードレジスタと同じように動作
する。
加のテストワードレジスタのみを有し、その内容はデー
タ情報DEに関係して否定されず(TWO)又は否定さ
れて(TWO)、テストワードのビット位置を1つのm
次元のセルグループのセルに固定的に個別に割当てる際
セルグループのセルに書込まれる。なお、この装置は2
つの付加されたテストワードレジスタと同じように動作
する。
図は本発明によるメガ・ビット世代のメモリモジュール
の原理構成図である。 MBS・・・メガ・ビット・メモリモジュール、ZF・
・・セルアレイ、VGL・・・比較ロジック要素、31
〜S4・・・スイッチ、DE・・・データ情報、TWO
。 TWI・・・テストワード。
の原理構成図である。 MBS・・・メガ・ビット・メモリモジュール、ZF・
・・セルアレイ、VGL・・・比較ロジック要素、31
〜S4・・・スイッチ、DE・・・データ情報、TWO
。 TWI・・・テストワード。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)任意のテストパターンを用いてマルチビット・テス
トモードでメガビット・メモリモジュールをテストする
方法であって、1ビットデータを読込むときには1ビッ
トデータがメモリセルアレイの1つのセルグループのm
個のセルにm次元式 f(DE)={DE}_1_・_・_・_m但し、DE
E{0,1} により読取られ、セル内容を読出すときには元の1ビッ
トデータを作るための1つのセルグループに前記セルグ
ループがm次元の逆関数 f^−^1({DA}_1_・_・_・_m)=DA但
し、DAE{0,1} により逆に書取られる方法において、メガビット・メモ
リモジュール(MBS)内へ個別に読込まれたm個のデ
ータ情報(DE)がテストワードレジスタ内において1
つのm次元のテストワード(TW0)にまとめられ、続
いて、テストワード(TW0)のビット位置を1つのm
次元のセルグループのセルに固定的に個別に割当てる際
、DE=0の場合のテストワード(TW0)またはDE
=1の場合の否定テストワード(@TW0@)がセルア
レイ(ZF)の1つのセルグループまたは順々に多数の
セルグループに書取られることを特徴とするメガビット
・メモリモジュールのテスト方法。 2)読取られたデータ情報(DE)によって随意に選択
可能で、かつセルアレイ(ZF)のセルグループに書取
可能であり、互いに独立した少なくとも2つのテストワ
ード(TW0,TW1)が生成されることを特徴とする
特許請求の範囲第1項記載のテスト方法。 3)テストワード(TW0および(または)TW1)は
比較ロジック要素(VGL)に供給され、前記比較ロジ
ック要素は1つのセルグループの実際のセル内容を、書
込まれた原テストワード(TW0,TW1)と比較し、
比較に応じて良信号または不良信号を発生することを特
徴とする特許請求の範囲第1項または第2項記載のテス
ト方法。 4)メガビット・メモリモジュール(MBS)は、補助
的に、セルアレイ(ZF)の前で1つのm次元のテスト
ワード(TW0)を受入れるための1つのテストワード
レジスタと、前記セルアレイ(ZF)の後で前記テスト
ワードレジスタに接続された1つの比較ロジック要素(
VGL)と、前記テストワードレジスタ内へのテストワ
ードの読込みならびに前記セルアレイ(ZF)内へのテ
ストワードまたは否定テストワード(TW0または@T
W0@)の書込みを制御するための複数のスイッチ(S
2,S3)とを有することを特徴とするメガビット・メ
モリモジュールのテスト装置。 5)カウントサイクルmまたは2×mを有するカウンタ
(Z)が設けられ、このカウンタは1つのテストワード
(TW0)または2つのテストワード(TW0,@TW
1@)の読込みの終了を決定しかつセルアレイ(ZF)
内へ1つのテストワード(TW0またはTW0、もしく
は、TW0またはTW1)の書込みをさせることを特徴
とする特許請求の範囲第4項記載のテスト装置。 6)制御入力端子が設けられ、この制御入力端子を介し
て、僅かなアドレススペースのマルチ・ビット・テスト
モードにより空けられたアドレスライン(Aj)が1つ
のテストワード(TW0)または2つのテストワード(
TW0,TW1)の読込みの終了を決定しかつセルアレ
イ(ZF)内へ1つのテストワード(TW0または@T
W0@、もしくは、TW0またはTW1)の書込みをさ
せることを特徴とする特許請求の範囲第4項記載のテス
ト装置。 7)メガビット・メモリモジュール(MBS)は、補助
的に、セルアレイ(ZF)の前で2つのm次元のテスト
ワード(TW0,TW1)を受入れるための2つのテス
トワードレジスタと、前記セルアレイ(ZF)の後で前
記テストワードレジスタに接続された1つの比較ロジッ
ク要素(VGL)と、前記テストワードレジスタ内への
テストワードの読込みならびに前記セルアレイ(ZF)
内への1つのテストワード(TW0またはTW1)の書
込みを制御するための複数のスイッチ(S2,S3)と
を有することを特徴とするメガビット・メモリモジュー
ルのテスト装置。 8)カウントサイクルmまたは2×mを有するカウンタ
(Z)が設けられ、このカウンタは1つのテストワード
(TW0)または2つのテストワード(TW0,TW1
)の読込みの終了を決定しかつセルアレイ(ZF)内へ
1つのテストワード(TW0または@TW0@、もしく
は、TW0またはTW1)の書込みをさせることを特徴
とする特許請求の範囲第7項記載のテスト装置。 9)制御入力端子が設けられ、この制御入力端子を介し
て、僅かなアドレススペースのマルチ・ビット・テスト
モードにより空けられたアドレスライン(Aj)が1つ
のテストワード(TW0)または2つのテストワード(
TW0,TW1)の読込みの終了を決定しかつセルアレ
イ(ZF)内へ1つのテストワード(TW0または@T
W0@、もしくは、TW0またはTW1)の書込みをさ
せることを特徴とする特許請求の範囲第7項記載のテス
ト装置。
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