JPS609801A - 真空焼結炉 - Google Patents
真空焼結炉Info
- Publication number
- JPS609801A JPS609801A JP58116688A JP11668883A JPS609801A JP S609801 A JPS609801 A JP S609801A JP 58116688 A JP58116688 A JP 58116688A JP 11668883 A JP11668883 A JP 11668883A JP S609801 A JPS609801 A JP S609801A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- vacuum
- dewaxing
- wax
- sintering
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
- F27B9/04—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity adapted for treating the charge in vacuum or special atmosphere
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B5/00—Muffle furnaces; Retort furnaces; Other furnaces in which the charge is held completely isolated
- F27B5/04—Muffle furnaces; Retort furnaces; Other furnaces in which the charge is held completely isolated adapted for treating the charge in vacuum or special atmosphere
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
- Tunnel Furnaces (AREA)
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
- Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は真空焼結炉に関するものである。
粉末合金で焼結部品を製作するには、原料粉末に潤滑剤
としてワックス（ステアリン酸亜鉛，パラフィン系ワッ
クス）を約１ ｗｅｔ％混合し、これをプレス成形した
ものを焼結するが、粉末合金を真空焼結する場合、焼結
前に原料粉末中に含まれるワックスを除去しなければ、
焼結時に気化したワックスが焼結炉の冷間部に固着堆積
してトラブルの原因となる。
としてワックス（ステアリン酸亜鉛，パラフィン系ワッ
クス）を約１ ｗｅｔ％混合し、これをプレス成形した
ものを焼結するが、粉末合金を真空焼結する場合、焼結
前に原料粉末中に含まれるワックスを除去しなければ、
焼結時に気化したワックスが焼結炉の冷間部に固着堆積
してトラブルの原因となる。
したがって、従来、真空焼結する前に、脱ワツクス専用
炉で脱ワツクス処理を行なっていた。
炉で脱ワツクス処理を行なっていた。
しかしながら、従来方法では、脱ワツクスと真空焼結と
を別個の炉で行なうために、処理材のハンドリング、工
程が繁雑であるとともに、処理材を加熱脱ワックス後，
一旦冷却し、これを真空焼結炉で再度加熱するため、脱
ワツクス時の処理材が有する熱器が無駄であり、燃料費
が高くつくという欠点を有していた。
を別個の炉で行なうために、処理材のハンドリング、工
程が繁雑であるとともに、処理材を加熱脱ワックス後，
一旦冷却し、これを真空焼結炉で再度加熱するため、脱
ワツクス時の処理材が有する熱器が無駄であり、燃料費
が高くつくという欠点を有していた。
本発明は前記従来の方法における欠点を除去するために
なされたものでーヒータを備えた真空脱ワックス室と、
真空焼結室とを扉フードを介して連設し、処理材を真空
脱ワックス室から直接、真空焼結室へ搬送するようにし
て、脱ワツクス時の処理材温度を有効利用することによ
り省エネルギーを図る一方、前記真空脱ワックス室の真
空排気路に気化ワックス捕集器を設けて排気ガス中の気
化ワックスを捕集し、真空ポンプへのワックスの付着を
防止して、安定した焼結処理を行なう真空焼結炉を提供
することを目的とする。
なされたものでーヒータを備えた真空脱ワックス室と、
真空焼結室とを扉フードを介して連設し、処理材を真空
脱ワックス室から直接、真空焼結室へ搬送するようにし
て、脱ワツクス時の処理材温度を有効利用することによ
り省エネルギーを図る一方、前記真空脱ワックス室の真
空排気路に気化ワックス捕集器を設けて排気ガス中の気
化ワックスを捕集し、真空ポンプへのワックスの付着を
防止して、安定した焼結処理を行なう真空焼結炉を提供
することを目的とする。
つぎに、本発明を一実施例である図面にしたがって説明
する。
する。
図に示す真空焼結炉１は、大略、扉フード３２゜３８て
連設されるとともに、各々真空ポンプＰ１〜Ｐ８に連通
した真空脱ワックス室２、真空焼結室】５、冷却室２６
および前記真空脱ワックス室２の真空排気路４０に設け
た気化ワックス捕集器４１とからなる。そして、前記真
空脱ワックス室２の装入扉１４ａの前方には装入テーブ
ル４６が、また、冷却室２６の抽出扉１４ｂの後方には
抽出テーブル４７が配置しである。
連設されるとともに、各々真空ポンプＰ１〜Ｐ８に連通
した真空脱ワックス室２、真空焼結室】５、冷却室２６
および前記真空脱ワックス室２の真空排気路４０に設け
た気化ワックス捕集器４１とからなる。そして、前記真
空脱ワックス室２の装入扉１４ａの前方には装入テーブ
ル４６が、また、冷却室２６の抽出扉１４ｂの後方には
抽出テーブル４７が配置しである。
前記真空脱ワックス室２は外装保温された炉殻３内に筒
状の反射板４を配置して加熱室５を形成し、この加熱室
５内にはヒータ６が配設されている。また、前記反射板
４の外方には２本のレール７が敷設され、反射板４の長
手方向の開口部８を介して台車９が載置されている。こ
の台車９は中央にフォーク状の載置片１０を有する一方
１台車９の側枠］】に車輪】２を有するもので、前記側
枠１１に設けたラック（図示せず）に、炉外に設けたモ
ータにより駆動するピニオン】３が噛合し、台車９はモ
ータの駆動により前後進するようになっている。
状の反射板４を配置して加熱室５を形成し、この加熱室
５内にはヒータ６が配設されている。また、前記反射板
４の外方には２本のレール７が敷設され、反射板４の長
手方向の開口部８を介して台車９が載置されている。こ
の台車９は中央にフォーク状の載置片１０を有する一方
１台車９の側枠］】に車輪】２を有するもので、前記側
枠１１に設けたラック（図示せず）に、炉外に設けたモ
ータにより駆動するピニオン】３が噛合し、台車９はモ
ータの駆動により前後進するようになっている。
前記真空焼結室１５は水冷ジャケットを有する炉殻】６
内にヒータ１７を備えた筒状のインナチャンバ】８を有
する。そして、前記インナチャンバ】８の外方には前記
真空脱ワックス室２に設けたレール７と対向してレール
１９が設けられている。また、前記インナチャンバ】８
の底部には、真空焼結室１５の下方に設置した昇降手段
２０により上下動する炉床スキッド２１が設けられてい
′ る。この炉床スキッド２］は前記、レールＪ９と平
行に配置された３本のスキッド２２からなり、昇降手段
２０の一支持台２３に立設したポスト２４により支持さ
れた梁部材２５上に固着されている。
内にヒータ１７を備えた筒状のインナチャンバ】８を有
する。そして、前記インナチャンバ】８の外方には前記
真空脱ワックス室２に設けたレール７と対向してレール
１９が設けられている。また、前記インナチャンバ】８
の底部には、真空焼結室１５の下方に設置した昇降手段
２０により上下動する炉床スキッド２１が設けられてい
′ る。この炉床スキッド２］は前記、レールＪ９と平
行に配置された３本のスキッド２２からなり、昇降手段
２０の一支持台２３に立設したポスト２４により支持さ
れた梁部材２５上に固着されている。
前記冷却室２６は水冷ジャケットを有する炉殻２７内に
循環ファン２８を有し、炉内雰囲気は冷（３） 却フィン２９にて冷却されたのちダクト３０から噴出し
、処理材Ｗを冷却するようになっている。
循環ファン２８を有し、炉内雰囲気は冷（３） 却フィン２９にて冷却されたのちダクト３０から噴出し
、処理材Ｗを冷却するようになっている。
また、炉殻２７内には前記真空焼結室１５のレール１９
と対向してレール３】が設けられ、前記真空脱ワックス
室２におけると同様、前記レール３１上を走行するフォ
ーク状の載置片１０を有する台車９が設けである。
と対向してレール３】が設けられ、前記真空脱ワックス
室２におけると同様、前記レール３１上を走行するフォ
ーク状の載置片１０を有する台車９が設けである。
前記扉フード３２は、真空脱ワックス室２と真空焼結室
】５との炉殻３，１６間に取付けられ、上部に昇降シリ
ンダ３３を有する格納フード３５と、前記シリンダ３３
のロッド３４下端に取付けられ、前記真空脱ワックス室
２の抽出口と真空焼結室１５の装入口とを開閉する断熱
扉３６．３７とからなる。また扉フード３２内は真空ポ
ンプＰ１に接続している。
】５との炉殻３，１６間に取付けられ、上部に昇降シリ
ンダ３３を有する格納フード３５と、前記シリンダ３３
のロッド３４下端に取付けられ、前記真空脱ワックス室
２の抽出口と真空焼結室１５の装入口とを開閉する断熱
扉３６．３７とからなる。また扉フード３２内は真空ポ
ンプＰ１に接続している。
一方、他の扉フード３８は、断熱扉３９が真空焼結室１
５の抽出口用のものだけである点を除き。
５の抽出口用のものだけである点を除き。
前述の扉フード３２と同様である。
前記気化ワックス捕集器４】は、前記真空脱ワックス室
２と真室ポンプＰ１との真空排気路であ（４） る排気ダクト４０に設けられ、その捕集器本体４２は熱
線ヒータ４３を備えるとともに、内部にフィルタ４４を
有する。したがって、真空ポンプＰ１により吸引さた排
気ガスは、熱線ヒータ４３により】００〜１５０℃に保
持されたダクト４０内およびフィルタ４４部を通過する
間に大部分の気化ワックスを液体として放出するととも
に、この液体状ワックスを底部貯蔵室４５に貯留する。
２と真室ポンプＰ１との真空排気路であ（４） る排気ダクト４０に設けられ、その捕集器本体４２は熱
線ヒータ４３を備えるとともに、内部にフィルタ４４を
有する。したがって、真空ポンプＰ１により吸引さた排
気ガスは、熱線ヒータ４３により】００〜１５０℃に保
持されたダクト４０内およびフィルタ４４部を通過する
間に大部分の気化ワックスを液体として放出するととも
に、この液体状ワックスを底部貯蔵室４５に貯留する。
なお、前記フィルタ４４部を通過した気化ワックスは一
再度フィルタ４４ａを介して固化状態で捕集するもので
ある。
再度フィルタ４４ａを介して固化状態で捕集するもので
ある。
前記装入テーブル４６および抽出テーブル４７は同一構
造からなり、前記台車９，９の載置片１０間に進入可能
で、かつ、一方向に傾動可能な爪４９を備えたフォーク
状のテーブル４８と、基台５０゜５０に設けられ前記テ
ーブル４６．４７を前後進させる駆動チェーン５１とか
ら構成されている。
造からなり、前記台車９，９の載置片１０間に進入可能
で、かつ、一方向に傾動可能な爪４９を備えたフォーク
状のテーブル４８と、基台５０゜５０に設けられ前記テ
ーブル４６．４７を前後進させる駆動チェーン５１とか
ら構成されている。
なお、前記真空脱ワックス室２および冷却室２６には雰
囲気ガス（Ｎ２ガス）が供給されるようになっていると
ともに、各室２，１５．２６への真空排気路には真空弁
５２と真空ブレーク弁５３が取付けである。
囲気ガス（Ｎ２ガス）が供給されるようになっていると
ともに、各室２，１５．２６への真空排気路には真空弁
５２と真空ブレーク弁５３が取付けである。
、つぎに、前記構成からなる連続真空焼結炉１の操業に
ついて説明する。
ついて説明する。
まず、処理材Ｗを装入テーブル４６のテーブル４８上に
載置するとともに、真空脱ワックス室２の装入Ｊ％１．
４ａを開く。そして駆動チェーン５Ｊを駆動してテーブ
ル４８を前進させる。この場合、テーブル４８は前述の
ようにフォーク状をなし。
載置するとともに、真空脱ワックス室２の装入Ｊ％１．
４ａを開く。そして駆動チェーン５Ｊを駆動してテーブ
ル４８を前進させる。この場合、テーブル４８は前述の
ようにフォーク状をなし。
かつ真空脱ワックス室２の載置片１０間に進入可能であ
るため、処理材Ｗは爪４９により台車９上に搬送される
。その後、テーブル４８を後退させることにより処理材
Ｗを台車９上に移載する。ついで、装入扉］、 ４ ａ
を閉じ、真空ポンプＰ１を駆動しながら真空脱ワックス
室２内にＮ２ガスを、真空脱ワックス室２内が所定真空
度（たとえば−約ＩＱ Ｔｏｒｒ）になるように供給す
る一方、ヒータ６により室内を約５００℃に保持し、焼
結材である処理材Ｗを所定時間加熱し、脱ワツクス処理
を行う。この際、気化ワックスを含有する排気ガスは真
空ポンプＰ１の吸引作用によりワックス捕集器４１に至
るが一捕集器本体４２は排気ガス中の気化ワックスが固
化しない温度となっているため、気化ワックスはダクト
４０中およびフィルタ４４部で連続的に液体状態にて捕
集され、液化したワックスは貯留室４５に貯留し、適宜
、排出コックＶから取出される。なお、Ｈは点検孔であ
る。
るため、処理材Ｗは爪４９により台車９上に搬送される
。その後、テーブル４８を後退させることにより処理材
Ｗを台車９上に移載する。ついで、装入扉］、 ４ ａ
を閉じ、真空ポンプＰ１を駆動しながら真空脱ワックス
室２内にＮ２ガスを、真空脱ワックス室２内が所定真空
度（たとえば−約ＩＱ Ｔｏｒｒ）になるように供給す
る一方、ヒータ６により室内を約５００℃に保持し、焼
結材である処理材Ｗを所定時間加熱し、脱ワツクス処理
を行う。この際、気化ワックスを含有する排気ガスは真
空ポンプＰ１の吸引作用によりワックス捕集器４１に至
るが一捕集器本体４２は排気ガス中の気化ワックスが固
化しない温度となっているため、気化ワックスはダクト
４０中およびフィルタ４４部で連続的に液体状態にて捕
集され、液化したワックスは貯留室４５に貯留し、適宜
、排出コックＶから取出される。なお、Ｈは点検孔であ
る。
このように、排気ガス中の大部分の気化ワックスは捕集
器４１で液体状態で捕集されるため、脱ワツクス時にお
ける気化ワックスに起因する真空排気路内の気化ワック
スの付着がなく、長期の連続操業ができる。
器４１で液体状態で捕集されるため、脱ワツクス時にお
ける気化ワックスに起因する真空排気路内の気化ワック
スの付着がなく、長期の連続操業ができる。
前記脱ワツクス処理後、扉フード３２内および焼結室】
５を所定真空度（約１０Ｔｏｒｒ）に保持したのち、前
記昇降シリンダ３３を駆動して断熱扉３６．３７を開き
、約１，２００℃に加熱された真空焼結室】５に処理材
Ｗを装入する。
５を所定真空度（約１０Ｔｏｒｒ）に保持したのち、前
記昇降シリンダ３３を駆動して断熱扉３６．３７を開き
、約１，２００℃に加熱された真空焼結室】５に処理材
Ｗを装入する。
前記処理材Ｗの真空焼結室１５への装入は、あらかじめ
昇降手段２０により炉床スキッド２２を降下させ、真空
脱ワックス室２内の台車９を、しく７） −ル７・ ］９を介して真空焼結室］５内に移動させ、
その後、炉床スキッド２２を上昇させて処理材Ｗを炉床
スキッド２２上に移載する。そして、前記台車９と炉床
スキッド２２とを順次、それぞれ元の位置に復帰させる
とともに、断熱扉３６゜３７を閉鎖して処理材Ｗを真空
焼結する。
昇降手段２０により炉床スキッド２２を降下させ、真空
脱ワックス室２内の台車９を、しく７） −ル７・ ］９を介して真空焼結室］５内に移動させ、
その後、炉床スキッド２２を上昇させて処理材Ｗを炉床
スキッド２２上に移載する。そして、前記台車９と炉床
スキッド２２とを順次、それぞれ元の位置に復帰させる
とともに、断熱扉３６゜３７を閉鎖して処理材Ｗを真空
焼結する。
前記のようにして処理材Ｗが真空焼結されると。
断熱扉３９を開くとともに、昇降手段２０により炉床ス
キッド２２を上昇させたのち、あらかじめ所定真空度（
約１０ Ｔｏｒｒｌ に保持された冷却室２６内の台車
９を移動させ、その載置片］０を処理材Ｗの下方に位置
させる。その後、炉床スキッド２２を降下させて処理材
Ｗを台車９上に移載させ、台車９を後退させることによ
り処理材Ｗを冷却室２６内に位置させる。そして、断熱
扉３９を閉鎖して処理材Ｗを６００Ｔｏｒｒ程度のＮ２
ガス雰囲気下で冷却する。
キッド２２を上昇させたのち、あらかじめ所定真空度（
約１０ Ｔｏｒｒｌ に保持された冷却室２６内の台車
９を移動させ、その載置片］０を処理材Ｗの下方に位置
させる。その後、炉床スキッド２２を降下させて処理材
Ｗを台車９上に移載させ、台車９を後退させることによ
り処理材Ｗを冷却室２６内に位置させる。そして、断熱
扉３９を閉鎖して処理材Ｗを６００Ｔｏｒｒ程度のＮ２
ガス雰囲気下で冷却する。
前記のようにして処理材Ｗが冷却されると、抽出扉１４
ｂを開き、抽出テーブル４７のテーブル４８を前進させ
て冷却室２６内の処理材Ｗの下方（８） に位置させる。この場合、テーブル４８の爪４９は処理
材Ｗと当接すると傾動し、処理材Ｗを通過すれば元の状
態に突出する。したがって、テーブル４８を元の状態に
復帰させることにより処理材Ｗを炉外に抽出するもので
ある。
ｂを開き、抽出テーブル４７のテーブル４８を前進させ
て冷却室２６内の処理材Ｗの下方（８） に位置させる。この場合、テーブル４８の爪４９は処理
材Ｗと当接すると傾動し、処理材Ｗを通過すれば元の状
態に突出する。したがって、テーブル４８を元の状態に
復帰させることにより処理材Ｗを炉外に抽出するもので
ある。
なお、前記実施例では、真空脱ワックス室と真空焼結室
と冷却室とからなる３室型炉について説明したが、真空
脱ワックス室あるいは真空焼結室に冷却機能を備えれば
、独立した冷却室を設ける必要はないものであり、また
、搬送手段としては、ピニオン・ラック方式に限らず、
ローラハース方式・ ブツシャ方式等を採用してもよい
。
と冷却室とからなる３室型炉について説明したが、真空
脱ワックス室あるいは真空焼結室に冷却機能を備えれば
、独立した冷却室を設ける必要はないものであり、また
、搬送手段としては、ピニオン・ラック方式に限らず、
ローラハース方式・ ブツシャ方式等を採用してもよい
。
以上の説明で明らかなように１本発明にかかる真空焼結
炉によれば、従来、別炉となっていた真空脱ワックス室
を真空焼結室に扉フードを介して連設しであるため、処
理材は脱ワツクス時の高温を保持した状態で、すなわち
予熱された状態で真空焼結室に移送されてか熱されるの
で、それだけ省エネルギーを図ることができるとともに
、真空脱ワックス室と真空焼結室とが完全に独立してあ
るため−説ワックス時の気化ワックスが扉フード内ある
いは焼結室内に侵入することがなく、良好な真空脱ワッ
クス処理および真空焼結処理ができることは勿論のこと
、扉の昇降動作を確実に行なわせることができる。また
脱ワツクス室の真空排気路に気化ワックス捕集器が設ら
れ、気化ワックスが常時捕集されているため、排気ガス
中の気化ワックスは、真空ポンプを含む真空排気系に付
着せず、長期にわたって安定した真空焼結処理を行なう
ことができる。
炉によれば、従来、別炉となっていた真空脱ワックス室
を真空焼結室に扉フードを介して連設しであるため、処
理材は脱ワツクス時の高温を保持した状態で、すなわち
予熱された状態で真空焼結室に移送されてか熱されるの
で、それだけ省エネルギーを図ることができるとともに
、真空脱ワックス室と真空焼結室とが完全に独立してあ
るため−説ワックス時の気化ワックスが扉フード内ある
いは焼結室内に侵入することがなく、良好な真空脱ワッ
クス処理および真空焼結処理ができることは勿論のこと
、扉の昇降動作を確実に行なわせることができる。また
脱ワツクス室の真空排気路に気化ワックス捕集器が設ら
れ、気化ワックスが常時捕集されているため、排気ガス
中の気化ワックスは、真空ポンプを含む真空排気系に付
着せず、長期にわたって安定した真空焼結処理を行なう
ことができる。
さらに、真空脱ワックス室の真空排気路に設ける気化ワ
ックス捕集器をフィルターとヒータとによりワックスの
固化温度以上に保持する・よ・１７．ｆ、ｑｆ△ 気ガス中の気化ワックスを、液体状態で回収することが
でき、フィルタおよび排気ダクト内のメンテナンスが不
要となる。
ックス捕集器をフィルターとヒータとによりワックスの
固化温度以上に保持する・よ・１７．ｆ、ｑｆ△ 気ガス中の気化ワックスを、液体状態で回収することが
でき、フィルタおよび排気ダクト内のメンテナンスが不
要となる。
第１図は本発明にかかる漉總真空焼結炉の一実施例を示
す縦断面図、第２図〜第４図は第１図のｎ−ｍ線、ｍ−
ｍ線およびＴＶ−ＩＶ線断面図、第５図は気化ワックス
捕集器の説明用断面図で、第６図は第１図の配管図であ
る。 ２・・・真空脱ワックス室、］５・・・真空焼結室、２
６・・・冷却室＝３４．３８・・・扉フード、３６．３
７・・・扉、４０・・・真空排出路、４１・・・ワック
ス捕集器、４３・・・ヒータ、４４・・・フィルタ、Ｗ
・・・処理材、Ｐ１〜Ｐ８・・・真空ポンプ。 特許出願人 中外炉工業株式会社 同 」−三菱金属株式会社 代理 人弁理士 青白 葆 ほか２名
す縦断面図、第２図〜第４図は第１図のｎ−ｍ線、ｍ−
ｍ線およびＴＶ−ＩＶ線断面図、第５図は気化ワックス
捕集器の説明用断面図で、第６図は第１図の配管図であ
る。 ２・・・真空脱ワックス室、］５・・・真空焼結室、２
６・・・冷却室＝３４．３８・・・扉フード、３６．３
７・・・扉、４０・・・真空排出路、４１・・・ワック
ス捕集器、４３・・・ヒータ、４４・・・フィルタ、Ｗ
・・・処理材、Ｐ１〜Ｐ８・・・真空ポンプ。 特許出願人 中外炉工業株式会社 同 」−三菱金属株式会社 代理 人弁理士 青白 葆 ほか２名
Claims (2)
- （１）ヒータを備えた脱ワツクス室と焼結室とを扉フー
ドを介して連設し、扉フードおよび前記各室にそれぞれ
真空排気管を接続するとともに、前記脱ワツクス室の真
空排気路に気化ワックス捕集器を設けたことを特徴とす
る真空焼結炉。 - （２）前記気化ワックス捕集器が、フィルタと該フィル
タを加熱するヒータとからなることを特徴とする特許 炉・
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58116688A JPS609801A (ja) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | 真空焼結炉 |
| US06/624,611 US4518353A (en) | 1983-06-27 | 1984-06-26 | Vacuum sintering furnace |
| KR1019840003632A KR890001020B1 (ko) | 1983-06-27 | 1984-06-27 | 진공소결로 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58116688A JPS609801A (ja) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | 真空焼結炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS609801A true JPS609801A (ja) | 1985-01-18 |
Family
ID=14693401
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58116688A Pending JPS609801A (ja) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | 真空焼結炉 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4518353A (ja) |
| JP (1) | JPS609801A (ja) |
| KR (1) | KR890001020B1 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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