JPS63114907A - 焼結装置 - Google Patents
焼結装置Info
- Publication number
- JPS63114907A JPS63114907A JP26049286A JP26049286A JPS63114907A JP S63114907 A JPS63114907 A JP S63114907A JP 26049286 A JP26049286 A JP 26049286A JP 26049286 A JP26049286 A JP 26049286A JP S63114907 A JPS63114907 A JP S63114907A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sintering
- vessel
- tank
- heat
- molding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005245 sintering Methods 0.000 title claims abstract description 45
- 238000002791 soaking Methods 0.000 claims abstract description 13
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 5
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims abstract description 3
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 3
- 229910001111 Fine metal Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 11
- 238000000465 moulding Methods 0.000 abstract description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 abstract description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 abstract description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 abstract 2
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract 1
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 7
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 4
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 1
- 241000218691 Cupressaceae Species 0.000 description 1
- 241000282330 Procyon lotor Species 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Furnace Housings, Linings, Walls, And Ceilings (AREA)
- Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、焼結装置に関し、特に連続的に成形体を焼結
しうる焼結装置に関するものである。
しうる焼結装置に関するものである。
（従来の技術）
一般に、固体電解コンデンサは、タンタル等の弁作用を
有する金属の微粉末を任意の形状に加圧成形し、この成
形体を高温・高真空の雰囲気中で焼結し、焼結後、酸化
処理等を施し、製造される。
有する金属の微粉末を任意の形状に加圧成形し、この成
形体を高温・高真空の雰囲気中で焼結し、焼結後、酸化
処理等を施し、製造される。
特に、成形体を焼結する場合には焼結処理の前後で各々
脱ワツクス処理及び冷ＩＪ］！ｌ！！狸を施しており、
このような処理を連続的に行なうため、各処理が施され
る槽を直列に連結し、成形体の載置された複数個の台車
を搬送して、成形体に同時に各処理を施しうる装置が用
いられるようになってさた。
脱ワツクス処理及び冷ＩＪ］！ｌ！！狸を施しており、
このような処理を連続的に行なうため、各処理が施され
る槽を直列に連結し、成形体の載置された複数個の台車
を搬送して、成形体に同時に各処理を施しうる装置が用
いられるようになってさた。
（発明が解決しようとする問題点）
しかし、このような連続装置では、特性を向上する等の
理由のために各槽内での台車の停留時間を違えることが
あり、この場合には台車が搬入されていない槽が生じる
ことがある。そして、この槽が焼結槽であると、発熱部
分が非常に高温であり、その熱をさえぎるものがないた
めに檜のスｆ命が短くなる欠点があった。
理由のために各槽内での台車の停留時間を違えることが
あり、この場合には台車が搬入されていない槽が生じる
ことがある。そして、この槽が焼結槽であると、発熱部
分が非常に高温であり、その熱をさえぎるものがないた
めに檜のスｆ命が短くなる欠点があった。
本発明の目的は、加熱により焼結槽の寿命が乃くなるの
を防止しうる焼結装置を提供するものである。
を防止しうる焼結装置を提供するものである。
（問題魚を解決するための手段）
本発明は、上記の目的を達成するために、金属の微粉末
を任意の形状に形成した成形体を、予め定められた時間
経過後に焼結槽内に搬送して焼結しうる焼結装置におい
て、焼結槽内に設けられた成形体を加熱して焼結しうる
均熱室と、該灼熱室に断熱シールド用の益をしつるシー
ルド機構とを有することを特徴とする焼結装置を提供す
るものである。
を任意の形状に形成した成形体を、予め定められた時間
経過後に焼結槽内に搬送して焼結しうる焼結装置におい
て、焼結槽内に設けられた成形体を加熱して焼結しうる
均熱室と、該灼熱室に断熱シールド用の益をしつるシー
ルド機構とを有することを特徴とする焼結装置を提供す
るものである。
（作用）
本発明によれば、均熱室に蓋をして熱の放散を防止でき
るために焼結槽の寿命を改善できる。
るために焼結槽の寿命を改善できる。
（実施例）
以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明する。
第１図において、１は、第１脱ワツクス槽であり、温度
数１０ｏ ’ｃ、圧力１〜１ｏ−３Ｔｏｒｒ程度の雰囲
気に保持され、成形体からワックスを除冷類するもので
、アルゴン等の不活殴万スが充満し、第１冷却槽５より
も高い圧力の雰囲気に保たれている。
数１０ｏ ’ｃ、圧力１〜１ｏ−３Ｔｏｒｒ程度の雰囲
気に保持され、成形体からワックスを除冷類するもので
、アルゴン等の不活殴万スが充満し、第１冷却槽５より
も高い圧力の雰囲気に保たれている。
７は、第２冷却栖６に連結された後槽であり、第１脱ワ
ツクス僧１等と同じ長さで、ガス冷Ｉ！Ｊ後の成形体を
取り出すためのものである。
ツクス僧１等と同じ長さで、ガス冷Ｉ！Ｊ後の成形体を
取り出すためのものである。
第１脱ワツクスＩａ１から後槽７までは搬送ローラーが
設（プられていて成形体を一定の速度で搬送しうるちの
であり、また、８槽１〜７は開閉自在なシャッターによ
り互いに隔離されている。そして８槽１〜７を任意の圧
力に保持するために、油回転ポンプ８〜１４やルーツブ
ロアポンプ１５〜２１、拡散ポンプ２２〜２５Ｓ任意の
組み合わせにより６栖１〜７に接続されている。
設（プられていて成形体を一定の速度で搬送しうるちの
であり、また、８槽１〜７は開閉自在なシャッターによ
り互いに隔離されている。そして８槽１〜７を任意の圧
力に保持するために、油回転ポンプ８〜１４やルーツブ
ロアポンプ１５〜２１、拡散ポンプ２２〜２５Ｓ任意の
組み合わせにより６栖１〜７に接続されている。
なお、後Ｍ１７は必ずしも設ける必要はなく、第２冷Ｍ
１４ｆｆ６で成形体を数１０℃程度まで冷却した後、そ
のまま、空気中に取り出し放置して冷却してもよい。
１４ｆｆ６で成形体を数１０℃程度まで冷却した後、そ
のまま、空気中に取り出し放置して冷却してもよい。
また、第１冷Ｗ槽５及び第２冷却ｊａ６は他の槽のほぼ
２侶の長さなっているが、同じ長さであってもよい。た
だし、前者の方が冷却に無理がなく、冷却効果は優れて
いる。
２侶の長さなっているが、同じ長さであってもよい。た
だし、前者の方が冷却に無理がなく、冷却効果は優れて
いる。
第２図は、第２焼結槽４の断面図である。槽４の屋根部
にはアーチ状の覆２６とその覆２６の内に設けられたア
ーチ状のタンタル製のヒータ２７とが支持棒２８により
取りイ」けられ均熱室２９を栃成している。３ｏは、灼
熱室２９の真下に設けられた搬送用ローラーであり、モ
ーター３１により回転される。３２はこの搬送用ローラ
ー３０により搬送される台車であり、成形体が載せられ
ている。３３は台車昇降用のエレベータであり、台車３
２を均熱室２８まで運ぶことができる。３４は槽４の側
壁に取り付けられたシールドぼ構であり、シリンダー３
５の先端に、真中に孔のある台３６が取り付（プられて
おり、この台３６に断熱シールド用の台車３７が載置さ
れている。この台車３７は上部３８がタンタルとモリブ
デンの積層体構造となっており、下部に黒鉛をモリブデ
ンで被覆した断熱部３９が形成されている。
にはアーチ状の覆２６とその覆２６の内に設けられたア
ーチ状のタンタル製のヒータ２７とが支持棒２８により
取りイ」けられ均熱室２９を栃成している。３ｏは、灼
熱室２９の真下に設けられた搬送用ローラーであり、モ
ーター３１により回転される。３２はこの搬送用ローラ
ー３０により搬送される台車であり、成形体が載せられ
ている。３３は台車昇降用のエレベータであり、台車３
２を均熱室２８まで運ぶことができる。３４は槽４の側
壁に取り付けられたシールドぼ構であり、シリンダー３
５の先端に、真中に孔のある台３６が取り付（プられて
おり、この台３６に断熱シールド用の台車３７が載置さ
れている。この台車３７は上部３８がタンタルとモリブ
デンの積層体構造となっており、下部に黒鉛をモリブデ
ンで被覆した断熱部３９が形成されている。
次に、上記実施例の作用について説明する。
ると、第１冷却槽５に搬入される。台車３２が第２焼結
槽４から搬出されても、この間の焼結時間が第１焼結栖
３での焼結時間のほぼ１／２であるため、次の台車はま
だ第２焼結槽４内には搬入されてこない。この間、第２
焼結ＷＪ４内では、シールド機構３４が作動する。すな
わち、第２焼結槽４から台車３２が搬送されると、シリ
ンダー３５が延び断熱シールド用の台車３７を均熱室２
９の真下まで運ぶ。台車３７が均熱室２９の真下にくる
とエレベータ３３が台の孔を通して台車３７を均熱室２
９まで押し上げ、そのため均熱室２９が品をした状態に
なる。従って、灼熱室２９の熱は第２焼結槽４の他の部
分に直接伝達されることがない。そして一定時間後、エ
レベータ３３が下降して台３６の上に台車３７を置くと
シリンダー３５が引っ込み台車３７を元の位置までもっ
てゆく。台車３７が元の位置に戻ると、第１焼結槽３か
ら次の成形体を載せた台車３７が第２焼結槽３に搬入さ
れ同じ動作が繰り返される。第１冷却偕５においては成
形体は真空冷却される。真空冷却後は成形体は第２冷却
槽５に搬入されガス冷却される。ガス冷却後、台車は後
槽７に搬入される。
槽４から搬出されても、この間の焼結時間が第１焼結栖
３での焼結時間のほぼ１／２であるため、次の台車はま
だ第２焼結槽４内には搬入されてこない。この間、第２
焼結ＷＪ４内では、シールド機構３４が作動する。すな
わち、第２焼結槽４から台車３２が搬送されると、シリ
ンダー３５が延び断熱シールド用の台車３７を均熱室２
９の真下まで運ぶ。台車３７が均熱室２９の真下にくる
とエレベータ３３が台の孔を通して台車３７を均熱室２
９まで押し上げ、そのため均熱室２９が品をした状態に
なる。従って、灼熱室２９の熱は第２焼結槽４の他の部
分に直接伝達されることがない。そして一定時間後、エ
レベータ３３が下降して台３６の上に台車３７を置くと
シリンダー３５が引っ込み台車３７を元の位置までもっ
てゆく。台車３７が元の位置に戻ると、第１焼結槽３か
ら次の成形体を載せた台車３７が第２焼結槽３に搬入さ
れ同じ動作が繰り返される。第１冷却偕５においては成
形体は真空冷却される。真空冷却後は成形体は第２冷却
槽５に搬入されガス冷却される。ガス冷却後、台車は後
槽７に搬入される。
後槽７は最初は低圧力に保持され、台車の搬入後、常温
常圧にされるもので、この状態で成形体が台車ごと搬出
される。
常圧にされるもので、この状態で成形体が台車ごと搬出
される。
すなわち、上記実施例によれば、第２焼結槽４にシール
ド典４な３４を設け、均熱室２９に台車３゛７により蓋
をすることができるため、成形体を載せた台車３２が搬
入されていない場合にも灼熱室２９の熱が第２焼結槽４
の他の部分に直接伝達されるのを防ぐことができ槽４の
寿命を改善できる。また、灼熱室２つの温度を上げ下げ
するような方法を用いることがないのでヒーター２７の
寿命も改善できる。
ド典４な３４を設け、均熱室２９に台車３゛７により蓋
をすることができるため、成形体を載せた台車３２が搬
入されていない場合にも灼熱室２９の熱が第２焼結槽４
の他の部分に直接伝達されるのを防ぐことができ槽４の
寿命を改善できる。また、灼熱室２つの温度を上げ下げ
するような方法を用いることがないのでヒーター２７の
寿命も改善できる。
（発明の効果）
以上の通り、本発明によれば、均熱室２９の熱の放散を
シールド門構により防止できるため、寿命を向上しうる
焼結装置が得られる。
シールド門構により防止できるため、寿命を向上しうる
焼結装置が得られる。
第１図は本発明の実施例のｎａ図、第２図〜第４図は本
発明の実施例に用いられる第２焼結槽の断面図であり、
第２図は台車が搬入された状態の断面図、第３図は台車
を灼熱室まで上げた状態の断面図、第４図はシールドｎ
構を動作させた状態の断面図を示づ。 ３・・・第１焼結槽、 ４・・・第２焼結槽、２９・・
・均熱室、 ３４・・・シールドｎ構、３８・・・断熱
部。 特許出願人 日立コンデンサ株式会社 第２図 第３図 第４図
発明の実施例に用いられる第２焼結槽の断面図であり、
第２図は台車が搬入された状態の断面図、第３図は台車
を灼熱室まで上げた状態の断面図、第４図はシールドｎ
構を動作させた状態の断面図を示づ。 ３・・・第１焼結槽、 ４・・・第２焼結槽、２９・・
・均熱室、 ３４・・・シールドｎ構、３８・・・断熱
部。 特許出願人 日立コンデンサ株式会社 第２図 第３図 第４図
Claims (2)
- （１）金属の微粉末を任意の形状に形成した成形体を、
予め定められた時間経過後に焼結槽内に搬送して焼結し
うる焼結装置において、焼結槽内に設けられ成形体を加
熱して焼結しうる均熱室と、該均熱室に断熱シールド用
の蓋をしうるシールド機構とを有することを特徴とする
焼結装置。 - （２）シールド機構に黒鉛をモリブデンにより被覆した
断熱部が設けられている特許請求の範囲第１項記載の焼
結装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26049286A JPS63114907A (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 | 焼結装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26049286A JPS63114907A (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 | 焼結装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63114907A true JPS63114907A (ja) | 1988-05-19 |
| JPH0377241B2 JPH0377241B2 (ja) | 1991-12-10 |
Family
ID=17348714
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26049286A Granted JPS63114907A (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 | 焼結装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63114907A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007177285A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Chugai Ro Co Ltd | 連続焼結炉 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5861424U (ja) * | 1981-10-22 | 1983-04-25 | 東北金属工業株式会社 | 真空焼結装置 |
| JPS59160529U (ja) * | 1983-04-14 | 1984-10-27 | 日本電気株式会社 | 搬送台 |
| JPS609801A (ja) * | 1983-06-27 | 1985-01-18 | Chugai Ro Kogyo Kaisha Ltd | 真空焼結炉 |
| JPS6040591U (ja) * | 1983-08-26 | 1985-03-22 | マツダ株式会社 | さく孔装置用差し角制御装置 |
-
1986
- 1986-10-31 JP JP26049286A patent/JPS63114907A/ja active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5861424U (ja) * | 1981-10-22 | 1983-04-25 | 東北金属工業株式会社 | 真空焼結装置 |
| JPS59160529U (ja) * | 1983-04-14 | 1984-10-27 | 日本電気株式会社 | 搬送台 |
| JPS609801A (ja) * | 1983-06-27 | 1985-01-18 | Chugai Ro Kogyo Kaisha Ltd | 真空焼結炉 |
| JPS6040591U (ja) * | 1983-08-26 | 1985-03-22 | マツダ株式会社 | さく孔装置用差し角制御装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007177285A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Chugai Ro Co Ltd | 連続焼結炉 |
| JP4576331B2 (ja) * | 2005-12-28 | 2010-11-04 | 中外炉工業株式会社 | 連続焼結炉 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0377241B2 (ja) | 1991-12-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0145417B2 (en) | Hot isostatic pressing | |
| US4518353A (en) | Vacuum sintering furnace | |
| JPS5857481B2 (ja) | 熱間静水圧成形方法および装置 | |
| JP4204253B2 (ja) | 熱間等方加圧装置 | |
| GB1370274A (en) | Method and apparatus for sintering compacts of powder materials | |
| US4359336A (en) | Isostatic method for treating articles with heat and pressure | |
| EP0236639B1 (fr) | Installation flexible automatisée de traitement thermochimique rapide | |
| JPS589806B2 (ja) | 粉末冶金用焼結炉 | |
| US4109157A (en) | Apparatus for ion-nitriding | |
| JP6078000B2 (ja) | 冷却装置 | |
| JP3524242B2 (ja) | 連続式真空焼結炉 | |
| JPS63114907A (ja) | 焼結装置 | |
| JPS623673Y2 (ja) | ||
| DE112016001575T5 (de) | Wärmebehandlungsvorrichtung | |
| JPH11125491A (ja) | 連続式熱処理炉 | |
| JPH0233762B2 (ja) | ||
| JPH0453927B2 (ja) | ||
| JPH07110989B2 (ja) | 真空処理装置 | |
| JP2003185344A (ja) | 熱処理炉 | |
| JPS6124441B2 (ja) | ||
| JP4488682B2 (ja) | 等方圧加圧装置 | |
| JP2723132B2 (ja) | 熱処理炉 | |
| JPH09184685A (ja) | インライン式真空熱処理炉 | |
| JPH0488120A (ja) | 真空炉の雰囲気加熱方法 | |
| US3726674A (en) | Horizontal vertical sintering method |