JPS60249155A - 光導電部材 - Google Patents
光導電部材Info
- Publication number
- JPS60249155A JPS60249155A JP59104667A JP10466784A JPS60249155A JP S60249155 A JPS60249155 A JP S60249155A JP 59104667 A JP59104667 A JP 59104667A JP 10466784 A JP10466784 A JP 10466784A JP S60249155 A JPS60249155 A JP S60249155A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carbon
- surface protecting
- protecting layer
- layer
- photoconductive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G5/00—Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
- G03G5/14—Inert intermediate or cover layers for charge-receiving layers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
本発明は光導電部材に関し、更に詳しくは、機械的強度
が大きい表面保護層を有し、もって使用寿命が大幅に改
善された光導電部材に関する。
が大きい表面保護層を有し、もって使用寿命が大幅に改
善された光導電部材に関する。
［発明の技術的背景とその問題点］
従来からの光導電部材としては、■導電性支持体の上に
Ｃｄ５若しくはＺｎＯを有機質のバインダーと共に焼結
したちの；■導電性支持体の上にＳｅ若しくは５ｅ−Ｔ
ｅ系を蒸着したもの又はプラズマグロー放電反応によっ
て非晶質シリコン（以下、ａ−３ｉと記す）の膜を形成
したもの；■ポリビニルカルバソール若しくはトリニト
ロフルオレンのような有機感光体材料を導電性支持体の
上に塗布したもの；などが知られており、既にこれらは
製品として市場にでまわっている。
Ｃｄ５若しくはＺｎＯを有機質のバインダーと共に焼結
したちの；■導電性支持体の上にＳｅ若しくは５ｅ−Ｔ
ｅ系を蒸着したもの又はプラズマグロー放電反応によっ
て非晶質シリコン（以下、ａ−３ｉと記す）の膜を形成
したもの；■ポリビニルカルバソール若しくはトリニト
ロフルオレンのような有機感光体材料を導電性支持体の
上に塗布したもの；などが知られており、既にこれらは
製品として市場にでまわっている。
しかしながら、これら従来の光導電部材における共通し
た問題点は、表面摩耗に基づく耐用寿命の問題である。
た問題点は、表面摩耗に基づく耐用寿命の問題である。
例えば、前述した、■、■の光導電部材はその表面硬度
が基本的には小さく軟らかいので長い耐用寿命は望めな
い。また、■のうち、Ｓｅ、Ｔｅで光増感したものも、
その表面硬度がウィッカース硬さで数十（Ｈマ）程度で
ありあまり、硬いとはいえない。しかし、■のうち、ａ
−８ｉ膜を有するものは、そのＨマが約１０００であっ
て、その機械的強度は大である。
が基本的には小さく軟らかいので長い耐用寿命は望めな
い。また、■のうち、Ｓｅ、Ｔｅで光増感したものも、
その表面硬度がウィッカース硬さで数十（Ｈマ）程度で
ありあまり、硬いとはいえない。しかし、■のうち、ａ
−８ｉ膜を有するものは、そのＨマが約１０００であっ
て、その機械的強度は大である。
一般に、感光体材料は、電子写真複写機やレーザダイオ
ードプリンタ用の感光体のように、カールソン方式を適
用する限り、該感光体の表面は常時摩擦されていてその
表面変質が避けがたい。そのため、例えば、レーザダイ
オードプリンタの様にメンテナンスフリーで、かつ、
１００万枚以上の印写連続運転に供した場合、そのよう
な過酷な条件に耐え得るような感光体はいまだ開発され
ていない。
ードプリンタ用の感光体のように、カールソン方式を適
用する限り、該感光体の表面は常時摩擦されていてその
表面変質が避けがたい。そのため、例えば、レーザダイ
オードプリンタの様にメンテナンスフリーで、かつ、
１００万枚以上の印写連続運転に供した場合、そのよう
な過酷な条件に耐え得るような感光体はいまだ開発され
ていない。
ａ−８ｉＭの場合、その耐摩耗性が良好であることによ
り、他の感光体材料の場合よりも長寿命であり、約ｌＯ
万枚まではメンテナンスフリーで印写連続運転が可能で
あるが、目標を １００万枚と置いたときその特性は未
だ不充分である。
り、他の感光体材料の場合よりも長寿命であり、約ｌＯ
万枚まではメンテナンスフリーで印写連続運転が可能で
あるが、目標を １００万枚と置いたときその特性は未
だ不充分である。
このため、ａ−９ｉの光導電層の上に、例えば、シリコ
ン窒化膜、シリコン酸化膜、シリコン炭化膜のような薄
膜を表面保護層としてプラズマグロー放電反応によって
形成して長寿命化を企てることが試みられているが、し
かし、それもいまだ充・分とはいいがたいのが現状であ
る。
ン窒化膜、シリコン酸化膜、シリコン炭化膜のような薄
膜を表面保護層としてプラズマグロー放電反応によって
形成して長寿命化を企てることが試みられているが、し
かし、それもいまだ充・分とはいいがたいのが現状であ
る。
したがって、耐摩耗性が一層優れた表面保護層を備えた
光導電部材への要望は非常に高まっている。
光導電部材への要望は非常に高まっている。
［発明の目的］
本発明は、上記した要望に応え、耐摩耗性が優れた表面
保護層を備え、したがって耐用寿命が改善された光導電
部材の提供を目的とする。
保護層を備え、したがって耐用寿命が改善された光導電
部材の提供を目的とする。
［発明の概要］
本発明の光導電部材は、光導電層の上に表面保護層を有
する光導電部材において、該表面保護層が、無定形炭素
又は硬質炭素から成る層であることを特徴とする。
する光導電部材において、該表面保護層が、無定形炭素
又は硬質炭素から成る層であることを特徴とする。
本発明の表面保護層を構成する無定形炭素又は硬質炭素
は、いわゆる黒鉛結晶が成長していない組織の炭素であ
る０例えば、ダイヤモンド状構造の炭素、熱分解炭素、
ｉ−カーボンと指称されるようなものである。
は、いわゆる黒鉛結晶が成長していない組織の炭素であ
る０例えば、ダイヤモンド状構造の炭素、熱分解炭素、
ｉ−カーボンと指称されるようなものである。
層の厚みは０．０５〜５ＩＬｍ程度でよく、あまり薄い
と表面保護層としての機能低下をきたし、逆にあまり厚
いと感光体活性自体に悪影響を及ぼすなどの問題が生ず
る。
と表面保護層としての機能低下をきたし、逆にあまり厚
いと感光体活性自体に悪影響を及ぼすなどの問題が生ず
る。
このような表面保護層は次のようにして形成することが
できる。すなわち、プラズマ放電反応を利用する化学蒸
着法（Ｃ：ＶＤ法）により、常法に従って、導電性支持
体（例えば、アルミニウム板又は ゛トラム）の上に障
壁層、光導電層をこの順序で積層形成したのち、反応系
を例えばメタン、アセチレンなどの炭化水素に切換え、
所定の圧力、温度で所定時間反応を進め、該光導電層表
面に無定形炭素、硬質炭素を沈着せしめて層形成する方
法である。
できる。すなわち、プラズマ放電反応を利用する化学蒸
着法（Ｃ：ＶＤ法）により、常法に従って、導電性支持
体（例えば、アルミニウム板又は ゛トラム）の上に障
壁層、光導電層をこの順序で積層形成したのち、反応系
を例えばメタン、アセチレンなどの炭化水素に切換え、
所定の圧力、温度で所定時間反応を進め、該光導電層表
面に無定形炭素、硬質炭素を沈着せしめて層形成する方
法である。
このとき、ガス圧は０．０１− Ｉ Ｔｏｒｒ 、温度
１５ｏ〜４００℃の条件下で成膜操作をすることが好
適である。
１５ｏ〜４００℃の条件下で成膜操作をすることが好
適である。
［発明の実施例］
１ 。
アルミニウム製のドラムをプラズマグロー放電反応装置
内にセットし、高周波電力３ｏｏｗでドラムを２８０℃
に高周波加熱した。
内にセットし、高周波電力３ｏｏｗでドラムを２８０℃
に高周波加熱した。
ついで、ジポラン（Ｂ２）１６）／シラン（Ｓ ＋ Ｈ
ａ ）の注入容積比Ｉ Ｘ １０’ 、 メタン（Ｇ）
ｌ ）／ Ｓ、＋Ｈａノ注入容積比ｌとなるように各成
分ガスを装置に流入し、反応圧を２Ｔｏｒｒに維持して
１０分間反応を継続せしめた（障Ｉ！層の形成）、つい
でこのまま１５分間放置してから、ここにＢ Ｈ／ Ｓ
＋Ｈａ＝Ｉ Ｘ １０−’の注入Ｂ 容積比で２成分ガスを流入し４５分開成膜操作を行なっ
た（光導電層の形成）。
ａ ）の注入容積比Ｉ Ｘ １０’ 、 メタン（Ｇ）
ｌ ）／ Ｓ、＋Ｈａノ注入容積比ｌとなるように各成
分ガスを装置に流入し、反応圧を２Ｔｏｒｒに維持して
１０分間反応を継続せしめた（障Ｉ！層の形成）、つい
でこのまま１５分間放置してから、ここにＢ Ｈ／ Ｓ
＋Ｈａ＝Ｉ Ｘ １０−’の注入Ｂ 容積比で２成分ガスを流入し４５分開成膜操作を行なっ
た（光導電層の形成）。
ついで、このまま１０分間放置してから、Ｓ ｒ ）ｌ
４゜Ｂ２Ｈ６のガス供給を絶ち、ＣＨ４のみを、流量
１００ｍ文／ｗｉｎで流入して反応圧をｌ Ｔｏｒｒに
維持し５分間成膜操作を行なった（表面保護層の形成）
。
４゜Ｂ２Ｈ６のガス供給を絶ち、ＣＨ４のみを、流量
１００ｍ文／ｗｉｎで流入して反応圧をｌ Ｔｏｒｒに
維持し５分間成膜操作を行なった（表面保護層の形成）
。
約０．５ｇｍの表面保護層が形成され、これは無定形炭
素であることがＸ線回折分析から判明した。
素であることがＸ線回折分析から判明した。
つぎに、このドラムをＬＤプリンタに実装して寿命試験
を行なったところ、 １００万枚の連続印写後の感光体
特性の変動はほとんど認められなかった。
を行なったところ、 １００万枚の連続印写後の感光体
特性の変動はほとんど認められなかった。
１００万枚印写後の主要特性を初期特性（カッコ内）と
比較して以下に示す。
比較して以下に示す。
表面受容電位 ５００Ｖ （５１０Ｖ）暗減衰率１５秒
で２６％ （同２５％）半減露光量 ０．８１ｕｘ−ｓ
ｅｃ （０，６１ｕｘ−ｓｅｃ）残留電位１５Ｖ （１
２Ｖ） 実施例２ 光導電層の形成までの操作は実施例１と同様に行なった
。その後、１０分間放置してから、５ｉ）ｌ、 、 Ｂ
２Ｏ，の供給を絶ち、代りにエチレンのみを流量１００
１愛／ｗｉｎで流入し１反応圧をｌ Ｔｏｒｒに維持し
、ドラム温度２８０℃のまま高周波電力を４００Ｗに高
めて５分間プラズマグロー反応を行なった。厚みｌｐｍ
の無定形炭素の層が形成された。
で２６％ （同２５％）半減露光量 ０．８１ｕｘ−ｓ
ｅｃ （０，６１ｕｘ−ｓｅｃ）残留電位１５Ｖ （１
２Ｖ） 実施例２ 光導電層の形成までの操作は実施例１と同様に行なった
。その後、１０分間放置してから、５ｉ）ｌ、 、 Ｂ
２Ｏ，の供給を絶ち、代りにエチレンのみを流量１００
１愛／ｗｉｎで流入し１反応圧をｌ Ｔｏｒｒに維持し
、ドラム温度２８０℃のまま高周波電力を４００Ｗに高
めて５分間プラズマグロー反応を行なった。厚みｌｐｍ
の無定形炭素の層が形成された。
得られたドラムを実施例１と同様にＬＤプリンタに実装
して寿命試験を行なった。 １００万枚印写後の感光体
特性は以下のとおりであった。
して寿命試験を行なった。 １００万枚印写後の感光体
特性は以下のとおりであった。
表面受容電位 ５００Ｖ （５１０Ｖ）暗減衰率１５秒
で２７％ （同２５％）半減露光量 ０．７１ｕｉ、ｓ
ｅｃ （０，８１ｕｘ・５ｅｃ）残留電位１８Ｖ （１
２Ｖ） ［発明の効果］ 以上の説明で明らかなように、本発明の光導電部材は、
その表面保護層の機械的強度、とりわけ硬度が高いので
耐摩耗性に優れ、その耐用寿命が著しく延び、従来問題
とされていた印写連続運転の枚数を大幅に増加せしめる
ことを可能としてその工業的価値は大である。
で２７％ （同２５％）半減露光量 ０．７１ｕｉ、ｓ
ｅｃ （０，８１ｕｘ・５ｅｃ）残留電位１８Ｖ （１
２Ｖ） ［発明の効果］ 以上の説明で明らかなように、本発明の光導電部材は、
その表面保護層の機械的強度、とりわけ硬度が高いので
耐摩耗性に優れ、その耐用寿命が著しく延び、従来問題
とされていた印写連続運転の枚数を大幅に増加せしめる
ことを可能としてその工業的価値は大である。
Claims (1)
- 光導電層の上に表面保護層を有する光導電部材において
、該表面保護層が、無定形炭素界は硬質炭素から成る層
であることを特徴とする光導電部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59104667A JPS60249155A (ja) | 1984-05-25 | 1984-05-25 | 光導電部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59104667A JPS60249155A (ja) | 1984-05-25 | 1984-05-25 | 光導電部材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60249155A true JPS60249155A (ja) | 1985-12-09 |
Family
ID=14386812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59104667A Pending JPS60249155A (ja) | 1984-05-25 | 1984-05-25 | 光導電部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60249155A (ja) |
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6315255A (ja) * | 1986-07-08 | 1988-01-22 | Minolta Camera Co Ltd | 感光体 |
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-
1984
- 1984-05-25 JP JP59104667A patent/JPS60249155A/ja active Pending
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