JPS6061761A - 電子写真用感光体 - Google Patents
電子写真用感光体Info
- Publication number
- JPS6061761A JPS6061761A JP17182383A JP17182383A JPS6061761A JP S6061761 A JPS6061761 A JP S6061761A JP 17182383 A JP17182383 A JP 17182383A JP 17182383 A JP17182383 A JP 17182383A JP S6061761 A JPS6061761 A JP S6061761A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diamond
- carbon film
- photosensitive
- active layer
- photoreceptor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G5/00—Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
- G03G5/14—Inert intermediate or cover layers for charge-receiving layers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）技術分野
本発明は電子複写機、レーザープリンタなどに用いられ
る電子写真用感光体に関する。
る電子写真用感光体に関する。
（２）従来技術とその問題点
電子写真技術は古＜１９３８年カールソンによって発明
されて以来複写機やプリンタとして床几に利用され現在
の事務所には不可欠の機器となっている。これは使用さ
れる心臓部ともいうべき感光体としては各種のものが開
発されだが、アモルファスセレニウム（ａ−８ｅ）に代
表されるアモルファスカルコゲン、ＩＩ−ＶＩ族徽結晶
を樹脂に分散させたもの、有機光導電材料などがあり、
最近ではアモルファスシリコン（ａ−Ｓ；）の感光体も
検討されている。か＼る感光体に要求される特性の中で
、長期間安定した画質を得るだめの信頼性が最も重要で
ある。この信頼性を妨げる要因として、感光体表面に静
電荷を与える帯電過程のコロナ放電と種々の工程での他
部材との接触による機械的損傷とがある。帯電過程のコ
ロナ放電では酸素や窒素などのイオン、オゾン、電子な
どが発生し、これらの物質が化学的に非常に活性である
ため感光体表面を変質させてしまい感光体を長時間安定
して使用できないことが多かった。更にａ Ｓｅ、樹脂
分散型および有機感光体は機械的強度が弱く種４の機械
的損傷によって使用できないことも多く、最も機械的強
度が優れたａ−８ｉ 感光体でもなお不充分である。
されて以来複写機やプリンタとして床几に利用され現在
の事務所には不可欠の機器となっている。これは使用さ
れる心臓部ともいうべき感光体としては各種のものが開
発されだが、アモルファスセレニウム（ａ−８ｅ）に代
表されるアモルファスカルコゲン、ＩＩ−ＶＩ族徽結晶
を樹脂に分散させたもの、有機光導電材料などがあり、
最近ではアモルファスシリコン（ａ−Ｓ；）の感光体も
検討されている。か＼る感光体に要求される特性の中で
、長期間安定した画質を得るだめの信頼性が最も重要で
ある。この信頼性を妨げる要因として、感光体表面に静
電荷を与える帯電過程のコロナ放電と種々の工程での他
部材との接触による機械的損傷とがある。帯電過程のコ
ロナ放電では酸素や窒素などのイオン、オゾン、電子な
どが発生し、これらの物質が化学的に非常に活性である
ため感光体表面を変質させてしまい感光体を長時間安定
して使用できないことが多かった。更にａ Ｓｅ、樹脂
分散型および有機感光体は機械的強度が弱く種４の機械
的損傷によって使用できないことも多く、最も機械的強
度が優れたａ−８ｉ 感光体でもなお不充分である。
（３）発明の目的
本発明の目的はかくる問題を解消し長時間安定して使用
できる感光体を提供することにある。
できる感光体を提供することにある。
（４）発明の１１に成
本発明は導電性基体上に形成された従来の感光活性層の
表面にダイヤセント状炭素膜を被覆した感光体である。
表面にダイヤセント状炭素膜を被覆した感光体である。
以下実施例に従って詳細に説明する。その１つとして導
体性基体であるアルミニウムト゛ラム基体上ｖＣａ−８
ｉ感光性活性１留を形成した複写機用感光体を例にとっ
て説明する。
体性基体であるアルミニウムト゛ラム基体上ｖＣａ−８
ｉ感光性活性１留を形成した複写機用感光体を例にとっ
て説明する。
第１図は本発明のａ−８ｉ感光体の一部断面図であり、
１はアルミニウムドラム基体、２ｕａ−ｓｉｇ光性活性
帯、３が本発明の特徴であるダイヤモンド状炭素膜であ
る。ａ Ｓｉ層２は公知の５ｉ）（４ガスをグロー放電
分解するプラズマＣＶＤ法で形成し、その膜厚を１０μ
＋１１とした。このａ−８１９はこの方法以外、ＳｉＨ
４あるいば／おＪ＝びＳ ｉ Ｆ ４を主体とするガス
を原料としたプラズマＣＶＤ法、スパッタリンク法、イ
オンブレーティング法、通常のＣＶＤ法で形成してもよ
い。また光感度を余シ下げないで高抵抗にするだめにあ
るいは感光波長を調整するため他元素（酸素、窒素、炭
素、硼素、Ｇｅ、錫など）を添加してもよい。
１はアルミニウムドラム基体、２ｕａ−ｓｉｇ光性活性
帯、３が本発明の特徴であるダイヤモンド状炭素膜であ
る。ａ Ｓｉ層２は公知の５ｉ）（４ガスをグロー放電
分解するプラズマＣＶＤ法で形成し、その膜厚を１０μ
＋１１とした。このａ−８１９はこの方法以外、ＳｉＨ
４あるいば／おＪ＝びＳ ｉ Ｆ ４を主体とするガス
を原料としたプラズマＣＶＤ法、スパッタリンク法、イ
オンブレーティング法、通常のＣＶＤ法で形成してもよ
い。また光感度を余シ下げないで高抵抗にするだめにあ
るいは感光波長を調整するため他元素（酸素、窒素、炭
素、硼素、Ｇｅ、錫など）を添加してもよい。
このａ−８ｉ層表面に形成するダイヤモンド状炭素膜３
は公知のメタン（ＣＨ４）ガスをグロー放電分解するプ
ラズマＣＶＤ法によって０３μｍの膜厚に形成した。こ
のダイヤモンド状炭素膜は別名ｌ・カーボンとも呼ばれ
、プラズマＣＶＤ法、スパッタリング法、イオンビーム
デポジッション法などプラズマ状態あるいはイオン状態
を経て形成される炭素膜で、その電気的、機械的、光学
的、化学的特性が通常の炭素膜とは異なり、ダイヤモン
ドに近い膜である。即ち固有抵抗が１００−０ｍ以上、
光学的バンドギャップはＺｅＶ以上、ビッカーヌ硬度は
１５００以」二の特性のものである。
は公知のメタン（ＣＨ４）ガスをグロー放電分解するプ
ラズマＣＶＤ法によって０３μｍの膜厚に形成した。こ
のダイヤモンド状炭素膜は別名ｌ・カーボンとも呼ばれ
、プラズマＣＶＤ法、スパッタリング法、イオンビーム
デポジッション法などプラズマ状態あるいはイオン状態
を経て形成される炭素膜で、その電気的、機械的、光学
的、化学的特性が通常の炭素膜とは異なり、ダイヤモン
ドに近い膜である。即ち固有抵抗が１００−０ｍ以上、
光学的バンドギャップはＺｅＶ以上、ビッカーヌ硬度は
１５００以」二の特性のものである。
第１図に示した上述によって得た本発明の感光体および
、表面にダイヤモンド状炭素１摸のない従来の感光体を
使用して複写耐久試験を実施した結果、本発明の感光体
は５０万回の複写に充分耐え、なお鮮明な複写が可能で
あったのに対し、従来の感光体は５万回の複写で鮮明度
が悪くなり使用不能となった。
、表面にダイヤモンド状炭素１摸のない従来の感光体を
使用して複写耐久試験を実施した結果、本発明の感光体
は５０万回の複写に充分耐え、なお鮮明な複写が可能で
あったのに対し、従来の感光体は５万回の複写で鮮明度
が悪くなり使用不能となった。
」二記の実施例でダイヤセント状炭素膜は０３μｍとし
たが１漢厚を変化させて効果を調べた結果、５００Ｘ以
上の１摸厚が必要であり、感光活性層に充分の光を到達
させるために２μｎＬ以下が望捷しい。勿論この値はダ
イＡ・センド状炭素膜の光吸収係数、光源の波長などに
依存する。
たが１漢厚を変化させて効果を調べた結果、５００Ｘ以
上の１摸厚が必要であり、感光活性層に充分の光を到達
させるために２μｎＬ以下が望捷しい。勿論この値はダ
イＡ・センド状炭素膜の光吸収係数、光源の波長などに
依存する。
またアルミニウム基体とａ−Ｓｉ層の間に密Ｍｉ生向上
のために中間層を設けることもできる。
のために中間層を設けることもできる。
（５１発明の効果
本発明の感光体は電子写真の帯電過程でのコロナ放電に
よる感光体表面の変質および種々の工程での機械的損傷
が起り 難いだめ長期間安定して使用することができる
。
よる感光体表面の変質および種々の工程での機械的損傷
が起り 難いだめ長期間安定して使用することができる
。
また種々の感光体のうちａ−８ｉはダイヤモンド状炭素
１漢との密着性が良く、まだ同一の製造装置（例えばプ
ラズマＣＶＤ装置）で連続して膜形成ができるためａ
−Ｓ ｉを感光活性層とするものが工業的に望ましい。
１漢との密着性が良く、まだ同一の製造装置（例えばプ
ラズマＣＶＤ装置）で連続して膜形成ができるためａ
−Ｓ ｉを感光活性層とするものが工業的に望ましい。
第１図は本発明の感光体の一部断面図である。
１：導電性基体、２：感光活慴三層、３：タ゛イヤモン
ド状伏素、１１＠。
ド状伏素、１１＠。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｆ１１導電性基体上に形成された感光活性層の表面にダ
イヤモンド状炭素膜が被覆されていることを特徴とする
電子写真用感光体。 （２）感光活性層がアモルファスシリコンであると（３
）表面のグイへ１モンド状炭素膜の厚み５００Ｘ以上２
μｍｎ以下であることを特徴とする特許請求の範囲第（
１）項、第（２）項記載の電子写真用感光体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17182383A JPS6061761A (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | 電子写真用感光体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17182383A JPS6061761A (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | 電子写真用感光体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6061761A true JPS6061761A (ja) | 1985-04-09 |
Family
ID=15930399
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17182383A Pending JPS6061761A (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | 電子写真用感光体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6061761A (ja) |
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60249155A (ja) * | 1984-05-25 | 1985-12-09 | Toshiba Corp | 光導電部材 |
| JPS61275855A (ja) * | 1985-05-31 | 1986-12-05 | Fuji Xerox Co Ltd | 電子写真用感光体 |
| JPS61275859A (ja) * | 1985-05-31 | 1986-12-05 | Fuji Xerox Co Ltd | 電子写真用感光体 |
| JPS61289354A (ja) * | 1985-06-18 | 1986-12-19 | Oki Electric Ind Co Ltd | 電子写真感光体の製造方法 |
| JPS6283471A (ja) * | 1985-10-09 | 1987-04-16 | Hitachi Ltd | 炭素皮膜形成方法及び装置 |
| JPS62150355A (ja) * | 1985-12-25 | 1987-07-04 | Fuji Xerox Co Ltd | 電子写真感光体 |
| JPS6346467A (ja) * | 1986-08-14 | 1988-02-27 | Fuji Xerox Co Ltd | 電子写真用感光体 |
| US4738912A (en) * | 1985-09-13 | 1988-04-19 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member having an amorphous carbon transport layer |
| EP0264104A2 (en) | 1986-10-14 | 1988-04-20 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Electrophotographic photosensitive member having an overcoat layer |
| US4741982A (en) * | 1985-09-13 | 1988-05-03 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member having undercoat layer of amorphous carbon |
| US4743522A (en) * | 1985-09-13 | 1988-05-10 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member with hydrogen-containing carbon layer |
| US4749636A (en) * | 1985-09-13 | 1988-06-07 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member with hydrogen-containing carbon layer |
| US4932859A (en) * | 1985-05-31 | 1990-06-12 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Electrophotographic photoreceptor having doped and/or bilayer amorphous silicon photosensitive layer |
| US4939056A (en) * | 1987-09-25 | 1990-07-03 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member |
| US5000831A (en) * | 1987-03-09 | 1991-03-19 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Method of production of amorphous hydrogenated carbon layer |
| US5166018A (en) * | 1985-09-13 | 1992-11-24 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member with hydrogen-containing carbon layer |
| US5168023A (en) * | 1990-07-04 | 1992-12-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Photosensitive element used in electrophotography |
| US5262262A (en) * | 1985-05-31 | 1993-11-16 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Electrophotographic photoreceptor having conductive layer and amorphous carbon overlayer |
| WO2014084177A1 (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-05 | 京セラ株式会社 | 電子写真感光体およびこれを備えた画像形成装置 |
-
1983
- 1983-09-16 JP JP17182383A patent/JPS6061761A/ja active Pending
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60249155A (ja) * | 1984-05-25 | 1985-12-09 | Toshiba Corp | 光導電部材 |
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| JPS61289354A (ja) * | 1985-06-18 | 1986-12-19 | Oki Electric Ind Co Ltd | 電子写真感光体の製造方法 |
| US4749636A (en) * | 1985-09-13 | 1988-06-07 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member with hydrogen-containing carbon layer |
| US5166018A (en) * | 1985-09-13 | 1992-11-24 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member with hydrogen-containing carbon layer |
| US4738912A (en) * | 1985-09-13 | 1988-04-19 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member having an amorphous carbon transport layer |
| US4741982A (en) * | 1985-09-13 | 1988-05-03 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member having undercoat layer of amorphous carbon |
| US4743522A (en) * | 1985-09-13 | 1988-05-10 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member with hydrogen-containing carbon layer |
| JPS6283471A (ja) * | 1985-10-09 | 1987-04-16 | Hitachi Ltd | 炭素皮膜形成方法及び装置 |
| JPS62150355A (ja) * | 1985-12-25 | 1987-07-04 | Fuji Xerox Co Ltd | 電子写真感光体 |
| JPS6346467A (ja) * | 1986-08-14 | 1988-02-27 | Fuji Xerox Co Ltd | 電子写真用感光体 |
| EP0264104A2 (en) | 1986-10-14 | 1988-04-20 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Electrophotographic photosensitive member having an overcoat layer |
| US5000831A (en) * | 1987-03-09 | 1991-03-19 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Method of production of amorphous hydrogenated carbon layer |
| US4939056A (en) * | 1987-09-25 | 1990-07-03 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member |
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| WO2014084177A1 (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-05 | 京セラ株式会社 | 電子写真感光体およびこれを備えた画像形成装置 |
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