JPS5946435B2 - 担体に印刷を行うためにスクリ−ンを介して担体に物質を塗布する装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は担体に印刷を行うためにスクリーンを介して
担体に物質を塗布する装置、特にそれたけではないが一
般に基板と称されている多重の厚膜接続を有する回路を
スクリーン印刷によつて製作するのに用いられるスクリ
ーン印刷装置に関する。

現在データ処理装置の製作においては、このような装置
の寸法を相当に減少することを可能にするコンパクトな
回路が増々多く利用されている。

このようなコンパクトな回路は電気接続パネルに多数の
層として群別化され、通常はハウジング内に収容された
集積回路によつて形成される電子要素が設けられている
（設けられない場合もある）印刷回路の形態で製作され
る場合が多い。高い性能を有する回路を製作し、これ等
回路を比較的に非常に小さい空間に群別化する目的で、
製造業者はハウジング内に取付けられた集積回路の代り
に一般にチツプとして知られている小さい集積回路ウエ
ーハを用い、これら集積回路ウエーハを特に多数の導体
を有してしかも互いに絶縁層によつて分離されている多
数の層レベルに導体が分配されている基板に取付けてい
るのが普通である。ただしこの場合基板の所定の箇所、
例えば導電性のピンが設けられる箇所においては異なつ
た層レベルに位置する導体間にも電気接続が設けられる
。このような基板は、例えばアルミナのような電気的に
絶縁性の担体上に導電性および絶縁性の層を交互に付着
することを可能にするスクリーン印刷装置を用いて製作
されている。この場合各層は造ろうとする層の形態に対
応する開口パターンを有するスタリーンまたはマスクを
用いて導電性または絶縁性の糊状物質を塗布することに
より造られている。各層を塗布した後に担体をスクリー
ン印刷装置から取外して高温炉内に入れ、それにより層
を固化して担体または前に付着された層に強力に付着す
る絶縁または金属質の層を形成している。異なつた層レ
ベルに位置する導体間に電気接続を造ることを可能にす
るためには、層の付着を可能にするために装置内に順次
挿入されるスクリーンを互いに極めて高い精度で位置決
めすることが不可欠であるばかりでなく、層を受けるよ
うに装置内に挿入される担体をもスクリーンに対して同
じような高い精度で位置決めしなければならない。この
目的で２つの孔を有するフレーム内に各スクリーンを取
付けて、この２つの孔を装置内に設けられた２つのピン
に上から挿通し、フレーム内のスクリーンを変位してス
クリーンの開口パターンを２つの穴に対し正確に位置決
めし、フレームを順次装置内に挿入する時にこれ等フレ
ームに取付けられているスクリーンの種々な開口パター
ンが装置の２つのピンに対して正確に位置決めされるよ
うな手段が講じられている。従来製作されているスクリ
ーン印刷装置においては、これ等２つのピンは水平の板
に取付けられ、糊状物質はこの板に取付けられた案内手
段に取付けられていて水平方向に垂直に摺動することが
できるブレードにより装置内のスクリーンの開口パター
ンを介して塗布されている。

そして例えば清浄の目的でこのブレードに手入れを行な
うことを可能にするために、上記板はブレードの運動方
向に垂直に配列された水平の軸を中心に回動できるよう
に取付けられている。このような装置には、また層を受
ける担体が配置された可動な往復台が設けられており、
この往復台は装置内に既に挿入されているスクリーンの
平面に対し平行に移動して往復台上に配置された担体を
スクリーンの開口パターンの下側に位置付けることがで
きる。

しかしながら、このようなスクリーン印刷装置は次のよ
うな点で完全に満足なものとは言えない。

即ち往復台を大きな精度でスクリーンの下側に配置する
ことができないばかりでなく、水平の軸にヒンジ連結さ
れた板に不可避的に遊びが生じ、このために板上の２つ
のピンに取付けられたスクリーンを装置の固定の部分に
対し正確に位置付けることができないという点である。
また基板の導電体層を分離する絶縁層が極めて薄い場合
には、洩話現象を克服するために各層レベルにおいて導
体がほぼ互いに平行に位置し、しかも１つの層レベルに
おける導体の方向が隣接の層レベルの導体の方向に対し
て垂直になるように導体を配夕１ルなければならないこ
とが知られている。

この結果スクリーン印刷装置が順次挿入されるスクリー
ンの開口パターンは本質的に互に平行である線分から構
成され、これら線分は対応のスクリーンを装置内に配置
した時にブレードの運動方向に対しほぼ平行であるかあ
るいはまたこの方向に対し垂直となるように配位されて
いる。しかしながら線分が上記方向に対して垂直に位置
する場合には、担体または既に付着されている絶縁層上
に開口パターンの輪郭と正確に一致する糊状物質の付着
物を得ることは非常に困難となる。と言うのはこれらの
線分の幅が非常に狭く例えば数百ミクロンよりも小さく
なるからである。よつて、この発明は、上に述べたよう
な欠点を克服し、用いられているスクリーンの開口パタ
ーンの輪郭に正確に従う形態を有する一連の層を担体上
に互に正確に付着することを可能にする糊状物質層の担
体へのスクリーン塗布装置を提供しようとするものであ
る。

本発明によれば、スクリーンを介して担体に糊状物質層
を塗布するための装置にして、上記担体を受けるプラテ
ンとプラテン上に配置された担体をスタリーンに対し垂
直な方向でスクリーンと接触せしめる手段と、担体がス
クリーンと接触した時にスクリーンに対しプラテンを位
置決めするための手段とを備えた装置が提供される。

本発明の１つの具体例においてはスクリーンがほぼ同一
方向に延びる線分から構成された開口パターンを有する
場合にスクリーンのパターンを形成する線分に対して平
行な方向に糊状物質を押拡げるようにブレードを作動す
る手段が設けられる。

本発明は３つに分割を行つたが特にこ＼では心出し装置
（５６，５７を中心とした）を提供することを主目的と
している。本発明の他の目的や利点は添付図面に単なる
例として示す本発明の具体例に関する以下の説明から一
層明らかになろう。

第１図、第２図および第３図は高い回路密度で多層基板
の製作を可能にするスクリーン印刷装置の主要部を示す
。

図面から明らかなようにこの装置は２つの垂直の側部板
１０および１１によつて形成されたフレームを有してお
り、これ等側部板１０および１１は脚１５によつて支持
された横材１３および１４に載置された台１２に取付け
られておつて、その上端を水平の支持板１６により連結
されている。この支持板１６には円形の開口１７が設け
られており、この円形の開口１７の下側にはフレーム１
９に取付けられたスクリーン印刷用スクリーン１８を第
１図および第２図に示すように開口を覆うようにして配
置することができる。スタリーン印刷装置から抜き取る
ことができるスクリーン１８およびフレーム１９によつ
て形成された組立体は第４図に略示されている。第４図
から明らかなように、フレーム１９には２つの孔２０が
設けられておつて、この孔の中にスクリーン印刷装置の
２つの対応のピンを挿入することによりスクリーンおよ
びフレーム組立体を極めて高い精度で装置内に位置づけ
ることができる。なお第１図には図示を簡単にするため
に２つのピンのうちの１つだけが参照数字２１で示され
ている。また第４図から明らかなようにフレーム１９に
は２つのねじ２２が設けられておつて、このねじをスク
リーン印刷装置にねじ込むことにより第２図に示すよう
に支持板１６の下面に対してスクリーンおよびフレーム
組立体をその位置に保持することができる。ピン２１と
協働する孔２０の製造公差は２〜３ミタロン程度である
ので、実際上フレーム１９をピン２１に係合した後に手
でフレーム１９をピン２１から取外すことは不可能であ
る。この理由からフレーム１９にはねじ込んだ時に支持
板１６の下面に当接してフレーム１９を損傷することな
く装置のピン２１から取外すことを可能にする２つのね
じ２３（第４図）が設けられているのである。第４図に
はスクリーン１８の開口パターンが参照数字２４で示さ
れている。

スクリーンのほぼ中央部に位置するこの開口パターン２
４は２つのマークに挟まれており、そのうちの１つのマ
ーク２５は十字によつて形成されており、他のマーク２
６は線分によつて形成されている。これ等２つのマーク
はパターン２４を２つの孔２０に対して非常に正確に位
置決めするのに用いられる。スクリーン１８およびフレ
ーム１９によつて形成された組立体をスクリーン印刷装
置に挿入する以前に行なわれるこの設定動作は、例えば
フランス国特許第２１８２２９８号明細書に開示されて
いるようなパターン設定装置を用いて実施することがで
きよう。次に第２図を参照するに、スクリーン印刷装置
はプラテン３８を備えており、このプラテン３８上には
必要に応じ１つまたは２つ以上の絶縁または導電性の層
を被覆することができるアルミナのような絶縁材料から
作られた担体２８を置いて、既に装置内に挿入されてい
るスクリーン１８と接触関係にすることができる。

このプラテン３８は水平の板２９上に設けられている設
定装置２７に取付けられている。水平板２９には２つの
ブツシング３０および３１が設けられており、これ等ブ
ツシングは装置のフレームに固定された２つの垂直棒３
２および３３上で摺動することができる。これ等２つの
棒３２および３３はそれぞれ垂直の板１０および１１に
沿つて上方に延びている。設定装置２７は板２９に取付
けられて旋回リング３５を担持している摺動部材３４を
備えている。一方リング３５には２つの重ね合された板
３６および３７が取付けられており、これ等板３６およ
び３７は２つの互に直交する水平の摺動部材を形成して
いる。板２−９の下側に垂直位置に設けられたねじ付ス
ピンドル３９の上端が板２９に固定された支持プロツク
４０に取付けられている。台１２の開口４１を自由に通
過するねじ付スピンドル３９は内ねじを有するスリーブ
４２に係合している。このスリーブ４２はソケツト４３
内に収容さ・れておつて、該ソケツト４３内で外れるこ
となく回転することができる。このソケツト４３はスト
ラツプ４５によつて台１２の下側に取付けられた水平の
支持板４４に固定されている。内ねじを有するスリーブ
４２は支持板４４に取付けられた電動機の駆動軸に取付
けられているピニオン４７と噛合う歯車４６に取付けら
れている。なお上に述べた要素３４，３５，３６，３７
，３８，３９，４０，４２および４３ならびにスクリー
ン１８およびフレーム１９からなる組立体は支持板１６
の開口１７の中心を通る垂直軸線ＺＺ′に心出しされて
いる。従つて電動機即ちモータ４９を付勢してピニオン
４７および歯車４６を介してスリーブ４２がスピンドル
３９およびそれに取付けられた板２９を持上げる方向に
回転した場合には板２９に取付けられた設定装置２７は
スクリーン１８に向つて上昇する。この上昇運動は設定
装置２７に取付けられたプラテン３８上に位置する担体
２８がスクリーン１８と接触するまで続く。担体２８を
スクリーンに対して正確に位置決めすることを可能にす
るためにスクリーン印刷装置には以下に述べる位置決め
手段が設けられている。即ち、この目的で２つの軸棒５
２，５３（第１図および第５図参照）が棒３２，３３の
軸線を通る垂直平面ＰＰ′の両側で垂直板１１に隣接し
て板２９に取付けられている。板２９ならひにそれに支
持された装置２７の上昇運動は２つのストツパ５４およ
び５５によつて停止される。これ等ストツパ５４および
５５には担体２８がスクリーン１８と接触した時にそれ
ぞれ軸棒５２および５３が当接する。これ等ストツパ５
４および５５は第２図、第３図および第５図に示されて
いるように板１１に取付けられている。また板２９には
ブツシング３０に隣接して垂直位置で設けられた円錐形
の位置決めドエル・ピン５６（第２図および第５図）が
設けられており、これ等ドエル・ピンは組立体２７の上
昇運動の終時に直立部材１０に取付けられた位置決めソ
ケツト５７（第２図）の円錐形の凹部に係合する。この
凹部は軸棒５２および５３がそれぞれのストツパ５４お
よび５５と接触した時にドエル・ピン５６の雄の円錐表
面と正確に係合する円錐表面を有するように機械加工さ
れている。従つて組立体２７の上昇運動の終時にはこの
雄の円錐表面はソケツト５７の凹部の円錐表面と接触し
、そしてさらに軸棒５２および５３がそれぞれのストツ
パ５４および５５に対し押接される時には、板２９は装
置のフレームならびに該装置に挿入されたスクリーン印
刷用スクリーン１８に対し正確に定められた絶対不変の
位置になる。上昇運動の終時には板２９に取付けられた
プラテン３８上に位置する担体２８もまた、それが接触
せしめられるスクリーン１８に対して正確に定められた
位置を占めることが重要である。この目的でプラテン３
８の上面には３つのローラ６０，６１および６２（第５
図）が設けられておつて、これ等ローラ上で担体２８の
縦縁の１つおよび横縁の１つは３つの押圧ローラ６３，
６４および６５によつて及ぼされる圧力を受ける。この
ようにして１つの縦縁がローラ６０および６１に対して
押圧されそして１つの横縁がローラ６２に対して押圧さ
れる担体もしくはウエーハ２８はプラテン３８に対し正
確に位置決めされる。プラテン３８が取付けられる板３
６および３７（第２図）は第５図にそれぞれＸおよびＹ
として示されている互いに直交する方向にプラテン３８
を移動することを可能にする互いに直交する摺動部材を
形成している。その結果プラテン上に位置決めされた担
体もしくはウエーハ２８の中心を垂直軸線ＺＺ′上に動
かすことができる。Ｘ方向におけるプラテン３８のこの
変位は板３７に設けられているローレツト切りヘツドを
有するねじ６６（第２図）によつて制御される。同様に
してＹ方向におけるプラテン３８の変位は板３６に設け
られたローレツト切りされているヘツドを有するねじ６
７（第２図）によつて制御される。板３７および３６と
それぞれ関連する２つのねじ６８および６９を用いて取
扱者は変位後に上記２つの板の各々を固定することがで
きる。さらにまたローラ６０および６１の中心を結ぶ直
線を装置に挿入されたスクリーン１８上の２つのマーク
２５および２６を結ぶ直線に対し平行に位置決めするた
めに、担体２８をその平面内で回転することが必要な場
合がある。最大で数度例えば５る程度であるこの回転運
動は旋回リング３５を回転するローレツト切リヘツドを
有するねじ７０を操作して達成することができる。この
ような調節を全て行なつた時にはプラテン３８上に位置
する担体２８は既に装置内に挿入されているスクリーン
１８に対し正確に定められた位置となる。なお板２９が
その最高位置に上昇された時には担体もしくはウエーハ
２８とスクリーン１８との間の接触はローレツト切りヘ
ツドのねじ７１を操作することによつて正確に調整する
ことができる。このねじ７１は摺動部材３４に取付けら
れておつて、リング３５、板３６および３７ならびにプ
ラテン３８によつて形成される組立体を上下動すること
ができる。この運動の大きさはしかしながら比較的小さ
く、例えば１センチメートルよりも小さい。次に第５図
を参照するに、プラテン３８には開口７４を介して通路
７２が開口している。この通路はノズル７３を介して真
空装置（図示せず）に連結されている。このようにして
プラテン上に配置した担体２８は吸引力によつてその位
置に保持することができる。また押圧ローラ６３，６４
および６５は作動棒７５の制御下にあり、この作動棒７
５は取扱者によつて操作された場合にこれ等３つのロー
ラを担体２８から引き離して、それにより取扱者は吸引
力を遮断した後に担体をプラテン３８から取外すことが
できる。第１図および第２図を参照するに、水平の支持
板１６に設けられている円形の開口１７を介してブレー
ド７６を装置内に挿入されたスクリーン１８と接触させ
、それによつてスクリーンの開口パターン上に付着され
ている糊状物質の層をスクリーンを介してウエーハ２８
上に塗布することができる。

ブレード７６はブレード担体７７に取付けられており、
一方該ブレード担体７７は後述する仕方で可動の往復台
７９上に設けられている垂直スピンドル７８の下端に取
付けられている。なお往復台７９は、２つの水平案内棒
８０および８１（第２図および第３図）上で摺動可能に
取付けられている。これ等２つの棒８０および８１は、
互いに平行に可動部８３に取付けられたフレーム８２に
固定されている。本具体例の場合中央開口８４が設けら
れている円形板によつて形成されている可動部８３は水
平支持板１６上に支持され、そして垂直軸線ＺＺ′を中
心に回動することができる。第２図および第３図に図示
した具体例においては、この円形板にはその下面に円形
の隆起８５が形成されており、この隆起８５は支持板１
６の上面に形成されている対応の円形溝内に係合し、そ
れによつて取扱者は円形板８３ならびにそれに取付けら
れた種々な部品を軸線ＺＺ′を中心に回転することがで
きる。支持板１６の上面に取付けられたクリツプ８６は
、円形の隆起８５がその溝から外れるのを阻止する。第
１図および第３図においては可動の往復台７９は案内棒
８０および８１に対し平行に配列されたねじ付スピンド
ル８７と係合している。このスピンドル８７はフレーム
８２内で回転することができ、フレーム８２に取付けら
れたモータ８８によつて回転駆動して往復台７９を棒８
０および８１上で摺動せしめることが可能である。第２
図に示すように往復台７９上で摺動するように取付けら
れた垂直のスピンドル７８はその上部でねじ切りされて
おつて、ブレード７６がスクリーン１８と接触した時に
往復台に当接するナツト１００により位置固定される。

またねじ切りされた部分に螺着されている第２のナツト
９０によつてスピンドル７８を作動レバー９２により操
作することができる。このレバー９２はその１端を往復
台７９に固定された軸９３に枢着されており、第２図に
示すようにナイフ刃を有しナツト９０とレバー９２との
間に挿入される座金９１が設けられているレバーからス
ピンドル７８を支持する働らきをなす。レバー９２の他
の端は軸９５（第２図および第３図）に取付けられたカ
ム９４に押圧されている。この軸９５は往復台７９上に
取付けられたモータ９６によつて駆動される。第２図に
はこのカム９４は上昇位置で示されている。即ちスクリ
ーン印刷装置が休止状態にある時に通常占める位置で示
されている。この位置においてはブレード７６は第２図
に示すようにスクリーン印刷用スクリーン１８から離間
している。そこでモータ９６を付勢して軸９５を％回転
するとカム９４は降下位置になり、レバー９２はその軸
９３を中心に回動してスピンドル７８、ブレード７６、
ブレード担体７７、ナツト９０および座金９１によつて
形成されている組立体を降下せしめる。ナツト９０およ
びリング・ナツト１００によつてこの組立体はカム９４
が降下位置にある時にブレード７６がスクリーン１８に
接するように調整されている。本具体例の場合２つの光
電セルによつて構成されている２つの検出器Ｄ１および
Ｄ２が往復台７９に取付けられておつて、それぞれカム
９４がその上昇位置に達した瞬間およびカム９４がその
降下位置に達した瞬間を検出する。これ等２つの検出器
は追つて説明する電気制御モニタ回路の１部を形成して
いる。棒８０および８１上で摺動する可動往復台７９は
２つのリミツト位置間で移動することができる。

即ちスクリーン印刷装置が休止状態にある時に通常往復
台７９によつて占められる第１のリミツト位置と往復台
７９が検出器Ｄ４（第３図）と整列した第２のリミツト
位置との間で移動することができる。なお第１のリミツ
ト位置は検出器Ｄ３（第３図）によつて検出される。従
つて適当な糊状物質を印刷用スクリーン１８上に付着し
てモータ９６を付勢し、ブレード７６をスクリーンと接
触せしめた後にモータ８８を作動してブレード７９をそ
の第１のリミツト位置から第２のリミツト位置へと移動
せしめると、往復台により推進されるブレード７６はこ
の糊状物質をスクリーン１８上で押し拡げ、スクリーン
に形成された開口パターン２４を介してスクリーンと予
め接触せしめられているウエーハもしくは担体２８上に
塗布する。第４図に示すように開口パターン２４が実質
的に同一の方向に延びる線から構成されている場合には
、モータ９６および８８が付勢される以前に往復台の案
内棒８０および８１がこの方向に平行となる迄円形の板
８３を回動することができる。従つてブレード７６を次
いで往復台により前進方向に駆動すると、糊状物質はこ
の方向にスクリーン１８上で押し拡げられる。この結果
スクリーンに押し当てられている担体もしくはウエーハ
２８上にはスクリーンの開口パターン２４の輪郭と正確
に整合する形態で糊状物質が付着せしめられる。第１図
および第３図に示すように、フレーム８２は案内棒８０
および８１に対してそれを横切る方向に配設された水平
軸９７により可動部８３にヒンジ連結されている。

従つて軸９７を中心にフレーム８２を傾けることにより
取扱者は例えば清掃の目的でスクリーン１８を取外すこ
となくブレード７６に容易に手を触れることができる。
装置が動作している時にはフレーム８２はねじ９８によ
つて可動部８３に固定保持される。再び第２図を参照す
るに、台１２に取付けられている検出器Ｄ５は板２９が
その休止位置にあるか否かを検出するのに用いられる。

この休止位置はスクリーン印刷装置が休止状態にあつて
、そのブレードが第２図に示すように最下位置にある時
に板２９が通常占める位置である。垂直板１１に取付け
られている別の検出器Ｄ６は板２９がその最高位置にあ
るか否かを検出するのに用いられる。この位置はプラテ
ン３８上に位置している担体もしくはウエーハ２８がス
クリーン１８と接触している時に板２９によつて占めら
れる位置である。第１図に見られるように板２９には板
２９がモータ４９によつて運動状態にされた時に検出器
Ｄ７を通過する垂直棒９９が設けられている。この垂直
棒９９はスクリーン１８とプラテン３８上に位置してい
る担体２８との間の距離が予め定められた値よりも小さ
い場合かつその限りにおいて検出器Ｄ７を励起するよう
に調整されている。ここで予め定められた値は本具体例
の場合５ｍｍに等しく選択されておつてそしてこの値は
ウエーハ２８を傷つけることなくスクリーン１８に当接
せしめるために板２９の上昇運動を減速すべき時のスク
リーン１８と担体２８との間の距離を表わす。本具体例
の場合検出器Ｄ１ないしＤ７の各々は光源（図示せず）
によつて放出される光ビームを受けてその出力側に電圧
を発生する光電セルにより構成されている。可動部が光
電セルと光源との間を通過して光ビームを遮断した時に
はこの電圧は発生されない。次に第６図および第７図を
参照して板２９の上昇および下降運動ならびにブレード
７６の運動を制御するのに用いられる電気制御回路につ
いて説明する。

第６図および第７図に示されている回路図は以下に述べ
る条件下で使用するように企図された手動接点およびリ
レー接点を備えた回路を概略的に示すものである。リレ
ー接点はそれを制御するコイルに付けたのと同じ参照数
字の前に文字Ｃを付けて表わされている。また制御を行
なうリレーコイルが付勢されていない時に通常閉じてい
る接点は図面において黒い三角形で表わされている。第
６図および第７図に示すモータ４９，８８および９６な
らびにリレーは通常２つの端五＋）および（−）間から
ＤＣ電流を給電される。装置が動作していない時には可
動板２９は台１２に近接した休止位置にある。この位置
においては板２９は検出器Ｄ５に向つて放出される光ビ
ームを遮断する。従つて検出器Ｄ５の出力端には正電圧
は現われない。Ｄ５の出力端に接続されている２つのリ
レーＢｌｌおよびＢ２８（第６図）は付勢されない。従
つてこれ等リレーによつて制御される接点ＣＢｌｌおよ
びＣＢ２８（第７図）は開いている。検出器Ｄ６および
Ｄ７に向かう光ビームは遮断されないので、これ等２つ
の検出器の出力端には正電圧が現われる。従つてこれ等
検出器Ｄ６およびＤ７の出力端にそれぞれ接続されてい
る２１つのリレーＢＯ４およびＢＯ３（第６図）は付勢
される。従つてリレーＢＯ３の接点ＣＢＯ３は閉じ、リ
レーＢＯ４の接点ＣＢＯ４（第７図）は開いている。ま
たカム９４は上昇位置にあるので検出器Ｄ１およびＤ２
に向かう光ビームも遮断されない。従つてこれ等検出器
の出力端には正電圧が現われてその出力端にそれぞれ接
続されている２つのリレーＢＯ９およびＢＯ５（第６図
参照）は付勢される。そこでリレーＢＯ９およびＢＯ５
はそれぞれの接点ＣＢＯ９およびＣＢＯ５（第７図）を
動作位置に保持する。さらに往復台７９はその第１のリ
ミツト位置にあつて、検出器Ｄ３に向かう光ビームを遮
断し、その結果Ｄ３の出力端に接続されている３つのリ
レーＢｌＯ，Ｂ３ｌおよびＢ３２（第６図）は付勢され
ない。リレーＢｌＯが付勢されるとその接点ＣＢｌＯ（
第７図）は開いた状態に保持され、他方リレーＢ３２が
減勢されるとその接点ＣＢ３２は閉じた状態に保持され
る。リレーＢ３ｌは付勢されていないので接点ＣＢ３ｌ
は休止位置に保持される。往復台７９が検出器Ｄ４に向
かう光ビームを遮断していないとすると、この検出器の
出力端には正電圧が現われてこの出力端に接続されてい
る３つのリレーＢＯ８，Ｂ３ＯおよびＢ４Ｏ（第６図）
が付勢される。その結果リレーＢ３ＯおよびＢ４Ｏはそ
の接点ＣＢ３ＯおよびＣＢ４Ｏ（第７図）を開いた状態
に保持し、他方リレーＢ８は付勢されるとその接点ＣＢ
Ｏ８を動作位置に保持する。調節手段（図示せず）を用
いて取扱者はねじ６６，６７，６８，６９，７０および
７１によりプラテン３８を変位してローラ６０，６１お
よび６２を装置内に挿入されているスクリーン１８のパ
ターンに対し正確に設定された位置にすることができる
。

この操作が完了した時にはウエーハもしくは担体２８を
プラテン上において吸引力で固定保持しそしてウエーハ
を先に述べたような仕方でローラ６０，６１および６２
に圧接することができる。この設置動作が完了したなら
ば、取扱者はスクリーン１８上に少量の糊状物質もしく
はペースト材を付ける。そこで手動プツシユ・スイツチ
Ｋ（第７図）を押しそして追つて説明するように接点Ｃ
Ｂｌｌが閉じるまで閉じた状態に保持すると、端子（＋
）から閉じたスイツチＫを経てＤＣ電流が流れて、２つ
のリレーＢＯｌおよびＢＯ２を付勢する。その結果リレ
ーＢＯｌはその接点ＣＢＯｌを閉じる。同様にしてリレ
ーＢＯ２はその接点ＣＢＯ２を閉じる。このような条件
下では、第６図に示すように（＋）端子、閉接点ＣＢＯ
２、休止位置にある切換接点ＢＰＩ．閉接点ＣＢＯ３、
モータ４９、休止位置にある切換接点ＢＰ２および（−
）端子を含む回路が閉結される。従つてモータ４９は給
電されてねじスピンドル３９が上昇するような方向に回
転し、この結果板２９、設定装置２７プラテン３８およ
び担体２８が駆動される。この上昇運動中、板２９は検
出器Ｄ５に向かう光ビームの遮断を止め、その結果この
検出器Ｄ５の出力端には正電圧が現われてリレーＢｌｌ
およびＢ２８を付勢する。そこでリレーＢ２８はその接
点ＣＢ２８（第７図）を閉ざす。同様にしてリレーＢｌ
ｌは付勢されるとその接点ＣＢｌｌを閉ざし、かくして
リレーＢＯｌおよびＢＯ２の保持回路が設定され、この
保持回路は取扱者が手動スイツチＫを離してもそのまま
保持される。毎秒１０？台の比較的高い速度での板２９
の上昇は板２９が検出器Ｄ７に向かつて送出される光ビ
ームの遮断を中止するまで続く。光ビームの遮断が中止
されるとＤ７の出力端には正電圧が現われる。従つてリ
レーＢＯ３は付勢されてその接点ＣＢＯ３は開らき、モ
ータ４９は第６図に示すように接点ＣＢＯ３の端子に並
列に接続された抵抗器Ｒを介して流れる電流により付勢
される。この結果板２９の上昇は毎秒５ｍｗ，台の減少
速度で行なわれる。そしてこの上昇は板２９がストツパ
５４および５５ならびにソケツト５７内の凹部に係合し
た位置決めドエルピン５６によつて停止せしめられるま
で続く。停止位置において担体２８はスクリーン１８に
押し付けられる。この場合モータ４９の付勢は続けられ
るがモータの滑りを許容する周知の手段（図示せず）を
設けることにより担体の損傷の危険は回避される。なお
最高位置に達してその位置に上述の仕方で保持される板
２９は検出器Ｄ６に向かつて送出される光ビームを遮断
する。従つてこの検出器の出力側にその時点まで存在し
ていた正電圧は消失し、リレーＢＯ４は減勢される。従
つてリレーＢＯ４の接点ＣＢＯ４は閉される。そこで（
＋）端子から閉接点ＣＢＯ４、動作位置にある切換接点
ＣＢＯ５、閉接点ＣＢ３２および後述する閉接点ＣＢｌ
９を介してＤＣ電流が流れリレーＢｌ８を付勢する。そ
こでリレーＢｌ８の接点ＣＢｌ８（第６図）は閉される
。接点ＣＢｌ８が閉じるとモータ９６が付勢されてカム
９４が回転せしめられる。その場合カム９４はその上昇
位置から離れる方向に運動し、その結果スピンドル９８
、ブレード担体７７およびブレード７６から構成される
組立体は下降する。この運動過程中カム９４は検出器Ｄ
１に向けて送出されている光ビームを遮断する。この結
果検出器Ｄ１の出力端に接続されているリレーＢＯ９は
減勢され、その接点ＣＢＯ９は休止位置に切換る。ブレ
ード７６はカム９４がその最下位置に達する僅か以前に
スクリーン１８と接触する。カム９４は最下位置に達し
た時にはその時点で検出器Ｄ２に向けられた光ビームを
遮断する。そこでＤ２の出力端に接続されているリレー
ＢＯ５は減勢され、その接点ＣＢＯ５は休止位置に切換
えられる。その結果リレーＢｌ８は滅勢されてその接点
ＣＢｌ８が開らき、モータ９６に対する給電は遮断され
てカム９４は降下位置で停止する。接点ＣＢＯ５の切換
の結果、ＤＣ電流は（＋）端子から閉接点ＣＢＯ４、休
止位置にある切換接点ＣＢＯ５および動作位置にある切
換接点ＣＢＯ８を介して流れてリレーＢＯ７を付勢する
。そこでリレーＢＯ７の接点ＣＢＯ７（第６図）が閉さ
れる。かくして（＋）端子、接点ＣＢＯ７、休止位置に
ある切換接点ＢＣｌ．モータ８８、休止位置にある切換
接点ＢＣ２および（−）端子からなる電気回路が閉結さ
れる。かくしてモータ８８は付勢されて回転し、ねじ付
スピンドル８７を介して往復台７９を駆動する。そこで
往復台７９はその第１のリミツト位置を去つて第２のリ
ミツト位置に向つて移動する。この場合ブレード７６も
連動して糊状物質もしくはペースト材をスクリーン１８
の開口パターンを介して担体２８に塗布する。この運動
過程中往復台７９は検出器Ｄ３に向けられている光ビー
ムの遮断を中止させ、その結果３つのリレーＢｌＯ，Ｂ
３ｌおよびＢ３２は付勢される。そこでリレーＢｌＯの
接点ＣＢｌＯは閉じ、リレーＢ３２の接点ＣＢ３２は閉
らく。同時にリレーＢ３ｌの接点ＣＢ３ｌは動作位置に
切換る。往復台７６がその第２のリミツト位置に達して
検出器Ｄ４に向かう光ビームを遮断した時にはリレーＢ
Ｏ８およびＢ３ＯならびにＢ４Ｏが減勢される。その結
果リレーＢＯ８の接点ＣＢＯ８は休止位置に切換わり、
２つのリレーＢ２Ｏ、およびＢ２ｌを付勢せしめると共
にリレーＢＯ７を減勢する。かくしてモータ８８は接点
ＣＢＯ７の開成および往復台７９の第２のリミツト位置
での停止に応答して停止せしめられる。さらにリレーＢ
４Ｏの接点ＣＢ４Ｏ（第７図）も閉される。そこで（＋
）端子から閉じた接点ＣＢ２８およびＣＢ４Ｏを介して
ＤＣ電流が流れて２つのリレーＢ４ｌおよびＢ４２を付
勢する。その結果リレーＢ４ｌの接点ＣＢ４ｌは閉じ、
リレーＢ４ｌならびにリレーＢ４２に対する保持回路が
形成される。リレーＢ４２は付勢されるとその接点ＣＢ
４２は閉じる。同様にリレーＢ３Ｏは減勢されるとその
接点ＣＢ３Ｏが閉じる。そこで（＋）端子から閉接点Ｃ
Ｂ２８およびＣＢ３Ｏを介してＤＣ電流が流れて３つの
リレーＢ２８，Ｂ２９およびＢＣを付勢する。リレーＢ
２５は付勢されるとその接点ＣＢ２５が閉されて該リレ
ーＢ２５およびＢｌ９ならびにＢＣのための保持回路が
形成される。リレーＢｌ９が付勢されるとその接点ＣＢ
ｌ９は開らき、他方リレーＢＣが付勢されるとその接点
ＢＣｌおよびＢＣ２（第６図）は動作位置に切換えられ
る。先に述べたように接点ＣＢＯ８が休止位置に切換る
と、それによつてリレーＢ２ＯおよびＢ２ｌが付勢され
、リレーＢ２ｌの接点ＣＢ２ｌは閉じてこれ等２つのリ
レーに対し保持回路を設定する。

リレーＢ２Ｏは付勢されるとその接点ＣＢ２Ｏ（第６図
）を閉さす。接点ＣＢ２Ｏが閉じるとそれによつてモー
タ９６が付勢されカム９４を回転する。カム９４はその
場合その降下位置から離れてそれによりスピンドル７８
、ブレード担体７７およびブレード７６からなる組立体
を上昇し、ブレードをスクリーン１８から離す。この運
動過程中カム９４は検出器Ｄ２に向けて送出されている
光ビームの遮断を停止する。この結果検出器Ｄ２の出力
端に現われる正電圧はリレーＢＯ５に印加され、このリ
レーＢＯ５は付勢されるとその接点ＣＢＯ５を動作位置
に切換える。この切換はこの場合にはモータ８８の給電
に対して影響を及ぼさない。と言うのはリレーＢ２Ｏが
（＋）端子から閉接点ＣＢＯ４、休止位置にある接点Ｃ
ＢＯ９および閉接点ＣＢ２ｌを介して流れる電流により
付勢され続けているからである。この条件下では接点Ｃ
Ｂ２Ｏは閉じた状態にあり、カム９４はモータ９６によ
つて駆動され続けて上昇位置に向かい運動を続けている
。カムが上昇位置に達すると、その時点でカム９４は検
出器Ｄ１に向けて送出されている光ビームの遮断を停止
する。それによつてこの検出器Ｄ１の出力端に現われる
正電圧はリレーＢＯ９に印加され、このリレーは付勢さ
れてその接点ＣＢＯ９を動作位置に切換えられる。この
切換の結果としてリレーＢ２ＯおよびＢ２ｌは減勢され
てそれぞれの接点ＣＢ２ＯおよびＣＢ２ｌを開らき、そ
れによりモータ９６は停止されてカム９４はその上昇位
置に保持される。さらに接点ＣＢＯ９が動作位置にある
ためにＤＣ電流が（＋）端子から閉接点ＣＢＯ４、動作
位置にある接点ＣＢＯ９および閉接点ＣＢｌＯを経て流
れリレーＢＯ７を付勢する。リレーＢＯ７が付勢される
とその接点ＣＢＯ７が閉じる。モータ８８がそこで付勢
されるが切換接点ＢＣｌおよびＢＣ２が動作位置にある
のでモータ８８は往復台７９がその第２のリミツト位置
から離れてその第１のリミツト位置に戻される方向に回
転する。従つて往復台７９は検出器Ｄ４に向けて送出さ
れている光ビームの遮断を中断し、この検出器の出力端
に現われる正電圧はリレーＢＯ８、，Ｂ３ＯおよびＢ４
Ｏに印加される。リレーＢ３ＯおよびＢ４Ｏが付勢され
るとその接点ＣＢ３ＯおよびＣＢ４Ｏは閉らく。しかし
ながらこれはリレーＢ４ｌ，Ｂ４２，Ｂ２５，Ｂｌ９お
よびＢＣの付勢に対し影響を及ぼさない。というのは接
点ＣＢ２５，ＣＢ４ｌが閉じた状態に留まるからである
。リレーＢＯ８が付勢されるとその接点ＣＢＯ８は動作
位置に切換わる。ここで注意すべきことは第１のリミツ
ト位置に向かつて往復台が戻り運動している間ブレード
７６はスクリーン１８から離間した状態に留まる点であ
る。と言うのはカム９４がその上昇位置に停止している
からである。カム９４がその第１のリミツト位置に達す
ると往復台７９は検出器Ｄ３に向って送出されている光
ビームを遮断する。この遮断によつてリレーＢｌＯ，Ｂ
３ｌおよびＢ３２は減勢される。リレーＢｌＯが減勢さ
れるとその接点ＣＢｌＯが開く。この結果ＢＯ７は減勢
されてその接点ＣＢＯ７が開らき、それによりモータ８
８は停止せしめられて往復台７９もその第１のリミツト
位置に保持される。またリレーＢ３２が減勢するとその
接点ＣＢ３２が閉じる。最後にリレーＢ３ｌが減勢する
とその接点ＣＢ３ｌは休止位置に切換わる。そこでＤＣ
電流が（＋）端子から休止位置にある閉接点ＣＢ４２を
経て流れ、リレーＢＰを付勢する。リレーＢＰが付勢さ
れるとその接点ＢＰｌおよびＢＰ２（第６図）は動作位
置に切換わる。この結果この時点までモータ４９に供給
されて担体２８をスクリーン１８と接触した状態に保持
していた電流はその極性を反転されてモータ４９はねじ
スピンドル３９、板２９、装置２７、プラテン３８およ
びウエーハ２８により構成される組立体を下向きに駆動
する。この運動の過程中板２９は検出器Ｄ６に向けて送
出されている光ビームの中断を止め、その結果この検出
器の出力端に現われる電圧がリレーＢＯ４に印加される
。リレーＢＯ４が付勢されるとその接点ＣＢＯ４を開ら
く。板２９の下向きの運動過程中棒９９は検出器Ｄ７に
向けて送出されている光ビームを再び遮断し、それまで
この検出器の出力端に現われていた正電圧は消え、リレ
ーＢＯ３は減勢されてその接点ＣＢＯ３が閉じる。板２
９がその休止位置に達すると、検出器Ｄ５に向けて送出
されている光ビームが最終的に遮断され、この検出器の
出力端に現われていた正電圧は消え、この結果リレーＢ
ｌｌおよびＢ２８は減勢される。リレーＢｌｌが減勢さ
れるとその接点ＣＢｌｌが開らき、それによつてリレー
ＢＣｌおよびＢＯ２が減勢される。かくして減勢された
リレーＢＯｌおよびＢＯ２の接点ＣＢＯｌおよびＣＢＯ
２が開らき、接点ＣＢＯ２が開らくことによつてモータ
４９への給電は遮断され、板２９はその休止位置で停止
せしめられる。またリレーＢ２８が減勢さＺＵれるとそ
の接点ＣＢ２８が開かれるのでリレーＢ４ｌ，Ｂ４２，
Ｂ２５，Ｂｌ９およびＢＣが減勢される。

リレーＢ２５，Ｂ４ｌおよびＢ４２は減勢されるとそれ
ぞれの接点ＣＢ２５，ＣＢ４ｌおよびＣＢ４２が開らく
。リレーＢｌ９は減勢されるとその接点ＣＢｌ９が閉さ
れる。リレーＢＣは減勢されるとその接点ＢＣｌおよび
ＢＣ２を休止位置に切換える。最後に接点ＣＢ４２が開
かれるとリレーＢＰが減勢されてその接点ＢＰｌおよび
ＢＰ２は休止位置に切換わる。板２９がその休止位置に
戻ると直ちに糊状物質もしくはペースト材の層が付着さ
れている担体２８を取出して炉内に入れ、層を固化する
ことができる。かくしてスクリーン印刷装置は新たに糊
状物質を塗布できる状態となり、この塗布は絶縁または
導電性材料の１つもしくは２つ以上の固化された層で既
に被覆されている担体に行なうこともできるし、あるい
はまたこのような糊状物質がまだ塗布されていない担体
もしくはウエーハに対して行なうこともできる。以上本
発明の好ましい具体例について図面を参照し説明したが
本発明の範囲から逸脱することなく種々な変形、付加お
よび置換が可能であろうことは理解されるべきである。

特に第６図および第７図に示した制御回路のリレー回路
は全体的にあるいは部分的に均等の機能を行なう電子回
路と置換することが可能であろう。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるスクリーン印刷装置の１具体例を
示す立面図、第２図は第１図の破線において矢印２−２
の方向に見た第１図の装置の部分横断面図、第３図は第
１図に示した装置の１部分を割愛した平面図、第４図は
フレームに取付けられている印刷スクリーンを示す平面
図、第５図は第２図の線５−５における断面図、第６図
はスクリーン印刷装置の制御およびモニタのための電気
回路を示す部分回路図そして第７図はスクリーン印刷装
置の制御およびモニタのための回路の部分回路図である
。 １０，１１・・・・・・側部板、１２・・・・・・台、
１３，１４・・・・・・横材、１５・・・・・・脚、１
６・・・・・・支持板、１７・・・・・・開口、１８・
・・・・・印刷用スクリーン、１９・・・・・・フレー
ム、２０・・・・・・孔、２２・・・・・・ねじ、２４
・・・・・・開口パターン、２５，２６・・・・・・マ
ーク、２８・・・・・・担体、２９・・・・・・水平板
、３０・・・・・・ブツシング、４０・・・・・・支持
プロツク、３９，７８・・・・・・スピンドル、７９・
・・・・・往復台、８３・・・・・・円形板、７６・・
・・・・ブレード、９０，１００・・・・・・ナツト、
９４・・・・・・カム、Ｄ１〜Ｄ７・・・・・・検出器
。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ スクリーンの支持装置と、プラテンを有し前記スク
   リーン支持装置に関して動きうる担体支持装置と、そし
   て前記担体およびスクリーン支持装置間の相対運動を制
   御する位置決め装置とを備え、前記位置決め装置は、前
   記スクリーン支持装置の方向にそしてそれより離れる方
   向に前記担体支持装置の並進運動を制御するように前記
   支持装置間の通常平行な面内の並進運動を提供する案内
   装置と、前記担体支持装置およびスクリーン支持装置間
   の並進運動を停止するためにそれら支持装置に接続され
   、前記スクリーンによつて前記担体上に物質を塗布し得
   る実質的に平行な所定平面内で前記プラテンおよびスク
   リーンを位置決めする停止装置と、そして更に前記プラ
   テンおよびスクリーン支持装置に接続され、前記プラテ
   ンおよび前記スクリーンを相互に心出しする心出し装置
   とを備えた担体に印刷を行うためにスクリーンを介して
   担体に物質を塗布する装置。 ２ 前記停止装置が前記心出し装置を含んでいる特許請
   求の範囲第１項記載の担体に印刷を行うためにスクリー
   ンを介して担体に物質を塗布する装置。 ３ 前記心出し装置は互いに補足し合う第１および第２
   の円錐形表面を備えた特許請求の範囲第２項記載の担体
   に印刷を行うためにスクリーンを介して担体に物質を塗
   布する装置。 ４ 前記停止装置の動作前の所定の時間間隔の間、前記
   担体およびスクリーン支持装置の相対運動速度を減少す
   るための装置を追設した特許請求の範囲第１項記載の担
   体に印刷を行うためにスクリーンを介して担体に物質を
   塗布する装置。 ５ 前記スクリーン支持装置が固定され、前記スクリー
   ンは前記スクリーン支持装置に固定されている特許請求
   の範囲第１項記載の担体に印刷を行うためにスクリーン
   を介して担体に物質を塗布する装置。 ６ 前記スクリーン支持装置は前記スクリーンをπ型フ
   レームの上部中心領域に装着した特許請求の範囲第１項
   記載の担体に印刷を行うためにスクリーンを介して担体
   に物質を塗布する装置。 ７ 前記位置決め装置は前記担体を位置決めするための
   前記プラテン上の３つの固定された基準点を備え、これ
   ら基準点は前記担体が前記プラテン上に正確に位置決め
   されたとき、３つの固定ローラと前記担体の周辺との間
   での３つの接触点である特許請求の範囲第１項記載の担
   体に印刷を行うためにスクリーンを介して担体に物質を
   塗布する装置。 ８ 前記担体の周辺は、前記担体を前記ローラに押し付
   けるように配置された３つの圧力ローラとも接触する特
   許請求の範囲第７項記載の担体に印刷を行うためにスク
   リーンを介して担体に物質を塗布する装置。 ９ 前記位置決め装置は、スクリーン上にマークを有し
   、かつ前記マークに関する平面内で前記担体を角度的に
   調節するために前記プラテンに接続された装置をも有す
   る特許請求の範囲第１項記載の担体に印刷を行なうため
   にスクリーンを介して担体に物質を塗布する装置。 １０ 前記位置決め装置は、前記担体およおよびＹ座標
   で変位するための前記プラテンに接続された装置を備え
   た特許請求の範囲第１項記載の担体に印刷を行うために
   スクリーンを介して担体に物質を塗布する装置。 １１ 前記スクリーンが所定の第一方向と実質的に平行
   な一群の線を含むパターンを有している場合であつて、
   前記担体に前記スクリーンを介して物質を押し出すよう
   配置された長い真直ぐの縁を有するブレードと、前記ス
   クリーンの平面と平行な面内で第２の方向に前記ブレー
   ドの縁を移動するブレード支持兼動作装置とを追設し、
   前記ブレード支持兼動作装置は前記第１方向に対してあ
   る角度に前記第２の方向を調節するための装置を含み、
   それによつて前記ブレードが前記スクリーンにおける前
   記線と平行に摺動できるようにした特許請求の範囲第１
   項記載の導体に印刷を行うためにスクリーンを介して担
   体に物質を塗布する装置。 １２ 前記ブレード支持兼動作装置は、前記スクリーン
   の方向に前記ブレードを下げかつ前記スクリーン上で前
   記ブレードの態様を制御する装置を含む特許請求の範囲
   第１１項記載の担体に印刷を行うためにスクリーンを介
   して担体に物質を塗布する装置。