JPS59146426A - 磁気ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ｐ７業−１の利用分野 本発明ζＩＪ磁気ヘッドに１ν１するものである。

ｒｌ−来例の構成とその問題点 従来より磁気ヘッド用コアー利と［−７で、パーマロイ
やセンダスト、アル・仁−）・なとの合金材沼１やフィ
ライトが使われている。これら材料のうち、フェライト
が現在のところ最も酬摩慴が良いという特徴をもってい
るが、飽和磁束密度ＢＳが前記合金月別に比べて３０〜
１００％も低いので近年登場［２てきた高抗磁力の高密
度記録媒体に使用し７た場合、へ、ドコア相別の磁気飽
和が問題となり、合金材Ｈに比べて劣るという欠点があ
る３、他方合金利木」はフェライトに比べて摩耗の点で
は劣るか、ＢＳで優）Ｌでいる。

このような観点より、耐摩耗４＜ｔ　、磁気特性ともに
優れた相別として非晶質合金が脚光をあびてきている。

。 通常磁気ヘッドを構成する上で重敷々技術とし。

てギャップ形成技術があり、とりわけそのなかでも接着
技術か重要である。

フ、ライト磁気ヘッドは通常ガラス接着で、合金イＡ料
は銀ろう糸の材料で行なわれる。そしてこれらの作業温
度としては７００ｔ：リ−１，で行われるのが通常であ
る。ところが、前記非晶質合金となると月利自体の結晶
化温度（以下Ｔｘと称す）があり、磁気特性を考慮した
場合通常６００℃以下となる。すなわちシー品質合金を
、ＴＸ以上に加勢晶化し不脆く、なると同時に、磁気特
性が劣化して□磁性相１とし：て使用できガくな乏・己
たがっテヘットコアー、懐１．！［や接・、着もしくは
ギャップ形成は、非晶質材料をｒ４’Ｆ貴：る時には通
常のエボキく系樹脂などのいわゆる接着剤を使用するが
、半田系のもので接着するのが望ま・しい。仁れらの接
着時の作業温度としではミだがだが３１．ｏ　ｏ　℃以
下でぢるので、□結晶化しないともう点で安全であるが
接着強度−が欲□いＱＵう欠点がある。

オーディオヘッドではトラフ多量が広□く、かつギャッ
プ長も法す隔でＯ：、り商−はない。しかしながらビデ
オ、コンピユー、ター、計７１１Ｊ機用ヘッドとりると
、１ジッ：り吻が非常に小さく（例えば数十ミクロン）
かつギャップ長が非常に小さい（例えば０．３ミクロイ
以下、）ので、接着剤や、、手口］系のものでは高精度
のギャツプを維・持することは困難であるのが現状であ
□る。　　　　　　　、：したがって高精度のギャップ
を維持するには、硝子による接着が最も信頼性が高い。

ところが、非、、、昂質、金属の磁気ヘッドを構成する
場合、前記理由から、接着、ギャップ形成は６００℃以
下が望ましく□したがって６００℃以下の低融点のガラ
ス材・：　料が必要となる。このような低い軟化点のガ
ラスでは、多量の鉛を含んでおりＪ例えば成分光素中Ｐ
ｂＯとして８０チ以」二含有している。ヘッド構成□上
、このガラスを接着用、ギャップ形成用ガラスとして使
用した時、加工時の歩留りが非常に低い欠点があった。

これは、非晶質合金と基板材料との界面でガラス中のＰ
ｂＯと非晶質合金中の金属の間で酸化、軸元反応力、−
起こり、、ガラス中の金属鉛が遊離でるため・、接着強
度が著しく低下ず７″２とによるものであることが判明
した。

発明の目的 本発叩け、上記接着強度を改善する目的で、磁心用材料
として非晶質合金を用い、ガラス接着による磁気ヘッド
を構成し、狭トラツク、狭ギャップを、ｐＬ備し外信頼
の高い磁気へレドを提供することＫある。

発明の構成 本発ＤＡは、上記の目的を達成のため、接着またはギャ
ップ形成用ガラスと非晶質合金中の界面に、耐熱性物質
である各種酸化物、炭化物次どからなる非晶質セラミッ
ク層、を隔離祠として構成してなる磁気ベッドで、ガラ
スで接着して、しかもその接着強度が大であるので、狭
トラック９．狭ギャップの信頼性の高い磁気ヘッドを提
供することができる。

実施例の昔ψノ　　□　　　　　　゛□本発明の一実施
例を図を用いて説明する。

市販の高融点ガラス（軟化温度６００１：〜７００℃）
を基板として使用し、真空槽内を３　×１０−’Ｔｏｒ
ｒに排気した後、Ａｒ□ガスを導入して２×１０−２Ｔ
ｏ　ｒ　ｒで、鏡面研磨し、十分洗浄した。とαように
して作製した上記基板１上に、ターゲジ目ｌ成ｃｏ８１
Ｎｂ１３Ｚｒ６　を約３時間スパッターした。スパッタ
ーされた非晶質合金２の厚みは段差言゛１により測定し
た新約１０１ｔｍであった。′まだスパッターされ／ζ
非晶質合金の１工゛を示差熱分析にょ力測定した所６４
０℃であった。次に５ｉｏ４啼ターゲツトとして同一基
板１にＡｒ圧４　ｘ　１０−２’　Ｔｏ　ｒ　ｒ　　で
約３０分間２バツターした。３１０２層３の厚みは同様
に約１０００八であった。同様にＣＯｓ　１Ｎ　ｂ　１
３Ｚ　ｒ　ｓをターゲットとして、前記１斗彬呼にで約
３時間スパッターして−ｎ晶質合金２′を得た。さらに
ＳｉＯ２をターゲットとして、非晶質合金２′の上に、
前記同一条件で３０分〜１５０分間スパッターし、厚み
を１σ００八〜５０００人　のＳ　ｚ　０２層を作製し
、その表面に市販の鉛系低融点ガラス（ＰｂＯａ４；Ｂ
２Ｏ３１１，ＳｉＯ２３，Ａｌ２Ｏ２２，各重量％、軟
化温ｉ約３５０’Ｃ）粉末を塗布し、アルゴン雰囲気中
で□４６０℃に昇温の援３０分間保持して室温まで冷却
した。この膜の表面をＸ線分析により角Ｉｆシたところ
、Ｓ　１０２　１０’ＯＯへ〜２００ｂ人の膜上のガラ
スから金属鉛が検出された。３０００人以上の厚さでは
金属鉛が検出されなかったので、後述する非磁性セラミ
ック層１’１．１２としては３０００人としだ。こうし
て基板１上に形成した一層非晶質構造のブロックを得た
。

補力基板１と同じ材料の基板６に前記低融点ガンス４を
約２μｍ塗イＴｉ　Ｌ　ｆｒ−後空気中にｔｒいて４８
０υ、３０分間ツ′〃伺（ターｊ　／ζ０さらに基板１
および５からなるブ「１ツクを接着用ガラス４と非磁性
セラミック層１１を４′合わぜ（ＪＡｒ’４５”囲気中
（／ｉ′−おいて４６０て゛−Ｃ接譜を行ない、積層コ
アーを得／ｃｔ１次にギヤ２．ブ突合せ而に巻＆’ｉ！
溝６、およびカラス溜尚７を加二Ｔｉ　Ｌ、　＊後、突
合ｕ＝ｔｎ＞タイ＋モンｈヘーストで鐘ｉｆ＋ｉ　Ｉｙ
′ζ力１０−シ、／ζ。そして、陰線溝６およびガラス
溜沼Ｔ在マスクしておき、鏡面に加工１．７．。

このｉＩ′Ｉｒ　Ｉにギャソグスベーリ′拐であるＳ　
１０２をスパッターに」、り希−望−４−るギＡ、ノフ
′の１．の１−１′み４：人バッタする３、さらにこの
而をマスクし７−こ１、・き、杏、線溝６およびガラス
溜溝７の表面（ｔ（ス・々ツターＧｉ′−より昇磁ｆ’
１−１−ンミック層１２を約３０００八ス・ζ、。

ター　Ｌ、、、、　ｆｒ、　、、スバ、ター後、マスク
をＱ」、−４゛、げに１ギヤツプ形成Ｊ’ｌｉｌの１４
側か完成シ゛る。。

このブ「Ｉワクと全く回し構造からなる基４反１′。

５′からなる積層コアーを突合せ、Ｍ’Ｊ　Ｍｌ：−ン
−りの溝に二「）′ｌＩ記の市販でＩ＜融点ガラス極を
挿入し２、ギャップ形成を１１なっだ、。

この１対の棒より各々の−＼ッノド切り出し、−＼ノド
を完成し７た。

この−＼ソノド完成さぜるプロセスで、加■ａ＋；〒Ｖ
（よる市に接魁用ガラス４．ギャップ形成用カラス７お
よび９に起因する剥離、何らかのゆるみか発ｉ［するこ
とによるー＼ノド歩留りを■表に示す。なお表中に、参
考１てに従来の構造の磁気〜＼７ドの歩留りもあわぜ−
Ｃ’７３ｔし／こ。、ｋｌ、１のように、本発明によ１
１ば、非晶′ｎ合金と４ガ着ガラスの間に層間月利とし
て、外磁１りの中ラミ１．り層を介在さぜる仁とにより
、力［１寸によるヘノドグ・留（・）を従来１１１冒（
比べ−〔飛躍的に向−Ｉ・さぜるこ６）−かてきる、、
１にこれらイＡイ′；、ｉ　ｉ：　Ｊｉｉ独でなく２１
Φ１臥１・組み合せＴも何ら支障なく効果を５＋′７神
−４るものである３、１記′ノ、腸ｆ［１例−Ｃ′０５
］、層間（−イＦｌとして、約３ｏｏｏ人のもの（でつ
いで（ホベ７！（が非晶ＩＧｊ合金と４にノ１°１用ツ
ノラスのに’＋’＋　ｌ々１１といつ点−ｃ　１１１１
７い仏″′１すましいか、名イＡイ′１の熱膨張の差′
ｙｋを考ＩＳＪ、す＃ｊ−ｋ−１、あまり１ツいと逆（
７ひそ一、ｆ＋か原因で歩留りをドげる結宋になるσ）
で、’ＭＪ目ｆＬを考慮す；？Ｉにｊ：３０００人〜５
０００人が望４ニジい。さらに、１−記実施例では４１
品質合金工層構造について述べたか、使用されるトラッ
ク幅１周波数帯域により非晶質合金の厚み、積層数を任
意に選べ（ｒ」、良い、。

発明の劫１（ム 本発明によね（ｌ：、Ｉ３、加−■−川用のへノド歩留
りか良い、。

菖いかえｔｔ、　Ｂ−接着強度か／、］Ｙ来の構成から
なる磁気ヘッドに比べて、非常に強い／とめ、時に狭）
・ランク、狭ギャップの信頼の高いヘッドの製イ′１が
容量になるものである。寸だ実施例では非晶質合金とし
てＣｏ　−Ｎｂ　−Ｚ　ｒ系に１）いて述へ／ζが、他
の糸、例えばＣｏ−Ｆｅ−３ｔ−Ｂ、Ｃｏ−Ｐ、Ｎｉ−
８ｉ−Ｂ系などについマニも同様の効果があり、スノク
ノタ−（”１ｉ−＋　タけてなく超急冷リボンアモルフ
ァスについても同様の効果＞）・ある。

【図面の簡単な説明】

第１図（−」、イに発明の一′：を曇イ１」例の磁気〜
＼−，ドの７−プ摺動而を示−１正面図、第２図はその
イ（１０而図である。 １、ら　・　基板ガラス、２，２′　・−・非晶質合金
、３　・・層間絶縁イ］別、４・・・接着用ガラス、６
・・−・・巻線溝、７・・・ガラス溜溝、８・・　ギヤ
・ノプスペーツ、９・・−・ギャップ形成用ガラス、１
０・・−ギヤツブ、１１．１２・・・・・・非磁性セラ
Ｓ、、り層。 代理人の氏名　弁用１士　中　尾　敏　男　ほか１名第
１図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）　　−Ｊｌ晶竹合金からなる磁心と接着用硝ｒ見
   の間ＫＥＩＩ磁＋１十ラミック層を介在させてなること
   を・特徴とする磁気ヘッド。、
2. （２）昇磁４ｚ１．セラミック層とし、−ｃＳｉｏ２．
   Ａ／、０３゜チ〃ンＮハｌ）ウム、７オルスデライ）、
   ＺｒＯ２゜ＴｉＯ２，ＷＣ，ＴｉＣ，ＳｉＣ，ｉ、−よ
   ひヂタン酸カルシウ）、　７ｆ）−１：、乃゛る１１了
   、１−り選シｆ　ｉｔ　ル１不’Ｉ　４　Ｌ　＜　ｉｔ
   ：　２　Ｊ小、Ｉソ、１であることを傷゛徴Ｊする特ｔ
   ｒｉ’　ｒｉｉ’ｉ求の範囲第１項にＲ［Ｌ　４ｔｋの
   磁気へ、ド、。