JPS61187109A - 磁気ヘツド - Google Patents
磁気ヘツドInfo
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- JPS61187109A JPS61187109A JP2863985A JP2863985A JPS61187109A JP S61187109 A JPS61187109 A JP S61187109A JP 2863985 A JP2863985 A JP 2863985A JP 2863985 A JP2863985 A JP 2863985A JP S61187109 A JPS61187109 A JP S61187109A
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- alloy
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は磁気ヘッドに関するものである。
従来の技術
従来より磁気ヘッド用コア材として、耐摩耗性が良いと
いう特長からフェライトが広く使用されているが、飽和
磁束密度Ｂｓが合金材料に比べて３０〜６０％低いので
、近年登場してきた高抗磁力の高密度記録用媒体に使用
した場合、ヘッドコア材料の磁気飽和が問題となり、こ
のような観点から、高密度記録媒体の対応ヘッドとして
、ノ（−マロイやセンダストなどの合金材料を使った磁
気ヘッドが実用化されている。
いう特長からフェライトが広く使用されているが、飽和
磁束密度Ｂｓが合金材料に比べて３０〜６０％低いので
、近年登場してきた高抗磁力の高密度記録用媒体に使用
した場合、ヘッドコア材料の磁気飽和が問題となり、こ
のような観点から、高密度記録媒体の対応ヘッドとして
、ノ（−マロイやセンダストなどの合金材料を使った磁
気ヘッドが実用化されている。
他方、耐摩耗性、磁気特性ともに優れた材料として、非
晶質合金が脚光をあびてきている。
晶質合金が脚光をあびてきている。
これらの合金材料を、磁気ヘッドのコア材料として使用
した場合、材料自身の比抵抗が７０〜１２ＯμΩ・αと
低いので高周波領域で、うず電流による損失が大きい為
、通常積層構造により改善をはかつている。
した場合、材料自身の比抵抗が７０〜１２ＯμΩ・αと
低いので高周波領域で、うず電流による損失が大きい為
、通常積層構造により改善をはかつている。
オーディオヘッドに於ては、トラック幅が数百μｍと大
きく、周波数領域も低いので１枚当りのコアの厚みも２
ｏｏ〜３００μｍと厚く、積層。
きく、周波数領域も低いので１枚当りのコアの厚みも２
ｏｏ〜３００μｍと厚く、積層。
ギャップ形成は、エポキシ系樹脂などの、いわゆる接着
剤が使用されている。
剤が使用されている。
しかしながら、ビデオ、コンピュータ、計測機用ヘッド
となると、トランク幅が非常に小さく（例えば数十μｍ
）、かつギャップ長が非常に短い（例えば０．３μｍ以
下）ので、接着剤によるヘッド構成では高精度のギャッ
プを維持することは困難である。
となると、トランク幅が非常に小さく（例えば数十μｍ
）、かつギャップ長が非常に短い（例えば０．３μｍ以
下）ので、接着剤によるヘッド構成では高精度のギャッ
プを維持することは困難である。
またトラック幅が小さく、かつ使用周波数領域も数ＭＨ
ｚないしは１０ＭＨｚと高いので、１枚当シのコアの厚
みも１０μｍあるいはそれ以下が望ましい。
ｚないしは１０ＭＨｚと高いので、１枚当シのコアの厚
みも１０μｍあるいはそれ以下が望ましい。
このような厚みでは、現在の加工技術では難かしく、超
急冷法によるリボンアモルファスやリボンセンダストで
も厚みが２Ｏ１１ｍ以下では、均一な厚みを得る事は難
かしい。
急冷法によるリボンアモルファスやリボンセンダストで
も厚みが２Ｏ１１ｍ以下では、均一な厚みを得る事は難
かしい。
従って上記観点よシ、磁性材料である非晶質合金やセン
ダスト合金を、スパッタ法や蒸着法によって薄板化する
方法が採用されている。
ダスト合金を、スパッタ法や蒸着法によって薄板化する
方法が採用されている。
これらの方法によると、１枚当りのコアの厚みが１０μ
ｍ以下のものが容易に得られ、かつ磁性材料と層間絶縁
材料を交互に積層することが可能であシ各材料間の付着
強度も強いので、前記高精度のギャップを維持する事が
可能である。
ｍ以下のものが容易に得られ、かつ磁性材料と層間絶縁
材料を交互に積層することが可能であシ各材料間の付着
強度も強いので、前記高精度のギャップを維持する事が
可能である。
この時の層間絶縁材料として、５１０２が用いられてい
るのは公知である。（電子通信学会論文誌別刷Ｔｒａｎ
ｓ、工ＫＣＥ ’７４／９ ＶＯＬ、６７−ＣＡ９゜電
気学会研究会資料 ＭＡＧ８２−３６）。またギャップ
スペーサ材料としてＳ１０□を用いるのも公知である。
るのは公知である。（電子通信学会論文誌別刷Ｔｒａｎ
ｓ、工ＫＣＥ ’７４／９ ＶＯＬ、６７−ＣＡ９゜電
気学会研究会資料 ＭＡＧ８２−３６）。またギャップ
スペーサ材料としてＳ１０□を用いるのも公知である。
発明が解決しようとする問題点
このような従来の構成である、金属磁性材料と層間絶縁
材料である５ｉｏ２の積層磁芯からなる磁気ヘッドを用
いて、市販の塗布型メタルテープによる各種環境下にお
けるテープ走行試験をした所、特に低湿環境でヘッド出
力の大きな低下が見られた。
材料である５ｉｏ２の積層磁芯からなる磁気ヘッドを用
いて、市販の塗布型メタルテープによる各種環境下にお
けるテープ走行試験をした所、特に低湿環境でヘッド出
力の大きな低下が見られた。
この出力が低下したヘッドのテープ摺動面を観察したと
ころ層間絶縁材料である５１０２付近に選択的に付着物
があり、その程度は段差計によシ測定した所最大５００
〜６００人であった。この付着物をオージェ分析により
分析した所、付着成分はメタルテープ中の磁性材料成分
であり、段差計による値とオージェ分析による深さが一
致した。
ころ層間絶縁材料である５１０２付近に選択的に付着物
があり、その程度は段差計によシ測定した所最大５００
〜６００人であった。この付着物をオージェ分析により
分析した所、付着成分はメタルテープ中の磁性材料成分
であり、段差計による値とオージェ分析による深さが一
致した。
また程度は少いがギャップ上にも少し付着物が見られた
。
。
以上を総合して考えると、塗布型メタルテープを低湿環
境下で走行すると、金属磁性材料を用いた磁気ヘッドの
層間絶縁材料である５ｉｏ２付近に選択的にメタルテー
プ中の磁性材料が付着し、その付着物による盛シ上シの
ために、ヘッドとテープ間にスペーシングが発生する事
によるスペーシングロスにより、ヘッド出方が低下する
事が分かった。
境下で走行すると、金属磁性材料を用いた磁気ヘッドの
層間絶縁材料である５ｉｏ２付近に選択的にメタルテー
プ中の磁性材料が付着し、その付着物による盛シ上シの
ために、ヘッドとテープ間にスペーシングが発生する事
によるスペーシングロスにより、ヘッド出方が低下する
事が分かった。
他方積層枚数を多くして行くと、磁性材料の厚みが同一
にもがかわらず、透磁率（μ′）が低下する傾向が見ら
れた。これは磁性材料の磁歪定数（λＳ）が完全に零に
なっていない事を意味するが、磁性材料と５１０２の熱
膨張係数（α）が１桁以上大きい事にも起因する。
にもがかわらず、透磁率（μ′）が低下する傾向が見ら
れた。これは磁性材料の磁歪定数（λＳ）が完全に零に
なっていない事を意味するが、磁性材料と５１０２の熱
膨張係数（α）が１桁以上大きい事にも起因する。
問題点を解決するための手段
本発明は上記問題点を解決するため、磁気テープと接触
するヘッドチップのテープ摺動面が、多層構造の磁性体
からなる磁気ヘッドにおいて、前記多層構造の層間絶縁
材料が、遷移金属元素の複合酸化物からなることを特徴
とする磁気ヘッドである。
するヘッドチップのテープ摺動面が、多層構造の磁性体
からなる磁気ヘッドにおいて、前記多層構造の層間絶縁
材料が、遷移金属元素の複合酸化物からなることを特徴
とする磁気ヘッドである。
作用
本発明は上記した構成により、低湿環境下においても前
記付着物が全くないので、ヘッド出力の低下が発生せず
安定した出力が得られ、信頼性の高い磁気ヘッドが得ら
れる。また層間絶縁材料の熱膨張係数が５１０２に比べ
て１桁以上大きく、より金属磁性材料に近くなるので、
特に積層枚数が多くなった時の磁性材料に対する応力の
影響が少なくなり、磁気ヘッド特性の劣化が少なくなる
。
記付着物が全くないので、ヘッド出力の低下が発生せず
安定した出力が得られ、信頼性の高い磁気ヘッドが得ら
れる。また層間絶縁材料の熱膨張係数が５１０２に比べ
て１桁以上大きく、より金属磁性材料に近くなるので、
特に積層枚数が多くなった時の磁性材料に対する応力の
影響が少なくなり、磁気ヘッド特性の劣化が少なくなる
。
実施例
本発明の一実施例を第１図、第２図を用いて説明する。
市販の基板材料を鏡面研磨し、十分洗浄して基板１とし
て、真空槽内を３ Ｘ １０ ＴＯｒｒに排気した後
、Ａｒガスを導入して２ Ｘ １０ ＴＯｒｒとし、
ターゲット組成としてＧａ４．Ｎｂ、 ３Ｚｒ６をスパ
ッタして１０μｍの非晶質合金膜２ａを作製した。
て、真空槽内を３ Ｘ １０ ＴＯｒｒに排気した後
、Ａｒガスを導入して２ Ｘ １０ ＴＯｒｒとし、
ターゲット組成としてＧａ４．Ｎｂ、 ３Ｚｒ６をスパ
ッタして１０μｍの非晶質合金膜２ａを作製した。
次に層間絶縁材料をターゲットとして非晶質合金膜２ａ
上にＡｒ圧４ Ｘ １０ ＴＯｒｒでスパッタして約
１０００人の層間絶縁材料３ａを作製した。
上にＡｒ圧４ Ｘ １０ ＴＯｒｒでスパッタして約
１０００人の層間絶縁材料３ａを作製した。
以下同様に非晶質合金膜と眉間絶縁材料を交互に２ｂ、
３ｂ、２Ｃとスパッタし非晶質合金膜が３層構造のブロ
ックを得た。
３ｂ、２Ｃとスパッタし非晶質合金膜が３層構造のブロ
ックを得た。
他方基板１と同じ材料の基板５を、接着用ガラス層４を
介して接着を行ない積層コアを得た。
介して接着を行ない積層コアを得た。
次にギャップ突合せ面に巻線窓６を加工した後、突合せ
面をダイヤモンドペーストで鏡面に加工した後、この面
にギャップスペーサ材を所定の厚みにスパッタして、ギ
ャップ形成用の片側が完成する。
面をダイヤモンドペーストで鏡面に加工した後、この面
にギャップスペーサ材を所定の厚みにスパッタして、ギ
ャップ形成用の片側が完成する。
このブロックと全く同じ構造１′〜５′からなる積層コ
ア半休を突き合せ、接着用ガラス７によシギャップ形成
を行った。
ア半休を突き合せ、接着用ガラス７によシギャップ形成
を行った。
この１対の棒より所定のヘッドを切り出しヘッドを完成
した。
した。
これらのヘッドをビデオテープレコーダ（ヘッドテープ
相対速度３．８ｆｉ／秒）に取付け、市販の塗布型メタ
ルテープを用いて各種環境下におけるテープ走行試験を
した所、従来の５１０２ を層間絶縁材料もしくはギャ
ップ材で構成したヘッドでは、低湿環境下でヘッド出力
の大きな低下が見られたのに対して、本発明の材料を層
間絶縁またはギャップ材で構成したヘッドでは、全ての
環境下で安定した出力が得られた。
相対速度３．８ｆｉ／秒）に取付け、市販の塗布型メタ
ルテープを用いて各種環境下におけるテープ走行試験を
した所、従来の５１０２ を層間絶縁材料もしくはギャ
ップ材で構成したヘッドでは、低湿環境下でヘッド出力
の大きな低下が見られたのに対して、本発明の材料を層
間絶縁またはギャップ材で構成したヘッドでは、全ての
環境下で安定した出力が得られた。
第１表に２３°Ｃ，ＩＱ％相対湿度下における本発明の
ヘッドと参考までに従来のヘッドのヘッド出力を示す。
ヘッドと参考までに従来のヘッドのヘッド出力を示す。
なおヘッド出力は２３°Ｃ，７０％相対湿度下のヘッド
出力を０（ｄＢ）で示す。
出力を０（ｄＢ）で示す。
（以下余 白）
第 １ 表
次に基板に非磁性ステンレスを用い、センダスト合金（
７６Ｂ４．５．Ｓｉ９．７．人ｅ５．８各重量％）をタ
ーゲットとして、真空槽内を５ Ｘ １ｏ Ｔｏｒｒ
に排気した後、Ａｒガスを導入して１．５Ｘ１０−３Ｔ
ｏｒｒとしスパッタした。次に眉間絶縁材料をターゲッ
トとしてセンダスト膜上に人ｒ圧４Ｘ１ｏ−２Ｔｏｒｒ
でスパッタして約１０ｏｏへの層間絶縁材料を作製した
。
７６Ｂ４．５．Ｓｉ９．７．人ｅ５．８各重量％）をタ
ーゲットとして、真空槽内を５ Ｘ １ｏ Ｔｏｒｒ
に排気した後、Ａｒガスを導入して１．５Ｘ１０−３Ｔ
ｏｒｒとしスパッタした。次に眉間絶縁材料をターゲッ
トとしてセンダスト膜上に人ｒ圧４Ｘ１ｏ−２Ｔｏｒｒ
でスパッタして約１０ｏｏへの層間絶縁材料を作製した
。
以下同様にセンダスト合金膜と層間絶縁材料を交互に積
層して多層センダスト膜を作製した。
層して多層センダスト膜を作製した。
こうして得られた膜の１００ ＫＨｚにおける１ｍｏｅ
の透磁率を第２表に示す。
の透磁率を第２表に示す。
なお表中の透磁率は磁性材料の厚みに対して、すなわち
眉間絶縁材料は無視して示しである。
眉間絶縁材料は無視して示しである。
（以下余 白）
なお、上記実施例中ではへラドコアを基板で挾んだサン
ドイッチ構造を有する磁気ヘッドについて述べたが、テ
ープ摺動面に基板を含まない、すなわちテープ摺動面が
全て多層構造の磁性体からなる磁気ヘッドでも同様の効
果を有するものである。
ドイッチ構造を有する磁気ヘッドについて述べたが、テ
ープ摺動面に基板を含まない、すなわちテープ摺動面が
全て多層構造の磁性体からなる磁気ヘッドでも同様の効
果を有するものである。
また実施例中には遷移金属元素の、複合酸化物の組成を
各々限定して示したが、必ずしも第１゜２表に示した組
成比になっている必要はなく、これらの複合酸化物であ
れば同様の効果を有するものである。
各々限定して示したが、必ずしも第１゜２表に示した組
成比になっている必要はなく、これらの複合酸化物であ
れば同様の効果を有するものである。
また磁性材料も非晶質合金；Ｇｏ−Ｗｂ−Ｚｒ系につい
て述べたが他の系、例えばＧ ｏ −Ｆ ｅ−５ｉ −
Ｂ 。
て述べたが他の系、例えばＧ ｏ −Ｆ ｅ−５ｉ −
Ｂ 。
Ｎｉ−８ｉ−Ｂ 系などについても同様の効果があり
、スパッタ材料に限定されるものでない。
、スパッタ材料に限定されるものでない。
センダスト合金についても組成の限定は特にな（、Ｆａ
−８ｉ−ム１合金組成で効果がある。この事は同様に合
金磁性材料であるパーマロイ（鉄ニツケル系合金）につ
いても、特に磁歪に対する透磁率の影響が大きいので同
様の効果が期待出来る。
−８ｉ−ム１合金組成で効果がある。この事は同様に合
金磁性材料であるパーマロイ（鉄ニツケル系合金）につ
いても、特に磁歪に対する透磁率の影響が大きいので同
様の効果が期待出来る。
発明の効果
以上述べたように、本発明によれば、多層構造の磁性体
からなる磁気ヘッドにおいて、層間絶縁材料もしくはギ
ャップ材料に遷移金属元素の複合酸化物からなる材料を
用いる事で、実用的に使用される幅広の環境のテープ走
行に対して、テープ中の磁性材料成分の付着がなく、従
って安定したヘッド出力が得られ、信頼の高い磁気ヘッ
ドが供給出来る。
からなる磁気ヘッドにおいて、層間絶縁材料もしくはギ
ャップ材料に遷移金属元素の複合酸化物からなる材料を
用いる事で、実用的に使用される幅広の環境のテープ走
行に対して、テープ中の磁性材料成分の付着がなく、従
って安定したヘッド出力が得られ、信頼の高い磁気ヘッ
ドが供給出来る。
また層間絶縁材料に本発明の材料を用いる事により、従
来材料よシ熱膨張係数が１桁以上大きく、より金属磁性
材料に近くなるので、特に積層枚数が多くなった時もし
くは１層の厚みが薄ぐなった時の磁性材料に対する応力
の影響が少なくなり、磁気ヘッド特性の劣化が少なくな
る。
来材料よシ熱膨張係数が１桁以上大きく、より金属磁性
材料に近くなるので、特に積層枚数が多くなった時もし
くは１層の厚みが薄ぐなった時の磁性材料に対する応力
の影響が少なくなり、磁気ヘッド特性の劣化が少なくな
る。
第１図は本発明の一実施例における磁気ヘッドのテープ
摺動面を示す正面図、第２図はその側面図である。 １．１′・・・・・・基板、２２Ｌ、２１’・・・・・
・・非晶、質合金、３１Ｌ、３！Ｌ’・・・・・・絶縁
材料 ４ 、４／・・・・・・接着用ガラス層、６ 、
５’、・・・・・基板、６・川・・巻線窓、７・・・・
・・接着用ガラス、８・・・・・・ギャップ。
摺動面を示す正面図、第２図はその側面図である。 １．１′・・・・・・基板、２２Ｌ、２１’・・・・・
・・非晶、質合金、３１Ｌ、３！Ｌ’・・・・・・絶縁
材料 ４ 、４／・・・・・・接着用ガラス層、６ 、
５’、・・・・・基板、６・川・・巻線窓、７・・・・
・・接着用ガラス、８・・・・・・ギャップ。
Claims (3)
- （１）磁気テープと接触するヘッドチップのテープ摺動
面が、多層構造の磁性体からなり、前記多層構造の層間
絶縁材料またはギャップスペーサ材料が、遷移金属元素
の複合酸化物からなることを特徴とする磁気ヘッド。 - （２）複合酸化物が、ＭｇＯ−ＮｉＯ系、ＭｇＯ−Ｍｎ
Ｏ系、ＭｇＯ−ＴｉＯ＿２系、ＳｒＯ−ＴｉＯ＿２系、
ＮｉＯ−ＭｎＯ系、またはＺｎＯ−Ｆｅ＿２Ｏ＿３系か
らなる特許請求の範囲第１項記載の磁気ヘッド。 - （３）多層構造の磁性体が、非晶質合金、センダスト合
金、またはパーマロイ合金からなる特許請求の範囲第１
項記載の磁気ヘッド。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60028639A JPH0656643B2 (ja) | 1985-02-15 | 1985-02-15 | 磁気ヘツド |
| EP86101672A EP0191447B1 (en) | 1985-02-15 | 1986-02-10 | Magnetic head |
| DE8686101672T DE3685230D1 (de) | 1985-02-15 | 1986-02-10 | Magnetkopf. |
| US07/161,408 US4901179A (en) | 1985-02-15 | 1988-02-23 | Magnetic head having a laminated structure |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60028639A JPH0656643B2 (ja) | 1985-02-15 | 1985-02-15 | 磁気ヘツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61187109A true JPS61187109A (ja) | 1986-08-20 |
| JPH0656643B2 JPH0656643B2 (ja) | 1994-07-27 |
Family
ID=12254095
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60028639A Expired - Fee Related JPH0656643B2 (ja) | 1985-02-15 | 1985-02-15 | 磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0656643B2 (ja) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS566020A (en) * | 1979-06-25 | 1981-01-22 | Toyota Motor Corp | Power transmitting mechanism |
| JPS5987614A (ja) * | 1982-11-12 | 1984-05-21 | Hitachi Ltd | 金属磁性薄膜ヘツド |
| JPS5994222A (ja) * | 1982-11-19 | 1984-05-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気ヘツド |
| JPS59107412A (ja) * | 1982-12-11 | 1984-06-21 | Victor Co Of Japan Ltd | 磁気ヘツド |
| JPS59146426A (ja) * | 1983-02-10 | 1984-08-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気ヘツド |
| JPS60167103A (ja) * | 1985-01-07 | 1985-08-30 | Hitachi Ltd | 磁気ヘツドコア |
-
1985
- 1985-02-15 JP JP60028639A patent/JPH0656643B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS566020A (en) * | 1979-06-25 | 1981-01-22 | Toyota Motor Corp | Power transmitting mechanism |
| JPS5987614A (ja) * | 1982-11-12 | 1984-05-21 | Hitachi Ltd | 金属磁性薄膜ヘツド |
| JPS5994222A (ja) * | 1982-11-19 | 1984-05-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気ヘツド |
| JPS59107412A (ja) * | 1982-12-11 | 1984-06-21 | Victor Co Of Japan Ltd | 磁気ヘツド |
| JPS59146426A (ja) * | 1983-02-10 | 1984-08-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気ヘツド |
| JPS60167103A (ja) * | 1985-01-07 | 1985-08-30 | Hitachi Ltd | 磁気ヘツドコア |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0656643B2 (ja) | 1994-07-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |