JPS6192408A - 磁気ヘツド - Google Patents
磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS6192408A JPS6192408A JP21359584A JP21359584A JPS6192408A JP S6192408 A JPS6192408 A JP S6192408A JP 21359584 A JP21359584 A JP 21359584A JP 21359584 A JP21359584 A JP 21359584A JP S6192408 A JPS6192408 A JP S6192408A
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- Japan
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- magnetic
- compsn
- film
- ceramic
- magnetic film
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は薄膜磁気ヘッドや複合型磁気へ・ノド等のよう
に非磁性支持体と磁性薄膜とが複合一体化された磁気ヘ
ッドに関するものであり、さらに詳細には非磁性支持体
の改良に関するものである。
に非磁性支持体と磁性薄膜とが複合一体化された磁気ヘ
ッドに関するものであり、さらに詳細には非磁性支持体
の改良に関するものである。
従来、磁気記録の分野においては、記録信号の高密度化
や高周波数化等が進められており、この高密度記録化に
対応して、磁気記録媒体として磁性粉にＦｅ、Ｃｏ、Ｎ
ｉ等の強磁性金属の粉末を用いたいわゆるメタルテープ
や強磁性金属材料を蒸着によりベースフィルム上に被着
したいわゆる蒸着テープ等のように抗磁力Ｈｃの高い磁
気記録媒体が使用されるようになっている。したがって
、記録再生に用いられる磁気ヘッドのヘッド材料には高
い飽和磁束密度Ｂｓを有することが要求されている。
や高周波数化等が進められており、この高密度記録化に
対応して、磁気記録媒体として磁性粉にＦｅ、Ｃｏ、Ｎ
ｉ等の強磁性金属の粉末を用いたいわゆるメタルテープ
や強磁性金属材料を蒸着によりベースフィルム上に被着
したいわゆる蒸着テープ等のように抗磁力Ｈｃの高い磁
気記録媒体が使用されるようになっている。したがって
、記録再生に用いられる磁気ヘッドのヘッド材料には高
い飽和磁束密度Ｂｓを有することが要求されている。
あるいは、上述の高密度記録化に伴って、磁気記録媒体
に記録される磁気パターンのトラック幅の狭小化も進め
られており、磁気ヘッドのトラック幅も極めて狭いもの
が要求されている。
に記録される磁気パターンのトラック幅の狭小化も進め
られており、磁気ヘッドのトラック幅も極めて狭いもの
が要求されている。
そこで従来、前述の要求に応えて、例えば非磁性支持体
と磁気コアとなる金属磁性ＮＢ’Ａとを積層しこの磁性
薄膜部分をトラック部としたいわゆる複合型磁気ヘッド
や、非磁性基板上に金属磁性薄膜や導体金泥薄膜を絶縁
薄膜を介して釜石に積層した薄膜磁気ヘッド等が提案さ
れており、このように上記磁気記録の分野においては、
磁性薄膜の応用が進展している。
と磁気コアとなる金属磁性ＮＢ’Ａとを積層しこの磁性
薄膜部分をトラック部としたいわゆる複合型磁気ヘッド
や、非磁性基板上に金属磁性薄膜や導体金泥薄膜を絶縁
薄膜を介して釜石に積層した薄膜磁気ヘッド等が提案さ
れており、このように上記磁気記録の分野においては、
磁性薄膜の応用が進展している。
ところで、上記磁性薄膜を磁気ヘッド等に使用する場合
には、その支持体として通常セラミック基板が用いられ
ているが、従来のセラミック基板は金属材料よりもかな
り熱膨張率が小さいことが知られている。例えば、薄膜
磁気ヘッドに用いられるパーマロイ、センダスト等の線
膨張係数αは１３０〜１６０ｘｌＯ／’ｃであるのに対
し、従来用いられているセラミック基板はＢａＴｉＯ３
系セラミックで９０〜１００ Ｘ １０／’Ｃ，ＣａＴ
ｉ０．系セラミックで１００〜１２ＯｘｌＯ／’ｃ程度
とかなり小さい。
には、その支持体として通常セラミック基板が用いられ
ているが、従来のセラミック基板は金属材料よりもかな
り熱膨張率が小さいことが知られている。例えば、薄膜
磁気ヘッドに用いられるパーマロイ、センダスト等の線
膨張係数αは１３０〜１６０ｘｌＯ／’ｃであるのに対
し、従来用いられているセラミック基板はＢａＴｉＯ３
系セラミックで９０〜１００ Ｘ １０／’Ｃ，ＣａＴ
ｉ０．系セラミックで１００〜１２ＯｘｌＯ／’ｃ程度
とかなり小さい。
このため、従来のこの種の磁気ヘッドでは、製造上の必
要性等から熱処理を施すと、上記磁性薄膜が上記セラミ
ック基板から剥離し易いという欠点ををしている。
要性等から熱処理を施すと、上記磁性薄膜が上記セラミ
ック基板から剥離し易いという欠点ををしている。
そこで本発明は、上述の従来のものの有する欠点を解消
するために提案されたものであって、非磁性支持体と磁
性薄膜との熱膨張率が同等で、磁性薄膜の剥離が生ずる
ことのない信頼性の高い磁気ヘッドを提供することを目
的とする。
するために提案されたものであって、非磁性支持体と磁
性薄膜との熱膨張率が同等で、磁性薄膜の剥離が生ずる
ことのない信頼性の高い磁気ヘッドを提供することを目
的とする。
本発明は、上述の如き目的を達成するために、非磁性支
持体と磁性薄膜とが複合一体化された磁気ヘッドにおい
て、上記非磁性支持体は一般式ＸＮ ａ、Ｏ・ｙＮｂ、
ｏ、で表される組成を有しその組成範囲が ０．７４≦ｘ／ｙ≦１．００ である磁器組成物からなることを特徴とするものである
。
持体と磁性薄膜とが複合一体化された磁気ヘッドにおい
て、上記非磁性支持体は一般式ＸＮ ａ、Ｏ・ｙＮｂ、
ｏ、で表される組成を有しその組成範囲が ０．７４≦ｘ／ｙ≦１．００ である磁器組成物からなることを特徴とするものである
。
このように、非磁性支持体として一般式ｘ Ｎ ａ。
０・ｙＮ ｂ２Ｏ５で表されその組成範囲が０．７４≦
ｘ／ｙ≦１．００である磁器組成物を使用することによ
り、この非磁性支持体と磁性金属の線膨張係数αが同等
なものとなり、熱処理による上記磁性金属の剥離が防止
される。
ｘ／ｙ≦１．００である磁器組成物を使用することによ
り、この非磁性支持体と磁性金属の線膨張係数αが同等
なものとなり、熱処理による上記磁性金属の剥離が防止
される。
以下、本発明を適用した磁気ヘッドの一実施例について
図面を参照しながら説明する。
図面を参照しながら説明する。
第１図は本発明を薄膜磁気ヘッドに通用した一例を示す
ものである。
ものである。
この実施例においては、Ｎ ａ、Ｏ−Ｎ ｂよ０．系磁
器組成物を非磁性基板１とし、この非磁性基板１上に磁
路を構成する一方の磁性膜である下部磁性膜２が例えば
センダスト薄膜等で形成されている。
器組成物を非磁性基板１とし、この非磁性基板１上に磁
路を構成する一方の磁性膜である下部磁性膜２が例えば
センダスト薄膜等で形成されている。
ここで、上記Ｎ ａ、Ｏ−Ｎ ｂよＯ１系僻気磁器組成
物は、一般式ｘ Ｎ ａ、Ｏ・ｙＮｂよ０．で表される
組成を有し、その組成範囲は０．７４≦ｘ／ｙ≦１．０
０に設定される。
物は、一般式ｘ Ｎ ａ、Ｏ・ｙＮｂよ０．で表される
組成を有し、その組成範囲は０．７４≦ｘ／ｙ≦１．０
０に設定される。
上記非磁性支持体１に使用される磁器組成物においては
、その組成範囲が重要であって、上記Ｘ／ｙが０．７４
未満では線膨張係数α＜１３０Ｘ１０／’ｃと磁性薄膜
に比べて小さくなりすぎ、これと反対にｘ／ｙが１．０
０を越えると焼結不良を起こし良質な磁器組成物が得ら
れない。これに対し、上記ｘ／ｙの値を０．７４≦ｘ／
ｙ≦１゜００に設定することにより、上記磁器組成物の
線膨張係数αが１３０〜１６０Ｘ１０／’Ｃに制御され
る。
、その組成範囲が重要であって、上記Ｘ／ｙが０．７４
未満では線膨張係数α＜１３０Ｘ１０／’ｃと磁性薄膜
に比べて小さくなりすぎ、これと反対にｘ／ｙが１．０
０を越えると焼結不良を起こし良質な磁器組成物が得ら
れない。これに対し、上記ｘ／ｙの値を０．７４≦ｘ／
ｙ≦１゜００に設定することにより、上記磁器組成物の
線膨張係数αが１３０〜１６０Ｘ１０／’Ｃに制御され
る。
さらに、上記磁器組成物に瞳、焼結性改善のために少量
の添加物を加えてもよい。このような添加物としては、
例えばＮａを他のアルカリ金属に少量置換するためのＬ
ｉ２Ｏ５Ｋ、Ｏ等や、Ｎｂを置換するＴａユ０６、あ
るいはその他Ｃａ○やＳｒＯ等が挙げられる。
の添加物を加えてもよい。このような添加物としては、
例えばＮａを他のアルカリ金属に少量置換するためのＬ
ｉ２Ｏ５Ｋ、Ｏ等や、Ｎｂを置換するＴａユ０６、あ
るいはその他Ｃａ○やＳｒＯ等が挙げられる。
また、上記非磁性支持体１に使用される磁器組成物の形
態としては、焼結体あるいは単結晶のいずれであっても
よい。
態としては、焼結体あるいは単結晶のいずれであっても
よい。
ところで、上記磁器組成物の作成方法としては、具体的
には次のような方法があけられる。
には次のような方法があけられる。
例えば、先ず純度９９．９％以上のＮ ａ２Ｃｏ、及び
Ｎ ｂ２Ｏ５の各原料粉末を用意する。
Ｎ ｂ２Ｏ５の各原料粉末を用意する。
次にこれら各原料粉末をそれぞれ所定の組成となるよう
に秤量し、エタノールを混合溶媒としてボールミで混合
処理した後、加熱しエタノールを除去する。
に秤量し、エタノールを混合溶媒としてボールミで混合
処理した後、加熱しエタノールを除去する。
続いて、５００ ｋｇ／ｃａｌの圧力で加圧成形し、こ
の成形したものを９００℃で３時間、空気中で仮焼する
。
の成形したものを９００℃で３時間、空気中で仮焼する
。
さらにこの仮焼物を乳鉢で粉砕し、再びエタノールを混
合媒体としてボールミルで混合処理した後、エタノール
を加熱除去する。その後１５００ｋｇ ／ ｃｎｌの圧
力で加圧成形し、１２Ｏ０℃で３時間。
合媒体としてボールミルで混合処理した後、エタノール
を加熱除去する。その後１５００ｋｇ ／ ｃｎｌの圧
力で加圧成形し、１２Ｏ０℃で３時間。
空気中で焼成し、磁器組成物を得る。
このようにして得られる磁器組成物を角柱状に加工し、
線膨張針で４０〜６００℃の温度範囲における線膨張率
αを測定したところ、Ｎ ａ、Ｏの割合の増加とともに
磁器組成物の線膨張係数αが増加し、特にｘ／ｙの値が
０．７４を越えると上記線膨張係数αが金属の線膨張係
数と同程度の１３０〜１６０×１０−ン℃となることが
分かった。
線膨張針で４０〜６００℃の温度範囲における線膨張率
αを測定したところ、Ｎ ａ、Ｏの割合の増加とともに
磁器組成物の線膨張係数αが増加し、特にｘ／ｙの値が
０．７４を越えると上記線膨張係数αが金属の線膨張係
数と同程度の１３０〜１６０×１０−ン℃となることが
分かった。
一方、上記下部磁性膜２上には、Ｓ ｉ Ｏ，等により
形成される絶縁層３を介して信号導体４が形成されてい
る。この信号導体４は、例えばスパッタリング等の手法
により被着形成される銅薄膜等をエツチングすることに
より形成され、上記下部磁性膜２や後述の上部磁性膜に
より構成される閉磁路中に記録再生信号を供給するよう
に配設されている。
形成される絶縁層３を介して信号導体４が形成されてい
る。この信号導体４は、例えばスパッタリング等の手法
により被着形成される銅薄膜等をエツチングすることに
より形成され、上記下部磁性膜２や後述の上部磁性膜に
より構成される閉磁路中に記録再生信号を供給するよう
に配設されている。
さらに上記信号導体４上には、第２の絶縁層５を介して
センダスト等よりなる上部磁性膜６が形成されており、
この上部磁性膜６の後端部６ａが上記下部磁性膜２と接
続されハンクギャソブを構成するとともに、前端部にお
いて先の絶縁層３を介して下部磁性膜２と対向し作動ギ
ャップを構成するようになっている。
センダスト等よりなる上部磁性膜６が形成されており、
この上部磁性膜６の後端部６ａが上記下部磁性膜２と接
続されハンクギャソブを構成するとともに、前端部にお
いて先の絶縁層３を介して下部磁性膜２と対向し作動ギ
ャップを構成するようになっている。
このように構成される薄ｌＩ！ｉ！磁気ヘッドには、さ
らにＳ ｉ Ｏｘ等の保護膜７が設けられ、融着ガラス
８によって非磁性保護板９が貼り付けられている。
らにＳ ｉ Ｏｘ等の保護膜７が設けられ、融着ガラス
８によって非磁性保護板９が貼り付けられている。
なお、この非磁性保護板９は、上記非磁性基板１と同様
の磁器組成物が使用される。
の磁器組成物が使用される。
以上の説明からも明らかなように、本発明を適用した薄
膜磁気ヘッドにおいては、非磁性基板１の熱膨張率と下
部磁性膜２の熱膨張率がほぼ等しいために、例えば磁性
薄膜の磁気特性を向上するための熱処理や、ガラス融着
、ガラスボンディング等の製造工程上の熱処理等を加え
ても上記下部磁性膜２の剥離が生ずることはない。
膜磁気ヘッドにおいては、非磁性基板１の熱膨張率と下
部磁性膜２の熱膨張率がほぼ等しいために、例えば磁性
薄膜の磁気特性を向上するための熱処理や、ガラス融着
、ガラスボンディング等の製造工程上の熱処理等を加え
ても上記下部磁性膜２の剥離が生ずることはない。
次に、本発明の他の実施例について説明する。
第３図は本発明を複合型の磁気ヘッドに適用した一例を
示すものである。
示すものである。
この磁気ヘッドは、金属磁性ｆｉｌｌ、１２がそれぞれ
非磁性ガード材１３．１４あるいは１５゜１６によって
挟み付けられ、これら金属磁性層１１．１２の突き合わ
せ面がこれら金属磁性層１１゜１２の厚さをトラック幅
とする作動ギャップ１７となるように構成されている。
非磁性ガード材１３．１４あるいは１５゜１６によって
挟み付けられ、これら金属磁性層１１．１２の突き合わ
せ面がこれら金属磁性層１１゜１２の厚さをトラック幅
とする作動ギャップ１７となるように構成されている。
また、上記磁気ヘッドには巻線溝１８が設けられ、この
巻線溝１８内に図示しない導体コイルを巻回することに
よって上記金属磁性層１１．１２に記録再生信号を供給
するようになっている。
巻線溝１８内に図示しない導体コイルを巻回することに
よって上記金属磁性層１１．１２に記録再生信号を供給
するようになっている。
ここで上記金属磁性層１１．１２は、薄帯状のセンダス
ト系合金あるいは非晶質合金等、通常この種の磁気へノ
ドに用いられる金属磁性層をラミネートする手法や、強
磁性金属材料をスパッタや蒸着する等の真空薄膜形成手
段等により形成される。
ト系合金あるいは非晶質合金等、通常この種の磁気へノ
ドに用いられる金属磁性層をラミネートする手法や、強
磁性金属材料をスパッタや蒸着する等の真空薄膜形成手
段等により形成される。
一方、上記非磁性ガード材１３．１４及び非磁性ガード
材１５．１６は、先の実施例の非磁性支持体ｌと同様に
、上記金属磁性ｆｉｌｌ、１２と同程度の線膨張係数α
を有する磁器組成物により形成されている。
材１５．１６は、先の実施例の非磁性支持体ｌと同様に
、上記金属磁性ｆｉｌｌ、１２と同程度の線膨張係数α
を有する磁器組成物により形成されている。
したがって先の実施例と同様に、これら非磁性ガード材
１３，１４，１５．１６と金属磁性層１１．１２との熱
膨張率の違いに起因する金属磁性ｔｉｌｌ、１２に剥離
が生ずることはない。
１３，１４，１５．１６と金属磁性層１１．１２との熱
膨張率の違いに起因する金属磁性ｔｉｌｌ、１２に剥離
が生ずることはない。
上述の説明からも明らかなように、本発明においては、
薄膜磁気ヘッドや複合型磁気ヘッド等のように非磁性支
持体と磁性薄膜とが複合一体化された磁気ヘッドの非磁
性支持体として、一般式ＸＮ ａ２Ｏ・ｙＮ ｂ２Ｏ５
で表されその組成範囲が０．７４≦ｘ／ｙ≦１，００ なる磁器組成物を使用しているので、上記非磁性支持体
と磁性薄膜の線膨張係数がほぼ等しいものとなる。
薄膜磁気ヘッドや複合型磁気ヘッド等のように非磁性支
持体と磁性薄膜とが複合一体化された磁気ヘッドの非磁
性支持体として、一般式ＸＮ ａ２Ｏ・ｙＮ ｂ２Ｏ５
で表されその組成範囲が０．７４≦ｘ／ｙ≦１，００ なる磁器組成物を使用しているので、上記非磁性支持体
と磁性薄膜の線膨張係数がほぼ等しいものとなる。
したがって、非磁性支持体と磁性薄膜の剥離の生ずるこ
とのない信頼性の高い磁気ヘッドを提供することが可能
となる。
とのない信頼性の高い磁気ヘッドを提供することが可能
となる。
第１図は本発明を薄膜磁気ヘッドに通用した一例を示す
断面し１であり、第２図は本発明を複合型の磁気ヘッド
に適用した一例を示す外観斜視図である。 ■・・・非磁性基板（非磁性支持体） ２・・・下部磁性膜（磁性薄膜） ６・・・上部磁性膜（磁性薄膜） １１．１２・・・金属磁性Ｆｉ（磁性薄膜）１３．１４
．１５．１６
断面し１であり、第２図は本発明を複合型の磁気ヘッド
に適用した一例を示す外観斜視図である。 ■・・・非磁性基板（非磁性支持体） ２・・・下部磁性膜（磁性薄膜） ６・・・上部磁性膜（磁性薄膜） １１．１２・・・金属磁性Ｆｉ（磁性薄膜）１３．１４
．１５．１６
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 非磁性支持体と磁性薄膜とが複合一体化された磁気ヘッ
ドにおいて、上記非磁性支持体は一般式ｘＮａ＿２Ｏ・
ｙＮｂ＿２Ｏ＿５で表される組成を有しその組成範囲が ０．７４≦ｘ／ｙ≦１．００ である磁器組成物からなることを特徴とする磁気ヘッド
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21359584A JPS6192408A (ja) | 1984-10-12 | 1984-10-12 | 磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21359584A JPS6192408A (ja) | 1984-10-12 | 1984-10-12 | 磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6192408A true JPS6192408A (ja) | 1986-05-10 |
Family
ID=16641791
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21359584A Pending JPS6192408A (ja) | 1984-10-12 | 1984-10-12 | 磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6192408A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0667605A1 (en) * | 1994-02-10 | 1995-08-16 | Magnex Corporation | Slider for miniature transducer |
-
1984
- 1984-10-12 JP JP21359584A patent/JPS6192408A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0667605A1 (en) * | 1994-02-10 | 1995-08-16 | Magnex Corporation | Slider for miniature transducer |
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