JPS63304414A - 磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、高品位ＶＴＲやデジタルＶＴＲ等の高周波信
号を記録再生する磁気ヘッドに関するものである。

（従来の技術） 近年高品位ＶＴＲやデジタルＶＴＲなどの広帯域の信号
を取り扱うシステムの開発が行われ、磁気ヘッドとして
も飽和磁束密度が高く、周波数特性の優れたヘッドの開
発が望まれている。そこで従来のフェライトに変わり、
飽和磁束密度の高いセンダストやアモルファス合金等の
金属磁性材料を用いたヘッドσ開発が行われているが、
巻線窓を有するリング型磁気ヘッドにおいては、磁束の
流れる向きが、ヘッドの各部で異なるため、磁気コア面
内で一軸異方性をつけると、磁束が容易軸方向に流れる
部分ができ、磁路のレラクタンスが大きくなり、効率が
悪くなる。したがってセンダス１〜においては、異方性
が小さくなる組成を選び、またアモルファス合金におい
ては、Ｔｃ以上の温度でのアニール、あるいは回転磁場
中アニールにより異方性を分散させ、初透磁率のあまり
良くない無配向性の磁性体を磁気コアとして用いている
。

第Ｇ［！’Ｉは従来の磁気ヘッドの斜視図である。同図
において、１は強磁性薄膜、２は層間絶縁膜、３は成板
、４は巻線窓、５はボンディングガラスであり、６は磁
気ギャップである。

（発明が解決しようとする問題点） 高品位ＶＴＲやデジタルＶＴＲでは、その記録信号帯域
は３０ＭＩｈないし６０ＭＨｚに達し、磁気ヘッド用コ
ア材料としては、このような高周波帯で高い初透磁率を
有するものが要求される。第３図はＣ。

系アモルファス磁性膜とＳｉＯ□膜との多層膜の周波数
特性を暎の異方性別に示したものである。１層当たりの
磁性膜は渦電流損失を考慮して４岬とし、層間のＳｉＯ
□膜は０．２−で５層積層したものであ、る。

第３図においては、■は無配向の多層膜で、積層効果に
より渦電流損失は改善されているが、３０Ｍ１肚以上の
高周波帯での初透磁率は５００μｉ以下となる。したが
って、このような無配向の磁性膜をヘッドとして用いた
のでは、上記のような高周波システムには対応できない
。一方、−軸異方性を有する膜をその容易軸方向を揃え
て積層した多層膜の初透磁率の周波数特性は、容易軸方
向に測定すると、■のように全周波数帯域で極めて低い
初透磁率を示すのに対し、困難軸方向に測定した場合は
、■のように高周波まで高い初透磁率を維持し、６０　
Ｍ　１−１ｚでもμ１＝１０００程度の値を有する。し
たがって、ヘッドコアの磁化容易軸の方向をトラック幅
方向と平行（第６図ｙ方向）にできれば良い特性が得ら
れるが、第６図に示すような、ｔ１♂ｈ　ｆＪ、流損失
を改善した従来の積層膜ヘッドにおいては、形状による
反磁界係数が大きくトラック幅方向を磁化容易軸とする
のは困難なため初透磁率の低い無配向性の状態を磁気コ
アとして用いており、高周波でのヘッド効率が悪い欠点
があった。

本発明の目的は、従来の欠点を解消し、３０〜６０旧１
ｚの高岡波帯でも充分高い効率で記録、再生できる高周
波用磁気ヘッドを提供することである。

（問題点を解決するための手段） 本発明の磁気ヘッドは、強磁性薄膜と絶縁薄膜とを交互
に積層した多層膜で、磁気コアの磁路の一部あるいは全
部を構成した磁気ヘッドにおいて、多層膜の積層面がテ
ープ摺動面に対してトラック幅方向に傾斜しており、強
磁性薄膜の磁化容易軸が傾斜面のトラック幅方向にある
ものであり、また強磁性薄膜がＴｘ（ＴｃであるＣｏ系
アモルファス強磁性膜よりなるものである。

（実施例） 本発明の一実施例を第１図ないし第５図に基づいて説明
する。同図において、第６図に示した従来例と同じ部分
については同一符号を付し、一部その説明を省略する。

第１図は本発明の磁気ヘッドの斜視図である。

同図において、１はアモルファス合金やセンダスト等の
強磁性薄膜で、使用帯域における渦電流損失を少なくし
て、特性を良くするために５ｉ０２等の絶縁薄膜を介し
た積層構造としている。また積層面はテープ摺動面に対
してトラック幅方向に傾斜しており、傾斜面の１へラッ
ク幅方向に強磁性薄膜の磁化容易軸が向いている構造と
なっている。この多層膜からなる磁気コアは、チタン酸
バリウム系セラミックス等の非磁性基板３で挟持され、
巻線窓４内に設けたボンディングガラス５により、２つ
の対向するコアを接合し、磁気ギャップ６を形成してい
る。

第２図は、第１図のＡ−Ａ′断面図であり、磁化容易軸
７が傾斜した強磁性薄膜１と平行にあることを示してい
る。またこのように測定方向かつ約４５°傾斜した方向
に磁化容易軸を持つ膜の初透磁率の周波数特性は、第３
図■に示すように６０旧肚において約１０００μｍ程度
の値を有している。したがって、このような多層膜で構
成した、第１図に示した構造の磁気ヘッドは、その磁路
の大半が、第３図■と■で示した初透磁率特性で動作す
るため、高周波でも高いヘッド効率を示すものである。

このような磁気ヘッドの製造方法としては、まず基板３
上に強磁性薄膜と５ｉ０２等の層間絶縁膜２をスパッタ
リングで交互に積層する。次にそのようにしてできた基
板を一定の傾斜角で切断線り−Ｄ′で切断してプレー１
−を作製する。（第４図（ａ））そして基板３の両面に
接若ガラス８を形成し、第４図（ｂ）に示すように、先
に作製したプレートと、Ｉｆ板３とを交互に重ね合わせ
、加圧熱処理してひとつの積層ブロックを作製する。そ
の際に、多層膜の傾斜面のトラック幅方向に外部磁界Ｈ
ｅｘを印加することにより、多層膜の傾斜面のトラック
幅方向に磁化容易軸を有するようにする。そののち。

切断線Ｈ−Ｈ′、Ｉ−Ｉ′で切断し、さらに第４図（Ｃ
）に示すように切ＷｒｉＪ−Ｊ′、に−に′で切断して
一対のコアバーを作製する。そして一方のコアバーのギ
ャップ面内に巻線溝を設け、以降は従来のフェライトヘ
ッドと同様な工程により、第４図（ｄ）に示すようにギ
ャップ形成を行う。この際にも、多層膜の傾斜面のトラ
ック幅方向に外部磁界Ｈｅｘを印加しておく。そして切
断線Ｌ−Ｌ’、Ｈ−４Ｉ′で切断して、ヘッドチップが
完成する。

なお、上記実施例では磁気コアが総べてテープ摺動面に
対しトラック幅方向に傾斜した多層膜によって形成され
、傾斜面のトラック幅方向に磁化容易軸をもったものを
示したが、この他にも第５図（ａ）に示すように、磁気
ギャップを有する前部磁気コアが傾斜した一軸配向性の
多層膜によって形成され、後部磁気コアが、従来側と同
様の無配向性の積層強磁性薄膜よりなるものから形成し
てもよい。また第５図（ｂ）に示すように、前部磁気コ
アが傾斜した一軸配向性の多層膜によって形成され、後
部磁気コアがフェライト等のバルク材より形成されても
よい。また特性も第５図（ａ）、　（ｂ）に示した実施
例では、第１図に示したものと同程度のものが得られた
。

（発明の効果） 本発明によれば、磁路内に磁束が磁化容易軸と−ｉ′Ｔ
１行になるところが、３０〜６０ＭＩ（ｚの高周波イ；
Ｖにおいても、十分に高い効率で、記録再生することが
できる高周波用磁気ヘッドが容易に得られ、その実用上
の効果は大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における磁気ヘッドの斜視図
、第２図は第１図に示したヘッドのＡ−Ａ′断面図、第
３図は異方性の方向による強磁性薄膜の初透磁率の周波
数特性測定結果を示す図、第４図（ａ）〜（ｄ）は本発
明の磁気ヘッドの製造工程を示す斜視図、第５図（ａ）
、　（ｂ）は本発明の他の実施例の断面図、第６図は従
来の磁気ヘッドの斜視図である。 １　・・・強磁性薄膜、　２・・・層間絶縁膜、３　・
・・基板、４・・・巻線窓、　５・・・ボンディングガ
ラス、　６　・・・磁気ギャップ、７　・・・磁化容易
軸。 特許出願人　松下電器産業株式会社 第１図 １　、づ！ＭａａｌＡｊｊ　　　２−Ｍ　ｆｉＤＪｅ＃
ｌ　　　３−、！、１４−１壱律し宮、　　　５−爪し
〒−イしり゛乃′う入　　　６７．磁ｙＬギＮ・ソフ。 ７、、ａｔｉｉ 第３図 １００００Ｆ 「 囚　汲数　（Ｍ）−１ｚ） 第４図 Ｄ′ し １１．−作画ｉ１倶　　２．一層間紀４釘叉　　３．基
辰第４図 第５図 ３−基板７−Ｍ信書＃）Ｎ］ ９、−フェライトｉ４（

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）強磁性薄膜と絶縁薄膜とを交互に積層した多層膜
   で、磁気コアの磁路の一部あるいは全部を構成した磁気
   ヘッドにおいて、前記多層膜の積層面がテープ摺動面に
   対してトラック幅方向に傾斜しており、前記強磁性薄膜
   の磁化容易軸が傾斜面のトラック幅方向にあることを特
   徴とする磁気ヘッド。
2. （２）強磁性薄膜がＴｘ＜ＴｃであるＣｏ系アモルファ
   ス強磁性膜よりなることを特徴とする特許請求の範囲第
   （１）項記載の磁気ヘッド。