JPH0664699B2 - 磁気ヘツド - Google Patents
磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPH0664699B2 JPH0664699B2 JP62050554A JP5055487A JPH0664699B2 JP H0664699 B2 JPH0664699 B2 JP H0664699B2 JP 62050554 A JP62050554 A JP 62050554A JP 5055487 A JP5055487 A JP 5055487A JP H0664699 B2 JPH0664699 B2 JP H0664699B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- head
- thin films
- ferromagnetic thin
- multilayer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/147—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive with cores being composed of metal sheets, i.e. laminated cores with cores composed of isolated magnetic layers, e.g. sheets
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
- G11B5/3143—Disposition of layers including additional layers for improving the electromagnetic transducing properties of the basic structure, e.g. for flux coupling, guiding or shielding
- G11B5/3146—Disposition of layers including additional layers for improving the electromagnetic transducing properties of the basic structure, e.g. for flux coupling, guiding or shielding magnetic layers
- G11B5/3153—Disposition of layers including additional layers for improving the electromagnetic transducing properties of the basic structure, e.g. for flux coupling, guiding or shielding magnetic layers including at least one magnetic thin film coupled by interfacing to the basic magnetic thin film structure
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は高品位VTRやディジタルVTRのように高周波信号
を扱うシステムに好適な高周波信号を効率良く記録再生
する磁気ヘッドに関するものである。
を扱うシステムに好適な高周波信号を効率良く記録再生
する磁気ヘッドに関するものである。
従来の技術 従来、VTR等の高周波信号を記録再生する装置において
は、ビデオヘッド用磁性材料として一般に高周波損失の
少ないフェライト材料が用いられている。しかし、近年
になって高品位VTRやディジタルVTRのように更に広帯域
の信号を取り扱うシステムの開発が盛んになってきてお
り、記録媒体もこのような大量の情報を記録する為の高
密度化の流れの中で酸化鉄系から合金粉末媒体や金属蒸
着媒体等の高抗磁力媒体へ移行しつつある。これに対し
てフェライトヘッドではその最大磁束密度が高々5000ガ
ウス程度であり、又短波長信号を効率良く再生する為に
は狭ギャップにする必要があり、上述のようなHcが1000
エルステッド以上の高抗磁力媒体ではギャップ先端部の
フェライトコアが飽和し、十分な記録が出来ない。そこ
で最大磁束密度の高いセンダストやアモルファス磁性合
金等の金属磁性材料を用いた磁気ヘッドの開発が行なわ
れているが、バルク状の金属磁性材料を用いたのではう
ず電流による高周波損失が大きくとても上記システムに
は使えない。この為上記損失をできるだけ押える為に金
属磁性材料を薄膜化して用いることが検討されており、
例えば金属磁性薄膜と絶縁薄膜の積層体で主磁気回路を
構成することによって高周波対応を図っている。
は、ビデオヘッド用磁性材料として一般に高周波損失の
少ないフェライト材料が用いられている。しかし、近年
になって高品位VTRやディジタルVTRのように更に広帯域
の信号を取り扱うシステムの開発が盛んになってきてお
り、記録媒体もこのような大量の情報を記録する為の高
密度化の流れの中で酸化鉄系から合金粉末媒体や金属蒸
着媒体等の高抗磁力媒体へ移行しつつある。これに対し
てフェライトヘッドではその最大磁束密度が高々5000ガ
ウス程度であり、又短波長信号を効率良く再生する為に
は狭ギャップにする必要があり、上述のようなHcが1000
エルステッド以上の高抗磁力媒体ではギャップ先端部の
フェライトコアが飽和し、十分な記録が出来ない。そこ
で最大磁束密度の高いセンダストやアモルファス磁性合
金等の金属磁性材料を用いた磁気ヘッドの開発が行なわ
れているが、バルク状の金属磁性材料を用いたのではう
ず電流による高周波損失が大きくとても上記システムに
は使えない。この為上記損失をできるだけ押える為に金
属磁性材料を薄膜化して用いることが検討されており、
例えば金属磁性薄膜と絶縁薄膜の積層体で主磁気回路を
構成することによって高周波対応を図っている。
発明が解決しようとする問題点 高品位VTRやディジタルVTRではその記録信号帯域は30〜
60MHzに達し、磁気ヘッド用コア材料としてはこのよう
な高周波帯で高い初透磁率を有するものが要求される。
第２図はCoNbTaZr非晶質磁性薄膜とSiO２膜との積層体
において、測定方向に対する非晶質磁性薄膜の異方性の
方向を変えた時の初透磁率の周波数特性を示したもので
ある。１層当たりの磁性薄膜の膜厚は渦電流損失を考慮
して４μｍとし層間のSiO２膜厚は0.2μｍで５層積層し
たものである。図においては無配向の積層膜で、積層
効果により渦電流損失は改善されているがその高周波特
性は強磁性共鳴によるスヌークの限界で制限されてお
り、30MHz以上の高周波帯での初透磁率は500以下とな
る。従ってこのような無配向の磁性薄膜をヘッドコアと
して用いたのでは前記のような高周波システムには対応
できない。
60MHzに達し、磁気ヘッド用コア材料としてはこのよう
な高周波帯で高い初透磁率を有するものが要求される。
第２図はCoNbTaZr非晶質磁性薄膜とSiO２膜との積層体
において、測定方向に対する非晶質磁性薄膜の異方性の
方向を変えた時の初透磁率の周波数特性を示したもので
ある。１層当たりの磁性薄膜の膜厚は渦電流損失を考慮
して４μｍとし層間のSiO２膜厚は0.2μｍで５層積層し
たものである。図においては無配向の積層膜で、積層
効果により渦電流損失は改善されているがその高周波特
性は強磁性共鳴によるスヌークの限界で制限されてお
り、30MHz以上の高周波帯での初透磁率は500以下とな
る。従ってこのような無配向の磁性薄膜をヘッドコアと
して用いたのでは前記のような高周波システムには対応
できない。
一方、一軸異方性を有する非晶質磁性薄膜をその容易軸
の方向をそろえて積層した多層膜の初透磁率特性は、第
２図に示すように、容易軸方向に測定するとのように
全周波数帯で極めて低い初透磁率特性を示すのに対し、
困難軸方向に測定した場合はのように高周波まで高い
初透磁率を維持し、60MHzでも1000程度の値を有する。
しかし、このような一方向に異方性を有する磁気コアで
ビデオヘッド等の比較的大きな巻線窓の磁気ヘッドを構
成した場合、その磁路中に容易軸方向を含むことになり
ヘッド効率としての低下が大きい。又、全ての磁路を困
難軸方向で構成することはヘッド製造法からみて極めて
難しい。
の方向をそろえて積層した多層膜の初透磁率特性は、第
２図に示すように、容易軸方向に測定するとのように
全周波数帯で極めて低い初透磁率特性を示すのに対し、
困難軸方向に測定した場合はのように高周波まで高い
初透磁率を維持し、60MHzでも1000程度の値を有する。
しかし、このような一方向に異方性を有する磁気コアで
ビデオヘッド等の比較的大きな巻線窓の磁気ヘッドを構
成した場合、その磁路中に容易軸方向を含むことになり
ヘッド効率としての低下が大きい。又、全ての磁路を困
難軸方向で構成することはヘッド製造法からみて極めて
難しい。
問題点を解決するための手段 本発明は上記問題点を解決する為に、強磁性薄膜と絶縁
薄膜とを交互に積層した多層膜磁気コアで磁路の１部あ
るいは全部を構成し、且つ前記多層膜の断面で磁気ギャ
ップを構成した磁気ヘッドにおいて、前記強磁性薄膜が
その面内に異方性を有し、且つ前記多層膜磁気コアが、
異方性の方向が互いに略直交する強磁性薄膜から構成さ
れたものである。
薄膜とを交互に積層した多層膜磁気コアで磁路の１部あ
るいは全部を構成し、且つ前記多層膜の断面で磁気ギャ
ップを構成した磁気ヘッドにおいて、前記強磁性薄膜が
その面内に異方性を有し、且つ前記多層膜磁気コアが、
異方性の方向が互いに略直交する強磁性薄膜から構成さ
れたものである。
作 用 本発明は上述したように、ヘッドコアとして異方性の方
向が互いに略直交する強磁性薄膜を含む多層膜磁気コア
を用いることにより、従来高周波特性を制限してきた強
磁性共鳴による限界を超えた初透磁率特性が得られ、又
磁気ヘッドの大半の磁路において上記初透磁率特性を発
揮できる為に、30MHz以上の高周波帯でも高い効率で信
号を記録再生できる磁気ヘッドが得られるものである。
向が互いに略直交する強磁性薄膜を含む多層膜磁気コア
を用いることにより、従来高周波特性を制限してきた強
磁性共鳴による限界を超えた初透磁率特性が得られ、又
磁気ヘッドの大半の磁路において上記初透磁率特性を発
揮できる為に、30MHz以上の高周波帯でも高い効率で信
号を記録再生できる磁気ヘッドが得られるものである。
実施例 本発明の一実施例の斜視図（部分切欠図）を第１図に示
す。図において、１は非晶質磁性合金やセンダスト合金
等の強磁性薄膜で、１層当たりの膜厚は使用周波数帯に
おける渦電流損失を考慮した厚さに形成されており、Si
O２等の絶縁薄膜２を介して積層することにより多層膜
からなる磁気コア３を構成している。強磁性薄膜１はそ
れぞれ磁路面内に一軸異方性を有しており、図１の切欠
部に矢印で示したようにその容易軸の方向が磁気ギャッ
プ面に略直交するように配置されたものと磁気ギャップ
面に略平行に配置されたものの両者で磁気コア３を構成
している。この積層膜からなる磁気コア３はチタン酸バ
リウム系セラミックス等の非磁性基板４で挟持され、巻
線窓５を有する対向コアとボンディングガラス６によっ
て接合され磁気ギャップ７を形成している。このように
非晶質薄膜をその異方性の方向が交互に略直交するよう
に積層した多層膜で、その一方の異方性の方向に測定し
た時の初透磁率特性が第２図である。図からわかるよ
うにその初透磁率は困難軸方向の値の約半分程度である
が、周波数特性は困難軸方向の特性とほぼ等しく、40MH
zでも約1000程度の値を有している。更に測定方向を90
゜回転してもう一方の異方性の方向に測定してもほぼ同
様の特性が得られる。従ってこのような多層膜で構成し
た第１図に示す磁気ヘッドはその磁路の大半が第２図の
に示す初透磁率特性で動作する為30MHz以上の高周波
でも高いヘッド効率を示すものである。
す。図において、１は非晶質磁性合金やセンダスト合金
等の強磁性薄膜で、１層当たりの膜厚は使用周波数帯に
おける渦電流損失を考慮した厚さに形成されており、Si
O２等の絶縁薄膜２を介して積層することにより多層膜
からなる磁気コア３を構成している。強磁性薄膜１はそ
れぞれ磁路面内に一軸異方性を有しており、図１の切欠
部に矢印で示したようにその容易軸の方向が磁気ギャッ
プ面に略直交するように配置されたものと磁気ギャップ
面に略平行に配置されたものの両者で磁気コア３を構成
している。この積層膜からなる磁気コア３はチタン酸バ
リウム系セラミックス等の非磁性基板４で挟持され、巻
線窓５を有する対向コアとボンディングガラス６によっ
て接合され磁気ギャップ７を形成している。このように
非晶質薄膜をその異方性の方向が交互に略直交するよう
に積層した多層膜で、その一方の異方性の方向に測定し
た時の初透磁率特性が第２図である。図からわかるよ
うにその初透磁率は困難軸方向の値の約半分程度である
が、周波数特性は困難軸方向の特性とほぼ等しく、40MH
zでも約1000程度の値を有している。更に測定方向を90
゜回転してもう一方の異方性の方向に測定してもほぼ同
様の特性が得られる。従ってこのような多層膜で構成し
た第１図に示す磁気ヘッドはその磁路の大半が第２図の
に示す初透磁率特性で動作する為30MHz以上の高周波
でも高いヘッド効率を示すものである。
このような磁気ヘッドの製造方法としては、先づ非磁性
基板上に強磁性薄膜と非磁性薄膜をスパッタで交互に積
層する。その際、強磁性薄膜は固定磁場中でスパッタ
し、一層毎にマグネットの位置を90゜回転しながら積層
膜を形成することによって容易に上記のような異方性の
方向が交互に直交する多層膜が得られる。このように多
層膜が形成されたヘッド基板を複数枚積み重ねて結晶化
ガラス等で接着し、切断することによって上記多層膜と
非磁性基板が交互に積層されたコアブロックができる。
以降は従来のフェライトヘッドの製造方法と同じ工程を
経て第１図に示す磁気ヘッドが製造できる。
基板上に強磁性薄膜と非磁性薄膜をスパッタで交互に積
層する。その際、強磁性薄膜は固定磁場中でスパッタ
し、一層毎にマグネットの位置を90゜回転しながら積層
膜を形成することによって容易に上記のような異方性の
方向が交互に直交する多層膜が得られる。このように多
層膜が形成されたヘッド基板を複数枚積み重ねて結晶化
ガラス等で接着し、切断することによって上記多層膜と
非磁性基板が交互に積層されたコアブロックができる。
以降は従来のフェライトヘッドの製造方法と同じ工程を
経て第１図に示す磁気ヘッドが製造できる。
このように異方性の方向が互いに直交する強磁性薄膜で
磁気コアを構成した場合は、例えば非磁性基板を矩形状
にして固定磁場の方向をその辺の方向と平行に印加する
ことによって以降の製造工程での方向管理が非常に簡単
になる。
磁気コアを構成した場合は、例えば非磁性基板を矩形状
にして固定磁場の方向をその辺の方向と平行に印加する
ことによって以降の製造工程での方向管理が非常に簡単
になる。
尚、上記実施例では異方性の方向がお互いに直交し、１
方の方向がギャップ面に直交するように構成した場合を
示したが、この異方性の方向の組み合せ方はヘッドの磁
路の形状によって異なる。例えば第３図に示すような巻
線窓形状の場合は矢印で示したようにギャップ面に対し
て異方性の方向を約45゜回転することによって各強磁性
薄膜の困難軸方向で磁路を構成できる。又、巻線溝の角
度が直角でない場合はその角度に合わせて異方性の方向
を調整することは容易にできる。
方の方向がギャップ面に直交するように構成した場合を
示したが、この異方性の方向の組み合せ方はヘッドの磁
路の形状によって異なる。例えば第３図に示すような巻
線窓形状の場合は矢印で示したようにギャップ面に対し
て異方性の方向を約45゜回転することによって各強磁性
薄膜の困難軸方向で磁路を構成できる。又、巻線溝の角
度が直角でない場合はその角度に合わせて異方性の方向
を調整することは容易にできる。
又、異方性の異なる強磁性薄膜の積層の仕方は、同一方
向の強磁性薄膜を数層ずつまとめて配置することもでき
るが、交互に異方性の方向が異なるように配置した方
が、磁路の方向が変わる際にその層の両側に高い初透磁
率の層がくるために、ヘッド全体としての効率が高くな
る。
向の強磁性薄膜を数層ずつまとめて配置することもでき
るが、交互に異方性の方向が異なるように配置した方
が、磁路の方向が変わる際にその層の両側に高い初透磁
率の層がくるために、ヘッド全体としての効率が高くな
る。
発明の効果 本発明によれば、30〜60MHzの高周波帯でも十分高い効
率で記録再生できる高周波用磁気ヘッドが容易に得られ
るものである。
率で記録再生できる高周波用磁気ヘッドが容易に得られ
るものである。
第１図は本発明の一実施例における磁気ヘッドの一部切
欠いた斜視図、第２図は異方性の方向による強磁性薄膜
の初透磁率特性の測定結果を示す図、第３図は本発明の
他の実施例における磁気ヘッドの正面図を示す。 １……強磁性薄膜、２……絶縁薄膜、３……磁気コア、
４……非磁性基板、７……磁気ギャップ。
欠いた斜視図、第２図は異方性の方向による強磁性薄膜
の初透磁率特性の測定結果を示す図、第３図は本発明の
他の実施例における磁気ヘッドの正面図を示す。 １……強磁性薄膜、２……絶縁薄膜、３……磁気コア、
４……非磁性基板、７……磁気ギャップ。
Claims (2)
- 【請求項１】強磁性薄膜と絶縁薄膜とを交互に積層した
多層膜磁気コアで磁路の１部あるいは全部を構成し、且
つ前記多層膜の断面で磁気ギャップを構成した磁気ヘッ
ドにおいて、前記強磁性薄膜がその面内に異方性を有
し、且つ前記多層膜磁気コアが、異方性の方向が互いに
略直交する強磁性薄膜から構成されていることを特徴と
する磁気ヘッド。 - 【請求項２】多層膜磁気コアが、交互に異方性の方向が
異なる強磁性薄膜を配置して構成されていることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の磁気ヘッド。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62050554A JPH0664699B2 (ja) | 1987-03-05 | 1987-03-05 | 磁気ヘツド |
| US07/163,105 US4868698A (en) | 1987-03-05 | 1988-03-02 | Magnetic head |
| DE3886569T DE3886569T2 (de) | 1987-03-05 | 1988-03-03 | Magnetkopf. |
| EP88103229A EP0281931B1 (en) | 1987-03-05 | 1988-03-03 | Magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62050554A JPH0664699B2 (ja) | 1987-03-05 | 1987-03-05 | 磁気ヘツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63217511A JPS63217511A (ja) | 1988-09-09 |
| JPH0664699B2 true JPH0664699B2 (ja) | 1994-08-22 |
Family
ID=12862234
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62050554A Expired - Lifetime JPH0664699B2 (ja) | 1987-03-05 | 1987-03-05 | 磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0664699B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2591109B2 (ja) * | 1988-10-25 | 1997-03-19 | 松下電器産業株式会社 | 磁気ヘッド |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5877208A (ja) * | 1981-11-04 | 1983-05-10 | Hitachi Ltd | 多層磁性薄膜とその製造方法 |
| JPS61199614A (ja) * | 1985-02-28 | 1986-09-04 | Anelva Corp | 軟磁性非晶質薄膜体 |
-
1987
- 1987-03-05 JP JP62050554A patent/JPH0664699B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63217511A (ja) | 1988-09-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4868698A (en) | Magnetic head | |
| JPH0664699B2 (ja) | 磁気ヘツド | |
| JP2933638B2 (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JP2591109B2 (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH0551961B2 (ja) | ||
| JPS62205507A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JP3461688B2 (ja) | 磁気ヘッドおよびそれを用いた磁気記録装置 | |
| JP2000011314A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH0660315A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH02302908A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH04360003A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH03203008A (ja) | 磁気ヘッド用Ｆｅ―Ｓｉ―Ａｌ系強磁性合金積層膜の製造方法 | |
| JPH02128310A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH07192215A (ja) | バルク型磁気ヘッド | |
| JPH08235515A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH08185609A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPH0869609A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH0325708A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH113506A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH01140405A (ja) | 磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
| JPS63171410A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPH07220221A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH08180307A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JP2004326856A (ja) | 磁気ヘッド及び磁気記録再生装置 | |
| JP2005346751A (ja) | 積層型磁気ヘッドの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |