JPS59104513A - 熱式流量計 - Google Patents
熱式流量計Info
- Publication number
- JPS59104513A JPS59104513A JP57213869A JP21386982A JPS59104513A JP S59104513 A JPS59104513 A JP S59104513A JP 57213869 A JP57213869 A JP 57213869A JP 21386982 A JP21386982 A JP 21386982A JP S59104513 A JPS59104513 A JP S59104513A
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- JP
- Japan
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- pipe
- lead
- platinum
- lead wires
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- Prior art date
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/6842—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow with means for influencing the fluid flow
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/688—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
- G01F1/69—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element of resistive type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02B—INTERNAL-COMBUSTION PISTON ENGINES; COMBUSTION ENGINES IN GENERAL
- F02B75/00—Other engines
- F02B75/02—Engines characterised by their cycles, e.g. six-stroke
- F02B2075/022—Engines characterised by their cycles, e.g. six-stroke having less than six strokes per cycle
- F02B2075/027—Engines characterised by their cycles, e.g. six-stroke having less than six strokes per cycle four
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、熱式流量計に係シ、特に、内燃機関の吸入空
気量を検出するに好適な熱式流量計に関する。
気量を検出するに好適な熱式流量計に関する。
従来、燃料噴射装置を備えた内燃機関においては、種々
のセンサを用い、これらの−とンサからの信号に基づい
て内燃機関の状態全検出した上で、燃料噴射装置による
燃料噴射量の制御等を行っている。これらのセンサの１
つとして、吸入空気量を測定する流量計がらる。流量計
には、標々の方式のものが知られているが、温度依存性
抵抗を用いた熱式流量計が、その測定精度の点からｅＥ
目されている。現在、本出穎人が実用化しているものは
、次のようなものである。すなわち、直径０．５朋、長
さ２閣のアルミナ製のボビンの周囲に、直径２０μｍの
白金線を巻いた構造のものを熱式流量計の温度依存抵抗
体として用いている。このボビンの両端に白金を主成分
とする接着剤によ）リードワイヤを固定している。さら
に、このリードワイヤが支柱に点溶接きれている。従来
のこのような構成の流量計を用いると、流量が急倣に増
加した時の応答性が悪いという問題点がめった。
のセンサを用い、これらの−とンサからの信号に基づい
て内燃機関の状態全検出した上で、燃料噴射装置による
燃料噴射量の制御等を行っている。これらのセンサの１
つとして、吸入空気量を測定する流量計がらる。流量計
には、標々の方式のものが知られているが、温度依存性
抵抗を用いた熱式流量計が、その測定精度の点からｅＥ
目されている。現在、本出穎人が実用化しているものは
、次のようなものである。すなわち、直径０．５朋、長
さ２閣のアルミナ製のボビンの周囲に、直径２０μｍの
白金線を巻いた構造のものを熱式流量計の温度依存抵抗
体として用いている。このボビンの両端に白金を主成分
とする接着剤によ）リードワイヤを固定している。さら
に、このリードワイヤが支柱に点溶接きれている。従来
のこのような構成の流量計を用いると、流量が急倣に増
加した時の応答性が悪いという問題点がめった。
また、上述の構成の流量計は、主として多点燃料噴射シ
ステムのエンジンじ用いらｎている。近年、単点燃料噴
射システムのエンジンについて研究がなされているが、
このシステムに上述の構成の流量計を用いた場合、加速
時の応答性が悪く、流量計の応答性改善が必要であるこ
とが判明した。
ステムのエンジンじ用いらｎている。近年、単点燃料噴
射システムのエンジンについて研究がなされているが、
このシステムに上述の構成の流量計を用いた場合、加速
時の応答性が悪く、流量計の応答性改善が必要であるこ
とが判明した。
即ち、単点燃料噴射システムの場合には、エンジンの吸
気管の果合部に噴射弁が１個あるのみでるるため、多点
燃料噴射システムに比べて、燃料噴射位置からシリンダ
人口までの距離が長くなり、シリンダまでの燃料の到達
時間が長くなる。また、燃料噴射位置から各シリンダま
での距離がそれぞれ異なる。そのため、エンジンの機種
が変シ、吸気管の形状が変わる毎にきめ細いマツチング
が必要である。したがって、特に、ぢ速で旨精度の流量
計を用いてエンジンの吸入空気の脈動流によく追従して
、検出精度を向上させる必要かめる。
気管の果合部に噴射弁が１個あるのみでるるため、多点
燃料噴射システムに比べて、燃料噴射位置からシリンダ
人口までの距離が長くなり、シリンダまでの燃料の到達
時間が長くなる。また、燃料噴射位置から各シリンダま
での距離がそれぞれ異なる。そのため、エンジンの機種
が変シ、吸気管の形状が変わる毎にきめ細いマツチング
が必要である。したがって、特に、ぢ速で旨精度の流量
計を用いてエンジンの吸入空気の脈動流によく追従して
、検出精度を向上させる必要かめる。
そこで、従来の流量計の応答性について慣討すると、流
量全ステップ的に変化さ−ｆた時の応答性において、時
定数で１τ（フルスクールの６３％に到達する時間）は
速く、３τ（フルスクールの９５％に到達する時間）は
遅力・つた。ここで、１τは流量計の駆動回路の応答性
によって定まり、３τは、感温抵抗体とその支持部の熱
特性によって定まる。
量全ステップ的に変化さ−ｆた時の応答性において、時
定数で１τ（フルスクールの６３％に到達する時間）は
速く、３τ（フルスクールの９５％に到達する時間）は
遅力・つた。ここで、１τは流量計の駆動回路の応答性
によって定まり、３τは、感温抵抗体とその支持部の熱
特性によって定まる。
本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたものでちり、
その目的は、熱的応答性のよい流量計を提供するにある
。
その目的は、熱的応答性のよい流量計を提供するにある
。
本発明は、絶縁性の円筒支持体の内径ｄ、と、円筒の両
端にガラスにより固定されるリードワイヤの外径ｄ、の
比ｄ２／ｄ３を１．７以上にしたものである。
端にガラスにより固定されるリードワイヤの外径ｄ、の
比ｄ２／ｄ３を１．７以上にしたものである。
以下、図面を用いて本発明の一実施例について説明する
。
。
蕗１図に吸い−Ｃ１発熱抵抗体エレメント１は他の抵抗
１１，１２．１３とブリッジを構成する。
１１，１２．１３とブリッジを構成する。
これらのブリッジ抵抗の差電圧をアンプ１４を介して差
動増巾し、トランジスタ１５を駆動するフィードバック
回路を構成している。発熱抵抗体１は温度補償用抵抗体
１３と共に流体通路に配置し、周囲温度に対して、常に
所定の温度差（約１００Ｃ〜２０００程度）を保つよう
にフィードバック回路を介して制御する。こｎらの駆動
回路部は、第２図に示すように、ノ・ウジング２０の中
に収納されている。抵抗１および１３は、それぞれエレ
メント支持ピン２１．２２，２３．２４により支持され
、これらの支持ピンをインサートした４端子ホルダ２５
と一体にして流体通路を構成するチャンバに組付けられ
る。チャンバは入口部３０から主通路３１に開口する静
圧取込口３２を経由して、バイパス通路３３が形成され
ている。パイ、＋ス通路３３の中央直管部３４に発熱抵
抗体エレメント１と温度補償用抵抗体エレメント１３を
配置する。さらにバイパス通路３３の下流は主通路３１
の円周方向にリング状に所定の距離運んで、主通路３１
のベンチュリ一部３５で合流する。吐出口３６はダクト
によりエンジンの吸気骨にスロットルチャンバを中継し
て連結される。同、チャンバ入口部３０はエアクリーナ
に接続される。吐出口３６にスロットルチャンバを中継
して吸気管に連結される。単点燃料噴射用流量計の美形
的な構成は流量計がインジェクタを内蔵するスロットル
チャンバと一体となシ、吸気管の集合部に直接取付けら
れる構造となっている。
動増巾し、トランジスタ１５を駆動するフィードバック
回路を構成している。発熱抵抗体１は温度補償用抵抗体
１３と共に流体通路に配置し、周囲温度に対して、常に
所定の温度差（約１００Ｃ〜２０００程度）を保つよう
にフィードバック回路を介して制御する。こｎらの駆動
回路部は、第２図に示すように、ノ・ウジング２０の中
に収納されている。抵抗１および１３は、それぞれエレ
メント支持ピン２１．２２，２３．２４により支持され
、これらの支持ピンをインサートした４端子ホルダ２５
と一体にして流体通路を構成するチャンバに組付けられ
る。チャンバは入口部３０から主通路３１に開口する静
圧取込口３２を経由して、バイパス通路３３が形成され
ている。パイ、＋ス通路３３の中央直管部３４に発熱抵
抗体エレメント１と温度補償用抵抗体エレメント１３を
配置する。さらにバイパス通路３３の下流は主通路３１
の円周方向にリング状に所定の距離運んで、主通路３１
のベンチュリ一部３５で合流する。吐出口３６はダクト
によりエンジンの吸気骨にスロットルチャンバを中継し
て連結される。同、チャンバ入口部３０はエアクリーナ
に接続される。吐出口３６にスロットルチャンバを中継
して吸気管に連結される。単点燃料噴射用流量計の美形
的な構成は流量計がインジェクタを内蔵するスロットル
チャンバと一体となシ、吸気管の集合部に直接取付けら
れる構造となっている。
発熱抵抗体エンメント１の詳細について第３図を用いて
説明する。電気的絶縁物質であるアルミナ製のパイプ２
の外径はｄｌであシ、内径はｄ２である。このパイプ２
の両端には、白金の外径がｄ３のリードワイヤ３，４が
挿入され、接着剤６によって接着されている。接着剤６
は、硼珪酸ガラス粉不全用い１０００Ｃ以上で溶融して
接着する。
説明する。電気的絶縁物質であるアルミナ製のパイプ２
の外径はｄｌであシ、内径はｄ２である。このパイプ２
の両端には、白金の外径がｄ３のリードワイヤ３，４が
挿入され、接着剤６によって接着されている。接着剤６
は、硼珪酸ガラス粉不全用い１０００Ｃ以上で溶融して
接着する。
パイプ２の外周に；・丁、白金の細線７が巻き回され、
両端はリードワイヤ３，４にそれぞれ点溶接されている
。白金の細線７２よび点溶接部をつつむように、バイン
ダに配置した鉛ガラスの粉末を塗布し、６００［前後で
焼成して、保護層を形成する。
両端はリードワイヤ３，４にそれぞれ点溶接されている
。白金の細線７２よび点溶接部をつつむように、バイン
ダに配置した鉛ガラスの粉末を塗布し、６００［前後で
焼成して、保護層を形成する。
以上の構成ｆｃ嘔いて、パイプ２の外径ｄ１．内径ｄ２
．２よびリードワイヤ３，４の外径ｄ３をそれぞｎ変え
、空気流量全ステップ的に変化させた場合の応答特性の
変化を測定した。その結果の一例を第４図に示す。第４
図は、パイプ２の外径ｄ１が０．６ ｍ、内径が０．３
ｍｍ 、 リードワイヤ３゜４の外径ｄ３が０．２２
５ｍｍである。この例において、ステップ立上シ時の３
τの応答時間は、１７００ｍ５であシ、ステップ立下９
時の３τの応答時間は、１０７ｍ５でるる。特に、立上
り時の応答時間の長いことがわかる。
．２よびリードワイヤ３，４の外径ｄ３をそれぞｎ変え
、空気流量全ステップ的に変化させた場合の応答特性の
変化を測定した。その結果の一例を第４図に示す。第４
図は、パイプ２の外径ｄ１が０．６ ｍ、内径が０．３
ｍｍ 、 リードワイヤ３゜４の外径ｄ３が０．２２
５ｍｍである。この例において、ステップ立上シ時の３
τの応答時間は、１７００ｍ５であシ、ステップ立下９
時の３τの応答時間は、１０７ｍ５でるる。特に、立上
り時の応答時間の長いことがわかる。
それに対して、第５図の例は、パイプ２の外径ｄ１が０
．６に、内径ｄ２が０．３ｆｉ、リードワイヤ３．４の
外径ｄ３が０．１６ｍｍの場合でろυ、ステップ立上り
時の３τの応答時間ｔ／”ｉ、１４２ｍ ｓに大巾に改
善さｚしており、立下り時の３τの応答時間は、６５ｍ
５に改善されている。
．６に、内径ｄ２が０．３ｆｉ、リードワイヤ３．４の
外径ｄ３が０．１６ｍｍの場合でろυ、ステップ立上り
時の３τの応答時間ｔ／”ｉ、１４２ｍ ｓに大巾に改
善さｚしており、立下り時の３τの応答時間は、６５ｍ
５に改善されている。
そこで、パイプ２の外径ｄ１は０．６論、内径ｄ２が０
．３ｇとした時、リードワイヤ３，４の外径ｄ３を０．
２２５＋＋ａｎ、 ０．２ｍ＋＋＋、 ０．１８ａｉ、
０．１７５ｍ。
．３ｇとした時、リードワイヤ３，４の外径ｄ３を０．
２２５＋＋ａｎ、 ０．２ｍ＋＋＋、 ０．１８ａｉ、
０．１７５ｍ。
０．１６ｒｒｒｒｎ、 ０．１５咽と変化させた時のス
テップ立上りの３７の応答時間について、ｄ２とｄ３の
比に対して図示すると第６図のようになった。すなわち
、ｄ２とｄ３の比ｄ２／ｄ３が１．７以上に２いて 応
答時間が著しく改善されていることがわかる。そして、
ｄ２／ｄ、の値が１に近い場合には、接着層の厚さが薄
く、断熱効果がほとんど得られない。
テップ立上りの３７の応答時間について、ｄ２とｄ３の
比に対して図示すると第６図のようになった。すなわち
、ｄ２とｄ３の比ｄ２／ｄ３が１．７以上に２いて 応
答時間が著しく改善されていることがわかる。そして、
ｄ２／ｄ、の値が１に近い場合には、接着層の厚さが薄
く、断熱効果がほとんど得られない。
パイプ内径とリード径の差が大きくな９、その間隙を埋
めている接Ｍ層がパイプ側から伝達された熱を受けてリ
ード側へ熱を伝達し始め、あるいは伝熱し始めて時間が
ほとんど経過しないうちにパイプ側はほとんど熱的にバ
ランスし、また、接層ノ脅の温度分布もほぼ最終値に達
する如く、ガラス接Ｎ７輸の熱の移＠を阻止し、速く温
度勾配のバランスをとる適正ガラスノーは、ｄ２／ｄ３
値で１．７付近である。これ以上のガラス接着層を形成
しても応答時間ＶＣＶｉ二はとんど影響を及ぼさないが
、リード径が砒くなシ、機械的強度抗張力８００ｇｒが
低下するためｄ３−φ０．１３が限界となる。加工時の
ばらつきなどを考慮すればａ２／ａ３＝０．１８０２０
が最適値である。
めている接Ｍ層がパイプ側から伝達された熱を受けてリ
ード側へ熱を伝達し始め、あるいは伝熱し始めて時間が
ほとんど経過しないうちにパイプ側はほとんど熱的にバ
ランスし、また、接層ノ脅の温度分布もほぼ最終値に達
する如く、ガラス接Ｎ７輸の熱の移＠を阻止し、速く温
度勾配のバランスをとる適正ガラスノーは、ｄ２／ｄ３
値で１．７付近である。これ以上のガラス接着層を形成
しても応答時間ＶＣＶｉ二はとんど影響を及ぼさないが
、リード径が砒くなシ、機械的強度抗張力８００ｇｒが
低下するためｄ３−φ０．１３が限界となる。加工時の
ばらつきなどを考慮すればａ２／ａ３＝０．１８０２０
が最適値である。
また、パイプの外径ａ１は、０．３５ｍのものについて
も検討したが、はぼ同じ結果が得られている。また、パ
イプの外径ｄ、が、めまシ大きくなるとパイプの熱容量
が大きくなシすざるので、応答性が悪くなる。
も検討したが、はぼ同じ結果が得られている。また、パ
イプの外径ｄ、が、めまシ大きくなるとパイプの熱容量
が大きくなシすざるので、応答性が悪くなる。
接着剤としては、硼珪酸ガラス以外には、軟化点８００
Ｃ以上の鉛ガラスでもよい。
Ｃ以上の鉛ガラスでもよい。
白金細線の上にオーバーコートするガラスは、軟化点５
００〜７００Ｃの鉛ガラスを用いる。
００〜７００Ｃの鉛ガラスを用いる。
立上シの応答時間が短縮できたことにより、立上シ、立
下シの応答時間の差が小さくなシ、エンジンの脈動流を
検出する場合に平均値に接近しｆＣ精度で流量検出が可
能となシ、流ぜの検出精度が向上する効果も得ることが
できる。
下シの応答時間の差が小さくなシ、エンジンの脈動流を
検出する場合に平均値に接近しｆＣ精度で流量検出が可
能となシ、流ぜの検出精度が向上する効果も得ることが
できる。
抵抗体は白金薄膜、白金厚膜でも形成できるっ即ち、ス
パッタ、イオンプレーテング蒸之５、などによシ白金薄
膜を形成するか、ｆたは白金の厚膜印刷、るるいは白金
ペースト塗布などにより焙膜後、高温中、で熱処理する
。処理温度は薄膜では７００〜８００Ｃ１厚膜では９０
０〜１ｏｏＯＣである。このようにして形成された膜抵
抗体は、レーザでトリミングすることにｊ５一定の抵抗
値におさめることができる。
パッタ、イオンプレーテング蒸之５、などによシ白金薄
膜を形成するか、ｆたは白金の厚膜印刷、るるいは白金
ペースト塗布などにより焙膜後、高温中、で熱処理する
。処理温度は薄膜では７００〜８００Ｃ１厚膜では９０
０〜１ｏｏＯＣである。このようにして形成された膜抵
抗体は、レーザでトリミングすることにｊ５一定の抵抗
値におさめることができる。
第７図は、本発明の他の実施例を示している。
発熱感温抵抗不１を４端子ホルダ２５に取付ける際にリ
ード３，４はボビン端から例えば１．５ｍで直角に曲げ
ることによシコの字形に形成できる。
ード３，４はボビン端から例えば１．５ｍで直角に曲げ
ることによシコの字形に形成できる。
ホヒン側端から外径φ０．８のステンレスの支柱２１．
２２、までの距離ｔ２にボビン長ｔ１に対ビン＊ｔ１
＝２．０に対して、リード長ｔ２−３．Ｓとする。この
ようにして組込まれた４端子ホルダアツセンブリは発熱
抵抗体１の駆動回路２０に電気的に接続され、インジェ
クタ内蔵のスロットルチャツバと一体とし、単点燃料噴
射システムに組込み、４ｖイクル４シリンダエンジンで
マツチングした結果、動作は正常であル、加速時の運転
性は、気化器仕様車以上であることが確認できた。
２２、までの距離ｔ２にボビン長ｔ１に対ビン＊ｔ１
＝２．０に対して、リード長ｔ２−３．Ｓとする。この
ようにして組込まれた４端子ホルダアツセンブリは発熱
抵抗体１の駆動回路２０に電気的に接続され、インジェ
クタ内蔵のスロットルチャツバと一体とし、単点燃料噴
射システムに組込み、４ｖイクル４シリンダエンジンで
マツチングした結果、動作は正常であル、加速時の運転
性は、気化器仕様車以上であることが確認できた。
実施例に示した構造で３０Ｇ、２０〜ＩＫＨｚ３分掃引
ｘ、ｙ、ｚ軸各３Ｈ’ｒの振動耐久に充分耐えることが
確認できた。さらに耐振性に最も過酷な流れの方向に合
わせた６０Ｇの刀口振ＩＨｒにも充分耐久できた。また
、２０〜ｌＫＨ２の範囲で共振点もなく、機械的には光
分耐久性のあることが確認できた。電気的には、発熱感
温抵抗体の設定温度３０（Ｉ’４秒ＯＮ、４秒ＯＦＦの
断続通電試験に２いて１０００？イクルに耐えることを
中間チェックで確認済でおる。
ｘ、ｙ、ｚ軸各３Ｈ’ｒの振動耐久に充分耐えることが
確認できた。さらに耐振性に最も過酷な流れの方向に合
わせた６０Ｇの刀口振ＩＨｒにも充分耐久できた。また
、２０〜ｌＫＨ２の範囲で共振点もなく、機械的には光
分耐久性のあることが確認できた。電気的には、発熱感
温抵抗体の設定温度３０（Ｉ’４秒ＯＮ、４秒ＯＦＦの
断続通電試験に２いて１０００？イクルに耐えることを
中間チェックで確認済でおる。
一方このようなガラス接着層による断熱構造は定温度に
加熱される抵抗体の消費エネルギを縮少せしめる効果か
める。第８図に縦軸が抵抗体に供給される電力ｌ２ｕＬ
Ｈ，横軸が流量Ｑの平方根として従来形と改良形の熱特
性全比較して表わす。改良形の消費゛成力は低流量側で
約１ ／ １． ｓ縮少されている。また軸方向の温度
性が比較的小さくなシ、流れに対する感度も１０％程度
向上している。
加熱される抵抗体の消費エネルギを縮少せしめる効果か
める。第８図に縦軸が抵抗体に供給される電力ｌ２ｕＬ
Ｈ，横軸が流量Ｑの平方根として従来形と改良形の熱特
性全比較して表わす。改良形の消費゛成力は低流量側で
約１ ／ １． ｓ縮少されている。また軸方向の温度
性が比較的小さくなシ、流れに対する感度も１０％程度
向上している。
本発明の実施例によれば、
１）ボビンとリードをガラス接層で断熱し、またリード
の断面積を縮少して、支柱への熱ヒケを減少せしめ、立
上り応答時間を短線できる。
の断面積を縮少して、支柱への熱ヒケを減少せしめ、立
上り応答時間を短線できる。
２）エレメントに供給する成力を減少ぜしめ、空気流に
対する放熱特性の感度を同上せしめることができる。
対する放熱特性の感度を同上せしめることができる。
３）立上シ、立下シの応答時間差金少なくして、脈動流
の平均値の真値に近い値が検出でき流量測定精度を向上
せしめることができる。
の平均値の真値に近い値が検出でき流量測定精度を向上
せしめることができる。
４）発熱感温抵抗体、温度補償用感温抵抗体全バイパス
通路に配置することによシバツクファイヤや塵埃の影響
が軽減できる。
通路に配置することによシバツクファイヤや塵埃の影響
が軽減できる。
本発明によれば応答時間の速い仝気流置針が提供できる
。
。
第１図乃至第３図は、本発明の一実施例の概略構成図で
めフ、第４図乃至第６図は、不＠明に基づく笑験結果図
であシ、第７図は、本発明の他の実施例のｐス略惧成図
であシ、第８図は、従来例と本発明の一央遁例の消費電
力の比較図でろる。 １・・・発熱体エレメント、２・・・パイプ、３，４・
・・す第 １ ロ ー」− 竿 ２０
めフ、第４図乃至第６図は、不＠明に基づく笑験結果図
であシ、第７図は、本発明の他の実施例のｐス略惧成図
であシ、第８図は、従来例と本発明の一央遁例の消費電
力の比較図でろる。 １・・・発熱体エレメント、２・・・パイプ、３，４・
・・す第 １ ロ ー」− 竿 ２０
Claims (1)
- １、絶縁性物質からなる円筒状の支持体と、この支持体
の上に形成された感熱抵抗体と、上記支持体の両端にさ
しこまｔ１上記支持体にガラスによシ接着されるリード
ワイヤとを有し、上記感熱抵抗体の温度による抵抗変化
に基づいて流体の流量を測定し、上記支持体の内径をｄ
２とし、上記リードワイヤの外径をｄ３とする時、ｄ２
／ｄ３を１．７以上にしたことを特徴とする熱式流量計
。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57213869A JPS59104513A (ja) | 1982-12-08 | 1982-12-08 | 熱式流量計 |
| US06/558,278 US4513615A (en) | 1982-12-08 | 1983-12-05 | Thermal air flow meter |
| DE8383112309T DE3371248D1 (en) | 1982-12-08 | 1983-12-07 | Thermal air flow meter |
| EP83112309A EP0116144B1 (en) | 1982-12-08 | 1983-12-07 | Thermal air flow meter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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