JPH0810152B2 - 流量計用検知素子 - Google Patents
流量計用検知素子Info
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- JPH0810152B2 JPH0810152B2 JP2067905A JP6790590A JPH0810152B2 JP H0810152 B2 JPH0810152 B2 JP H0810152B2 JP 2067905 A JP2067905 A JP 2067905A JP 6790590 A JP6790590 A JP 6790590A JP H0810152 B2 JPH0810152 B2 JP H0810152B2
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- adhesive
- powder
- metal
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C1/00—Details
- H01C1/14—Terminals or tapping points or electrodes specially adapted for resistors; Arrangements of terminals or tapping points or electrodes on resistors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/688—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
- G01F1/69—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element of resistive type
- G01F1/692—Thin-film arrangements
Description
【発明の詳細な説明】 （技術分野） 本発明は、流量計用検知素子、特に内燃機関等の吸入
空気量の測定に好適に用いられる熱線式流量計用検知素
子に関するものである。
空気量の測定に好適に用いられる熱線式流量計用検知素
子に関するものである。
（背景技術） 従来から、この種の検知素子として、抵抗体を設けた
基体にリードを接着剤にて接着，固定せしめる一方、か
かる接着剤にて構成される接着層を介して、それらリー
ドと抵抗体とを電気的に接続せしめてなる構造のものが
知られており、実開昭56−96326号公報等に、その一例
が明らかにされている。
基体にリードを接着剤にて接着，固定せしめる一方、か
かる接着剤にて構成される接着層を介して、それらリー
ドと抵抗体とを電気的に接続せしめてなる構造のものが
知られており、実開昭56−96326号公報等に、その一例
が明らかにされている。
より具体的には、例えば、第１図に示されるように、
そのような検知素子は、基体としてアルミナ等からなる
セラミックパイプ２を用い、その外周面に、所定の抵抗
値を有するように白金薄膜４が抵抗体としてパターン形
成されている一方、かかるセラミックパイプ２の両端部
に、白金線等のリード6,6が白金ペースト（瀬着剤）８
にて接着，固定せしめられると共に、該白金ペースト８
が白金薄膜４とリード６とに跨がるように設けられるこ
とによって、それら白金薄膜４とリード６との間の電気
的導通が為されるように構成されており、またそのよう
な素子全体が、ガラス等からなる保護コーティング層10
にて被覆された構造とされているのである。
そのような検知素子は、基体としてアルミナ等からなる
セラミックパイプ２を用い、その外周面に、所定の抵抗
値を有するように白金薄膜４が抵抗体としてパターン形
成されている一方、かかるセラミックパイプ２の両端部
に、白金線等のリード6,6が白金ペースト（瀬着剤）８
にて接着，固定せしめられると共に、該白金ペースト８
が白金薄膜４とリード６とに跨がるように設けられるこ
とによって、それら白金薄膜４とリード６との間の電気
的導通が為されるように構成されており、またそのよう
な素子全体が、ガラス等からなる保護コーティング層10
にて被覆された構造とされているのである。
そして、このような検知素子を使用する場合にあって
は、そのリード６が金属端子に溶接等によって固定され
て、流路内の目的とする部位に位置せしめられることと
なるのである。例えば、第２図に示されるように、鉄管
等の管12内に形成されるガス流路14中に、上述の如き検
知素子16を配置せしめて、かかるガス流路14を流通せし
められるガス流量を測定する場合において、検知素子16
は、その両端のリード６部分において、絶縁部材18を介
して管12内に挿入せしめられたステンレス棒の如き金属
端子20,20に溶接等に固定されてセットせしめられるこ
ととなるのである。なお、金属端子20,20は、外部制御
回路に接続されるようになっている。
は、そのリード６が金属端子に溶接等によって固定され
て、流路内の目的とする部位に位置せしめられることと
なるのである。例えば、第２図に示されるように、鉄管
等の管12内に形成されるガス流路14中に、上述の如き検
知素子16を配置せしめて、かかるガス流路14を流通せし
められるガス流量を測定する場合において、検知素子16
は、その両端のリード６部分において、絶縁部材18を介
して管12内に挿入せしめられたステンレス棒の如き金属
端子20,20に溶接等に固定されてセットせしめられるこ
ととなるのである。なお、金属端子20,20は、外部制御
回路に接続されるようになっている。
しかしながら、このような従来の検知素子16にあって
は、白金ペースト８による白金薄膜４とリード６との導
通と、かかるリード６のセラミックパイプ２に対する固
定とが、両立せず、例えば前者の導通を重視すれば、リ
ード６のセラミックパイプ２に対する接着固定力が弱く
なり、金属端子20との溶接時等にリード６が外れたり、
またその使用中に特性変化する等の不具合があった。一
方、リード６のセラミックパイプ２に対する固定を重視
して、白金ペースト８中のガラス成分を増加すれば、白
金薄膜４とリード６との間の導通抵抗が高くなり過ぎる
という問題があった。
は、白金ペースト８による白金薄膜４とリード６との導
通と、かかるリード６のセラミックパイプ２に対する固
定とが、両立せず、例えば前者の導通を重視すれば、リ
ード６のセラミックパイプ２に対する接着固定力が弱く
なり、金属端子20との溶接時等にリード６が外れたり、
またその使用中に特性変化する等の不具合があった。一
方、リード６のセラミックパイプ２に対する固定を重視
して、白金ペースト８中のガラス成分を増加すれば、白
金薄膜４とリード６との間の導通抵抗が高くなり過ぎる
という問題があった。
（解決課題） ここにおいて、本発明は、上記の問題点を解決し、リ
ードと抵抗体との間の電気的接続とリードの基体に対す
る固定とを両立させるようにした流量計用検知素子を提
供することを、その課題とするものである。
ードと抵抗体との間の電気的接続とリードの基体に対す
る固定とを両立させるようにした流量計用検知素子を提
供することを、その課題とするものである。
（解決手段） そして、本発明は、かかる課題解決のために、抵抗体
を外面上に形成した基体に対して、所定のリードが接着
剤にて接着、固定せしめられると共に、該接着剤からな
る接着層を介して該リードと前記抵抗体とが電気的に接
続されてなる構造の流量計用検知素子において、前記接
着層がガラス成分と金属成分とから構成され、且つ該ガ
ラス成分が体積換算において該金属成分より多くなるよ
うに構成されると共に、それら各成分が接着層中におい
て偏在せしめられているようにしたのである。
を外面上に形成した基体に対して、所定のリードが接着
剤にて接着、固定せしめられると共に、該接着剤からな
る接着層を介して該リードと前記抵抗体とが電気的に接
続されてなる構造の流量計用検知素子において、前記接
着層がガラス成分と金属成分とから構成され、且つ該ガ
ラス成分が体積換算において該金属成分より多くなるよ
うに構成されると共に、それら各成分が接着層中におい
て偏在せしめられているようにしたのである。
なお、かかる本発明に従う流量計用検知素子にあって
は、前記ガラス成分は、前記接着層中において、55容量
％〜90容量％の割合を占めていることが望ましい。
は、前記ガラス成分は、前記接着層中において、55容量
％〜90容量％の割合を占めていることが望ましい。
また、本発明にあっては、前記接着層の断面におい
て、前記ガラス成分のみが固まって構成されるガラス偏
在部が存在し、且つかかる断面の2500μm2当り、該ガラ
ス偏在部の20μm2以上の大きさのものの合計面積が100
μm2以上であることが望ましい。
て、前記ガラス成分のみが固まって構成されるガラス偏
在部が存在し、且つかかる断面の2500μm2当り、該ガラ
ス偏在部の20μm2以上の大きさのものの合計面積が100
μm2以上であることが望ましい。
さらに、本発明にあっては、有利には、接着層を構成
する金属成分は、白金系金属の単体若しくはその合金で
あることが望ましい。
する金属成分は、白金系金属の単体若しくはその合金で
あることが望ましい。
（作用・効果） このように、本発明に従う流量計用検知素子にあって
は、そのリードを基体に接着，固定せしめる接着層（接
着剤）を、接着成分たるガラス成分と導体成分たる金属
成分とから構成すると共に、かかるガラス成分を金属成
分よりも増し、且つ偏在させるようにしたものであると
ころから、かかる接着層の導通抵抗が低くなると同時
に、ガラス成分の増大によってリードの強固な接着，固
定が可能となったのである。
は、そのリードを基体に接着，固定せしめる接着層（接
着剤）を、接着成分たるガラス成分と導体成分たる金属
成分とから構成すると共に、かかるガラス成分を金属成
分よりも増し、且つ偏在させるようにしたものであると
ころから、かかる接着層の導通抵抗が低くなると同時
に、ガラス成分の増大によってリードの強固な接着，固
定が可能となったのである。
また、接着層中のガラス成分の量が増大したことで、
かかる接着層の気密性がよくなり、以て該接着層中への
水分、塩分、薬品等の滲み込みが減少し、耐湿性等が向
上せしめられ得て、その抵抗値の経時変化が効果的に抑
制され得、また接着層の耐久性も向上され得たのであ
る。
かかる接着層の気密性がよくなり、以て該接着層中への
水分、塩分、薬品等の滲み込みが減少し、耐湿性等が向
上せしめられ得て、その抵抗値の経時変化が効果的に抑
制され得、また接着層の耐久性も向上され得たのであ
る。
また、接着層の気密性が向上され得たことにより、か
かる接着層の抵抗値の経時変化を防止するために、ガラ
スのオーバーコート層（保護層）を従来の如く該接着層
上にまで設ける必要がなくなり、素子の製作も容易とな
ったのである。
かる接着層の抵抗値の経時変化を防止するために、ガラ
スのオーバーコート層（保護層）を従来の如く該接着層
上にまで設ける必要がなくなり、素子の製作も容易とな
ったのである。
（具体的構成） ところで、本発明に従う流量計用検知素子は、抵抗体
を外面上に形成した基体に対してリードを接着，固定せ
しめる接着剤（接着層）を除き、従来の素子と同様な構
造を有するものであって、第１図に示される如き素子構
造が採用されることは勿論、公知の各種の素子構造乃至
は素子構成において、本発明を実現することが可能であ
る。
を外面上に形成した基体に対してリードを接着，固定せ
しめる接着剤（接着層）を除き、従来の素子と同様な構
造を有するものであって、第１図に示される如き素子構
造が採用されることは勿論、公知の各種の素子構造乃至
は素子構成において、本発明を実現することが可能であ
る。
すなわち、流量計用検知素子を構成する抵抗体や基
体、更にはリードに関して、その材質や形状等は目的に
応じて適宜に選定されるものであり、例えば基体として
は、パイプ状や棒状、板状等の各種形状の絶縁体が用い
られ得るが、一般に、アルミナ等のセラミック基体、特
にそのパイプ状物が好適に用いられることとなる。ま
た、抵抗体としては、一般に白金薄膜が有利に用いられ
る。
体、更にはリードに関して、その材質や形状等は目的に
応じて適宜に選定されるものであり、例えば基体として
は、パイプ状や棒状、板状等の各種形状の絶縁体が用い
られ得るが、一般に、アルミナ等のセラミック基体、特
にそのパイプ状物が好適に用いられることとなる。ま
た、抵抗体としては、一般に白金薄膜が有利に用いられ
る。
本発明は、そのような流量計用検知素子において、外
面上に形成された抵抗体を支持する基体に対して、所定
のリードを接着，固定せしめると同時に、かかる基体上
の抵抗体とリードとに跨がって設けられ、それらを電気
的に導通せしめる接着剤からなる接着層を、ガラス成分
と金属成分とから構成し、且つ該ガラス成分が、体積換
算において、該金属成分よりも多くなるように構成する
と共に、それら各成分が接着層中において偏在せしめら
れるようにしたのである。
面上に形成された抵抗体を支持する基体に対して、所定
のリードを接着，固定せしめると同時に、かかる基体上
の抵抗体とリードとに跨がって設けられ、それらを電気
的に導通せしめる接着剤からなる接着層を、ガラス成分
と金属成分とから構成し、且つ該ガラス成分が、体積換
算において、該金属成分よりも多くなるように構成する
と共に、それら各成分が接着層中において偏在せしめら
れるようにしたのである。
すなわち、本発明に従う接着層は、それを構成するガ
ラス成分と金属成分とが均一に混合せしめられてなるも
のではなく、実質的にガラス成分のみが固まって構成さ
れるガラス偏在部と金属成分が集まって構成される金属
偏在部とから構成された形態を呈するものであり、特に
ガラス量が大なる割合において、そのようなガラスの偏
在状態が、強度と抵抗率の両立を可能としたのである。
要するに、ガラスの偏在によりガラスリッチな部分があ
り、そこはリードとの接着及び基体との接着の役割を果
たし、他の金属リッチな部分は導通（電気抵抗低下）の
役割を果たすこととなるのである。
ラス成分と金属成分とが均一に混合せしめられてなるも
のではなく、実質的にガラス成分のみが固まって構成さ
れるガラス偏在部と金属成分が集まって構成される金属
偏在部とから構成された形態を呈するものであり、特に
ガラス量が大なる割合において、そのようなガラスの偏
在状態が、強度と抵抗率の両立を可能としたのである。
要するに、ガラスの偏在によりガラスリッチな部分があ
り、そこはリードとの接着及び基体との接着の役割を果
たし、他の金属リッチな部分は導通（電気抵抗低下）の
役割を果たすこととなるのである。
なお、本発明において、上記のような状態をよりよく
実現するために、接着層中のガラス成分は55容量％〜90
容量％の割合を占める量にすることが、望ましいのであ
る。ガラス成分の割合が90容量％を越えるようになる
と、金属成分の偏在部分が少なくなり、導通を取り難く
なる。また、ガラスの偏在部分は、有利には、接着層の
断面において、その断面の2500μm2当り、20μm2以上の
大きさのガラス偏在部の合計面積が100μm2以上、好ま
しくは500μm2以上となるように、その偏在状態が調整
され、以て強度の向上に寄与せしめられることとなる。
実現するために、接着層中のガラス成分は55容量％〜90
容量％の割合を占める量にすることが、望ましいのであ
る。ガラス成分の割合が90容量％を越えるようになる
と、金属成分の偏在部分が少なくなり、導通を取り難く
なる。また、ガラスの偏在部分は、有利には、接着層の
断面において、その断面の2500μm2当り、20μm2以上の
大きさのガラス偏在部の合計面積が100μm2以上、好ま
しくは500μm2以上となるように、その偏在状態が調整
され、以て強度の向上に寄与せしめられることとなる。
ところで、かかる接着層を与える接着剤は、ガラス粉
と金属粉とを配合して調製されるものであるが、それら
ガラス粉や金属粉には、何れも公知のものが適宜に選択
使用され、例えばガラス粉としては、硼珪酸ガラス、ア
ルカリガラス、亜鉛系ガラス、マグネシア系ガラス、鉛
ガラス、燐酸ガラス及びこれらの結晶化ガラス等の粉末
が用いられ、また金属粉としては、Pt,Ph,Pd等のPt系金
属の単体やそれら自身若しくはNi,Cu等の他の金属との
合金、Au、Ag等の金属若しくはその合金等の粉末が用い
られる。なお、ガラス粉としては、セラミック粉を混合
したガラス粉を用いたり、金属粉として、セラミック粒
子や適当な金属粒子上にPt等の金属をコートしたものを
使用したりすることも可能である。尤も、金属粉として
は、一般に白金系金属の単体若しくはその合金からなる
粉末が有利に用いられることとなる。
と金属粉とを配合して調製されるものであるが、それら
ガラス粉や金属粉には、何れも公知のものが適宜に選択
使用され、例えばガラス粉としては、硼珪酸ガラス、ア
ルカリガラス、亜鉛系ガラス、マグネシア系ガラス、鉛
ガラス、燐酸ガラス及びこれらの結晶化ガラス等の粉末
が用いられ、また金属粉としては、Pt,Ph,Pd等のPt系金
属の単体やそれら自身若しくはNi,Cu等の他の金属との
合金、Au、Ag等の金属若しくはその合金等の粉末が用い
られる。なお、ガラス粉としては、セラミック粉を混合
したガラス粉を用いたり、金属粉として、セラミック粒
子や適当な金属粒子上にPt等の金属をコートしたものを
使用したりすることも可能である。尤も、金属粉として
は、一般に白金系金属の単体若しくはその合金からなる
粉末が有利に用いられることとなる。
そして、かかるガラス粉と金属粉とは、所定割合にお
いて、適当な溶剤やバインダと共に、混合せしめられ
て、接着ペーストとして用いられることとなるが、その
ようなペーストの作製に際して、ガラス粉末と金属粉末
とは、通常の混合作業において認識されているような長
時間混合による均一（均質）な混合状態とは為されず、
短時間の簡単な混合操作による不均一な混合状態におい
て、混合せしめられて、不均一な接着ペーストとして用
いられるのである。そのような不均一な接着ペーストに
よって、ガラス成分と金属成分とが偏在した接着層が有
利に形成されるのである。
いて、適当な溶剤やバインダと共に、混合せしめられ
て、接着ペーストとして用いられることとなるが、その
ようなペーストの作製に際して、ガラス粉末と金属粉末
とは、通常の混合作業において認識されているような長
時間混合による均一（均質）な混合状態とは為されず、
短時間の簡単な混合操作による不均一な混合状態におい
て、混合せしめられて、不均一な接着ペーストとして用
いられるのである。そのような不均一な接着ペーストに
よって、ガラス成分と金属成分とが偏在した接着層が有
利に形成されるのである。
そして、このようなガラス粉と金属粉を配合してなる
接着剤（接着ペースト）を用いて、抵抗体を外面上に形
成した基体に対して、所定のリードを接着，固定するに
は、該接着剤にてリードを基体の所定部位に位置固定に
取り付けた状態において、適当な熱処理（焼成）が施さ
れて、該接着剤からなる接着層が形成せしめられ、以て
それらリードと基体との接着が実現されるが、その際、
接着剤中のガラス粉と金属粉とが不均一な混合状態とさ
れているところから、かかる接着剤にて形成される接着
層中には、ガラス成分と金属成分とが偏在する形態とな
るのであり、それによって、リードと抵抗体間の有効な
電気的導通とリードの固定とが効果的に達成されるので
ある。
接着剤（接着ペースト）を用いて、抵抗体を外面上に形
成した基体に対して、所定のリードを接着，固定するに
は、該接着剤にてリードを基体の所定部位に位置固定に
取り付けた状態において、適当な熱処理（焼成）が施さ
れて、該接着剤からなる接着層が形成せしめられ、以て
それらリードと基体との接着が実現されるが、その際、
接着剤中のガラス粉と金属粉とが不均一な混合状態とさ
れているところから、かかる接着剤にて形成される接着
層中には、ガラス成分と金属成分とが偏在する形態とな
るのであり、それによって、リードと抵抗体間の有効な
電気的導通とリードの固定とが効果的に達成されるので
ある。
因みに、第３図（ａ）及び（ｂ）に、リードとそれを
接着，固定する接着層との接触部近傍の断面を走査型電
子顕微鏡にて観察した模式図が示されているが、何れ
も、ガラス成分と金属成分とが偏在した構造の接着層と
なっているのである。なお、第３図（ａ）は、ガラス成
分の割合が66容量％の場合であり、また第３図（ｂ）
は、ガラス成分の割合が80容量％の場合である。
接着，固定する接着層との接触部近傍の断面を走査型電
子顕微鏡にて観察した模式図が示されているが、何れ
も、ガラス成分と金属成分とが偏在した構造の接着層と
なっているのである。なお、第３図（ａ）は、ガラス成
分の割合が66容量％の場合であり、また第３図（ｂ）
は、ガラス成分の割合が80容量％の場合である。
（実施例） 以下に、本発明の幾つかの実施例を示し、本発明を更
に具体的に明らかにすることとするが、本発明が、その
ような実施例の記載によって、何等限定的に解釈される
ものでないことは、言うまでもないところである。本発
明には、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、当業者の
知識に基づいて種々なる変更、修正、改良等が加えられ
得るものであることが、理解されるべきである。
に具体的に明らかにすることとするが、本発明が、その
ような実施例の記載によって、何等限定的に解釈される
ものでないことは、言うまでもないところである。本発
明には、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、当業者の
知識に基づいて種々なる変更、修正、改良等が加えられ
得るものであることが、理解されるべきである。
実施例１〜10 第１図に示される如き構造の各種の検知素子を得るべ
く、内径:0.3mmφ、外径:0.5mmφ、長さ:2mmのアルミナ
ボビンを基体として用い、その外周面にスパイラル状に
マスク剤を塗り付けた後、スパッタ法により、厚さ:1μ
ｍの白金薄膜層を形成せしめ、次いで熱処理することに
より、マスク剤を除去すると同時に、マスク剤上の白金
も除き、スパイラル状の白金薄膜層からなる抵抗体をア
ルミナボビン上に形成した。なお、かかる白金薄膜層か
らなる抵抗体の抵抗値は15〜17Ωであった。
く、内径:0.3mmφ、外径:0.5mmφ、長さ:2mmのアルミナ
ボビンを基体として用い、その外周面にスパイラル状に
マスク剤を塗り付けた後、スパッタ法により、厚さ:1μ
ｍの白金薄膜層を形成せしめ、次いで熱処理することに
より、マスク剤を除去すると同時に、マスク剤上の白金
も除き、スパイラル状の白金薄膜層からなる抵抗体をア
ルミナボビン上に形成した。なお、かかる白金薄膜層か
らなる抵抗体の抵抗値は15〜17Ωであった。
かくして得られた白金薄膜抵抗体を外面上に形成した
アルミナボビンに対して、下記第１表に示される各種の
接着ペーストを用いて、0.2mmφの白金線からなるリー
ドを接着，固定せしめた。なお、それぞれの接着ペース
トは、ガラス粉と共に金属粉としてPt粉を用い、それら
２種の粉末に10重量％エチルセルロースのブチルカルビ
トールアセテート溶液を添加して、下記第１表に示され
る如き条件下にて不均一混合せしめ、それぞれの接着ペ
ーストとした。そのような接着ペースト中におけるバイ
ンダとしてのエチルセルロースは、Pt粉とガラス粉の合
計量の100重量部に対して５重量部の割合となるように
した。また、ペーストの粘度調整は、溶剤の加熱による
減量により行ない、また粘度が不足したときには、溶剤
を増量して、粘度調節した。
アルミナボビンに対して、下記第１表に示される各種の
接着ペーストを用いて、0.2mmφの白金線からなるリー
ドを接着，固定せしめた。なお、それぞれの接着ペース
トは、ガラス粉と共に金属粉としてPt粉を用い、それら
２種の粉末に10重量％エチルセルロースのブチルカルビ
トールアセテート溶液を添加して、下記第１表に示され
る如き条件下にて不均一混合せしめ、それぞれの接着ペ
ーストとした。そのような接着ペースト中におけるバイ
ンダとしてのエチルセルロースは、Pt粉とガラス粉の合
計量の100重量部に対して５重量部の割合となるように
した。また、ペーストの粘度調整は、溶剤の加熱による
減量により行ない、また粘度が不足したときには、溶剤
を増量して、粘度調節した。
また、アルミナボビンに対するリードの固定は、それ
らリード及びボビン端部の両方に各々の接着ペーストを
付けた後、リードをボビン内に所定長さ挿入せしめ、乾
燥することにより、行なった。そして、このアルミナボ
ビンにリードを固定した状態において、ベルト炉にて、
下記第１表に示される条件下で焼成を行なった。なお、
焼成は60分サイクルとし、実施例８で、焼成雰囲気とし
て0.1％の酸素を含む窒素雰囲気を用いる以外は、他の
例においては何れも空気中において焼成を行なった。更
に、この焼成後、アルミナボビンの外周面にガラスの保
護コーティング層を形成して、目的とする検知素子を完
成した。
らリード及びボビン端部の両方に各々の接着ペーストを
付けた後、リードをボビン内に所定長さ挿入せしめ、乾
燥することにより、行なった。そして、このアルミナボ
ビンにリードを固定した状態において、ベルト炉にて、
下記第１表に示される条件下で焼成を行なった。なお、
焼成は60分サイクルとし、実施例８で、焼成雰囲気とし
て0.1％の酸素を含む窒素雰囲気を用いる以外は、他の
例においては何れも空気中において焼成を行なった。更
に、この焼成後、アルミナボビンの外周面にガラスの保
護コーティング層を形成して、目的とする検知素子を完
成した。
かかる第１表に示される実施例において、Pt粉:30容
量％とガラス粉:70容量％の割合で配合してなる接着ペ
ーストを用いて、接着層を形成してなる検知素子（実施
例１〜８）にあっては、何れも、焼成後の抵抗率が３×
10-4〜５×10-4Ωcmであり、また実施例９のPt粉を15容
量％としたものにあっては、８×10-4〜10×10-4Ωcmで
あり、更に実施例10のPt粉を45容量％としたものにあっ
ては、１×10-4〜３×10-4Ωcmの抵抗率であった。
量％とガラス粉:70容量％の割合で配合してなる接着ペ
ーストを用いて、接着層を形成してなる検知素子（実施
例１〜８）にあっては、何れも、焼成後の抵抗率が３×
10-4〜５×10-4Ωcmであり、また実施例９のPt粉を15容
量％としたものにあっては、８×10-4〜10×10-4Ωcmで
あり、更に実施例10のPt粉を45容量％としたものにあっ
ては、１×10-4〜３×10-4Ωcmの抵抗率であった。
また、かくして得られた各種の検知素子について、そ
のリードの引抜き強度を評価したところ、何れも、優れ
た引抜き強度を示すものであった。そして、それら検知
素子の接着層の断面を走査型電子顕微鏡で調査したとこ
ろ、第３図（ａ）及び（ｂ）と同様に、ガラス成分と金
属成分とが均質とはなっておらず、ガラスや白金（金
属）が偏在した状態で接着層が構成されていることを認
めた。
のリードの引抜き強度を評価したところ、何れも、優れ
た引抜き強度を示すものであった。そして、それら検知
素子の接着層の断面を走査型電子顕微鏡で調査したとこ
ろ、第３図（ａ）及び（ｂ）と同様に、ガラス成分と金
属成分とが均質とはなっておらず、ガラスや白金（金
属）が偏在した状態で接着層が構成されていることを認
めた。
これに対して、実施例１のものについて、ペースト作
製時に長時間の混合を行ない、白金粉末とガラス粉末と
の分散を充分に行なって均質化せしめ、得られた均一な
接着ペーストを用いて、実施例１と同様にして検知素子
を作製したところ、接着層の抵抗率が著しく増加し、ま
た強度においても、実施例１の検知素子に比べて低いも
のであった。
製時に長時間の混合を行ない、白金粉末とガラス粉末と
の分散を充分に行なって均質化せしめ、得られた均一な
接着ペーストを用いて、実施例１と同様にして検知素子
を作製したところ、接着層の抵抗率が著しく増加し、ま
た強度においても、実施例１の検知素子に比べて低いも
のであった。
また、金属粉として、Pt粉に代え、Pt−Rh合金粉、Pt
−Ni合金粉、（Pt＋Au）混合粉、（Pt＋Ag）混合粉、
（Ag＋Au）混合粉、（Ag＋Pd）混合粉等の金属粉を用
い、またガラスとして、作業温度が620℃のもの又は850
℃のものを用いて、上記と同様にして検知素子を作製し
た結果、何れも、強度と抵抗率に優れた検知素子を得る
ことが出来た。
−Ni合金粉、（Pt＋Au）混合粉、（Pt＋Ag）混合粉、
（Ag＋Au）混合粉、（Ag＋Pd）混合粉等の金属粉を用
い、またガラスとして、作業温度が620℃のもの又は850
℃のものを用いて、上記と同様にして検知素子を作製し
た結果、何れも、強度と抵抗率に優れた検知素子を得る
ことが出来た。
実施例 11 実施例１と同様にして、Pt粉とガラス粉との配合割合
が種々異なる接着ペーストを用いて、検知素子を作製し
た。そして、その得られた検知素子について、比抵抗及
びリードの引抜き強度を調べ、その結果を、Pt粉の配合
割合との関係において第４図に示した。
が種々異なる接着ペーストを用いて、検知素子を作製し
た。そして、その得られた検知素子について、比抵抗及
びリードの引抜き強度を調べ、その結果を、Pt粉の配合
割合との関係において第４図に示した。
かかる第４図の結果から明らかなように、接着層のガ
ラス成分が体積換算においてPt（金属）成分よりも多く
なる領域において、優れた抵抗率と引張強度が実現され
ていることが認められる。なお、Pt粉の配合割合が60容
量％になると、強度低下が惹起されると共に、そのバラ
ツキが大となる傾向が認められ、また10容量％よりも低
くなると、抵抗率が不安定となる傾向が認められるので
ある。
ラス成分が体積換算においてPt（金属）成分よりも多く
なる領域において、優れた抵抗率と引張強度が実現され
ていることが認められる。なお、Pt粉の配合割合が60容
量％になると、強度低下が惹起されると共に、そのバラ
ツキが大となる傾向が認められ、また10容量％よりも低
くなると、抵抗率が不安定となる傾向が認められるので
ある。
第１図は、流量計用検知素子の一例を示す断面説明図で
あり、第２図は、かかる検知素子の配置構成を示す概略
説明図であり、第３図（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、
本発明に従う検知素子の接着層の要部断面を示す走査型
電子顕微鏡観察に基づくところの模式図であり、第４図
は、実施例11において求められたPt粉の配合量と抵抗率
又は引張強度との関係を示すグラフである。 2:セラミックパイプ、4:薄膜抵抗体 6:リード、8:接着層 10:保護コーティング層 12:管、14:ガラス流路 16:検知素子、18:絶縁部材 20:金属端子
あり、第２図は、かかる検知素子の配置構成を示す概略
説明図であり、第３図（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、
本発明に従う検知素子の接着層の要部断面を示す走査型
電子顕微鏡観察に基づくところの模式図であり、第４図
は、実施例11において求められたPt粉の配合量と抵抗率
又は引張強度との関係を示すグラフである。 2:セラミックパイプ、4:薄膜抵抗体 6:リード、8:接着層 10:保護コーティング層 12:管、14:ガラス流路 16:検知素子、18:絶縁部材 20:金属端子
Claims (4)
- 【請求項１】抵抗体を外面上に形成した基体に対して、
所定のリードが接着剤にて接着、固定せしめられると共
に、該接着剤からなる接着層を介して該リードと前記抵
抗体とが電気的に接続されてなる構造の流量計用検知素
子にして、 前記接着層がガラス成分と金属成分とから構成され、且
つ該ガラス成分が体積換算において該金属成分よりも多
くなるように構成されると共に、それら各成分が接着層
中において偏在せしめられていることを特徴とする流量
計用検知素子。 - 【請求項２】前記ガラス成分が、前記接着層中におい
て、55容量％〜90容量％の割合を占めている請求項
（１）記載の流量計用検知素子。 - 【請求項３】前記接着層の断面において、前記ガラス成
分のみが固まって構成されるガラス偏在部が存在し、且
つかかる断面の2500μm2当り、該ガラス偏在部の20μm2
以上の大きさのものの合計面積が100μm2以上である請
求項（１）又は（２）に記載の流量計用検知素子。 - 【請求項４】前記金属成分が、白金系金属の単体若しく
はその合金である請求項（１）乃至（３）の何れかに記
載の流量計用検知素子。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2067905A JPH0810152B2 (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 | 流量計用検知素子 |
| US07/669,013 US5175527A (en) | 1990-03-16 | 1991-03-13 | Detecting element with adhesive layer including unevenly distributed glass and metal components |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2067905A JPH0810152B2 (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 | 流量計用検知素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03267724A JPH03267724A (ja) | 1991-11-28 |
| JPH0810152B2 true JPH0810152B2 (ja) | 1996-01-31 |
Family
ID=13358381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2067905A Expired - Lifetime JPH0810152B2 (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 | 流量計用検知素子 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5175527A (ja) |
| JP (1) | JPH0810152B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH071185B2 (ja) * | 1991-08-21 | 1995-01-11 | 日本碍子株式会社 | 抵抗体素子 |
| US5349322A (en) * | 1992-03-27 | 1994-09-20 | Ngk Insulators, Ltd. | Resistors for thermal flowmeters |
| DE19750123C2 (de) * | 1997-11-13 | 2000-09-07 | Heraeus Electro Nite Int | Verfahren zur Herstellung einer Sensoranordnung für die Temperaturmessung |
| US6995691B2 (en) * | 2001-02-14 | 2006-02-07 | Heetronix | Bonded structure using reacted borosilicate mixture |
| WO2002091397A1 (de) * | 2001-05-07 | 2002-11-14 | Epcos Ag | Keramisches bauelement mit klimastabiler kontaktierung |
| US6871537B1 (en) * | 2003-11-15 | 2005-03-29 | Honeywell International Inc. | Liquid flow sensor thermal interface methods and systems |
| US9236383B2 (en) * | 2004-04-27 | 2016-01-12 | Micron Technology, Inc. | Method and apparatus for fabricating a memory device with a dielectric etch stop layer |
| US7141511B2 (en) * | 2004-04-27 | 2006-11-28 | Micron Technology Inc. | Method and apparatus for fabricating a memory device with a dielectric etch stop layer |
| WO2018190057A1 (ja) * | 2017-04-14 | 2018-10-18 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | チップ抵抗器 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5714405U (ja) * | 1980-06-27 | 1982-01-25 | ||
| US4447799A (en) * | 1981-01-30 | 1984-05-08 | General Electric Company | High temperature thermistor and method of assembling the same |
| JPS59104513A (ja) * | 1982-12-08 | 1984-06-16 | Hitachi Ltd | 熱式流量計 |
| JPH0682057B2 (ja) * | 1987-07-13 | 1994-10-19 | 日本碍子株式会社 | 検出素子 |
| US4904415A (en) * | 1988-08-22 | 1990-02-27 | W. R. Grace & Co.-Conn. | Oxide glasses having low glass transformation temperatures |
| JP2585430B2 (ja) * | 1989-06-29 | 1997-02-26 | 日本碍子株式会社 | 検出素子及びその製造方法 |
| US4999460A (en) * | 1989-08-10 | 1991-03-12 | Casio Computer Co., Ltd. | Conductive connecting structure |
-
1990
- 1990-03-16 JP JP2067905A patent/JPH0810152B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-03-13 US US07/669,013 patent/US5175527A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03267724A (ja) | 1991-11-28 |
| US5175527A (en) | 1992-12-29 |
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