JPS5965216A - 熱式流量計 - Google Patents
熱式流量計Info
- Publication number
- JPS5965216A JPS5965216A JP57174622A JP17462282A JPS5965216A JP S5965216 A JPS5965216 A JP S5965216A JP 57174622 A JP57174622 A JP 57174622A JP 17462282 A JP17462282 A JP 17462282A JP S5965216 A JPS5965216 A JP S5965216A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass layer
- resistor
- bobbin
- heat
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、熱式流量計に係り、特に、内燃機関の吸入空
気量を検出するに好適な熱式流量計に関する。
気量を検出するに好適な熱式流量計に関する。
従来、燃料噴射装置を備えた内燃機関においては、種々
のセンサを用い、これらのセンサからの信号に基づいて
内燃機関の状態を検出した上で、燃料噴射装置による燃
料噴射量の制御等を行っている。これらのセンサの１つ
として、吸入空気量を測定する流量計がある。流量計に
は、種々の方式のものが知られているが、温度依存性抵
抗を用いた熱式流量計が、その測定精度の点から注目さ
れている。現在、本出願人が実用化しているものは、次
のようなものでるる。すなわち、直径０．５間、長さ２
ｍのアルミナ製のボビンの周囲に、直径２０μｍの白金
線を巻いた構造のものを熱式流ｔｄ１の温度依存抵抗体
として用いている。しかしながら、ここで問題となるは
、２０μｍの極細の白金線を小さなボビン上に、切損し
ないようにして等ピッチで巻くのは非常に困難でめ９１
歩留りが悪いという問題点があるう そこで、本発明者らは、巻線形の抵抗体に変えて、薄１
摸形の抵抗体を用いる熱式流鼠計について研究を行って
いる。しかしながら、この＜Ｉｆ究過程において、アル
ミナ等の底面に薄膜抵抗体を形成したものにおいては、
耐久性に問題かめることが判明した。
のセンサを用い、これらのセンサからの信号に基づいて
内燃機関の状態を検出した上で、燃料噴射装置による燃
料噴射量の制御等を行っている。これらのセンサの１つ
として、吸入空気量を測定する流量計がある。流量計に
は、種々の方式のものが知られているが、温度依存性抵
抗を用いた熱式流量計が、その測定精度の点から注目さ
れている。現在、本出願人が実用化しているものは、次
のようなものでるる。すなわち、直径０．５間、長さ２
ｍのアルミナ製のボビンの周囲に、直径２０μｍの白金
線を巻いた構造のものを熱式流ｔｄ１の温度依存抵抗体
として用いている。しかしながら、ここで問題となるは
、２０μｍの極細の白金線を小さなボビン上に、切損し
ないようにして等ピッチで巻くのは非常に困難でめ９１
歩留りが悪いという問題点があるう そこで、本発明者らは、巻線形の抵抗体に変えて、薄１
摸形の抵抗体を用いる熱式流鼠計について研究を行って
いる。しかしながら、この＜Ｉｆ究過程において、アル
ミナ等の底面に薄膜抵抗体を形成したものにおいては、
耐久性に問題かめることが判明した。
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、そ
の目的とするところは、耐久性に富む薄膜抵抗音用いた
熱式流址計を提供するにβる。
の目的とするところは、耐久性に富む薄膜抵抗音用いた
熱式流址計を提供するにβる。
本発明ｅよ、絶縁性物質の支持体上にガラス層を形成し
た後、その上に感熱抵抗層を形成するようにしたもので
ある。
た後、その上に感熱抵抗層を形成するようにしたもので
ある。
以下、図面を用いて本発明の一実施例について説明する
。
。
第１図において、発熱抵抗体エレメント１は他の抵抗１
１，１２．１３とブリッジ釡構成する。
１，１２．１３とブリッジ釡構成する。
これらのブリッジ抵抗の差覗圧をアンプ１４を介して差
動増ｒｊｙし、トランジスタ１５を駆動するフィードバ
ック回路を構成している。発熱抵抗体１は温度補償用抵
抗体１３と共に流体通路に配、１１シ、周囲温度に対し
て、常に所定の温度差（約１ｏ。
動増ｒｊｙし、トランジスタ１５を駆動するフィードバ
ック回路を構成している。発熱抵抗体１は温度補償用抵
抗体１３と共に流体通路に配、１１シ、周囲温度に対し
て、常に所定の温度差（約１ｏ。
Ｃ〜２００Ｃ程度）を保つようにフィードバック回路を
介して制御する。これらの駆動回路部は、第２図に示す
ように、ハウジング２０の中に収納されている。抵抗１
および１３は、それぞれエレメント支持ビン２１，２２
，２３．２４にょシ支持され、これらの支持ビンをイン
サートした４端子ホルダ２５と一体にして流体通路を１
゛薄成するチャンバに組・Ｎけられる。チャンバは入口
部３ｏから主通路３１に開口する静圧取込口３２を経由
して、バイパス通路３３が形成されている。バイパス通
路３３の中央直管部３４Ｋｍ熱抵抗体エレメント１と温
度補償用抵抗体エレメント１３を配置する。さらにバイ
パス通路３３の下流は主通路３１の円周方向にリング状
に所定の距離進んで、主通路３１のベンチュリ一部３５
で合流する。吐出口３６はダクトによりエンジンの吸気
ｔにスロットルチャンバを中継して連結される。尚、チ
ャンバ入口部３０はエアクリーナに接続される。
介して制御する。これらの駆動回路部は、第２図に示す
ように、ハウジング２０の中に収納されている。抵抗１
および１３は、それぞれエレメント支持ビン２１，２２
，２３．２４にょシ支持され、これらの支持ビンをイン
サートした４端子ホルダ２５と一体にして流体通路を１
゛薄成するチャンバに組・Ｎけられる。チャンバは入口
部３ｏから主通路３１に開口する静圧取込口３２を経由
して、バイパス通路３３が形成されている。バイパス通
路３３の中央直管部３４Ｋｍ熱抵抗体エレメント１と温
度補償用抵抗体エレメント１３を配置する。さらにバイ
パス通路３３の下流は主通路３１の円周方向にリング状
に所定の距離進んで、主通路３１のベンチュリ一部３５
で合流する。吐出口３６はダクトによりエンジンの吸気
ｔにスロットルチャンバを中継して連結される。尚、チ
ャンバ入口部３０はエアクリーナに接続される。
発熱抵抗体の１１を造について第３図を用いて説明する
。第３図（Ｒ）は、その全体石造を示し、同図（ｂ）は
、部分拡大したものを示している。
。第３図（Ｒ）は、その全体石造を示し、同図（ｂ）は
、部分拡大したものを示している。
支持体であるセラミック製ボビン４０の両端には、白金
などのり−ド４２が白金ベーストなどの耐熱性接着剤４
４によって固定されている。ボビンの表面には、感熱抵
抗を含む層５０が形成されている。セラミックとしては
、アルミナ、マグネシア、ベリリア、ジルコニア、ムラ
イト、ホルステライト、ステアタイト、スピネル、チタ
ニアなどがある。４００Ｃ以上の耐熱性、小形にした時
の嘘械的強度、加工性の点からはアルミナがよい。
などのり−ド４２が白金ベーストなどの耐熱性接着剤４
４によって固定されている。ボビンの表面には、感熱抵
抗を含む層５０が形成されている。セラミックとしては
、アルミナ、マグネシア、ベリリア、ジルコニア、ムラ
イト、ホルステライト、ステアタイト、スピネル、チタ
ニアなどがある。４００Ｃ以上の耐熱性、小形にした時
の嘘械的強度、加工性の点からはアルミナがよい。
例えば、アルミナ純度が９９％の場合、アルミナの粒径
は５〜５０μとなシ、粒界には３〜５μの溝又は窪みが
できる。アルミナの純度が低いと溝は小さくなるが強度
的には劣ってくる。このアルミナ製ポビ／４４の表面に
は、第３図（ｂ）に示すように、３〜５μの厚さのガラ
ス層５２が形成される。ガラス層５２の軟化点は８００
Ｃ以上である。
は５〜５０μとなシ、粒界には３〜５μの溝又は窪みが
できる。アルミナの純度が低いと溝は小さくなるが強度
的には劣ってくる。このアルミナ製ポビ／４４の表面に
は、第３図（ｂ）に示すように、３〜５μの厚さのガラ
ス層５２が形成される。ガラス層５２の軟化点は８００
Ｃ以上である。
これは、このガラス層５２の上に形成される白金層５４
を安定化する／こめのエージング処理が７００〜８００
Ｃで行なわれるためである。また、ガラス層５２の熱膨
張係数は、主成分の５ｔｏｔに対してＢａＯやＣａＯを
微量含むと６５〜７０ Ｘｌ０−’／Ｃとなり、アルカ
リ系のＮａｔＯｓ、 ＫＩＯ、Ｌ ｉｔ Ｏを数％配合
することにより、７０〜７５ Ｘ １０−’／Ｃとなる
。そして、膨張係数は、アルミナとほぼ膨張係数をあわ
せるように選ばれる。このガラス層５２は、テリプニオ
ールなどのノくインダーと配合して、ディスペンサなど
を用いて定量化して塗布する。塗布淡、予備乾燥を行い
、その後１２００Ｃ前後で焼成する。アルミナのボビン
４４の表面には、ガラスの薄膜が強固に着膜され、表面
の粗さは０．５μ以下の滑らかな面になる。このガラス
層は、スパッタなどによる着膜も可能である。このガラ
ス層５２の上に、感熱抵抗膜５４が形成さ７Ｌる。ここ
で、このガラス層５２がすく、ボビン４０−４−に直接
感熱抵抗膜５４ｆ：形成すると、ボビンのε■みの部分
の１１１１１壁では薄く、底部では厚くなり、ボビンの
熱膨張収縮による歪が、不純物のある粒界に集中し、薄
、１漠にも歪が集中する。この内ｉ５μ歪によって、経
時変化が大きくなり、耐久性が悪くな・；）。それに対
し、で、このガラス層５２を用いることにより、かかる
問題はなくなる。
を安定化する／こめのエージング処理が７００〜８００
Ｃで行なわれるためである。また、ガラス層５２の熱膨
張係数は、主成分の５ｔｏｔに対してＢａＯやＣａＯを
微量含むと６５〜７０ Ｘｌ０−’／Ｃとなり、アルカ
リ系のＮａｔＯｓ、 ＫＩＯ、Ｌ ｉｔ Ｏを数％配合
することにより、７０〜７５ Ｘ １０−’／Ｃとなる
。そして、膨張係数は、アルミナとほぼ膨張係数をあわ
せるように選ばれる。このガラス層５２は、テリプニオ
ールなどのノくインダーと配合して、ディスペンサなど
を用いて定量化して塗布する。塗布淡、予備乾燥を行い
、その後１２００Ｃ前後で焼成する。アルミナのボビン
４４の表面には、ガラスの薄膜が強固に着膜され、表面
の粗さは０．５μ以下の滑らかな面になる。このガラス
層は、スパッタなどによる着膜も可能である。このガラ
ス層５２の上に、感熱抵抗膜５４が形成さ７Ｌる。ここ
で、このガラス層５２がすく、ボビン４０−４−に直接
感熱抵抗膜５４ｆ：形成すると、ボビンのε■みの部分
の１１１１１壁では薄く、底部では厚くなり、ボビンの
熱膨張収縮による歪が、不純物のある粒界に集中し、薄
、１漠にも歪が集中する。この内ｉ５μ歪によって、経
時変化が大きくなり、耐久性が悪くな・；）。それに対
し、で、このガラス層５２を用いることにより、かかる
問題はなくなる。
感熱抵抗膜５４としてＶま、商議雰囲気で安定であるこ
と、１↓（抗の温度係数（＋＝３０００茫／Ｃ以上とし
たいことから、白金を用いるのが好ましい。この白金は
、ガラス層５２の上に、スパッタ、又は蒸着、又はイオ
ンブレーティングにより、２〜４μの厚さに溝膜される
。スパッタ後の白金薄〕換の抵抗の７ｆｉＡＩ庭係数は
、約１５００茫／Ｃ前後と低く、感熱抵抗どして用い乙
には、感度が悪い。この温度係数をａｏｏｏ「／ｃ以上
にするため、７００〜８００Ｃで熱処理を行ううその陵
、レーザーにより抵抗トリミングを行い、抵抗値を−に
値（例えば２０Ω）にあわせる。トリミングは、抵抗層
についてのみ行われ、ガラス層５２をすべて除去する必
要はない。
と、１↓（抗の温度係数（＋＝３０００茫／Ｃ以上とし
たいことから、白金を用いるのが好ましい。この白金は
、ガラス層５２の上に、スパッタ、又は蒸着、又はイオ
ンブレーティングにより、２〜４μの厚さに溝膜される
。スパッタ後の白金薄〕換の抵抗の７ｆｉＡＩ庭係数は
、約１５００茫／Ｃ前後と低く、感熱抵抗どして用い乙
には、感度が悪い。この温度係数をａｏｏｏ「／ｃ以上
にするため、７００〜８００Ｃで熱処理を行ううその陵
、レーザーにより抵抗トリミングを行い、抵抗値を−に
値（例えば２０Ω）にあわせる。トリミングは、抵抗層
についてのみ行われ、ガラス層５２をすべて除去する必
要はない。
この感熱抵抗膜５４の上に、ガラス層５６が形成される
。このガラス層は、Ｐｂｏを主成分とし、Ｂ、０３を含
有することにより、軟化点は５００〜５５０ｒ−？ｌＪ
、膨張係数は７５〜８５Ｘ１０−７／Ｃｕｇでアリ、白
金の膨張係数に近いものとする。このガラス層は、低融
点粉末ガラスを塗布焼成し、５〜１０μの厚さのガラス
層を形成する。
。このガラス層は、Ｐｂｏを主成分とし、Ｂ、０３を含
有することにより、軟化点は５００〜５５０ｒ−？ｌＪ
、膨張係数は７５〜８５Ｘ１０−７／Ｃｕｇでアリ、白
金の膨張係数に近いものとする。このガラス層は、低融
点粉末ガラスを塗布焼成し、５〜１０μの厚さのガラス
層を形成する。
このガラス層は、抵抗が流体のゴミなどにより削られた
り、付着したりして発熱！ｉケ性が液化するのを防止す
る。
り、付着したりして発熱！ｉケ性が液化するのを防止す
る。
ガラス層５６を形成後、通１イして、使用状態での最大
電流を断続的に加えてエージング処理する。
電流を断続的に加えてエージング処理する。
この発熱抵抗体を４端子ホルダ２５の支持ピンにそれぞ
れ点溶接して固定する。発熱抵抗体の温度は、空気流体
の温度よシ通常１７０Ｃ高く設定される。一方、空気流
体の温度は、１００ｃ近くなることもある。そこで、発
熱抵抗体の温度を２５０Ｃと一３０Ｃの間で繰シ返すよ
うに設定し、空気流鮭を２００ Ｋｇ／Ｉ（として、蹴
諒のオン・オフの耐久試験ケ行った結果を第４図に示す
。図中、ｉよ、ボビン上にガラス層がある。嚇汁であり
、１００００９〜イクル後の流量変化率は１．５％以下
であり、抵抗値の変化率に換算すると０１５％以下であ
る、一方、図中のＢは、ボビン上にガラス層がない場合
で必り、１００００サイクル後の流量変化率は９％以上
であり、抵抗値の変化率では３％以上である。
れ点溶接して固定する。発熱抵抗体の温度は、空気流体
の温度よシ通常１７０Ｃ高く設定される。一方、空気流
体の温度は、１００ｃ近くなることもある。そこで、発
熱抵抗体の温度を２５０Ｃと一３０Ｃの間で繰シ返すよ
うに設定し、空気流鮭を２００ Ｋｇ／Ｉ（として、蹴
諒のオン・オフの耐久試験ケ行った結果を第４図に示す
。図中、ｉよ、ボビン上にガラス層がある。嚇汁であり
、１００００９〜イクル後の流量変化率は１．５％以下
であり、抵抗値の変化率に換算すると０１５％以下であ
る、一方、図中のＢは、ボビン上にガラス層がない場合
で必り、１００００サイクル後の流量変化率は９％以上
であり、抵抗値の変化率では３％以上である。
第５図ｔよ、流ｈｉｆｆｉステップ的に変化させた場合
の応答特性を示している。図中、Ａ１はボビン上にガラ
ス層がある場合の立ドりの応答特性で、Ａ４は立上りの
応答特性である。Ｂ、はボビン上にガラス層がない、（
ホ）汗の立下りの応答特性でめり、Ｂ２は、立上シの応
答付性である。流幇計は、芙質的にはエンジンの吸気脈
動流の平均値を検出する。
の応答特性を示している。図中、Ａ１はボビン上にガラ
ス層がある場合の立ドりの応答特性で、Ａ４は立上りの
応答特性である。Ｂ、はボビン上にガラス層がない、（
ホ）汗の立下りの応答特性でめり、Ｂ２は、立上シの応
答付性である。流幇計は、芙質的にはエンジンの吸気脈
動流の平均値を検出する。
従って、応答特性の立上り、立Ｆｌ）の時定数が等しい
ことが望ましい。ここで、図中のＡのようにボビンにガ
ラス層を設けることにより、ガラス層の断熱効果により
立下シ時間を遅くして、立丁シ時間と立上９時間の差を
短縮できる。
ことが望ましい。ここで、図中のＡのようにボビンにガ
ラス層を設けることにより、ガラス層の断熱効果により
立下シ時間を遅くして、立丁シ時間と立上９時間の差を
短縮できる。
第６図は、本発明の他の実施例であり、棒状のセラミッ
ク４６が耐熱性接着剤４４でリード４２に固着される。
ク４６が耐熱性接着剤４４でリード４２に固着される。
セラミック４６の表面にｔよ第３図（ｂ）と同様に層５
０が形成される。
０が形成される。
第７図は、本発明のその他の実施列を示しており、ボビ
ン状のセラミック４００表面に層５０が形成され、セラ
ミック４０の両端を円弧状の支持部４８に圧接したもの
である。
ン状のセラミック４００表面に層５０が形成され、セラ
ミック４０の両端を円弧状の支持部４８に圧接したもの
である。
経時変化が改善できた理由としては、アルミナ表面の起
伏をガラス層を形成しておおい、白金薄膜形成のための
基板表面の粗さを０．５μ以下にして白金薄膜に膨張収
縮による歪を起こさぬようにしたことである。歪が発生
すると、白金は荷に抵抗値が大きく変化する材料であり
、歪計などは白金で構成されているものもめる。例えば
白金線はダイス引抜時の歪で約３％抵抗値が変化するこ
とがわかっている。このような歪の発生を防止できたこ
とが主因である。発熱抵抗体エレメントは白金薄膜抵抗
体として構成できた。薄膜の製造プロセスは、アルミナ
へのガラス層の形成に始まり、白金薄膜スパッタ、抵抗
トリミング、ガラスコーテング、エージングと多工、Ｐ
Ｉ′ｉであるがガラス層の形成はディスペンサにより１
〜２秒／ケで定量塗布可能である。スパッタは６インチ
のターゲットを用いて基板をドーナッソ状に回転するこ
とによりボビンを立てて１回のスパッタで済ませられる
として、１回のスパッタで１力本着膜でき、工数は１〜
２秒／ケとなる。トリミング時間は２秒／ケ、ガラスの
オーバーコートはディスペンサにより１〜２秒／ケでコ
ーテングできる。工程間のつなぎのザンプルのセット、
取り外しの作条をできるだけ単純化しで自動化すること
により、１分以下／ケの力１１エエ敬は実現可能である
。
伏をガラス層を形成しておおい、白金薄膜形成のための
基板表面の粗さを０．５μ以下にして白金薄膜に膨張収
縮による歪を起こさぬようにしたことである。歪が発生
すると、白金は荷に抵抗値が大きく変化する材料であり
、歪計などは白金で構成されているものもめる。例えば
白金線はダイス引抜時の歪で約３％抵抗値が変化するこ
とがわかっている。このような歪の発生を防止できたこ
とが主因である。発熱抵抗体エレメントは白金薄膜抵抗
体として構成できた。薄膜の製造プロセスは、アルミナ
へのガラス層の形成に始まり、白金薄膜スパッタ、抵抗
トリミング、ガラスコーテング、エージングと多工、Ｐ
Ｉ′ｉであるがガラス層の形成はディスペンサにより１
〜２秒／ケで定量塗布可能である。スパッタは６インチ
のターゲットを用いて基板をドーナッソ状に回転するこ
とによりボビンを立てて１回のスパッタで済ませられる
として、１回のスパッタで１力本着膜でき、工数は１〜
２秒／ケとなる。トリミング時間は２秒／ケ、ガラスの
オーバーコートはディスペンサにより１〜２秒／ケでコ
ーテングできる。工程間のつなぎのザンプルのセット、
取り外しの作条をできるだけ単純化しで自動化すること
により、１分以下／ケの力１１エエ敬は実現可能である
。
本発明によれば、熱式流量計の耐久性を向上できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明の一実施例の回路図であシ、第２図は
、本発明の一実施例の部分断面図でめシ、第３図は、本
発明の一実施例の断面図であり、第４図および第５図は
、本発明の一実ｂｌ！ｉ例の実験データ図でろシ、第６
図および第７図は、本発明の他の実施例の一１面図であ
る。 ４０・・・ボビン、５２．５６・・・ガラス層、５４・
・・感熱抵抗膜。 第 １ 図 第Ｚ図 第 ３ 図 第 Ｌ／−図 第 ５ Ｍ １０５−
、本発明の一実施例の部分断面図でめシ、第３図は、本
発明の一実施例の断面図であり、第４図および第５図は
、本発明の一実ｂｌ！ｉ例の実験データ図でろシ、第６
図および第７図は、本発明の他の実施例の一１面図であ
る。 ４０・・・ボビン、５２．５６・・・ガラス層、５４・
・・感熱抵抗膜。 第 １ 図 第Ｚ図 第 ３ 図 第 Ｌ／−図 第 ５ Ｍ １０５−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、絶縁性物質からなる支持体と、この支持体の上に形
成された第１のガラス層と、このガラス層の上に形成さ
れた感熱抵抗層と、この感熱抵抗層の上に形成された第
２のガラス層とを有し、上記感熱抵抗の温度による抵抗
変化に基づいて流体の渡欧を測定することを／ｒか徴と
する熱式流量計。 ２、 上記絶縁性物質は、セラミックであることを特徴
とする特ｆｌ：請求の範囲第１項記載の熱式流量ａ１゜ ３、 上記セラミックは、アルミナであることを特徴と
する特許 ４、上記第１のガラス層は、上記第２のガラス層より軟
化点が向いことを特徴とする熱式流量計。 ５ 上記第１のガラス層は、上記第２のガラス層より熱
膨張係数が小さいことを特徴とする熱式流量ｄ１″。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57174622A JPS5965216A (ja) | 1982-10-06 | 1982-10-06 | 熱式流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57174622A JPS5965216A (ja) | 1982-10-06 | 1982-10-06 | 熱式流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5965216A true JPS5965216A (ja) | 1984-04-13 |
| JPH0447772B2 JPH0447772B2 (ja) | 1992-08-04 |
Family
ID=15981807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57174622A Granted JPS5965216A (ja) | 1982-10-06 | 1982-10-06 | 熱式流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5965216A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4870745A (en) * | 1987-12-23 | 1989-10-03 | Siemens-Bendix Automotive Electronics L.P. | Methods of making silicon-based sensors |
| US4888988A (en) * | 1987-12-23 | 1989-12-26 | Siemens-Bendix Automotive Electronics L.P. | Silicon based mass airflow sensor and its fabrication method |
| US4903001A (en) * | 1987-07-13 | 1990-02-20 | Ngk Insulators, Ltd. | Detecting element using an electrically resistive body, for determining a parameter |
| KR100442895B1 (ko) * | 1995-10-07 | 2004-09-24 | 로베르트 보쉬 게엠베하 | 유통매체장입량검출용측정저항온도제어장치및온도제어방법 |
| DE102014104219A1 (de) | 2014-03-26 | 2015-10-01 | Heraeus Sensor Technology Gmbh | Keramikträger sowie Sensorelement, Heizelement und Sensormodul jeweils mit einem Keramikträger und Verfahren zur Herstellung eines Keramikträgers |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4964478A (ja) * | 1972-06-14 | 1974-06-21 | ||
| JPS54111860A (en) * | 1978-02-04 | 1979-09-01 | Degussa | Device for measuring flow velocity of gas |
| JPS56146205A (en) * | 1980-04-16 | 1981-11-13 | Kaaku Kk | Method of manufacturing stable platinum thin film resistance element using transparent quartz tube and platinum film temperature measuring element |
-
1982
- 1982-10-06 JP JP57174622A patent/JPS5965216A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4964478A (ja) * | 1972-06-14 | 1974-06-21 | ||
| JPS54111860A (en) * | 1978-02-04 | 1979-09-01 | Degussa | Device for measuring flow velocity of gas |
| JPS56146205A (en) * | 1980-04-16 | 1981-11-13 | Kaaku Kk | Method of manufacturing stable platinum thin film resistance element using transparent quartz tube and platinum film temperature measuring element |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4903001A (en) * | 1987-07-13 | 1990-02-20 | Ngk Insulators, Ltd. | Detecting element using an electrically resistive body, for determining a parameter |
| US4870745A (en) * | 1987-12-23 | 1989-10-03 | Siemens-Bendix Automotive Electronics L.P. | Methods of making silicon-based sensors |
| US4888988A (en) * | 1987-12-23 | 1989-12-26 | Siemens-Bendix Automotive Electronics L.P. | Silicon based mass airflow sensor and its fabrication method |
| KR100442895B1 (ko) * | 1995-10-07 | 2004-09-24 | 로베르트 보쉬 게엠베하 | 유통매체장입량검출용측정저항온도제어장치및온도제어방법 |
| DE102014104219A1 (de) | 2014-03-26 | 2015-10-01 | Heraeus Sensor Technology Gmbh | Keramikträger sowie Sensorelement, Heizelement und Sensormodul jeweils mit einem Keramikträger und Verfahren zur Herstellung eines Keramikträgers |
| JP2017516081A (ja) * | 2014-03-26 | 2017-06-15 | ヘレウス センサー テクノロジー ゲーエムベーハー | セラミック担体、セラミック担体を有するセンサ素子、加熱素子およびセンサモジュール、ならびにセラミック担体の製造方法 |
| DE102014104219B4 (de) | 2014-03-26 | 2019-09-12 | Heraeus Nexensos Gmbh | Keramikträger sowie Sensorelement, Heizelement und Sensormodul jeweils mit einem Keramikträger und Verfahren zur Herstellung eines Keramikträgers |
| US10529470B2 (en) | 2014-03-26 | 2020-01-07 | Heraeus Nexensos Gmbh | Ceramic carrier and sensor element, heating element and sensor module, each with a ceramic carrier and method for manufacturing a ceramic carrier |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0447772B2 (ja) | 1992-08-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4870860A (en) | Direct-heated flow measuring apparatus having improved response characteristics | |
| EP0116144B1 (en) | Thermal air flow meter | |
| US4705713A (en) | Film resistor for flow measuring apparatus | |
| JP3324855B2 (ja) | 質量流量センサ | |
| JPS5965216A (ja) | 熱式流量計 | |
| JPS61194317A (ja) | 直熱型流量センサ | |
| JPS62263417A (ja) | 熱式流量センサ | |
| JPH0328719A (ja) | 検出素子 | |
| WO2003102974A1 (fr) | Pellicule fine de platine et capteur thermique | |
| JPH0437001A (ja) | 薄膜抵抗体素子 | |
| JP3112769B2 (ja) | 抵抗体素子及び熱式流量計 | |
| JPH0356410B2 (ja) | ||
| JPH0476413B2 (ja) | ||
| JPS6298219A (ja) | 熱式流量センサ | |
| JPS61235725A (ja) | 流量センサ | |
| JP3070283B2 (ja) | 空気流量測定装置 | |
| JPS60218034A (ja) | 感熱形流量検出用センサの製造方法 | |
| JPH04122818A (ja) | 熱式流量センサ | |
| JPS61186819A (ja) | 直熱型流量センサ | |
| JPS6091212A (ja) | 熱式空気流量計 | |
| JPH0573321B2 (ja) | ||
| JPH09218067A (ja) | 吸入空気流量測定装置用センサ | |
| JP2002365113A (ja) | 感温性抵抗素子及びこれを用いた熱式流量センサ | |
| JP2002039828A (ja) | 感温性抵抗素子及びこれを用いた熱式流量センサ | |
| JPH04332822A (ja) | 熱式流量センサ |