JPS61139723A - 空気流量計の感温抵抗体及びその製造方法 - Google Patents
空気流量計の感温抵抗体及びその製造方法Info
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- JPS61139723A JPS61139723A JP59261995A JP26199584A JPS61139723A JP S61139723 A JPS61139723 A JP S61139723A JP 59261995 A JP59261995 A JP 59261995A JP 26199584 A JP26199584 A JP 26199584A JP S61139723 A JPS61139723 A JP S61139723A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、空気流量計、特に内燃機関の吸入空気流量測
定装置の空気流量針の感温抵抗体及びその製造方法に関
するものである。
定装置の空気流量針の感温抵抗体及びその製造方法に関
するものである。
高馬力、低燃費、排ガス等の制御に高精度で即応できる
燃料噴射装置を有する内燃機関の制御に用いられる感温
抵抗体を用いた空気流量針（以下ＡＦＭと称する）には
、例えば、特開昭５５−４３４４８号公報にテされてい
るようにφ０．５ｓｇのアルミナボビンにφ２０μｍの
白金細線を捲きその上にガラスをオーバコートした巻線
抵抗体を発熱抵抗体とする感温抵抗体（以下ＨＷと称す
る）を用いていた。第４図及び第５図は従来のＨＷの構
造を示すもので第４図は斜視図、第５図は第４図のＸ部
の断面図を示している。これらの図で、ｌばアルミナ円
筒体、２はリード、３は白金細線、４はガラスを示して
いる。しかしＨＷ！ｆｉ、捲線が細線であるため、捲線
途中におけるテンションの変動やアルミナボビン端部の
巻上げ、巻下し時の摩擦力により断線することがしばし
ばあり量産性を著しく阻害し、高価であった。
燃料噴射装置を有する内燃機関の制御に用いられる感温
抵抗体を用いた空気流量針（以下ＡＦＭと称する）には
、例えば、特開昭５５−４３４４８号公報にテされてい
るようにφ０．５ｓｇのアルミナボビンにφ２０μｍの
白金細線を捲きその上にガラスをオーバコートした巻線
抵抗体を発熱抵抗体とする感温抵抗体（以下ＨＷと称す
る）を用いていた。第４図及び第５図は従来のＨＷの構
造を示すもので第４図は斜視図、第５図は第４図のＸ部
の断面図を示している。これらの図で、ｌばアルミナ円
筒体、２はリード、３は白金細線、４はガラスを示して
いる。しかしＨＷ！ｆｉ、捲線が細線であるため、捲線
途中におけるテンションの変動やアルミナボビン端部の
巻上げ、巻下し時の摩擦力により断線することがしばし
ばあり量産性を著しく阻害し、高価であった。
ｔ＋、近年ターボチャージャ車の需要が高まるのに伴っ
て、自動車の吸入空気流量範囲も増加し、。
て、自動車の吸入空気流量範囲も増加し、。
人ＦＭの流量測定精度を上げる必要が生じてきた。
本発明は、このような実状に対して、安価で高精度な空
気流量計の感温抵抗体及びその製造方法を提供可能とす
るものである。
気流量計の感温抵抗体及びその製造方法を提供可能とす
るものである。
本発明の空気流量計の感温抵抗体は、円筒体の両端にそ
れぞれリードが挿嵌され、該リードのそれぞれＫその両
端が接続する発熱抵抗体が前記円筒体上に配設され、該
発熱抵抗体をガラスで被覆してなる空気流量計の感温抵
抗体において、前記発熱抵抗体か前記円筒体にスパイラ
ル状に被着した白金薄膜よシなシ、その表面積が′Ｌ５
−以下で、前記リードを除いた発熱抵抗体の配設されて
いる部分の熱容量が１．３ Ｘ １ ｏ−”ｍｌ／Ｃ以
下、前記円筒体の外径がｄ４Ｉ１１１長さがｔＩＩＩＩ
であるときｔ／ｄが５５以上であることを特徴とするも
ので、本発明の空気ｉｔ計の感温抵抗体の製造方法は、
円筒体の両端にそれぞれリードが挿嵌され、該リードの
それぞれにその両肩が接続され前記円筒体上に発熱抵抗
体が配設され、該発熱抵抗体をガラスで被覆してなる空
気流量針の感温抵抗体の製造方法において、前記円筒体
の内側中央部を除いた部分に白金薄膜を被着させ、つい
で白金薄膜が被着された該円筒体の両端部内周及び断面
に白金ペーストを存在させた状態で前記リードを挿嵌し
た後加熱して、前記リードの前記円筒体への固定及び前
記白金薄膜の熱処理を行ない、次に該円筒体上の白金薄
膜をレーザ光を用いてスパイラル状にトリミングして前
記発熱抵抗体を形成し、トリミングされた該発熱抵抗体
の設けられた前記円筒体及び該発熱抵抗体と前記リード
との接続部をガラスで被覆することを第一の特徴とし、
前記円筒体の両端部内周、及び断面に白金ペーストを存
在させ良状態で前記リードを挿嵌して焼付固定し、次に
前記円筒体及び前記リード外面に白金薄膜を被着させ熱
処理した後、該円筒体上の白金薄膜をレーザ光を用いて
スパイラル状にトリミングして前記発熱抵抗体を形成し
、トリミングされた該発熱抵抗体の設けられた前記円筒
体及び該発熱抵抗体と前記リードとの接続部をガラスで
被覆することを第二の特徴とするものである。
れぞれリードが挿嵌され、該リードのそれぞれＫその両
端が接続する発熱抵抗体が前記円筒体上に配設され、該
発熱抵抗体をガラスで被覆してなる空気流量計の感温抵
抗体において、前記発熱抵抗体か前記円筒体にスパイラ
ル状に被着した白金薄膜よシなシ、その表面積が′Ｌ５
−以下で、前記リードを除いた発熱抵抗体の配設されて
いる部分の熱容量が１．３ Ｘ １ ｏ−”ｍｌ／Ｃ以
下、前記円筒体の外径がｄ４Ｉ１１１長さがｔＩＩＩＩ
であるときｔ／ｄが５５以上であることを特徴とするも
ので、本発明の空気ｉｔ計の感温抵抗体の製造方法は、
円筒体の両端にそれぞれリードが挿嵌され、該リードの
それぞれにその両肩が接続され前記円筒体上に発熱抵抗
体が配設され、該発熱抵抗体をガラスで被覆してなる空
気流量針の感温抵抗体の製造方法において、前記円筒体
の内側中央部を除いた部分に白金薄膜を被着させ、つい
で白金薄膜が被着された該円筒体の両端部内周及び断面
に白金ペーストを存在させた状態で前記リードを挿嵌し
た後加熱して、前記リードの前記円筒体への固定及び前
記白金薄膜の熱処理を行ない、次に該円筒体上の白金薄
膜をレーザ光を用いてスパイラル状にトリミングして前
記発熱抵抗体を形成し、トリミングされた該発熱抵抗体
の設けられた前記円筒体及び該発熱抵抗体と前記リード
との接続部をガラスで被覆することを第一の特徴とし、
前記円筒体の両端部内周、及び断面に白金ペーストを存
在させ良状態で前記リードを挿嵌して焼付固定し、次に
前記円筒体及び前記リード外面に白金薄膜を被着させ熱
処理した後、該円筒体上の白金薄膜をレーザ光を用いて
スパイラル状にトリミングして前記発熱抵抗体を形成し
、トリミングされた該発熱抵抗体の設けられた前記円筒
体及び該発熱抵抗体と前記リードとの接続部をガラスで
被覆することを第二の特徴とするものである。
゛〔発明の実施例〕
以下、実施例について説明する。
第１図及び第２図は一実施例の感温抵抗体の構造を示す
もので、第１図は斜視図、Ｉ／ｃ２図はｊＸ１図のＹ部
の断面図を示しており、第３図は第１図の感温抵抗体と
温度補償用抵抗体（以下ＣＦと称する）とを流路に設置
したＡＦＭの構造の説明図である。これらの図で第１図
及び第２図と同一部分には同一符号が付しである。これ
らの図で、５は薄膜を発熱抵抗体とする感温抵抗体（以
下ＨＦと称する）、６は発熱抵抗体を構成する白金薄膜
、７は白金ペーストを示し、８は主通路、９はバイパス
通路、１０はＣＦを示している。
もので、第１図は斜視図、Ｉ／ｃ２図はｊＸ１図のＹ部
の断面図を示しており、第３図は第１図の感温抵抗体と
温度補償用抵抗体（以下ＣＦと称する）とを流路に設置
したＡＦＭの構造の説明図である。これらの図で第１図
及び第２図と同一部分には同一符号が付しである。これ
らの図で、５は薄膜を発熱抵抗体とする感温抵抗体（以
下ＨＦと称する）、６は発熱抵抗体を構成する白金薄膜
、７は白金ペーストを示し、８は主通路、９はバイパス
通路、１０はＣＦを示している。
主通路８は冷間圧延鋼板を板金絞り成形した上流側ダク
ト１１と下流側ダクト１２を中央部でロー付によシ結合
してなる。上流ダクト１１の下流側にはリング状のコ形
突部１３が形成され、下流ダクト１２と組合わされ走時
、主通路８の外周にリング状の通路を形成する。このリ
ング状の通路の外周には流入口１４がめシ内周部には流
入口１４に対して２１０°＃Ｉれた位置に主通路８の最
狭部１５と合流する開口部１６を有する。主通路８の上
流にはメツシュ１７が固定されている。バイパス通路９
とＨＦ５．ＣＦＩＯを駆動する回路を収納するモジュー
ル部１８を一体にしたバイパスモジュール１９Ｆｉ薄肉
のアルミダイカストによシ成形される。バイパス入口部
２０は突出しＨＦ５の上流部の長さを長くして整流効果
を得ることができる。ＨＦ５とＣＦＩＯは樹脂部２１に
埋設され九リードビン２２，２２，２３．２３のバイパ
ス側突出部にそれぞれ点溶接して固定する。これらのリ
ードピンの他端はモジュールケースの中に人！５、ｆ（
Ｆ駆動回路２３にリードフレーム（図示せず）などを介
して連結される。また、バイパスモジュール１９のバイ
パスの下流側外周はパイプが連結できる直管部２５を有
する。バイパスモジュール１９は主通路８の上流部で流
路に垂直な面に穿った孔にバイパス上流部を差し込みＯ
ＩＪング２６を介して上方から４本のネジ（図示せず）
で固定する。バイパスの下流側と前記主通路側リング状
通路入口１４間はＬ形ゴムホース２６で連結する。向、
７ランジ２７はＡＦＭをエアクリーナに直結するための
ものである。
ト１１と下流側ダクト１２を中央部でロー付によシ結合
してなる。上流ダクト１１の下流側にはリング状のコ形
突部１３が形成され、下流ダクト１２と組合わされ走時
、主通路８の外周にリング状の通路を形成する。このリ
ング状の通路の外周には流入口１４がめシ内周部には流
入口１４に対して２１０°＃Ｉれた位置に主通路８の最
狭部１５と合流する開口部１６を有する。主通路８の上
流にはメツシュ１７が固定されている。バイパス通路９
とＨＦ５．ＣＦＩＯを駆動する回路を収納するモジュー
ル部１８を一体にしたバイパスモジュール１９Ｆｉ薄肉
のアルミダイカストによシ成形される。バイパス入口部
２０は突出しＨＦ５の上流部の長さを長くして整流効果
を得ることができる。ＨＦ５とＣＦＩＯは樹脂部２１に
埋設され九リードビン２２，２２，２３．２３のバイパ
ス側突出部にそれぞれ点溶接して固定する。これらのリ
ードピンの他端はモジュールケースの中に人！５、ｆ（
Ｆ駆動回路２３にリードフレーム（図示せず）などを介
して連結される。また、バイパスモジュール１９のバイ
パスの下流側外周はパイプが連結できる直管部２５を有
する。バイパスモジュール１９は主通路８の上流部で流
路に垂直な面に穿った孔にバイパス上流部を差し込みＯ
ＩＪング２６を介して上方から４本のネジ（図示せず）
で固定する。バイパスの下流側と前記主通路側リング状
通路入口１４間はＬ形ゴムホース２６で連結する。向、
７ランジ２７はＡＦＭをエアクリーナに直結するための
ものである。
次に、ＨＦの装造方法について説明する。
第１図及び第２図に示すような外径φ０．３５１１Ｊ内
径φ０．２ｍ、長さ２ｍのアルミナパイプＩＫ白金薄１
２６をバレルスパッタによシ膜厚２μｍへ４μｍ着膜す
る。スパッタ後の抵抗値は目標最終抵抗値の１１５０〜
１ ／ １００であシ抵抗値のばらつきは±１５％以内
である。アルミナパイプｌにバレルスパッタする時には
アルミナパイプ１内径に対する長さが８倍以上でないと
アルミナパイプ１内径部に導体が人プ導通してしまうこ
とがある。
径φ０．２ｍ、長さ２ｍのアルミナパイプＩＫ白金薄１
２６をバレルスパッタによシ膜厚２μｍへ４μｍ着膜す
る。スパッタ後の抵抗値は目標最終抵抗値の１１５０〜
１ ／ １００であシ抵抗値のばらつきは±１５％以内
である。アルミナパイプｌにバレルスパッタする時には
アルミナパイプ１内径に対する長さが８倍以上でないと
アルミナパイプ１内径部に導体が人プ導通してしまうこ
とがある。
次にアルミナパイプｌの内側両端及び両断面にフイラ入
シの白金ペースト７を塗布したものに先端部にフイラ入
りの白金ペーストを塗布したリードを嵌挿し１ｏｏｏｃ
〜１２００Ｃで・奥付は固定すると同時に白金薄膜も熱
処理して結晶化し耐久的に安定な薄膜にする。この熱処
理で抵抗値はスパッタ後の値の約１／２になシ、その抵
抗値のばらつきは±１５％でめった。次にレーザによる
抵抗スパイラルトリミングを行うが、白金抵抗体は通常
の抵抗トリミングを行うと白金の温度係数が大きいため
トリミング中のレーザの熱で抵抗値は数百〜数千ｇの直
を示し大きくばらつくため、予測法トリミングを採用す
る。たとえば、スパイラルトリセングを途中で一旦停止
してトリミング長とトリミング後の抵抗値をもとに残シ
のトリミング長を目標抵抗値かられり出す方法をとれば
曳い。最後にガラス４をオーバコートする。このように
して得られた感温抵抗体には、過電流を流してエージン
グを行い薄膜の継時変化をおさえる。このようにして製
造され＆ＨＦ、ＣＦを支持ターミナル２２．２２，２３
．２３に溶接固定してｇａ図に示すようにＡＦ’Ｍに組
上げる。、電気的にはこれらＨｌｉ”、ＣＰｔｇｅ図に
示す電子回路に組込み駆動する。即ち）ＩＦ５．ＣＦＩ
Ｏは他の抵抗２８゜２９とブリッジを構成する。このブ
リッジの差電圧をアンプ３０を介して差動増幅し、トラ
ンジスタ３１を駆動するフィードバック回路を構成する
。
シの白金ペースト７を塗布したものに先端部にフイラ入
りの白金ペーストを塗布したリードを嵌挿し１ｏｏｏｃ
〜１２００Ｃで・奥付は固定すると同時に白金薄膜も熱
処理して結晶化し耐久的に安定な薄膜にする。この熱処
理で抵抗値はスパッタ後の値の約１／２になシ、その抵
抗値のばらつきは±１５％でめった。次にレーザによる
抵抗スパイラルトリミングを行うが、白金抵抗体は通常
の抵抗トリミングを行うと白金の温度係数が大きいため
トリミング中のレーザの熱で抵抗値は数百〜数千ｇの直
を示し大きくばらつくため、予測法トリミングを採用す
る。たとえば、スパイラルトリセングを途中で一旦停止
してトリミング長とトリミング後の抵抗値をもとに残シ
のトリミング長を目標抵抗値かられり出す方法をとれば
曳い。最後にガラス４をオーバコートする。このように
して得られた感温抵抗体には、過電流を流してエージン
グを行い薄膜の継時変化をおさえる。このようにして製
造され＆ＨＦ、ＣＦを支持ターミナル２２．２２，２３
．２３に溶接固定してｇａ図に示すようにＡＦ’Ｍに組
上げる。、電気的にはこれらＨｌｉ”、ＣＰｔｇｅ図に
示す電子回路に組込み駆動する。即ち）ＩＦ５．ＣＦＩ
Ｏは他の抵抗２８゜２９とブリッジを構成する。このブ
リッジの差電圧をアンプ３０を介して差動増幅し、トラ
ンジスタ３１を駆動するフィードバック回路を構成する
。
そして）ＩＦ５はＣＦＩＯと共にバイパス通路９の中に
配置し、周囲温度に対して常に一定の温度差Ｔｍ−２０
０Ｃ１に保持するように制御する。出力電圧ｆｉ第６図
におけるｖ２をゼロ、スパン調整回路（図示せず）によ
シ調整しｖｏとして取出す。
配置し、周囲温度に対して常に一定の温度差Ｔｍ−２０
０Ｃ１に保持するように制御する。出力電圧ｆｉ第６図
におけるｖ２をゼロ、スパン調整回路（図示せず）によ
シ調整しｖｏとして取出す。
流量出力Ｑは
Ｑｗ ａ Ｖｏ’＋ ｂ Ｖ６ｊ＋ ｃ ＶＯ”＋ ｄ
Ｖ＋ｅ −（１）としてｖｏの４乗根関数として表
わされる。ここでａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅｔ：を定数を表わ
す。
Ｖ＋ｅ −（１）としてｖｏの４乗根関数として表
わされる。ここでａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅｔ：を定数を表わ
す。
ＡＦＭに電源電圧Ｖｉ−１４Ｖを供給し駆動するとＱ−
１００Ｋｆ／ｈ （Ｄ場合１１ＣＶｏ ＝４．ｏｉｏｖ
。
１００Ｋｆ／ｈ （Ｄ場合１１ＣＶｏ ＝４．ｏｉｏｖ
。
出力電圧が得られるが、そのＶｏｐ−ｐ ＝ ８３ ｍ
Ｖで、Ｎ／８ ＝ΔＱ／Ｑ＝ＩＬ２８チ変動していた。
Ｖで、Ｎ／８ ＝ΔＱ／Ｑ＝ＩＬ２８チ変動していた。
その主要な原因は颯子回呻そのものから発生するのでは
なく、ＨＦの空気の流れへの熱伝達量の変化によるもの
である。すなわち、空気の流れはバイパス径Ｄｔつ大小
や、バイパス人力からＨＦ取付位置１．までの距離の大
小によって微妙な変化を示すが、ここでは最適値として
Ｄｔ＝１０ｍｔｔ＝３０ｍ＋とじ九。第７図はＨＦの出
力変動、所ｄ１、ノイズをＨＷと比較して示したもので
、横軸、縦軸にはそれぞれ流量（Ｋｆ／ｈ）、ノイズΔ
Ｑ／Ｑ（チ）、すなわち、実測の最大ノイズ分を出力の
平均値に対する割合で示したもので、ΔＶ／Ｖ値をω式
をもとにしてΔＱ／Ｑ値に変換して示してあυ、ｐ、ｗ
＃ｉそれぞれＨＦ、ＨＷを示している。
なく、ＨＦの空気の流れへの熱伝達量の変化によるもの
である。すなわち、空気の流れはバイパス径Ｄｔつ大小
や、バイパス人力からＨＦ取付位置１．までの距離の大
小によって微妙な変化を示すが、ここでは最適値として
Ｄｔ＝１０ｍｔｔ＝３０ｍ＋とじ九。第７図はＨＦの出
力変動、所ｄ１、ノイズをＨＷと比較して示したもので
、横軸、縦軸にはそれぞれ流量（Ｋｆ／ｈ）、ノイズΔ
Ｑ／Ｑ（チ）、すなわち、実測の最大ノイズ分を出力の
平均値に対する割合で示したもので、ΔＶ／Ｖ値をω式
をもとにしてΔＱ／Ｑ値に変換して示してあυ、ｐ、ｗ
＃ｉそれぞれＨＦ、ＨＷを示している。
グラフ上で４０〜８０Ｋｆ／ｈ付近にピーク値が６１）
、ＨＷの最大ノイズは約９１であるが、これに対して）
ｆＦは最大３チ低減されて最大値でｌとなってい゛る。
、ＨＷの最大ノイズは約９１であるが、これに対して）
ｆＦは最大３チ低減されて最大値でｌとなってい゛る。
現行のエミッションコントロール用コンピュータのテン
プリングＦｉ２０ ｍ ｓ −８００μｓ毎に行なわれ
ているため、その取込は全くランダムで、ｌその時々に
よる誤差が問題となる。
プリングＦｉ２０ ｍ ｓ −８００μｓ毎に行なわれ
ているため、その取込は全くランダムで、ｌその時々に
よる誤差が問題となる。
ノイズ成分は小さくしないと必要空気流量の測定精度が
向上しな！ため）ｆＦにしたことによるノイズ低減の精
度に対する効果は大である。
向上しな！ため）ｆＦにしたことによるノイズ低減の精
度に対する効果は大である。
この他の精度に対する要因として応答性がある。
第８図は高圧のエアを吹付ける方式でＨＦとＨＷとの応
答性を比較測定したもので、図の横軸には時間（ｍ ｍ
）、縦軸には空気流量（Ｋｆ／ｈ）、すなやち、電圧
ＶＯ値をＵ）式を用いてコンピュータによシ流量Ｑ値に
変換した値がセつてめシ、ＦｐＷはそれぞれＨＦ（φ０
．３６閣、２ｔ）、）（Ｗ（φ０．５５ｍ、２４）の場
合を示している。この図から明らかなように、ＨＦ、）
（Ｗの場合の立上り応答はそれぞれ約１０Ｑｍｓ、 １
ｌｉｅｌ）以上であるので、ＨＦにすることによシ、応
答時間は１／１０以下に短縮でき九ことになる９応答特
性の改善に０第９図艷示す１うに始動時間が短縮され・
自動車の加速時の突気流量急変時の追従性が向上し、運
転性が大幅に向上することができる。Ｍ９図は横軸に時
間Ｔ（ｍ（６））、縦軸、に出力電圧Ｖｏ（Ｖ）がとつ
”Ｃ；ｈＤ、Ｖｍ ＝１４．５Ｖ、Ｑ−１３Ｋｆ／ｈ。
答性を比較測定したもので、図の横軸には時間（ｍ ｍ
）、縦軸には空気流量（Ｋｆ／ｈ）、すなやち、電圧
ＶＯ値をＵ）式を用いてコンピュータによシ流量Ｑ値に
変換した値がセつてめシ、ＦｐＷはそれぞれＨＦ（φ０
．３６閣、２ｔ）、）（Ｗ（φ０．５５ｍ、２４）の場
合を示している。この図から明らかなように、ＨＦ、）
（Ｗの場合の立上り応答はそれぞれ約１０Ｑｍｓ、 １
ｌｉｅｌ）以上であるので、ＨＦにすることによシ、応
答時間は１／１０以下に短縮でき九ことになる９応答特
性の改善に０第９図艷示す１うに始動時間が短縮され・
自動車の加速時の突気流量急変時の追従性が向上し、運
転性が大幅に向上することができる。Ｍ９図は横軸に時
間Ｔ（ｍ（６））、縦軸、に出力電圧Ｖｏ（Ｖ）がとつ
”Ｃ；ｈＤ、Ｖｍ ＝１４．５Ｖ、Ｑ−１３Ｋｆ／ｈ。
Ｔｈ−Ｔ’−７−２００Ｃの場合を示し、Ｆ、Ｗ竺それ
ぞれＨＦ（φ０．３５ｍ、２ｔ）、１（Ｗ（φ０．５０
ｍ、２ｔ）の場合を示している。
ぞれＨＦ（φ０．３５ｍ、２ｔ）、１（Ｗ（φ０．５０
ｍ、２ｔ）の場合を示している。
４１０図はｉ（Ｆの消費′電力を１−ＩＷと比較して示
したものでＴｈ −Ｔ−＝２０ＱＣの場合で、横軸には
Ｖ回（Ｋ４／ ｈ）”” 、縦軸にはＩ ｈ” （ＸＩ
Ｏ−”Ａ”）がとってあり、Ｈ，Ｗはそれぞれ）ＩＦ’
（φ０．３５鴎、２ｔ）、ＨＷ（φ０．５間、２ｔ）の
場合を示しておシ、Ａ、Ｂをそれぞれｖ’Ｑ＝０の場合
のＩｈ” の値、曲線の勾配を示すとすれば、Ｌ−＝
Ａ＋ａＶ可で表わされる。この図から明らかなように、
ＨＰの場合には、全熱容量が少ないこととリードを介し
てターミナルへ伝導する熱量が少なくなったことによシ
ミ力消費量は減少している。
したものでＴｈ −Ｔ−＝２０ＱＣの場合で、横軸には
Ｖ回（Ｋ４／ ｈ）”” 、縦軸にはＩ ｈ” （ＸＩ
Ｏ−”Ａ”）がとってあり、Ｈ，Ｗはそれぞれ）ＩＦ’
（φ０．３５鴎、２ｔ）、ＨＷ（φ０．５間、２ｔ）の
場合を示しておシ、Ａ、Ｂをそれぞれｖ’Ｑ＝０の場合
のＩｈ” の値、曲線の勾配を示すとすれば、Ｌ−＝
Ａ＋ａＶ可で表わされる。この図から明らかなように、
ＨＰの場合には、全熱容量が少ないこととリードを介し
てターミナルへ伝導する熱量が少なくなったことによシ
ミ力消費量は減少している。
以上の如く、トの実施例のＨＦは従来のＨＷに対してこ
のような特性上のメリットがある他、半／トのコストが
ＨＷｋ対し約１／２に低減できる利点がある。なお、耐
熱性は４５０Ｃ以上でありＨＷと同等で＝る。−４０Ｃ
中でＴｉ−３００Ｃ１４Ｖ通電オン４（６）、オフ４９
４１Ｇの１０万サイクルの耐久テスト結果でも出力の変
化はΔＱ／Ｑ≦±２−で１、耐振性４５０ Ｇ、 １
０ Ｈｚ 〜Ｉ ＫＨｚ２ｍ掃引、ＸＹＺ軸各３時間で
出力の変化ΔＱ／Ｑ≦±１−以下である。以上の実施例
によれば小形の）（Ｆを空気流量針のセンサエレメント
として採用することによシフイズをΔＱ／Ｑで最大３０
チ低減できる。応答時間は熱容量が小さくなりリードが
細くなるたため、３τ（９５チ応答）で１／１０以下に
短縮できる。また、センナエレメントの製造原画は半導
体ａ造波術が応用でき約１／２に低減できる。本発明に
よれば安価で高精度のＡＦＭ用のセンサエレメントが提
供できる。
のような特性上のメリットがある他、半／トのコストが
ＨＷｋ対し約１／２に低減できる利点がある。なお、耐
熱性は４５０Ｃ以上でありＨＷと同等で＝る。−４０Ｃ
中でＴｉ−３００Ｃ１４Ｖ通電オン４（６）、オフ４９
４１Ｇの１０万サイクルの耐久テスト結果でも出力の変
化はΔＱ／Ｑ≦±２−で１、耐振性４５０ Ｇ、 １
０ Ｈｚ 〜Ｉ ＫＨｚ２ｍ掃引、ＸＹＺ軸各３時間で
出力の変化ΔＱ／Ｑ≦±１−以下である。以上の実施例
によれば小形の）（Ｆを空気流量針のセンサエレメント
として採用することによシフイズをΔＱ／Ｑで最大３０
チ低減できる。応答時間は熱容量が小さくなりリードが
細くなるたため、３τ（９５チ応答）で１／１０以下に
短縮できる。また、センナエレメントの製造原画は半導
体ａ造波術が応用でき約１／２に低減できる。本発明に
よれば安価で高精度のＡＦＭ用のセンサエレメントが提
供できる。
すなわち、本発明の感温抵抗体はアルミナパイプを押出
し成形し焼成して切断後、パイプの表面に白金をバレル
スパッタによシ着膜形成する。そしてリードをパイプの
両端に白金ペーストを用いて焼付けると同時に白金薄膜
も熱処理し、その後レーザでスパイラル状にトリミング
して、ガラスをオーバコートしている。従って、ＨＷの
線を捲く約２鴎間の作業に相当するレーザのスパイラル
トリミング作業は約２１１ｅＯ間で完了する。また、−
膜抵抗体には外力を全くかけずに抵抗体を形成でき、大
葉生産が可能である。レーザのトリミングスポットは最
小でφ３０μｍであり導体幅はほぼこの幅以上であれば
１（Ｆとしての機能を保持できる。トリミングはボビン
の外径に偏心がなければφ０．１ ｍの極細のボビンま
で抵抗トリミングが可能である。従って、このように径
の小さいアルミナパイプや棒ができれば、ＨＷでは作る
ことのできなかった非常に小形状のＨＦも容易に作るこ
とが可能である。すなわち、ＨＷでは従来外径φ０．５
箇、長さ２鵡のボビンにφ２０μｍの白金線を３７巻巻
いて２０ｇの抵抗値を得ていた。ところが外径φ０．３
５ ｆｉ、長さ２麿にすると同じ抵抗値にするためには
線の太さをφ１６ｔｉｍにする必要がある。このように
線が細くなると捲線時の断線の頻度が上昇し、ＨＷの価
格はさらに高価なものになる。これに対して、ＨＦの外
径を細くした場合には膜厚３μｍを２μｍに薄くするこ
とにより容易に対応が可能である。
し成形し焼成して切断後、パイプの表面に白金をバレル
スパッタによシ着膜形成する。そしてリードをパイプの
両端に白金ペーストを用いて焼付けると同時に白金薄膜
も熱処理し、その後レーザでスパイラル状にトリミング
して、ガラスをオーバコートしている。従って、ＨＷの
線を捲く約２鴎間の作業に相当するレーザのスパイラル
トリミング作業は約２１１ｅＯ間で完了する。また、−
膜抵抗体には外力を全くかけずに抵抗体を形成でき、大
葉生産が可能である。レーザのトリミングスポットは最
小でφ３０μｍであり導体幅はほぼこの幅以上であれば
１（Ｆとしての機能を保持できる。トリミングはボビン
の外径に偏心がなければφ０．１ ｍの極細のボビンま
で抵抗トリミングが可能である。従って、このように径
の小さいアルミナパイプや棒ができれば、ＨＷでは作る
ことのできなかった非常に小形状のＨＦも容易に作るこ
とが可能である。すなわち、ＨＷでは従来外径φ０．５
箇、長さ２鵡のボビンにφ２０μｍの白金線を３７巻巻
いて２０ｇの抵抗値を得ていた。ところが外径φ０．３
５ ｆｉ、長さ２麿にすると同じ抵抗値にするためには
線の太さをφ１６ｔｉｍにする必要がある。このように
線が細くなると捲線時の断線の頻度が上昇し、ＨＷの価
格はさらに高価なものになる。これに対して、ＨＦの外
径を細くした場合には膜厚３μｍを２μｍに薄くするこ
とにより容易に対応が可能である。
すなわち、従来のＨＷに比して小形状のＨＦ’を採用す
ることによシ、第７図に示すように出力電圧ノイズの影
響は最大３０％低減することが可能である。その原因は
エレメント形状が小さくなったためにリードやターミナ
ルなどの支持部の温度分布が低くなり壁面流によって生
ずる乱売の影響度が低減されたことによる。また、５ｐ
ｃ９図に示すように応答時間は立上り３τの応答で従来
のＨＷがｌ５Ｂ３でめったのに対し、ＨＦは１００ｍ（
６）前後と約１／１０に低減する。その原因としてはエ
レメントの熱容量がＨＷ外径φ０．５５ＩＩＩＩＩに対
しＨＦ外径φ０．３７ ｍでは約１／２に減少し九こと
とリード線径が）（Ｗφ０．２ ｒａｉに対しＨＦφ０
．１５麿と細くなってターミナルへの熱伝導量が減少し
、それにＨＷは白金層線が熱伝導率（λａ −０，６４
ｋ ｃｎｌ ／ ｍ ｈ Ｃ）の悪いオーバコートガラ
スに包まれてアルミナパイプに対して線接触していたの
に対しＨＦでは熱伝導率（λＡ ＝ １５．８ ｋ ｍ
／ｍｈＣ）の良いアルミナパイプに白金薄膜が密着して
いることなどによる。また、熱容量が小さくなった念め
、消費電力も第１０−１に示すように低減する。
ることによシ、第７図に示すように出力電圧ノイズの影
響は最大３０％低減することが可能である。その原因は
エレメント形状が小さくなったためにリードやターミナ
ルなどの支持部の温度分布が低くなり壁面流によって生
ずる乱売の影響度が低減されたことによる。また、５ｐ
ｃ９図に示すように応答時間は立上り３τの応答で従来
のＨＷがｌ５Ｂ３でめったのに対し、ＨＦは１００ｍ（
６）前後と約１／１０に低減する。その原因としてはエ
レメントの熱容量がＨＷ外径φ０．５５ＩＩＩＩＩに対
しＨＦ外径φ０．３７ ｍでは約１／２に減少し九こと
とリード線径が）（Ｗφ０．２ ｒａｉに対しＨＦφ０
．１５麿と細くなってターミナルへの熱伝導量が減少し
、それにＨＷは白金層線が熱伝導率（λａ −０，６４
ｋ ｃｎｌ ／ ｍ ｈ Ｃ）の悪いオーバコートガラ
スに包まれてアルミナパイプに対して線接触していたの
に対しＨＦでは熱伝導率（λＡ ＝ １５．８ ｋ ｍ
／ｍｈＣ）の良いアルミナパイプに白金薄膜が密着して
いることなどによる。また、熱容量が小さくなった念め
、消費電力も第１０−１に示すように低減する。
なお、このＨＦは、表面積がλ２５−以下、熱容ｆｉｔ
カ０．１３ ｘ １０−’ ”／ Ｃ以下、！−／ ｄ
２＞１５．５以上のとき良い結果が得られる。以下そ
の根拠についてｄＸｌｌ−４１３図を用いて説明する。
カ０．１３ ｘ １０−’ ”／ Ｃ以下、！−／ ｄ
２＞１５．５以上のとき良い結果が得られる。以下そ
の根拠についてｄＸｌｌ−４１３図を用いて説明する。
測定に用いたＡＦＭＦｉ主通路に開口並設したバイパス
通路を有するもので、バイパスの直管部にＨＦ５゜ＣＦ
ＩＯをそれぞれリードビン２２．２３で溶接固定した構
造で第１１図はその部分の斜視図、第１２図は第１１図
の２方向視図である。その測定結果を示したのが４１３
図で、横軸には、表面積（−）、熱容量（ｘ １ ｇ
−ａ ｍ ／ｃ ＞、ｔ／ｄがとってあシ、縦軸には３
τ（ｍｓ）がとってあり、Ｌ ＝ ２ ｍの場合を示し
である。ＨＦ’、ＣＦは製品の価格や重量軽減のためバ
イパス通路径はできるだけ小形にすることが望まれ、従
って、）ＩＰ。
通路を有するもので、バイパスの直管部にＨＦ５゜ＣＦ
ＩＯをそれぞれリードビン２２．２３で溶接固定した構
造で第１１図はその部分の斜視図、第１２図は第１１図
の２方向視図である。その測定結果を示したのが４１３
図で、横軸には、表面積（−）、熱容量（ｘ １ ｇ
−ａ ｍ ／ｃ ＞、ｔ／ｄがとってあシ、縦軸には３
τ（ｍｓ）がとってあり、Ｌ ＝ ２ ｍの場合を示し
である。ＨＦ’、ＣＦは製品の価格や重量軽減のためバ
イパス通路径はできるだけ小形にすることが望まれ、従
って、）ＩＰ。
ＣＦの長さは可能な限シ短かくすることが必要である。
一方、信号出力を得るための回路構成からエレメントの
抵抗値が１０〜２０Ωとなるが、この抵抗値をトリミン
グで得るためには、レーザト票タ リミングスポット最小径φ３０μであること、電流密度
１０，０ＯＯＡ／−以下で使用しなければならないため
薄膜厚さは１μｍ〜４μｍにする必要があること、アル
ミナパイプの両端にリードを固定するための接着代０．
５ ｔｍが必要であること、などを総合するとボビン全
長は２ｗｓ以上が必要となる。
抵抗値が１０〜２０Ωとなるが、この抵抗値をトリミン
グで得るためには、レーザト票タ リミングスポット最小径φ３０μであること、電流密度
１０，０ＯＯＡ／−以下で使用しなければならないため
薄膜厚さは１μｍ〜４μｍにする必要があること、アル
ミナパイプの両端にリードを固定するための接着代０．
５ ｔｍが必要であること、などを総合するとボビン全
長は２ｗｓ以上が必要となる。
外径寸法はアルミナパイプの成形技術によって左右され
、現状の技術ではφ０．３５＋ａｚ以下は成形困禰であ
る。第１３図には、ボビン全長２鵡として、外径を変え
たボビンに白金薄膜を形成し７’ｔＨＦの応答特性の比
較が示しであるが、応答特性の評価の目標値は次のよう
な実車のデータがベースになっている。すなわち、多点
燃料噴射システムを搭載した自動車の吸気管にＡＦＭを
取付けて運転動作させた時の加速応答のフィーリングテ
ストで立上シ３τ１８０ｍ５以下のものが合格し、それ
以上のものでは、加速時に遅れが生じ、運転上のフィー
リングが悪いかめるいは悪い場合がめるという評価にな
っている。
、現状の技術ではφ０．３５＋ａｚ以下は成形困禰であ
る。第１３図には、ボビン全長２鵡として、外径を変え
たボビンに白金薄膜を形成し７’ｔＨＦの応答特性の比
較が示しであるが、応答特性の評価の目標値は次のよう
な実車のデータがベースになっている。すなわち、多点
燃料噴射システムを搭載した自動車の吸気管にＡＦＭを
取付けて運転動作させた時の加速応答のフィーリングテ
ストで立上シ３τ１８０ｍ５以下のものが合格し、それ
以上のものでは、加速時に遅れが生じ、運転上のフィー
リングが悪いかめるいは悪い場合がめるという評価にな
っている。
このような制約から前述のＨＦエレメントの表面積、熱
容量、ｔ／ｄの限界籠が決定され、また一方、捲線形で
はボビン径φ０．４ｍ、＋７−ド径φ０、２ ｗｍ以下
になると巻線作−が困膳になシ製品化が不可能になる。
容量、ｔ／ｄの限界籠が決定され、また一方、捲線形で
はボビン径φ０．４ｍ、＋７−ド径φ０、２ ｗｍ以下
になると巻線作−が困膳になシ製品化が不可能になる。
この感温抵抗体を用いた空気流量針は、内燃機関、特に
高馬力、低燃費、排ガス等の制御に高精度で即応できる
燃料噴射装置を有する内燃機関の制御に好適である。
高馬力、低燃費、排ガス等の制御に高精度で即応できる
燃料噴射装置を有する内燃機関の制御に好適である。
な訃、前述の実施例では、ｆ（Ｆｔ−製造する際、アル
ミナパイプに白金薄膜を着膜した後、アルミナパイプ内
側両端及び両断面にフイラ入シの白金ペーストを塗布し
たものに先端部に白金ペーストを塗布したリードを嵌挿
し、熱処理して焼付は固定と白金薄膜を結晶化した後レ
ーザによる抵抗スパイラルトリミングを行なったが、次
のようにしても良い。すなわち、最初、アルミナパイプ
の内側両端及び両断面にフイラ人シの白金ペーストを塗
布したものに、先端にフイラ入りの白金ペーストを塗布
したリードを嵌挿し、熱処理してリードをアルミナパイ
プに焼付は固定する。このリードの固定されたアルミナ
パイプにバレルスパッタにより白金薄膜を着膜する。次
に白金薄膜を熱処理して結晶化し耐久的に安定な雫膜に
する。この後の処理は前述の実施例と同様に行なわれる
。この方法は前述の方法よシも工数が増加するが、同様
の作用効果を有するＨＦｔ−製造することができる。
ミナパイプに白金薄膜を着膜した後、アルミナパイプ内
側両端及び両断面にフイラ入シの白金ペーストを塗布し
たものに先端部に白金ペーストを塗布したリードを嵌挿
し、熱処理して焼付は固定と白金薄膜を結晶化した後レ
ーザによる抵抗スパイラルトリミングを行なったが、次
のようにしても良い。すなわち、最初、アルミナパイプ
の内側両端及び両断面にフイラ人シの白金ペーストを塗
布したものに、先端にフイラ入りの白金ペーストを塗布
したリードを嵌挿し、熱処理してリードをアルミナパイ
プに焼付は固定する。このリードの固定されたアルミナ
パイプにバレルスパッタにより白金薄膜を着膜する。次
に白金薄膜を熱処理して結晶化し耐久的に安定な雫膜に
する。この後の処理は前述の実施例と同様に行なわれる
。この方法は前述の方法よシも工数が増加するが、同様
の作用効果を有するＨＦｔ−製造することができる。
本発明は、以上の如く、安価で高精度な空気流量計用の
感温抵抗体及びその製造方法を提供可能とするもので、
産業上の効果の大なるものである。
感温抵抗体及びその製造方法を提供可能とするもので、
産業上の効果の大なるものである。
は５１！１図の感温抵抗体を１度補償用抵抗体とともに
流路に設置した空気流量計の説明図、第４図は従来の空
気流量計の感温抵抗体の斜視図、４５図は第４図のＸ部
の断面図、第６図は感温抵抗体駆動用の電子回路の説明
図、第７図は実施例の感温抵抗体の出力変動を従来の感
温抵抗体と比較して）示す線図、第８図は同じく応答特
性を比較して示す線図、第９図は同じく出力の始動応答
を比較して示す線図、ｓｌＯ図は同じく消費電力を比較
して示す線図、第１１図は感温抵抗体及び温度補償用抵
抗体の取り付は状態を示す斜視図、第１２図は第１１図
の２方向大視断面図、第１１図は本発明の空気流量計の
感温抵抗体の有効使用範囲を示す特性線図である。 ｌ・・・アルミナディプ、２・・・リード、暴−咄→補
軸ト４・・・ガラス、５・・・（４ｇを発熱抵抗体とす
る）感温抵抗体、６・・・白金薄膜、７・・・白金ペー
スト、８・・・主通路、９・・・バイパス通路、ｌＯ・
・・温度補償用抵抗体。 茅 １ 囲 茅 ２ 困 ４３ 口 茅４ 固 茅 、５′″ 囚 第６ 困 茅７ 目 液量 （にり／（〕 茶 δ 目 ！！ｒ ｍ （ａｓｅｃ、） 茅 デ 凹 θ ４６θ δσσ １２σ０
１６０θ ２ジσθｌｆ ｒｌｊｌ Ｔ
（ｎｓｅｃ）某ｌｏ 目 Ｚ （にう／にλろ ｉｐ、ｔ＋ 目 茅ｌ？ 邑 、り 茅 １３ 巴
流路に設置した空気流量計の説明図、第４図は従来の空
気流量計の感温抵抗体の斜視図、４５図は第４図のＸ部
の断面図、第６図は感温抵抗体駆動用の電子回路の説明
図、第７図は実施例の感温抵抗体の出力変動を従来の感
温抵抗体と比較して）示す線図、第８図は同じく応答特
性を比較して示す線図、第９図は同じく出力の始動応答
を比較して示す線図、ｓｌＯ図は同じく消費電力を比較
して示す線図、第１１図は感温抵抗体及び温度補償用抵
抗体の取り付は状態を示す斜視図、第１２図は第１１図
の２方向大視断面図、第１１図は本発明の空気流量計の
感温抵抗体の有効使用範囲を示す特性線図である。 ｌ・・・アルミナディプ、２・・・リード、暴−咄→補
軸ト４・・・ガラス、５・・・（４ｇを発熱抵抗体とす
る）感温抵抗体、６・・・白金薄膜、７・・・白金ペー
スト、８・・・主通路、９・・・バイパス通路、ｌＯ・
・・温度補償用抵抗体。 茅 １ 囲 茅 ２ 困 ４３ 口 茅４ 固 茅 、５′″ 囚 第６ 困 茅７ 目 液量 （にり／（〕 茶 δ 目 ！！ｒ ｍ （ａｓｅｃ、） 茅 デ 凹 θ ４６θ δσσ １２σ０
１６０θ ２ジσθｌｆ ｒｌｊｌ Ｔ
（ｎｓｅｃ）某ｌｏ 目 Ｚ （にう／にλろ ｉｐ、ｔ＋ 目 茅ｌ？ 邑 、り 茅 １３ 巴
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、円筒体の両端にそれぞれリードが挿嵌され、該リー
ドのそれぞれにその両端が接続する発熱抵抗体が前記円
筒体上に配設され、該発熱抵抗体をガラスで被覆してな
る空気流量計の感温抵抗体において、前記発熱抵抗体が
アルミナよりなる前記円筒体にスパイラル状に被着した
白金薄膜よりなり、その表面積が２．５ｍｍ＾３以下で
、前記発熱抵抗体の配設されている部分の熱容量が１．
３×１０＾−＾３ｃａｌ／℃以下、前記円筒体の外径が
ｄｍｍ、長さがｌｍｍであるときｌ／ｄが５．５以上で
あることを特徴とする空気流量計の感温抵抗体。 ２、円筒体の両端にそれぞれリードが挿嵌され、該リー
ドのそれぞれにその両端が接続され前記円筒体上に発熱
抵抗体が配設され、該発熱抵抗体をガラスで被覆してな
る空気流量計の感温抵抗体の製造方法において、前記円
筒体の内側中央部を除いた部分に白金薄膜を被着させ、
ついで白金薄膜が被着された該円筒体の両端部内周及び
断面に白金ペーストを存在させた状態で前記リードを挿
嵌した後加熱して、前記リードの前記円筒体への固定及
び前記白金薄膜の熱処理を行ない、次に該円筒体上の白
金薄膜をレーザ光を用いてパイラル状にトリミングして
前記発熱抵抗体を形成し、トリミングされた該発熱抵抗
体の設けられた前記円筒体及び該発熱抵抗体と前記リー
ドとの接続部をガラスで被覆することを特徴とする空気
流量計の感温抵抗体の製造方法。 ３、前記円筒体がアルミナよりなる特許請求の範囲第２
項記載の空気流量計の感温抵抗体の製造方法。 ４、円筒体の両端にそれぞれリードが挿嵌され、該リー
ドのそれぞれにその両端が接続され前記円筒体上に発熱
抵抗体が配設され、該発熱抵抗体をガラスで被覆してな
る空気流量計の感温抵抗体の製造方法において、前記円
筒体の両端部内周及び断面に白金ペーストを存在させた
状態で前記リードを挿嵌して焼付固定し、次に前記円筒
体及び前記リード外面に白金薄膜を被着させ熱処理した
後、該円筒体上の白金薄膜をレーザ光を用いてスパイラ
ル状にトリミングして前記発熱抵抗体を形成し、トリミ
ングされた該発熱抵抗体の設けられた前記円筒体及び該
発熱抵抗体と前記リードとの接続部をガラスで被覆する
ことを特徴とする空気流量計の感温抵抗体の製造方法。 ５、前記円筒体がアルミナよりなる特許請求の範囲第４
項記載の空気流量計の感温抵抗体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59261995A JPS61139723A (ja) | 1984-12-12 | 1984-12-12 | 空気流量計の感温抵抗体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59261995A JPS61139723A (ja) | 1984-12-12 | 1984-12-12 | 空気流量計の感温抵抗体及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61139723A true JPS61139723A (ja) | 1986-06-27 |
| JPH0441764B2 JPH0441764B2 (ja) | 1992-07-09 |
Family
ID=17369546
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59261995A Granted JPS61139723A (ja) | 1984-12-12 | 1984-12-12 | 空気流量計の感温抵抗体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61139723A (ja) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5696326U (ja) * | 1979-12-26 | 1981-07-30 | ||
| JPS56104409A (en) * | 1980-01-23 | 1981-08-20 | Hitachi Ltd | Method of manufacturing refractory resistor |
| JPS56106159A (en) * | 1980-01-28 | 1981-08-24 | Hitachi Ltd | Production of sensor for detecting flow speed and flow rate |
| JPS59104513A (ja) * | 1982-12-08 | 1984-06-16 | Hitachi Ltd | 熱式流量計 |
| JPS59175580A (ja) * | 1983-03-25 | 1984-10-04 | 株式会社日立製作所 | 発熱抵抗体 |
| JPS60218034A (ja) * | 1984-04-13 | 1985-10-31 | Mitsubishi Electric Corp | 感熱形流量検出用センサの製造方法 |
-
1984
- 1984-12-12 JP JP59261995A patent/JPS61139723A/ja active Granted
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5696326U (ja) * | 1979-12-26 | 1981-07-30 | ||
| JPS56104409A (en) * | 1980-01-23 | 1981-08-20 | Hitachi Ltd | Method of manufacturing refractory resistor |
| JPS56106159A (en) * | 1980-01-28 | 1981-08-24 | Hitachi Ltd | Production of sensor for detecting flow speed and flow rate |
| JPS59104513A (ja) * | 1982-12-08 | 1984-06-16 | Hitachi Ltd | 熱式流量計 |
| JPS59175580A (ja) * | 1983-03-25 | 1984-10-04 | 株式会社日立製作所 | 発熱抵抗体 |
| JPS60218034A (ja) * | 1984-04-13 | 1985-10-31 | Mitsubishi Electric Corp | 感熱形流量検出用センサの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0441764B2 (ja) | 1992-07-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |