JPS58110632A - 窒化ケイ素をベ−スとする焼結材料及びその製法 - Google Patents

窒化ケイ素をベ−スとする焼結材料及びその製法

Info

Publication number
JPS58110632A
JPS58110632A JP57073251A JP7325182A JPS58110632A JP S58110632 A JPS58110632 A JP S58110632A JP 57073251 A JP57073251 A JP 57073251A JP 7325182 A JP7325182 A JP 7325182A JP S58110632 A JPS58110632 A JP S58110632A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
powder
silicon
weight
silicon nitride
oxide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP57073251A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0225869B2 (ja
Inventor
ルイ・マンジヨル
セルジユ・シヤテニエ−ル
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ceraver SA
Original Assignee
Ceraver SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ceraver SA filed Critical Ceraver SA
Publication of JPS58110632A publication Critical patent/JPS58110632A/ja
Publication of JPH0225869B2 publication Critical patent/JPH0225869B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/584Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B21/00Nitrogen; Compounds thereof
    • C01B21/06Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
    • C01B21/068Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with silicon
    • C01B21/0682Preparation by direct nitridation of silicon

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、少量O酸化イツトリウムの存在下で自然焼結
を行うことによL窒化ケイ素をベースとするmJlil
れ良材料(以下焼結材料(膳t4rigfritt4)
とすゐ)を製造する方法に係る。
本発明紘頁に、etc本方法tczjIsussrnる
f/a蒙材層材料み。
窒化ケイ素粉末に焼結補助剤、例えば酸化イクトリクム
鵞大紘酸化マダネシクムを付加して該粉末を焼結するこ
町によ)・窒化ケイ素を6−スとす為物質をallする
こと紘、既に提案されている。しかし乍も窒化ケイ素粉
末は非常に高価1kII品で番多、高純度て得ることが
難しい。
空気中の酸素によって酸化され易い或いは処塩中に粉末
が配置される水中に溶解しうるような非常に微細な粉末
から出発しなければならない。粉末の酸化によりその焼
結は困難になり、場合によっては不可能にさえなる。
また、仏国特許出願第23535.03号明細書中には
、所11siAJON聾のオキシ窒化アルミニウムケイ
素の製法が提案されておp、同明細書中の方法によれば
、アルミニウムとケイ素とアルミナとの混合粉末を窒化
及び焼結して中間生成物を形成し、これを粉砕し、粉末
状の該生成物を粉末状窒化ケイ素及び少量の焼結補助剤
1例えばマグネシアと混合し1次いで得られる混合物を
焼結して緻密性のセ2t7り生成、竺を得る。該方法に
よれば非常に再粉砕されにくい中間生成物が窒化後に得
られるが、窒化ケイ素組成に近似する組成を有し乍ら多
量のアルミニウムとかな9の酸素とを含む焼結材料は得
られない・ 本発@O@的拡、廉価な初期物質から比較的短時間の工
程のみを介して、窒化ケイ素組成に近似する組成を有す
る焼結材料を製造する簡単な方法を提供することである
本発−に従う方法は、ケイ素粉末にアル1=ウムと酸化
イツトリウムとの粉末少量を付加してこれを一次窒化さ
せ、次いで窒化され良材料を焼結することを特徴とする
更に本発明方法は、好ましくは以下の特徴の少なくとも
1個を貴見する。
一ケイ素とアル電工つふと酸化イツトリウムとの粉末を
SS中に懸濁することにより皺粉末の混合物を生威し、
諌JItII液を遠心分離法により濃縮し、これを乾燥
させる。
一アルミナ球を用いて溶媒中の懸濁物を粉砕する。
一少量の一酸化炭素を付加され九窒素高含有ガスの存在
下で、−次窒化を行う。
m−酸化炭素はグラファイト炉中で窒化を行うことによ
り得られる。
一一次窒化は、骸混合粉末を約1350’C乃至140
0℃で少なくとも12時間加熱することにより行われる
一窒化された混合粉末を粒子の平均寸法が1ミクロン未
満となる迄粉砕する。
一粉砕は剛球を用いて水性媒体中で行われる。
本発明社更に、特に上記記載の方法にょ夛獲得され得る
焼結材料に係り、該材料は、窒化物全重量に対して窒化
ケイ素9o乃至100重量憾と窒化アルミニウム0乃至
10重量優と酸化イツト替つム1乃至10重量憾とを含
む。
本発明は、本発明に従う窒化ケイ素をベースとする材料
の製法に関する実施例として以下に詳記される。
実施例1 溶媒例えばヘキサノま良社へブタンを用いる湿式法によ
り、或いは単純な溶解にょ9.或いはアルミナ球(bi
ll@w l aluml肱・)を具備する粉砕機中に
通すむとにより、ケイ素粉末83重量部とアルミニウム
粉末5重量部と酸化イツトリウム12重量部とを混合す
る。糊状物(barbotine )を得、これ゛を遠
心分離法により濃縮し乾燥させる@混合粉末を窒素雰囲
気のグラファイト製誘導炉中に導入し、炉温度を135
0℃乃至1400℃に迄上昇させる。グツファイト壁に
より、窒化ガス中に低比重の一酸化炭素が発生し、その
結果、ケイ素の部分的酸化によって得られたシリカ層か
ら一酸化ケイ素SiOが蒸発するので、混合粉末の窒化
が促進され得る。
1300℃乃至1450℃で少なくとも6時間の窒化を
経友後、得られ次粉末は水及び酸に対し事実上無反応と
なる。
この粉末を1粒子の平均寸法が1ミクロン未満例えば約
0.5ミクロンになる迄剛球を用いて水性媒体中で粉砕
する。次いで、希塩酸の腐食によって粉砕時に導入され
九微量の鉄を該粉末から除去し 該粉末を水で洗浄後、
遠心脱水及び乾燥機通過により乾燥させる。
次に、従来のセラミックス技術工程、例えばプレス、押
出、鋳込み、射出等により該粉末を成形する0次いで、
1600℃以上の温度で1乃至15時間、好ましくは窒
素雰囲気下もしくは輩素高含有雰囲気下で処理すること
により、該粉末を焼結する。
窒化ケイ素と窒化アルミニウムと少量の酸化イツトリウ
ムとから形成され、理論密度値の95畳以上の密度を有
する生成物が得られる。
m虹 実施例1と同様にしてケイ素粉末89重量部とアルミニ
ウム粉末6重量部と酸化イントリクム粉末5重量部七を
混合し5次いで実施例1と同IIO処履を行う、窒化し
、窒化された粉末を粉砕し成形物を焼結し良後、前記実
施例と同様に理論密度値の95憾以上の密度を有する焼
結物が得られる。
上記実施例中に記載の処理方法は本発明の好ましい応用
実施例であるが、本発明の枠を逸することなく種々の変
形が可能でe)シ、成る処理を同様の技術的機能を有す
る他の処理に換えてもよい。
特に、混式法による出発物質粉末の混合は、乾式法によ
る混合に置換し得る。−酸化炭素は窒化を促進させるが
、ζ〇−酸化炭素を用いずに窒化ガスを使用してもよい
、該ガスは窒素の他に希ガスを含有し得る。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1警  少量の1!化イツトリクムO存在下の自然焼
    曽によタ、窒化ケイ素をベースとする鉤紬材料を躯造す
    養方法で番p1少量Oアル1ニウム看車と酸化イットν
    りム肴京を付加したケイ素看末を一次量化し1次に、電
    化し九温会粉末を再験費し、成形し、蝿曽することを特
    徴とするIl化ケイ素をベースとする飾結材料りm造方
    漁・ (2)ケイ素とアにぽ二りふと酸化イツFリウムとの肴
    車t’s中に畢濶することによ)搗合肴末t4に虞し、
    遠心分離によjF腋懸濁液を議纏し、ζat蓼腺するこ
    とを特徴とする特許請求0IIIs1項に路載の方法。 (3)S媒中の懸濁物をアル(す球を用いて粉砕するこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第2項に記載O方法。 (4)少量の一酸化炭素を付加した窒素高含有ガス中で
    一次窒化するととを特徴とする特許請求O範S第1項乃
    至第3項のいずれかに記載の方法。 (5)−酸化炭素はグラファイト炉中で窒化を行うこと
    により得られることを特徴とする特許請求の範囲第4項
    に記載の方法・ (6)  8合粉末を約1350@乃至1400℃で少
    なくとも12時間加熱することによp−次窒化すること
    を特徴とする特許請求の範厘第1項乃至第5項のいずれ
    かに記載の方法。 (7)窒化し九混合粉末を粒子平均寸法が1さクロン未
    満となる迄粉砕することを特徴とする特許請求O範囲第
    1項乃至第6項のいずれかに記載の方法。 (8)剛球を用いて水性媒体中で粉砕することを特黴と
    する善許請求0111887項に記載の方法。 (9)  窒化物全重量に対して、窒化ケイ素90乃j
    ilGo重量参と窒化アルミニウム0乃至10重量憾と
    酸化イツトリウム1乃至10重量嗟とを含むことを特徴
    とする焼結材料。
JP57073251A 1981-12-08 1982-04-30 窒化ケイ素をベ−スとする焼結材料及びその製法 Granted JPS58110632A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8122912A FR2517665B1 (fr) 1981-12-08 1981-12-08 Procede de fabrication d'un materiau fritte a base de nitrure de silicium, et materiau obtenu par ce procede
FR8122912 1981-12-18

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS58110632A true JPS58110632A (ja) 1983-07-01
JPH0225869B2 JPH0225869B2 (ja) 1990-06-06

Family

ID=9264781

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP57073251A Granted JPS58110632A (ja) 1981-12-08 1982-04-30 窒化ケイ素をベ−スとする焼結材料及びその製法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4410636A (ja)
EP (1) EP0081195B1 (ja)
JP (1) JPS58110632A (ja)
DE (1) DE3271060D1 (ja)
FR (1) FR2517665B1 (ja)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59107908A (ja) * 1982-12-08 1984-06-22 Toyo Soda Mfg Co Ltd 焼結性に優れた窒化珪素粉末の製造法
FR2544335B1 (fr) * 1983-04-13 1987-08-14 Armines Procede de fabrication de pieces ou poudres en un compose de silicium ou d'un metal, par reaction de pieces ou poudres de silicium ou d'un metal a l'etat solide sur un gaz
US4471060A (en) * 1983-07-08 1984-09-11 Ford Motor Company Method of forming a relatively stable slip of silicon metal particles and yttrium containing particles
US4552851A (en) * 1984-05-02 1985-11-12 Gte Products Corporation Formation of yttrium aluminate as sintering aid for silicon nitride bodies
JPS6191067A (ja) * 1984-10-10 1986-05-09 株式会社東芝 摺動部材
DE3685806T2 (de) * 1985-11-18 1992-12-17 Ngk Insulators Ltd Herstellung von gesinterten siliziumnitridformkoerpern.
US5275985A (en) * 1987-10-22 1994-01-04 Cooper Industries, Inc. Production of a sintered reaction bonded silicon nitride insulator
US5187129A (en) * 1987-12-21 1993-02-16 Eaton Corporation Process for making silicon nitride and powders and articles made therefrom
US5213729A (en) * 1990-07-24 1993-05-25 Eaton Corporation Process for preparing a densified beta-phase silicon nitride material having at least one densification aid, and the material resulting therefrom
US5160719A (en) * 1990-07-24 1992-11-03 Eaton Corporation Process for nitriding silicon containing materials
US5252248A (en) * 1990-07-24 1993-10-12 Eaton Corporation Process for preparing a base nitridable silicon-containing material
US5055432A (en) * 1990-07-24 1991-10-08 Eaton Corporation Process for preparing a nitridable silicon-containing material having at least one densification aid including alumina, and the material resulting therefrom
US5085582A (en) * 1990-07-24 1992-02-04 Eaton Corporation Silicon nitride containers for the sintering of silicon nitride ceramics
US5079198A (en) * 1990-07-24 1992-01-07 Eaton Corporation Ceramic phase in sintered silicon nitride containing cerium, aluminum, and iron
US5156830A (en) * 1990-07-24 1992-10-20 Eaton Corporation Process for preparing an alpha-phase silicon nitride material and thereafter converting to non-densified beta-phase material
DE69315261T2 (de) * 1992-06-18 1998-03-12 Sumitomo Electric Industries Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Siliciumnitridkeramik
US6007789A (en) * 1992-11-03 1999-12-28 Eaton Corporation Method of nitriding silicon
US20110111205A1 (en) * 2009-11-09 2011-05-12 Korea Institute Of Machinery & Materials METHOD OF MANUFACTURING POROUS SINTERED REACTION-BONDED SILICON NITRIDE CERAMICS FROM GRANULAR Si MIXTURE POWDER AND POROUS SINTERED REACTION-BONDED SILICON NITRIDE CERAMICS MANUFACTURED THEREBY

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50109206A (ja) * 1974-01-31 1975-08-28
JPS53133212A (en) * 1977-04-26 1978-11-20 Ishikawajima Harima Heavy Ind Method of manufacturing heat resistant ceramics material
JPS55116671A (en) * 1979-02-27 1980-09-08 Tokyo Shibaura Electric Co Manufacture of silicon nitride sintered body

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4143107A (en) * 1974-06-28 1979-03-06 Tokyo Shibaura Electric Co., Ltd. Silicon nitride-based sintered material and method for manufacturing the same
US4046580A (en) * 1974-06-28 1977-09-06 Tokyo Shibaura Electric Co., Ltd. Silicon nitride-based sintered material and method for manufacturing the same
FR2365517A1 (fr) * 1976-09-27 1978-04-21 Ceraver Procede de fabrication de nitrures de silicium modifies
US4341874A (en) * 1977-01-13 1982-07-27 Tokyo Shibaura Electric Co., Ltd. Si3 N4 Ceramic powder material and method for manufacturing the same
SE427650B (sv) * 1977-01-13 1983-04-25 Tokyo Shibaura Electric Co Kiselnitridpulvermaterial samt sett att framstella detsamma
GB1600602A (en) * 1977-03-17 1981-10-21 Lucas Industries Ltd Tool tip for a machine tool
JPS5425299A (en) * 1977-07-29 1979-02-26 Chisso Corp Method of producing silicone nitride
DE2805292C2 (de) * 1977-09-28 1982-03-11 Toshiba Ceramics Co., Ltd., Tokyo Verfahren zur Herstellung eines Sinterkörpers
IT1117334B (it) * 1977-12-23 1986-02-17 Fiat Spa Procedimento per la sinterizazzione di nitruro di silicio reaction bonded
DE2800174A1 (de) * 1978-01-03 1979-07-12 Max Planck Gesellschaft Verfahren zum sintern von siliciumnitrid-formkoerpern
US4184884A (en) * 1978-10-23 1980-01-22 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Interior Process for producing a metastable precursor powder and for producing sialon from this powder
FR2445747A1 (fr) * 1979-01-05 1980-08-01 Armines Procede de fabrication de pieces en silicium nitrure
US4285895A (en) * 1979-03-23 1981-08-25 Ford Motor Company Method of densifying a reaction bonded silicon nitride article
FR2467832A1 (fr) * 1979-10-23 1981-04-30 Armines Procede de fabrication de pieces en silicium nitrure
JPS5834428B2 (ja) * 1979-11-22 1983-07-26 株式会社東芝 窒化珪素質セラミツクスの製造方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50109206A (ja) * 1974-01-31 1975-08-28
JPS53133212A (en) * 1977-04-26 1978-11-20 Ishikawajima Harima Heavy Ind Method of manufacturing heat resistant ceramics material
JPS55116671A (en) * 1979-02-27 1980-09-08 Tokyo Shibaura Electric Co Manufacture of silicon nitride sintered body

Also Published As

Publication number Publication date
EP0081195A1 (fr) 1983-06-15
FR2517665A1 (fr) 1983-06-10
FR2517665B1 (fr) 1986-01-31
US4410636A (en) 1983-10-18
EP0081195B1 (fr) 1986-05-07
JPH0225869B2 (ja) 1990-06-06
DE3271060D1 (en) 1986-06-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS58110632A (ja) 窒化ケイ素をベ−スとする焼結材料及びその製法
JPH0653564B2 (ja) 六方晶窒化硼素の高純度化方法
JPS60204672A (ja) セラミツクス粉末材料の製造方法
JPS60141671A (ja) ジルコニア焼結体の製造方法
JP2577155B2 (ja) 窒化珪素焼結体
JPS62143806A (ja) 窒化アルミニウム粉末およびその製造方法
JPS60230806A (ja) 珪素含有鋳込泥漿の調製方法
JPH0524810A (ja) 窒化アルミニウム粉末の製造方法
JP2508201B2 (ja) 窒化ケイ素成形体の製造方法
JP2510251B2 (ja) 炭化珪素焼結体の製造法
JPH02160610A (ja) 窒化アルミニウム粉末の製造法
JPH0532405A (ja) 窒化珪素粉末、窒化珪素粉末の製造方法及び窒化珪素質焼結体
JPH0653565B2 (ja) 等電点が低い窒化硅素粉末及びその製造法
JPH01197307A (ja) 低酸素窒化けい素微粉末とその製造方法
JPH0699192B2 (ja) 高靭性窒化けい素焼結体の製造法
JPH07330440A (ja) 焼結体の製造方法
JP2661743B2 (ja) 窒化ケイ素インゴットの製造方法及び窒化ケイ素粉末
JPH05221617A (ja) 窒化ケイ素粉末の製造方法
JPH0251406A (ja) α−窒化ケイ素の製法
JPS6146403B2 (ja)
JPH0244017A (ja) α−窒化ケイ素インゴット、α−窒化ケイ素粉末及びその製法
JPH06263410A (ja) 窒化けい素粉末のβ分率向上法
JPS60145965A (ja) 窒化珪素質焼結体の製法
JPS62241813A (ja) 窒化珪素粉末の調整法
JPS6090870A (ja) 高強度ジルコニアセラミツクスの製造方法