JPH05229805A - 窒化アルミニウム粉末の製造方法 - Google Patents

窒化アルミニウム粉末の製造方法

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JPH05229805A
JPH05229805A JP3326292A JP3326292A JPH05229805A JP H05229805 A JPH05229805 A JP H05229805A JP 3326292 A JP3326292 A JP 3326292A JP 3326292 A JP3326292 A JP 3326292A JP H05229805 A JPH05229805 A JP H05229805A
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aluminum
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Sadaichirou Kouno
禎市郎 河野
Morio Shimoshimizu
盛雄 下清水
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Asahi Chemical Industry Co Ltd
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Asahi Chemical Industry Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 粒径が小さく、凝集の少ない窒化アルミニウ
ム粉末を低コストで製造する方法を提供することを目的
とする。 【構成】 酸化アルミニウム粉末または水酸化アルミニ
ウム粉末と、80℃における水和性が10%以上のフェ
ノール樹脂と水とを混合してフェノール樹脂水溶液と酸
化アルミニウム粉末または水酸化アルミニウム粉末から
なる混合スラリーを得、得られた混合スラリーを加熱す
る事によって、水溶液から酸化アルミニウム粉末または
水酸化アルミニウム粉末を含んだ状態でフェノール樹脂
を固化、分離させ、該固形物を窒素を含む不活性ガス雰
囲気中で加熱する事を特徴とする窒化アルミニウム粉末
の製造方法。 【効果】 従来の技術に比較し、低温、短時間の反応で
微粒な窒化アルミニウムを製造することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業の利用分野】本発明は窒化アルミニウム粉末の製
造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の還元窒化法は、原料にアルミナと
カーボンブラックを用い、これらの混合物を窒素中で加
熱することにより窒化アルミニウム粉末を得ていた。こ
の従来の還元窒化法でも直接窒化法に比較すれば、高純
度で粒径の小さい窒化アルミニウム粉末を製造すること
ができていたが、低温焼結を実現するにはまだ充分に微
粒とはいえなかった。
【0003】これに対し、最近、有機アルミニウムやハ
ロゲン化アルミニウムとアンモニアガスを気相で反応さ
せて1次粒子の細かい窒化アルミニウム粉末を合成する
方法が開発されているが、凝集が多く、成形性の悪い粉
体しか得られておらず、ある程度の低温焼結は実現でき
るが、十分な低温とはいい難く、また焼成時の収縮率が
非常に大きくなるため、焼結体の寸法制御が非常に困難
であった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題及びその手段】本発明者
らはこれら従来技術の問題点を改良するため鋭意研究を
行ってきた結果、水和性が10%以上のフェノール樹脂
(以下水溶性フェノール樹脂と呼ぶ)を水溶液として用
いる事によって酸化アルミニウム粉末とフェノール樹脂
との充分な混合が可能となり、酸化アルミニウム粒子と
カーボン源であるフェノール樹脂との接触面積を大きく
する事ができるため、窒化反応の速度を高くする事がで
き、さらに本発明においては、酸化アルミニウム粉末と
水溶性フェノール樹脂水溶液の混合スラリーを加熱する
事によって、酸化アルミニウムを含んだ状態でフェノー
ル樹脂を水溶液より分離、固化させる事が可能で、水分
を追い出した状態で乾燥、熱硬化を行う事ができるた
め、酸化アルミニウム粒子のまわりにフェノール樹脂の
強固なコーティングを形成でき、従って窒化反応中の粉
体同士の焼結が抑制され、1次粒子が細かく凝集の少な
い窒化アルミニウム粉末を合成できる事を突き止めた。
【0005】すなわち本発明は、酸化アルミニウム粉末
または水酸化アルミニウム粉末と、80℃における水和
性が10%以上のフェノール樹脂と水とを混合してフェ
ノール樹脂水溶液と酸化アルミニウム粉末または水酸化
アルミニウム粉末からなる混合スラリーを得、得られた
混合スラリーを加熱する事によって、水溶液から酸化ア
ルミニウム粉末または水酸化アルミニウム粉末を含んだ
状態でフェノール樹脂を固化、分離させ、該固形物を窒
素を含む不活性ガス雰囲気中で加熱する事を特徴とする
窒化アルミニウム粉末の製造方法である。
【0006】以降、本発明について、詳しく説明する。
本発明に用いる酸化アルミニウム粉末の比表面積は5m
2/g以上で、好ましくは50m2/g以上、更に好まし
くは100m2/g以上である。粒径は、遠心沈降法に
よる平均粒径が4μm以下、好ましくは2μm以下、更
に好ましくは1μm以下である。また水酸化アルミニウ
ム粉末の場合は、比表面積が5m2/g以上で、好まし
くは10m2/g以上、更に好ましくは20m2/g以上
であり、遠心沈降法による平均粒径が4μm以下、好ま
しくは2μm以下、更に好ましくは1μm以下である。
【0007】酸化アルミニウム粉末または水酸化アルミ
ニウムの純度は99.80%以上、好ましくは99.9
0%以上、さらに好ましくは99.99%以上である。
水溶性フェノール樹脂は、80℃での水和性が10%以
上であれば良く、好ましくは50%以上、更に好ましく
は100%以上であり、市販の物で充分である。また金
属不純物はAlNに残留し、熱伝導率を低下させる原因
となるので、出来るだけ少ない方が良く、金属不純物の
合計が1000ppm以下で、好ましくは500ppm
以下、さらに好ましくは100ppm以下である。
【0008】本発明では以上の酸化アルミニウム粉末ま
たは水酸化アルミニウム粉末(以降原料粉末と呼ぶ)と
水溶性フェノール樹脂と水とを混合し、その後加熱する
事により、フェノール樹脂を原料粉末を含んだ形で固化
させるが、原料粉末とフェノール樹脂との混合比は、フ
ェノール樹脂の重合度によって有効カーボン量が異なる
ので一概にはいえないが、窒化反応後の残留カーボンと
窒化アルミニウムの比(以後C/Aと呼ぶ)が、0.0
1以上になるようであれば良く、好ましくは0.05〜
0.7、更に好ましくは0.1〜0.3である。ここで
いう有効カーボン量とは、窒化反応での加熱によって生
成するフェノール樹脂の分解物の量である。C/Aがこ
の範囲より小さいと反応が完結しなかったり、粒子同士
の焼結が進行して微粒な粉末が得られなくなる。またこ
の範囲より大きいと、窒化反応時の窒素ガス、及び反応
により生成する一酸化炭素ガスの拡散が抑制され、反応
が遅くなる。また、窒化後にカーボンを除去する際に、
カーボンが抜けにくくなり、不純物として残留し易くな
り好ましくない。
【0009】水の量は特に指定しないが、極端に少ない
と水溶液の粘度が高くなるため原料粉末とフェノール樹
脂の十分な混合が困難となる。最低でもフェノール樹脂
10重量部に対し、水1重量部以上必要だが、好ましく
は酸化アルミニウム100重量部に対し10重量部以上
であり、好ましくは100重量部から950重量部、更
に好ましくは400重量部から900重量部である。
【0010】混合時に水溶性フェノール樹脂が充分に溶
解しない場合は沸点以下に加熱しながら混合を行うと容
易に水和、溶解する。以上で得られた原料粉末と水溶性
フェノール樹脂水溶液の混合スラリーはこの後加熱処理
を行うのだが、加熱温度は、用いるフェノール樹脂の重
合度によって異なるが、生成する固形物が余り堅くなら
ないようであればよく、特に指定はしないが、一般的に
は50℃〜140℃である。これより温度が低い場合
は、固化・分離に時間が掛かり、また高い場合は生成す
る固形物が堅くなってしまい、この後の造粒が困難にな
る。
【0011】この後必要に応じてろ過を行い、原料粉末
とフェノール樹脂からなる固形物を得る。得られた固形
物は造粒を行い、乾燥する。乾燥後は熱硬化処理を行
う。熱硬化処理温度は80℃〜500℃であり、好まし
くは100℃〜300℃である。なお熱硬化処理は乾燥
と同時に行っても構わない。この後窒素を含む不活性ガ
ス雰囲気中で加熱することにより窒化反応を行う。加熱
温度は1200℃以上であり、好ましくは1200〜1
800℃、さらには1400〜1650℃が好ましい。
これ以上温度が高くなると生成するAlN粉末の粒径が
極端に大きくなり、好ましくない。また逆に温度が低過
ぎると、反応に長時間を必要とし、生産性が著しく落ち
る。
【0012】なおフェノール樹脂中の炭素が酸化されな
い温度に加熱するか、窒素や不活性ガス雰囲気下または
真空中で加熱して、フェノール樹脂の一部もしくは全部
を分解した後、還元窒化反応を行なっても構わない。窒
化反応後、過剰のカーボンが残留している場合は、加熱
により除去する。例えば酸素を含む雰囲気中で550℃
〜750℃で加熱すれば良い。
【0013】本発明における窒化アルミニウム粉体中の
カーボン含有量は少ない方が好ましく、0.3重量%以
下であり、さらに好ましくは0.2重量%以下、さらに
は0.15重量%以下である。
【0014】
【実施例】以下実施例によって本発明を詳細に説明する
が、本発明はこれら実施例によって限定されるものでは
ない。なお本発明における酸化アルミニウム粉末、水酸
化アルミニウム粉末および窒化アルミニウム粉末の遠心
沈降法による平均粒径は(株)セイシン企業社製粒度分
布ミクロンフォトサイザーSKA−5000を用い、溶
媒にイソブチルアルコールを用いて遠心沈降法により測
定し、50重量%径を、平均粒径とした。
【0015】酸化アルミニウム粉末および窒化アルミニ
ウムの比表面積は日機装(株)製ベータソーブ自動表面
積計MODEL4200型を用いて行なった。酸化アル
ミニウム粉末、水酸化アルミニウム粉末、水溶性フェノ
ール樹脂及びAlN中の金属不純物の分析は、セイコー
電子工業(株)製発光分光分析装置1200ARを用い
て行った。
【0016】水溶性フェノール樹脂の水和性は、水溶性
フェノール樹脂に水を徐々に加えていき、水和しなくな
った時点での水溶性フェノール樹脂の重量に対する水の
重量百分率とした。AlN中の酸素の分析は堀場製作所
(株)製EMGA−550型酸素窒素同時分析装置を用
いて行った。
【0017】AlN中のカーボンの分析は堀場製作所製
炭素・硫黄同時分析装置EMIA−300を用いて行っ
た。AlN粉体の成形体密度は、20mmφの金型を用
い、成形圧2tで乾式成形を行い、得られた成形体の密
度を採寸法で測定することにより求めた。AlN焼結体
の密度はアルキメデス法により求めた。
【0018】焼結体粒子の粒径はSEM写真より求め
た。焼結体の強度は、ダイシングにより35mm×9m
mの試料片を削りだし、三点曲げ強度により評価した。
【0019】
【実施例1】フェノール樹脂(郡栄化学(株)性PL−
4804、分析表を表1に示す)50gを200ccの
水に溶解し、比表面積が125m2/g、遠心沈降法に
よる平均粒径が0.78μm、純度99.994重量%
の酸化アルミニウム粉末30gを加え、60℃で加熱し
ながらよく撹拌した後、乾燥器で90℃で2時間の加熱
を行った。このときフェノール樹脂は酸化アルミニウム
を含んだ形で固化し、水溶液より分離した。生成した固
形物を押し出し成形機で麺状に押し出し、これを2〜5
mmの長さに切って、再び乾燥機で110℃で48時間
加熱を行い、乾燥、熱硬化を行った。
【0020】これをカーボンるつぼに充填して窒素流量
2l/minのもとで1600℃で2時間焼成した。C
/Aを表2に示す。この後残留カーボンを除去するため
空気中で650℃で2時間焼成した。得られた粉体の物
性を表2に示す。これに表3の様に焼結助剤を添加し、
乾式プレス法で成形圧2tで成形し窒素雰囲気中で表3
に示す条件で焼成を行なった。
【0021】得られた焼結体の密度及び強度を表3に示
す。
【0022】
【実施例2】実施例1と同じフェノール樹脂40gを2
00ccの水に溶解し、比表面積が125m2 /g、遠
心沈降法による平均粒径が0.78μm、純度99.9
94重量%の酸化アルミニウム粉末30gを加え、60
℃で加熱しながらよく撹拌した後、乾燥器で90℃で2
時間の加熱を行った。このときフェノール樹脂は酸化ア
ルミニウムを含んだ形で固化し、水溶液より分離した。
生成した固形物を押し出し成形機で麺状に押し出し、こ
れを2〜5mmの長さに切って、再び乾燥機で110℃
で48時間加熱を行い、乾燥、熱硬化を行った。
【0023】これをカーボンるつぼに充填して窒素流量
2l/minのもとで1500℃で4時間焼成した。C
/Aを表2に示す。この後残留カーボンを除去するため
空気中で650℃で2時間焼成した。得られた粉体の物
性を表2に示す。これに表3の様に焼結助剤を添加し、
乾式プレス法で成形し窒素雰囲気中で表3に示す条件で
焼成を行なった。
【0024】得られた焼結体の密度及び強度を表3に示
す。
【0025】
【実施例3】実施例1と同じフェノール樹脂50gを2
00ccの水に溶解し、遠心沈降法による平均粒径が
0.85μm、純度99.98重量%の水酸化アルミニ
ウム粉末45gを加え、60℃で加熱しながらよく撹拌
した後、乾燥器で90℃で2時間加熱を行った。このと
きフェノール樹脂は水酸化アルミニウムを含んだ形で固
化し、水溶液より分離した。生成した固形物を押し出し
成形機で麺状に押し出し、これを2〜5mmの長さに切
って、再び乾燥機で110℃で48時間加熱を行い、乾
燥、熱硬化を行った。
【0026】これをカーボンるつぼに充填して窒素流量
2l/minのもとで1600℃で2時間焼成した。C
/Aを表2に示す。この後残留カーボンを除去するため
空気中で650℃で2時間焼成した。得られた粉体の物
性を表2に示す。これに表3の様に焼結助剤を添加し、
乾式プレス法で成形し表3に示す条件で窒素雰囲気中で
焼成を行なった。
【0027】得られた焼結体の密度及び強度を表3に示
す。
【0028】
【実施例4】実施例1と同じフェノール樹脂40gを2
00ccの水に溶解し、遠心沈降法による平均粒径が
0.85μm、純度99.98重量%の水酸化アルミニ
ウム粉末45gを加え、60℃で加熱しながらよく撹拌
した後、乾燥器で90℃で2時間加熱を行った。このと
きフェノール樹脂は水酸化アルミニウムを含んだ形で固
化し、水溶液より分離した。生成した固形物を押し出し
成形機で麺状に押し出し、これを2〜5mmの長さに切
って、再び乾燥機で110℃で48時間加熱を行い、乾
燥、熱硬化を行った。
【0029】これをカーボンるつぼに充填して窒素流量
2l/minのもとで1500℃で4時間焼成した。C
/Aを表2に示す。この後残留カーボンを除去するため
空気中で650℃で2時間焼成した。得られた粉体の物
性を表2に示す。これに表3の様に焼結助剤を添加し、
乾式プレス法で成形し表3に示す条件で窒素雰囲気中で
焼成を行なった。
【0030】
【比較例1】比表面積210m2/g、灰分0.05重
量%以下のカーボンブラック21gと比表面積が125
2/g、遠心沈降法による平均粒径が0.78μm、
純度99.994重量%の酸化アルミニウム粉末30g
をメタノール200ccに加え、ボールミルで48時間
混合した後、60℃で24時間乾燥を行った。これを粉
砕して、カーボンるつぼに充填し、窒素流量2l/mi
nのもとで1600℃で2時間焼成した。C/Aを表2
に示す。この後残留カーボンを除去するため空気中で6
50℃で2時間焼成した。得られた粉体の物性を表2に
示す。この結果からわかる通り、窒化反応がまだ充分に
完結していない。
【0031】
【比較例2】比較例1で反応が完結していなかったの
で、反応温度、時間を1700℃、5時間に変更した。
その他の条件は比較例1と同じである。C/Aを表2に
示す。この後残留カーボンを除去するため空気中で65
0℃で2時間焼成した。得られた粉体の物性を表2に示
す。窒化反応は完結しているが、粒径の大きい物しか得
られていない。得られた粉体に表3の様に焼結助剤を添
加し、乾式プレス法で成形し表3に示す条件で窒素雰囲
気中で焼成を行なった。
【0032】
【表1】
【0033】
【表2】
【0034】
【表3】
【0035】
【発明の効果】上記実施例から判るように、本発明の製
造方法によれば、従来の技術に較べて低温、短時間の反
応で微粒な窒化アルミニウムを製造することができる。
したがって本発明の方法によって、合成時の低コスト化
が可能となり、さらに本発明の方法によって作られた窒
化アルミニウム粉末は微粒であるので、低温焼結が可能
となり、焼結時の低コスト化も図れる。また、低温焼成
によって作られた焼結体は、粒径が細かく、強度も上が
る。さらに本発明の方法によって得られた粉体は、凝集
が少なく、成形体密度を高くできるので、焼結時の収縮
が小さく、寸法制御が容易になる。よって本発明の方法
によって、強度、寸法精度を要求する放熱性基板等の原
料に好適な窒化アルミニウム粉末を、低コストで製造す
る事が可能となるため、本発明は産業の発展のために極
めて有用である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 酸化アルミニウム粉末または水酸化アル
    ミニウム粉末と、80℃における水和性が10%以上の
    フェノール樹脂と水とを混合してフェノール樹脂水溶液
    と酸化アルミニウム粉末または水酸化アルミニウム粉末
    からなる混合スラリーを得、得られた混合スラリーを加
    熱する事によって、水溶液から酸化アルミニウム粉末ま
    たは水酸化アルミニウム粉末を含んだ状態でフェノール
    樹脂を固化、分離させ、該固形物を窒素を含む不活性ガ
    ス雰囲気中で加熱する事を特徴とする窒化アルミニウム
    粉末の製造方法。
JP3326292A 1992-02-20 1992-02-20 窒化アルミニウム粉末の製造方法 Withdrawn JPH05229805A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6582669B1 (en) * 1998-08-14 2003-06-24 Bosch Gmbh Robert Method for producing ceramic powders utilizing gas-displacing or gas-generating additives
KR101409182B1 (ko) * 2012-04-02 2014-06-19 한국세라믹기술원 고순도 질화알루미늄의 제조방법
KR101442646B1 (ko) * 2013-02-28 2014-09-24 한국세라믹기술원 질화알루미늄 분말의 제조방법
JP2016164112A (ja) * 2015-03-06 2016-09-08 ナショナル チュン−シャン インスティテュート オブ サイエンス アンド テクノロジー 雰囲気が制御される炭素熱還元法によって窒化アルミニウム粉体の製造方法

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Effective date: 19990518