DE2800174A1 - Verfahren zum sintern von siliciumnitrid-formkoerpern - Google Patents
Verfahren zum sintern von siliciumnitrid-formkoerpernInfo
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Description
Patentanwälte Dipl.-Ing. H.Weickmann, Dipl.-Phys. Dr.K.Fincke
Dipl.-Ing. F. A.Weickmann, Dipl.-Chem. B. Huber
8 MÜNCHEN 86, DEN
POSTFACH 860 820
GI 493 MÖHLSTRASSE 22, RUFNUMMER 98 39 21/22
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GI 493 MÖHLSTRASSE 22, RUFNUMMER 98 39 21/22
Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
Bunsenstraße 10, 3400 Göttingen
Verfahren zum Sintern von Siliciumnitrid-formkörpern.
909828/0240
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Sintern von Siliciumnitrid
(Si3N4)-formkörpern, insbesondere ein Verfahren
dieser Art, welches drucklos durchgeführt wird oder bei dem reines Si3N4 ohne Fremdstoffzusatz eingesetzt wird.
Seit etwa 10 Jahren wird der Verbindung Siliciumnitrid großes Interesse entgegengebracht, da sie ein potentielles Material
für hohen Temperaturen ausgesetzte Formteile darstellt. Siliciumnitrid zeichnet sich durch hohe Zersetzungstemperatur
und gute Thermoschockbeständigkeit aus. Ferner ist es oxidationsbeständig und generell für korrosives Milieu geeignet.
Trotz dieser hervorragenden Eigenschaften wird Siliciumnitrid
bisher nicht in größerem Umfang technisch eingesetzt, da Formkörper aus Si3N4 schwierig herzustellen sind. Bisher konnte
man Si_N4-keramiken mit zufriedenstellenden mechanischen Eigenschaften
nur durch Heißpressen herstellen. Für eine wirtschaftlich vertretbare Massenproduktion ist dieses Verfahren
jedoch nicht geeignet, außerdem ist dabei die Formgebung nur in beschränktem Umfang möglich. Daneben ist es bekannt, "reaktionsgesinterte"
Si3N4-formkörper herzustellen, deren mechanische
Eigenschaften jedoch zu wünschen übrig lassen und nicht an das unter Druck gesinterte (heißgepreßte) Material
herankommen.
Es ist bekannt, daß bei beiden oben erwähnten Verfahren die Anwendung von Sinterhilfsmitteln erforderlich ist. Am wirksamsten
erwiesen sich bisher Aluminiumoxid, Magnesiumoxid, Zirkonoxid und Yttriumoxid für diesen Zweck. Dabei werden
diese Metalloxide dem Siliciumnitrid zugesetzt und die daraus gewonnenen Teilchen dann gesintert. Durch den Zusatz dieser
Sinterhilfsstoffe wird zwar erreicht, daß man Siliciumnitridformkörper
herstellen kann, gleichzeitig werden hierdurch jedoch die dem Si,N4 an sich innewohnenden sehr guten Eigenschaften
deutlich verschlechtert.
909828/0240
Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein Verfahren zur Herstellung von Si^N.-formkörpern zu schaffen, bei welchem entweder
auf den Zusatz von Fremdstoffen als Sinterhilfsmittel völlig verzichtet werden kann, oder bei dem ein druckloses
Sintern ermöglicht wird.
Gelöst wird diese Aufgabe erfindungsgemäß durch ein Verfahren zum Sintern von Si^N.-formkörpern, welches dadurch gekennzeichnet
ist, daß man Si-,Ν. unter Verwendung von Mahlkörpern
bis auf eine Oberflächengröße von 10,5 bis 35 m /g und eine mittlere Teilchengröße von 0,2 bis 0,05.Um vermahlt,
das erhaltene Pulver formt und den Formling unter Stickstoff oder Inertgas bei einer Temperatur im Bereich von 1700 bis
19000C sintert.
Überraschenderweise besitzen die nach dem erfindungsgemäßen
Verfahren hergestellten Formkörper außerordentlich gute mechanische Festigkeiten, welche diejenigen von heißgepreßten
Sialonen (Si, Al 0 N0 ) übersteigen. Insbesondere ermöglicht
ο—χ χ χ ο—χ
es die Erfindung, drucklos Sinterkörper zu erhalten, deren mechanische Eigenschaften diejenigen von heißgepreßten Si-N,-formkörpern
erreichen.
Die wesentlichen Merkmale des erfindungsgemäßen Verfahrens
sind zum einen die Vermahlung unter Verwendung von Mahlkörpern bis zu dem angegebenen Verteilungsgrad und zum anderen
die Sinterung der aus dem beim Vermählen erhaltenen Pulver geformten Formlinge im angegebenen Temperaturbereich. Es
ist zwar nicht mit Sicherheit bekannt, worauf die überlegenen Sinterungseigenschaften beim erfindungsgemäßen Verfahren
beruhen, es wird jedoch angenommen, daß durch den Mahlprozeß eine besondere Oberflächenstruktur der Pulverteilchen
erzielt wird, auf den diese verbesserte Sinterfähigkeit zurückzuführen
ist. Bevorzugt wird diese Vermahlung in einer Attritormühle durchgeführt. Bei einer Attritormühle handelt
es sich um eine Vorrichtung zur mechanischen Verringerung
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der Größe fester Teilchen durch intensives Bewegen einer Aufschlämmung
aus dem zu vermählenden Material und einem grobkörnigen Mahlkörpermedium, welches beispielsweise 1 bis 3 mm
Durchmesser aufweist (Powder Technology 12 (1975) 19-28).
Gleichgültig, ob das erfindungsgemäße Verfahren mit einem
Attritor oder mit einer anderen Mahlkörper verwendenden Vorrichtung durchgeführt wird, spielt in jedem Falle auch das
Material, aus dem die Mahlkörper bestehen, eine erhebliche Rolle. Vorzugsweise werden daher Mahlkörper verwendet, die
entweder aus Si3N4 bestehen oder aus einem Material, welches
spezifisch die Sinterungseigenschaften beeinflußt. Vorzugsweise besteht dieses Material aus einem Oxid oder Silikat
von Aluminium, Zirkonium, Magnesium, Beryllium oder/und Yttrium. Bei der Verwendung von Mahlkörpern aus diesem Material,
insbesondere wenn sie im Attritor eingesetzt werden, verschleißen die Mahlkörper selbst, so daß das gemahlene
Si3N4 einen kleinen Anteil des Materials, aus dem die Mahlkörper
bestehen, aufnimmt. Die wesentliche Menge des vermahlenen Si3N4 besteht dabei noch aus der reinen Verbindung und
weist daher auch die vorzüglichen mechanischen Eigenschaften dieser Substanz auf. Die Vermahlung mit Mahlkörpern aus den
genannten Oxiden oder Silikaten wird daher vorzugsweise nur so lange durchgeführt, bis das Si-.N. 1 bis 20, vorzugsweise
2 bis 7 Gew.-% des Oxids oder Silikats aufgenommen hat. Dabei müssen die Mahlbedingungen natürlich so gewählt werden,
daß gleichzeitig die oben genannten Bedingungen hinsichtlich Oberflächengröße und mittlerer Teilchengröße eingehalten werden.
Bei Verwendung eines Attritors sind hierzu im allgemeinen etwa 2 bis 6 Stunden erforderlich. Vorzugsweise bestehen auch
die übrigen Bestandteile des Mahlwerks aus dem genannten Material, bei einem Attritor also die Rührarme und die Behälterwandungen.
Wesentlichen Anteil am genannten Effekt hat jedoch das Material der Mahlkörper, während das Material, aus dem
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die übrigen Bestandteile der Mahlvorrichtung, die mit dem Si3N4 in Berührung steht, eine untergeordnete Rolle spielt.
Das oberflächliche Eindringen der genannten Oxide oder Silikate ist auch möglich, indem man diese dem Mahlprozeß selbst in
anderer Form zusetzt, beispielsweise in Form von Pulver oder dergleichen. Diese Ausführungsform des Verfahrens der Erfindung
ergibt jedoch weniger gute Resultate als sie bei Verwendung von Mahlkörpern aus den genannten Oxiden oder Silikaten erzielt
werden.
Wesentlicher Vorteil der Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Verfahrens unter Verwendung der genannten Mahlkörper oder Zusatz der oben angeführten Oxide oder Silikate in anderer Form während
der Vermahlung ist darin zu sehen, daß ein druckloses Sintern des so behandelten Si3N4 möglich wird. Dies hat zur
Folge, daß die Herstellung der Sinterkörper nicht nur wesentlich einfacher und ökonomischer erfolgen kann, sondern daß
auch die bisher vorhandene Beschränkung hinsichtlich der möglichen Formen in Wegfall kommt.
Gemäß einer besonderen Ausführungsform der Erfindung wird
die Vermahlung mit Mahlkörpern aus Si3N4 durchgeführt. Hierbei
kann entweder ein Oxid oder Silikat der oben genannten Metalle während des Mahlvorgangs zugesetzt werden, wobei
zweckmäßig eine Menge bis zu 10 Gew.-% eingesetzt wird, bezogen auf die Summe von Zusatzstoff und Si3N4, welches vermählen
wird. Auch hier wird ein druckloses Sintern möglich, jedoch werden nicht die gleichen Festigkeitsgrade, wie bei
den Mahlkörpern aus einem Oxid oder Silikat der genannten Metalle erzielt.
Diese Ausführungsform der Erfindung läßt sich jedoch auch
ohne den Zusatz eines Oxids oder Silikats durchführen, wobei
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in diesem Falle jegliche Fremdstoffeinbringung in das feingemahlene
Si3N4 verhindert wird. Bei dieser Ausführungsform
des erfindungsgemäßen Verfahrens läßt sich das Sintern zwar nicht drucklos durchführen, sondern es muß unter Druckanwendung
gesintert werden, es wird hierdurch jedoch erstmals möglich, reines Si3N4 überhaupt zu Sinterkörpern zu verarbeiten.
Diese fremdstofffreien Si3N4~Sinterkörper weisen überragend
gute Eigenschaften auf, insbesondere hinsichtlich der Biegebruchfestigkeitswerte,
Bruchzähigkeitswerte und der Dichte.
Für das Verfahren der Erfindung können verschiedene Si3N4-qualitäten
eingesetzt werden. Versuche unter Verwendung von Si3N4~chargen mit erheblich unterschiedlichen Sauerstoffgehalten
erbrachten bei sonst gleichen Bedingungen stets ähnlich gute Ergebnisse.
Zur Formung der grünen Preßlinge eignen sich die üblichen und bekannten Methoden der Herstellung derartiger Formlinge in
der Sintertechnik. Insbesondere ist es möglich, auch Bindemittel zu verwenden. Die Technik der Herstellung von für das
Sintern bestimmten grünen Preßlingen ist dem Fachmann bekannt und braucht hier nicht näher erläutert zu werden.
Falls bei der Herstellung der grünen Formlinge Bindemittel verwendet werden, sind solche zu wählen, die beim Erhitzen
rückstandslos verdampfen. Es ist auch möglich, die Sinterkörper roh zu formen und anschließend spanabhebend zu bearbeiten,
um kompliziertere Formen zu erhalten.
Das Sintern selbst erfolgt unter Inertgas, vorzugsweise in einer Stickstoffatmosphäre. Aber auch andere Inertgase können
verwendet werden. Sauerstoff oder andere unter den angewendeten Temperaturbedingungen oxidierend wirkende Gase sind
jedoch ausgeschlossen.
909828/024Q
Das Material des Behälters, in dem das Sintern durchgeführt
wird, muß den angewendeten Temperaturen standhalten, andere Eigenschaften sind nicht erforderlich, auch wenn eine geringe
Beeinflussung des SxnterungsVerhaltens durch das Behältermaterial
in manchen Fällen feststellbar ist. So wurden bei Bornitridtiegeln oder Aluminiumoxidtiegeln sehr geringe Abdampfverluste
und lineare Schrumpfungen, die in der Größenordnung von 10 bis 20 % lagen, festgestellt. Etwas größere Zersetzungsverluste und geringere Dichten wurden bei Verwendung von
Graphit festgestellt. Bevorzugt wird als Behältermaterial Bornitrid, da einerseits hierbei die geringste Beeinflussung
der Oberfläche des Sinterkörpers festgestellt wurde und auch andererseits das Behältermaterial selbst den geringsten Verschleiß
aufwies. Als vorteilhaft erwies sich eine Einhüllung der zu sinternden Formlinge in Si3N4-pulver.
Das erfindungsgemäße Verfahren läßt sich nicht nur auf Si3N4,
sondern auch auf ZrO2-haltiges Si3N4 anwenden. Der ZrO2-gehalt
kann dabei bis etwa 30 Vol.-% betragen. Bei Werten zwischen etwa 15 und etwa 27 Vol.-% ZrO„ werden maximale Eigenschaften
hinsichtlich Festigkeit und Zähigkeit der erhaltenen Sinterkörper erzielt. So lassen sich hierbei KTr,-Maximalwerte von
3/2
etwa 7,5 Mn/m ' erzielen, die bisher auch von den besten heißgepreßten Si3N.-qualitäten nicht erreicht wurden.
etwa 7,5 Mn/m ' erzielen, die bisher auch von den besten heißgepreßten Si3N.-qualitäten nicht erreicht wurden.
Die erfindungsgemäß erzielten Vorteile werden nicht erhalten,
wenn die genannten Bedingungen hinsichtlich Oberflächengröße und Teilchenfeinheit nicht eingehalten werden, wobei sowohl
ein Unterschreiten als auch ein Überschreiten in gleicher Weise nachteilig ist. Beispielsweise wurde bei einem erhöhten
Vermahlgrad, der durch 18-stündiges Mahlen im Attritor unter
Verwendung von Al-O^mahlkörpern erzielt wurde, eine wesentliche
Verschlechterung der Eigenschaften der hergestellten Sinterkörper festgestellt.
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Es ist zwar ein wesentlicher Vorteil des Verfahrens der Erfindung,
daß das Sintern drucklos oder, bei Druckanwendung, ohne
Einführung von Fremdstoffen durchgeführt werden kann. Es ist jedoch ebenfalls möglich, auch bei Einführung von Fremdstoffen
unter Druck zu sintern. Auch in diesem Fall werden verbesserte Festigkeitswerte erzielt.
Die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Sinterformlinge
eignen sich besonders für hochtemperatur- und verschleißbeanspruchte Teile in Wärmekraft- und Energieübertragungsmaschinen,
beispielsweise Turbinenschaufelräder und der gleichen, für Schneidkeramiken und andere keramischen Gegenstände,
Attritorkugeln und dergleichen. Das erfindungsgemäße
Verfahren zeichnet sich durch Einfachheit aus und läßt sich in den bevorzugten Ausführungsformen in der Sinterungsstufe
drucklos durchführen, was die Wirtschaftlichkeit des Verfahrens erheblich verbessert, einfachere Apparaturen ermöglicht
und den Energiebedarf verringert. Die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Formkörper besitzen gegenüber
gesintertem Sialon und reaktionsgebundenem Si3N4 (RBS) den
Vorteil wesentlich verbesserter Bruchfestigkeit und Bruchzähigkeit. Sie liegt um etwa 100 % über den derzeit erhältlichen
gesinterten Sialonen bzw. RBS-qualitäten. Ferner lassen
sich hohe Dichten erzielen, auch mit sehr geringen Gehalten an Fremdstoffen, so daß auch der Anteil der bei hohen
Temperaturen frühzeitig erweichenden Phase sehr niedrig ist. Entsprechend hohe Dichten konnten bisher nur mit deutlich
über 10 % liegenden und bis 60 Gew.-% betragenden Zusätzen an Fremdstoffen, wie Al3O-, erzielt werden. Ferner ist auch
der Anteil an freiem Si geringer als bei den bisher bekannten Verfahren. Weiter wird die Streuung der Eigenschaftswerte
verringert und eine besondere Vorlegierung des SigN^-ausgangsmaterials
ist nicht erforderlich. Ein besonderer Vorteil liegt auch darin, daß relativ große Sinterkörper her-
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stellbar sind, was bisher nicht gelungen ist.
Die folgenden Beispiele erläutern die Erfindung weiter. Beispiele 1 bis 6 betreffen das drucklose Sintern, Beispiele 7
bis 10 das Sintern unter Druck.
Sauerstoffarmes Si-,Ν. wurde im Attritor mit Mahlkörpern aus
Al^O- unterschiedlich lange vermählen. Die spezifische Ober-
fläche in g/m des Ausgangsmaterials und nach unterschiedlicher Mahldauer ist in der nachstehenden Tabelle angegeben.
Die mittlere Teilchengröße bei 4- bis 6-stündiger Mahldauer lag um 0,1 ,um.
Der Al_O.,-gehalt des fertiggemahlenen Si3N- lag nach 4-stündiger
Mahldauer bei 4 Gew.-%, bei 6-stündiger Mahldauer bei 6,2 Gew.-%.
Das gemahlene Pulver wurde isostatisch bei 600 MN/m zu Tabletten mit einem Durchmesser von 35 mm gepreßt und in einen
geschlossenen BN-Tiegel gegeben, der sich in einem widerstandsbeheizten
Graphitkörper befand. Dann wurde unter Argon bei Temperaturen zwischen 1850 bis 19000C 1 Stunde gesintert.
Die Dichte, die Biegebruchfestigkeit und die Bruchzähigkeit der gesinterten Formkörper zeigt ebenfalls nachstehende Tabelle.
Die Kanten der aus den Formungen herausgearbeiteten Biegeformkörper waren nicht gebrochen.
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Mahldauer (h)
spez. Oberfläche (m2/g) des Pulvers
Dichte (g/cm ) KTn (N/mm3/2)
(N/mm )
7,3 | 9,5 | 10,7 | 13,3 | 16,5 | 28,0 |
2,33 | 2,65 | 2,70 | 2,86 | 2,84 | 2,94 |
40+4 | 74+4 | 126+6 | 156+9 | 178+6 | 157+10 |
87+5
200+25 283+39 473+41 422+41 358+58
Die bei einer Mahldauer von O und 1 Stunde durchgeführten Versuche
stellen Vergleichsversuche dar.
Wie in Beispiel 1 beschrieben, wurde im Attritor unter Verwendung
von Al „ O .,-mahlkör pern 6 Stunden vermählen. Eingesetzt
wurde ein mit ZrO2 dotiertes Si-,Ν.. Der ZrO^-gehalt in Vol.-%
und die Eigenschaften der erhaltenen Sinterkörper zeigt nachstehende Tabelle II.
ZrO2-gehalt
15
25
30
Dichte (g/cm0) KIC (N/mm3/2)
£-B (N/mm2)
2,86 3,35 3,54 3,55 3,68 178+9 190+15 200+12 232+15 195+15
422+41 593+43 582+55 659+66 590+40
100 g Si3N.-pulver (HCST 1910, ehem. Analyse: Fe 0,02 ; Ca
0,02'; Al 0,21; 0 <0,4; N 38,4 und C 0,5 %) wurde 6 Stunden
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mit 800 g Al-CU-kugeln (Durchmesser 2 bis 3 mm) im Attritor
mit 1000 UpM in Alkohol gemahlen. Die spezifische Oberfläche des Pulvers wurde durch diesen Prozeß von ursprünglich 6,2 m2 /g
auf 12,6 m2/g erhöht und ein Al2O3-abrieb von 7,5 Gew.-% eingebracht.
Das Pulver wurde isostatisch mit 100 MPa zu Scheiben (30 mm im Durchmesser und 10 mm hoch) verpreßt und bei
etwa 18500C im BN-Tiegel 1 Stunde gesintert. Die Dichte dieses
Materials betrug 2,85 g/cm3, die Biegefestigkeit 420 + 24
MPa und die Bruchzähigkeit (K ) 5,4 +0,4 MN/m3' .
Das Verfahren von Beispiel 3 wurde wiederholt, mit dem Unterschied,
daß zwischen 5 und 30 Vol.-% ZrO3 beim Vermählen zugesetzt
wurden und die Sintertemperatur ca. 19000C betrug. Dabei
wurde eine Steigerung der Bruchzähigkeit (KIC) und der
Biegefestigkeit erzielt, die in Fig. 1, Kurve 5 der beigefügten Zeichnung angegeben ist.
100 g Si3N4~pulver (HCST 2330, gleiche Analyse wie HCST 1910,
spez. Oberfläche 6,5 m2/g) im Attritor gemahlen mit ZrO3-kugeln
(1300 g, 2 bis 2,5 mm im Durchmesser) unter sonst gleichen Bedingungen wie in Beispiel 3 ergab eine spez. Oberfläche
von 13,5 m2/g und einen ZrO2~abrieb von 26 g = 13
Vol.-%. Nach einer Sinterung bei etwa 18800C (sonst wie Beispiel
3) wurde eine Dichte von 3,29 g/cm3 und eine Bruchzähigkeit (KIC) von 7,3 + 0,4 MN/m3'2 und eine Biegefestigkeit
von 690 + 72 MPa gemessen.
100 g Si3N4-pulver (HCST 2330) mit 5 Vol.-% Al3O3 gemischt
und unter gleichen Bedingungen wie Beispiel 3 mit Si3N.-
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kugeln (500 g, Durchmesser 3 mm) attritiert ergab eine spez. Oberfläche von 11,2 m2/g (+ 6 g Si3N.-abrieb von den Attritorkugeln).
Nach einer Sinterung bei 18800C (sonst wie Beispiel 3) betrug die Dichte 2,95 m2/g, die Bruchzähigkeit
(KT_) 4,3 + 0,2 MN/m3/2 und die Biegefestigkeit 348 + 35 MPa.
100 g Si3N4~pulver (HCST 2330) attritorbehandelt wie in Beispiel
3 und heißgepreßt in Graphitmatricen mit 35 mm Innendurchmesser
bei 18500C, 1 Stunde führen zu einer Preßkörperdichte von 3,18 g/cm3, einer Biegefestigkeit von 840 + 20 MPa
3/2 und einer Bruchzähigkeit (K1,-.) von 6,5 + 0,4 MN/m ' .
100 g Si-Jtf.-pulver attritorgemahlen mit 1200 g (ZrO2 + SiO2)-Kugeln
(SAZ, Rosenthal, Durchmesser 3 mm) wie in Beispiel 3, ergab eine spez. Oberfläche von 13,5 m2/g und einen Abrieb der
Attritorkugeln von 26,7 g. Heißgepreßt wie in Beispiel 7 beschrieben
besaß der Körper eine Dichte von 3,25 g/cm3, eine
•a/2
Bruchzähigkeit (K ) von 8,15+ 0,2 MN/m ' und eine Biegefestigkeit
von 870 + 90 MPa. «
Beispiel 9
100 g Si-jN.-pulver wie in Beispiel 5 attritiert und wie in
Beispiel 7 heißgepreßt führte zu einer Dichte von 3,50 g/cm3,
3/2 einer Bruchzähigkeit (K „) von 8,2 + 0,2 MN/m ' und einer
Biegefestigkeit von 970 +65 MPa.
Beispiel 10
Beispiel 10
100 g Si3N4-pulver 6 Stunden (15 Stunden) attritorgemahlen
mit 500 g Si3N.-kugeln (sonst wie Beispiel 3) ergab eine
spez. Oberfläche von 9,3 (11,2) m2/g. Heißgepreßt wie in
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Beispiel 7 besaß der Preßkörper eine Dichte von 3,03 (3,19)
g/cm3, eine Bruchzähigkeit (K ) von 5,15 + 0,15 (6,45 + 0,15)
ο/τ 1^- ~
MN/m ' und eine Biegefestigkeit von 702 + 112 (760 + 60) MPa.
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-AL - Leerseite
Claims (7)
- -yt-P. a, t e η t a η s ρ r ü c h eVerfahren zum Sintern von SJ^N.-Formkörpern, dadurch gekennzeichne t , daß man Si -.N. unter Verwendungvon Mahlkörpern bis auf eine Oberflächengröße von 10,5 bis2
35 m /g und eine mittlere Teilchengröße von Of2 bis 0,05 .um vermahlt, das erhaltene Pulver formt und den Formling unter Inertgas oder Stickstoff bei einer Temperatur im Bereich von 1700 bis 1900°C sintert. - 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man die Vermahlung in einer Attri,tormüh Ie durchführt.
- 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch g e k e η η zeichnet , daß man Mahlkörper aus einem Oxid oder Silikat von Aluminium, Zirkonium, Magnesium, Beryllium oder/ und Yttrium oder aus Si3N4 verwendet.
- 4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet , daß man die Vermahlung mit Mahlkörpern aus einem Oxid oder Silikat von Aluminium, Zirkonium, Magnesium, Beryllium oder/und Yttrium so lange durchführt, bis das Si3N4 1 bis 10 Gew.-% des Oxids oder Silikats aufgenommen hat.
- 5. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet , daß man bei Vermahlung mit Mahlkörpern aus Si3N4 ein Oxid oder Silikat von Aluminium, Zirkonium, Magnesium, Beryllium oder/und Zirkonium in einer Menge bis zu 10 Gew.-% dem Si3N4 zusetzt.
- 6. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß drucklos gesintert wird.909828/0240
- 7. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet , daß man nur ir.it Si-jN.-mahlkörpern vermählt und unter Druck sintert.909828/0240
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