DE2800174C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Sintern von Siliciumnitrid
(Si₃N₄)-Formkörpern, insbesondere ein Verfahren
dieser Art, welches drucklos durchgeführt wird oder bei dem
reines Si₃N₄ ohne Fremdstoffzusatz eingesetzt wird.
Seit etwa 10 Jahren wird der Verbindung Siliciumnitrid großes
Interesse entgegengebracht, da sie ein potentielles Material
für hohen Temperaturen ausgesetzte Formteile darstellt.
Siliciumnitrid zeichnet sich durch hohe Zersetzungstemperatur
und gute Thermoschockbeständigkeit aus. Ferner ist es oxidationsbeständig
und generell für korrosives Milieu geeignet.
Trotz dieser hervorragenden Eigenschaften wird Siliciumnitrid
bisher nicht in größerem Umfang technisch eingesetzt, da Formkörper
aus Si₃N₄ schwierig herzustellen sind. Bisher konnte
man Si₃N₄-Keramiken mit zufriedenstellenden mechanischen Eigenschaften
nur durch Heißpressen herstellen. Für eine wirtschaftlich
vertretbare Massenproduktion ist dieses Verfahren
jedoch nicht geeignet, außerdem ist dabei die Formgebung nur
in beschränktem Umfang möglich. Daneben ist es bekannt, "reaktionsgesinterte"
herzustellen, deren mechanische
Eigenschaften jedoch zu wünschen übrig lassen und
nicht an das unter Druck gesinterte (heißgepreßte) Material
herankommen.
Es ist bekannt, daß bei beiden oben erwähnten Verfahren die
Anwendung von Sinterhilfsmitteln erforderlich ist. Am wirksamsten
erwiesen sich bisher Aluminiumoxid, Magnesiumoxid,
Zirkonoxid und Yttriumoxid für diesen Zweck. Dabei werden
diese Metalloxide dem Siliciumnitrid zugesetzt und die daraus
gewonnenen Teilchen dann gesintert. Durch den Zusatz dieser
Sinterhilfsstoffe wird zwar erreicht, daß man Siliciumnitridformkörper
herstellen kann, gleichzeitig werden hierdurch jedoch
die dem Si₃N₄ an sich innewohnenden sehr guten Eigenschaften
deutlich verschlechtert.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein Verfahren zur
Herstellung von Si₃N₄-Formkörpern zu schaffen, bei
welchem entweder auf den Zusatz von Fremdstoffen als
Sinterhilfsmittel völlig verzichtet werden kann, oder
bei dem ein druckloses Sintern ermöglicht wird.
Gelöst wird diese Aufgabe erfindungsgemäß durch ein
Verfahren zum Sintern von Si₃N₄-Formkörpern, welches
dadurch gekennzeichnet ist, daß man Si₃N₄ in einer
Attritormühle mit Mahlkörpern bis auf eine Oberflächengröße
von 10,5 bis 35 m²/g und eine mittlere Teilchengröße
von 0,2 bis 0,05 µm vermahlt, das erhaltene
Pulver formt und den Formling unter Stickstoff oder
Inertgas bei einer Temperatur im Bereich von 1700 bis
1900°C sintert.
Überraschenderweise besitzen die nach dem erfindugnsgemäßen
Verfahren hergestellten Formkörper außerordentlich
gute mechanische Festigkeiten, welche diejenigen
von heißgepreßten Sialonen (Si6-x Al x O x N8-x ) übersteigen.
Insbesondere ermöglicht es die Erfindung, drucklos
Sinterkörper zu erhalten, deren mechanische Eigenschaften
diejenigen von heißgepreßten Si₃N₄-Formkörpern erreichen.
Die wesentlichen Merkmale des erfindungsgemäßen Verfahrens
sind zum einen die Vermahlung in einer Attritormühle
mit Mahlkörpern bis zu dem angegebenen Verteilungsgrad
und zum anderen die Sinterung der aus dem
beim Vermahlen erhaltenen Pulver geformten Formlinge im
angegebenen Temperaturbereich. Es ist zwar nicht mit
Sicherheit bekannt, worauf die überlegenen Sinterungseigenschaften
beim erfindungsgemäßen Verfahren beruhen,
es wird jedoch angenommen, daß durch den Mahlprozeß
eine besondere Oberflächenstruktur der Pulverteilchen
erzielt wird, auf den diese verbesserte Sinterfähigkeit
zurückzuziehen ist. Bei einer Attritormühle handelt es
sich um eine Vorrichtung zur mechanischen Verringerung
der Größe fester Teilchen durch intensives Bewegen
einer Aufschlämmung aus dem zu vermahlenden Material
und einem grobkörnigen Mahlkörpermedium, welches beispielsweise
1 bis 3 mm Durchmesser aufweist (Powder
Technology 12 (1975) 19-28).
Das Material, aus dem die Mahlkörper bestehen, spielt
eine erhebliche Rolle. Vorzugsweise werden daher Mahlkörper
verwendet, die entweder aus Si₃N₄ bestehen oder
aus einem Material, welches spezifisch die Sinterungseigenschaften
beeinflußt. Vorzugsweise besteht dieses
Material aus einem Oxid oder Silikat von Aluminium,
Zirkonium, Magnesium, Beryllium und/oder Yttrium. Bei
der Verwendung von Mahlkörpern aus diesem Material
verschleißen die Mahlkörper selbst, so daß das gemahlene
Si₃N₄ einen kleinen Anteil des Materials, aus dem
die Mahlkörper bestehen, aufnimmt. Die wesentliche
Menge des vermahlenen Si₃N₄ besteht dabei noch aus der
reinen Verbindung und weist daher auch die vorzüglichen
mechanischen Eigenschaften dieser Substanz auf. Die
Vermahlung mit Mahlkörpern aus den genannten Oxiden
oder Silikaten wird daher vorzugsweise nur solange
durchgeführt, bis das Si₃N₄ 1 bis 20, vorzugsweise 2
bis 7 Gew.-% des Oxids oder Silikats aufgenommen hat.
Dabei müssen die Mahlbedingungen natürlich so gewählt
werden, daß gleichzeitig die obengenannten Bedingungen
hinsichtlich Oberflächengröße und mittlerer Teilchengröße
eingehalten werden.
Hierzu sind im allgemeinen etwa 2 bis 6 Stunden erforderlich.
Vorzugsweise bestehen auch die übrigen Bestandteile
des Mahlwerks aus dem genannten Material, also
die Rührarme und die Behälterwandungen. Wesentlichen
Anteil am genannten Effekt hat jedoch das Material der
Mahlkörper, während das Material, aus dem
die übrigen Bestandteile der Mahlvorrichtung, die mit dem
Si₃N₄ in Berührung steht, eine untergeordnete Rolle spielt.
Das oberflächliche Eindringen der genannten Oxide oder Silikate
ist auch möglich, indem man diese dem Mahlprozeß selbst in
anderer Form zusetzt, beispielsweise in Form von Pulver oder
dergleichen. Diese Ausführungsform des Verfahrens der Erfindung
ergibt jedoch weniger gute Resultate als sie bei Verwendung
von Mahlkörpern aus den genannten Oxiden oder Silikaten erzielt
werden.
Wesentlicher Vorteil der Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Verfahrens unter Verwendung der genannten Mahlkörper oder Zusatz
der oben angeführten Oxide oder Silikate in anderer Form während
der Vermahlung ist darin zu sehen, daß ein druckloses
Sintern des so behandelten Si₃N₄ möglich wird. Dies hat zur
Folge, daß die Herstellung der Sinterkörper nicht nur wesentlich
einfacher und ökonomischer erfolgen kann, sondern daß
auch die bisher vorhandene Beschränkung hinsichtlich der möglichen
Formen in Wegfall kommt.
Gemäß einer besonderen Ausführungsform der Erfindung wird
die Vermahlung mit Mahlkörpern aus Si₃N₄ durchgeführt. Hierbei
kann entweder ein Oxid oder Silikat der oben genannten
Metalle während des Mahlvorgangs zugesetzt werden, wobei
zweckmäßig eine Menge bis zu 10 Ew.-% eingesetzt wird, bezogen
auf die Summe von Zusatzstoff und Si₃N₄, welches vermahlen
wird. Auch hier wird ein druckloses Sintern möglich,
jedoch werden nicht die gleichen Festigkeitsgrade, wie bei
den Mahlkörpern aus einem Oxid oder Silikat der genannten
Metalle erzielt.
Diese Ausführungsform der Erfindung läßt sich jedoch auch
ohne den Zusatz eines Oxids oder Silikats durchführen, wobei
in diesem Falle jegliche Fremdstoffeinbringung in das feingemahlene
Si₃N₄ verhindert wird. Bei dieser Ausführungsform
des erfindungsemäßen Verfahrens läßt sich das Sintern zwar
nicht drucklos durchführen, sondern es muß unter Druckanwendung
gesintert werden, es wird hierdurch jedoch erstmals möglich,
reines Si₃N₄ überhaupt zu Sinterkörpern zu verarbeiten.
Diese fremstofffreien Si₃N₄-Sinterkörper weisen überragend
gute Eigenschaften auf, insbesondere hinsichtlich der Biegebruchfestigkeitswerte,
Bruchzähigkeitswerte und der Dichte.
Für das Verfahren der Erfindung können verschiedene Si₃N₄-
Qualitäten eingesetzt werden. Versuche unter Verwendung von
Si₃N₄-Chargen mit erheblich unterschiedlichen Sauerstoffgehalten
erbrachten bei sonst gleichen Bedingungen stets ähnlich
gute Ergebnisse.
Zur Formung der grünen Preßlinge eignen sich die üblichen und
bekannten Methoden der Herstellung derartiger Formlinge in
der Sintertechnik. Insbesondere ist es möglich, auch Bindemittel
zu verwenden. Die Tehnik der Herstellung von für das
Sintern bestimmten grünen Preßlingen ist dem Fachmann bekannt
und braucht hier nicht näher erläutert zu werden.
Falls bei der Herstellung der grünen Formlinge Bindemittel
verwendet werden, sind solche zu wählen, die beim Erhitzen
rückstandslos verdampfen. Es ist auch möglich, die Sinterkörper
roh zu formen und anschließend spanabhebend zu bearbeiten,
um kompliziertere Formen zu erhalten.
Das Sintern selbst erfolgt unter Inertgas, vorzugsweise in
einer Stickstoffatmosphäre. Aber auch andere Inertgase können
verwendet werden. Sauerstoff oder andere unter den angewendeten
Temperaturbedingungen oxidierend wirkende Gase sind
jedoch ausgeschlossen.
Das Material des Behälters, in dem das Sintern durchgeführt
wird, muß den angewendeten Temperaturen standhalten, andere
Eigenschaften sind nicht erforderlich, auch wenn eine geringe
Beeinflussung des Sinterunsverhaltens durch das Behältermaterial
in manchen Fällen feststellbar ist. So wurden bei Bornitridtiegeln
oder Aluminiumoxidtiegeln sehr geringe Abdampfverluste
und lineare Schrumpfungen, die in der Größenordnung
von 10 bis 20% lagen, festgestellt. Etwas größere Zersetzungsverluste
und geringere Dichten wurden bei Verwendung von
Graphit festgestellt. Bevorzugt wird als Behältermaterial
Bornitrid, da einerseits hierbei die geringste Beeinflussung
der Oberfläche des Sinterkörpers festgestellt wurde und auch
andererseits das Behältermaterial selbst den geringsten Verschleiß
aufwies. Als vorteilhaft erwies sich eine Einhüllung
der zu sinternden Formlinge in Si₃N₄-Pulver.
Das erfindungsgemäße Verfahren läßt sich nicht nur auf Si₃N₄,
sondern auch auf ZrO₂-haltiges Si₃N₄ anwenden. Der ZrO₂-Gehalt
kann dabei bis etwa 30 Vol.-% betragen. Bei Werten zwischen
etwa 15 und etwa 27 Vol.-% ZrO₂ werden maximale Eigenschaften
hinsichtlich Festigkeit und Zähigkeit der erhaltenen Sinterkörper
erzielt. So lassen sich hierbei K IC -Maximalwerte von
etwa 7,5 Mn/m3/2 erzielen, die bisher auch von den besten
heißgepreßten Si₃N₄-Qualitäten nicht erreicht wurden.
Die erfindungsgemäß erzielten Vorteile werden nicht erhalten,
wenn die genannten Bedingungen hinsichtlich Oberflächengröße
und Teilchenfeinheit nicht eingehalten werden, wobei sowohl
ein Unterschreiten als auch ein Überschreiten in gleicher Weise
nachteilig ist. Beispielsweise wurde bei einem erhöhten
Vermahlgrad, der durch 18stündiges Mahlen im Attritor unter
Verwendung von Al₂O₃-Mahlkörpern erzielt wurde, eine wesentliche
Verschlechterung der Eigenschaften der hergestellten
Sinterkörper festgestellt.
Es ist zwar ein wesentlicher Vorteil des Verfahrens der Erfindung,
daß das Sintern drucklos oder, bei Druckanwendung, ohne
Einführung von Fremdstoffen durchgeführt werden kann. Es ist
jedoch ebenfalls möglich, auch bei Einführung von Fremdstoffen
unter Druck zu sintern. Auch in diesem Fall werden verbesserte
Festigkeitswerte erzielt.
Die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Sinterformlinge
eignen sich besonders für hochtemperatur- und verschleißbeanspruchte
Teile in Wärmekraft- und Energieübertragungsmaschinen,
beispielsweise Turbinenschaufelräder und dergleichen,
für Schneidkeramiken und andere keramischen Gegenstände,
Attritorkugeln und dergleichen. Das erfindungsgemäße
Verfahren zeichnet sich durch Einfachheit aus und läßt sich
in den bevorzugten Ausführungsformen in der Sinterungsstufe
drucklos durchführen, was die Wirtschaftlichkeit des Verfahrens
erheblich verbessert, einfachere Apparaturen ermöglicht
und den Energiebedarf verringert. Die nach dem erfindungsgemäßen
Verfahren hergestellten Formkörper besitzen gegenüber
gesintertem Sialon und reaktionsgebundenem Si₃N₄ (RBS) den
Vorteil wesentlich verbesserter Bruchfestigkeit und Bruchzähigkeit.
Sie liegt um etwa 100% über den derzeit erhältlichen
gesinterten Sialonen bzw. RBS-Qualitäten. Ferner lassen
sich hohe Dichten erzielen, auch mit sehr geringen Gehalten
an Fremdstoffen, so daß auch der Anteil der bei hohen
Temperaturen frühzeitig erweichenden Phase sehr niedrig ist.
Entsprechend hohe Dichten konnten bisher nur mit deutlich
über 10% liegenden und bis 60 Gew.-% betragenden Zusätzen
an Fremdstoffen, wie Al₂O₃, erzielt werden. Ferner ist auch
der Anteil an freiem Si geringer als bei den bisher bekannten
Verfahren. Weiter wird die Streuung der Eigenschaftswerte
verringert und eine besondere Vorlegierung des Si₃N₄-Ausgangsmaterials
ist nicht erforderlich. Ein besonderer Vorteil
liegt auch darin, daß relativ große Sinterkörper herstellbar
sind, was bisher nicht gelungen ist.
Die folgenden Beispiele erläutern die Erfindung weiter. Beispiele
1 bis 6 betreffen das drucklose Sintern, Beispiele 7
bis 10 das Sintern unter Druck.
Sauerstoffarmes Si₃N₄ wurde im Attritor mit Mahlkörpern aus
Al₂O₃ unterschiedlich lange vermahlen. Die spezifische Oberfläche
in g/m² des Ausgangsmaterials und nach unterschiedlicher
Mahldauer ist in der nachstehenden Tabelle angegeben.
Die mittlere Teilchengröße bei 4- bis 6stündiger Mahldauer
lag um 0,1 µm.
Der Al₂O₃-Gehalt des fertiggemahlenen Si₃N₄ lag nach 4stündiger
Mahldauer bei 4 Gew.-%, bei 6stündiger Mahldauer bei
6,2 Gew.-%.
Das gemahlene Pulver wurde isostatisch bei 600 MN/m² zu Tabletten
mit einem Durchmesser von 35 mm gepreßt und in einen
geschlossenen BN-Tiegel gegeben, der sich in einem widerstandsbeheizten
Graphitkörper befand. Dann wurde unter Argon
bei Temperaturen zwischen 1850 bis 1900°C 1 Stunde gesintert.
Die Dichte, die Biegebruchfestigkeit und die Bruchzähigkeit
der gesinterten Formkörper zeigt ebenfalls nachstehende Tabelle.
Die Kanten der aus den Formlingen herausgearbeiteten
Biegeformkörper waren nicht gebrochen.
Die bei einer Mahldauer von 0 und 1 Stunde durchgeführten Versuche
stellen Vergleichsversuche dar.
Wie in Beispiel 1 beschrieben, wurde im Attritor unter Verwendung
von Al₂O₃-Mahlkörpern 6 Stunden vermahlen. Eingesetzt
wurde ein mit ZrO₂ dotiertes Si₃N₄. Der ZrO₂-Gehalt in Vol.-%
und die Eigenschaften der erhaltenen Sinterkörper zeigt nachstehende
Tabelle II.
100 g Si₃N₄-Pulver (HCST 1910, chem. Analyse: Fe 0,02; Ca
0,02; Al 0,21; O<0,4; N 38,4 und C 0,5%) wurde 6 Stunden
mit 800 g Al₂O₃-Kugeln (Durchmesser 2 bis 3 mm) im Attritor
mit 1000 UpM in Alkohol gemahlen. Die spezifische Oberfläche
des Pulvers wurde durch diesen Prozeß von ursprünglich 6,2 m²/g
auf 12,6 m²/g erhöht und ein Al₂O₃-Abrieb von 7,5 Gew.-% eingebracht.
Das Pulver wurde isostatisch mit 100 MPa zu Scheiben
(30 mm im Durchmesser und 10 mm hoch) verpreßt und bei
etwa 1850°C im BN-Tiegel 1 Stunde gesintert. Die Dichte dieses
Materials betrug 2,85 g/cm³, die Biegefestigkeit 420±24
MPa und die Bruchzähigkeit (K IC ) 5,4±0,4 MN/m3/2.
Das Verfahren von Beispiel 3 wurde wiederholt, mit dem Unterschied,
daß zwischen 5 und 30 Vol.-% ZrO₂ beim Vermahlen zugesetzt
wurden und die Sintertemperatur ca. 1900°C betrug. Dabei
wude eine Steigerung der Bruchzähigkeit (K IC ) und der
Biegefestigkeit erzielt, die in Fig. 1, Kurve 5 der beigefügten
Zeichnung angegeben ist.
100 g Si₃N₄-Pulver (HCST 2330, gleiche Analyse wie HCST 1910,
spez. Oberfläche 6,5 m²/g) im Attritor gemahlen mit ZrO₂-
Kugeln (1300 g, 2 bis 2,5 mm Im Durchmesser) unter sonst
gleichen Bedingungen wie in Beispiel 3 ergab eine spez. Oberfläche
von 13,5 m²/g und einen ZrO₂-Abrieb von 26 g13
Vol.-%. Nach einer Sinterung bei etwa 1880°C (sonst wie Beispiel
3) wurde eine Dichte von 3,29 g/cm³ und eine Bruchzähigkeit
(K IC ) von 7,3±0,4 MN/m3/2 und eine Biegefestigkeit
von 690±72 MPa gemessen.
100 g Si₃N₄-Pulver (HCST 2330) mit 5 Vol.-% Al₂O₃ gemischt
und unter gleichen Bedingungen wie Beispiel 3 mit Si₃N₄-
Kugeln (500 g, Durchmesser 3 mm) attritiert ergab eine spez.
Oberfläche von 11,2 m²/g (+6 g Si₃N₄-Abrieb von den Attritorkugeln).
Nach einer Sinterung bei 1880°C (sonst wie Beispiel
3) betrug die Dichte 2,95 m²/g, die Bruchzähigkeit
(K IC ) 4,3±0,2 MN/m3/2 und die Biegefestigkeit 348±35 MPa.
100 g Si₃N₄-Pulver (HCST 2330) attritorbehandelt wie in Beispiel
3 und heißgepreßt in Graphitmatricen mit 35 mm Innendichte
von 3,18 g/cm³, einer Biegefestigkeit von 840±20 MPa
und einer Bruchzähigkeit (K IC ) von 6,5±0,4 MN/m3/2.
100 g Si₃N₄-Pulver attritorgemahlen mit 1200 g (ZrO₂+SiO₂)-
Kugeln (SAZ, Rosenthal, Durchmesser 3 mm) wie in Beispiel 3,
ergab eine spez. Oberfläche von 13,5 m²/g. Heißgepreßt wie in Beispiel 7 beschrieben
besaß der Körper eine Dichte von 3,25 g/cm³, eine
Bruchzähigkeit (K IC ) von 8,15±0,2 MN/m3/2 und eine Biegefestigkeit
von 870±90 MPa.
100 g Si₃N₄-Pulver wie in Beispiel 5 attritiert und wie in
Beispiel 7 heißgepreßt führte zu einer Dichte von 3,50 g/cm³,
einer Bruchzähigkeit (K IC ) von 8,2±0,2 MN/m3/2 und einer
Biegefestigkeit von 970±65 MPa.
100 g Si₃N₄-Pulver 6 Stunden (15 Stunden) attritorgemahlen
mit 500 g Si₃N₄-Kugeln (sonst wie Beispiel 3) ergab eine
spez. Oberfläche von 9,3 (11,2) m²/g. Heißgepreßt wie in
Beispiel 7 besaß der Preßkörper eine Dichte von 3,03 (3,19)
g/cm³, eine Bruchzähigkeit (K IC ) von 5,15±0,15 (6,45±0,15)
MN/m3/2 und eine Biegefestigkeit von 702±112 (760±60) MPa.
Claims (6)
1. Verfahren zum Sintern von Si₃N₄-Formkörpern,
dadurch gekennzeichnet,
daß man Si₃N₄ in einer Attritormühle mit Mahlkörpern
bis auf eine Oberflächengröße von 10,5 bis 35 m²/g und
eine mittlere Teilchengröße von 0,2 bis 0,05 µm
vermahlt, das erhaltene Pulver formt und den Formling
unter Inertgas oder Stickstoff bei einer Temperatur im
Bereich von 1700 bis 1900°C sintert.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß man Mahlkörper aus einem Oxid oder Silikat
von Aluminium, Zirkonium, Magnesium, Beryllium oder/
und Yttrium oder aus Si₃N₄ verwendet.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß man die Vermahlung mit Mahlkörpern
aus einem Oxid oder Silikat von Aluminium, Zirkonium, Magnesium,
Beryllium, oder/und Yttrium so lange durchführt, bis
das Si₃N₄ 1 bis 10 Gew.-% ds Oxids oder Silikats aufgenommen
hat.
4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß man bei Vermahlung mit Mahlkörpern
aus Si₃N₄ ein Oxid oder Silikat von Aluminium, Zirkonium,
Magnesium, Beryllium und/oder Zirkonium in einer Menge bis
zu 10 Gew.-% dem Si₃N₄ zusetzt.
5. Verfahren nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet,
daß drucklos gesintert wird.
6. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß man nur mit Si₃N₄-Mahlkörpern vermahlt
und unter Druck sintert.
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