WO1994018140A1 - VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON FEINKÖRNIGEN Al2O3 ENTHALTENDEN KERAMISCHEN FORMKÖRPERN UNTER VERWENDUNG VON PULVERFÖRMIGEM ALUMINIUMMETALL - Google Patents
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON FEINKÖRNIGEN Al2O3 ENTHALTENDEN KERAMISCHEN FORMKÖRPERN UNTER VERWENDUNG VON PULVERFÖRMIGEM ALUMINIUMMETALL Download PDFInfo
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Definitions
- the invention relates to a process for the production of fine-grained ceramic moldings containing Al 2 0 3 using powdered aluminum metal.
- the invention is therefore based on the object of providing an improved process for the production of such Al 2 O 3 ceramic moldings, which has the disadvantages mentioned above eliminated or reduced and can also be carried out without Al 2 0 3 addition.
- This object is achieved according to the invention by a process for producing a fine-grained ceramic molded body containing at least 10% by volume of Al 2 O 3 , which is characterized in that
- the invention is based on the surprising finding of a relationship between the maximum oxidation rate of aluminum powder at temperatures below the melting point of aluminum (660 ° C.) and the extreme fine-grainedness of the ceramic molded body obtained as the oxidation product after the oxidation by heat treatment in an oxygen-containing atmosphere.
- This extreme fine-grain nature of the ceramic molded body obtained according to the invention leads to the 1st the body can be deformed superplastically at relatively low temperatures and pressures, and 2. that metallic shaped bodies such as wires and blanks can be embedded in the green body in stage (b), which in the subsequent oxidation treatment and sintering in stages (c) and (d) maintain their shape and metallic character.
- Steps (b), (c) and (d) of this process can also be carried out by flame spraying or plasma spraying, the ceramic molded body being obtained in the form of spray layers which have a finer grain than was previously possible.
- the intensive wet grinding of the aluminum powder carried out in stage (a) of the process of the invention is essential to the invention.
- the aluminum powder is permeated with sub-microfine aluminum oxidation products.
- These aluminum oxidation products such as amorphous Al 2 0 3 , precursors of Jc * -Al 2 0 3 , ⁇ -Al 2 0 3 and aluminum-organic compounds lead to the fact that the main part of the metallic aluminum powder remaining for the shaping during heat treatment in Oxygen-containing atmosphere is oxidized to Al 2 0 3 even before the melting temperature of the aluminum metal (660 ° C), with the prerequisite that the maximum oxidation rate occurs between 510 and 610 ° C, preferably between 530 and 580 ° C.
- the suitable grinding conditions can be determined by carrying out a differential thermo-analytical (DTA) measurement in air over the temperature range from 0 ° C. to 1000 ° C. and determining the maximum rate of oxidation.
- DTA differential thermo-analytical
- This DTA method is described in Encyclopedia of Materials Science and Engineering (MB Bever), Vol. 7, pp 4902 to 4909, Pergamon Press Ltd. London, 1986.
- the intensive wet grinding in stage (a) of the process according to the invention is carried out in a non-aqueous liquid.
- non-aqueous solvents are suitable, for example alcohols such as metha- nol, ethanol, isopropanol, ketones such as acetone, methyl ethyl ketone and diethyl ketone, aliphatic and aromatic hydrocarbons such as n-hexane, toluene, amines, heterocycles, etc.
- alcohols such as metha- nol, ethanol, isopropanol
- ketones such as acetone, methyl ethyl ketone and diethyl ketone
- aliphatic and aromatic hydrocarbons such as n-hexane, toluene, amines, heterocycles, etc.
- Suitable grinding devices are, for example, high-energy ball mills, preferably a bead mill or an attritor.
- the duration of the grinding treatment depends on the type of grinding device used, the non-aqueous grinding liquid and the type and composition of the powder to be ground. For example, if spherical aluminum powder is ground in a bead mill with ZrO 2 balls as grinding media and ethanol, isopropanol or acetone for 12 hours, aluminum oxidation precursors and a maximum oxidation rate in the area of step (a) are obtained. In general, with milling times of between 0.5 and 20 hours, preferably 2 to 12 hours, and using spherical or platelet-shaped Al powder, the features of stage (a) are reliably achieved. The milling treatment is preferably carried out until 10 to 60% of the aluminum powder used has reacted to form aluminum oxidation precursors.
- powdered aluminum metal can be used alone, without any additives, ground, oxidized and optionally sintered.
- small additions of fine-grained ( ⁇ 1 ⁇ m) ⁇ -Al 2 0 3 , ⁇ -Fe 2 0 3 or MgO favor the oxidation and compression behavior.
- 0.5 to 15% by volume of powders from the group ⁇ -Al 2 0 3 and ⁇ -Fe 2 0 3 with particle diameters below 1 ⁇ m are preferably added as nucleation and sintering aids.
- the molded body according to the invention also represents a suitable matrix in which other substances can be incorporated or reacted.
- 2 to 80% by volume, based on the total mixture, of ceramic, metallic or metal-containing substances or compounds in the form of particles or organometallic liquids can be added to the aluminum powder before, during or after the grinding treatment.
- the added components preferably consist of one or more of the following elements or compounds: Li, Na, K, Ca, Sr, Ba, Al, Y, La, Ti, Zr, Nb, Ta, Zr, Co, Cu, Ni, Si and their oxides, carbides, nitrides or possibly organic or inorganic compounds.
- additives can, for example, promote the fine-grained nature of the Al 2 0 3 structure formed, form Al 2 0 3 -containing phases (eg mullite formation) or act as enhancers (SiC, TiC).
- AI is preferably added in the form of ⁇ -Al 2 0 3 , ⁇ -Al 2 0 3 or -Al 2 0 3 .
- stage (b) of the process according to the invention the powder which has been intensively wet-ground in stage (a) is formed into a green body in a manner known per se.
- the shaping is preferably carried out by isostatic pressing.
- too other conventional green body molding methods can be used in the same way within the scope of the invention.
- stage (c) of the process the green body is slowly heated in an oxygen-containing atmosphere to a temperature which is below the melting temperature of the aluminum of 660 ° C., the heating rate and / or holding time being chosen at such a temperature that at least 50% of the metallic aluminum powder remaining after grinding have reacted to Al 2 0 3 .
- a preferred heating rate is between 0.01 and 5 ° C per minute. At heating rates between 0.1 and 1 ° C per minute, the required conversion rate of the aluminum metal is usually achieved without further measures. With a working mode of 3 to 5 ° C per minute or more, it is generally necessary to continue heating at a temperature between 510 and 600 ° C for 1 to 20 hours until the desired oxidation is achieved.
- the particularly preferred heating rate without holding time for stage (c) is 0.5 to 1.0 ° C. per minute, heating up to temperatures of approximately 550 to 610 ° C.
- stage (c) The heating described in stage (c) is followed by a sintering stage which is carried out at 1100 to 1650 ° C.
- a sintering stage which is carried out at 1100 to 1650 ° C.
- heating to the selected sintering temperature is carried out at heating rates which are preferably between 1 and 20 ° C. per minute.
- the sintering treatment is preferably carried out at temperatures between 1300 and 1600 ° C.
- Processes contain 50 to 95 vol .-% aluminum powder, 5 to
- Shaped bodies produced according to the invention have an extraordinarily pronounced fine grain size after step (c) with grain sizes below 1 ⁇ m, preferably below 0.25 ⁇ m.
- the flexural strength of the shaped bodies obtained after stage (c) reaches values of up to over 600 MPa and densities in percent of the theoretical density (% TD) between 88 and 98.
- grain sizes close to 1 ⁇ m, ie approx , 1 'to 2 ⁇ m.
- isostatically pressed green bodies which contain additions of 10% by volume of ZrO 2 and 20% by volume of ⁇ -Al 2 0 3 , after heating at 0.5 ° C. per minute from room temperature to 600 ° C. in air and subsequent sintering at a heating rate of 5 ° C. per minute to 1350 ° C. with a holding time of 2 hours has a density of 91%, an average pore size below 0.1 ⁇ m and an average grain size below 0.25 ⁇ m. Despite their relatively low density, these bodies have strengths of at least 200 MPa and, due to these properties, are ideally suited for further superplastic deformation.
- disc-shaped bodies made therefrom with a diameter of 15 mm and a thickness of 3 mm were made with a sintered SiC tool, consisting of a trough-shaped die (radius of the circular recess 20 mm) and a stamp with a radius of 20 mm on the pressure side formed into shells with a wall thickness of 2.5 mm. These shells then had a density of over 98% TD and strengths over 1000 MPa. The mean pressures required for this were below 100 MPa at a temperature of 1400 ° C. and a rate of deformation of 5 x 10 " 3 per second. A similar deformation was carried out with bodies that had 20% by volume fine ( ⁇ 5 ⁇ m) SiC- Contained powder received.
- the superplastic deformation can generally be carried out at temperatures between 1100 and 1500 ° C and pressures between 20 and 200 MPa. It enables a higher compression of the preform and a near-end shape (near- ⁇ et shape).
- the powder obtained in stage (a) of the invention it can be processed by flame spraying in accordance with a modification of the process according to the invention.
- An aluminum powder with 35% by volume Al 2 O 3 was flame-sprayed on a steel substrate in air. Spray layers 2 mm thick were obtained which only contained traces of unoxidized Al.
- By short afterglow (30 minutes) in air at 1250 ° C could be likewise without cracking if convert this AI completely in Al 2 0. 3
- a green powder ground according to the invention is further processed by flame spraying (or plasma spraying), it may be expedient to subject the ground green powder to an agglomeration treatment before spraying.
- flame spraying or plasma spraying
- temperatures between 510 and 1500 ° C. are expediently used.
- fine metal bodies for example Al wires of 100 ⁇ m
- fine metal bodies for example Al wires of 100 ⁇ m
- fine 100 ⁇ m Al wires were embedded in an isostatically pressed green body in accordance with stage (b) of the method according to the invention.
- stage (b) of the method according to the invention After an annealing treatment, as described above for the superplastically deformable bodies, these wires remained completely in metallic form.
- An additional annealing treatment in air at 1500 ° C. for 2 hours did not change the metallic form. The same result was obtained if 200 ⁇ m copper wires were embedded instead of the 100 ⁇ m Al wires.
- the method according to the invention is therefore suitable for "co-firing" (commonly total sintering) of Al 2 0 3 -containing components with metallic inclusions, for example in the form of electrical conductors or bushings.
- metallic inclusions such as copper or aluminum wires, which are only covered with a very thin oxide skin, are exposed, so that simple contact production is made possible.
- conductor tracks made of wires or circuit boards, which in turn consist of Al, Cu, Ag, Au, Fe, Co, Ni and their alloys.
- ceramic molded articles produced according to the invention are particularly suitable as construction elements in machine and apparatus construction, as cutting tools and as a heat-resistant form in casting technology, for example in steel casting. If processing is carried out by flame or plasma spraying, particularly wear-resistant and corrosion-resistant layers are obtained. If metallic moldings are stored, the products are suitable as contacting elements in electronic components, conductive and temperature-stable lead-through elements for measuring signal and power transmission.
- Cylindrical disks (15 mm in diameter, 3 mm thick) were pressed isostatically from the ground powder at 200 MPa and heated to 580 ° C. in air at 0.5 ° C. per minute, held there for 2 hours and then at 2 ° C. per minute heated to 1500 ° C and held there for 1 hour.
- the samples had a density of 93.5% TD, a grain size of ⁇ 1 ⁇ m and a pore size of ⁇ 0.1 ⁇ m.
- the flexural strength (ball-on-ring) of the disc ground to a thickness of 2 mm was 440 MPa.
- Example 1 powder mixtures of 70% by volume Al powder, 20% by volume Al 2 O 3 and 10% by volume ZrO 2 (2Y-TSP, Tosoh, Japan) were ground and dried, then at 300 MPa pressed into slices and heated to 600 ° C at 0.5 ° C per minute and then heated to 1350 ° C at 5 ° C per minute without holding time and held there for 2 hours. The density was then 91% TD with an average grain size of ⁇ 0.25 ⁇ m. These samples were deformed as in Example 2 at 1400 ° C. at a speed of 5 x 10 " 3 per second at a pressure of ⁇ 60 MPa. The density of the 1 mm thick discs (approx. 12.5 mm in diameter) was 99% TD and the strength was 1360 MPa.
- Example 5 250 g of a powder mixture consisting of 75 vol .-% Al, 20 vol .-% Zr0 2 and 5 vol .-% ⁇ -Fe 2 0 3 powder (Ventron Chemie, ⁇ 0.1 ⁇ m) was 15 hours as in Example 1 was intensively ground, 20% by volume of SiC (Norton, USA, 5 ⁇ m), based on the mixture as a whole, being added after 14 hours and the mixture was also ground for a further hour. The procedure was then as in Example 3. After being formed into shells, the strength was 630 MPa, the structure not only having ZrO 2 , ⁇ -Al 2 O 3 and SiC but also portions of mullite.
- Example 2 As in Example 1, a powder mixture of 50% by volume Al, 15% by volume ZrO 2 and 35% by volume ⁇ -Al 2 0 3 was ground, dried and then at 300 MPa to give rods with the dimensions 24 ⁇ 4 x 4 mm 3 pressed. DTA measurements showed a maximum oxidation rate at 545 ° C with an oxidation of over 70% at temperatures ⁇ 660 ° C.
- the pressed rods were heated in air in a muffle furnace at 1 ° C. per minute to 560 ° C., held there for 2 hours and then at 10 ° C. per minute to 1300 ° C., then further at 2 ° C. per minute to 1550 ° C. heated up. Their density was then 96.5% TD and their strength 580 MPa.
- Example 5 The powder from Example 5 was ground in an attritor mill (Netzsch, 0.75 l) in isopropanol with 2 mm ZrO 2 balls for 7 hours.
- the maximum oxidation rate was 530 ° C. in the same way as in samples treated in Example 5, with> 90% of the remaining Al oxidizing before the melting temperature of the Al.
- 100 ⁇ m aluminum wires were embedded in green samples from the powder from Example 6 (isostat pressing pressure 300 MPa). These samples were heated in a muffle furnace at 1 ° C per minute to 560 ° C, then at 2 ° C per minute to 660 ° C and then at 5 ° C per minute to 1500 ° C, where they were held for 1 hour. Grindings of these samples showed that the Al wires were unchanged, ie also as metallic Al, in the Al 2 0 3 -Zr0 2 matrix. The wires remained unchanged even after 10 hours of annealing in air at 1500 ° C even though they were in molten form during this period.
- Spherical Al particles (Alcan 105) of the sieve fraction 25 to 30 ⁇ m were mixed into the powder from Example 6. After the same treatment as in Example 7, they were also in unchanged form. After the 1-hour annealing in air at 1500 ° C. (as in Example 7), these samples had a closed porosity, so that they could be hot-isostatically (HIP) redensified for 30 minutes without encapsulation at 1500 ° C. in Ar. Even after this treatment, the Al balls were only slightly changed.
- HIP hot-isostatically
- Example 7 As in Example 7, 200 ⁇ m Cu wire was incorporated into the powder mixture from Example 6 instead of Al wire. After sintering as in Example 7, the copper wires were also only slightly changed. They could be exposed by briefly grinding the sample surface.
- Example 6 The powder from Example 6 was sprayed onto a steel substrate in air using a flame spray gun.
- the layer which still contained small amounts of unoxidized Al, could be completely oxidized by an annealing treatment at 1250 ° C.
- Their structure was considerably more fine-grained ( ⁇ 0.5 ⁇ m) than conventionally sprayed Al 2 0 3 powder.
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Abstract
Zur Herstellung eines feinkörnigen, wenigstens 10 Vol.-% Al2O3 enthaltenden Keramikformkörpers wird: (a) pulverförmiges Aluminiummetall alleine oder zusammen mit Al2O3 oder/und gegebenenfalls weiteren zur keramikbildung geeigneten anorganischen Substanzen in einer nicht-wäßrigen Flüssigkeit in Gegenwart von Sauerstoff gemahlen, bis 10 bis 80 % des metallischen Aluminiumpulvers zu einer oder mehreren Aluminiumoxidationsvorstufen aus der Gruppe amorphes Al2O3, η-Al2O3 und Aluminium-organische Verbindungen reagiert hat und das Pulver gemäß differential-thermoanalytischer Messung eine maximale Oxidationsgeschwindigkeit zwischen 510 und 610 °C aufweist; (b) das so erhaltene Pulver zu einem Grünkörper geformt und (c) dieser langsam auf eine Temperatur, die unterhalb der Schmelztemperatur des Aluminiums liegt, in sauerstoffhaltiger Atmosphäre erhitzt, bis mindestens 50 % des nach dem Mahlen verbliebenen metallischen Aluminiumpulvers zu Al2O3 reagiert haben, und danach (d) der erhaltene Formkörper bei 1100 bis 1650 °C gesintert oder (e) das in Stufe (a) erhaltene Pulver duch Flamm- oder Plasmaspritzen in Gegenwart von Sauerstoff auf ein Substrat aufgebracht.
Description
BESCHREIBUNG - 1 -
Verfahren zur Herstellung von feinkörnigen Al203 enthaltenden keramischen Formkörpern unter Verwendung von pulverförmigem
Aluminiummetall
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von feinkörnigen Al203 enthaltenden keramischen Formkörpern unter Verwendung von pulverförmigem Aluminiummetall.
Die Herstellung von Al203 Keramiken unter Verwendung von metallischem Aluminium ist bekannt. So wird in US-P 5,024,795 ein derartiges Verfahren beschrieben, welches auf der gerich¬ teten Schmelzoxidation beruht. In den DE-A-38 12 266, 40 17 262, 40 39 530, 40 39 531 und 41 26 738 sind Verfahren be¬ schrieben, die auf dem Prinzip der Oxidation von Mischungen aus Aluminiummetall und Al203 bei Temperaturen oberhalb des Schmelzpunktes von AI, überwiegend bei Temperaturen oberhalb 900°C, beruhen. Nach diesen Verfahren hergestellte Keramik¬ formkörper zeichnen sich durch besonders geringe Schrumpfung, hohe Grünfestigkeit und glasphasenfreie Korngrenzen aus. Ein Nachteil dieser Verfahren liegt jedoch darin, daß es nicht möglich ist, oxidierbare Metallformteile in die Keramiken einzulagern, insbesondere Aluminiumdrähte, ohne daß diese während der Wärmebehandlung zerstört werden. Auch eignen sich diese Verfahren nicht für eine superplastische Verformung der erhaltenen Körper oder zur Verarbeitung nach dem Flammspritz¬ verfahren. Ferner ist bei den bekannten Verfahren die Notwen¬ digkeit, stets mit einem Zusatz von Al203 zu arbeiten, von Nachteil in Bezug auf die Herstellung besonders rißfester und feinstporiger Körper. So ist es nach der Lehre der oben genannten DE-A-Schriften erforderlich, daß mindestens 50 Vol.-% Al203 zur Passivierung, als Sinterhilfe und für die vollständige Umsetzung des Aluminiummetalls notwendig ist.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde ein verbesser¬ tes Verfahren zur Herstellung von derartigen Al203 Keramik¬ formkörpern zu schaffen, welches die oben erwähnten Nachteile
beseitigt oder vermindert und auch ohne Al203 Zusatz durch¬ führbar ist.
Gelöst wird diese Aufgabe erfindungsgemäß durch ein Verfahren zur Herstellung eines feinkörnigen, wenigstens 10 Vol.-% Al203 enthaltenden Keramikformkörpers, das dadurch gekenn¬ zeichnet ist, daß
(a) pulverförmiges Aluminiuinmetall alleine oder zusammen mit Al203 oder/und gegebenenfalls weiteren zur Kera¬ mikbildung geeigneten anorganischen Substanzen in einer nicht-wäßrigen Flüssigkeit in Gegenwart von Sauerstoff gemahlen wird bis 10 bis 80 % des metalli¬ schen Aluminiumpulvers zu einer oder mehreren Alumini- umoxidationsvorstufen aus der Gruppe amorphes Al203 , tf-Al203 und Aluminium-organische Verbindungen reagiert hat und das Pulver gemäß differential-thermoanalyti- scher Messung eine maximale Oxidationsgeschwindigkeit zwischen 510 und 610°C aufweist
(b) das so erhaltene Pulver zu einem Grünkörper geformt und
(c) dieser langsam auf eine Temperatur, die unterhalb der Schmelztemperatur des Aluminiums liegt, in Sauerstoff- haltiger Atmosphäre erhitzt wird, bis mindestens 50 % des nach dem Mahlen verbliebenen metallischen Alumini¬ umpulvers zu Al203 reagiert haben und danach
(d) eine Sinterbehandlung bei 1100 bis 1650°C durchgeführt wird.
Die Erfindung beruht auf der überraschenden Feststellung eines Zusammenhangs zwischen der maximalen Oxidationsrate von Aluminiumpulver bei Temperaturen unterhalb des Schmelzpunkts von Aluminium (660°C) und der nach der Oxidation durch Wärme¬ behandlung in Sauerstoffhaltiger Atmosphäre erzielten extre¬ men Feinkörnigkeit des als Oxidationsprodukt erhaltenen Keramikformkörpers. Diese extreme Feinkörnigkeit des erfin¬ dungsgemäß erhaltenen Keramikformkörpers führt dazu, daß 1.
der Körper bei relativ geringen Temperaturen und Drücken superplastisch verformbar ist, und 2. daß metallische Form¬ körper wie Drähte und Platinen in den Grünkörper in Stufe (b) eingelagert werden können die bei der anschließenden Oxidati- onsbehandlung und Sinterung in Stufen (c) und (d) ihre Form und ihren metallischen Charakter beibehalten. Die Stufen (b), (c) und (d) dieses Verfahrens können auch durch Flammspritzen bzw. Plasmaspritzen ausgeführt werden, wobei man den Keramik¬ formkörper in Form von Spritzschichten erthält, die ein feineres Korn aufweisen als dies bisher erhältlich war.
Erfindungswesentlich ist die in Stufe (a) des Verfahrens der Erfindung durchgeführte intensive Naß-Vermahlung des Alumini¬ umpulvers. Unter den angegebenen Bedingungen wird das Alumi¬ niumpulver mit Aluminiumoxidationsprodukten submikrofein durchsetzt. Diese Aluminiumoxidationsprodukte wie amorphes Al203 , Vorstufen von Jc*-Al203 , α-Al203 und Aluminium-organi¬ sche Verbindungen, führen dazu, daß der Hauptteil des für die Formgebung verbleibenden metallischen Aluminiumpulvers bei einer Wärmebehandlung in Sauerstoffhaltiger Atmosphäre schon vor der Schmelztemperatur des Aluminiummetalls (660°C) zu Al203 oxidiert, wobei Voraussetzung ist, daß die maximale Oxidationsrate zwischen 510 und 610°C, bevorzugt zwischen 530 und 580°C auftritt.
Die geeigneten Mahlbedingungen lassen sich dadurch erfassen, daß man am erhaltenen Produkt eine differential-thermo- analytische (DTA)-Messung an Luft über den Temperaturbereich von 0°C bis 1000°C durchführt und das Maximum der Oxidati- onsgeschwindigkeit feststellt. Dieses DTA-Verfahren ist beschrieben in Encyclopedia of Materials Science and Enginee¬ ring (M.B. Bever), Vol. 7, pp 4902 bis 4909, Pergamon Press Ltd. London, 1986. Die Intensiv-Naß-Vermahlung in Stufe (a) des erfindungsgemäßen Verfahrens erfolgt in einer nicht¬ wäßrigen Flüssigkeit. Prinzipiell kommen alle nicht-wäßrigen Lösungsmittel in Betracht, beispielsweise Alkohole wie Metha-
nol, Ethanol, Isopropanol, Ketone wie Aceton, Methylethylke- ton und Diethylketon, aliphatische und aromatische Kohlenwasserstoffe wie n-Hexan, Toluol, Amine, Heterocyclen usw.. Die Eignung eines Lösungsmittels als Mahlflüssigkeit im Rahmen der Erfindung ebenso wie die Mahlbedingungen zur Erzielung der maximalen Oxidationsrate im angegebenen Tempe¬ raturbereich lassen sich durch einfache Vorversuche leicht feststellen.
Geeignete Mahlvorrichtungen sind beispielsweise energiereiche Kugelmühlen, vorzugsweise eine Perlmühle oder ein Attritor.
Die Dauer der Mahlbehandlung hängt von der Art der verwende¬ ten Mahlvorrichtung, der nicht-wäßrigen Mahlflüssigkeit sowie Art und Zusammensetzung des zu mahlenden Pulvers ab. Wird beispielsweise kugelförmiges Aluminiumpulver in einer Perl¬ mühle mit Zr02 -Kugeln als Mahlkörper und Ethanol, Isopropanol oder Aceton 12 Stunden vermählen, so erhält man Aluminiumoxi- dationsvorstufen und eine maximale Oxidationsgeschwindigkeit im Bereich der Stufe (a). Im allgemeinen wird man mit Mahl¬ dauern zwischen 0,5 und 20 Stunden, vorzugsweise 2 bis 12 Stunden und unter Verwendung von kugeligem oder plättchenför- migen AI-Pulver die Merkmale von Stufe (a) zuverlässig errei¬ chen. Die Mahlbehandlung wird vorzugsweise so lange durchgeführt bis 10 bis 60 % des eingesetzten Aluminiumpul¬ vers zu Aluminiumoxidationsvorstufen reagiert haben.
Durch die erfindungsgemäße Intensiv-Naß-Ver ahlung an Luft wird neben einer Zerkleinerung des eingesetzten Aluminiumpul¬ vers eine feine innere und äußere Oxidation des Aluminiumme¬ talls erzielt bei der je nach Art und Dauer der Mahlung 10 bis 80 % des eingesetzten metallischen Aluminiums zu den oben erwähnten Aluminiumoxidationsvorstufen reagieren die in Form feinstverteilter Dispersionen vorliegen. Wesentlich ist hierbei, daß das Maximum der DTA-Kurve im Bereich zwischen 510 und 610°C festgestellt wird. Dies ist die Voraussetzung
dafür, daß bei der Oxidation der angestrebte submikrofeine Al203 -haltige feinstporige Körper bei Temperaturen unterhalb des Schmelzpunktes des Aluminiums gebildet wird.
Im Rahmen des erfindungsgemäßen Verfahrens kann pulverförmi- ges Aluminiummetall alleine ohne irgendwelche Zusätze einge¬ setzt, gemahlen, oxidiert und gegebenenfalls gesintert werden. Geringe Zusätze von feinkörnigen (< lμm) α-Al203 , α- Fe203 oder MgO begünstigen das Oxidations- und Verdich¬ tungsverhalten jedoch. Bevorzugt werden 0,5 bis 15 Vol.-% Pulver aus der Gruppe α-Al203 und α-Fe203 mit Teil¬ chendurchmessern unter 1 μm als Keimbildungs- und Sinterhil¬ fen zugesetzt.
Der erfindungsgemäße Formkörper stellt auch eine geeignete Matrix dar, in die anderen Substanzen eingelagert oder ein¬ reagiert werden können. Hierzu kann man dem Aluminiumpulver vor, während oder auch nach der Mahlbehandlung 2 bis 80 Vol.- %, bezogen auf die Gesamtmischung, keramische, metallische oder metallhaltige Substanzen oder Verbindungen in Form von Teilchen oder metallorganischen Flüssigkeiten zusetzen. Die zugesetzten Komponenten bestehen vorzugsweise aus einem oder mehreren der folgenden Elemente oder Verbindungen: Li, Na, K, Ca, Sr, Ba, AI, Y, La, Ti, Zr, Nb, Ta, Zr, Co, Cu, Ni, Si sowie deren Oxide, Carbide, Nitride oder evtl. organische oder anorganische Verbindungen. Diese Zusätze können z.B. die Feinkörnigkeit des entstehenden Al203 -Gefüges begünstigen, Al203 -haltige Phasen bilden (z.B. Mullitbildung) oder als Verstärker wirken (SiC, TiC) . AI wird vorzugsweise in Form von α-Al203 , ß-Al203 oder -Al203 zugesetzt.
In Stufe (b) des erfindungsgemäßen Verfahrens wird das in Stufe (a) intensiv naßvermahlene Pulver in an sich bekannter Weise zu einem Grünkörper geformt. Bevorzugt erfolgt die Formung durch isostatisches Pressen. Jedoch können auch
andere übliche Grünkörperformungsverfahren in gleicher Weise im Rahmen der Erfindung eingesetzt werden.
In Stufe (c) des Verfahrens wird der Grünkörper in Sauer¬ stoffhaltiger Atmosphäre langsam auf eine Temperatur, die unterhalb der Schmelztemperatur des Aluminiums von 660°C liegt, aufgeheizt, wobei Aufheizgeschwindigkeit oder/und Haltedauer bei einer solchen Temperatur so gewählt werden, daß mindestens 50 % des nach dem Mahlen verbliebenen metallischen Aluminiumpulvers zu Al203 reagiert haben. Eine bevorzugte Aufheizgeschwindigkeit liegt zwischen 0,01 und 5°C pro Minute. Bei Aufheizraten zwischen 0,1 und 1°C pro Minute wird in der Regel ohne weitere Maßnahmen die erforderliche Umsatzrate des Aluminiummetalls erreicht. Bei einer Ar¬ beitsweise von 3 bis 5°C pro Minute oder darüber ist es in der Regel erforderlich bei einer Temperatur zwischen 510 und 600°C 1 bis 20 Stunden weiter zu erhitzen bis die gewünschte Oxidation erzielt ist. Die besonders bevorzugte Auf- heizgeschwindigkeit ohne Haltedauer für Stufe (c) beträgt 0,5 bis 1,0°C pro Minute, wobei bis auf Temperaturen von etwa 550 bis 610°C erhitzt wird.
Der oben beschriebenen Erhitzung in Stufe (c) schließt sich noch eine Sinterstufe an, die bei 1100 bis 1650°C durchge¬ führt wird. Zu diesem Zweck wird im Anschluß an Stufe (c) mit Aufheizraten, die vorzugsweise zwischen 1 und 20°C pro Minute liegen, auf die gewählte Sintertemperatur aufgeheizt. Die Sinterbehandlung erfolgt vorzugsweise bei Temperaturen zwi¬ schen 1300 und 1600°C.
Bevorzugt zusammengesetzte Pulver für das erfindungsgemäße
Verfahren enthalten 50 bis 95 Vol.-% Aiuminiumpulver, 5 bis
35 Vol.-% α-Al203 , 0 bis 20 Vol.—% Zr203 , 0 bis 20 Vol.-% Sie.
Erfindungsgemäß hergestellte Formkörper weisen nach Stufe (c) eine außerordentlich ausgeprägte Feinkörnigkeit auf mit Korngrößen unter 1 μm, vorzugsweise unter 0,25 μ . Die Biege¬ festigkeit der nach Stufe (c) erhaltenen Formkörper erreicht Werte bis über 600 MPa und Dichten in Prozent der theoretischen Dichte (% TD) zwischen 88 und 98. Nach Stufe (d) erhält man Korngrößen nahe 1 μm, d.h. ca. 0,1 'bis 2 μm.
Typischerweise weisen isostatisch gepreßte Grünkörper, die Zusätze von 10 Vol.-% Zr02 und 20 Vol.-% α-Al203 enthalten, nach einer Aufheizung mit 0,5°C pro Minute von Raumtemperatur bis 600°C an Luft und anschließendem Sintern mit einer Auf¬ heizgeschwindigkeit von 5°C pro Minute bis 1350°C bei 2- stündiger Haltedauer eine Dichte von 91 %, eine mittlere Porengröße unter 0, 1 μm und eine mittlere Korngröße unter 0,25 μm auf. Trotz ihrer relativ geringen Dichte weisen diese Körper Festigkeiten von mindestens 200 MPa auf und eignen sich aufgrund dieser Eigenschaften in idealer Weise für eine weitere superplastische Verformung. So wurden beispielsweise daraus hergestellte scheibenförmige Formkörper mit 15 mm Durchmesser und 3 mm Dicke mit einem gesinterten SiC-Werk- zeug, bestehend aus einem muldenförmigen Gesenk (Radius der kreisförmigen Vertiefung 20 mm) und einem Stempel mit eben¬ falls 20 mm Radius an der Druckseite zu Schalen mit 2,5 mm Wandstärke geformt. Diese Schalen wiesen anschließend eine Dichte von über 98 % TD und Festigkeiten über 1000 MPa auf. Die dazu erforderlichen mittleren Drücke lagen unter 100 MPa bei einer Temperatur 1400°C und einer Verformungsgeschwindig¬ keit von 5 x 10" 3 pro Sekunde. Eine ähnliche Umformung wurde mit Körpern, die 20 Vol.-% feines (< 5 μm) SiC-Pulver enthielten, erhalten.
Die superplastische Verformung läßt sich im allgemeinen bei Temperaturen zwischen 1100 und 1500°C und Drücken zwischen 20 und 200 MPa durchführen. Sie ermöglicht eine höhere Verdichtung der Vorform und eine endnahe Form (near-αet- shape) .
In Folge der hohen Oxidationsgeschwindigkeit des in Stufe (a) der Erfindung erhaltenen Pulvers läßt sich dieses gemäß einer Abwandlung des erfindungsgemäßen Verfahrens durch Flammsprit- zen verarbeiten. So wurde ein Al-Pulver mit 35 Vol.-% -Al203 auf ein Stahlsubstrat an Luft flammgespritzt. Man erhielt 2 mm dicke Spritzschichten die nur noch Spuren von nicht-oxi- dierte AI enthielten. Durch kurzes Nachglühen (30 Minuten) an Luft bei 1250°C ließ sich dieses AI ohne Rißbildung eben¬ falls völlig in Al203 umwandeln.
Wird ein erfindungsgemäß gemahlenes Grünpulver durch Flamm¬ spritzen (oder Plasmaspritzen) weiterverarbeitet, so kann es zweckmäßig sein, das gemahlene Grünpulver vor dem Verspritzen einer Agglomerierungsbehandlung zu unterziehen. Im Falle einer gewünschten Nachoxidation der so erhaltenen Spritz¬ schicht bzw. des Spritzkörpers in Sauerstoffhaltiger Atmos¬ phäre wendet man zweckmäßig Temperaturen zwischen 510 und 1500°C an.
Ein weiterer überraschender Effekt des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin, daß in den Grünkörper auch feine Metallkörper, beispielsweise Al-Drähte von 100 μm, eingela¬ gert werden können ohne daß sie bei der Erhitzungsbehandlung und Sinterung in Stufen (c) und (d) oxidiert werden. Bei¬ spielsweise wurden in einen isostatisch gepreßten Grünkörper gemäß Stufe (b) des erfindungsgemäßen Verfahrens feine 100 μm Al-Drähte eingelagert. Nach einer Glühbehandlung, wie sie oben für die superplastisch verformbaren Körper beschrieben ist, blieben diese Drähte völlig in metallischer Form erhal¬ ten. Auch eine zusätzliche Glühbehandlung an Luft bei 1500°C während 2 Stunden veränderte die metallische Form nicht. Das gleiche Ergebnis wurde erhalten, wenn statt der 100 μm Al- Drähte 200 μm Kupferdrähte eingelagert wurden. Daher eignet sich das erfindungsgemäße Verfahren zum "Co-firing" (gemein-
sames Sintern) von Al203 -haltigen Bauelementen mit metalli¬ schen Einlagerungen z.B. in Form von elektrischen Leitern oder Durchführungen. Durch Überschleifen von wenigen μm Tiefe werden die nur mit einer sehr dünnen Oxidhaut abgedeckten metallischen Einlagerungen wie Kupfer oder Aluminiumdrähte freigelegt, so daß eine einfache Kontaktherstellung ermög¬ licht wird.
Als metallische Einlagerungen eignen sich insbesondere Lei¬ terbahnen aus Drähten oder Platinen die wiederum aus AI, Cu, Ag, Au, Fe, Co, Ni und deren Legierungen bestehen.
Aufgrund der vorstehend geschilderten Eigenschaften eignen sich erfindungsgemäß hergestellte Keramikformkörper besonders als Konstruktionselemente im Maschinen- und Apparatebau, als Schneidwerkzeug sowie als hitzebeständige Form in der Gieße¬ reitechnologie, beispielsweise beim Stahlguß. Soweit die Verarbeitung durch Flamm- oder Plasmaspritzen erfolgt, erhält man besonders verschleißfeste und korrosionsfeste Schichten. Wenn metallische Formkörper eingelagert sind eigenen sich die Produkte als Kontaktierungselemente in elektronischen Bautei¬ len, leitfähige und temperaturstabile Durchführungselemente für Meßsignal- und Leistungsübertragungen.
Die folgenden Beispiele erläutern die Erfindung weiter in Verbindung mit der beigefügten Zeichnung. Letztere zeigt ein Werkzeug zur Umformung von zylindrischen scheibenförmigen Keramikformkörpern gemäß der Erfindung.
Beispiel 1
250 g einer Pulvermiεchung, bestehend aus 95 Vol.-% AI-Pulver (Alcan 105, 20 bis 50 μm) und 5 Vol.-% α-Al203 μm (Taimei, Japan < 0,2 μm) wurden 12 h in einer Perlmühle mit 2 mm Zr0 - Mahlkugeln (3Y-TZP, Tosoh, Japan) in Aceton im Umlaufverfah-
ren mit Luftzufuhr intensiv gemahlen. Danach wurde die Mi¬ schung in einem Rotationstrockner getrocknet und zu Probestäbchen 5 x 5 x 40 mm3 isostatisch bei Drücken zwischen 100 und 900 MPa gepreßt. Eine differential-thermoanalytische Messung an Luft in einer DTA-Anlage (Netzsch, 409) ergab bei Proben, die bei 200 MPa isogepreßt wurden, eine maximale Oxidationsrate bei 575°C, wobei 67 Vol.-% des nach dem Mahlen verbliebenen metallischen AI vor der Schmelztemperatur des AI (660°C) pxidiert wurden (dies läßt sich u.a. aus der Gesamt¬ gewichtszunahme, die gleichzeitig in der DTA-Anlage gemessen wird, ermitteln) .
Aus dem gemahlenen Pulver wurden zylindrische Scheiben ( 15 mm Durchmesser, 3 mm dick) isostatisch bei 200 MPa gepreßt und mit 0,5°C pro Minute auf 580°C an Luft aufgeheizt, dort 2 Stunden gehalten und anschließend mit 2°C pro Minute auf 1500°C aufgeheizt und dort 1 Stunde gehalten.
Die Proben wiesen eine Dichte von 93,5 % TD, eine Korngröße von < 1 μm und eine Porengröße von < 0,1 μm auf. Die Biegefe¬ stigkeit (ball-on-ring) der auf 2 mm Dicke geschliffenen Scheibe betrug 440 MPa.
Beispiel 2
Die Proben aus Beispiel 1 wurden nach der 2 Stunden Glühung bei 580°C an Luft mit 5°C pro Minute auf 1350°C aufgeheizt und dort 1 Stunde gehalten. Ihre Dichte betrug daraufhin 89 % TD und ihre Festigkeit 230 MPa. Diese Proben wurden in einem gesinterten SiC-Werkzeug (Bild 1), bestehend aus einem unte¬ ren Gesenk mit einer Mulde (20 mm Radius) und einem Oberstem¬ pel (ebenfalls 20 mm Radius) zu schalenförmigen ca. 2,5 mm dicken Körpern bei 1400°C und einem mittleren Preßdruck von < 60 MPa umgeformt. Die Oberflächen des Werkzeugs waren mit BN bestrichen. Die Verformungsgeschwindigkeit betrug dabei 4 x
10" 3 pro Sekunde. Die mittlere Korngröße erhöhte sich gering¬ fügig von 0,3 auf 0,6 μm und die Dichte betrug 98,5 % TD. An scheibenförmigen Proben mit 12,5 mm Durchmesser und 1 mm Dicke, die aus den Schalenkörpern herausgearbeitet wurden, wurde eine Festigkeit (ball-on-ring) von 870 MPa gemessen.
Beispiel 3
Wie in Beispiel 1 wurden Pulvermischungen aus 70 Vol.-% Al- Pulver, 20 Vol.-% -Al203 und 10 Vol.-% Zr02 (2Y-TSP, Tosoh, Japan) gemahlen und getrocknet, anschließend bei 300 MPa zu Scheiben verpreßt und mit 0,5°C pro Minute auf 600°C aufge¬ heizt und danach ohne Haltezeit auf 1350°C mit 5°C pro Minute aufgeheizt und dort 2 Stunden gehalten. Die Dichte betrug danach 91 % TD bei einer mittleren Korngröße von < 0,25 μm. Diese Proben wurden wie in Beispiel 2 bei 1400°C mit einer Geschwindigkeit von 5 x 10" 3 pro Sekunde bei einem Druck von < 60 MPa verformt. Die Dichte der aus derart verformten Schalen herausgeschliffenen 1 mm dicken Scheiben (ca. 12,5 mm im Durchmesser) betrug 99 % TD und die Festigkeit 1360 MPa.
Beispiel 4
250 g einer Pulvermischung, bestehend aus 75 Vol.-% AI, 20 Vol.-% Zr02 und 5 Vol.-% α-Fe203 -Pulver (Ventron Chemie, < 0,1 μm) wurde 15 Stunden wie in Beispiel 1 intensiv gemahlen, wobei nach 14 Stunden 20 Vol.-% SiC (Norton, USA, 5 μm) , bezogen auf die Gesamtmischung, zugesetzt und eine weitere Stunde mitgemahlen wurde. Anschließend wurde wie in Beispiel 3 verfahren. Nach der Umformung zu Schalen betrug die Festig¬ keit 630 MPa, wobei das Gefüge neben Zr02 , α-Al203 und SiC auch Anteile aus Mullit aufwies.
Beispiel 5
Wie in Beispiel 1 wurde eine Pulvermischung aus 50 Vol.-% AI, 15 Vol.-% Zr02 und 35 Vol.-% α-Al203 gemahlen, getrocknet und anschließend bei 300 MPa zu Stäbchen mit den Dimensionen 24 x 4 x 4 mm3 verpreßt. DTA-Messungen ergaben eine maximale Oxidationsgeschwindigkeit bei 545°C bei einer Oxidation von über 70 % bei Temperaturen < 660°C.
Die gepreßten Stäbchen wurden in einem Muffelofen an Luft mit 1°C pro Minute auf 560°C aufgeheizt, dort 2 Stunden gehalten und anschließend mit 10°C pro Minute auf 1300°C, danach weiter mit 2°C pro Minute auf 1550°C aufgeheizt. Ihre Dichte betrug danach 96,5 % TD und ihre Festigkeit 580 MPa.
Beispiel 6
Das Pulver aus Beispiel 5 wurde in einer Attritormühle (Netzsch, 0,75 1) in Isopropanol mit 2 mm Zr02 -Kugeln 7 Stunden gemahlen. Die maximale Oxidationsrate lag in gleicher Weise wie in Beispiel 5 behandelten Proben bei 530°C, wobei > 90 % des verbliebenen AI vor der Schmelztemperatur des AI oxidierten.
Beispiel 7
In Grünproben aus dem Pulver aus Beispiel 6 wurden 100 μm Aluminiumdrähte eingelagert (Isostat-Preßdruck 300 MPa). Diese Proben wurden in einem Muffelofen mit 1°C pro Minute auf 560°C aufgeheizt, danach mit 2°C pro Minute auf 660°C und anschließend mit 5°C pro Minute auf 1500°C, wo sie 1 Stunde gehalten wurden. Anschliffe dieser Proben zeigten, daß die Al-Drähte in unveränderter Form, d.h. auch als metallisches AI, in der Al203 -Zr02 -Matrix vorlagen. Auch nach 10 Stunden Glühdauer an Luft bei 1500°C blieben die Drähte unverändert
erhalten, obwohl sie während dieser Zeit in schmelzflüssiger Form vorlagen.
Beispiel 8
Dem Pulver aus Beispiel 6 wurden kugelige Al-Teilchen (Alcan 105) der Siebfraktion 25 bis 30 μm zugemischt. Nach gleicher Behandlung wie in Beispiel 7 lagen auch sie in unveränderter Form vor. Nach der 1-stündigen Glühung an Luft bei 1500°C (wie Beispiel 7) wiesen diese Proben eine geschlossene Poro¬ sität auf, so daß sie ohne Einkapselung bei 1500°C in Ar 30 Minuten heißisostatisch nachverdichtet (HIP) werden konnte. Auch nach dieser Behandlung waren die Al-Kugeln nur unwesent¬ lich verändert.
Beispiel 9
Wie in Beispiel 7 wurde statt Al-Draht 200 μm Cu-Draht in die Pulvermischung aus Beispiel 6 eingelagert. Nach einer Sin¬ terbehandlung wie in Beispiel 7 waren auch die Kupferdrähte nur unwesentlich verändert. Sie konnten durch kurzes Über¬ schleifen der Probeoberfläche freigelegt werden.
Beispiel 10
Das Pulver aus Beispiel 6 wurde mit einer Flammspritzpistole auf ein Stahlsubstrat an Luft aufgespritzt. Die Schicht, die noch geringe Mengen an nicht oxidiertem AI enthielt, konnte durch eine Glühbehandlung bei 1250°C vollständig oxidiert werden. Ihr Gefüge war erheblich feinkörniger (< 0,5 μm) als konventionell verspritztes Al203 -Pulver.
Claims
Verfahren zur Herstellung eines feinkörnigen, we¬ nigstens 10 Vol.-% Al203 enthaltenden Keramikformkör- pers, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß
(a) pulverförmiges Aluminiummetall alleine oder zu¬ sammen mit Al 03 oder/und gegebenenfalls wei¬ teren zur Keramikbildung geeigneten anorganischen Substanzen in einer nicht-wäßri¬ gen Flüssigkeit in Gegenwart von Sauerstoff gemahlen wird bis 10 bis 80 % des metallischen Aluminiumpulvers zu einer oder mehreren Alumi- niumoxidationsvorstufen aus der Gruppe amorphes Al203 , Jf-Al203 und Aluminium-organische Verbin¬ dungen reagiert hat und das Pulver gemäß differential-thermoanalytischer Messung eine maximale Oxidationsgeschwindigkeit zwischen 510 und 610°C aufweist
(b) das so erhaltene Pulver zu einem Grünkörper geformt und
(c) dieser langsam auf eine Temperatur, die unter¬ halb der Schmelztemperatur des Aluminiums liegt, in Sauerstoffhaltiger Atmosphäre erhitzt wird, bis mindestens 50 % des nach dem Mahlen verbliebenen metallischen Aluminiumpulvers zu Al203 reagiert haben, und danach
(d) der erhaltene Formkörper bei 1100 bis 1650°C gesintert wird.
Verfahren nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß der Mahlvorgang in Stufe (a) durchgeführt wird bis die maximale Oxidationsgeschwindigkeit des Pulvers nach differential-thermoanalytischer Messung zwischen 530 und 580°C liegt.
3. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß in Stufe (a) als nicht-wäßrige Flüssigkeit ein aliphatischer Alkohol, ein aliphatisches Keton oder ein aliphatischer oder aromatischer Kohlenwasserstoff, der auch Heteroatome enthalten kann, verwendet wird.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß das Vermählen in einer Perlmühle oder einem Attri- tor durchgeführt wird.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß 0,5 bis 20 Stunden gemahlen wird.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß dem Aluminiumpulver mindestens ein feinkörniges (unter 1 μm) Pulver aus der Gruppe α-Al203 , α-Fe203 und MgO zugesetzt wird.
7. Verfahren nach Anspruch 6, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß man 0,5 bis 15 Vol.-% Zusatzmittel beifügt.
8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß man dem Aluminiumpulver vor, während oder nach der Mahlbehandlung 2 bis 80 Vol.-%, bezogen auf die Ge- samtmischung, keramische, metallische oder metallhal¬ tige Substanzen in Teilchenform oder metallorganische Flüssigkeiten zusetzt.
9. Verfahren nach Anspruch 8, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die zugesetzten Komponenten aus einem oder mehre¬ ren der Elemente Li, Na, K, Mg, Ca, Sr, Ba, AI, Y, La, Ti, Zr, Nb, Ta, Zr, Fe, Co, Cu, Ni, Si sowie deren Oxide, Carbide und Nitride bestehen.
10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Mahlbehandlung durchgeführt wird bis 10 bis 60 % des Aluminiumpulvers zu Aluminiumoxidationsvorstufen reagiert haben.
11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß in Stufe (b) der Grünkörper durch isostatisches Pressen geformt wird.
12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß in Stufe (c) mit einer Geschwindigkeit zwischen 0,01 und 5°C/min aufgeheizt wird.
13. Verfahren nach Anspruch 12, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß mit einer Geschwindigkeit zwischen 0,1 und l°C/min aufgeheizt wird.
14. Verfahren nach Anspruch 12, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß mit einer Geschwindigkeit von 3 bis 5°C/min aufge- heizt und danach bei einer Temperatur zwischen 510 und 600°C 1 bis 20 Stunden weiter erhitzt wird.
15. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß in Stufe (d) bei 1300 bis 1600°C gesintert wird.
16. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß mit einer Geschwindigkeit zwischen 1 und 20°C/min auf die Sintertemperatur aufgeheizt wird.
17. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß der gesinterte Formkörper bei einer Temperatur zwischen 1100 und 1500°C und einem Druck zwischen 20 und 200 MPa superplastisch verformt wird.
18. Verfahren zur Herstellung eines feinkörnigen, wenig¬ stens 10 Vol.-% Al203 enthaltenden Keramikformkör¬ pers, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß
(a) pulverförmiges Aluminiummetall alleine oder zu¬ sammen mit Al203 oder/und gegebenenf lls wei¬ teren zur Keramikbildung geeigneten anorganischen Substanzen in einer nicht-wäßri¬ gen Flüssigkeit in Gegenwart von Sauerstoff gemahlen wird bis 10 bis 80 % des metallischen Aluminiumpulvers zu einer oder mehreren Alumi¬ niumoxidationsvorstufen aus der Gruppe amorphes Al203 , tf-Al 03 und Aluminium-organische Verbin¬ dungen reagiert hat und das Pulver gemäß differential-thermoanalytischer Messung eine maximale Oxidationsgeschwindigkeit zwischen 510 und 610°C aufweist (b) das so erhaltene Pulver durch Flamm- oder
Plasmaspritzen in Gegenwart von Sauerstoff auf ein Substrat aufgebracht wird.
19. Verfahren nach Anspruch 18, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die erhaltenen Spritzschichten bzw. Spritzkörper bei einer Temperatur zwischen 510 und 1500°C in Sauer¬ stoffhaltiger Atmosphäre nachoxidiert werden.
20. Verfahren nach Anspruch 18 oder 19, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß das in Stufe (a) erhaltene Pulver agglomeriert wird.
21. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 17, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß in den Grünkörper in Stufe (b) feine Metallkörper eingelagert werden.
22. Verfahren nach Anspruch 21, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß man Drähte oder Platinen aus AI, Cu, Ag, Au, Fe, Co, Ni oder deren Legierungen einlagert.
23. Verfahren nach Anspruch 1 oder 18, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß man in Stufe (b) ein Grünpulver der Zusammenset¬ zung 50 bis 95 Vol.-% Aluminiumpulver, 5 bis 35 Vol.-% α-Al203, 0 bis 20 Vol.—% Zr203, 0 bis 20 Vol.-% SiC einsetzt.
24. Feinkörniger, wenigstens 10 Vol.-% Al203 enthaltender Keramikformkörper, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß er erhältlich ist indem (a) pulverförmiges Aluminiummetall alleine oder zu¬ sammen mit Al203 oder/und gegebenenfalls wei¬ teren zur Keramikbildung geeigneten anorganischen Substanzen in einer nicht-wäßri¬ gen Flüssigkeit in Gegenwart von Sauerstoff gemahlen wird bis 10 bis 80 % des metallischen Aluminiumpulvers zu einer oder mehreren Alumi- niumoxidationsvorstufen aus der Gruppe amorphes Al 03 , tf-Al203 und Aluminium-organische Verbin¬ dungen reagiert hat und das Pulver gemäß differential-thermoanalytischer Messung eine maximale Oxidationsgeschwindigkeit zwischen 510 und 610°C aufweist
(b) das so erhaltene Pulver zu einem Grünkörper geformt und
(c) dieser langsam auf eine Temperatur, die unter¬ halb der Schmelztemperatur des Aluminiums liegt, in Sauerstoffhaltiger Atmosphäre erhitzt wird, bis mindestens 50 % des nach dem Mahlen verbliebenen metallischen Aluminiumpulvers zu Al203 reagiert haben und danach
(d) der erhaltene Formkörper bei 1100 bis 1650°C gesintert wird.
25. Formkörper nach Anspruch 24, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß er metallische Einlagerungen aus Drähten oder Platinen, die aus AI, Cu, Ag, Au, Fe, Co, Ni oder deren Legierungen bestehen, enthält.
26. Formkörper nach Anspruch 24 oder 25, g e k e n n z e i c h n e t d u r c h eine Korngröße ca. 1 μm.
27. Verwendung eines nach einem der Ansprüche 1 bis 23 hergestellten Formkörpers als Konstruktionselement im O 94/18140
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Maschinen- und Apparatebau, als Schneidwerkzeug, als hitzebeständige Form in der Gießereitechnologie oder als verschleißfeste und korrosionsfeste Schicht.
28. Verwendung eines nach Anspruch 22 hergestellten Form¬ körpers als Kontaktierungselement in elektronischen Bauteilen, leitfähiges und temperaturstabiles Durch¬ führungselement für Meßsignal-und Leistungsübertragun¬ gen.
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