JPH1187430A - はんだ球を基板へ接合させる方法及び装置 - Google Patents

はんだ球を基板へ接合させる方法及び装置

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JPH1187430A
JPH1187430A JP10174714A JP17471498A JPH1187430A JP H1187430 A JPH1187430 A JP H1187430A JP 10174714 A JP10174714 A JP 10174714A JP 17471498 A JP17471498 A JP 17471498A JP H1187430 A JPH1187430 A JP H1187430A
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plate
substrate
shaped element
link
solder balls
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JP10174714A
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English (en)
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Joerg Werner Rischke
ウェルナー リシュキー ヨルグ
Hugo Franklin Menschaar
フランクリン メンシャール ヒューゴー
Robert Kloosterboer
クロースターボーエル ロベルト
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MECO EQUIP ENG BV
Original Assignee
MECO EQUIP ENG BV
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    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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  • Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 接合点の位置においてフラックスの必要な量
を減少させる。 【解決手段】 はんだ球は板形要素に設けられた穴内に
配置され、各穴はそれぞれに一つのはんだ球を収納する
ことができ、穴は基板上の接続と一致するパターンで板
形要素に設けられ、はんだ球を有する少なくとも一つの
基板及び一つの板形要素の組み合わせが、運搬要素によ
ってハウジングを通り移動し、はんだ球が、ハウジング
において基板へ接合されるために熱処理を受け、少なく
とも一つの板形要素及び少なくとも一つの基板を有する
各組み合わせが、運搬要素によってハウジングの入口近
傍及び出口近傍に配置された閉鎖機構を介して、ハウジ
ングを通り移動し、ハウジング内において所望の環境が
維持され、その一方で、ハウジング内においてはんだ球
が板形要素に設けられた穴内へ配置されることを特徴と
するはんだ球を基板上に所定のパターンで設けられた接
続点へ接合させる方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、はんだ球を基板に
所定のパターンで設けられた接続点へ接合させる方法に
関する。そこで、はんだ球は板形要素に設けられた穴内
へ配置される。各穴は、それぞれ一つのはんだ球を収納
でき、基板の接続点のパターンに対応するパターンで前
記板形要素に設けられる。そこで、はんだ球を有する少
なくとも一つの基板及び一つの板形要素の組み合わせ
が、運搬要素によって、ハウジングを通り移動し、そこ
ではんだ球は熱処理を受けて基板を接合する。
【０００２】
【従来の技術】米国特許第５４４２８５２号は、球を基
板上へ配置する方法を開示している。そこで、膜のよう
な要素に基板の接続点のパターンと一致するパターンの
穴が設けられる。そして、はんだ球は、穴の数と一致す
る多数のノズルを具備する要素によって、前記ノズル内
に大気より低い圧力を発生させることによって拾い上げ
られることができ、ノズルは穴のパターンと一致するよ
うに配置される。そして、このように拾い上げられたは
んだ球は、基板に接合される膜部材の穴内へ配置され
る。こうして得られた基板、担体、はんだ球の組み合わ
せは、次に、はんだ球を溶融するために加熱されなけれ
ばならず、それにより、はんだ球は接続点へ接合する。
この加熱段階を実行する手段は、前記米国特許第５４４
２８５２号から得られることができない。
【０００３】米国特許第５４９９４８７号及び同第５５
５１２１６号は、はんだ球をはんだ球を受け入れるため
の凹所を具備している板形要素へ配置する装置を開示し
ている。それにより、前記の凹所を有する板形要素は、
通し穴を具備するさらなる板形要素と共に、二つの板形
要素がいくらかの距離だけ離間されるように、水平な軸
回りに回転する支持部材へ固定される。そして、支持要
素は、はんだ球が存在する貯蔵容器に通じる通し穴を具
備する板形要素を回転させるために回転し、それによ
り、はんだ球を各々の前記通し穴内へ配置する。そし
て、二つの板形要素は、凹所を有する板形要素が通し穴
を具備する板形要素の下に位置するように共に移動し、
前記支持要素によって回転する。それにより、はんだ球
はそれぞれの板形要素の凹所へ移される。意図されるよ
うに、こうして凹所を有する板形要素へ配置されたはん
だ球は、前記特許明細書には詳細に開示されていないい
くつかの方法によって、接続点を具備する基板へ接合さ
れることが可能である。
【０００４】米国特許第５５５１１４８号は、はんだ球
を板形要素へ配置する方法を開示している。そこで、膜
の様な要素が使用され、膜の様な要素は、所定のパター
ンで配置される穴を具備し、穴ははんだ付け材料等で充
填される。前記膜の様な要素は、穴内に存在するはんだ
付け材料が基板上に設けられる接続点の向かい合わせの
位置に位置するように基板上へ配置される。前記はんだ
付け材料は、前記はんだ付け材料の加熱及び圧縮をする
ことによって接続点へ移されうる。これら全ては、前記
公報において略図的に示されているだけである。
【０００５】日本国特許出願第０６２０９４１５号（公
報第０８０５６０７１号）は、さらにはんだ球を提供す
る方法を開示している。そこで、穴の開いた板が基板上
に配置される。そして、フレーム形部材は穴の開いた板
部材上に配置され、はんだ球は前記フレーム形部材の境
界内の板部材に配置される。
【０００６】そして、基板と板部材とフレームとそこで
収納されるはんだ球の組立体は、板の各穴へはんだ球を
配置するために、様々な方向の傾斜及び／又は振動す
る。フレーム及び過剰球の除去に続いて、はんだ球を基
板へ接合させるために基板及び基板の板部材はオーブン
を通り移動する。
【０００７】米国特許第４９５１４０１号及びヨーロッ
パ特許出願第０４６１９６１号及び同第０４７１６１９
号から、エンドレスコンベヤを具備する装置が知られて
いる。その装置は、コンベヤが二つの実質的に水平な、
重なる通路に沿って移動するように、滑車要素によって
ガイドされる。水平な上側の通路を移動するエンドレス
コンベヤの部分は、それによりオーブン構造物を通り移
動する。前記上部の上流側にある端部上に配置され、そ
れにより、前記基板上に存在するはんだ付け材料を溶融
させるためにオーブンを通り移動する。
【０００８】米国特許第５４３１３３２号もまた基板上
に固定された穴の開いた膜部材によって、基板上にはん
だ球を配置する方法を開示している。そこで、はんだ球
はフラックスによって基板に接合される。それにより前
記特許明細書は、穴の開いた膜部材を除去した後、パレ
ット上に存在する基板が、ころコンベヤによってオーブ
ンを通り移動することができるということを示してい
る。前記特許明細書は、これら全てが実施される制御方
法を示していない。
【０００９】前述より、従来技術によれば、はんだ球を
正確に配置すること及び前記はんだ球を基板へ接合させ
ることは、多数の分離された、通常、複雑な段階へ再分
割され、それにより、様々な刊行物から知られる前記分
離された段階の他に、さらなる手段が取られなければな
らず、様々な製品がある過程段階から他へ移動すること
が要求されるということが明白である。
【００１０】通常、それにより、基板へはんだ球を接合
させるためのフラックスを使用することが必要である。
しかしながら、フラックスの使用は概して基板の汚染を
招き、それによりはんだ付けの後に清浄段階が要求され
る。さらに、接合点の位置においてフラックスの正確な
量を適用することは非常に困難である。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、紹介
中の引用された種類の方法を得て、そこで前記欠点を克
服することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、各々が
少なくとも一つの板形要素及び少なくとも一つの基板を
有するの組み合わせが、ハウジング内で入口近傍及び出
口近傍に配置される閉鎖機構を介して前記運搬要素によ
って、ハウジングを通り移動し、ハウジング内で所望の
環境が維持される、その一方で、ハウジング内におい
て、はんだ球が前記板形要素に設けられている穴内へ配
置されるという点でこの目的は完成される。
【００１３】この方法を使用することにより、密閉され
た所望の環境内において、はんだ球を配置し、それらを
接合するという連続的な過程を行うことが可能であり、
それにより特に供給されるはんだ球から酸化物薄膜が除
去されているならば、ほぼフラックスを使用しないこと
が可能である。
【００１４】本発明のさらなる態様によれば、一方の通
路が他方の通路の上方で延在する運搬要素は二つの通路
を移動し、前記二つの重なる通路の第一の通路を移動す
る運搬要素の一部分上で、少なくとも一つの基板が前記
運搬要素によって支持される板形要素上に配置される。
その後、こうして形成された、板形要素及び少なくとも
一つの基板を有する組み合わせは運搬要素によって移動
し、前記二つの重なる通路の第二の通路への変移部分で
逆さに回転し、運搬要素は第二の通路をハウジングを通
り移動し、その一方で、前記第二の通路の始点近傍で板
形要素が前記少なくとも一つの基板上に実質的に位置す
る前記組み合わせの状態において、板形要素及び少なく
とも一つの基板を有する組み合わせへ、はんだ球が供給
される。
【００１５】この方法が使用された時、基板は連続的に
板形要素上に配置され、はんだ球は前記板形要素によっ
て基板に関して正確に配置されることが可能である。そ
の後、板形要素と基板とはんだ球とがハウジングを通り
移動し、それにより、前記はんだ球を基板上の接続点へ
接合させることが可能である。この方法を使用すること
によって、はんだ球の基板への配置、接合が非常に容易
で急速に行うことができ、そこで板形要素、基板及びは
んだ球の制御された運搬が、コンベヤによって行われる
ことができるようになる。
【００１６】本発明はさらに、所定のパターンで基板に
設けられた接続点上にはんだ球を配置する方法に関す
る。そこで基板は球が提供される基板上において板形要
素と結合される。そこで穴は、板形要素の穴が接続点の
向かい合わせの位置に位置するように、基板上の接続点
のパターンと一致するパターンで設けられる。本発明に
よれば、板形要素を基板の上面に載せて、板形要素及び
基板の組み合わせは、曲線通路を組み合わせが前記曲線
通路の曲線部分の中心の高さの下側を移動するように移
動する、その一方で、多数のはんだ球が組み合わせ上に
存在する。それにより、作動中に板形要素上を回転する
はんだ球は効果的に板形要素に設けられた穴を充填し、
それにより、基板及び板形要素の組み合わせが、それぞ
れの曲線通路を移動して基板の効率的な製造を行い、そ
こではんだ球が正確な配置関係において配置されるとい
うことが明白になる。
【００１７】本発明のさらなる態様は、本発明による方
法を実施するための特に適切な装置に関する。その装置
は運搬要素を具備し、運搬要素により、はんだ球を有す
る板形要素及び少なくとも一つの基板の組み合わせが、
装置の一部分を形成するハウジングを通り移動すること
ができる。ハウジングは、はんだ球が熱処理を受けるこ
とができる手段を具備している。
【００１８】本発明によれば、閉鎖機構はハウジングの
入口及び出口の近傍に具備されていて、運搬要素は連続
的に前記ハウジングの中へ及び中から移動する。その一
方で、はんだ球を板形要素へ供給する手段が前記ハウジ
ング内に設けられている。
【００１９】
【発明の実施の形態】添付図面を参照して、以後より詳
細に本発明は説明される。図面は、本発明による装置の
実施可能な実施態様を略図的に示している。図１に示さ
れている装置は、運搬要素１を具備し、運搬要素は、枢
着された複数のリンク２によって、形成されている。図
１から明白なように、それにより運搬要素１は、作動中
において、運搬要素の上部が、矢印Ａによって示される
方向に、少なくとも実質的に水平な上側の通路に沿って
移動し、その一方で、作動中において、運搬要素の下部
が、矢印Ｂによって示される方向に、少なくとも実質的
に水平な下側の通路に沿って移動するように、ガイドさ
れる。当然、運搬要素１は、それ自体公知の方法で、図
１に示される上部の左端部及び右端部の近傍と下部の右
端部の近傍とにおいてガイド部材（図示せず）上を通過
する。
【００２０】図３から９においてより詳細に示されるよ
うに、各リンク２は、運搬要素の長手方向に対して垂直
に延在している二つの梁３及び４を具備し、これらの梁
３、４の端部は、運搬要素の長手方向に対して平行に延
在している梁５、６によって接続され、各リンクの全て
は、実質的に長方形又は正方形の形状を有するようにな
っている。
【００２１】これらの図に示されるように、梁３〜６
は、底端部において、突出したフランジ部７〜１０が設
けられ、そのフランジ部は前記梁によって区画される凹
所１１の底側において周辺を取り囲む支持端部を形成
し、支持端部は以後詳細に記述される効果を提供する。
【００２２】例えば図３からさらに明白なように、梁３
及び４に隣接したフランジ部７、８の下側境界表面は、
前記フランジ部７、８の自由端の方向に上側に傾斜して
終端する。
【００２３】前記図から、梁３、４は実質的に三角形の
断面形状を有することがさらに明白である。梁の外側の
角の先端の近傍において、梁３、４は枢軸１２（略図的
にしか示されていない）によって、対応する隣のリンク
の梁３、４と枢着されている。これら全ては、図１０に
おいても略図的に示されている。運搬要素１の水平に延
在している上部の左端部から下方向へ延在している部分
が、二つの離間した滑車１３を通過し、それにより、運
搬要素の水平に延在している下部へ変移するということ
が図１及び前記図１０からさらに推論されることができ
る。それにより、運搬要素は、運搬要素が滑車１３の下
部に沿って延在し、運搬要素が運搬要素１の水平に延在
している下部よりも低く位置するように、ガイドされて
いる。
【００２４】図１及び１０から明白なように、滑車１３
は角張った周辺部を有し、それにより、各リンク２は、
二つの離間した滑車１３の真っ直ぐな周辺側部上におい
て、梁５、６によって形成されるリンクの端部で支持さ
れうる。
【００２５】図１により略図的に示されるように、滑車
１３及び、コンベヤの下部と共に前記滑車を通過する運
搬要素の一部分は、ハウジング１４内に配置される。運
搬要素１は、それにより位置１５、１６に配置される閉
鎖機構（図示せず）を介して、ハウジング１４の中へ及
び中からガイドされる。閉鎖機構はハウジング１４の内
部を大気から遮断し、それにより、ハウジング１４内に
おいて、所望の環境、例えば無酸化環境を維持すること
が可能である。
【００２６】水平に延在している運搬要素の下部が延在
するハウジング１４の少なくとも一部分には、ハウジン
グを通り移動する運搬要素の下部が熱処理を受けること
を可能とする手段を具備し、前記ハウジングの一部分
は、例えば前記米国特許第４９５１４０１号、又は、前
記ヨーロッパ特許第０４６１９６１号及び前記同第０４
７１６１９号においてに記述され、図示されているよう
な種類のいわばオーブンを形成する。
【００２７】さらに、はんだ球のための貯蔵容器１７
が、滑車１３を収納するハウジング１４の左側部分に配
置される。前記貯蔵容器は、二つの離間した滑車１３間
に存在する空間と、排出管１８を介して連絡している。
【００２８】図２〜５に略図的に示されるように、板形
要素１９は、フランジ部７〜１０によって形成される周
辺の縁部においてリンク２に設けられる凹所１１へ配置
されることができる。例えば、いわゆるリードフレーム
又はいわゆるインターポーザのような基板２０は、提供
される多数の集積回路２２を具備する担体２１から形成
され、例えば前記米国特許第５４４２８５２号において
開示されているように、前記板形要素上に配置される。
それにより、担体２１は、板形要素１９に対向する側に
おいて多数の接続点（図示せず）が設けられ、これらの
接続点は所定のパターンで配置される。
【００２９】板形要素１９に複数の穴２３が設けられ、
穴は基板２０上の接続点のパターンと対応するパターン
で配置されている。
【００３０】それにより、板形要素１９及び基板２０
は、板形要素１９において設けられている穴２３が、板
形要素１９に当接する基板２０の表面上の接続点と一致
するように、適切な整列及び固定する手段（図示せず）
によって、凹所１１内に配置されて固定されることがで
きる。
【００３１】図６〜９に示されるように、いくつかの分
離した基板２０’と結合する板形要素１９’を使用する
ことも可能であり、そのためそれぞれの基板２０’を受
け入れるための凹所２４が、板形要素１９’の基板２
０’に対向する側に好ましくは設けられる。
【００３２】運搬要素の上部又は運搬要素のたどる上側
の通路において、基板は、こうして穴の開いた板形要素
の上面に位置し、基板の表面には下側に対向する接続点
が設けられている。リンク２が、二つの離間した滑車１
３から成る反転要素を通過する時、リンク２及びリンク
内に収納された板形要素１９、１９’及び基板２０、２
０’は、漸進的に１８０°回転し、それにより板形要素
は、ハウジング１４を通り移動する運搬要素の下部にお
いて、又は運搬要素によってたどられてハウジング１４
を通る下側の通路において、基板の上側に位置するとい
うことが明白になる。
【００３３】作動中において、はんだ球２５は、適切な
計量要素等によって、ホッパ１７から板形の滑車１３間
に存在する空間へ漸進的に供給され、それにより、はん
だ球の薄層が、滑車１３の底側近傍に存在するリンク２
又は板形要素１９、１９’上に少なくとも存在する。前
記はんだ球の一部は、この状態において基板の上側に位
置する板形要素１９の穴に入る、ということが明白にな
る。板形要素を支持するリンク２のさらなる移動中にお
いて、はんだ球はこうして板形要素の各穴内にそれぞれ
に配置され、過剰のはんだ球は、該リンクの移動方向と
反対方向へ次のリンク上に転がり戻ることが可能であ
る。過剰のはんだ球は、板形要素が支持されるフランジ
部７、８は前述したように傾斜されているので、板形要
素上の後側に残ることのないようにされている。さらに
連続するリンクの間に存在する枢軸接続部は、はんだ球
が連続するリンクの間の空間に存在する隙間等を通過し
て逃げることのできないように形成されている。板形の
滑車１３は、はんだ球が横断方向に逃げるのを防いでい
る。
【００３４】有利なことに、はんだ球の外側表面上に存
在する酸化物薄膜を除去するための装置（図示せず）
が、貯蔵空間１７及び排出管１８の間に配置され、はん
だ球は排出管を通り、板形の滑車１３間に存在する空間
へ供給される。基板上に配置されたはんだ球は、酸化物
薄膜が除去される。それにより、はんだフラックスを用
いる必要を減少又はなくす。
【００３５】そして、基板及び基板の上に存在する板形
要素１９及び前記板形要素の穴に収納されたはんだ球
は、ハウジング１４を通り移動し、そこで、前記はんだ
球を基板２０上の接続点へ接合することを目的として、
はんだ球の溶融を行い、続いて、その集合体の冷却を行
うことができる。次に、板形要素と基板とそれらに接合
されるはんだ球は、それらが上部又は運搬要素の上側の
通路に到着するまで移動し、そこでそれらは運搬要素か
ら除去される。
【００３６】図１に略図的に示されるように、板形要素
及び基板の運搬要素上への配置及びからの除去が部署２
６で行われる。実施可能な部署の部分が図１１及び１２
に示される。
【００３７】細長形状の基板２０又は分離した基板２
０’はカセット２７に供給される。装置が開始した時、
閉鎖された板部材２９は、一つ以上の連続するリンクの
凹所１１内へ配置され、それにより、基板及び穴の開い
た要素の組み合わせを運搬するリンクが滑車１３を通過
する前に、閉鎖された板部材を有する前記リンクが滑車
中を移動する時に、所望の数のはんだ球が、滑車間の空
間へもたらされることができる。
【００３８】運搬要素の近傍に配置された板形要素１
９、１９’は、ロボット（図示せず）等によって、閉鎖
された板部材を具備するそれらのリンクの後側のリンク
へ配置されることができる。
【００３９】基板２０、２０’も、ロボット（図示せ
ず）等によって、カセットから除去され、板形要素上に
配置されることができる。板形要素及び／又は基板を配
置するためのこのような手段が、図１１のコンベヤベル
トの両方の面に存在するということが示されているが、
このような手段が、例えば運搬要素の一方の側にだけ設
けられるような配置も可能であるということは明白であ
る。
【００４０】それにより、まず板形要素をリンク内に配
置し、次に一つ以上の基板を板形要素上に配置するこ
と、又は、まず一つ以上の基板を板形要素上に配置し、
次に、こうして得られた板形要素及び一つ以上の基板の
組み合わせをリンク内へ配置することが可能である。
【００４１】基板２０''のために示されるように、ハウ
ジング１４から部署２６へ運搬される基板はここで除去
され、位置２０''' へできる限り回転し、それにより、
検査装置３０によって検査される。例えば、欠陥を露呈
する製品は、最終過程等で降ろされ、その一方で、承認
された製品は、以前に空にされたカセット２７へ再びも
たらされ、製品は位置２７’に移動する。
【００４２】必要ならば、作動中に部署２６内におい
て、穴の開いた板形要素１９、１９’を他の板形要素１
９、１９’に交換することや、リンク内に板形要素を配
置すること及び後側に残っている板形要素上に新しい基
板を配置することが可能である。
【００４３】装置が停止した時に、リンク内に存在する
穴の開いた板部材は、大きな通路が形成されている板部
材に交換される。必要ならば、次のリンクからの穴の開
いた板は、リンクから除去される。
【００４４】大きな通路を有する板部材を支持するリン
クが滑車１３を通過する時、依然として滑車１３間の空
間内に存在するはんだ球２５は、前記通路を通過して容
器２６へ落下し、貯蔵容器１７へ戻ることが可能であ
る。
【００４５】図１に示される部署２６の実施態様は、図
１１の実施態様に実質的に対応し、図１１及び図１２に
おいて対応する部分は、同じ数字で示されている。
【００４６】図１２に示されるように、公知の方法でフ
ラックスを基板上の接続点に適用する要素３２が、この
位置においてさらに設けられる。
【００４７】当然、本発明による装置の前述の実施態様
の追加及び／又は修正が、本発明の精神及び範囲内にお
いて考えられえる。
【００４８】こうして、もし一種類の基板だけしか製造
されないならば、板形要素はリンクに固定されるか、リ
ンクと一体化される。
【００４９】板形要素の穴にはんだ球を配置するための
さらなる他の手段、例えば前述の米国特許第５４３１３
３２号で開示されているような種類の手段が使用され
る。
【００５０】図１３に略図的に示される装置は、複数の
リンク３４から形成される運搬要素３３を具備する。
【００５１】運搬要素３３のリンク３４が、図示されて
いる実施態様において一つを他の後側に配置した閉鎖室
３５、３６を具備する閉鎖機構（図１３に略図的に示さ
れる）を介して、全長の大部分に沿って運搬要素を閉鎖
するハウジング（図示せず）の入口端部へもたらされ、
運搬要素３３のリンク３４は、再び、図示されている実
施態様内の二つの隣接した閉鎖室３７、３８を有する閉
鎖機構を介して、前記ハウジングの出口端部の近傍のハ
ウジングの中から外へ運搬される。このハウジングは、
さらに作動中にハウジングを通り移動する要素に熱処理
を受けさせる適切な手段を具備する。
【００５２】図１３にさらに略図的に示されるように、
リンク３４は、前記ハウジングを通過中において枢着さ
れ、閉鎖室３７に入る時に切り離され、そして閉鎖室３
６を出た後、すなわち、再びハウジングに入った後、そ
れらは再び連結される。前記連結及び切り離しは、図１
９〜２１に関して、以後詳細に説明される。
【００５３】図１４〜１７から特に明白なように、リン
クは、運搬要素３３の長手方向に平行に延在している二
つの側壁３９を具備する。二つの側壁は、運搬要素３３
の長手方向に対して横断方向に延在している梁４０、４
１を接続させることによって相互に接続される。
【００５４】梁４１は、側壁３９の突出縁部と共に突出
端部４２を具備し、前述の板形要素１９に対応する板形
要素４３を支持する機能をする。それにより、板形要素
は突出端部４２によって支持される縁部において支持さ
れているだけである。その一方で、図１４の突出端部４
２と離れて対向する板形要素４３の縁部は、その底側に
おいて支持されていない。図１４及び１５に示されるよ
うに、板形要素は、支持部材４４によって前記端部にお
いて剛性を増す。さらに、板形要素４３の前記不支持縁
部の端部は、側壁３９上で形成されているカム４５’と
接触する。さらに、板形要素４３は、第一の実施態様に
関する前述のように同様に、板形要素４３上に配置され
る一つ以上の基板４６を正確に位置するために、突出ピ
ン４５を具備する。
【００５５】突出取手４７は、接続している梁４０の端
部近傍の側壁３９に取りつけられている。カバー部４９
は、前記突出取手内に適合されるピン４８によって、リ
ンク３４に枢着される。カバー部４９は、端部におい
て、ピン４８を枢軸にして旋回可能な二つのアーム５０
を具備する。
【００５６】四つの穴が、カバー部において四角形の角
の先端に設けられ、その穴内において、ピン５１は摺動
可能に収納されている。圧力板５２は前記ピンに取りつ
けられている。その一方で、ピン５１を取り囲む圧縮ば
ね５３は、カバー部４９と対向する表面と圧力板５２と
の間に設けられている。
【００５７】上方に延在しているコラム５４は、接続し
ている梁４１の端部へ取り付けられている。ピン４８を
受け入れるために形成された凹所５５は、ピン４８へ回
転するコラム５４の側面に形成される。
【００５８】運搬要素３３の相互に枢着されたリンク３
４は、運搬要素３３を取り囲むハウジング内に配置され
る駆動要素５６によって、矢印Ｐによって示される方向
に、移動する。駆動要素は、運搬要素３３を取り囲むハ
ウジングの端部の近傍に配置される。例えば、駆動要素
５６は、駆動される短い継ぎ目なしベルト５７を具備す
る。駆動要素はハウジング内に配置され、担体５８を具
備し、連続するリンクの後側で係合して矢印Ｐに示され
る方向へリンクを動かす。
【００５９】同様な駆動要素５９は、運搬要素３３を取
り囲むハウジングの入口の近傍に配置され、同様に、継
ぎ目なしベルト６０及び継ぎ目なしベルトに接続される
要素６１を具備する。ベルト及び要素は連続するリンク
間で係合する。
【００６０】二つの駆動要素５６及び５９は連結され、
それにより、ハウジングの入口端部における相互に枢着
されたリンクの移動の速度は、ハウジングの出口端部に
おける相互に枢着されたリンクの移動の速度と同一であ
る。
【００６１】既述のように、閉鎖手段３８から閉鎖手段
３５へ移動する運搬要素３３のリンク３４は、互いから
切り離される。リンクが切り離された後、該リンク３４
のカバー部４９は、リンクとカバー部との間に設けられ
るばね４９’によって、図１７に示す位置へ自動的に旋
回する。そして、分離されたリンクは、図示されない駆
動手段によって断続的に移動することができ、カバー部
４９は、図示されない手段によって、図１４に示されな
い位置へ旋回された後、基板４６及び板形要素４３は、
場合によっては、リンク内へ配置することができるか、
又は、前記リンクから除去されることができ、その一方
で、該リンクは静止している。
【００６２】はんだ球を具備している基板を配置した
後、カバー部４９は、図示されない設定手段によって、
圧力板５２が基板と接触する位置へ旋回する。そして、
該リンクは、図示されない駆動手段によって、第一の閉
鎖室３５へ摺動する。そして、閉鎖室３５が閉鎖され、
閉鎖室３５から空気が除去され、窒素等の不活性ガスが
閉鎖室内へもたらされる。そして、閉鎖室３５と３６と
の間の通路が開かれ、その瞬間に、各閉鎖室内におい
て、同じ圧力が行き渡り、その後、リンクが閉鎖室３５
から閉鎖室３６へ摺動できる。その一方で、それら閉鎖
室は共に窒素等の不活性ガスで満たされる。閉鎖室３５
と閉鎖室３６との間の連絡が遮断され続けた後、閉鎖室
３６とハウジングとの間の自由な連絡がもたらされる。
このようにリンクを前記ハウジングへもたらすために、
ハウジングは、閉鎖室３６と閉鎖室３７との間の運搬要
素３３を取り囲む。そして、このようにしてハウジング
へもたらされたリンクは、先行するリンクに連結され
る。
【００６３】連結するリンクの前記接続部分が、図１９
〜２１において略図的に示される。図１９に示されるよ
うに、カバー部が旋回した後、所望の板形要素及び所望
の基板が、カバー部４９の開放された状態でリンク内へ
もたらされうる。そして、リンクが運搬要素を取り囲む
ハウジングへもたらされた後、運搬要素の長手方向に対
して横断方向に延在する想像上の傾いた軸に対してリン
クを反時計回り（図２０に示す）の傾斜が、適切な設定
要素６２及び６３及び適切な誘導手段（図示せず）によ
って行われ、その一方で、圧力板５２によって板形要素
４３上の基板４６を把持している間において、ばね５３
は収縮され、同時に、先行するリンクの方向に移動し、
それにより、コラム５４の上側端部は先行するリンクの
ピン４８の下へ移動する。そして、図２１に略図的に示
されるように、駆動要素６４によってリンクは再び逆に
旋回し、それにより、こうして旋回したリンクの直立し
たコラム５４の凹所５５は、運搬要素の移動の方向にお
いて先行するリンクのピン４８の前に位置され、前記ピ
ンは、相互に接続されたリンクの前方への移動の結果と
して、コラム５４の凹所５５内へ位置される。その結果
として、こうして閉鎖手段３６によってハウジングへ供
給されるリンクは、他の運搬要素のリンクと連結され
る。それにより、ばね５３は、カバー部の端部を先行す
るリンクのピン４８の底側へ押す。
【００６４】切り離されたリンクに閉鎖手段３７を通過
させる目的でリンクを切り離されために、リンクは前述
の方法と逆の方法で移動し、それにより、隣のリンクの
ピン４８から先行するリンクのコラム５４を切り離す。
【００６５】前記連結及び切り離しを行うためにリンク
を傾斜させる代わりに、例えば、互いに関し水平に及び
垂直にリンクを移動することによって、前記連結及び切
り離しを行うことも可能である。
【００６６】図１６にさらに示されるように、ホイール
又はローラ６５が、リンクの上方で突出するピンの端部
上に与えられる。
【００６７】前記ローラは、運搬要素３３を、運搬要素
３３を取り囲むハウジングを通りガイドする機能をす
る。図１３から明白なように、リンク３４は、閉鎖手段
３６近傍で水平方向にハウジングへ運搬され、続いてリ
ンクはハウジングを通過して垂直に下へガイドされ、ロ
ーラ６５と協働するガイド部材６６は、リンクを、リン
ク３４の移動する際に沿う上側の水平な通路から垂直な
通路へ向けるために設けられている。
【００６８】運搬要素３３の相互に接続されたリンク３
４の移動する際に下側の通路は、垂直に延在する通路の
部分に隣接する曲線通路の部分を有する。垂直方向に延
在する通路の部分は続いて下側の通路と一体となり、下
側の通路は再び垂直方向に延在する。さらに、ローラ６
５と協働するガイド部材６７は、曲線通路と下側の水平
な通路との間の変移部分の近傍で前記水平な通路に沿っ
て配置される。リンクは、自由に吊るされ、曲線通路の
大部分に沿って支持されていない。しかしながら、リン
ク３４は、適合止め手段３４’、３４''を具備する（図
１７）。こうして、連続するリンクの止め手段又は止め
部３４’、３４''は、図１８に示されるリンクの位置で
互いに対して接触し、不支持リンクが互いに関しさらに
旋回することを防ぎ、それにより、該リンクによって支
持される二つの板形要素４３の上側表面の間の鈍角を減
少させる（図１８に示す）。
【００６９】本発明による装置のこの実施態様におい
て、また前述の第一の実施態様においても、基板は板形
要素の上面上に配置され、その一方で、リンクは運搬要
素の上部における水平な上側の通路に沿って移動し、そ
の後に、リンクは曲線通路及び下側の水平な通路に沿っ
て移動する間において、板形要素が基板の上側に位置す
るように移動するということが明白である。この実施態
様においても、はんだ球を供給するための計量要素６８
が曲線通路の近傍に配置され、計量要素ははんだ球を再
び供給され、その一方で、前記はんだ球が基板上に支持
されている板形要素上に堆積される前に、はんだ球に存
在する酸化物薄膜を除去する装置を使用する。他の可能
性は、はんだ球を基板上に置く前に、公知の方法の化学
的又は電気化学的な手段によって、はんだ球を還元させ
ることである。すでに前述したように、酸化物薄膜の除
去又ははんだ球の還元が、はんだ付けのためにフラック
スを使用する必要量を著しく減少させ、多くの場合にお
いて前記必要量を全くなくす。
【００７０】図１８から、図１８は曲線通路をたどる時
に前記リンクが占める位置の二つのリンク３４を示す。
はんだ球は、この位置で板形要素の上方で突出する側壁
３９の部分の間において閉じ込められ、それにより、板
形要素上に堆積されるはんだ球が横断方向にリンクから
転がり落ちるのを防ぐためのさらなる手段が必要ない。
図１８から、曲線通路沿いを移動中においてリンクによ
って支持されている板形要素４３の端部が運搬要素３３
の移動方向において、隣のリンク３４の接続している梁
と重なるような構造であるということがさらに明白であ
る。その結果として、曲線通路に沿って上方に移動する
リンクによって支持される板形要素４３上に存在するは
んだ球は、連続するリンク間の隙間を通過して落下する
ことなく、連続するリンクの板形要素上へ転がることが
可能である。
【００７１】この乱されないはんだ球の回転移動は一部
に、接続している梁４１の突出端部４２が終端するとい
う事実に支えられている。突出端部は、このリンクの状
態において板形要素の上方で延在する。
【００７２】好ましくはリンクは、リンクの移動する際
に沿う曲線通路の登る部分の少なくとも一部分に沿って
ガイドされる、それにより、板形要素の傾斜角が好まし
くは、およそはんだ球が自然に堆積する角度、すなわ
ち、多数のはんだ球が自由に堆積される時に得られる傾
斜とほぼ同じかそれより小さいのが好ましい。以前に説
明されたように、曲線通路部分で自由に吊るされるリン
クが互いに関し限られた程度までしか旋回できない、と
いうことがここで可能とされる。もし、板形要素が比較
的遅い速度で好ましくはこのような角度で移動するな
ら、はんだ球の数層が、他の層の上面上に位置する、そ
れぞれの板形要素上に形成し、はんだ球は結局漸進的
に、さらに前へ移動している板形要素上の板形要素へ転
がり落ちるということが述べられうる。このように板形
要素の全ての穴を高効率に充填することが保証される。
【００７３】基板及び基板の上に存在する板形要素のさ
らなる移動中において、その穴がはんだ球で充填され、
はんだ球を溶融するために様々な要素を漸進的に加熱す
ること及び次に様々な要素を漸進的に冷却することが、
数部門に分割されているハウジングの一部分内において
行われる。部門は狭い通路を介して互いに連絡されてい
て、その部分内においてリンクは下側の水平な通路に沿
って移動する。
【００７４】第二の実施態様による装置の開始及び停止
は、第一の実施態様に関して説明されるような同様な方
法によって行うことができる。
【００７５】この実施態様における前記ハウジングの入
口と出口との間において、リンクが接続されていないの
で、しかしながら、装置が開始した時に運搬要素内に一
つ以上の閉鎖されたリンクを有すること、及び／又は装
置が停止した時に運搬要素内に大きな通路を具備する一
つ以上のリンクを有することも可能である。
【００７６】リンクが前記ハウジングの入口と出口との
間が接続されていないということの事実の他の著しい利
点は、配置する時にリンクは静止しているので、板形要
素及び／又は基板の配置を著しく容易にするということ
である。それにより、図１１及び１２を参照して、前述
のような同様な手段を使用することが可能である。しか
しながら、板形要素及び基板を供給及び／又は降ろすた
めの、図２２において略図的に図示されるような実施態
様を使用することが可能である。
【００７７】前記図は、前記ハウジング７０を略図的に
図示する。ハウジングは、前に説明したように、運搬要
素の長さの大部分に沿って運搬要素を取り囲み、はんだ
球に熱処理を受けさせる手段を内部に具備する。それに
より、前記ハウジングは、前記閉鎖機構３５、３６によ
って一端をシールされ、前記閉鎖機構３７、３８によっ
て他端をシールされる。
【００７８】この実施態様において、閉鎖機構３７、３
８によって、ハウジング７０から降ろされる板形要素及
び基板を運搬するリンク３４が、図示されない手段によ
ってターンテーブル７１上に配置される。その手段によ
って、ターンテーブル上のリンク３４は角度９０°まで
回転できる。
【００７９】そして、基板及び板形要素が部署７２へ移
動でき、そこで板形要素及び基板は、分離される。
【００８０】それに続いて、基板は、基板の検査のため
にさらなる部署７３まで運搬されることができ、。例え
ば、欠陥を露呈している基板は、倉庫７４内に保管さ
れ、それにより、最終過程等で降ろされ、その一方で、
承認された基板は倉庫７５内に保管されることができ
る。
【００８１】板形要素は、倉庫７６内に保管されること
ができる。
【００８２】空のリンクは、中間の部署７７に保管さ
れ、閉鎖機構３７、３８と離れて対向するターンテーブ
ル７１側に配置される。さらに、リンク７８は前記部署
７７内に配置される。リンクは大きな穴を具備し、その
穴は、例えば完全に閉鎖されたリンクと共に、前述の装
置の作動の停止のために使用され、前述の装置の作動の
開始時に使用される。
【００８３】はんだ球をすでに具備する基板は、倉庫７
９内に保管される。必要ならば、前記基板は部署８０ま
で運搬され、そこで接続点がフラックスの適用を受け、
そして、部署８１まで運搬され、そこで基板は乾燥処理
を受ける。
【００８４】はんだ球が供給される板形要素及び基板
は、部署８２内において接合される。こうして形成され
る板形要素及び基板の組み合わせは、前記部署から、タ
ーンテーブル７１から離れた部署７７側に配置されてい
るさらなるターンテーブル８３上に存在するリンク３４
内へ配置される。
【００８５】こうして板形要素及び基板の組み合わせ
は、リンク内へ配置され、前記リンクは、ターンテーブ
ル８３によって再び９０°まで回転し、次に閉鎖手段３
５、３６を介して再びハウジング７０へもたらされる。
【００８６】各リンクが一つの板形要素を具備している
ということを、前文においてほぼ仮定してきたが、二以
上の板形要素を具備するということは、本発明の精神及
び範囲内において可能であるということは明白である。
【００８７】当然、本発明による装置の前述の実施態様
へのさらなる追加及び／又は修正は、本発明の精神及び
範囲内において考えられる。こうして、ピンの長手方向
に摺動できるように、前述のピン４８をそれぞれのリン
ク３４へ接続させることが可能であり、それにより、前
記ピンは、前記ピンがコラム５４に存在する凹所内又は
隣のリンクの穴内に位置してリンクを相互に接続させる
第一位置と、前記ピンは隣のリンクのコラム５４に設け
られるそれぞれの凹所又は穴から後退する第二位置との
間において移動できるようになる。それにより、記述さ
れた位置において記述されたように、それぞれのピン４
８を摺動させるための前述のハウジングの出口と入口と
の間に、適切な手段が設けられる。
【００８８】閉鎖機構のいくつかの実施態様がさらに考
えられる。こうして、閉鎖機構によって、取り囲む環境
に関してハウジングを遮断することが可能である。閉鎖
機構は、互いの後側に配置される複数のいわゆるエアナ
イフから成り、すなわち、例えば、加圧される不活性ガ
スは、運搬要素の両側に配置される手段によって、運搬
要素方向に吹かれる。
【００８９】さらに、前述の実施態様において、基板及
び／又は板形要素が、運搬要素の上部近傍の運搬要素の
一部分上に配置され、運搬要素は水平な通路を沿って移
動する、その一方で、前記通路の下の水平な通路内にお
いて移動する運搬要素の一部分は、ハウジングを通り延
在していて、ハウジングは、ハウジングを通り移動する
一部分に熱処理を受けさせるための手段を具備してい
る。
【００９０】しかしながら、基板及び板形要素が、二つ
の重なる通路の低い通路に沿って移動する運搬要素の一
部分の近傍において、運搬要素へ供給及び／又はから除
去され、その一方で、二つの重なる通路の高い通路に沿
って移動する運搬要素の一部分はハウジングを通り移動
し、ハウジングが前記ハウジングを通り移動する一部分
に熱処理を受けさせる手段を具備するような装置を設計
することも考えられる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による装置の図解式側面図である。
【図２】運搬要素のリンクの縦断面図であり、前記運搬
要素の上方の少し遠くに位置する穴の開いた板形要素及
び基板を示す。
【図３】図２に対応するリンクの断面図である。
【図４】図２に対応する縦断面図であり、前記リンク内
に存在する凹所内に位置する板形要素及び基板を示す。
【図５】図４の断面図である。
【図６】図２に対応する縦断面図であり、いくつかの分
離した基板と結合する単一の板形要素を示す。
【図７】図６に対応するリンクの断面図である。
【図８】図６に対応する縦断面図であり、前記リンク内
に存在する凹所内に位置する板形要素及び基板を示す。
【図９】図８の断面図である。
【図１０】リンクから形成される運搬要素の一部分を略
図的に示し、リンクは運搬要素の滑車要素を有する。
【図１１】運搬要素の上部の図解式平面図であり、運搬
要素上に板形要素及び基板を配置して、それらをそこか
ら除去する手段で、前記上部の近傍に配置される。
【図１２】運搬要素の上部の図解式平面図であり、運搬
要素上に板形要素及び基板を配置して、それらをそこか
ら除去する手段で、前記上部の近傍に配置される。
【図１３】本発明による装置のさらなる実施態様の図解
式側面図である。
【図１４】図１３において示される装置が使用される運
搬要素のリンクを示し、この状態において、リンクは一
つの板形要素及び一つ以上の基板を導入及び／又は除去
するのに適している。
【図１５】リンクの図１４に対応する断面図であり、こ
の状態において、一つの板形要素及び一つ以上の基板が
前記リンク内に把持されている。
【図１６】図１５に示されるリンクの一部分の平面図で
ある。
【図１７】図１４に対応する断面図であり、部分的に開
放された状態におけるリンクのカバー部を示す。
【図１８】２つの枢軸的に接続したリンクを示し、作動
中にコンベヤが移動する下側の通路の一部分を横断した
時に、その位置を前記リンクが占める。
【図１９】連続しているリンクが共に連結している連続
の段階の第一段階を示す。
【図２０】連続しているリンクが共に連結している連続
の段階の第二段階を示す。
【図２１】連続しているリンクが共に連結している連続
の段階の第三段階を示す。
【図２２】板形要素及び／又は基板をもたらす及び／又
は取り除く際に使用される手段を図式的に示す。
【符号の説明】
１…運搬要素 １４…ハウジング １９…板形要素 ２０…基板 ２３…穴 ２５…はんだ球 ３７…閉鎖機構 ３８…閉鎖機構
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/92 ６０４Ｚ (72)発明者 ロベルト クロースターボーエル オランダ国，5223 ハーゼット，エス−ヘ ルトジェンボッシュ，ラヘモルヘンラーン 98

Claims (33)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 はんだ球を基板に所定のパターンで設け
    られた接続点へ接合させるための方法であって、前記は
    んだ球は板形要素に設けられた穴内に配置され、各前記
    穴はそれぞれに一つのはんだ球を収納することができ、
    前記穴は前記基板の前記接続点と一致するパターンで前
    記板形要素に設けられ、はんだ球を有する少なくとも一
    つの基板及び一つの板形要素の組み合わせが、運搬要素
    によってハウジングを通過し、前記はんだ球が、前記ハ
    ウジングにおいて基板へ接合されるために熱処理を受け
    るはんだ球を基板上に所定のパターンで設けられた接続
    点へ接合させるための方法において、少なくとも一つの
    前記板形要素及び少なくとも一つの前記基板を有する各
    前記組み合わせが、前記運搬要素によって前記ハウジン
    グの入口近傍及び出口近傍に配置された閉鎖機構を介し
    て、前記ハウジングを通り移動し、前記ハウジング内に
    おいて所望の環境が維持され、その一方で、前記ハウジ
    ング内において前記はんだ球が前記板形要素に設けられ
    た前記穴内へ配置されることを特徴とするはんだ球を基
    板に所定のパターンで設けられた接続点へ接合させるた
    めの方法。
  2. 【請求項２】 前記運搬要素が、ガイド要素によって、
    一方の通路が他方の通路の上方で延在する二つの通路に
    沿って移動し、重なる前記二つの通路の第一の通路をた
    どる前記運搬要素の一部分において、少なくとも一つの
    基板は、前記運搬要素によって支持される一つの板形要
    素上に配置され、その後、こうして形成された一つの板
    形要素と少なくとも一つの基板とを有する組み合わせ
    は、前記運搬要素によって移動し、前記重なる二つの通
    路の第二の通路への変移部分において逆さに回転し、そ
    の後、前記第二の通路に沿って前記ハウジングを通り移
    動し、その一方で、はんだ球が前記第二の通路の始点近
    傍で前記一つの板形要素及び少なくとも一つの基板の組
    み合わせへ供給され、前記組み合わせの状態において、
    前記板形要素が前記少なくとも一つの基板の上側に少な
    くとも実質的に位置することを特徴とする請求項１に記
    載の方法。
  3. 【請求項３】 はんだ球を基板に所定のパターンで設け
    られた接続点へ接合させるための方法であって、はんだ
    球は板形要素に設けられた穴内へ配置され、各前記穴は
    それぞれに一つのはんだ球を収納することができ、前記
    穴は前記基板の接続点のパターンと一致するパターンで
    前記板形要素に設けられ、はんだ球を有する少なくとも
    一つの基板及び一つの板形要素の組み合わせが、運搬要
    素によって、前記はんだ球が溶融温度で加熱されること
    のできるハウジングを通過し、前記運搬要素が、ガイド
    手段によって、一方の通路が他方の通路の上方で延在す
    る二つの通路に沿って移動するはんだ球を基板に所定の
    パターンで設けられた接続点へ接合させるための方法に
    おいて、重なる前記二つの通路の第一の通路をたどる前
    記運搬要素の一部分において、少なくとも一つの基板が
    前記運搬要素によって支持される一つの板形要素上に配
    置され、一つの板形要素及び少なくとも一つの基板を有
    する前記組み合わせが、前記運搬要素によって移動し、
    前記二つの重なる通路の第二の通路への前記変移部分で
    逆さに回転し、前記第二の通路に沿って前記ハウジング
    へ移動し、その一方で、前記第二の通路の始点近傍にお
    いて、前記板形要素が少なくとも一つの前記基板の上側
    に少なくとも実質的に位置する前記組み合わせの状態
    で、はんだ球が前記一つの板形要素及び少なくとも一つ
    の基板の組み合わせへ供給されることを特徴とするはん
    だ球を基板上に所定のパターンで設けられた接続点へ接
    合させるための方法。
  4. 【請求項４】 前記運搬要素が閉鎖機構を介してハウジ
    ングの中へ及び中から運搬されることを特徴とする請求
    項３に記載の方法。
  5. 【請求項５】 前記組み合わせが、曲線通路の曲線部分
    の中心の高さの下側を移動し、その一方で、はんだ球が
    このように移動する前記組み合わせの板形要素上に配置
    されるように、前記板形要素及び前記基板の組み合わせ
    を支持する前記運搬要素の一部分が前記曲線通路に沿っ
    て移動することを特徴とする請求項１から４のいずれか
    １つに記載の方法。
  6. 【請求項６】 はんだ球を基板に所定のパターンで設け
    られた接続点へ接合させるための方法であって、前記基
    板が前記はんだ球の与えられる側で板形要素と結合し、
    前記穴が前記基板の接続点のパターンと一致するパター
    ンで設けられ、前記板形要素の穴の全てが前記接続点の
    向かい合わせの位置に位置するようになっているはんだ
    球を基板に所定のパターンで設けられた接続点へ接合さ
    せるための方法において、前記板形要素が前記基板の上
    側に位置する前記板形要素及び前記基板の組み合わせが
    曲線通路の曲線部分の中心の高さの下側を移動し、その
    一方で、多数のはんだ球が前記組み合わせ上に存在する
    ように、前記組み合わせが前記曲線通路を沿って移動す
    ることを特徴とするはんだ球を基板に所定のパターンで
    設けられた接続点へ接合させるための方法。
  7. 【請求項７】 前記組み合わせが、前記曲線通路の少な
    くとも一部分に沿って、水平に対する角度で、他方のは
    んだの上側に一方のはんだが位置する一つ以上の層のは
    んだ球が前記板形要素上に存在するままであるような速
    度で移動することを特徴とする請求項５又は６に記載の
    方法。
  8. 【請求項８】 前記組み合わせが、前記はんだ球の自然
    に堆積する角度以下の角度で移動することを特徴とする
    請求項７に記載の方法。
  9. 【請求項９】 前記はんだ球が計量要素によって板形要
    素上へ堆積され、前記はんだ球から酸化物薄膜が取り除
    かれた後に、前記はんだ球が前記計量要素へ供給される
    ことを特徴とする請求項１から８のいずれか１つに記載
    の方法。
  10. 【請求項１０】 前記はんだ球が、還元された後に前記
    板形要素上に堆積されることを特徴とする請求項１から
    ９のいずれか１つに記載の方法。
  11. 【請求項１１】 前記板形要素及び前記基板を支持する
    ことが意図されている前記運搬要素の一部分が、前記板
    形要素及び／又は前記基板を配置する前には、互いに切
    り離され、前記板形要素及び／又は前記基板が配置され
    ると、前記運搬要素の一部分が再び共に連結されること
    を特徴とする請求項１から１０のいずれか１つに記載の
    方法。
  12. 【請求項１２】 はんだ球を基板に所定のパターンで設
    けられた接続点へ接合させるための装置であって、前記
    基板においてはんだ球を受け入れるための穴が、前記基
    板の接続点のパターンと一致するパターンで設けられ、
    前記装置は運搬要素を具備し、はんだ球を有する一つの
    板形要素及び少なくとも一つの基板の組み合わせが、前
    記運搬要素によって前記装置の一部分を形成するハウジ
    ングを通り移動することができ、前記ハウジングが、前
    記はんだ球が熱処理を受けることのできる手段を具備す
    るはんだ球を基板に所定のパターンで設けられた接続点
    へ接合させるための装置において、閉鎖機構が前記ハウ
    ジングの入口近傍及び出口近傍で配置され、前記運搬要
    素は、前記閉鎖機構を通り前記ハウジングの中へ及び中
    から移動することができ、その一方で、はんだ球を前記
    基板上に供給する手段が前記ハウジング内に設けられて
    いることを特徴とするはんだ球を基板に所定のパターン
    で設けられた接続点へ接合させるための装置。
  13. 【請求項１３】 前記装置が二つの通路に沿って前記運
    搬要素をガイドするガイド要素を具備し、前記二つの通
    路の一つが前記ハウジングを通り延在することを特徴と
    する請求項７に記載の装置。
  14. 【請求項１４】 はんだ球を基板に所定のパターンで設
    けられた接続点へ接合させるための装置であって、板形
    要素によって、前記板形要素におけるはんだ球を受け入
    れるための穴が前記基板の接続点のパターンと一致する
    パターンで設けられ、前記装置は運搬要素を具備し、前
    記運搬要素によって、はんだ球を有する一つの板形要素
    及び少なくとも一つの基板の組み合わせが、前記装置の
    一部分を形成するハウジングを通り移動することがで
    き、前記ハウジングが、はんだ球が熱処理を受けること
    のできる手段を具備し、前記運搬要素が二つの重なる通
    路に沿って移動するように、前記運搬要素が前記ガイド
    要素に沿って通過するはんだ球を基板に所定のパターン
    で設けられた接続点へ接合させるための装置において、
    基板を前記運搬要素の一部分によって支持される穴の開
    いた板形要素上に基板を配置するための手段が、前記重
    なる通路の第一の通路近傍に設けられ、その一方で、前
    記重なる通路の第二の通路が前記ハウジングを通り延在
    することを特徴とするはんだ球を基板に所定のパターン
    で設けられた接続点へ接合させるための装置。
  15. 【請求項１５】 閉鎖機構が前記ハウジングの入口近傍
    及び出口近傍に配置され、前記運搬要素が前記閉鎖機構
    を介して前記ハウジングの中へ及び中から移動すること
    ができることを特徴とする請求項１４に記載の装置。
  16. 【請求項１６】 前記運搬要素の移動を制御する手段
    が、前記ハウジングの入口近傍及び出口近傍に設けられ
    ることを特徴とする請求項１２から１５のいずれか１つ
    に記載の装置。
  17. 【請求項１７】 前記運搬要素が相互に枢着されたリン
    クを具備し、前記リンクに板形要素及び／又は基板を受
    け入れるための凹所が設けられることを特徴とする請求
    項１２から１６のいずれか１つに記載の装置。
  18. 【請求項１８】 前記リンクが、適合止め手段を具備
    し、前記運搬要素が曲線通路部分を通過する時に、前記
    曲線通路部分において前記リンクが自由に吊るされ、リ
    ンクは前記曲線通路部分の一部分に沿って隣のリンクに
    関するような状態で保持され、前記リンクによって支持
    される一つの基板及び一つの板形要素の組み合わせが、
    他方のはんだの上側に一方のはんだが位置する一つ以上
    の層のはんだ球が前記板形要素上に存在するように、水
    平に対する角度で保持されるように、前記適合止め手段
    が互いに関して前記リンクの任意の旋回の移動を制限す
    ることを特徴とする請求項１７に記載の装置。
  19. 【請求項１９】 前記一つの基板及び一つの板形要素の
    組み合わせが、前記はんだ球の自然に堆積する角度以下
    の角度で保持されることを特徴とする請求項１８に記載
    の装置。
  20. 【請求項２０】 前記リンクを連結する及び切り離すた
    めの手段が、前記ハウジングの入口近傍及び出口近傍の
    それぞれに設けられることを特徴とする請求項１７から
    １９のいずれか１つに記載の装置。
  21. 【請求項２１】 前記板形要素が、少なくとも前記リン
    クの周辺の一部分に沿って、前記リンクの一部分を形成
    する支持端部上において支持され、前記運搬要素の長手
    方向に対して横断方向に延在する少なくとも一つの支持
    端部が、前記板形要素から離れた側から前記自由端部の
    方向へ傾斜していることを特徴とする請求項１７から２
    ０のいずれか１つに記載の装置。
  22. 【請求項２２】 前記リンクが、曲線通路に沿って、垂
    直な位置から、傾斜した位置及び水平な位置を介して、
    反対の傾斜した位置へ移動するように、ガイド手段が、
    前記ハウジングを通過する前記運搬要素の一部分の近傍
    に設けられることを特徴とする請求項１７から２１のい
    ずれか１つに記載の装置。
  23. 【請求項２３】 はんだ球を板形要素上へ供給するため
    の手段が、前記リンクが曲線通路においてガイドされる
    位置の近傍に設けられることを特徴とする請求項２２に
    記載の装置。
  24. 【請求項２４】 前記装置が、前記はんだ球を前記板形
    要素へ供給する前に前記はんだ球から前記酸化物薄膜を
    取り除くための手段を具備することを特徴とする請求項
    １２から２３のいずれか１つに記載の装置。
  25. 【請求項２５】 前記装置が、前記はんだ球を前記板形
    要素へ供給する前に前記はんだ球を還元するための手段
    を具備することを特徴とする請求項１２から２３のいず
    れか１つに記載の装置。
  26. 【請求項２６】 前記リンクは、枢着されたカバー部を
    具備し、前記カバー部は、前記カバー部の閉鎖された状
    態において弾性的に前記カバー部と協働する把持手段を
    具備することを特徴とする請求項１７から２５のいずれ
    か１つに記載の装置。
  27. 【請求項２７】 前記リンクは、前記リンクの長手方向
    に延在する二つの側壁を具備し、前記リンクが前記曲線
    通路をたどる間において前記リンクの占める位置におい
    て、前記側壁が前記板形要素の上方で突出することを特
    徴とする請求項１７から２６のいずれか１つに記載の装
    置。
  28. 【請求項２８】 前記板形要素が、前記運搬要素の移動
    方向に対して横断方向に延在する長手縁部近傍で、支持
    縁部によって支持され、前記支持縁部は、前記曲線通路
    及び前記ハウジングを通る通路をたどる間において前記
    リンクが占める位置において、前記板形要素の上方で突
    出し、その一方で、前記支持縁部は、前記リンクが前記
    曲線通路に沿って移動している間において、前記板形要
    素の端部によって重ねられ、前記端部は、支持縁部上に
    おいて支持されず、前記運搬要素の移動方向に対して横
    断方向に延在し、前記板形要素は、前記運搬要素の移動
    方向においてさらに上流側に位置するリンク内に存在す
    ることを特徴とする請求項１７から２７のいずれか１つ
    に記載の装置。
  29. 【請求項２９】 前記リンクが少なくとも一つの突出部
    を有し、前記部分が、前記リンクと相互に枢着するよう
    に、隣接するリンク内に収納されるピンの後側に係合す
    ることを特徴とする請求項１７から２８のいずれか１つ
    に記載の装置。
  30. 【請求項３０】 前記突出部と隣接するリンクの前記ピ
    ンが互いに係合するように、前記リンクを互いに関して
    移動させるための手段が設けられることを特徴とする請
    求項２９に記載の装置。
  31. 【請求項３１】 二つの連続するリンクが少なくとも一
    つのピンによって連結され、前記ピンは、一方のリンク
    と接続され、前記リンクの長手方向に摺動でき、前記ピ
    ンが他方のリンク内に設けられた穴へ挿入可能であり、
    所望位置に前記ピンを移動させるための手段が設けられ
    ることを特徴とする請求項１７から３０のいずれか１つ
    に記載の装置。
  32. 【請求項３２】 前記カバー部が、ばね要素によって、
    前記リンクの枢軸ピンから離れた側において、隣接する
    リンクの前記ピンに対して押されることを特徴とする請
    求項２６から３１のいずれか１つに記載の装置。
  33. 【請求項３３】 前記運搬要素の一部分上に前記板形要
    素及び／又は前記基板を配置する及び／又は前記運搬要
    素の一部分から前記板形要素及び／又は前記基板を取り
    除くための手段を具備することを特徴とする請求項１２
    から３２のいずれか１つに記載の装置。
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