KR19990007124A - 기판에 납땜 볼을 결합시키는 방법 및 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 소정의 패턴으로 기판에 제공된 연결점에 납땜 볼을 결합시키는 방법 및 장치에 관한 것이다. 납땜 볼은 판형 요소에 제공된 홀들 내에 위치하는데, 이러한 홀들 각각은 하나의 납땜 볼을 수용할 수 있으며, 기판에 제공된 연결점의 패턴에 대응하는 패턴으로 판형 요소에 형성되어 있다. 하나 이상의 기판과 납땜 볼을 수용한 판형 요소로 구성된 조합체는 이송 기구에 의해 납땜 볼을 열처리하는 하우징을 통과한다. 하나 이상의 판형 요소와 하나 이상의 기판으로 구성된 조합체는 하우징의 입구 및 출구 부근에 배치된 잠금 기구를 통해 이송 기구에 의해 하우징을 통과한다. 하우징 내에서, 납땜 볼은 판형 요소에 형성된 홀들 내에 위치되어 있다.

Description

기판에 납땜 볼을 결합시키는 방법 및 장치

본 발명은 소정의 패턴으로 기판 상에 제공되어 있는 연결점에 납땜 볼을 결합시키는 방법에 관한 것이다. 이러한 납땜 볼은 판형 요소에 제공된 홀로 넣어지는데, 이러한 홀들 각각은 하나의 납땜 볼을 수용할 수 있으며, 기판에 제공된 연결점의 패턴에 대응하는 패턴으로 판형 요소에 제공되어 있다. 또한, 하나 이상의 기판과 납땜 볼을 수용한 판형 요소의 조합체는 이송 기구에 의해 하우징을 통과하는데, 이러한 하우징에서는 납땜 볼을 기판에 결합시키기 위해 열처리한다.

미국 특허 제 5,442,852호에는 기판 상에 납땜 볼을 위치시키는 방법이 개시되어 있다. 상기 특허에서는 멤브레인형 요소가 기판에 결합되어 있는데, 멤브레인형 요소에는 기판에 제공된 연결점의 패턴에 대응하는 패턴으로 홀들이 제공되어 있다. 이후, 납땜 볼들은 홀들의 수에 대응하는 수의 노즐을 포함하는 기구에서 대기압보다 낮은 압력을 발생시킴으로써 픽업될 수 있다. 이때 노즐은 홀들의 배열 패턴에 대응하는 패턴으로 배열되어 있다. 이러한 방법에 의해 픽업된 납땜 볼은 기판에 결합되어 있는 멤브레인 내의 홀에 위치될 수 있다. 기판, 캐리어, 수득된 납땜 볼의 조합체는 연속적으로 납땜 볼을 용융시키기 위해 가열되어야 하며, 이에 의해 납땜 볼이 연결점에 결합될 것이다. 이러한 가열 작업을 수행하는 수단은 상기 미국 특허 제 5,442,852호로부터 유추될 수 없다.

미국 특허 제 5,499,487호 및 미국 특허 제 5,551,216호에는 납땜 볼을 수용하기 위한 리셋스가 제공되어 있는 판형 요소내로 납땜 볼을 위치시키는 장치가 개시되어 있다. 리셋스가 형성된 판형 요소는 관통홀이 제공되어 있는 다른 판형 요소와 함께 수평한 회전 축선을 중심으로 회전하는 지지 부재에 고정되어 있는데, 두 판형 요소는 약간의 거리만큼 이격되어 있다. 이후, 지지 부재는 납땜 볼이 수용된 용기를 통해 관통홀이 제공된 판형 요소를 회전시키기 위해 회전되며, 이에 의해 납땜 볼이 관통홀 각각에 위치하게 된다. 이후, 리셋스가 형성된 판형 요소가 관통홀이 제공된 판형 요소 아래에 위치하도록 두 판형 요소는 지지 부재에 의해 함께 이동하고 회전하는데, 이에 의해 납땜 볼이 각각의 판형 요소의 리셋스로 이동된다. 상기 특허에서는 상세하게 기술되지 않았지만, 리셋스가 제공된 판형 요소에 위치한 납땜 볼은 소정의 방식으로 연결점을 포함하는 기판에 연결될 수 있다.

미국 특허 제 5,551,148호에는 멤브레인형 요소를 사용하여 기판 상에 납땜 볼을 위치시키는 방법이 개시되어 있는데, 이러한 멤브레인형 요소에는 소정의 패턴으로 홀들이 제공되어 있으며, 이러한 홀들은 납땜 재료 등으로 충진되어 있다. 멤브레인형 요소는 홀 내에 수용된 납땜 재료가 기판 상에 제공되어 있는 연결점에 대향하여 위치하도록 기판 상에 위치한다. 납땜 재료는 가열 및 프레스에 의해 연결점으로 이동된다. 이러한 모든 내용은 상기 특허에서 단지 개략적으로 설명되어 있다.

일본 특허 제 06209415호(공보 제 08056071호)에는 납땜 볼을 제공하는 방법이 개시되어 있는데, 여기서는 구멍이 뚫린 판이 기판 위에 놓여진다. 이후, 프레임형 부재가 구멍이 뚫린 판 위에 놓여지며, 납땜 볼이 프레임형 부재의 경계내에서 구멍이 뚫린 판 위에 쌓인다.

이후, 기판, 판, 프레임, 및 판 내 수용된 납땜 볼의 조합체는 다양한 방향으로 편향 및 진동되어서, 판에 형성된 각 구멍 내에 납땜 볼이 위치하도록 한다. 다음으로, 프레임과 잔여 납땜 볼이 제거되며, 납땜 볼이 기판에 결합되도록 기판 및 기판 위에 놓인 판이 오븐을 통과된다.

미국 특허 제 4,951,401호, 유럽 특허 제 0 461 961호, 및 유럽 특허 제 0 471 619호에는 풀리 기구에 의해 안내되는 무단 콘베이어가 제공되어 있는 장치가 개시되어 있는데, 콘베이어는 실질적으로 수평하고 포개진 경로를 따라 이동한다. 상부 수평한 경로를 따라 이동하는 무단 콘베이어의 일부는 오븐을 통과한다. 기판은 상부 경로의 상류 단부에 위치하여, 기판 위에 위치된 납땜 재료가 용융되도록 오븐을 통과하게 된다. 이러한 기판은 상부 경로의 단부에서 제거되어야 한다.

미국 특허 제 5,431,332호에는 기판에 고정된 개구형 멤브레인에 의해 기판 상에 납땜 볼을 위치시키는 방법이 개시되어 있는데, 여기서 납땜 볼은 융제에 의해 기판에 결합된다. 상기 미국 특허에서는 개구형 멤브레인이 제거된 후 팔레트 위에 놓여 있는 기판이 로울러 콘베이어에 의해 오븐을 통과할 수 있음을 나타내고 있지만, 이러한 모든 과정이 조절된 방식으로 수행됨을 나타내는 것은 아니다.

상기한 바와 같이, 납땜 볼을 정확하게 위치시키고 납땜 볼을 기판에 결합시키는 종래 기술에 따른 방법은 다수의 개별적이고 복잡한 단계로 나누어져 있으며, 게다가 이러한 개별적인 단계는 여러 공보에 공지되어 있으며, 한 공정 단계로부터 다른 공정 단계로 제품을 전달하기 위해서는 부가적인 작업이 행해져야 하고 부가적인 수단이 요구됨을 알 수 있다.

일반적으로 납땜 볼을 기판에 결합시키기 위해서는 필수적으로 융제를 사용한다. 그러나 이러한 융제의 사용은 기판을 오염시키는 문제점이 있다. 따라서, 납땜 볼을 납땜한 후에는 세척 단계를 요구한다. 더욱이, 연결점에 정확한 양의 융제를 적용하는 것은 매우 어렵다.

따라서, 본 발명의 목적은 상기한 문제점들을 해결할 수 있는 기판의 연결점에 납땜 볼을 결합시키는 방법 및 장치를 제공하는 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 장치를 개략적으로 도시한 측면도.

도 2는 개구형 판형 요소와 이송 기구 위로 약간 이격되어 위치한 기판을 도시한 이송기구의 링크의 종단면도.

도 3은 도 2에 대응하는 링크의 종단면도.

도 4는 판형 요소와 기판이 링크에 형성된 리셋스내에 위치된 상태를 도시하고 있는 도 2에 대응하는 종단면도.

도 5는 도 4의 종단면도.

도 6은 몇몇 개별 기판과 조합된 단일 판형 요소를 도시하고 있는 도 2에 대응하는 종단면도.

도 7은 도 6에 대응하는 링크의 종단면도.

도 8은 판형 요소와 기판이 링크에 형성된 리셋스내에 위치된 상태를 도시하고 있는 도 6에 대응하는 종단면도.

도 9는 도 8의 종단면도.

도 10은 풀리 기구를 포함하며 링크로 구성된 이송 기구의 일부분을 개략적으로 도시한 도면

도 11 및 도 12는 이송 기구 상에 판형 요소와 기판을 위치시키고 이들로부터 제거하는 수단을 도시한 이송 기구의 상부 부분의 개략적인 평면도.

도 13은 본 발명에 따른 장치의 다른 실시예를 개략적으로 도시한 측면도.

도 14는 판형 요소와 하나 이상의 기판을 도입 및/또는 제거하기에 적절한 위치에서 도 13에 도시된 장치에 사용된 이송 기구의 링크를 도시한 도면.

도 15는 판형 요소와 하나 이상의 기판이 링크에서 고정된 위치에서 도 14에 도시된 링크에 대응하는 단면도.

도 16은 도 15에 도시된 링크의 일부분을 도시한 평면도.

도 17은 링크의 커버가 부분적으로 개방된 상태를 도시한 도 14에 대응하는 단면도.

도 18은 장치가 작동하는 동안 이송 기구가 하부 경로의 일부를 따라 이동할 때 링크가 점유하는 위치에서 피봇식으로 연결된 두 링크를 도시한 도면.

도 19 내지 도 21은 링크를 연속적으로 연결하는 상태를 도시한 도면.

도 22는 판형 요소 및/또는 기판을 도입 및/또는 제거하기 위한 수단을 개략적으로 도시한 도면.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

1,33 : 이송 기구 2,34 : 링크

3,4,5,6 : 비임 7,8,9,10 : 플랜지

11 : 리셋스 13 : 풀리

14 : 하우징 17 : 저장 용기

18 : 배출 채널 19,19',43 : 판형 요소

20,20'.20'',20''',46 : 기판 25 : 납땜 볼

26,72,77,80,81,82,83 : 스테이션 34',34'' : 정지부

35,36,37,38 : 잠금 기구 48,51 : 핀

49 : 커버 56,59 : 구동 기구

65 : 로울러 66 : 안내 부재

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 하나 이상의 판형 요소와 하나 이상의 기판으로 구성된 각각의 조합체가 이송 기구에 의해 하우징의 입구와 출구 부근에 배치된 잠금 기구를 통해 원하는 압력을 유지하는 하우징을 통과하는 동안, 하우징 내에서 납땜 볼이 판형 요소에 제공된 홀들 내에 위치하는 것을 특징으로 한다.

이러한 방법을 사용함으로써, 납땜 볼을 위치시키고, 이들을 밀봉된 대기하에서 결합시키는 연속적인 공정을 효과적으로 행할 수 있으며, 이에 의해 공급된 납땜 볼로부터 산화막이 제거된다면, 융제의 사용을 방지할 수 있다.

본 발명의 다른 양태에 따르면, 이송 기구는 안내 수단에 의해 한 경로가 다른 경로 위에서 연장하는 두 경로를 따라 이동하도록 구성되며, 겹쳐진 두 경로 중 제 1경로를 따라 진행하는 상기 이송 경로의 일부분 상에서는 하나 이상의 기판이 이송 기구에 의해 지지된 판형 요소 상에 위치하며, 하나의 판형 요소와 하나 이상의 기판으로 구성된 조합체가 형성된 후, 조합체는 이송 기구에 의해 이동하여서 겹쳐진 두 경로 중 제 2경로로 변환되며, 이후 조합체는 제 2경로를 따라 하우징을 통과하며, 조합체의 판형 요소가 적어도 실질적으로 하나 이상의 기판 위에 위치될 때 납땜 볼이 제 2경로의 개시부 부근에서 하나의 판형 요소와 하나 이상의 기판의 조합체에 공급된다.

이러한 방법을 사용할 때, 기판은 연속적으로 판형 요소 상에 위치될 수 있으며, 이후 납땜 볼은 판형 요소에 의해 기판에 대해 정확하게 위치될 수 있으며, 이후 판형 요소, 기판, 및 납땜 볼이 기판에 제공된 연결점에 납땜 볼이 결합되도록 하우징을 통해 이동될 수 있다. 이러한 방법을 사용함으로써, 납땜 볼을 기판에 매우 간단하고 신속하게 위치시키고 결합시킬 수 있으며, 판형 요소, 기판, 및 납땜 볼이 이송 기구에 의해 조절되어 이동될 수 있다.

본 발명은 소정의 패턴으로 기판 상에 제공된 연결점에 납땜 볼을 결합시키는 방법으로서, 납땜 볼이 제공될 기판은 그의 한 측부에서 기판의 연결점의 패턴에 대응하는 패턴으로 형성되어 있는 홀들을 구비한 판형 요소와 조합되는데, 기판과 판형 요소가 판형 요소에 형성된 홀들이 연결점에 대향하여 위치하도록 조합되는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 기판의 상부에 판형 요소가 놓여져 있는 조합체는 곡선형 경로를 따라 이동하는데, 조합체가 곡선형 경로의 중간 곡률 미만의 곡선형 경로를 따라 이동할 때, 다수의 납땜 볼이 조합체 위에 존재하는 것을 특징으로 한다. 실제로, 작동하는 동안 판형 요소 위에서 구르는 납땜 볼은 효과적인 방법으로 판형 요소에 제공된 홀들을 충진하고, 이에 의해 기판과 판형 요소의 조합체가 기판을 효율적으로 제조하기 위해 각각의 곡선형 경로를 따라 연속적으로 이동할 가능성이 발생하게 되며, 기판 위의 납땜 볼은 배열관계에 따라 정확하게 위치된다.

본 발명의 다른 양태는 본 발명에 따른 방법을 적절하게 수행할 수 있는 장치에 관한 것이다. 이러한 장치는 이송 기구가 제공되는데, 이러한 이송 기구에 의해 납땜 볼을 수용하는 판형 요소와 하나 이상의 기판의 조합체가 장치의 일부분을 형성하는 하우징을 통해 이동될 수 있으며, 하우징에는 납땜 볼을 열처리할 수 있는 수단이 제공되어 있다.

본 발명에 따르면, 잠금 기구가 하우징의 입구 및 출구 부근에 제공되어 있으며, 이러한 잠금 기구를 통해 이송 기구가 연속적으로 하우징 안으로 및 밖으로 이동될 수 있으며, 또한 판형 요소에 납땜 볼을 공급하는 수단이 하우징 내에 제공되어 있다.

이하에 본 발명에 따른 장치의 실시예를 개략적으로 도시한 도면을 참조하여 본 발명을 상세하게 설명한다.

도 1에 도시된 장치는 피봇식으로 연결된 다수의 링크(2)로 구성된 이송 기구(1)를 포함하고 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 이송 기구(1)는 이송 기구의 상부 부분이 화살표 A로 표시된 방향으로 적어도 실질적으로 수평한 상부 경로를 따라 이동하도록 안내되고, 이송 기구의 하부 부분이 화살표 B로 표시된 방향으로 적어도 실질적으로 수평한 하부 경로를 따라 이동하도록 안내된다. 물론 이송 기구(1)는 도 1에 도시된 상부 부분의 좌측 및 우측 단부 부근, 그리고 하부 부분의 우측 단부 부근에서 공지된 방식으로 안내 부재(도시되지 않음)를 통과할 것이다.

도 3 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 각 링크(2)는 이송 기구의 종방향으로 수직하게 연장하는 두 개의 비임(3,4)을 포함하고 있는데, 이들 비임(3,4)의 단부는 이송 기구의 종방향에 수평하게 연장하는 비임(5,6)에 의해 연결되어 있다. 각 링크는 실질적으로 직사각형 또는 사각형의 형태를 갖는다.

상기 도면들에 도시된 바와 같이, 비임(3,4,5,6)의 바닥 단부에는 돌출 플랜지(7∼10)가 제공되어 있다. 이들 플랜지는 비임들에 의해 한정된 리셋스(11)의 바닥 측부 상에서 둘레 지지 에지부를 형성하는데, 이러한 둘레 지지 에지부는 이하에 보다 상세하게 기술할 것이다.

도 3을 참조하면, 플랜지(7,8)의 하부 경계면은 플랜지(7,8)의 자유 단부의 방향으로 상방으로 경사져 있는 비임(3,4)까지 연속하며, 플랜지(7,8)는 어느 지점에서 종착한다.

상기 도면으로부터, 비임(3,4)은 실질적으로 3각형 단면을 가짐을 알 수 있다. 외부 구석점 부근에서 비임(3,4)은 피봇 액스(axes, 12)에 의해 인접하는 링크의 대응 비임(3,4)에 피봇식으로 연결된다. 이들 모두는 도 10에 개략적으로 도시되어 있다. 도 1 및 도 10으로부터, 이송 기구(1)의 수평하게 연장하는 상부 부분의 좌측 단부로부터 하방으로 연장하는 부분은 이송 기구의 수평하게 연장하는 하부 부분으로 전이되도록 이격된 두 개의 풀리(13)를 통과하고 있음을 알 수 있다. 이에 의해, 이송 기구는 이송 기구(1)의 수평하게 연장하는 하부 부분보다 아래에 위치한 풀리(13)의 하부 부분을 따라 연장하도록 안내된다.

도 1 및 도 10으로부터, 풀리(13)는 각이진 둘레부를 형성하며, 각 링크(2)는 이격된 두 개의 풀리(13)의 직선상 둘레 측부에서 비임(5,6)에 의해 형성된 단부로 지지될 수 있음을 알 수 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 풀리(13)와, 풀리의 통과하는 이송 기구의 일부분과, 그리고 이송 기구의 하부 부분은 하우징(14)에 배치되어 있다. 이송 기구(1)는 지점(15,16)에 배치되어 있는 잠금 기구(도시되지 않음)를 통해 하우징(14) 안으로 및 밖으로 안내되며, 잠금 기구는 하우징(14)을 대기로부터 폐쇄하여, 원하는 대기, 예컨대 비산화성 대기가 하우징(14) 내부에 유지될 수 있도록 한다.

하우징(14)의 일부분에는 하우징을 통해 이동하는 부분을 열처리하는 수단이 제공되어 있다. 이들 일부분은 오븐을 형성하며, 이러한 형태는 미국 특허 제 4,951,401 또는 상기한 유럽 특허 제 0 461 961 및 0 471 619호에 개시되어 있다.

납땜 볼 저장 용기(17)가 풀리(13)를 수용하는 하우징(14)의 좌측부에 배치되어 있다. 이러한 저장 용기(17)는 배출 채널(18)을 통해 이격된 두 개의 풀리(13) 사이에 존재하는 공간과 연통하고 있다.

도 2 내지 도 5에 개략적으로 도시된 바와 같이, 판형 요소(19)는 플랜지(7∼10)에 의해 형성된 둘레 에지부 상에서 링크(2)내에 제공되어 있는 리셋스(11)내에 위치될 수 있다. 리드프레임(leadframe) 또는 인터포저(interposer)와 같은 기판(20)은 다수의 집적 회로(2)를 포함하는 캐리어(21)로 형성될 수도 있으며, 미국 특허 제 5,442,852호에 기새된 바와 같이 판형 요소 위에 위치될 수도 있다. 캐리어(21)는 다수의 연결점(도시되지 않음)이 소정의 패턴으로 배열되어 있는 판형 요소의 측부 상에 제공될 것이다.

판형 요소(19)에는 다수의 홀(23)들이 제공되어 있으며, 이러한 홀들은 기판(20) 위의 연결점의 패턴에 대응하는 패턴으로 배열되어 있다.

판형 요소(19)와 기판(20)은 적절하게 정렬 및 고정시키는 수단(도시되지 않음)의 도움으로 리셋스(11)에 위치하여 고정될 수 있는데, 이 때 판형 요소(19)에 제공된 홀(23)들은 판형 요소(19)에 대항하여 돌출한 기판(20)의 면상의 연결점과 일직선으로 배열된다.

도 6 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 여러 개별 기판(20')과 조합하는 판형 요소(19')을 또한 사용할 수 있는데, 이 때 각각의 기판(20')을 수용하는 리셋스(24)는 바람직하게는 기판(20')과 접하는 판형 요소(19')의 측부에 제공되어 있다.

이송 기구의 상부 부분 또는 이송 기구에 의해 진행하는 상부 경로에서, 기판(들)은 개구형 판형 요소의 상부에 놓이게 된다. 링크(2)가 이격된 풀리(13)로 구성된 리버싱 요소 위를 통과할 때, 여기에 수용된 링크(2), 판형 요소(19,19'), 및 기판(20,20')은 점차 180°회전할 것이며, 따라서 판형 요소는 하우징(14)을 통해 이동하는 이송 기구의 하부 부분에 또는 하우징(14)을 통과하는 이송 기구를 따라 진행하는 하부 경로에서 기판의 상부에 위치할 것이다

작동하는 동안, 납땜 볼(25)은 적절한 계측 기구에 의해 호퍼(17)로부터 판형 풀리(13) 사이에 형성된 공간으로 점진적으로 공급되어서, 얇은 층의 납땜 볼(25)이 풀리(13)의 바닥측 부근에 위치한 판형 요소(19,19') 또는 링크(2) 위에 존재할 것이다. 이러한 납땜 볼의 일부는 이러한 위치에서 기판의 상부에 위치한 판형 요소(19) 내의 홀 내에 유입될 것이다. 홀들 내에 납땜 볼이 위치한 판형 요소를 지지하는 링크(2)가 추가 이동하는 동안, 과도한 납땜 볼은 링크의 이동 방향의 반대 방향으로 향해 후행하는 링크의 상부로 이동할 것이다. 과도한 납땜 볼은 판형 요소 상에 잔존하지 못하는데, 이는 판형 요소가 지지되어 있는 플랜지(7,8)가 상기한 방식으로 경사지어 있기 때문이다. 연속하는 링크들 사이의 피봇형 연결점은 납땜 볼이 연속하는 링크들 사이에 존재하는 갭등을 통해 빠져나가지 못하도록 구성된다. 판형 풀리(13)는 납땜 볼이 횡방향으로 빠져나가는 것을 방지한다.

유리하게, 납땜 볼의 외면 상에 존재하는 산화막을 제거하는 장치(도시되지 않음)는 납땜 볼이 판형 풀리(13) 사이에 존재하는 공간으로 공급되도록 하는 저장 용기(17)와 채널(18) 사이에 배치되어 있다. 기판 위에 위치하고 있는 납땜 볼은 산화막을 청결하게 할 것이며, 따라서 납땜 융제를 사용할 필요성을 감소시키거나 제거할 것이다.

이후, 기판과, 그위에 위치한 판형 요소(19)와, 그리고 판형 요소의 홀들내에 수용된 납땜 볼은 하우징(14)을 통과하게 되는데, 하우징(14)에서는 납땜 볼을 결합시켜 기판(20) 상에 연결점에 납땜 볼을 결합시키고, 이를 연속하여 냉각시켜서 집합체를 형성한다. 연속적으로, 판형 요소, 기판, 및 여기에 결합된 납땜 볼은 이송 기구의 상부 부분 또는 상부 경로에 도달할 때까지 이동하며, 이들은 이송 기구로부터 제거될 수 있다.

도 1에 개략적으로 도시된 바와 같이, 이송 기구 위로 판형 요소 및 기판을 위치시키고 이로부터 제거하는 것은 스테이션(26)에서 발생될 수도 있으며, 이들의 일부 요소들이 도 11 및 도 12에 도시되어 있다.

스트립형 기판(20) 또는 개별 기판(20')이 카셋트(27)에 공급될 수도 있다. 장치가 작동을 시작하는 경우, 먼저 폐쇄판(29)이 하나 이상의 연속 링크의 리셋스 내에 위치하여서, 폐쇄판이 제공되어 있는 링크가 풀리(13) 위를 이동할 때 원하는 수의 납땜 볼이 풀리들 사이의 공간으로 유입될 수 있도록 한다.

이송 기구 옆에 배치된 판형 요소(19,19')이 로봇(도시되지 않음)등에 의해 폐쇄판이 제공되어 있는 링크 뒤의 링크 내에 위치될 수 있다.

또한, 기판(20,20')은 카셋트로부터 제거될 수 있고, 로봇(도시되지 않음)에 의해 판형 요소 위에 위치될 수 있다. 비록 판형 요소 및/또는 기판을 위치시키는 수단이 도 11의 이송 벨트의 일측부 상에 존재하는 것으로 도시되어 있지만, 이러한 수단은 이송 기구의 일측부 상에만 제공되는 구성을 가질 수도 있다.

먼저 링크 내로 판형 요소를 위치시킨 후 판형 요소 위에 하나 이상의 기판을 위치시키거나, 또는 먼저 하나 이상의 기판을 판형 요소 위에 위치시킨 후 판형 요소와 하나 이상의 기판의 조합체를 위치시키는 것이 가능하다.

하우징(14)으로부터 스테이션(26)으로 후퇴하는 기판(20'')이 여기서 제거될 수도 있으며, 위치(20''')로 회전가능하며, 점검 장치(30)에 의해 점검될 수도 있다. 결함이 발견된 제품은 최종 처리과정에서 방출될 수도 있으며, 반면 승인된 제품은 비워진 위치(27')로 이동하였던 카셋트(27)내로 재도입될 수도 있다.

원한다면, 작업을 행하는 동안 스테이션(26)에서 개구형 판형 요소(19,19')를 다른 판형 요소(19,19')로 교환하는 것이 가능하며, 또는 링크에서 판형 요소를 남겨두고 판형 요소 위에 새로운 기판을 위치시키는 것이 가능하다.

장치가 정지될 때, 링크에 위치한 개구형 판형 요소는 큰 경로가 형성된 판으로 교환될 수도 있다. 후행하는 링크로부터 개구형 판은 링크로부터 제거될 수도 있다.

큰 경로를 포함하는 판을 지지하는 링크가 풀리(13)를 지나서 이동될 때, 풀리 사이에 형성된 공간에 존재하는 여전히 납땜 볼(25)은 상기 경로를 통해 용기(26)로 떨어져서 저장 용기(17)로 되돌아올 수 있다.

도 1에 도시된 스테이션(26)의 실시예는 도 11의 실시예와 대응하며, 대응하는 부분은 도 11 및 도 12에 표시된 도면부호와 동일한 도면부호로 표시되어 있다.

도 12에 도시된 바와 같이, 기판에 제공된 연결점에 융제를 적용하는 기구(32)가 이 위치에 제공될 수도 있다.

상기한 본 발명에 따른 실시예의 추가 및/또는 개조가 본 발명의 개념과 범위 내에서 가능하다.

만일 한형태의 기판이 처리된다면, 판형 요소는 링크에 고정가능하게 연결되거나 또는 링크에 일체형으로 형성될 수도 있다.

더욱이, 납땜 볼을 판형 요소 내의 홀 내로 위치시키는 다른 수단이 사용될 수도 있는데, 이러한 수단의 한 형태가 미국 특허 제 5,431,332호에 개시되어 있다.

도 13에 개략적으로 도시된 장치는 다수의 링크(34)로 구성되는 이송 기구(33)를 포함하고 있다.

이송 기구(33)의 링크(34)는 도시된 실시예에서 앞뒤로 배치된 잠금 챔버(35,36)로 구성된 잠금 기구(도 13에 개략적으로 도시됨)를 통해 이송 기구를 둘러 싸는 하우징(도시되지 않음)의 유입 단부로 도입되며, 이송 기구(33)의 링크(34)는 하우징의 배출 단부 부근에서 두 개의 연속하는 잠금 챔버(37,38)로 구성된 잠금 기구를 통해 다시 하우징으로부터 배출된다. 또한, 이러한 하우징에는 하우징을 통과하는 요소를 열처리시키는 적절한 수단이 제공되어 있다.

도 13에 개략적으로 도시된 바와 같이, 하우징을 통해 이동하는 동안 피봇식으로 연결된 링크(34)들은 잠금 챔버(37)로 유입되도록 풀려지며, 이후 이들은 잠금 챔버(36)로부터 방출되는데, 즉 링크들이 하우징으로 재도입된 후, 이들은 다시 연결될 것이다. 이러한 연결 및 분리는 도 19 내지 도 21을 참조하여 이하에 상세하게 설명할 것이다.

도 14 내지 도 17로부터 명백히 알 수 있는 바와 같이, 링크는 이송 기구(33)의 종방향에 평행하게 연장하는 두 측벽(39)을 포함하며, 이들 측벽은 이송 기구(33)의 종방향으로 가로질러 연장하는 연결 비임(40,41)에 의해 서로 연결되어 있다.

비임(41)은 측벽(39)의 돌출하는 에지부와 함께 판형 요소(19)와 대응하는 판형 요소(43)를 지지하는 역할을 하는 돌출 코부(42)가 제공되어 있다. 판형 요소는 코부(42)에 의해 지지된 에지부에서만 단지 지지되는 반면, 도 14에서 코부(42)로부터 떨어져서 접하는 판형 요소(43)의 에지부는 바닥 측부 상에서 지지되지 않는다. 도 14 및 도 15에 도시된 바와 같이, 판형 요소는 지지부재(44)에 의해 상기 단부에 고정된다. 더욱이, 판형 요소(43)이 지지되지 않은 에지부의 단부는 측벽(39) 상에 형성된 캠(45')에 대항하여 접하고 있다. 판형 요소(43)는 제 1실시예를 참조하여 상기한 방법과 유사하게 판형 요소(43) 위에 위치될 기판(46)을 정확하게 위치시키기 위해 돌출 핀(45)이 제공될 수도 있다.

돌출 귀부(47)는 연결 비임(40)의 단부 부근의 측벽(39)에 부착되어 있다. 커버(49)는 귀부에 끼워맞춤된 핀(48)에 의해 링크(34)에 피봇식으로 연결되어 있다. 커버(49)의 일단부에는 핀(48)을 중심으로 피봇할 수 있는 두 아암(50)이 제공되어 있다.

4개의 홀이 사각형의 꼭지점에서 커버에 제공되며, 이러한 홀에는 핀(51)이 미끄럼식으로 수용된다. 압력판(52)이 상기 핀에 부착되어 있는 반면, 핀(51)을 둘러 싸는 압축 스프링(53)이 커버(49)의 접촉면과 압력판(52) 사이에 제공된다.

상방으로 연장하는 칼럼(54)이 연결 비임(41)의 단부에 부착되어 있다. 핀(48)을 수용하도록 형성된 리셋스(55)가 핀(48)을 향해 회전하는 칼럼(54)의 측부에 형성된다.

피봇식으로 연결된 이송 기구(33)의 링크(34)는 이송 기구(33)를 둘러 싸고 있는 하우징의 단부 부근에 배치된 구동 기구(56)에 의해 화살표(P)로 표시된 방향으로 이동된다. 구동 기구(56)는 예컨대 짧은 무단 벨트(57)를 포함하는데, 이러한 무단 벨트는 하우징의 내측에 배치되며, 캐리어(58)가 제공되어 있으며, 화살표(P)로 표시된 방향으로 링크를 이동시키기 위해 연속하는 링크의 후방에 연결되어 있다.

유사한 구동 기구(59)가 이송 기구(33)를 둘러 싸는 하우징의 입구 부근에 배치되며, 이러한 구동 기구는 마찬가지로 무단 벨트와 요소(61)를 포함하며, 연속 링크 사이에서 결합되어 있다.

두 개의 구동 기구(56,59)가 서로 연결되기 때문에, 하우징의 유입 단부에서 피봇식으로 연결된 링크의 이동 속도는 하우징의 출구 단부에서 인결된 링크의 이동 속도와 동일한다.

이미 기술한 바와 같이, 잠금 기구(38)로부터 잠금 기구(35)로 이동될 이송 기구(33)의 링크(34)는 서로 분리될 수도 있다. 링크가 분리된 후에, 링크(34)의 커버(49)는 자동적으로 링크와 커버 사이에 위치된 스프링(49')에 의해 도 17에 도시된 위치로 피봇된다. 개별 링크는 도시되지 않은 구동 수단에 의해 간헐적으로 이동될 수 있으며, 이후 커버(49)는 도시되지 않은 수단에 의해 도 14에 기술된 위치로 피봇되는데, 링크가 고정되어 있는 반면, 기판(46)과 판형 요소(43)는 링크 내로 위치될 수도 있으며, 또는 링크로부터 제거될 수도 있다.

납땜 볼이 제공될 기판을 위치시킨 후에, 압력판(52)이 기판과 접촉하는 위치로 커버(49)가 세팅 수단(도시되지 않음)에 의해 피봇될 것이다. 링크는 구동 수단(도시되지 않음)에 의해 먼저 잠금 챔버(35)로 미끄러진다. 이후, 잠금 챔버(35)가 폐쇄되고, 공기가 챔버(35)로부터 제거되며, 질소 등이 잠금 챔버 내로 유입된다. 이후, 두 잠금 챔버(35,36) 사이의 경로의 각각이 순간적으로 동일한 압력을 가지는 반면, 질소 또는 유사한 불활성 가스로 충진된 이들 챔버 모두는 개방되며, 링크는 잠금 챔버(35)로부터 잠금 챔버(36)로 미끄러질 수 있다. 잠금 챔버(35,36) 사이의 연통이 폐쇄된 후에, 링크를 하우징으로 도입하기 위해 잠금 챔버(36)와 잠금 챔버(37) 사이의 이송 요소(33)를 둘러 싸는 하우징과 잠금 요소(36) 사이에서 개방 연통된다. 이후, 하우징 내로 도입된 링크는 선행하는 링크와 연결된다.

연속 링크의 연결은 도 19 내지 도 21에 개략적으로 도시되어 있다. 도 19에 도시된 바와 같이, 판형 요소와 기판(들)은 커버(49)가 개방 위치에 있을 때 링크로 도입될 수 있으며, 이후 커버는 피봇될 수 있다. 이후, 링크가 이송 기구를 둘러 싸는 하우징 내로 도입된 후에, 이송 기구의 종방향으로 가로질러 연장하는 환형 경사 축선을 중심으로 링크의 반시계 방향 경사가 적절한 세팅 장치(62,63)와 적절한 안내 수단(도시되지 않음)에 의해 이루어지며, 적절한 압력판(52)에 의해 판형 요소(43) 상의 기판(46)이 아래로 클램핑되는 동안 스프링(53)이 압축되고, 동시에 선행하는 링크의 방향으로의 이동이 이루어져서, 칼럼(54)의 상부 단부가 선행하는 링크의 핀(48) 아래로 이동한다. 이후, 도 21에 도시된 바와 같이, 링크가 구동 기구(64)에 의해 다시 후방으로 피봇되어서, 링크의 직립한 칼럼(54)내의 리셋스(55)가 선행하는 링크의 핀(48)이 이송 기구의 이동 방향에서 보여지기 전에 위치될 것이며, 이러한 핀은 서로 연결된 링크의 전방 이동의 결과로 칼럼(54)의 리셋스(55) 내로 위치될 것이며, 그결과 잠금 위치(36)를 통해 하우징 내로 공급된 링크는 이송 기구의 다른 링크와 연결될 것이다. 이에 의해 스프링(53)은 선행하는 링크의 핀(48)의 바닥 측부에 대항하여 커버의 단부를 밀 것이다.

잠금 챔버(37)를 통해 분리된 링크가 통과하도록 링크를 분리시키기 위해, 링크는 상기한 방식의 반대로 이동하여서 후행하는 링크의 핀(48)으로부터 선행하는 링크의 칼럼(54)이 분리된다.

연결 및 분리를 위해 링크를 경사시키는 대신에, 링크를 서로 수평하게 그리고 수직하게 이동시킴으로써 연결 및 분리시키는 것이 가능하다.

도 16에 도시된 바와 같이, 휠 또는 로울러(65)가 링크를 넘어서 돌출하는 핀(48)의 단부 상에 제공된다.

로울러는 이송 기구(33)를 둘러 싸는 하우징을 통해 이송 기구(33)를 안내하는 역할을 한다. 도 13에 도시된 바와 같이, 링크(34)들은는 잠금 챔버(36) 부근에서 수평 방향으로 하우징 내로 이동하며, 연속적으로 이들은 링크를 상부 수평 경로로부터 전환시키기 위해 로울러(65)와 연동하는 안내 부재(66)에 의해 하우징을 통해 수직하게 하방으로 안내되며, 이를 따라 링크(34)는 수직 경로로 이동된다.

이송 기구(33)의 상호 연결된 링크가 이동하는 하부 경로는 수직하게 연장한 경로부와 연속하는 곡선형 경로부를 포함하는데, 이러한 곡선형 경로부는 하부 경로와 합쳐져고, 다시 수평방향으로 연장한다. 로울러(65)와 연동하는 안내 부재(67)는 곡선형 경로와 하부 수평 경로 사이의 연결부 부근에 배치되어서 수평 경로를 따라 연장되어 있다. 링크는 자유롭게 현가되어 있으며, 곡선형 경로의 큰 부분을 따라 지지되어 있지 않다. 링크(34)는 매팅 정지면(34',34'')이 제공되어 있다(도 17). 연속 링크의 정지면 또는 정지부(34',34'')는 도 18에 도시된 링크의 위치에서 서로에 대해 접해 있어서, 지지되지 않은 링크가 서로에 대해 피봇되는 것을 방지하며, 이에 의해 링크에 의해 지지된 판형 요소(43)의 상부면 사이의 둔각을 감소시키게 된다(도 18 참조).

본 발명에 따른 장치의 본 실시예 및 상기한 제 1실시예에서, 기판은 링크가 이송 기구의 상부 부분에서 수평한 경로를 따라 이동하는 동안 판형 요소의 상부에 위치하며, 링크가 곡선형 경로 및 하부 수평 경로를 따라 이동하는 동안 판형 요소가 기판의 상부에 위치하도록 링크가 이동된다. 또한, 본 실시예에서, 납땜 볼을 공급하는 계측 요소(68)가 곡선형 경로 부근에 배치되며, 납땜 볼 상에 존재하는 산화막을 제거하는 장치를 사용하는 동안 납땜 볼이 기판에 지지되는 판형 요소 상에 적층되기 전에 상기 계측 장치에는 다시 납땜 볼이 제공될 수 있다. 다른 방법으로는 기판 상에 납땜 볼을 위치시키기 이전에 화학적 또는 전기화학적 수단에 의해 납땜 볼을 탈이산화하는 것이다. 상기한 바와 같이, 산화막의 제거 또는 납땜 볼의 탈이산화는 납땜을 위해 융제를 사용해야할 필요성을 현저하게 감소시키며, 여러 경우에 융제의 필요성을 제거한다.

두 개의 링크(34)가 곡선형 경로를 따라 진행할 때 점유하는 위치를 도시한 도 18에 도시된 바와 같이, 납땜 볼은 이러한 위치에서 판형 요소 위로 돌출하는 측벽(39)의 부분들 사이에 한정될 것이며, 따라서 판형 요소 위에 적층된 납땜 볼이 링크에서 횡방향으로 구르는 것을 방지하기 위한 어떠한 장치도 필요로 하지 않게 된다.

도 18로부터, 링크가 곡선형 경로를 따라 이동하는 동안, 링크에 의해 지지된 판형 요소(43)의 단부가 이송 기구(33)의 이동 방향에서 볼 때 다음 링크(34)의 연결 비임과 겹쳐지는 구성을 가짐을 알 수 있다. 결과적으로, 곡선형 경로를 따라 상방으로 이동하는 링크에 의해 지지된 판형 요소(43) 상에 존재하는 납땜 볼은 연속하는 링크 사이의 갭을 통해 빠지지 않고 연속 링크의 판형 요소 상에서 구를 수 있다.

납땜 볼의 구름은 이러한 링크의 위치에서 판형 요소 위로 연장하는 연결 비임(41)의 돌출 코부(42)가 한지점에서 종결된다는 사실에서 부분적으로 지지된다.

바람직하게, 판형 요소의 경사각, 즉 납땜 볼이 자유롭게 적층될 때 얻어진 기울기가 납땜 볼의 적층각과 같거나 동일하도록, 링크는 곡선형 경로 상승부의 적어도 일부를 따라 안내된다. 이는 휘어진 경로부에 자유롭게 현가된 링크가 서로 한정된 범위에서만 피봇될 수 있도록 한다. 만일 판형 요소가 상대적으로 낮은 속도와 바람직하게는 작은 각도에서 이동한다면, 몇몇 층의 볼이 층상 구조로 판형 요소 상에 형성됨을 관찰할 수 있을 것이다. 이러한 방법에 따라, 납땜 볼을 판형 요소 내의 모든 홀을 효율적으로 충진하는 것이 가능하다.

기판과 납땜 볼로 충진된 홀을 갖는 판형 요소가 이동하는 동안, 납땜 볼을 용융시키기 위한 다양한 요소의 점진적 가열과 다양한 요소의 점진적 냉각이 여러 단편으로 분할되어 좁은 경로를 통해 서로 연통하는 하우징에서 수행될 것이다.

본 발명의 제 2실시예에 따른 장치의 개시와 정지는 제 1실시예를 참조하여 설명된 것과 유사한 방식으로 이루어질 수 있다.

본 실시예에서는 링크가 하우징의 입구와 출구 사이에서 분리되기 때문에, 장치가 작동될 때 이송 기구에 하나 이상의 폐쇄 링크를 포함하는 것이 가능하며 및/또는 장치가 정지될 때 이송 기구의 큰 경로가 제공된 하나 이상의 링크를 포함하는 것이 가능하다.

상기와 같이 링크가 하우징의 입구와 출구 사이에서 분리됨으로서 판형 요소 및/또는 기판을 용이하게 위치시킬 수 있는 또다른 장점이 있는데, 이는 링크가 고정되는 동안 행해질 수 있기 때문이다. 또한, 도 11 및 도 12를 참조하여 상기한 유사한 수단을 사용할 수 있다. 그렇지만, 판형 요소와 기판을 공급 및/또는 방출하는 도 22에 개략적으로 도시된 실시예를 사용하는 것이 가능하다.

상기 도면은 상기한 하우징(70)을 개략적으로 도시하고 있는데, 하우징(70)은 이송 기구를 둘러 싸고 있으며, 납땜 볼을 열처리하는 수단을 구비하고 있다. 따라서, 하우징은 한단부에 잠금 기구(35,36)와 다른 단부에 잠금 기구(37,38)에 의해 시일되어 있다.

본 실시예에서, 하우징(70)으로부터 잠금 기구(37,38)를 통해 배출된 판형 요소와 기판을 이송하는 링크(34)는 도시되지 않은 수단에 의해 턴테이블(70) 상에 놓이게 되며, 턴테이블에서 링크(34)는 90°로 회전될 수 있다.

이후, 기판과 판형 요소는 기판과 판형 요소가 분리되는 스테이션(72)으로 이동된다.

다음으로, 기판은 기판을 정밀 검사하기 위해 다른 스테이션(73)을 통과된다. 결함이 나타난 기판은 최종 처리과정에서 방출되도록 매거진(74)에 저장될 수 있으며, 승인된 기판은 매거진(75)에 저장될 수도 있다.

판형 요소는 매거진(76)에 저장될 수도 있다.

텅빈 링크는 잠금 기구(37,38)로부터 떨어져서 접하는 턴테이블(71)의 측부 상에서 배치된 중간 스테이션(77)에 저장될 수도 있다. 더욱이, 링크(78)는 스테이션(77)에 배치될 수도 있는데, 이러한 링크에는 큰 개구가 제공되어 있으며, 장치의 작동을 정지시키기 위해 사용될 뿐만 아니라 완전히 폐쇄된 링크는 상기한 장치를 작동시킬 때 작동된다.

납땜 볼이 여전히 제공되어 있는 기판은 매거진(79)에 저장될 수도 있다. 만일 원한다면, 기판은 융제가 연결점에 적용되는 스테이션(80)을 통해 이동하고, 기판이 건조처리되는 스테이션(81)을 통해 이동될 수도 있다.

납땜 볼이 제공될 판형 요소와 기판은 스테이션(82)에서 결합된다. 스테이션(83)으로부터 형성된 판형 요소와 기판의 조합체는 텐테이블(83) 위에 존재하는 링크(34)에 위치하는데, 이러한 턴테이블(83)은 턴테이블(71)로부터 이격된 스테이션(77)의 측부 상에 배치되어 있다.

판형 요소와 기판의 조합체가 링크에 위치된 후에, 링크는 턴테이블(83)에 의해 다시 90°회전되며, 연속하여 잠금 기구(35,36)를 통해 다시 하우징(70) 내로 도입된다.

하나의 판형 요소에는 각각의 링크가 제공된다는 일반적인 가정에도 불구하고, 본 발명의 개념 및 범위 내에서는 하나 이상의 판형 요소가 제공될 수 있다.

물론 상기한 본 발명에 따른 장치의 실시예의 추가 및/또는 개조가 본 발명의 개념 및 범위 내에서 가능하다. 따라서, 상기한 핀(48)을 각각의 링크(34)에 이들이 종방향으로 미끄럼 이동할 수 있는 방식으로 연결시킬 수 있으며, 따라서 핀은 제 1위치와 제 2위치 사이에서 이동될 수 있는데, 여기서 제 1위치는 상기 핀이 링크를 서로 연결시키기 위해 칼럼(54)내에 형성된 리셋스에 위치하거나 또는 인접하는 링크의 홀에 위치하는 위치이며, 제 2위치는 핀(48)이 각각의 리셋스로부터 후퇴되거나 인접하는 링크의 칼럼(54)에 형성된 홀로부터 후퇴되는 위치이다. 각각의 핀(48)을 상기한 위치로 상기한 방법으로 미끄러지도록 하우징의 출구와 입구 사이에는 적절한 수단이 제공된다.

잠금 기구에 대해서도 여러 실시예가 가능하다. 다수의 공기날(air knives)로 구성된 이송 기구의 한측부 상에 배치된 수단, 즉 잠금 기구에 의해 불활성 가스가 이송 기구의 방향으로 불어서 주위 대기로부터 하우징을 차단할 수 있다.

더욱이, 상기한 실시예에서, 기판 및/또는 판형 요소는 이송 기구의 상부 부분 부근의 일부분 상에 위치하여서 수평 경로를 따라 이동하며, 또한 이송 기구의 일부분은 열처리 수단을 구비한 하우징을 통과하는 경로의 아래의 수평 경로를 따라 이동된다.

그렇지만, 두 겹쳐진 수평 경로 중 상부 경로를 따라 이동하는 이송 경로의 일부가 열처리 수단을 구비하는 하우징을 통과하는 동안, 두 겹쳐진 경로 중 하부 경로를 따라 이동하는 이송 기구의 일부로부터 공급 및/또는 방출되도록, 기판 및 판형 요소가 구성될 수도 있다.

상기한 본 발명에 의하면, 종래의 여러 단계를 걸쳐서 행하던 문제점을 해결하여 기판의 연결점에 납땜 볼을 간단하고 신속하게 연속적으로 결합시킬 수 있고, 밀봉된 대기 하에서 공정을 행하여 납땜 볼로부터 산화막이 제거되기 때문에, 별도로 기판을 오염시키는 융제를 사용할 필요성을 제거하는 효과가 있다.

Claims (33)

1. 소정의 패턴으로 기판 상에 제공된 연결점에 납땜 볼을 결합시키는 방법으로서, 상기 납땜 볼은 판형 요소에 형성된 홀들 내에 위치하며, 상기 홀들은 각각이 하나의 납땜 볼을 수용할 수 있고, 상기 기판에 제공된 연결점의 패턴에 대응하는 패턴으로 상기 판형 요소에 제공되어 있으며, 상기 납땜 볼을 수용한 판형 요소 및 하나 이상의 기판의 조합체가 이송 기구에 의해 상기 납땜 볼이 기판에 결합되도록 열처리하는 하우징을 통과하는, 납땜 볼을 결합시키는 방법에 있어서,

   하나 이상의 판형 요소와 하나 이상의 기판으로 구성된 판형 요소로 구성된 각각의 조합체가 상기 하우징의 입구 및 출구 부근에 배치된 잠금 기구를 통해 상기 이송 기구에 의해 원하는 대기가 유지된 상기 하우징을 통과하는 동안, 상기 하우징 내에서 상기 납땜 볼이 상기 판형 요소에 형성된 홀들 내에 위치하는 것을 특징으로 하는 방법.
2. 제 1항에 있어서, 상기 이송 기구는 안내 수단에 의해 한 경로가 다른 경로 위에서 연장하는 두 경로를 따라 이동하도록 구성되며, 상기 겹쳐진 두 경로 중 제 1경로를 따라 진행하는 상기 이송 경로의 일부분 상에서 하나 이상의 기판이 상기 이송 기구에 의해 지지된 상기 판형 요소 상에 위치하며, 하나의 판형 요소와 하나 이상의 기판으로 구성된 조합체가 형성된 후, 상기 조합체는 상기 이송 기구에 의해 이동하여서 상기 겹쳐진 두 경로 중 제 2경로로 이송되며, 이후 상기 조합체는 상기 제 2경로를 따라 상기 하우징을 통과하며, 상기 조합체의 판형 요소가 적어도 실질적으로 상기 하나 이상의 기판 위에 위치되는 위치에서 상기 납땜 볼이 상기 제 2경로의 개시부 부근에서 하나의 판형 요소와 하나 이상의 기판의 조합체에 공급되는 것을 특징으로 하는 방법.
3. 소정의 패턴으로 기판 상에 제공된 연결점에 납땜 볼을 결합시키는 방법으로서, 상기 납땜 볼은 판형 요소에 형성된 홀들 내에 위치하며, 상기 홀들은 각각이 하나의 납땜 볼을 수용할 수 있고, 상기 기판에 제공된 연결점의 패턴에 대응하는 패턴으로 상기 판형 요소에 제공되어 있으며, 상기 납땜 볼을 수용한 판형 요소 및 하나 이상의 기판의 조합체가 이송 기구에 의해 상기 납땜 볼이 용융점까지 가열될 수 있는 하우징을 통과하며, 상기 이송 기구가 안내 수단에 의해 한 경로가 다른 경로 위에서 연장하는 두 경로를 따라 이동하는, 납땜 볼을 결합시키는 방법에 있어서,

   상기 겹쳐진 두 경로 중 제 1경로를 따라 이동하는 상기 이송 경로의 일부분 상에서 하나 이상의 기판이 상기 이송 기구에 의해 지지된 상기 판형 요소 상에 위치하며, 하나의 판형 요소와 하나 이상의 기판으로 구성된 조합체가 형성된 후, 상기 조합체는 상기 이송 기구에 의해 이동하여서 상기 겹쳐진 두 경로 중 제 2경로로 이송되며, 이후 상기 조합체는 상기 제 2경로를 따라 상기 하우징을 통과하며, 상기 조합체의 판형 요소가 적어도 실질적으로 상기 하나 이상의 기판 위에 위치되는 위치에서 상기 납땜 볼이 상기 제 2경로의 개시부 부근에서 하나의 판형 요소와 하나 이상의 기판의 조합체에 공급되는 것을 특징으로 하는 방법.
4. 제 3항에 있어서, 상기 이송 기구가 잠금 기구를 통해 상기 하우징 안으로 및 밖으로 이동하는 것을 특징으로 하는 방법.
5. 제 1항 내지 제 4항에 있어서, 상기 판형 요소와 기판의 조합체를 지지하는 이송 기구는 곡선형 경로를 따라 이동하는데, 상기 조합체가 상기 곡선형 경로의 중간 곡률 미만의 상기 곡선형 경로를 따라 이동할 때, 상기 납땜 볼이 상기 방식으로 이동하는 조합체의 판형 요소 상에 위치하고 있는 것을 특징으로 하는 방법.
6. 소정의 패턴으로 기판 상에 제공된 연결점에 납땜 볼을 결합시키는 방법으로서, 상기 납땜 볼이 제공될 상기 기판이 그의 한 측부에서 상기 기판의 연결점의 패턴에 대응하는 패턴으로 형성되어 있는 홀들을 구비한 판형 요소와 조합되는데, 상기 기판과 상기 판형 요소는 상기 판형 요소에 형성된 홀들이 상기 연결점에 대향하여 위치하도록 조합되는, 납땜 볼을 결합시키는 방법에 있어서,

   상기 기판의 상부에 상기 판형 요소가 놓여져 있는 조합체는 곡선형 경로를 따라 이동하는데, 상기 조합체가 상기 곡선형 경로의 중간 곡률 미만의 상기 곡선형 경로를 따라 이동할 때, 다수의 납땜 볼이 상기 조합체 위에 위치하고 있는 것을 특징으로 하는 방법.
7. 제 5항 또는 제 6항에 있어서, 상기 조합체는 상기 곡선형 경로의 적어도 일부분을 따라 수평한 각도로 하나 이상의 층상 구조의 납땜 볼이 상기 판형 요소 상에 여전히 위치할 수 있는 속도로 이동하는 것을 특징으로 하는 방법.
8. 제 7항에 있어서, 상기 조합체는 상기 납땜 볼의 적층각과 동일하거나 작은 각도로 이동하는 것을 특징으로 하는 방법.
9. 상기 항들 중 어느 한 항에 있어서, 상기 납땜 볼은 이들로부터 산화막이 제거된 후에 계측 기구에 공급되어 상기 판형 요소 상에 적층되는 것을 특징으로 하는 방법.
10. 상기 항들 중 어느 한 항에 있어서, 상기 납땜 볼은 탈이산화된 후에 상기 판형 요소에 적층되는 것을 특징으로 하는 방법.
11. 상기 항들 중 어느 한 항에 있어서, 상기 판형 요소와 상기 기판을 지지하는 이송 기구의 일부분은 상기 판형 요소 및/또는 상기 기판이 위치하기 전에는 서로 분리되어 있으며, 상기 판형 요소 및/또는 상기 기판이 위치된 후에 다시 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 방법.
12. 기판에 제공된 연결점의 패턴에 대응하는 패턴으로 납땜 볼이 수용되는 홀들이 형성되어 있는 판형 요소에 의해 소정의 패턴으로 상기 기판 상에 제공된 상기 연결점에 상기 납땜 볼을 결합시키는 장치로서,

    이송 기구가 제공되어 있으며, 상기 이송 기구에 의해 상기 납땜 볼을 수용하는 상기 판형 요소와 하나 이상의 상기 기판의 조합체가 상기 장치의 일부분을 형성하는 하우징을 통해 이동할 수 있으며, 상기 하우징에는 상기 납땜 볼을 열처리할 수 있는 수단이 제공되어 있는 장치에 있어서,

    잠금 기구가 상기 하우징의 입구 및 출구 부근에 배치되어 있어서, 이를 통해 상기 이송 기구가 상기 하우징의 안으로 및 밖으로 이동될 수 있으며, 상기 납땜 볼을 상기 판형 요소에 공급하는 수단이 상기 하우징에 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
13. 제 12항에 있어서, 상기 이송 기구를 두 개의 겹쳐진 경로를 따라 이동하도록 안내하는 안내 수단이 제공되어 있으며, 상기 경로 중 하나는 상기 하우징을 통해 연장되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
14. 기판에 제공된 연결점의 패턴에 대응하는 패턴으로 납땜 볼이 수용되는 홀들이 형성되어 있는 판형 요소에 의해 소정의 패턴으로 상기 기판 상에 제공된 상기 연결점에 상기 납땜 볼을 결합시키는 장치로서,

    이송 기구가 제공되어 있으며, 상기 이송 기구에 의해 상기 판형 요소와 상기 납땜 볼을 수용하는 하나 이상의 상기 기판의 조합체가 상기 장치의 일부분을 형성하는 하우징을 통해 이동될 수 있고, 상기 하우징에는 상기 납땜 볼을 열처리할 수 있는 수단이 제공되어 있으며, 상기 이송 기구는 두 개의 겹쳐진 경로를 따라 이동하도록 안내하는 안내 수단이 제공되어 있는 장치에 있어서,

    상기 이송 기구의 일부분에 의해 지지된 개구형 판형 요소 상에 기판을 위치시키는 수단이 상기 겹쳐진 경로의 제 1경로 부근에 제공되어 있으며, 상기 겹쳐진 경로의 제 2경로는 상기 하우징을 통해 연장되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
15. 제 14항에 있어서, 상기 하우징의 입구 및 출구 부근에는 잠금 기구가 배치되어 있으며, 상기 잠금 기구를 통해 상기 이송 기구가 상기 하우징의 안으로 및 밖으로 이동될 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.
16. 제 12항 내지 제 15항에 있어서, 상기 이송 기구의 이동을 조절하는 수단이 상기 하우징의 입구 및 출구 부근에 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
17. 제 12항 내지 제 16항에 있어서, 상기 이송 기구는 피봇식으로 연결된 링크를 포함하고 있으며, 상기 링크에는 판형 요소 및/또는 기판을 수용하는 리셋스가 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
18. 제 17항에 있어서, 상기 이송 기구가 상기 링크들이 자유롭게 현가되는 곡선형 경로부를 통과하는 경우에 링크가 상기 곡선형 경로의 일부를 따라 후행하는 링크에 대한 위치에 위치하도록, 상기 링크에는 링크들이 서로에 대해 피봇 운동하는 것을 제한하는 매팅 정지부가 제공되어 있으며, 상기 링크에 의해 지지된 판형 요소가 수평한 각도를 유지하여서 층상 구조의 하나 이상의 납땜 볼이 상기 판형 요소 상에 여전히 위치하는 것을 특징으로 하는 장치.
19. 제 18항에 있어서, 상기 기판과 판형 요소의 조합체는 납땜 볼의 적층각과 동일하거나 작은 각도로 유지되는 것을 특징으로 하는 장치.
20. 제 17항 내지 제 19항에 있어서, 상기 링크를 연결하고 분리하는 수단이 상기 하우징의 입구 및 출구 부근에 각각 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
21. 제 17항 내지 제 20항에 있어서, 상기 판형 요소는 상기 링크의 일부를 형성하는 지지 에지부 상에서 그들의 둘레부의 적어도 일부를 따라 지지되어 있으며, 상기 이송 기구의 종방향에 가로질러 연장하는 하나 이상의 지지 에지부는 그의 자유 단부 방향으로 상기 판형 요소로부터 떨어진 그의 측부 상에서 점점 가늘어지는 것을 특징으로 하는 장치.
22. 제 17항 내지 제 21항에 있어서, 상기 안내 수단은 상기 하우징을 통과하는 상기 이송 기구의 일부분에 인접하여 제공되어 있으며, 상기 링크는 수직한 위치로부터 경사진 위치와 수평한 위치를 통해 대향하는 경사진 위치로 곡선형 경로를 따라 이동되도록 상기 안내 수단을 따라 안내되는 것을 특징으로 하는 장치.
23. 제 22항에 있어서, 상기 판형 요소에 상기 납땜 볼을 공급하는 수단이 상기 곡선형 경로에서 상기 링크가 안내되는 위치에 인접하여 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
24. 제 12항 내지 제 23항에 있어서, 상기 납땜 볼이 상기 판형 요소에 공급되기 전에 상기 납땜 볼로부터 상기 산화막을 제거하는 수단이 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
25. 제 12항 내지 제 23항에 있어서, 상기 납땜 볼이 상기 판형 요소에 공급되기 전에 상기 납땜 볼을 탈이산화하는 수단이 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
26. 제 17항 내지 제 25항에 있어서, 상기 링크는 피봇형 커버가 제공되어 있으며, 상기 피봇형 커버는 그가 폐쇄 위치에 있을 때 상기 판형 요소에 대항하여 상기 기판을 가압하는 클램핑 요소를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
27. 제 17항 내지 제 26항에 있어서, 상기 링크는 그의 종방향으로 연장하는 두 개의 측벽이 제공되어 있으며, 상기 측벽들은 상기 링크가 상기 곡선형 경로를 따라 진행하는 동안 점유하는 위치에서 상기 판형 요소 위로 돌출해 있는 것을 특징으로 하는 장치.
28. 제 17항 내지 제 27항에 있어서, 상기 판형 요소는 상기 링크가 상기 곡선형 경로를 따라 진행하는 동안 상기 링크가 점유하는 위치에서 상기 판형 요소 위로 돌출해 있는 지지 에지부에 의해 상기 이송 기구의 이동 방향을 가로질러 연장하는 종방향 에지부 부근에서만 지지되며, 상기 곡선형 경로를 따라 상기 링크가 이동하는 동안 상기 지지 에지부 상에 지지되지 않고 상기 이송 기구의 이동 방향을 가로질러 연장하는 상기 판형 요소의 단부에 의해 상기 지지 에지부는 겹쳐지고, 상기 이송 기구의 이동 방향에서 볼 때 상기 판형 요소가 상류에 위치한 링크에 존재하는 것을 특징으로 하는 장치.
29. 제 17항 내지 제 28항에 있어서, 상기 링크는 링크들이 피봇되도록 인접하는 링크에 수용된 핀과 후방에서 결합하는 하나 이상의 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
30. 제 29항에 있어서, 상기 돌출부와 상기 링크에 인접한 상기 핀이 서로 결합되도록 링크들을 서로 이동시키는 수단이 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
31. 제 17항 내지 제 30항에 있어서, 연속하는 두 링크는 하나의 링크와 연결되는 하나 이상의 핀에 의해 연결되는데, 상기 핀은 상기 링크의 종방향으로 미끄러져서 다른 링크에 제공된 홀 내로 삽입되며, 상기 핀을 원하는 위치로 이동시키는 수단이 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
32. 제 26항 내지 제 31항에 있어서, 상기 커버는 피봇 핀으로부터 떨어진 그의 측부에서 스프링 요소에 의해 인접하는 링크의 핀에 대항하여 밀려지는 것을 특징으로 하는 장치.
33. 제 12항 내지 제 32항에 있어서, 상기 이송 기구의 일부분 상에 상기 판형 요소 및/또는 기판을 위치시키는 및/또는 상기 이송 기구로부터 상기 판형 요소 및/또는 상기 기판을 제거하는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.