JPH11271363A - 電気光学サンプリングオシロスコープ - Google Patents
電気光学サンプリングオシロスコープInfo
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- JPH11271363A JPH11271363A JP10070872A JP7087298A JPH11271363A JP H11271363 A JPH11271363 A JP H11271363A JP 10070872 A JP10070872 A JP 10070872A JP 7087298 A JP7087298 A JP 7087298A JP H11271363 A JPH11271363 A JP H11271363A
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- G01R13/22—Circuits therefor
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 電気光学サンプリングオシロスコープにおい
て、低周波雑音成分を削減させて、Ｓ／Ｎ比の良い測定
波形を得る。 【解決手段】 タイミング発生回路４は、光パルス発生
回路５を駆動するパルス信号Ｐ１及びＡ／Ｄ変換器７を
動作させるパルス信号Ｐ２を生成し出力する。遅延回路
１１はパルス信号Ｐ２から一定時間後にパルス信号Ｐ３
を出力する。受光増幅回路６は、ＥＯＳプローブ２の出
力を増幅し、受光信号ＬＳとしてＡ／Ｄ変換器７へ出力
する。Ａ／Ｄ変換器７は、パルス信号Ｐ２に基づいて受
光信号ＬＳをサンプリングしてＡ／Ｄ変換し、次いで、
パルス信号Ｐ３に基づいて受光信号ＬＳをサンプリング
してＡ／Ｄ変換して出力する。減算回路１４は、パルス
信号Ｐ２のサンプリング値からパルス信号Ｐ３のサンプ
リング値（ノイズ値を示している）を減算する。この減
算結果に基づいて表示処理が行われる。
て、低周波雑音成分を削減させて、Ｓ／Ｎ比の良い測定
波形を得る。 【解決手段】 タイミング発生回路４は、光パルス発生
回路５を駆動するパルス信号Ｐ１及びＡ／Ｄ変換器７を
動作させるパルス信号Ｐ２を生成し出力する。遅延回路
１１はパルス信号Ｐ２から一定時間後にパルス信号Ｐ３
を出力する。受光増幅回路６は、ＥＯＳプローブ２の出
力を増幅し、受光信号ＬＳとしてＡ／Ｄ変換器７へ出力
する。Ａ／Ｄ変換器７は、パルス信号Ｐ２に基づいて受
光信号ＬＳをサンプリングしてＡ／Ｄ変換し、次いで、
パルス信号Ｐ３に基づいて受光信号ＬＳをサンプリング
してＡ／Ｄ変換して出力する。減算回路１４は、パルス
信号Ｐ２のサンプリング値からパルス信号Ｐ３のサンプ
リング値（ノイズ値を示している）を減算する。この減
算結果に基づいて表示処理が行われる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電気光学プローブ
に入力される被測定信号の波形を観測する電気光学サン
プリングオシロスコープに関する。
に入力される被測定信号の波形を観測する電気光学サン
プリングオシロスコープに関する。
【０００２】
【従来の技術】被測定信号によって発生する電界を電気
光学結晶に結合させ、この電気光学結晶にレーザ光を入
射し、レーザ光の偏光状態により被測定信号の波形を観
測することができる。ここで、レーザ光をパルス状に
し、被測定信号をサンプリングすると非常に高い分解能
で測定することができる。この現象を利用した電気光学
（ＥＯＳ）プローブを用いたオシロスコープが電気光学
サンプリングオシロスコープである。この電気光学サン
プリングオシロスコープ（以下「ＥＯＳオシロスコー
プ」と略記する）は、電気式プローブを用いた従来のサ
ンプリングオシロスコープと比較し、 １）信号を測定する際に、グランド線を必要としないた
め、測定が容易 ２）ＥＯＳプローブの先端にある金属ピンが回路系から
絶縁されているので高入力インピーダンスを実現でき、
その結果被測定点の状態をほとんど乱すことがない ３）光パルスを利用することからＧＨｚオーダーまでの
広帯域測定が可能 といった特徴があり注目を集めている（品川他：”ＥＯ
Ｓによるハンディ型ハイインピーダンスプローブ”、第
１５回光波センシング技術研究会 講演論文集応用物理
学会・光波センシング技術研究会、１９９５年５月、ｐ
ｐ．１２３−１２９）。
光学結晶に結合させ、この電気光学結晶にレーザ光を入
射し、レーザ光の偏光状態により被測定信号の波形を観
測することができる。ここで、レーザ光をパルス状に
し、被測定信号をサンプリングすると非常に高い分解能
で測定することができる。この現象を利用した電気光学
（ＥＯＳ）プローブを用いたオシロスコープが電気光学
サンプリングオシロスコープである。この電気光学サン
プリングオシロスコープ（以下「ＥＯＳオシロスコー
プ」と略記する）は、電気式プローブを用いた従来のサ
ンプリングオシロスコープと比較し、 １）信号を測定する際に、グランド線を必要としないた
め、測定が容易 ２）ＥＯＳプローブの先端にある金属ピンが回路系から
絶縁されているので高入力インピーダンスを実現でき、
その結果被測定点の状態をほとんど乱すことがない ３）光パルスを利用することからＧＨｚオーダーまでの
広帯域測定が可能 といった特徴があり注目を集めている（品川他：”ＥＯ
Ｓによるハンディ型ハイインピーダンスプローブ”、第
１５回光波センシング技術研究会 講演論文集応用物理
学会・光波センシング技術研究会、１９９５年５月、ｐ
ｐ．１２３−１２９）。
【０００３】図１０は、従来のＥＯＳオシロスコープの
構成を示したブロック図である。このＥＯＳオシロスコ
ープは、本体１及び被測定信号を受光するＥＯＳプロー
ブ２により構成される。この図において、トリガ信号Ｔ
Ｒは被測定回路（図示せず）を駆動するクロックパルス
に同期した周期信号であり、被測定回路から供給され
る。タイミング発生回路４は、トリガ信号ＴＲに基づい
て、光パルス発生回路５を駆動するパルス信号Ｐ１及び
Ａ／Ｄ変換器７を動作させるパルス信号Ｐ２を生成し、
出力する回路である。図１１は上述したトリガ信号Ｔ
Ｒ、パルス信号Ｐ１，Ｐ２の発生タイミングを示すタイ
ミングチャートであり、この図に示すように、パルス信
号Ｐ１はトリガ信号ＴＲから順次増加する所定時間ｓｔ
後に発生するようになっており、また、パルス信号Ｐ２
はパルス信号Ｐ１から予め決められた一定時間ｄｔ後に
発生するようになっている。
構成を示したブロック図である。このＥＯＳオシロスコ
ープは、本体１及び被測定信号を受光するＥＯＳプロー
ブ２により構成される。この図において、トリガ信号Ｔ
Ｒは被測定回路（図示せず）を駆動するクロックパルス
に同期した周期信号であり、被測定回路から供給され
る。タイミング発生回路４は、トリガ信号ＴＲに基づい
て、光パルス発生回路５を駆動するパルス信号Ｐ１及び
Ａ／Ｄ変換器７を動作させるパルス信号Ｐ２を生成し、
出力する回路である。図１１は上述したトリガ信号Ｔ
Ｒ、パルス信号Ｐ１，Ｐ２の発生タイミングを示すタイ
ミングチャートであり、この図に示すように、パルス信
号Ｐ１はトリガ信号ＴＲから順次増加する所定時間ｓｔ
後に発生するようになっており、また、パルス信号Ｐ２
はパルス信号Ｐ１から予め決められた一定時間ｄｔ後に
発生するようになっている。
【０００４】光パルス発生回路５は、パルス信号Ｐ１を
受け、レーザ光線による光パルスを発生し、ＥＯＳプロ
ーブ２へ出力する。ＥＯＳプローブ２へ出力された光パ
ルスは、同プローブ２内を通過する際に、その偏光状態
が被測定回路のプローブ当接部の信号に応じて変化す
る。そして、偏光状態が変化した光パルスが電気信号に
変換されて受光増幅回路６へ入力される。受光増幅回路
６は、ＥＯＳプローブ２の出力を増幅し、受光信号ＬＳ
としてＡ／Ｄ変換器７へ出力する。Ａ／Ｄ変換器７は、
タイミング発生回路４からのパルス信号Ｐ２に基づいて
受光信号ＬＳをサンプリングし、Ａ／Ｄ変換して出力す
る。処理回路８は、Ａ／Ｄ変換器７の出力に基づいて被
測定波形の表示処理を行う。
受け、レーザ光線による光パルスを発生し、ＥＯＳプロ
ーブ２へ出力する。ＥＯＳプローブ２へ出力された光パ
ルスは、同プローブ２内を通過する際に、その偏光状態
が被測定回路のプローブ当接部の信号に応じて変化す
る。そして、偏光状態が変化した光パルスが電気信号に
変換されて受光増幅回路６へ入力される。受光増幅回路
６は、ＥＯＳプローブ２の出力を増幅し、受光信号ＬＳ
としてＡ／Ｄ変換器７へ出力する。Ａ／Ｄ変換器７は、
タイミング発生回路４からのパルス信号Ｐ２に基づいて
受光信号ＬＳをサンプリングし、Ａ／Ｄ変換して出力す
る。処理回路８は、Ａ／Ｄ変換器７の出力に基づいて被
測定波形の表示処理を行う。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のＥＯＳオシロスコープにあっては、信号をサンプリ
ングする際に、受光増幅回路に外部から雑音が漏れ込ん
だり、受光増幅回路で発生した雑音（ショット雑音、熱
雑音、１／ｆ雑音など）や、光パルス発生回路で発生し
た光雑音（ＬＤのＬＥＤ発光成分に乗っている雑音分な
ど）の低周波雑音成分も一緒にサンプリングされ、この
ため、Ｓ／Ｎ比が悪いという問題があった。
来のＥＯＳオシロスコープにあっては、信号をサンプリ
ングする際に、受光増幅回路に外部から雑音が漏れ込ん
だり、受光増幅回路で発生した雑音（ショット雑音、熱
雑音、１／ｆ雑音など）や、光パルス発生回路で発生し
た光雑音（ＬＤのＬＥＤ発光成分に乗っている雑音分な
ど）の低周波雑音成分も一緒にサンプリングされ、この
ため、Ｓ／Ｎ比が悪いという問題があった。
【０００６】本発明はこのような点を考慮してなされた
もので、Ｓ／Ｎ比の改良を図った電気光学サンプリング
オシロスコープを提供することを目的としている。
もので、Ｓ／Ｎ比の改良を図った電気光学サンプリング
オシロスコープを提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
サンプリングパルスのタイミングでレーザ光線による光
パルスを発生し、電気光学プローブへ供給する光パルス
発生手段と、前記電気光学プローブの出力を増幅し、受
光信号として出力する受光増幅手段と、前記サンプリン
グパルスから第１の一定時間が経過した時点で前記受光
信号をサンプルし、該サンプル時点から第２の一定時間
が経過した時点で前記受光信号を再度サンプルするサン
プリング手段と、前記サンプリング手段によってサンプ
ルされたデータの差をとる減算手段と、前記減算手段の
出力に基づいて画像表示を行う手段とを具備してなる電
気光学サンプリングオシロスコープである。
サンプリングパルスのタイミングでレーザ光線による光
パルスを発生し、電気光学プローブへ供給する光パルス
発生手段と、前記電気光学プローブの出力を増幅し、受
光信号として出力する受光増幅手段と、前記サンプリン
グパルスから第１の一定時間が経過した時点で前記受光
信号をサンプルし、該サンプル時点から第２の一定時間
が経過した時点で前記受光信号を再度サンプルするサン
プリング手段と、前記サンプリング手段によってサンプ
ルされたデータの差をとる減算手段と、前記減算手段の
出力に基づいて画像表示を行う手段とを具備してなる電
気光学サンプリングオシロスコープである。
【０００８】請求項２記載の発明は、サンプリングパル
スのタイミングでレーザ光線による光パルスを発生し、
電気光学プローブへ供給する光パルス発生手段と、前記
電気光学プローブの出力を増幅し、受光信号として出力
する受光増幅手段と、前記サンプリングパルスから第１
の一定時間が経過した時点で第１のパルス信号を出力す
るタイミング発生手段と、前記第１のパルス信号を第２
の一定時間遅延させた第２のパルス信号を出力する遅延
手段と、前記第１、第２のパルス信号のタイミングで前
記受光信号をサンプリングし、サンプリングした受光信
号を第１，第２のディジタルデータに変換して出力する
Ａ／Ｄ変換器と、前記第１、第２のディジタルデータの
差をとる減算手段と、前記減算手段の出力に基づいて画
像表示を行う手段とを具備してなる電気光学サンプリン
グオシロスコープである。
スのタイミングでレーザ光線による光パルスを発生し、
電気光学プローブへ供給する光パルス発生手段と、前記
電気光学プローブの出力を増幅し、受光信号として出力
する受光増幅手段と、前記サンプリングパルスから第１
の一定時間が経過した時点で第１のパルス信号を出力す
るタイミング発生手段と、前記第１のパルス信号を第２
の一定時間遅延させた第２のパルス信号を出力する遅延
手段と、前記第１、第２のパルス信号のタイミングで前
記受光信号をサンプリングし、サンプリングした受光信
号を第１，第２のディジタルデータに変換して出力する
Ａ／Ｄ変換器と、前記第１、第２のディジタルデータの
差をとる減算手段と、前記減算手段の出力に基づいて画
像表示を行う手段とを具備してなる電気光学サンプリン
グオシロスコープである。
【０００９】請求項３記載の発明は、請求項２に記載の
電気光学サンプリングオシロスコープにおいて、前記受
光増幅手段の周波数帯域を制御する帯域制御データおよ
び前記遅延手段の遅延時間を制御する遅延制御データの
対応関係を示すテーブルを具備し、前記前記受光増幅手
段の周波数帯域および前記遅延手段の遅延時間を前記テ
ーブル内のデータによって制御する制御手段を設けてな
ることを特徴とする。
電気光学サンプリングオシロスコープにおいて、前記受
光増幅手段の周波数帯域を制御する帯域制御データおよ
び前記遅延手段の遅延時間を制御する遅延制御データの
対応関係を示すテーブルを具備し、前記前記受光増幅手
段の周波数帯域および前記遅延手段の遅延時間を前記テ
ーブル内のデータによって制御する制御手段を設けてな
ることを特徴とする。
【００１０】請求項４記載の発明は、サンプリングパル
スのタイミングでレーザ光線による光パルスを発生し、
電気光学プローブへ供給する光パルス発生手段と、前記
電気光学プローブの出力を増幅し、受光信号として出力
する受光増幅手段と、前記サンプリングパルスから第１
の一定時間が経過した時点で第１のパルス信号を出力す
るタイミング発生手段と、前記第１のパルス信号を第２
の一定時間遅延させた第２のパルス信号を出力する遅延
手段と、前記第１、第２のパルス信号のタイミングで前
記受光信号をサンプリングし、サンプリングした受光信
号を第１，第２のディジタルデータに変換して出力する
Ａ／Ｄ変換器と、前記第１、第２のディジタルデータの
各測定周期毎の平均値を算出する平均値算出手段と、前
記平均値算出手段による算出結果を記憶するメモリと、
前記メモリに記憶された第１のディジタルデータの平均
値と第２のディジタルデータの平均値との差を演算する
減算手段と、前記減算手段の出力に基づいて画像表示を
行う手段とを具備してなる電気光学サンプリングオシロ
スコープである。
スのタイミングでレーザ光線による光パルスを発生し、
電気光学プローブへ供給する光パルス発生手段と、前記
電気光学プローブの出力を増幅し、受光信号として出力
する受光増幅手段と、前記サンプリングパルスから第１
の一定時間が経過した時点で第１のパルス信号を出力す
るタイミング発生手段と、前記第１のパルス信号を第２
の一定時間遅延させた第２のパルス信号を出力する遅延
手段と、前記第１、第２のパルス信号のタイミングで前
記受光信号をサンプリングし、サンプリングした受光信
号を第１，第２のディジタルデータに変換して出力する
Ａ／Ｄ変換器と、前記第１、第２のディジタルデータの
各測定周期毎の平均値を算出する平均値算出手段と、前
記平均値算出手段による算出結果を記憶するメモリと、
前記メモリに記憶された第１のディジタルデータの平均
値と第２のディジタルデータの平均値との差を演算する
減算手段と、前記減算手段の出力に基づいて画像表示を
行う手段とを具備してなる電気光学サンプリングオシロ
スコープである。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施形態について説明する。図１は本発明の一実施形態
によるＥＯＳオシロスコープの構成を示すブロック図で
あり、この図において、図１０の各部と対応する部分に
は同一の符号を付し、その説明を省略する。図１におい
て、符号１１は遅延回路であり、タイミング発生回路４
から出力されるパルス信号Ｐ２（図１１，図２（ハ）参
照）を一定時間遅延させ、パルス信号Ｐ３（図２（ニ）
参照）として出力する。ここで、遅延時間Ｔｄは、予め
設定される遅延量に応じた数の基準クロックをカウント
することによって測定される。１２は論理和回路であ
り、パルス信号Ｐ２とＰ３の論理和（ＯＲ）をとってＡ
／Ｄ変換器７へ出力する。ラッチ回路１３はパルス信号
Ｐ３のタイミングにおいてＡ／Ｄ変換器７の出力をラッ
チし、減算回路１４へ出力する。減算回路１４はラッチ
回路１３の出力からＡ／Ｄ変換器７の出力を減算し、そ
の結果を処理回路８へ出力する。
実施形態について説明する。図１は本発明の一実施形態
によるＥＯＳオシロスコープの構成を示すブロック図で
あり、この図において、図１０の各部と対応する部分に
は同一の符号を付し、その説明を省略する。図１におい
て、符号１１は遅延回路であり、タイミング発生回路４
から出力されるパルス信号Ｐ２（図１１，図２（ハ）参
照）を一定時間遅延させ、パルス信号Ｐ３（図２（ニ）
参照）として出力する。ここで、遅延時間Ｔｄは、予め
設定される遅延量に応じた数の基準クロックをカウント
することによって測定される。１２は論理和回路であ
り、パルス信号Ｐ２とＰ３の論理和（ＯＲ）をとってＡ
／Ｄ変換器７へ出力する。ラッチ回路１３はパルス信号
Ｐ３のタイミングにおいてＡ／Ｄ変換器７の出力をラッ
チし、減算回路１４へ出力する。減算回路１４はラッチ
回路１３の出力からＡ／Ｄ変換器７の出力を減算し、そ
の結果を処理回路８へ出力する。
【００１２】次に、図１に示す回路の動作を図２に示す
タイミング図を参照して説明する。まず、被測定回路か
らから供給されるトリガ信号ＴＲ（図１１参照）が立ち
上がると、このトリガ信号ＴＲの立ち上がりのタイミン
グにおいて、タイミング発生回路４から図２（イ）に示
すパルス信号Ｐ１が出力され、光パルス発生回路５へ供
給される。光パルス発生回路５は、このパルス信号Ｐ１
を受け、レーザ光線による光パルスを発生し、ＥＯＳプ
ローブ２へ出力する。ＥＯＳプローブ２へ出力された光
パルスは、同プローブ２内を通過する際に、その偏光状
態が被測定信号に応じて変化し、そして、電気信号に変
換されて受光増幅回路６へ入力される。受光増幅回路６
はＥＯＳプローブ２の出力信号を増幅し、受光信号ＬＳ
としてＡ／Ｄ変換器７へ出力する。図２（ロ）に受光信
号ＬＳの波形を示す。
タイミング図を参照して説明する。まず、被測定回路か
らから供給されるトリガ信号ＴＲ（図１１参照）が立ち
上がると、このトリガ信号ＴＲの立ち上がりのタイミン
グにおいて、タイミング発生回路４から図２（イ）に示
すパルス信号Ｐ１が出力され、光パルス発生回路５へ供
給される。光パルス発生回路５は、このパルス信号Ｐ１
を受け、レーザ光線による光パルスを発生し、ＥＯＳプ
ローブ２へ出力する。ＥＯＳプローブ２へ出力された光
パルスは、同プローブ２内を通過する際に、その偏光状
態が被測定信号に応じて変化し、そして、電気信号に変
換されて受光増幅回路６へ入力される。受光増幅回路６
はＥＯＳプローブ２の出力信号を増幅し、受光信号ＬＳ
としてＡ／Ｄ変換器７へ出力する。図２（ロ）に受光信
号ＬＳの波形を示す。
【００１３】一方、タイミング発生回路４は、パルス信
号Ｐ１の立ち上がりから一定時間（例えば、１０〜５０
ｎｓｅｃ）経過した時点でパルス信号Ｐ２（図２（ハ）
参照）を出力する。このパルス信号Ｐ２は論理和回路１
２を介してサンプリングパルスＰＳ（図２（ホ）参照）
としてＡ／Ｄ変換器７へ供給される。Ａ／Ｄ変換器７は
このサンプリングパルスＰＳを受け、受光信号ＬＳをサ
ンプリングし、次いでサンプリングした値をディジタル
データに変換して出力する。また、上述したパルス信号
Ｐ２は遅延回路１１へ供給される。遅延回路１１はこの
パルス信号Ｐ２を一定時間Ｔｄだけ遅延し、パルス信号
Ｐ３（図２（ニ））として出力する。ここで、遅延時間
Ｔｄは、受光信号ＬＳがほぼ「０」となる時点でパルス
信号Ｐ３が出力されるように予め設定される。
号Ｐ１の立ち上がりから一定時間（例えば、１０〜５０
ｎｓｅｃ）経過した時点でパルス信号Ｐ２（図２（ハ）
参照）を出力する。このパルス信号Ｐ２は論理和回路１
２を介してサンプリングパルスＰＳ（図２（ホ）参照）
としてＡ／Ｄ変換器７へ供給される。Ａ／Ｄ変換器７は
このサンプリングパルスＰＳを受け、受光信号ＬＳをサ
ンプリングし、次いでサンプリングした値をディジタル
データに変換して出力する。また、上述したパルス信号
Ｐ２は遅延回路１１へ供給される。遅延回路１１はこの
パルス信号Ｐ２を一定時間Ｔｄだけ遅延し、パルス信号
Ｐ３（図２（ニ））として出力する。ここで、遅延時間
Ｔｄは、受光信号ＬＳがほぼ「０」となる時点でパルス
信号Ｐ３が出力されるように予め設定される。
【００１４】そして、このパルス信号Ｐ３は論理和回路
１２を介してサンプリングパルスＰＳ（図２（ホ））と
してＡ／Ｄ変換器７へ供給される。Ａ／Ｄ変換器７はこ
のサンプリングパルスＰＳを受け、受光信号ＬＳをサン
プリングし、ディジタルデータに変換して出力する。ま
た、パルス信号Ｐ３はラッチ回路１３へ供給される。ラ
ッチ回路１３はこのパルス信号Ｐ３を受け、Ａ／Ｄ変換
器７の出力をラッチする。これにより、パルス信号Ｐ２
のタイミングでサンプリングされ、Ａ／Ｄ変換された受
光信号ＬＳの値がラッチ回路１３に読み込まれ、データ
Ｄ２（図２（ト））として減算回路１４へ出力される。
１２を介してサンプリングパルスＰＳ（図２（ホ））と
してＡ／Ｄ変換器７へ供給される。Ａ／Ｄ変換器７はこ
のサンプリングパルスＰＳを受け、受光信号ＬＳをサン
プリングし、ディジタルデータに変換して出力する。ま
た、パルス信号Ｐ３はラッチ回路１３へ供給される。ラ
ッチ回路１３はこのパルス信号Ｐ３を受け、Ａ／Ｄ変換
器７の出力をラッチする。これにより、パルス信号Ｐ２
のタイミングでサンプリングされ、Ａ／Ｄ変換された受
光信号ＬＳの値がラッチ回路１３に読み込まれ、データ
Ｄ２（図２（ト））として減算回路１４へ出力される。
【００１５】すなわち、この時点で、ラッチ回路１３か
ら受光信号ＬＳをパルス信号Ｐ２のタイミングでサンプ
リングし、Ａ／Ｄ変換したデータＤ２が出力され、ま
た、Ａ／Ｄ変換器７からは受光信号ＬＳをパルス信号Ｐ
３のタイミングでサンプリングし、Ａ／Ｄ変換したデー
タＤ１（図２（ヘ））が出力される。ここで、パルス信
号Ｐ３のタイミングは受光信号ＬＳがほぼ「０」となる
タイミングであり、言い換えれば、パルス信号Ｐ３のタ
イミングでサンプリングされるデータはノイズデータで
ある。そして、減算回路１４によってラッチ回路１３の
出力からＡ／Ｄ変換器７の出力が減算されると、減算回
路１４の出力データＤ３（図２（チ））が受光信号ＬＳ
からノイズ分を減算したデータとなり、ノイズの極めて
少ないデータとなる。そして、このデータＤ３が処理回
路８へ供給され、これにより、被測定信号の表示が行わ
れる。
ら受光信号ＬＳをパルス信号Ｐ２のタイミングでサンプ
リングし、Ａ／Ｄ変換したデータＤ２が出力され、ま
た、Ａ／Ｄ変換器７からは受光信号ＬＳをパルス信号Ｐ
３のタイミングでサンプリングし、Ａ／Ｄ変換したデー
タＤ１（図２（ヘ））が出力される。ここで、パルス信
号Ｐ３のタイミングは受光信号ＬＳがほぼ「０」となる
タイミングであり、言い換えれば、パルス信号Ｐ３のタ
イミングでサンプリングされるデータはノイズデータで
ある。そして、減算回路１４によってラッチ回路１３の
出力からＡ／Ｄ変換器７の出力が減算されると、減算回
路１４の出力データＤ３（図２（チ））が受光信号ＬＳ
からノイズ分を減算したデータとなり、ノイズの極めて
少ないデータとなる。そして、このデータＤ３が処理回
路８へ供給され、これにより、被測定信号の表示が行わ
れる。
【００１６】このように、上記実施形態によれば、サン
プリングされた受光信号ＬＳからノイズ分が減算され、
このノイズ分が減算されたデータに基づいて処理回路８
における表示処理が行われる。この結果、ノイズの少な
いデータ表示を行うことができる。但し、上記の回路に
よって除去することができるのは低周波数のノイズであ
る。すなわち、上記回路は図２（リ）に例示するような
低周波のノイズ、特に図示のように時間によってレベル
が大きく異なるノイズの除去に有効である。図３は図１
の回路のノイズ周波数とノイズ削減率との関係を示すグ
ラフであり、この図において、Ｌ１はｄＢで示した削減
率（左軸）、Ｌ２は実数で示した削減率（右軸）であ
る。また、この図はサンプル時刻差が１２５ｎＳの場合
の計算値を求め、表示したものである。
プリングされた受光信号ＬＳからノイズ分が減算され、
このノイズ分が減算されたデータに基づいて処理回路８
における表示処理が行われる。この結果、ノイズの少な
いデータ表示を行うことができる。但し、上記の回路に
よって除去することができるのは低周波数のノイズであ
る。すなわち、上記回路は図２（リ）に例示するような
低周波のノイズ、特に図示のように時間によってレベル
が大きく異なるノイズの除去に有効である。図３は図１
の回路のノイズ周波数とノイズ削減率との関係を示すグ
ラフであり、この図において、Ｌ１はｄＢで示した削減
率（左軸）、Ｌ２は実数で示した削減率（右軸）であ
る。また、この図はサンプル時刻差が１２５ｎＳの場合
の計算値を求め、表示したものである。
【００１７】ところで、ノイズデータをラッチする位
置、すなわち、パルス信号Ｐ３の位置はノイズ除去効果
から見ると、パルス信号Ｐ２に近いほどよい。しかし、
パルス信号Ｐ３がパルス信号Ｐ２に近すぎると、雑音だ
けでなく、信号分もサンプルしてしまう。そこで、パル
ス信号Ｐ３の位置が、信号分をサンプルすることがな
く、しかもパルス信号Ｐ２の位置に最も近い位置となる
ように、遅延回路１１の遅延時間Ｔｄを決める必要があ
る。
置、すなわち、パルス信号Ｐ３の位置はノイズ除去効果
から見ると、パルス信号Ｐ２に近いほどよい。しかし、
パルス信号Ｐ３がパルス信号Ｐ２に近すぎると、雑音だ
けでなく、信号分もサンプルしてしまう。そこで、パル
ス信号Ｐ３の位置が、信号分をサンプルすることがな
く、しかもパルス信号Ｐ２の位置に最も近い位置となる
ように、遅延回路１１の遅延時間Ｔｄを決める必要があ
る。
【００１８】この遅延時間Ｔｄを決める方法としては、
次のような方法が考えられる。すなわち、ノイズが少な
い既知の被測定信号（例えば、ＥＯＳの校正信号）をＥ
ＯＳプローブ２に加え、遅延時間Ｔｄを順次変化させな
がら測定を行う。そして、Ｓ／Ｎが最もよい遅延時間Ｔ
ｄを決定する。Ｓ／Ｎの検出手段、遅延時間Ｔｄの可変
ステップ等は従来技術を適用する。例えば、測定波形を
フーリエ変換し、被測定信号の周波数成分を除去した後
の信号のパワー測定（積分）をしてノイズ分を求める。
また、可変ステップについては、ニュートン法で間隔を
変化させる。
次のような方法が考えられる。すなわち、ノイズが少な
い既知の被測定信号（例えば、ＥＯＳの校正信号）をＥ
ＯＳプローブ２に加え、遅延時間Ｔｄを順次変化させな
がら測定を行う。そして、Ｓ／Ｎが最もよい遅延時間Ｔ
ｄを決定する。Ｓ／Ｎの検出手段、遅延時間Ｔｄの可変
ステップ等は従来技術を適用する。例えば、測定波形を
フーリエ変換し、被測定信号の周波数成分を除去した後
の信号のパワー測定（積分）をしてノイズ分を求める。
また、可変ステップについては、ニュートン法で間隔を
変化させる。
【００１９】また、受光信号ＬＳの波形は受光増幅回路
６の周波数帯域によって大きく変化する。図４（ａ）は
受光増幅回路６の周波数帯域が広い場合、（ｂ）は狭い
場合であり、これら各々の場合において、好ましいパル
ス信号Ｐ２，Ｐ３の位置は各々図に示す位置となる。こ
の図から明らかなように、受光増幅回路６の周波数帯域
によって、パルス信号Ｐ３の位置は大きく変化する。そ
こで、図５に示すように、受光増幅回路６の周波数帯域
を制御する制御回路３１を設けた場合には、制御回路３
１内に、受光増幅回路６の周波数帯域を制御する帯域制
御データＣＦと、遅延回路１１の遅延時間を制御する遅
延制御データＣＴｄとの関係を示すテーブルを予め用意
し、受光増幅回路６の周波数帯域を変えた場合には、同
時に遅延回路１１の遅延時間Ｔｄを変えることが望まし
い。
６の周波数帯域によって大きく変化する。図４（ａ）は
受光増幅回路６の周波数帯域が広い場合、（ｂ）は狭い
場合であり、これら各々の場合において、好ましいパル
ス信号Ｐ２，Ｐ３の位置は各々図に示す位置となる。こ
の図から明らかなように、受光増幅回路６の周波数帯域
によって、パルス信号Ｐ３の位置は大きく変化する。そ
こで、図５に示すように、受光増幅回路６の周波数帯域
を制御する制御回路３１を設けた場合には、制御回路３
１内に、受光増幅回路６の周波数帯域を制御する帯域制
御データＣＦと、遅延回路１１の遅延時間を制御する遅
延制御データＣＴｄとの関係を示すテーブルを予め用意
し、受光増幅回路６の周波数帯域を変えた場合には、同
時に遅延回路１１の遅延時間Ｔｄを変えることが望まし
い。
【００２０】また、図１に示す実施形態は、受光増幅回
路６の出力をＡ／Ｄ変換した後減算回路１４によってノ
イズ分の減算をしているが、これに代えて、図６に示す
ように、受光増幅回路６の後段に第１、第２のサンプル
ホールド回路３３，３４を設け、パルス信号Ｐ２，Ｐ３
を各々サンプルホールド回路３３，３４のホールド端子
へ印加してサンプルホールド回路３３に検出データを、
サンプルホールド回路３４にノイズ分を各々ホールド
し、減算回路３５によって検出データからノイズ分を減
算するようにしてもよい。
路６の出力をＡ／Ｄ変換した後減算回路１４によってノ
イズ分の減算をしているが、これに代えて、図６に示す
ように、受光増幅回路６の後段に第１、第２のサンプル
ホールド回路３３，３４を設け、パルス信号Ｐ２，Ｐ３
を各々サンプルホールド回路３３，３４のホールド端子
へ印加してサンプルホールド回路３３に検出データを、
サンプルホールド回路３４にノイズ分を各々ホールド
し、減算回路３５によって検出データからノイズ分を減
算するようにしてもよい。
【００２１】次に、この発明のさらに他の実施形態につ
いて説明する。図７は同実施形態の構成を示すブロック
図であり、この図に示す回路が図１に示す回路と異なる
点は、図１のラッチ回路１３に代えて、メモリ４０とメ
モリ制御回路４１が設けられている点である。図８は、
図７に示す回路の動作を説明するためのタイミング図で
あり、この図において、（イ）はタイミング発生回路４
から光パルス発生回路５へ出力されるパルス信号Ｐ１、
（ロ）は受光増幅回路６から出力される受光信号ＬＳ、
（ハ）はＡ／Ｄ変換器７へ出力されるサンプリングパル
スＰＳ、（ニ）はＡ／Ｄ変換器７から出力されるデータ
Ｄ１である。なお、これらの信号，データのタイミング
および波形（データ値）は前述した図１の場合と同じで
ある。
いて説明する。図７は同実施形態の構成を示すブロック
図であり、この図に示す回路が図１に示す回路と異なる
点は、図１のラッチ回路１３に代えて、メモリ４０とメ
モリ制御回路４１が設けられている点である。図８は、
図７に示す回路の動作を説明するためのタイミング図で
あり、この図において、（イ）はタイミング発生回路４
から光パルス発生回路５へ出力されるパルス信号Ｐ１、
（ロ）は受光増幅回路６から出力される受光信号ＬＳ、
（ハ）はＡ／Ｄ変換器７へ出力されるサンプリングパル
スＰＳ、（ニ）はＡ／Ｄ変換器７から出力されるデータ
Ｄ１である。なお、これらの信号，データのタイミング
および波形（データ値）は前述した図１の場合と同じで
ある。
【００２２】図８（ホ）はメモリ制御回路４１内で作ら
れるアドレス出力パルス、（ヘ）はメモリ制御回路４１
内で作られ、上述したアドレス出力パルスの立ち上がり
タイミングでメモリ４０のアドレス端子へ出力されるメ
モリアドレスＡＤである。（ト）はメモリリード信号Ｍ
Ｒであり、このメモリリード信号ＭＲがメモリ４０へ出
力されると、上記メモリアドレスＡＤが指示するメモリ
４０のアドレスからデータが読み出され、メモリ制御回
路４１へ入力される。（チ）は、メモリ制御回路４１内
で作られるデータ読込みパルスであり、このデータ読込
みパルスが出力されると、Ａ／Ｄ変換器７の出力データ
Ｄ１がメモリ制御回路４１に読み込まれ、次いで、読み
込まれたデータと上述したメモリリード信号ＭＲによっ
てメモリ４０から読み出されたデータとが加算される。
（リ）はメモリ制御回路４１内で作られるメモリライト
信号ＭＷである。このメモリライト信号ＭＷがメモリ４
０へ出力され、この時同時に、上述した加算データがメ
モリ４０のデータ入力端へ供給される。これにより、上
記加算データがメモリ４０のアドレスＡＤが指示するア
ドレス内に書き込まれる。（ヌ）はメモリ４０の入出力
データを示す図であり、ＭＤ１は１番地（図８（ヘ）参
照）から読み出された前回までの加算データ（加算検出
データ）、ＭＤ２は１番地の前回までの加算データに今
回のデータＤ１（Ａ／Ｄ変換器７・出力；検出データ）
を加算したデータでメモリ４０の書き込みデータ、ＭＤ
３は２番地から読み出された前回までの加算データ（加
算ノイズデータ）、ＭＤ４は２番地の前回までの加算デ
ータに今回のデータＤ１（ノイズデータ）を加算したデ
ータでメモリ４０の書き込みデータである。図９はメモ
リ４０のアドレスと、メモリ４０に書き込まれるデータ
と、画像表示との関係を示す図である。
れるアドレス出力パルス、（ヘ）はメモリ制御回路４１
内で作られ、上述したアドレス出力パルスの立ち上がり
タイミングでメモリ４０のアドレス端子へ出力されるメ
モリアドレスＡＤである。（ト）はメモリリード信号Ｍ
Ｒであり、このメモリリード信号ＭＲがメモリ４０へ出
力されると、上記メモリアドレスＡＤが指示するメモリ
４０のアドレスからデータが読み出され、メモリ制御回
路４１へ入力される。（チ）は、メモリ制御回路４１内
で作られるデータ読込みパルスであり、このデータ読込
みパルスが出力されると、Ａ／Ｄ変換器７の出力データ
Ｄ１がメモリ制御回路４１に読み込まれ、次いで、読み
込まれたデータと上述したメモリリード信号ＭＲによっ
てメモリ４０から読み出されたデータとが加算される。
（リ）はメモリ制御回路４１内で作られるメモリライト
信号ＭＷである。このメモリライト信号ＭＷがメモリ４
０へ出力され、この時同時に、上述した加算データがメ
モリ４０のデータ入力端へ供給される。これにより、上
記加算データがメモリ４０のアドレスＡＤが指示するア
ドレス内に書き込まれる。（ヌ）はメモリ４０の入出力
データを示す図であり、ＭＤ１は１番地（図８（ヘ）参
照）から読み出された前回までの加算データ（加算検出
データ）、ＭＤ２は１番地の前回までの加算データに今
回のデータＤ１（Ａ／Ｄ変換器７・出力；検出データ）
を加算したデータでメモリ４０の書き込みデータ、ＭＤ
３は２番地から読み出された前回までの加算データ（加
算ノイズデータ）、ＭＤ４は２番地の前回までの加算デ
ータに今回のデータＤ１（ノイズデータ）を加算したデ
ータでメモリ４０の書き込みデータである。図９はメモ
リ４０のアドレスと、メモリ４０に書き込まれるデータ
と、画像表示との関係を示す図である。
【００２３】このように、図７に示す実施形態では、各
サンプル点のデータの各測定周期毎の加算値（言い換え
れば平均値）をメモリ４０に蓄えるようになっている。
そして、蓄えられたデータは所定のタイミングでメモリ
４０から読み出され、減算回路１４においてノイズ分が
減算され、処理回路８において画像表示される。
サンプル点のデータの各測定周期毎の加算値（言い換え
れば平均値）をメモリ４０に蓄えるようになっている。
そして、蓄えられたデータは所定のタイミングでメモリ
４０から読み出され、減算回路１４においてノイズ分が
減算され、処理回路８において画像表示される。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
２つの異なるタイミングで被測定信号をサンプリングし
て、一方のデータから他方のデータを減算することによ
り、お互いの低周波雑音成分が相殺されて信号成分のみ
が残るので、受光増幅回路に外部から漏れ込んだ雑音、
受光増幅回路で発生した雑音、光パルス発生の時点で発
生した光雑音の低周波成分等を除去あるいは低減するこ
とができ、Ｓ／Ｎ比の良い測定波形が得られるという効
果が得られる。また、本発明によれば、大きくレベルが
異なる低周波雑音に対しても除去効果を得ることができ
る。
２つの異なるタイミングで被測定信号をサンプリングし
て、一方のデータから他方のデータを減算することによ
り、お互いの低周波雑音成分が相殺されて信号成分のみ
が残るので、受光増幅回路に外部から漏れ込んだ雑音、
受光増幅回路で発生した雑音、光パルス発生の時点で発
生した光雑音の低周波成分等を除去あるいは低減するこ
とができ、Ｓ／Ｎ比の良い測定波形が得られるという効
果が得られる。また、本発明によれば、大きくレベルが
異なる低周波雑音に対しても除去効果を得ることができ
る。
【図１】 本発明の一実施形態によるＥＯＳオシロスコ
ープの構成を示すブロック図である。
ープの構成を示すブロック図である。
【図２】 図１に示す回路の動作を示すタイミングチャ
ートである。
ートである。
【図３】 図１に示す回路のノイズ周波数とノイズ削減
率との関係を示すグラフである。
率との関係を示すグラフである。
【図４】 受光増幅回路６の周波数帯域によるアナログ
信号波形（パルス波形）の形状の違いを示す図である。
信号波形（パルス波形）の形状の違いを示す図である。
【図５】 受光増幅回路６の周波数帯域を制御する制御
回路３１を設けた場合の構成を示すブロック図である。
回路３１を設けた場合の構成を示すブロック図である。
【図６】 受光増幅回路６からの出力に対し、減算処理
とＡ／Ｄ変換処理の順番を入れ換えた場合の構成を示す
ブロック図である。
とＡ／Ｄ変換処理の順番を入れ換えた場合の構成を示す
ブロック図である。
【図７】 本発明の他の実施形態によるＥＯＳオシロス
コープの構成を示すブロック図である。
コープの構成を示すブロック図である。
【図８】 図７の構成による回路の動作を示すタイミン
グ図である。
グ図である。
【図９】 図７の構成における、メモリ４０のアドレス
と、メモリ４０に書き込まれるデータと、画像表示との
関係を示す図である。
と、メモリ４０に書き込まれるデータと、画像表示との
関係を示す図である。
【図１０】 従来技術によるＥＯＳオシロスコープの構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
【図１１】 トリガ信号ＴＲ、及びタイミング発生回路
４から出力されるパルス信号Ｐ１，Ｐ２の発生タイミン
グを示すタイミングチャートである。
４から出力されるパルス信号Ｐ１，Ｐ２の発生タイミン
グを示すタイミングチャートである。
１．ＥＯＳオシロスコープの本体部 ２．ＥＯＳプローブ ４．タイミング発生回路 ５．光パルス発生回路 ６．受光増幅回路 ７．Ａ／Ｄ変換器 ８．処理回路 １１．遅延回路 １２．論理和（ＯＲ）回路 １３．ラッチ回路 １４．減算回路 ３１．制御回路 ３３．サンプリングホールド回路１ ３４．サンプリングホールド回路２ ３５．減算回路 ４０．メモリ ４１．メモリ制御回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 菊池 潤 東京都大田区蒲田４丁目19番７号 安藤電 気株式会社内 (72)発明者 伴城 暢一 東京都大田区蒲田４丁目19番７号 安藤電 気株式会社内 (72)発明者 遠藤 善雄 東京都大田区蒲田４丁目19番７号 安藤電 気株式会社内 (72)発明者 品川 満 東京都新宿区西新宿三丁目19番２号 日本 電信電話株式会社内 (72)発明者 永妻 忠夫 東京都新宿区西新宿三丁目19番２号 日本 電信電話株式会社内 (72)発明者 山田 順三 東京都新宿区西新宿三丁目19番２号 日本 電信電話株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】 サンプリングパルスのタイミングでレー
ザ光線による光パルスを発生し、電気光学プローブへ供
給する光パルス発生手段と、 前記電気光学プローブの出力を増幅し、受光信号として
出力する受光増幅手段と、 前記サンプリングパルスから第１の一定時間が経過した
時点で前記受光信号をサンプルし、該サンプル時点から
第２の一定時間が経過した時点で前記受光信号を再度サ
ンプルするサンプリング手段と、 前記サンプリング手段によってサンプルされたデータの
差をとる減算手段と、 前記減算手段の出力に基づいて画像表示を行う手段と、 を具備してなる電気光学サンプリングオシロスコープ。 - 【請求項２】 サンプリングパルスのタイミングでレー
ザ光線による光パルスを発生し、電気光学プローブへ供
給する光パルス発生手段と、 前記電気光学プローブの出力を増幅し、受光信号として
出力する受光増幅手段と、 前記サンプリングパルスから第１の一定時間が経過した
時点で第１のパルス信号を出力するタイミング発生手段
と、 前記第１のパルス信号を第２の一定時間遅延させた第２
のパルス信号を出力する遅延手段と、 前記第１、第２のパルス信号のタイミングで前記受光信
号をサンプリングし、サンプリングした受光信号を第
１，第２のディジタルデータに変換して出力するＡ／Ｄ
変換器と、 前記第１、第２のディジタルデータの差をとる減算手段
と、 前記減算手段の出力に基づいて画像表示を行う手段と、 を具備してなる電気光学サンプリングオシロスコープ。 - 【請求項３】 前記受光増幅手段の周波数帯域を制御す
る帯域制御データおよび前記遅延手段の遅延時間を制御
する遅延制御データの対応関係を示すテーブルを具備
し、前記前記受光増幅手段の周波数帯域および前記遅延
手段の遅延時間を前記テーブル内のデータによって制御
する制御手段を設けてなる請求項２に記載の電気光学サ
ンプリングオシロスコープ。 - 【請求項４】 サンプリングパルスのタイミングでレー
ザ光線による光パルスを発生し、電気光学プローブへ供
給する光パルス発生手段と、 前記電気光学プローブの出力を増幅し、受光信号として
出力する受光増幅手段と、 前記サンプリングパルスから第１の一定時間が経過した
時点で第１のパルス信号を出力するタイミング発生手段
と、 前記第１のパルス信号を第２の一定時間遅延させた第２
のパルス信号を出力する遅延手段と、 前記第１、第２のパルス信号のタイミングで前記受光信
号をサンプリングし、サンプリングした受光信号を第
１，第２のディジタルデータに変換して出力するＡ／Ｄ
変換器と、 前記第１、第２のディジタルデータの各測定周期毎の平
均値を算出する平均値算出手段と、 前記平均値算出手段による算出結果を記憶するメモリ
と、 前記メモリに記憶された第１のディジタルデータの平均
値と第２のディジタルデータの平均値との差を演算する
減算手段と、 前記減算手段の出力に基づいて画像表示を行う手段と、 を具備してなる電気光学サンプリングオシロスコープ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10070872A JPH11271363A (ja) | 1998-03-19 | 1998-03-19 | 電気光学サンプリングオシロスコープ |
| US09/268,136 US6232765B1 (en) | 1998-03-19 | 1999-03-12 | Electro-optical oscilloscope with improved sampling |
| EP99302013A EP0943925A3 (en) | 1998-03-19 | 1999-03-16 | Electro-optic sampling oscilloscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10070872A JPH11271363A (ja) | 1998-03-19 | 1998-03-19 | 電気光学サンプリングオシロスコープ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11271363A true JPH11271363A (ja) | 1999-10-08 |
Family
ID=13444093
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10070872A Pending JPH11271363A (ja) | 1998-03-19 | 1998-03-19 | 電気光学サンプリングオシロスコープ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6232765B1 (ja) |
| EP (1) | EP0943925A3 (ja) |
| JP (1) | JPH11271363A (ja) |
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| WO2020044707A1 (ja) * | 2018-08-30 | 2020-03-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 半導体試料の検査装置及び検査方法 |
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| CN100439931C (zh) * | 2005-11-29 | 2008-12-03 | 吉林大学 | 可校准电压的电光探测器 |
| WO2014119676A1 (ja) | 2013-02-01 | 2014-08-07 | 浜松ホトニクス株式会社 | 半導体デバイス検査装置及び半導体デバイス検査方法 |
| CN104374972A (zh) * | 2014-11-25 | 2015-02-25 | 苏州立瓷电子技术有限公司 | 一种高精度示波器 |
| CN105675985B (zh) * | 2016-01-19 | 2019-03-29 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种脉冲波形测试方法 |
| CN105675984B (zh) * | 2016-01-19 | 2019-03-29 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种脉冲波形测试电路 |
| CN113009201B (zh) * | 2021-02-24 | 2022-08-23 | 普源精电科技股份有限公司 | 一种电信号采样装置 |
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| JP3165873B2 (ja) | 1993-08-06 | 2001-05-14 | 日本電信電話株式会社 | 電気信号測定方法および装置 |
| JPH0755891A (ja) | 1993-08-09 | 1995-03-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 集積回路の試験方法および試験装置 |
| JPH0843499A (ja) | 1994-08-03 | 1996-02-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ティップ型回路試験用電界センサおよびその電界検出方法 |
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-
1998
- 1998-03-19 JP JP10070872A patent/JPH11271363A/ja active Pending
-
1999
- 1999-03-12 US US09/268,136 patent/US6232765B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1999-03-16 EP EP99302013A patent/EP0943925A3/en not_active Withdrawn
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|---|---|---|---|---|
| WO2020044707A1 (ja) * | 2018-08-30 | 2020-03-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 半導体試料の検査装置及び検査方法 |
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