JP3406491B2 - 電気光学サンプリングオシロスコープ - Google Patents

電気光学サンプリングオシロスコープ

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JP3406491B2 JP27315897A JP27315897A JP3406491B2 JP 3406491 B2 JP3406491 B2 JP 3406491B2 JP 27315897 A JP27315897 A JP 27315897A JP 27315897 A JP27315897 A JP 27315897A JP 3406491 B2 JP3406491 B2 JP 3406491B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、被測定信号の波形
観測位置に応じてトリガ信号を遅延させる遅延回路から
の信号に基づいて生成される光パルスを利用して、被測
定信号の測定を行う電気光学サンプリングオシロスコー
プであって、特にトリガ信号を遅延させる遅延回路に特
徴を有する電気光学サンプリングオシロスコープに関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】被測定信号によって発生する電界を電気
光学結晶に結合させ、この電気光学結晶にレーザ光を入
射し、レーザ光の偏光状態により被測定信号の波形を観
測することができる。ここでレーザ光をパルス状にし、
被測定信号をサンプリングすると非常に高い時間分解能
で測定することができる。この現象を利用した電気光学
プローブを用いたのが電気光学サンプリングオシロスコ
ープである。この電気光学サンプリングオシロスコープ
(以下「EOSオシロスコープ」と略記する)は、電気
式プローブを用いた従来のサンプリングオシロスコープ
と比較し、 1)信号を測定する際に、グランド線を必要としないた
め、測定が容易 2)電気光学プローブの先端にある金属ピンが回路系か
ら絶縁されているので高入力インピーダンスを実現で
き、その結果被測定点の状態をほとんど乱すことがない 3)光パルスを利用することからGHzオーダーまでの
広帯域測定が可能 といった特徴があり注目を集めている(品川ら:”EO
Sによるハンディ型ハイインピーダンスプローブ”、第
15回光波センシング技術研究会 講演論文集応用物理
学会・光波センシング技術研究会、1995年5月、p
p.123−129)。
【0003】まず、はじめに、EOSオシロスコープの
構成を図4を用いて説明する。EOSオシロスコープは
EOSオシロスコープの本体1および電気光学プローブ
2により構成される。そして、EOSオシロスコープの
本体1において、トリガ回路3は、測定信号に対する測
定開始となるトリガ信号を出力する。そして、遅延回路
4は、トリガ回路3からの信号を設定部9で設定された
時間の遅延を行う。なお、設定部9はスイッチ等で構成
され、設定部9で設定された遅延時間は、処理回路8を
介して遅延回路4に設定される。タイミング発生回路5
は、遅延回路4からの信号に基づいて、光パルスの発生
タイミングおよびA/D変換タイミングを発生し、光パ
ルス発生回路6は、タイミング発生回路5からのタイミ
ング信号に基づいて光パルスの発生を行う。そして、光
パルス出力回路6からの光パルスは、電気光学プローブ
2に供給され、電気光学素子により偏光変化を受ける。
この偏光変化を受けた光パルスは、電気光学プローブ2
内の偏光検出光学系(図示せず)により偏光検出等が行
われ、その信号がEOSオシロスコープの本体1に入力
される。そして、この信号は、A/D変換回路7によ
り、信号の増幅やA/D変換が行われ、処理回路8によ
り測定対象となった信号の表示等のための処理等が行わ
れる。
【0004】次に、図5を用いて、遅延回路4によりト
リガ回路3からのトリガ信号を遅延させる理由を説明す
る。図5(a)および(b)に示すように、トリガ回路
3からのトリガ信号は、一般的に被測定信号にほぼ同期
して発生させる。図5の場合、EOSオシロスコープの
本体1の表示部(図示せず)には、測定点A1もしくは
測定点A2からの波形が表示される。ここで、EOSオ
シロスコープの利用者が、測定点A1もしくはA2から
の波形の表示ではなく、その測定点から少し遅れた測定
点B1もしくはB2からの波形の表示を望む場合があ
る。このように、波形の表示開始位置を移動させるため
に、遅延回路4が用いられる。例えば、EOSオシロス
コープの利用者が測定点A1ではなく、測定点B1から
の波形の表示を望む場合、図4の設定部9より被測定信
号の表示開始位置を遅らせるように設定する。この設定
情報は、処理回路8で解析され、測定点A1に対する測
定点B1の遅延時間T’が求められ、遅延回路4に遅延
時間T’が設定される。すると、遅延回路4は図5
(c)に示すように、トリガ信号を遅延時間T’だけ遅
延させて出力する。そして、遅延回路4からの出力を用
いてサンプル用のタイミングが生成される。
【0005】図6は、この遅延回路4の従来の一構成例
を示した図である。図6より、遅延回路4は、トリガ信
号を入力信号とするランプ回路31、処理回路8からの
遅延時間設定信号をD/A変換するD/A変換器32、
ランプ回路31とD/A変換器32からの出力信号の比
較を行う比較回路33により構成される。次に図6に示
す遅延回路による動作を図7を用いて説明する。図7
(a)に示すようにトリガ信号がランプ回路31に入力
されると、この信号をトリガとして、ランプ回路31は
図7(c)に示すようにランプ信号の出力を行う。一
方、D/A変換器32は、処理回路7からの遅延時間設
定信号をD/A変換した出力信号を図7(b)のように
出力する。なお、ここでは、遅延回路7から設定された
値は遅延時間T’であるとすると、D/A変換器32
は、基準レベルに対してこの遅延時間T’に相当する分
だけ高い信号を出力する。ランプ回路31およびD/A
変換器32からの出力は、比較回路33で比較され、図
7(c)に示すようにトリガ信号を時間T’だけ遅延さ
せた信号を出力する。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、測定信号に
よっては、比較的長い時間、例えばミリ秒[ms]や秒
[s]といったオーダーの遅延を望む場合がある。しか
し、上述のEOSオシロスコープの遅延回路4では、ラ
ンプ回路31によるランプ信号を用いて遅延時間の設定
を行っているが、このような長い遅延時間の場合、ラン
プ信号に変動やジッタ等が生じ再現性がよくない。すな
わち、ミリ秒[ms]や秒[s]といったオーダーの遅
延時間の設定は精度よく行うことができない。
【0007】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、比較的長い遅延時間が設定されても、安定した
遅延時間の設定が可能な電気光学サンプリングオシロス
コープを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のうち請求項1に記載の発明は、被測定信号
の波形観測位置に応じてトリガ信号を遅延させる遅延回
路からの信号に基づいて生成される光パルスを利用し
て、該被測定信号の測定を行う電気光学サンプリングオ
シロスコープであって、前記遅延回路は、前記トリガ信
号に対して基準クロック発生回路からの基準クロックの
遅れ時間に相当する値を検出する遅れ時間検出回路と、
前記遅れ時間検出回路で検出された値をもとに、前記基
準クロックの整数倍となるように補正時間を決定する補
正時間決定回路と、前記トリガ信号をトリガとして前記
基準クロックを所定値までカウントするカウンタ回路
と、前記補正時間決定回路からの補正時間に関する信号
を用いて、前記カウンタ回路からの出力信号に対して、
該補正時間分の遅延を行う遅延補正回路とを備えたこと
を特徴とする電気光学サンプリングオシロスコープであ
る。
【0009】また、請求項2に記載の発明は、請求項1
に記載の電気光学サンプリングオシロスコープにおい
て、前記遅れ時間検出回路が、前記トリガ信号をトリガ
としてランプ波形を出力するランプ回路と、前記トリガ
信号直後に入力される前記基準クロックをトリガとし
て、前記ランプ回路からの出力をアナログ・デジタル変
化するA/D変換回路とから構成され、前記補正時間決
定回路が、前記基準クロックの周期の整数倍に相当する
値から前記A/D変換回路からの出力値を減算する演算
回路と、前記演算回路からの値をデジタル・アナログ変
換するD/A変換回路とから構成されることを特徴とし
ている。
【0010】また、請求項3に記載の発明は、請求項1
に記載の電気光学サンプリングオシロスコープにおい
て、前記遅れ時間検出回路が、前記トリガ信号をトリガ
としてランプ波形を出力するランプ回路と、前記トリガ
信号直後に入力される前記基準クロックをトリガとし
て、前記ランプ回路からの出力をホールドするサンプル
ホールド回路とから構成され、前記補正時間決定回路
が、前記基準クロックの周期の整数倍に相当する信号と
前記サンプルホール回路からの出力信号とを減算する減
算回路であることを特徴としている。
【0011】次に、請求項4に記載の発明は、被測定信
号の波形観測位置に応じてトリガ信号を遅延させる遅延
回路からの信号に基づき生成される光パルスを利用し
て、該被測定信号の測定を行う電気光学サンプリングオ
シロスコープであって、前記遅延回路が、前記トリガ信
号をトリガとしてランプ波形を出力するランプ回路と、
前記トリガ信号直後に入力される基準クロック発生回路
からの基準クロックをトリガとして、前記ランプ回路か
らの出力をアナログ・デジタル変化するA/D変換回路
とからなる遅れ時間検出回路と、前記基準クロックの周
期の整数倍に相当する値から前記遅れ時間検出回路から
の出力値を減算して、設定された微調整値を加算する演
算回路と、前記演算回路からの値をデジタル・アナログ
変換するD/A変換回路とからなる補正時間決定回路
と、前記トリガ信号をトリガとして前記基準クロックを
所定値までカウントするカウンタ回路と、前記補正時間
決定回路からの信号を用いて、前記カウンタ回路からの
出力信号に対して、前記補正時間決定回路からの信号に
より遅延を行う遅延補正回路とを備えたことを特徴とす
る電気光学サンプリングオシロスコープである。
【0012】次に、請求項5に記載の発明は、被測定信
号の波形観測位置に応じてトリガ信号を遅延させる遅延
回路からの信号に基づき生成される光パルスを利用し
て、該被測定信号の測定を行う電気光学サンプリングオ
シロスコープであって、前記遅延回路が、前記トリガ信
号をトリガとしてランプ波形を出力するランプ回路と、
前記トリガ信号直後に入力される基準クロック発生回路
からの基準クロックをトリガとして、前記ランプ回路か
らの出力をホールドするサンプルホールド回路とからな
る遅れ時間検出回路と、前記基準クロックの周期の整数
倍に相当する信号と前記サンプルホール回路からの出力
信号とを減算し、設定された微調整値に関する信号を加
算する補正時間決定回路と、前記トリガ信号をトリガと
して前記基準クロックを所定値までカウントするカウン
タ回路と、前記補正時間決定回路からの信号を用いて、
前記カウンタ回路からの出力信号に対して、前記補正時
間決定回路からの信号により遅延を行う遅延補正回路と
を備えたことを特徴とする電気光学サンプリングオシロ
スコープである。
【0013】また、請求項6に記載の発明は、請求項
1、請求項4、請求項5のいずれかに記載の電気光学サ
ンプリングオシロスコープにおいて、前記遅延補正回路
が、前記カウンタ回路からの出力信号をトリガとしてラ
ンプ波形を出力するランプ回路と、前記ランプ回路から
の出力と前記補正時間決定回路からの出力の比較を行う
比較回路とから構成されることを特徴としている。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態による
電気光学サンプリングオシロスコープを図面を参照して
説明する。はじめに、EOSオシロスコープの構成を図
4を用いて説明する。EOSオシロスコープは前述した
ように、EOSオシロスコープの本体1および電気光学
プローブ2により構成される。そして、EOSオシロス
コープ本体は、トリガ回路3、遅延回路4、タイミング
発生回路5、光パルス発生回路6、A/D変換回路7、
処理回路8、設定部9により構成される。このEOSオ
シロスコープの本体1において、トリガ回路3は、測定
信号に対する測定開始となるトリガ信号を出力する。そ
して、遅延回路4は、トリガ回路3からの信号を設定部
9で設定された時間だけ遅延させる。なお、設定部9は
スイッチ等で構成され、設定部9で設定された遅延時間
は、処理回路8を介して遅延回路4に設定される。タイ
ミング発生回路5は、遅延回路4からの信号に基づい
て、光パルスの発生タイミングやA/D変換タイミング
を発生し、光パルス発生回路6は、タイミング発生回路
5からのタイミング信号に基づいて光パルスの発生を行
う。
【0015】光パルス出力回路6からの光パルスは、電
気光学プローブ2に供給され、電気光学素子により偏光
変化を受ける。この偏光変化を受けた光パルスは、電気
光学プローブ2内の偏光検出光学系(図示せず)により
偏光検出等が行われ、その信号がEOSオシロスコープ
の本体1に入力される。電気光学プローブ2からの信号
は、A/D変換回路7により、信号の増幅およびA/D
変換が行われ、処理回路8により測定対象となった信号
の表示等のための処理等が行われる。
【0016】次に、本実施の形態におけるEOSオシロ
スコープにおける遅延回路4の回路構成を図1を用いて
説明する。図1より、遅延回路4には、入力信号とし
て、トリガ回路3からのトリガ信号および、処理回路7
からの遅延時間のほかに、EOSオシロスコープ内にあ
る基準クロック発生回路(図示せず)からの基準クロッ
クが入力される。一方、出力信号は、トリガ信号を設定
された時間だけ遅延させた信号となる。図において、上
記入力信号のほかに処理回路7を介して設定される微調
整値T3が入力されているが、この信号に付いては別途
説明を行うものとする。なお、トリガ信号と基準クロッ
クとは、別々の回路で生成されており、非同期である。
遅延回路4は、非同期なトリガ信号と基準信号との遅れ
時間に相当する値を検出する遅れ時間検出回路11と、
遅れ時間検出回路11で検出された値をもとに基準クロ
ックの周期の整数倍となるように補正時間を決定する補
正時間決定回路12と、処理回路7から設定される遅延
時間に応じて、基準クロックのカウントを行うカウンタ
回路13と、カウンタ回路13により遅延された時間
を、さらに補正時間決定回路12からの補正時間分遅延
させて、トリガ信号を基準クロックの整数倍遅延させた
信号を出力する遅延時間補正回路14とにより構成され
る。
【0017】ここで、遅れ時間検出回路11は、トリガ
信号をトリガとしてランプ波形を出力するランプ回路1
・11aと、トリガ信号入力直後に入力される基準クロ
ックのタイミングで、ランプ回路1・11aのランプ信
号をA/D変換するA/D変換回路11bから構成され
る。また、補正時間決定回路12は、遅れ時間検出回路
11からの出力に基づいてトリガ信号に対する基準信号
の遅れ時間T1を求め、既知である基準クロックの周期
Tから、求めた遅れ時間T1を引くことで、遅延回路4
による遅延時間が基準クロックの周期Tの整数倍となる
ように補正時間T2(=T−T1)を求める演算回路1
2aと、この演算回路12aからの出力をD/A変換す
るD/A変換回路12bにより構成される。
【0018】また、遅延補正回路14は、カウンタ回路
13からの信号をトリガにランプ信号の出力を行うラン
プ回路2・14aと、このランプ回路2・14aと補正
時間決定回路12からの信号の比較を行うことで、カウ
ンタ回路13からの信号をさらに補正時間T2遅延させ
た信号を出力する比較回路14bとにより構成される。
なお、以下で「EOSオシロスコープ」と言う場合、図
4におけるEOSオシロスコープの本体1とともに電気
光学プローブ2を備える場合と、EOSオシロスコープ
の本体1のみの場合があるものとする。
【0019】次に、図1に示す遅延回路4の動作を図2
を用いて説明する。ここで、遅延回路4には図2(a)
に示すようなトリガ信号および図2(b)に示すような
基準クロックが入力されるものとする。なお、基準クロ
ックの周波数はメガヘルツ[MHz]もしくはキロヘル
ツ[KHz]といった比較的高い周波数であるものとす
る。時刻t1においてトリガ信号が入力されると、この
信号をトリガとして、ランプ回路1・11aは図2
(c)に示すようにランプ信号の出力を開始する。そし
て、トリガ信号の入力後、時刻t2においてはじめて基
準クロックの立ち上がりが生じたものとすると、この時
刻t2のタイミングで、A/D変換回路11bによりラ
ンプ回路1・11aの出力値D1がA/D変換される。
なお、基準クロックは、比較的高い周波数なので、ラン
プ回路1・11aからのランプ信号が安定している範囲
内で、A/D変換回路11bによりA/D変換されるこ
とになる。
【0020】またトリガ信号の入力をトリガとして、カ
ウンタ回路13は、設定された遅延時間に相当する回数
基準クロックのカウントを行う。なお、ここでは、基準
クロックのカウントを信号の立ち上がりを基準にカウン
トするものとする。例えば、図4の設定部9で設定され
た遅延時間に基づいて、処理回路8で判断されたカウン
ト数が”N”であるとすると、遅延補正回路14で補正
される基準信号の1周期分を除いたカウント数”N−
1”がカウンタ回路13に設定され、図2(d)に示す
ように、カウンタ回路13は、このカウント数”N−
1”だけ基準クロックのカウントを行う。カウンタ回路
13によるカウント動作が終了する時刻t3に、カウン
タ回路13は信号を出力し、この信号をトリガとして、
ランプ回路2・14aは、図2(e)に示すように、ラ
ンプ信号の出力を行う。
【0021】一方、遅れ時間検出回路11から図2
(c)に示す値D1を受けた演算回路12aは、この値
D1から、トリガ信号に対する基準クロックの遅れ時間
T1(t2−t1)を求める。なお、遅れ時間T1と値
D1は比例関係にあり、この比例定数はランプ回路1・
11aにより決定できる。そして、演算回路12aは、
ランプ回路1・11aにより決定できる比例定数を既知
情報として記憶しているものとする。また、演算回路1
2aは、基準クロックの周期Tも予め既知の値として記
憶しており、補正時間T2を T2=T−T1 により算出する。この算出結果は、ランプ回路2の特性
に応じてD/A変換回路12bにより変換され、図2
(e)に示すように、基準レベルよりD2高い信号が出
力される。
【0022】比較回路14bは、図2(e)に示すラン
プ回路2・14aからの信号と補正時間決定回路12か
らの信号の比較を行い、ランプ回路2・14aがカウン
タ回路13から信号を受けた時刻t3よりさらに補正時
間T2遅延させた時刻t4のタイミングで信号を出力す
る。なお、トリガ信号に対する遅れ時間T1と補正時間
決定回路12で決定された補正時間T2との和は、基準
クロックの周期Tに一致する。また、カウンタ回路13
では、基準クロックを(N−1)回カウントした後に信
号の出力を行っている。よって、トリガ信号が入力され
た時刻t1と、遅延回路4から信号が出力された時刻t
4との差は、 t4−t1=T×N となり、トリガ信号は、遅延回路4により基準クロック
を整数倍(N)遅延させられて出力されることになる。
【0023】図1の遅延回路4において、遅れ時間検出
回路11と補正時間決定回路12は、途中の処理をデジ
タル信号で行っているが、これをすべてアナログ信号で
行う場合の遅れ時間検出回路11および補正時間決定回
路12の構成を図3に示す。図3の場合に、遅れ時間検
出回路11はランプ回路1・11aと、ランプ回路1・
11aからの出力をトリガ信号が入力された直後の基準
クロックの立ち上がりのタイミングでホールドするサン
プルホールド回路・11cにより構成される。また、補
正時間決定回路12は、基準クロックの周期Tに応じた
信号レベルからサンプルホールド回路11cからの信号
レベルを減算する減算回路12cにより構成され、この
減算回路12cからの出力が補正時間T2に関する信号
として遅延 正回路14に入力される。
【0024】以上のように、遅れ時間検出回路11を構
成するランプ回路1・11aや遅延補正回路14を構成
するランプ回路2・14aは、信号が安定している範囲
で利用されるので精度よく遅れ時間の検出、および、カ
ウンタ回路13からの信号の遅延を行うことができる。
さらに、遅延時間が長い場合であっても、主にカウンタ
回路13により遅延時間の設定が行われるので、精度よ
く、基準クロックの周期の整数倍の遅延が実現できる。
【0025】とろこで、図1において、設定部9で設定
された微調整値T3(0≦T3≦T:Tは基準クロック
の周期)も処理回路7を介して演算回路12aに入力さ
れるものとし、この微調整値T3を用いて、演算回路1
2aは、補正時間T2を T2=T−T1+T3 により求めるようにしてもよい。これにより、基準クロ
ックの周期Tよりも細かく遅延時間を設定できるように
なる。同様に、図3に示す減算回路12cにも微調整値
T3に対応したレベル信号を入力するものとし、減算回
路12cはこの信号をさらに加えることで、基準クロッ
クの周期Tよりも細かく遅延時間を設定できるようにな
る。
【0026】なお、本実施の形態におて、遅延回路4内
の補正時間決定回路12は、好ましくは基準クロックの
1周期分の”T”を基準として補正時間T2を求めるも
のとしているが、これに限定されるものではなく、ラン
プ回路2・14aからのランプ信号が安定している範囲
内で周期Tの整数倍を基準として補正時間T2を求める
ようにしてもよい。また、補正時間決定回路12に入力
される微調整値T3は、好ましい範囲として基準クロッ
クの1周期T内として説明したが、これに限定されるも
のではない。また、上述の遅延回路4は、トリガ信号の
遅延のみでなく、EOSオシロスコープ内で遅延が必要
な信号に対する遅延処理も行うようにしてもよい。
【0027】
【発明の効果】以上説明したように、本発明による電気
光学サンプリングオシロスコープによれば、下記の効果
を得ることができる。遅れ時間検出回路11を構成する
ランプ回路1・11aや遅延補正回路14を構成するラ
ンプ回路2・14aは、信号が安定している範囲で利用
されるので精度よく遅れ時間の検出、および、カウンタ
回路13からの信号の遅延を行うことができ、さらに、
遅延時間が長い場合であっても、主にカウンタ回路13
により遅延時間の設定が行われるので、精度よく、安定
して基準クロックの周期の整数倍の遅延が実現できる。
さらに、微調整値T3を遅延回路4に設定できるように
することで、基準クロックの周期Tよりも細かく遅延時
間を設定できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施形態によるEOSオシロスコ
ープにおける遅延回路の回路構成図である。
【図2】 図1の遅延回路の動作を説明するための図で
ある。
【図3】 図1の遅延回路における遅れ時間検出回路お
よび補正時間決定回路の他の回路構成図である。
【図4】 EOSオシロスコープの構成を示す図であ
る。
【図5】 EOSオシロスコープにおける遅延回路の役
割を説明するための図である。
【図6】 EOSオシロスコープにおける遅延回路の一
従来例における回路構成を示す図である。
【図7】 図6の遅延回路の動作を説明するための図で
ある。
【符号の説明】
1 EOSオシロスコープの本体 2 電気光学
プローブ 3 トリガ回路 4 遅延回路 5 タイミング発生回路 6 光パルス
発生回路 7 A/D変換回路 8 処理回路 9 設定部 11 遅れ時間検出回路 11a ランプ回路1 11b A/D
変換回路 12 補正時間決定回路 12a 演算回路 12b D/A
変換回路 13 カウンタ回路 14 遅延補正回路 14a ランプ回路2 14b 比較回
路 11c サンプルホールド回路 12c 減算回
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 菊池 潤 東京都大田区蒲田4丁目19番7号 安藤 電気株式会社内 (72)発明者 遠藤 善雄 東京都大田区蒲田4丁目19番7号 安藤 電気株式会社内 (72)発明者 品川 満 東京都新宿区西新宿三丁目19番2号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 永妻 忠夫 東京都新宿区西新宿三丁目19番2号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 松広 一良 東京都新宿区西新宿三丁目19番2号 日 本電信電話株式会社内 (56)参考文献 特開 平1−98973(JP,A) 特開 平4−109171(JP,A) 特開 昭55−42003(JP,A) 実開 平5−52770(JP,U) 特公 昭45−40876(JP,B1) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01R 13/00 - 13/42

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被測定信号の波形観測位置に応じてトリ
    ガ信号を遅延させる遅延回路からの信号に基づいて生成
    される光パルスを利用して、該被測定信号の測定を行う
    電気光学サンプリングオシロスコープであって、 前記遅延回路は、 前記トリガ信号に対して基準クロック発生回路からの基
    準クロックの遅れ時間に相当する値を検出する遅れ時間
    検出回路と、 前記遅れ時間検出回路で検出された値をもとに、前記基
    準クロックの整数倍となるように補正時間を決定する補
    正時間決定回路と、 前記トリガ信号をトリガとして前記基準クロックを所定
    値までカウントするカウンタ回路と、 前記補正時間決定回路からの補正時間に関する信号を用
    いて、前記カウンタ回路からの出力信号に対して、該補
    正時間分の遅延を行う遅延補正回路とを備えたことを特
    徴とする電気光学サンプリングオシロスコープ。
  2. 【請求項2】 前記遅れ時間検出回路は、 前記トリガ信号をトリガとしてランプ波形を出力するラ
    ンプ回路と、 前記トリガ信号直後に入力される前記基準クロックをト
    リガとして、前記ランプ回路からの出力をアナログ・デ
    ジタル変化するA/D変換回路とから構成され、 前記補正時間決定回路は、 前記基準クロックの周期の整数倍に相当する値から前記
    A/D変換回路からの出力値を減算する演算回路と、 前記演算回路からの値をデジタル・アナログ変換するD
    /A変換回路とから構成されることを特徴とする請求項
    1に記載の電気光学サンプリングオシロスコープ。
  3. 【請求項3】 前記遅れ時間検出回路は、 前記トリガ信号をトリガとしてランプ波形を出力するラ
    ンプ回路と、 前記トリガ信号直後に入力される前記基準クロックをト
    リガとして、前記ランプ回路からの出力をホールドする
    サンプルホールド回路とから構成され、 前記補正時間決定回路は、 前記基準クロックの周期の整数倍に相当する信号と前記
    サンプルホール回路からの出力信号とを減算する減算回
    路であることを特徴とする請求項1に記載の電気光学サ
    ンプリングオシロスコープ。
  4. 【請求項4】 被測定信号の波形観測位置に応じてトリ
    ガ信号を遅延させる遅延回路からの信号に基づき生成さ
    れる光パルスを利用して、該被測定信号の測定を行う電
    気光学サンプリングオシロスコープであって、 前記遅延回路は、 前記トリガ信号をトリガとしてランプ波形を出力するラ
    ンプ回路と、前記トリガ信号直後に入力される基準クロ
    ック発生回路からの基準クロックをトリガとして、前記
    ランプ回路からの出力をアナログ・デジタル変化するA
    /D変換回路とからなる遅れ時間検出回路と、 前記基準クロックの周期の整数倍に相当する値から前記
    遅れ時間検出回路からの出力値を減算して、設定された
    微調整値を加算する演算回路と、前記演算回路からの値
    をデジタル・アナログ変換するD/A変換回路とからな
    る補正時間決定回路と、 前記トリガ信号をトリガとして前記基準クロックを所定
    値までカウントするカウンタ回路と、 前記補正時間決定回路からの信号を用いて、前記カウン
    タ回路からの出力信号に対して、前記補正時間決定回路
    からの信号により遅延を行う遅延補正回路とを備えたこ
    とを特徴とする電気光学サンプリングオシロスコープ。
  5. 【請求項5】 被測定信号の波形観測位置に応じてトリ
    ガ信号を遅延させる遅延回路からの信号に基づき生成さ
    れる光パルスを利用して、該被測定信号の測定を行う電
    気光学サンプリングオシロスコープであって、 前記遅延回路は、 前記トリガ信号をトリガとしてランプ波形を出力するラ
    ンプ回路と、前記トリガ信号直後に入力される基準クロ
    ック発生回路からの基準クロックをトリガとして、前記
    ランプ回路からの出力をホールドするサンプルホールド
    回路とからなる遅れ時間検出回路と、 前記基準クロックの周期の整数倍に相当する信号と前記
    サンプルホール回路からの出力信号とを減算し、設定さ
    れた微調整値に関する信号を加算する補正時間決定回路
    と、 前記トリガ信号をトリガとして前記基準クロックを所定
    値までカウントするカウンタ回路と、 前記補正時間決定回路からの信号を用いて、前記カウン
    タ回路からの出力信号に対して、前記補正時間決定回路
    からの信号により遅延を行う遅延補正回路とを備えたこ
    とを特徴とする電気光学サンプリングオシロスコープ。
  6. 【請求項6】 前記遅延補正回路は、 前記カウンタ回路からの出力信号をトリガとしてランプ
    波形を出力するランプ回路と、 前記ランプ回路からの出力と前記補正時間決定回路から
    の出力の比較を行う比較回路とから構成されることを特
    徴とする請求項1、請求項4、請求項5のいずれかにに
    記載の電気光学サンプリングオシロスコープ。
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