JPH11213896A

JPH11213896A - 面放電型プラズマディスプレイパネル及びその製造方法、並びに面放電型プラズマディスプレイ装置

Info

Publication number: JPH11213896A
Application number: JP10014380A
Authority: JP
Inventors: Ko Sano; 耕佐野; Kanzou Yoshikawa; 皖造吉川; Takeo Nishikatsu; 健夫西勝; Takao Yasue; 孝夫安江; Toyohiro Uchiumi; 豊博内海
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1998-01-27
Filing date: 1998-01-27
Publication date: 1999-08-06
Anticipated expiration: 2018-01-27
Also published as: JP3705914B2; US20010019318A1; US6638129B2; US6683589B2; US6249264B1; US20010026255A1

Abstract

(57)【要約】【課題】面放電型ＰＤＰにおいて、紫外線の自己吸収
と放射との繰返しによる紫外線の損失の低減化と、隣り
合う表示ラインへの発光の漏れ及び放電もれの防止とを
図る。【解決手段】表示電極ＸＥ，ＹＥが延在する第１方向
Ｄ１に平行に、第２基板２１上に、第１隔壁２９と同一
高さ、同一材質の第２隔壁５０を設ける。しかも、蛍光
体２８を、第２隔壁５０の両側面部５０Ｗ３，５０Ｗ４
上にも付着する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、面放電型プラズ
マディスプレイパネルおよびその製造方法並びに面放電
型プラズマディスプレイ装置に関わるものである。特
に、本発明は、隔壁の構造及びその形成技術に関わる発
明である。

【０００２】

【従来の技術】図６０は、例えば特開平５−３０７９３
５号公報の図１又は米国特許５，６６１，５００号のＦ
ｉｇ．１４に開示されているプラズマディスプレイ装置
を示すブロック図である。同図６０において、参照符号
１００Ｐはプラズマディスプレイ装置、１ＰはＸおよび
Ｙ表示電極（以下、それぞれＸ電極およびＹ電極と称
す）、アドレス電極（以下、Ａ電極と称す）を含むプラ
ズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと称す）、１１
０Ｐはスキャン制御部、１２０Ｐは入力信号をアナログ
／デジタル変換するためのＡ／Ｄ変換器（以下、Ａ／Ｄ
と称す）、１３０ＰはＡ／Ｄ１２０Ｐの出力を蓄えるフ
レームメモリ、１４１ＰはＰＤＰ１ＰのＸ電極に駆動信
号を与えるためのＸ電極駆動回路、１４２ＰはＰＤＰ１
ＰのＹ電極に駆動信号を与えるためのＹ電極駆動回路、
１４３ＰはＰＤＰ１ＰのＡ電極に駆動信号を与えるため
のＡ電極駆動回路であり、２ＰはＡ／Ｄ１２０Ｐ、フレ
ームメモリ１３０Ｐ、スキャン制御部１１０Ｐ、Ｘ電極
駆動回路１４１Ｐ、Ｙ電極駆動回路１４２ＰおよびＡ電
極駆動回路１４３Ｐよりなる駆動制御部である。

【０００３】また、図６１は、例えば特開平５−２９９
０１９号公報の図３又は米国特許５，６６１，５００号
のＦｉｇ．２に開示されている、従来のＰＤＰ１Ｐの要
部断面構造を示す斜視図である。同図６１において、参
照符号は次の通りである。即ち、２１１は前面基板であ
る第１基板、２１７は以下に述べるＸ電極およびＹ電極
を覆う誘電体層、２１８は誘電体層２１７の表面を覆
う、例えばＭｇＯによって構成される保護層、２２２は
以下に述べる第１方向に直交する第２方向に延在するＡ
電極、２２１は背面基板である第２基板、２２８はＡ電
極２２２を被覆し、且つ以下に述べる隔壁２２９の側壁
に沿って途中で途切れることのないストライプ状に形成
された蛍光体、２２９は第２基板２２１上に第２方向に
平行に離間して設けられた隔壁、２３０は上記蛍光体２
２８で吸収される紫外線を放出するためのＸｅ原子を含
む放電ガス（ペニングガス）が封入された放電空間であ
る。又、２４１はネサ膜などで構成された帯状透明導電
膜であり、Ｘ電極ＸＥＰおよびＹ電極ＹＥＰを構成する
ために、所定の間隔（放電ギャップ）を置いて互いに平
行に第１方向に延在して配置されている。また、２４２
は、帯状透明導電膜２４１の導電性を補うための帯状金
属膜であり、それはＣｒ−Ｃｕ−Ｃｒ、あるいはＣｒ−
Ａｌ−Ｃｒなどの多層膜で構成されている。そして、Ｘ
電極ＸＥＰおよびＹ電極ＹＥＰは、帯状透明導電膜２４
１およびそれに付加的に設けられた帯状金属膜２４２に
よって、それぞれ構成されている。ＥＧＰは１画素であ
り、カラー表示装置の場合には、それぞれレッド色
（Ｒ）、グリーン色（Ｇ）及びブルー色（Ｂ）の各色の
発光を行う３つの単位発光領域ＥＵＰ（図６１中、それ
ぞれ記号ＥＵＰ_R、ＥＵＰ_G、ＥＵＰ_Bとして表わされて
いる）より構成される。ＳＰは表示面である。

【０００４】次に、従来のプラズマディスプレイ装置１
００Ｐの動作について説明する。プラズマディスプレイ
装置１００Ｐは、ＰＤＰ１Ｐと、図示しないフレキシブ
ルプリント配線板を介してＰＤＰ１ＰのＸ，Ｙ，Ａ電極
に電気的に接続された駆動制御部２Ｐとから構成されて
いる。

【０００５】駆動制御部２Ｐ内では、先ず、画像データ
を与える入力信号ＶＩＮＰがＡ／Ｄ１２０Ｐによってア
ナログデジタル変換され、このＡ／Ｄ１２０Ｐから出力
されるデジタルデータはフレームメモリ１３０Ｐに蓄え
られる。その後、スキャン制御部１１０Ｐは、フレーム
メモリ１３０Ｐに蓄えられているデジタル画像信号を呼
び出して、それらの信号に基づいてＸ電極駆動回路１４
１Ｐ、Ｙ電極駆動回路１４２ＰおよびＡ電極駆動回路１
４３Ｐの駆動をそれぞれ制御する各種制御信号を対応す
る回路１４１Ｐ〜１４３Ｐへ出力する。そして、上記制
御信号を受けて、上記駆動回路１４１Ｐ〜１４３Ｐは、
プライシングパルスや書込みパルスや放電維持パルス等
の駆動パルス信号をＰＤＰ１Ｐ上の対応電極へと印加
し、これにより、ＰＤＰ１Ｐは駆動する。

【０００６】ＰＤＰ１Ｐは、一対の表示電極であるＸ電
極ＸＥＰおよびＹ電極ＹＥＰとＡ電極２２２とが各単位
発光領域ＥＵに対応付けられた、３電極構造の面放電型
ＰＤＰであり、Ｘ電極ＸＥＰおよびＹ電極ＹＥＰは共
に、帯状透明導電膜２４１と帯状金属膜２４２とから構
成されており、しかも、表示面ＳＰ側の第１基板２１１
の内面上に配置されている。

【０００７】一方、第２基板２２１上にはストライプ状
の隔壁２２９が設けられており、この隔壁２２９の高さ
ｈによって放電空間２３０の高さは規定される。しか
も、放電空間２３０は、Ｘ電極ＸＥＰおよびＹ電極ＹＥ
Ｐの延長方向、即ち、第１方向に沿って、単位発光領域
ＥＵＰ毎に区画されている。

【０００８】並列された隣合う隔壁２２９、２２９の間
の第２基板２２１の内面上には、銀ペーストのパターン
印刷および焼成によって形成される、所定幅のＡ電極２
２２が配置されており、隔壁２２９の内で保護層２１８
と当接する部分および当該当接部分の近傍とを除いて、
第２基板２２１の内面上を覆い尽くすように、Ｒ，Ｇ，
Ｂ色をそれぞれ発光する蛍光体２２８が設けられてい
る。

【０００９】従って、ＰＤＰ１Ｐでは、隔壁２２９の両
側面およびＡ電極２２２の表面を含めて、放電空間２３
０の第２基板２２１側の内面において、そのほぼ全面に
わたって、連続的なストライプ状の蛍光体２２８が設け
られている。

【００１０】また、表示面ＳＰを形成する第１基板２１
１を通して外部より入射する外部光によって画面のコン
トラストが低下するのを防止するため、第１基板２１１
の内面上に、例えば、黒色顔料を添加した低融点ガラス
を用いた層（ブラックストライプ）を設ける場合もある
（反射型の面放電型ＰＤＰ）。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た先行技術には、次のような幾つかの問題点がある。そ
の問題点の一つを容易に理解可能とするために、先ず、
ここでは、放電と紫外線の伝搬とについての現象論を、
図６２を参照して模式的に説明する。

【００１２】Ｘ電極およびＹ電極の間で放電（特に表示
放電）が発生すると、放電ガスに含まれるＸｅ原子が励
起され、この励起されたＸｅ原子より１４７ｎｍの紫外
線が放射される。この紫外線の放射はＸｅ原子の共鳴準
位から基底レベルに戻る際に起こるもので、その際、
「自己吸収」と呼ばれる現象を伴う。この「自己吸収」
とは、あるＸｅ原子から一旦放射された紫外線が基底準
位にある別のＸｅ原子に吸収されて、この別のＸｅ原子
を励起するという現象である。

【００１３】この励起された別のＸｅ原子もまた、その
基底レベルに戻る際に、同一波長の紫外線を放射する。
従って、自己吸収と紫外線の放射とが繰り返し行われる
ことによって、１４７ｎｍの紫外線は、ランダムな方向
に放電空間中を伝搬、拡散されていくことになる。図６
２は、紫外線の自己吸収の様子を模式的に図示してい
る。

【００１４】上述のように紫外線が放電空間中を伝搬、
拡散するので、Ｘ電極およびＹ電極の間に起こる放電に
よる紫外線の拡がりは、ＸおよびＹ両電極の物理的な幅
よりも広い範囲に及ぶ。ここで、図６３の（ａ）は、上
述した隣り合う隔壁２２９、２２９と蛍光体２２８と保
護膜層２１８とにより囲まれる、第２方向に延在した空
間の上方向に位置する、あるＸおよびＹ両電極ＸＥＰ，
ＹＥＰ間に放電が発生したときの紫外線の拡がりを模式
的に示している。又、図６３（ｂ）は、その際の第１基
板２１１側における輝度を模式的に示している。なお、
図６３（ｂ）の横軸は、放電ギャップ中心（実質的に表
示ラインＤの中心に一致する）からの距離を示す。

【００１５】ＸおよびＹ電極ＸＥＰ，ＹＥＰの間で放電
が起こると、上述の説明のように紫外線が発生し、自己
吸収と紫外線の放射とによる紫外線の伝搬、拡散が起こ
る。この場合、隣接し合う隔壁２２９、２２９は図６１
のように並列しているので、発生する放電は、Ａ電極２
２２に沿う第２方向についてのみ、空間的に規制され
る。従って、図６３（ｂ）に模式的に示すように、輝度
分布は第２方向に延びた状態となる。但し、金属電極２
４２は蛍光体２２８からの発光を透過しないため、金属
電極２４２の直上方向位置には表示光が伝搬してこな
い。従って、観測される輝度分布は、金属電極２４２の
存在位置に対応する所で欠けた状態となる。

【００１６】さらに、放電と発光状態との関係を、各単
位発光領域ＥＵＰと隔壁２２９と蛍光体２２８との配置
関係を模式的に示す平面図である図６４を参照して説明
する。尚、図６４において、Ｒ色、Ｇ色、Ｂ色を発光す
る蛍光体は、各々、符号２２８の後にＲ，Ｇ，Ｂという
記号を付して示されている。

【００１７】上述した図６３（ａ），（ｂ）に示すよう
に、ＸおよびＹ電極ＸＥＰ，ＹＥＰの間で放電が発生す
ると、この放電によって放電ガス中に含まれるＸｅ原子
が励起されて紫外線が放射され、この紫外線は対面する
蛍光体２２８に入射する結果、蛍光体２２８から蛍光
（可視光の発生）が生じる。蛍光体２２８自体は可視光
線に対して殆ど白色であり、つまり、蛍光体２２８は殆
ど可視光線を吸収することはなく、従って、蛍光体２２
８より出射された蛍光は蛍光体２２８の表面で反射する
ようになっている。又、隔壁２２９自体も蛍光を反射し
うる材質から成る。蛍光体２２８は上述のように第２方
向Ｄ２に沿って略Ｕ字型の連続するストライプ状に設け
られており、発生した蛍光は、第１方向Ｄ１に対して
は、隣り合う隔壁２２９、２２９によってその進路が阻
まれる結果、第１方向Ｄ１について隣接する異色の蛍光
を発する単位発光領域ＥＵＰには漏れ込まないが、第２
方向Ｄ２については、白色の略Ｕ字型の連続するストラ
イプ状の蛍光体２２８があるのみなので、蛍光は、蛍光
体２２８表面での反射によって、図６４に示すように、
第２方向Ｄ２について隣接した同色の蛍光を発する単位
発光領域ＥＵＰに漏れ込んでしまう。図６４中、ハッチ
ングされたブロックで囲まれた部分は、各単位発光領域
ＥＵＰで生ずる蛍光が伝搬しうる領域を示している。

【００１８】このように、蛍光の漏れ込みが生ずると、
例えば、本来、白色表示すべき画素に対して隣りの画素
の隣接する単位発光領域ＥＵＰから赤色の光が漏れ込ん
でしまい、本来の白色が赤っぽく染まってしまうという
問題点が生じる。即ち、次のラインの画素における蛍光
が前ラインの画素内に漏れ込むと、当該前ラインの画素
に悪影響を与えてしまうのである。

【００１９】以上のように、従来のプラズマディスプレ
イ装置においては、紫外線の伝搬及び拡散の過程におい
て、次の主たる損失が発生してしまう。

【００２０】問題点１）紫外線の自己吸収と放射とい
う現象が何度も繰り返される間に、励起されたＸｅ原子
が電離（イオン化）してしまうことによる損失が生ず
る。この場合、上記の繰り返し回数が大きいほど損失は
大きくなり、発光効率が低下してしまう。

【００２１】問題点２）紫外線の自己吸収と放射とい
う現象の進行方向が隔壁２２９に沿って延びることにな
るが、その途上において、紫外線が保護層２１８によっ
て吸収されてしまうことによる損失が生ずる。この場
合、上記進行距離が長いほど損失は大きくなり、発光効
率が下がってしまう。

【００２２】以上の問題点１，２）は発光効率という観
点からみた場合の問題点であるが、更に、図６４に関し
て述べた「発光もれ」という観点からみると、次のよう
な問題点をも指摘することができる。

【００２３】問題点３）第２方向Ｄ２に隣接し合う画
素ＥＧ間において、互いに隣り合う各表示ラインにおけ
る発光が、隣りの同色の単位発光領域ＥＵＰにまたがっ
て漏れ込んでしまう。この発光もれは、本来要求される
画素寸法を保つことができなくなるという問題点をもた
らし、隣接する各表示ラインにおける本来の輝度による
画像表現が行えなくなる。特に、発光もれは、通常のカ
ラー表示に用いられる原色の組合せによる色バランスに
影響を与えてしまうので、かかる問題点は深刻である。

【００２４】問題点４）また、画素密度の増大化に対
応すべく高精細なプラズマディスプレイ装置を得ようと
する際には、次の問題点も生ずる。即ち、隣接する画素
間において、各単位発光領域ＥＵＰで生ずる蛍光の伝搬
領域が隣りの画素の単位発光領域ＥＵＰにまたがる態様
で（図６４）、互いに隣り合う表示ラインの配置間隔が
短くなってくると、例えば図６５においてハッチングを
施した円表示で以て模式的に示すように、表示ライン間
における放電漏れ（以下、セル間放電と称す）が発生し
てしまう。これにより、セル間放電が発生したセル間に
おける壁電荷の蓄積状態は、本来の蓄積状態から変化し
てしまうことになり、本来の表示動作が行われなくなる
という問題点が生じる。また、高精細化に伴う放電漏れ
により、時には全く不要な放電が発生したり、あるいは
全く表示放電が発生しなくなったりするという問題点も
生じる。

【００２５】このようなセル間放電による影響は、表示
動作における印加電圧が高くなればなるほど、また、電
極間ピッチを狭くすればするほど、発生し易くなり、Ｐ
ＤＰ１の画素密度を大きくする際の障害となっている。

【００２６】この発明は、プラズマディスプレイ装置に
おける上記のような問題点を解消するためになされたも
のであり、次の諸目的を有する。

【００２７】即ち、本発明の第１の目的は、発光効率の
上昇を図ることにある。

【００２８】更に、第２の目的は、発光もれを低減ない
しは完全に防止して、輝度の向上を図って、本来の色バ
ランスを保てるようにすることにある。

【００２９】更に第３の目的は、表示動作において印加
電圧を大きくすることが可能で、しかも画素密度を高め
ても、セル間放電の発生を低減し又はセル間放電を完全
に不発生として、表示動作の安定化を図ることにある。

【００３０】これらの目的を達成するために、本発明
は、第２基板の新たな構造を提案している。

【００３１】更には、本発明は、そのような諸特性を有
するプラズマディスプレイを製作するための製造方法を
も提案するものである。

【００３２】

【課題を解決するための手段】請求項１にかかる発明
は、第１基板と、前記第１基板と平行に対面し、前記第
１基板との間の空間で以て、放電ガスによって満たされ
る複数の放電空間を形成する第２基板と、前記複数の放
電空間に接するように前記第１基板の前記第２基板との
対向面上に配設されており、前記複数の放電空間の各々
に対応して第１及び第２壁電荷を蓄積しうる、誘電体
と、前記第２基板の前記第１基板との対向面上に互いに
平行に配設されており、可視光領域の光を反射し得ると
共に、それぞれは第１側面部と、前記第１側面部に対向
する第２側面部と、前記第１及び第２側面部に連続する
第１頂上部とを備える複数の第１隔壁と、前記第２基板
の前記対向面上に、前記複数の第１隔壁が配設される方
向と交差する方向に配設された第２隔壁と、前記複数の
第１隔壁の内で互いに隣接する第１隔壁により挟まれた
前記第２基板の前記対向面上と、前記隣接する第１隔壁
の内の一方における前記第１側面部上及び他方における
前記第２側面部上とに付着され、前記第１及び第２壁電
荷間における放電により生ずる紫外線に基づき可視光を
発生する蛍光体とを備えたことを特徴とする。

【００３３】請求項２にかかる発明は、請求項１記載の
面放電型プラズマディスプレイパネルであって、前記第
２隔壁は前記可視光領域の光を反射し得ることを特徴と
する。

【００３４】請求項３にかかる発明は、請求項２記載の
面放電型プラズマディスプレイパネルであって、前記第
２隔壁は、第３側面部と、前記第３側面部に対向する第
４側面部と、前記第３及び第４側面部に連続する第２頂
上部とを備え、前記蛍光体は、更に前記第２隔壁の前記
第３及び第４側面部上にも付着されていることを特徴と
する。

【００３５】請求項４にかかる発明は、請求項３記載の
面放電型プラズマディスプレイパネルであって、前記複
数の第１隔壁における前記第１頂上部の各々は前記誘電
体と当接しており、前記第２基板から前記複数の第１隔
壁における前記第１頂上部に至る第１高さと、前記第２
基板から前記第２隔壁の前記第２頂上部に至る第２高さ
とは、略等しいことを特徴とする。

【００３６】請求項５にかかる発明は、請求項３記載の
面放電型プラズマディスプレイパネルであって、前記複
数の第１隔壁における前記第１頂上部の各々は前記誘電
体と当接しており、前記第２基板から前記第２隔壁にお
ける前記第２頂上部に至る第２高さは、前記第２基板か
ら前記第１隔壁における前記第１頂上部に至る第１高さ
よりも低いことを特徴とする。

【００３７】請求項６にかかる発明は、請求項５記載の
面放電型プラズマディスプレイパネルであって、前記蛍
光体は、更に前記第２隔壁の前記第２頂上部上にも付着
されていることを特徴とする。

【００３８】請求項７にかかる発明は、請求項５記載の
面放電型プラズマディスプレイパネルであって、前記第
２高さは、前記隣接する第１隔壁と、前記第２隔壁の前
記第２頂上部と、前記誘電体とにより規定される気体の
流路に対応する排気コンダクタンスと、前記第１基板か
ら外部へ放射される表示光の輝度との相関関係に基づ
き、設定されていることを特徴とする。

【００３９】請求項８にかかる発明は、請求項７記載の
面放電型プラズマディスプレイパネルであって、前記第
１高さ及び前記第２高さをそれぞれ記号Ｈmain、Ｈsub
と表記し、前記第２隔壁の幅を記号Ｌと表記し、前記流
路に内接する四角形の内で最大面積の四角形に関して、
前記第２頂上部側の第１側辺の長さを記号ｂと表記し、
前記第１側辺に直交する第２側辺の長さを記号ａと表記
すると共に、前記第２側辺長ａを（Ｈmain−Ｈsub）と
して定義し、前記排気コンダクタンスを決定する形状因
子βを、β＝（ａ・ｂ）²／（（ａ＋ｂ）・Ｌ）として
定義すると、前記形状因子βは、１．５Ｅ−４ｍｍ²≦
β＜（Ｈmain・ｂ）²／（（Ｈmain＋ｂ）・Ｌ）で与え
られる関係を満足することを特徴とする。

【００４０】請求項９にかかる発明は、請求項５記載の
面放電型プラズマディスプレイパネルであって、前記第
２高さは、前記複数の放電空間の全てがプライミング放
電を起こし得る最小のプライミング電圧に基づき、設定
されていることを特徴とする。

【００４１】請求項１０にかかる発明は、請求項９記載
の面放電型プラズマディスプレイパネルであって、前記
第１高さ及び前記第２高さをそれぞれ記号Ｈmain、Ｈsu
bと表記し、前記第２隔壁の幅を記号Ｌと表記し、高低
差（Ｈmain−Ｈsub）を記号ａとして表記し、前記任意
の第１隔壁の内の前記一方の前記第１側面部と前記他方
の前記第２側面部との間隔を記号ｂとして表記し、前記
放電ガスの圧力を記号ｐとして表記し、放電形状因子Ｋ
を、Ｋ＝（ａ・ｂ）／（ｐ・Ｌ）として定義すると、前
記放電形状因子Ｋは０．０３μｍ／Ｔｏｒｒ以上である
ことを特徴とする。

【００４２】請求項１１にかかる発明は、請求項３記載
の面放電型プラズマディスプレイパネルであって、その
各々が、前記第１基板の前記対向面上に第１方向に沿っ
て互いに平行に延長形成された第１及び第２表示電極よ
り成り、かつ、各表示ラインを構成する、前記誘電体で
被覆される複数の電極対とを更に備え、前記第２基板
は、その各々が、前記任意の第１隔壁間に位置するよう
に、前記第１方向に直交する第２方向に沿って延長配設
された、複数のアドレス電極を備え、前記複数の放電空
間の各々は、前記複数の電極対の内で対応する一つの電
極対と、前記一つの電極対にあたかも直交するように配
設されている、前記複数のアドレス電極の内で対応する
一つのアドレス電極とによって規定されており、前記第
１及び第２表示電極は共に、帯状透明導電膜と、前記帯
状透明導電膜の前記複数の放電空間との対向面であっ
て、隣の表示ライン側の領域上に設けられた金属電極と
を備えており、前記第２隔壁は前記第１方向に沿って延
長形成されており、前記複数の第１隔壁は前記第２方向
に沿って延長形成されており、前記第２隔壁は、前記第
２基板の前記対向面上における、前記複数の放電空間の
内で前記第２隔壁によって隣りの放電空間と隔離される
放電空間に対応する前記第１表示電極を構成する前記金
属電極と対面する第１領域内に設けられており、かつ、
前記第２隔壁の前記第３側面部が、前記第２基板の前記
対向面上における、前記第１表示電極を構成する前記金
属電極が形成された部分を除く、前記帯状透明導電膜の
部分に対面する第２領域内にあることを特徴とする。

【００４３】請求項１２にかかる発明は、請求項１１記
載の面放電型プラズマディスプレイパネルであって、前
記第２隔壁は、更に、前記第２基板の前記対向面上にお
ける、前記隣りの放電空間に対応する前記第２表示電極
を構成する前記金属電極と対面する第３領域内に設けら
れており、かつ、前記第２隔壁の前記第４側面部が、前
記第２基板の前記対向面上における、前記第２表示電極
を構成する前記金属電極が形成された部分を除く、前記
帯状透明導電膜の部分に対面する第４領域内にあること
を特徴とする。

【００４４】請求項１３にかかる発明は、請求項３記載
の面放電型プラズマディスプレイパネルであって、前記
複数の放電空間の内で、前記隣接する第１隔壁により挟
まれ且つ前記第２隔壁によって互いに隔離される、任意
の放電空間の一方に対応付けられる発光領域を第ｉ番目
の単位発光領域と定義するときに、対向し合う前記第１
及び第２側面部に沿って当該第ｉ番目の単位発光領域か
ら数えて第ｊ番目の放電空間に対応付けられる第ｊ番目
の単位発光領域と、第（ｊ＋１）番目の放電空間に対応
付けられる第（ｊ＋１）番目の単位発光領域との間にお
ける、前記第２隔壁に対して平行に延長形成された他の
第２隔壁を、前記第２基板の前記対向面上に更に備える
ことを特徴とする。

【００４５】請求項１４にかかる発明は、請求項１３記
載の面放電型プラズマディスプレイパネルであって、前
記他の第２隔壁の両側面部上にも、前記蛍光体が更に付
着されていることを特徴とする。

【００４６】請求項１５にかかる発明は、請求項３記載
の面放電型プラズマディスプレイパネルであって、その
各々が、表示ラインを構成するように、前記第１基板の
前記対向面上に第１方向に沿って互いに平行に延長形成
され、前記誘電体によって被覆された第１及び第２表示
電極を含む、複数の電極対とを更に備え、前記第２基板
は、その各々が、前記隣接する第１隔壁間に位置するよ
うに、前記第１方向に直交する第２方向に沿って延長配
設された、複数のアドレス電極を備え、前記複数の放電
空間が、各々、前記複数の電極対と前記複数のアドレス
電極との交差部分によって規定されており、前記第２隔
壁及び前記他の第２隔壁は共に前記第１方向に沿って延
長形成されると共に、前記複数の第１隔壁は前記第２方
向に沿って延長形成されており、前記複数の放電空間の
各々に対応して前記第２隔壁が設けられていることを特
徴とする。

【００４７】請求項１６にかかる発明は、請求項１３記
載の面放電型プラズマディスプレイパネルであって、前
記第２基板は、前記隣接する第１隔壁間に位置するよう
に第２方向に沿って延長配設された複数のアドレス電極
を備えており、前記第ｊ番目の単位発光領域は前記第
（ｉ＋１）番目の単位発光領域に該当し、前記第ｉ目及
び前記第（ｉ＋１）番目の単位発光領域は、（ａ）前記
第ｉ番目の単位発光領域と前記第（ｉ＋１）番目の単位
発光領域との間を跨がるように、前記第ｉ基板の前記対
向面上に前記第２方向と直交する第１方向に沿って延長
形成され且つ前記誘電体で被覆された、前記第ｉ番目及
び第（ｉ＋１）番目の単位発光領域に共通の第１表示電
極と、（ｂ）前記第１表示電極と対を成して一方の表示
ラインを形成し、前記第１基板の前記対向面上に前記第
１方向に沿って、前記第ｉ番目の単位発光領域を横切る
ように延長形成され、且つ前記誘電体で被覆された一方
の第２表示電極と、（ｃ）前記第１表示電極と対を成し
て他方の表示ラインを形成し、前記第１基板の前記対向
面上に前記第１方向に沿って、前記第（ｉ＋１）番目の
単位発光領域を横切るように延長形成され、且つ前記誘
電体で被覆された他方の第２表示電極と、（ｄ）前記複
数のアドレス電極とによって、規定されており、前記第
２隔壁及び前記他の第２隔壁は共に前記第１方向に沿っ
て延長形成されており、前記複数の第１隔壁は前記第２
方向に沿って延長形成されていることを特徴とする。

【００４８】請求項１７にかかる発明は、請求項１６記
載の面放電型プラズマディスプレイパネルであって、前
記第ｉ番目の単位発光領域と前記第（ｉ＋１）番目の単
位発光領域との間に、更に別の第２隔壁が設けられ、前
記別の第２隔壁の両側面部上にも、前記蛍光体が更に付
着されていることを特徴とする。

【００４９】請求項１８にかかる発明は、プラズマディ
スプレイ装置であって、請求項１１又は請求項１２及び
請求項１５ないし請求項１７の何れかに記載の前記面放
電型プラズマディスプレイパネルと、前記第１及び第２
表示電極並びに前記複数のアドレス電極のそれぞれに印
加すべき駆動信号を生成・出力する駆動制御部とを備え
ることを特徴とする。

【００５０】請求項１９にかかる発明は、面放電型プラ
ズマディスプレイパネルの製造方法であって、（ａ）第
１基板との間に、放電ガスで満たされる複数の放電空間
を定める基板であり、且つ、第２方向に沿って延長形成
された複数のアドレス電極を備える第２基板を準備する
工程と、（ｂ）互いに隣り合うもの同士の間に前記複数
のアドレス電極の各々が位置するように、前記第２方向
に互いに平行に第１間隔を隔てて延長形成された複数の
第１隔壁と、前記複数の第１隔壁と直交するように、前
記第２方向に直交する第１方向に沿って互いに平行に第
２間隔を隔てて延長形成された複数の第２隔壁とを、前
記第２基板上に形成する工程と、（ｃ）前記複数の第１
隔壁の内で互いに隣接する第１隔壁により挟まれた前記
第２基板の領域上と、前記隣接する第１隔壁の内の一方
における第１側面部上と、当該第１側面部に対面する他
方における第２側面部上とに、蛍光体を付着させる工程
とを含むことを特徴とする。

【００５１】請求項２０にかかる発明は、請求項１９記
載の面放電型プラズマディスプレイパネルの製造方法で
あって、前記工程（ａ）は、（ａ−１）前記第１及び第
２間隔に基づき定められた網目状パターンを備えるマス
クを生成するための部材を準備する工程を含み、前記工
程（ｂ）は、前記部材より前記マスクを生成し、前記マ
スクに基づき前記複数の第１隔壁と前記複数の第２隔壁
とを同時に形成する工程であることを特徴とする。

【００５２】請求項２１にかかる発明は、請求項２０記
載の面放電型プラズマディスプレイパネルの製造方法で
あって、前記工程（ａ−１）は、（ａ−１−２）ガラス
ペーストを準備する工程と、（ａ−１−３）所定の感光
性フィルムを前記部材として準備する工程とを更に含
み、前記工程（ｂ）は、（ｂ−１）所定の厚みの前記ガ
ラスペーストを前記第２基板上に全面的に形成する工程
と、（ｂ−２）前記ガラスペーストの表面上に前記感光
性フィルムを貼付しリソグラフィ法によって前記網目状
パターンを備える乾燥フィルムレジストを前記マスクと
して形成し、前記乾燥フィルムレジストの網目をなす開
孔部を介して露出する前記ガラスペーストの露出表面よ
り前記ガラスペーストをサンドブラスト法により穿設
し、穿設孔が前記第２基板に達するまで前記サンドブラ
スト法による穿設を続行する工程とを含むことを特徴と
する。

【００５３】請求項２２にかかる発明は、請求項２１記
載の面放電型プラズマディスプレイパネルの製造方法で
あって、前記乾燥フィルムレジストは、前記第２方向に
延長形成された、第１マスク幅を有する第１マスク部
と、前記第１マスク部に直交するように前記第１方向に
延長形成された、第２マスク幅を有する第２マスク部と
を備え、（前記第１マスク幅）≧（前記第２マスク幅）
の関係が成立すると共に、前記第１及び前記第２マスク
幅はそれぞれ前記第１及び前記第２間隔に基づき設定さ
れていることを特徴とする。

【００５４】請求項２３にかかる発明は、請求項２０記
載の面放電型プラズマディスプレイパネルの製造方法で
あって、前記工程（ａ）は、（ａ−２）ガラスペースト
を準備する工程と、（ａ−３）所定の厚みの感光性フィ
ルムを前記部材として準備する工程とを更に含み、前記
工程（ｂ）は、（ｂ−１）前記感光性フィルムを前記第
２基板上に全面的に貼付する工程と、（ｂ−２）前記感
光性フィルムの表面上に、前記第１間隔及び前記第２間
隔に基づき定められた前記網目状パターンを有する第１
マスクを配置し、前記第１マスクを介して所定の光を前
記感光性フィルムに照射して前記感光性フィルムを露光
することで、前記網目状パターンを前記感光性フィルム
に転写し、その後、前記感光性フィルムを現像する工程
と、（ｂ−３）転写後の前記感光性フィルムを前記マス
クとして前記ガラスペーストを前記第２基板上に塗布し
て前記ガラスペーストを乾燥させ、その後、前記感光性
フィルムを剥離する工程とを含むことを特徴とする。

【００５５】請求項２４にかかる発明は、請求項２０記
載の面放電型プラズマディスプレイパネルの製造方法で
あって、前記工程（ａ−１）は、それぞれが前記第１及
び第２間隔に対応したマスク幅を有する第１マスクと、
前記第１方向に延びており、前記第１間隔の幅を有する
複数の開孔が前記第１隔壁の幅に相当する間隔で以て配
列された第２マスクとを準備する工程を備え、前記工程
（ａ）は、（ａ−２）ガラスペーストを準備する工程
と、（ａ−３）第１厚みの第１感光性フィルムと第２厚
みの第２感光性フィルムとを前記部材として準備する工
程とを更に含み、前記工程（ｂ）は、（ｂ−１）前記第
１感光性フィルムを前記第２基板上に全面的に貼付する
工程と、（ｂ−２）前記第１感光性フィルムの表面上に
前記第１マスクを配置し、前記第１マスクを介して所定
の光を前記第１感光性フィルムに照射して前記第１感光
性フィルムを露光することで、前記網目状パターンに相
当する前記第１マスクのパターンを前記第１感光性フィ
ルムに転写し、その後、前記第１感光性フィルムを現像
する工程と、（ｂ−３）現像後の前記第１感光性フィル
ムの表面上に前記第２感光性フィルムを貼付する工程
と、（ｂ−４）前記第２感光性フィルムの表面上に前記
第２マスクを配置し、前記第２マスクを介して前記所定
の光を前記第２感光性フィルムに照射して前記第２感光
性フィルムを露光することで、前記第２マスクのパター
ンを前記第２感光性フィルムに転写し、その後、前記第
２感光性フィルムを現像する工程と、（ｂ−５）前記工
程（ｂ−４）後に残留する前記第１及び第２感光性フィ
ルムを前記マスクとして前記ガラスペーストを前記第２
基板上に塗布して前記ガラスペーストを乾燥させ、その
後、前記第１及び第２感光性フィルムを剥離する工程と
を含み、前記第１厚みと前記第２厚みとの和は前記第１
隔壁の前記第２基板からの高さに相当することを特徴と
する。

【００５６】

【発明の実施の形態】以下、本発明にかかわる面放電型
プラズマディスプレイ装置およびプラズマディスプレイ
パネルおよびその製造方法を、その実施の一形態を示す
図面に基づき具体的に説明する。なお、各図において、
同一符号は従来のものと同一または相当のものを示す。

【００５７】（実施の形態１〜３に共通の部分）図１
は、本発明に係わるプラズマディスプレイ装置１００の
全体構成を示すブロック図である。同図１に示すとお
り、本装置１００は、プラズマディスプレイパネル（以
下、ＰＤＰと称す）１と、プライミングパルスや書込み
パルスや維持パルス等の各駆動信号をＰＤＰ１に対して
印加する駆動制御部２とに大別される。そして、駆動制
御部２は、Ａ／Ｄ１２０、フレームメモリ１３０、スキ
ャン制御部１１０、Ｘ電極駆動回路１４１、Ｙ電極駆動
回路１４２およびＡ電極駆動回路１４３よりなる。

【００５８】又、ＰＤＰ１は、後述するように、第１基
板側に設けられる第１表示電極ないしは第１電極たるＸ
電極と、第２表示電極ないしは第２電極たるＹ電極と、
上記第１基板と対向する第２基板側に一対のＸ，Ｙ電極
に対して直交関係を保って交差するように配設された第
３電極ないしはアドレス電極たるＡ電極とを含む、ＡＣ
３電極面放電型のパネルである。

【００５９】プラズマディスプレイ装置１００の動作に
ついて説明する。プラズマディスプレイ装置１００は、
ＰＤＰ１と、図示しないフレキシブルプリント配線板を
介してＰＤＰ１のＸ，Ｙ，Ａ電極に電気的に接続された
駆動制御部２とから構成されている。

【００６０】駆動制御部２内では、先ず、画像データを
与える入力信号ＶＩＮがＡ／Ｄ１２０によってアナログ
デジタル変換され、このＡ／Ｄ１２０から出力されるデ
ジタルデータはフレームメモリ１３０に蓄えられる。そ
の後、スキャン制御部１１０は、フレームメモリ１３０
に蓄えられているデジタル画像信号を呼び出し、それら
の信号に基づいて、Ｘ電極駆動回路１４１、Ｙ電極駆動
回路１４２およびＡ電極駆動回路１４３の駆動をそれぞ
れ制御する各種制御信号を、対応する、それぞれの駆動
回路１４１〜１４３へ出力する。そして、上記制御信号
を受けて、上記駆動回路１４１〜１４３は、図３（ａ）
〜図３（ｅ）に示すような、プライミングパルス１２１
や書込みパルス１２２やアドレスパルス１２４や放電維
持パルス１２３−１，１２３−２等の駆動パルス信号を
ＰＤＰ１の対応電極へと印加し、これにより、ＰＤＰ１
を駆動する。

【００６１】今、図１中のＡ電極線Ａ１〜Ａ３を、各
々、レッド色（Ｒ色と称す）、グリーン色（Ｇ色と称
す）及びブルー色（Ｂ色と称す）の蛍光を発光する各蛍
光体の直下に配設されたものとすると、Ａ電極線Ａ１〜
Ａ３の一つがそれぞれＸ電極線及びＹ電極線と交差する
２点で以て規定される部分が後述する「単位発光領域」
をなし、破線で囲まれた領域ＥＧが一画素を与える。

【００６２】ＰＤＰ１におけるＸ，Ｙ，Ａ電極線の配線
構成を模式的に示せば、図２の平面図のようになる。即
ち、Ｘ電極ないしはＸ電極線ＸＥは全ての単位発光領域
について共通の信号線であり、このＸ電極線ＸＥと各Ｙ
電極ないしは各Ｙ電極線ＹＥ₁〜ＹＥ_nとは、複数の電極
対を構成し、Ｘ電極線ＸＥとＹ電極線ＹＥ_i（i＝１〜
ｎ）とから成る各電極対が各Ａ電極線Ａ_j（j＝１〜ｍ）
と交差して、（ｍ×ｎ）個の単位発光領域が形成されて
いる。

【００６３】Ｘ電極駆動回路１４１が出力するプライミ
ングパルス１２１、第１維持パルス１２３−１、Ｙ電極
駆動回路１４２が出力する書込みパルス１２２、第２維
持パルス１２３−２およびＡ電極駆動回路１４３が出力
するアドレス信号１２４の各パルス及び信号におけるタ
イミングチャートを、図３（ａ）〜図３（ｅ）に示す。

【００６４】尚、上述した図１〜図３の説明は、実施の
形態１〜３とそれらの変形例に共通している。

【００６５】（実施の形態１）図４は、本実施の形態１
に係わるプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）１Ａの
要部断面構造を示す斜視図であり、図１に示す任意の１
画素ＥＧにあたる部分を抽出して描いたものである。

【００６６】図４において、各参照符号は次のものを示
す。即ち、１１は、例えば透明なガラスよりなる、前面
基板である第１基板であり、１７は透明な誘電体層であ
り、１８は例えばＭｇＯなどから成る保護層であり、こ
れらの部材１１，１７，１８と後述するＸ電極ＸＥ，Ｙ
電極ＹＥによって、いわゆる「前面パネル」が構成され
る。又、２１は背面基板である第２基板、２２は、銀ペ
ーストのパターン印刷及び焼成によって形成される、所
定幅を有するアドレス電極（Ａ電極）であり、これらの
部材２１，２２と、後述する各部２９，５０，２８によ
って、いわゆる「背面パネル」が構成されている。そし
て、前面パネルの外周部と背面パネルの外周部とが貼り
合わされ、その後、封止されることにより、ＰＤＰ１Ａ
が形成される。

【００６７】尚、以下の説明においては、原則として、
誘電体層１７と保護層１８とを併せて、単に「誘電体」
と称す（この呼称は後述する各実施の形態２〜３とそれ
らの変形例についても原則として援用される）。

【００６８】２８Ｒは、Ｘｅ原子が発する所定波長の紫
外線を吸収して赤色（Ｒ）の蛍光（所定波長の可視光）
を発する蛍光体、２８Ｇは緑色（Ｇ）の蛍光を発する蛍
光体、２８Ｂは青色（Ｂ）の蛍光を発する蛍光体であ
り、蛍光体２８Ｒ、蛍光体２８Ｇおよび蛍光体２８Ｂを
総称して蛍光体２８と称す。

【００６９】２９は可視光を反射しうる材質から成るス
トライプ形状の第１隔壁、３０はペニングガス等の、Ｘ
ｅ原子を含む放電ガスで満たされた放電空間、４１はネ
サ膜等で構成される帯状透明導電膜（以下、透明電極と
称す）、４２はＣｒ−Ｃｕ−Ｃｒ又はＣｒ−Ａｌ−Ｃｒ
等の多層膜から成る帯状金属膜（以下、金属電極と称
す）、ＥＧは１画素である。画素ＥＧは、赤（Ｒ）、緑
（Ｇ）および青（Ｂ）の各色をそれぞれ発光する３つの
単位発光領域ＥＵ_R，ＥＵ_G，ＥＵ_B（これらを総称して
単位発光領域ＥＵと称する）より構成される。

【００７０】Ｓは第１基板１１の外面（第２主面）の一
部をなす表示面、ＸＥおよびＹＥは、第１基板１１の内
面（第１主面）上に互いに平行に所定の間隔を有して配
置された、第１方向Ｄ１に延在するＸ電極およびＹ電極
であり、このＸ電極ＸＥおよびＹ電極ＹＥは、共に、透
明電極４１（主電極）およびその抵抗軽減化のための金
属電極４２（副電極）より構成される。５０は、第１方
向に延在して第１隔壁２９と交差する第２隔壁であり、
第１隔壁２９と同一材料（例えば、ガラスペーストを母
材とする）から成り、この実施の形態における特徴部分
である。

【００７１】尚、ＰＤＰ１Ａの各電極ＸＥ，ＹＥ，２２
とその駆動制御部２の対応部分の出力端とは、図示しな
いフレキシブルプリント配線板で以て互いに電気的に接
続されている。

【００７２】以下では、ＰＤＰ１Ａのパネル構造と放電
の状態とについて、より詳細に述べる。尚、ＰＤＰ１Ａ
の駆動のための回路構成と駆動方法とについては、既述
したとおりである。

【００７３】先ず、ＰＤＰ１Ａの第１基板１１の内面な
いし対向面上には、表示ライン数ｎ（図２参照）にあた
る数、即ちｎ個の電極対ＥＰが、各表示ライン間隔に応
じて所定の間隔を保って、第１方向Ｄ１に延長形成され
ている。ここで、各電極対ＥＰは、互いに平行に第１方
向Ｄ１に沿って配設された第１，第２表示電極たるＸ電
極ＸＥおよびＹ電極ＹＥとから構成される。そして、Ｘ
電極ＸＥおよびＹ電極ＹＥは、既述したように、共に、
透明電極４１と金属電極４２とから構成され、表示面Ｓ
側の第１基板１１の内面上に配置されている。

【００７４】更に、Ｘ電極ＸＥおよびＹ電極ＹＥを被覆
するように、第１基板１１の内面上に透明な誘電体層１
７が形成され、この誘電体層１７の表面上には、保護層
１８が全面的に形成されている。この保護層１８は、
放電の際に発生するイオンの衝突に起因する誘電体層１
７の劣化を防止し、放電の際の電子放射を円滑に行な
わせて放電を安定化すると共に、放電空間３０との界
面をなす、その表面内に、互いに極性が異なる第１壁電
荷と第２壁電荷（これらを壁電荷と総称する）とを蓄積
するという機能を担う。

【００７５】一方、第２基板２１の内面（第１主面ない
し対向面）上には、互いに所定の間隔を以て第２方向Ｄ
２に並列配置されたｍ個（図２参照）のＡ電極２２が形
成されている。従って、上記した一対のＸ及びＹ電極Ｘ
Ｅ，ＹＥと、これらの電極ＸＥ，ＹＥに対して直交関係
を保って交差するように対応付けられる一本のＡ電極２
２とによって、一つの単位発光領域ＥＵは対応ないしは
規定付けられる。

【００７６】更に、第２基板２１の内面上には、各Ａ電
極２２を挟み込むように、第１方向Ｄ１に直交する第２
方向Ｄ２に沿って延び、且つ、その頂上部（第１頂上
部）２９Ｔが保護層１８の上記表面の一部分に当接す
る、互いに並列配置された（ｍ＋１）個のストライプ状
の第１隔壁２９が形成されている。更に、第２基板２１
の内面において第１隔壁２９が形成されている部分以外
の部分上には、各Ａ電極２２をまたがって乗り越すよう
に、第１方向Ｄ１に平行な方向に延びた、互いに並列配
置された、（ｎ＋１）個のストライプ状の第２隔壁５０
が形成されている。この第２隔壁５０の頂上部（第２頂
上部）５０Ｔは、保護層１８の表面と当接している。即
ち、第２基板２１の内面からの第２頂上部５０Ｔの高さ
ｈが第１隔壁２９の第１頂上部２９Ｔの高さＨとほぼ同
一となるように（ｈ≒Ｈ）、あるいは、第１隔壁２９の
第１頂上部２９Ｔを含む仮想的な平面と、第２隔壁５０
の第２頂上部５０Ｔを含む仮想的な平面とが略一致する
ように、第１及び第２隔壁２９、５０は互いに交差して
形成されている。

【００７７】なお、基本的に各放電空間３０は、図４に
示すように、ほぼ、互いに隣り合う両第１隔壁２９、２
９の対峙する第１及び第２側面部２９Ｗ１、２９Ｗ２、
隣り合う両第２隔壁５０、５０の対向し合う第３及び第
４側面部５０Ｗ３、５０Ｗ４、第１基板１１の内面にお
いて隣り合う上記第１隔壁２９，２９で挟まれた部分お
よび第２基板２１の内面において隣り合う上記第１隔壁
２９，２９で挟まれた部分の、それぞれによって規定さ
れる。従って、この場合には、放電空間３０は略直方体
状の空間となる。

【００７８】また、各単位発光領域ＥＵは、隣接し合う
両第１隔壁２９、２９の各対向し合う第１、第２側面部
２９Ｗ１、２９Ｗ２と、隣接し合う両第２隔壁５０、５
０の各対向する第３、第４側面部５０Ｗ３、５０Ｗ４と
によって規定される長方形の大きさに、ほぼ一致して区
画される。

【００７９】並列された隣り合う第１隔壁２９、２９で
挟まれた第２基板２１の内面上には、銀ペーストのパタ
ーン印刷と焼成とによって形成された所定幅のＡ電極２
２が配置されており、隣り合う第１隔壁２９、２９およ
び隣り合う第２隔壁５０、５０の各頂上部２９Ｔ、５０
Ｔおよびその近傍を除いて、隣り合う第１隔壁２９、２
９の各対向する第１、第２側面部２９Ｗ１、２９Ｗ２、
隣り合う第２隔壁５０、５０の各対向する第３、第４側
面部５０Ｗ３、５０Ｗ４、隣り合う第１隔壁２９、２９
で挟まれた第２基板２１の内面およびＡ電極２２を全て
覆い尽くすように、略枡形（箱形）状の蛍光体２８が設
けられている。すなわち、各単位発光領域ＥＵの放電空
間３０において発生した放電を包み込むように、蛍光体
２８が設けられている。

【００８０】図５及び図６は、図４の第１基板１１又は
図６１の第１基板２１１の上面から、即ち、表示面Ｓ
（ＳＰ）側から放電空間を眺めたときの要部を模式的に
示す透視図である。この内、図５は、本実施の形態にお
ける、単位発光領域ＥＵ、Ｘ電極ＸＥ、Ｙ電極ＹＥ、第
１隔壁２９および第２隔壁５０の配置関係の概略を示
し、図６は、例えば図６１に示した従来の装置におけ
る、単位発光領域ＥＵＰ、Ｘ電極ＸＥＰ、Ｙ電極ＹＥＰ
および隔壁２２９の配置関係の概略を示している。な
お、図５，６においては、第１隔壁２９、隔壁２２９ま
たは第２隔壁５０を、斜めの細かいハッチングで概略的
に表している。参照符号Ｄは表示ラインの中心である。

【００８１】また、第２隔壁５０は、第１隔壁２９と同
様に、白色顔料を混入した低融点ガラスによって形成さ
れるものであり、個々の第２隔壁５０の対向する第３、
第４側面部５０Ｗ３、５０Ｗ４上には、蛍光体２８が付
着している。そして、図６に示す従来の装置では、第２
方向Ｄ２に隣接し合う単位発光領域ＥＵ同士が、隔壁に
よって隔離されていないため、放電空間２３０が第２方
向Ｄ２に連続して形成されている。しかし、本実施の形
態においては、同じく蛍光体２８が付着された第２隔壁
５０によって、図５に示すように、放電空間３０が第２
方向Ｄ２に実質的に断続して存在している。

【００８２】本実施の形態のＰＤＰ１Ａはこのような構
成を有するので、次のような諸々の利点が得られる。そ
れらの利点を、図７に示した模式図を用いて説明する。
同図７は、図４に示す断線Ｉ１−Ｉ２に沿ったＰＤＰ１
Ａの縦断面図であり、ＰＤＰ１Ａの要部断面構造を示す
と共に、紫外線の自己吸収と放射の様子とを模式的に示
している。同図７の例示から理解されるように、各放電
空間３０は殆ど完全な閉空間である。

【００８３】３電極面放電型ＰＤＰの長所である、
イオン衝撃（ｉｏｎｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ）による
蛍光体２８の劣化防止効果を発揮させることができると
共に、放電の繰り返し回数が増えることによって紫外線の
強度損失がより大きくなる前に、または、紫外線の伝
搬、拡散の進行距離が長くなって紫外線の強度損失がよ
り大きくなる前に、隣り合う第１隔壁２９、２９の各対
向する第１、第２側面部２９Ｗ１、２９Ｗ２に付着する
蛍光体２８及び、隣り合う第２隔壁５０、５０の各対向
する第３、第４側面部５０Ｗ３、５０Ｗ４に付着する蛍
光体２８に、特に後者の蛍光体２８に、紫外線を照射す
ることが可能となる。このため、蛍光体２８に吸収され
る紫外線の照射量が急増することとなり、紫外線の損失
が大きくなる前に蛍光体２８への紫外線入射量を増加さ
せることが可能となり、紫外線から可視光に変換する際
の発光効率が確実に改善され、表示光の輝度の向上が図
れる（既述の問題点１）の克服）。

【００８４】併せて、従来装置のような連続的にス
トライプ状に蛍光体が形成される場合には無い効果が得
られる。即ち、本ＰＤＰ１Ａでは、蛍光体２８より発生
した蛍光が、(イ)可視光にとって白色である、つまり可
視光を吸収しない蛍光体２８の表層において反射される
と共に、(ロ)実質的に枡形（箱形）状として形成された
隔壁（それは白色のような明色を帯びる）の表面により
反射される、すなわち、隣り合う第１隔壁２９、２９の
第１、第２側面部２９Ｗ１、２９Ｗ２での反射に加え
て、隣り合う第２隔壁５０、５０の各対面する第３、第
４側面部５０Ｗ１、５０Ｗ２の表面においても反射が起
こることになり、発生した蛍光の当該単位表示領域ＥＵ
外への漏れだしを完全に防ぐことができる。従って、蛍
光の漏れ出しによる色バランスへの影響を効果的に抑
え、色にじみの殆ど無い、くっきりとした画像が得ら
れ、画質を向上させることもできる（既述の問題点２）
の克服）。

【００８５】尚、上述した構成を採用することで、発明
者らは、第２隔壁が存在せずストライプ状の蛍光体を有
する図６１に示したような従来構造のものと比較して、
５％〜２０％程度の輝度の向上を図ることが可能である
ことを、見い出している。

【００８６】また、第１隔壁２９と同一高さ・同一
材質の第２隔壁５０を設けることによって、第２方向Ｄ
２に互いに隣接する画素同士における、互いに隣り合う
表示ライン間に発生していたセル間放電を完全に防止す
ることもできる（既述の問題点３）の克服）。

【００８７】すなわち、面放電型のプラズマディスプレ
イ装置においては、第１基板１１上に配置されたＸ電極
ＸＥおよびＹ電極ＹＥの間で放電が起こるのであるが、
この放電形態は第１基板１１の内面に沿って生じる放電
であるため、印加電圧を比較的高くしたり、又は電極間
ピッチを比較的狭くしたりする場合に生じる、セル間放
電を、上記の第２隔壁５０の存在によって確実に抑える
ことができる。

【００８８】すなわち、第２隔壁５０を第２方向Ｄ２に
並ぶ隣り合う画素ＥＧ、ＥＧ間に存在させて両画素Ｅ
Ｇ，ＥＧを物理的に完全に隔離することによって、第２
方向Ｄ２に進行する励起された、原子あるいは分子を、
第２隔壁５０の第３、第４側面部５０Ｗ３、５０Ｗ４に
衝突させて基底状態に戻すことが可能となる。これによ
り、エネルギの損失が起こり、励起された原子等が隣り
の画素ＥＧの領域にまで侵入して放電漏れを発生させる
のを完全に防止することができる。このように、第２隔
壁５０を設けるという発想は、結果的に放電電流が流れ
にくくなることを逆に積極的に利用するものである。

【００８９】さらに、第２隔壁５０によってセル間放電
を確実に抑えることができることによって、印加電圧を
高くすることができるため、表示のための放電をより確
実に発生させることができると共に、電極間ピッチを狭
くすることができるため、画素密度を向上させた高精細
のプラズマディスプレイ装置を得ることができる。

【００９０】（実施の形態２）上述の実施の形態１にか
かるＰＤＰ１Ａにおいては、第２隔壁５０の高さｈを第
１隔壁２９の高さＨとほとんど同程度か同等のものにし
て、１）紫外線の損失、２）発光もれ及び３）放電もれ
をほぼ完全に又は完全に抑えるように構成している。

【００９１】しかし、各単位発光領域ＥＵの周囲ないし
はその放電空間が、隣り合う第１隔壁２９、２９の第
１、第２側面部２９Ｗ１、２９Ｗ２および隣り合う第２
隔壁５０、５０の第３、第４側面部５０Ｗ３、５０Ｗ４
によって完全に囲まれてしまうため、プラズマディスプ
レイパネルの製造の際に排気及び放電ガスの封入を実行
することが困難になってしまう場合が生じうる。

【００９２】すなわち、パネルを製造する際には、互い
に貼り合わされた第１基板１１および第２基板２１の間
の各放電空間３０を、一旦排気する工程（以下、排気工
程と称す）と、その後、放電ガスを封入する工程（以
下、封入工程と称す）とが必要となる。この排気工程に
おける排気抵抗が高いと排気が不十分となり、続く封入
工程において不純ガスの存在を許すことになってしま
い、信頼性が低くなってしまうという問題を引き起こす
ことになる。

【００９３】そこで、第１、第２隔壁２９、５０によっ
て互いに仕切られた、隣り合った両放電空間３０、３０
の一方から他方へと気体が流れ込みうるだけのスペース
ないしは流路を設けることが必要となる。この場合、両
隔壁２９、５０の一方の高さを他方の高さよりも小さく
すれば、上記の流路を確保することが出きそうである。
しかし、第１隔壁２９の高さＨを第２隔壁の高さｈより
も小さくすることは、一方の単位発光領域で生じた励起
原子等や蛍光や紫外線が第１方向Ｄ１に隣り合った異色
の単位発光領域側へと伝播してしまうという問題点を惹
起するため、この解決策を採用することは好ましくな
い。従って、第２隔壁５０の高さｈを第１隔壁２９の高
さＨよりも小さくすることにより（ｈ＜Ｈ）、流路を確
保するという着想が浮上してくる。

【００９４】しかしながら、第２方向Ｄ２に対して流路
を設定すると、なる程、そのことにより排気・封止工程
で生ずる当該問題点を解決することはできるけれども、
実施の形態１において提案された第２隔壁５０を設ける
という発想の意義ないしは効果が損なわれてしまうとい
うジレンマに行き当たってしまう。従って、この、
（Ａ）既述した問題点１）〜３）の克服と、（Ｂ）良好
な排気・封止の実現という、互いにトレードオフの関係
にある、大別して２つの問題点ないしは目的を同時に満
足させることが必須となるのである。

【００９５】それでは、両目的（Ａ）、（Ｂ）の調和点
として、第２方向Ｄ２に沿う流路の排気コンダクタンス
をいかに設定し、かつ、いかなる範囲でコントロールす
るべきであろうか。その答は、直ちに一義的に導出され
るものではなく、深い考察が必要となる。

【００９６】（Ｃ）更に、製造時の観点からのみなら
ず、ＰＤＰ１Ａの駆動時においても、特にプライミング
放電の面からみて、実施の形態１のＰＤＰ１Ａには新た
なる問題点が生じている。この点を、以下に詳述する。

【００９７】一般に、ＡＣ型ＰＤＰの駆動サイクルは、
消去動作−書き込み動作−維持動作より構成される。こ
の駆動サイクルの消去動作には、プライミング放電動作
（パネル全面にわたって各放電空間に同時に放電を行う
動作）が含まれている。

【００９８】このプライミング放電を発生させるために
は、維持動作時に印加する、維持電圧よりも大きな電圧
（通常、維持電圧の２倍弱の電圧）を、プライミングパ
ルスとして、１０〜２０μｓｅｃ程度、表示電圧間に印
加する。これにより、プライミング放電（種火放電）が
各放電空間３０毎に同時に発生する。これは、その後の
書き込み動作を確実なものとするためである。

【００９９】例えば、図６１に例示した従来の構成にお
いては、プライミング放電が発生すると、第２方向に、
励起された原子、分子、電子（以下、励起粒子群と称
す）が拡散し、この励起粒子群の拡散がプライミング放
電の伝搬を行いやすくするという役目を担っている。

【０１００】しかしながら、本発明の実施の形態１にお
いては、従来の構成のものより、さらに輝度等を向上さ
せるという目的から、第１隔壁２９に交差する、蛍光体
２８が付着された、第１隔壁２９と同質材料からなり、
かつ同一高さの第２隔壁５０を、第１方向Ｄ１に延在さ
せるという、構造を採用した。これにより、上記の目的
（Ａ）が達成されるが、その反面、上述の励起粒子群の
拡散が、閉じた放電空間３０内に限られてしまうため、
第２方向における励起粒子群の拡散が有していた「プラ
イミング放電の伝搬性を促進する機能」が阻害されてし
まうことになる。

【０１０１】そこで、かかる観点からも、第２隔壁５０
の高さｈを第１隔壁２９の高さＨよりも小さくすること
が必要となってくる。しかし、この場合にも、本目的
（Ｃ）と上記目的（Ａ）とは互いにトレードオフの関係
にあるため、両目的（Ａ），（Ｃ）をいかに調和させる
か、そのための適切な両隔壁２９、５０の高低差の範囲
いかんが問題点として浮上してくるのである。この点の
解答も、直ちに導出しえるものではないことは明らかで
ある。特に、プライミングパルスを発生させる駆動ドラ
イバ、本例では共通電極たるＸ電極ＸＥにプライミング
パルスを印加するＸ電極駆動ドライバ（図１の回路１４
１）の構成をも視野に入れて、考察する必要性がある。
とりあえず、ここでは、プライミング放電という観点か
ら新たな問題点（Ｃ）がＰＤＰ１Ａについて生じてしま
うという点を指摘することに止め、本問題点（Ｃ）の克
服については、上記の問題点（Ａ）と（Ｂ）との調和と
いう先の課題を先に検討した上で、その後に説明するこ
とにする。

【０１０２】この実施の形態２は、実施の形態１のＰＤ
Ｐ１Ａを、その利点を出来る限り発揮させつつ、そこで
生ずる上記の問題点（Ｂ）を克服するという観点から、
改良している。その改良点は、第２隔壁５０の高さを第
１隔壁２９のそれよりも低く形成して、第２方向Ｄ２に
沿って流路を設けるという点にある。この点を、図８の
斜視図に示す。

【０１０３】同図８は、図４と同様に、図１の任意の１
画素ＥＧ分の構成を抽出して描いたものであり、図８中
の符号で図４中の符号と同一のものは、同一のものを示
す。同図８においては、第１隔壁２９の高さを記号Ｈma
inとして表し、第２隔壁５０の高さを記号Ｈsubとして
表している。いずれの高さＨmain、Ｈsubも、第２基板
２１側の蛍光体２８が付着している内面から、当該隔壁
２９、５０の第１、第２頂上部２９Ｔ、５０Ｔまでの距
離で与えられる。

【０１０４】図８に示される流路の断面形状を、図９に
拡大して模式的に示す。ここで、「流路」とは、次の様
に定義される。即ち、互いに隣り合う第１隔壁２９、２
９の対面し合う第１、第２側面部２９Ｗ１、２９Ｗ２の
各一部と、第２隔壁５０の第２頂上部５０Ｔと、上記第
１隔壁２９、２９の両第１頂上部２９Ｔ、２９Ｔと当接
（面接触，線接触を含む）する保護層１８の表面とによ
って規定される空間を、気体の「流路」と呼ぶ。そし
て、この気体の流路と内接する四角形（それは長方形又
は正方形）の内で、面積が最大となる四角形を、図９に
示す流路断面ＦＣＳとして定義する。

【０１０５】このように定義すると、図９に示す流路断
面ＦＣＳは、（後述する、縦寸法ａ）×（横寸法ｂ）で
与えられる面積を有し、流路の奥行きは第２隔壁５０の
幅寸法Ｌで以て与えられる。

【０１０６】ここで、排気のし易さを、上記流路の排気
コンダクタンスＣによって表す。この排気コンダクタン
スＣは、一般的に、以下に示す式、即ち、数１として表
される。

【０１０７】

【数１】

【０１０８】但し、数１では、縦寸法ａを（Ｈmain−Ｈ
sub）として表しているが、同寸法ａは、排気工程およ
び封入工程における気体の流路断面ＦＣＳにおける、第
１基板１１上の保護層１８の表面から第２隔壁５０の上
面までの間隔に当たる。なお、各寸法ａ、ｂ、Ｌの単位
は、それぞれＭＫＳＡ単位系のｍｍで以て表され、従っ
て、形状因子βの単位はｍｍ²で表現される。

【０１０９】上述の排気コンダクタンスＣの値が大きけ
れば大きいほど、排気工程において到達する真空度は高
くなる。逆に排気コンダクタンスＣの値が低ければ低い
ほど、到達する真空度も低くなる。従って、残留する不
純ガスの量を少なくするためには、高い真空度を確保し
なければならない。また同様に、封入工程においても、
排気コンダクタンスＣの値が大きいほど、十分なガス圧
にまで放電ガスを封入することが可能となる。

【０１１０】すなわち、第２隔壁５０の第２高さＨsub
を第１隔壁２９の第１高さＨmainよりも低くすればする
ほど、寸法ａが大きくなるので、形状因子βの値が大き
くなって、排気コンダクタンスＣの値を大きな値にコン
トロールすることができ、排気工程および封入工程が行
い易くなるとともに、不純ガスの残留を抑えて信頼性の
よいＰＤＰ１Ｂを得ることができる。

【０１１１】しかし、既述した通り、高低差（Ｈmain−
Ｈsub）が大きくなる程に、第２隔壁５０の存在によっ
て得られた効果は減少してゆく。従って、第２隔壁５０
を設けたことによるメリットをいかにして有効に残すこ
とができるかが、ここでのポイントである。

【０１１２】そこで、既述した問題点１）〜４）の内で
いずれの問題点を重点的に解決すべきかが、先ず検討さ
れなければならない。この点、問題点１）の起因となっ
ている紫外線の自己吸収と放電との繰り返しは、第１隔
壁２９に比して低い第２隔壁５０の第２頂上部５０Ｔ上
に付着された蛍光体２８によって紫外線の吸収を行わせ
ることにより、実施の形態１の効果の減少を出来る限り
抑えることが可能である。又、問題点２）の起因となっ
ている紫外線の保護層１８による吸収による損失につい
ては、第２隔壁５０の幅寸法Ｌのコントロールによって
や、第２頂上部５０Ｔ上に付着する蛍光体２８による紫
外線の吸収によって、上記の高低差を設けたことに伴う
当該損失の増大化を出来る限り抑制することも可能かと
考えられる。更に、問題点４）の起因となる放電もれに
ついては、第２隔壁５０の幅寸法Ｌを大きくとることに
よって励起原子等と第２隔壁５０との衝突を多発させる
ことで、放電もれ抑圧の効果の減少を出来る限り抑える
ことも可能である。しかし、問題点３）の起因をなす発
光もれについては、実施の形態１では、第２隔壁５０と
そこに付着された蛍光体２８とによって、閉空間とされ
た放電空間３０内へ向けて蛍光を反射させることにより
効果を奏していたため、図８のようにＰＤＰ１Ｂを構成
した場合には、第２隔壁５０と、当該隔壁５０に付着さ
れた蛍光体２８からの蛍光との反射による効果が減少す
る。

【０１１３】従って、先ず第１次的に重視すべきこと
は、高低差（Ｈmain−Ｈsub）をもたせる場合において
も輝度の低下を出来る限り抑止できるようにすることで
ある。そのためには、表示光の輝度と排気コンダクタン
スとの相互関係に着目して、隔壁２９，５０間の高低差
（Ｈmain−Ｈsub）のとりうる範囲を第１次的に決定付
けることが求められる。

【０１１４】そこで、発明者らは、図８の構造を有する
ＰＤＰ１Ｂの寸法を様々に変えて製作した試験品を準備
し、それらの試験品に関する形状因子βの値についての
性質をテストすることにより、種々の検討を重ねた。そ
の結果、形状因子βが１．５×１０^-4（単に１．５Ｅ−
４とも称す）ｍｍ²に等しいか又はそれよりも大きけれ
ば、再現性良く良好な排気および封入状態を確保できる
ため放電状態が安定し、形状因子βを１．５Ｅ−４ｍｍ
²に近づける程に表示光の輝度の減少を出来る限り抑え
ることができる一方、逆に形状因子βがその値よりも小
さな値の場合には、残留する不純ガスの影響が強く現
れ、放電電圧のばらつきや放電不良（放電しない、放電
の持続性がない等）が多く発生してしまうことを、本願
発明者らは見い出した。従って、形状因子βを１．５×
１０^-4ｍｍ²以上に設定すれば、再現性良く良好な排気
および封入状態を確保できる結果、放電状態が安定した
ＰＤＰ１Ｂを得ることができる。

【０１１５】図１０は、以上の結果を与える、実測デー
タから得られる特性曲線を示している。即ち、図１０
は、形状因子βと表示光の輝度（パネル全体の輝度）と
の関係を示す一つの例である。

【０１１６】図１０の横軸は形状因子βの対数値を示し
ており、その縦軸は、第２隔壁５０が存在しない場合の
ＰＤＰ全面の輝度を基準とするＰＤＰ１Ｂの全面につい
ての輝度の大きさ（輝度比）を示している。従って、形
状因子β＝０のときの輝度の値は１となる。

【０１１７】図１０を参照して説明すると、形状因子β
の値が１．５×１０^-4ｍｍ²よりも小さい場合には、上
述したように排気工程および封入工程において適切な排
気および放電ガスの封入が行えないために、放電状態が
悪化してしまう。また、形状因子βの値が極大値を与え
る１．５×１０^-4ｍｍ²よりも大きくなるにつれて、輝
度の大きさが次第に減少する。そして、発明者らは、形
状因子βの値が１．５×１０^-4ｍｍ²の値のときに、輝
度が最大値となることを、検討の結果見い出したのであ
る。

【０１１８】また、図１１，図１２は、セル間放電の発
生を説明するための図である。特に、図１２において
は、横軸をパラメータγで以て表している。このパラメ
ータγは、隔壁高さ比γ＝Ｈsub／Ｈmain（第２隔壁５
０の高さ／第１隔壁２９の高さ）として与えられる。な
お、図１１は、第２隔壁５０がないと仮定したときの特
性曲線を示す。

【０１１９】図１１を参照すると、隣接画素間における
隣り合うＸ電極ＸＥとＹ電極ＹＥとの間の距離（ギャッ
プ）が大きくなるにつれて、セル間放電を発生させると
きの印加電圧が比例的に大きくなる。従って、例えば、
画素密度を増大するときには、Ｘ電極ＸＥとＹ電極ＹＥ
との間の距離（ギャップ）を小さくするにつれて印加電
圧を小さくすれば、セル間放電が発生しにくいＰＤＰを
達成することができると言える。しかしながら、印加電
圧が小さくなると、ＰＤＰ１Ｂを駆動するための電圧マ
ージンを大きくとることができなくなり、多様な駆動を
行うことができなくなってしまい、現実的には、高精細
なプラズマディスプレイ装置を得ることが難しいとも言
える。従って、この方法で以て高精細化要求に対応する
のは、現実的でない。

【０１２０】他方、第２隔壁５０が存在するときの特性
曲線を与える図１２を参照すると、パラメータγが大き
ければ大きいほど（高低差がより小さくなる程）、セル
間放電が発生するまでの印加電圧が大きくなり、実施の
形態１のＰＤＰ１Ａのようにパラメータγが１となると
きは、隣接画素間におけるＸ電極ＸＥとＹ電極ＹＥとが
空間的に殆ど断絶されるため、セル間放電を引き起こす
ときの印加電圧は非常に高いものとなる。すなわち、こ
の場合には、セル間放電が全く生じないことが理解され
る。

【０１２１】従って、上述した排気行程、封入工程を含
むＰＤＰの製作プロセスを用いてＰＤＰ１Ｂを製作する
際には、形状因子βの値として１．５×１０^-4ｍｍ²以
上の値を確保できるように、第２隔壁５０の第２高さＨ
subの値をできるだけ大きく設定すれば、輝度の向上
を図りつつ、印加電圧における電圧マージン（それ
は、セル間放電を発生させてしまうときの印加電圧で以
て限定付けられる）をより十分なレベルにまで確保で
き、併せて、セル間放電も十分に防止可能であるとい
う、ＰＤＰ１Ｂを得ることができる。

【０１２２】これらの点を理解しやすくするためにも、
図１３に模式的な縦断面図を示す。同図１３は、図７と
同様の表現による縦断面図である。

【０１２３】なお、採り得る形状因子βの値の最大値
は、第２高さＨsubが０となる時の値、すなわち、（Ｈmain・ｂ）²／｛（Ｈmain＋ｂ）・Ｌ｝である。従って、適切な形状因子βの値の範囲は、１．５×１０^-4ｍｍ²≦β＜（Ｈmain・ｂ）²／｛（Ｈma
in＋ｂ）・Ｌ｝なる関係を満足する範囲内となる。

【０１２４】もちろん、実施の形態１の説明においても
述べたが、最終的に第１基板１１と第２基板２１とを張
り合わせ、それぞれの基板の周辺部を、低融点ガラス等
で封止することによってパネルが完成されることになる
が、所定の放電ガス圧の雰囲気の中で封止を行うことに
より、上述した構成のプラズマディスプレイパネルＰＤ
Ｐ１Ｂを得るようにしてもよいことは言うまでもない。

【０１２５】以上より、形状因子βが上式の関係を満た
すように高さＨsubを設定した、図８に示すようなＰＤ
Ｐ１Ｂを実現することにより、次の効果が得られる。

【０１２６】(i) 排気コンダクタンスＣを所定の値以
上にすることによって、放電状態を良好とすることがで
き、かつ排気コンダクタンスＣを所定値（１．５Ｅ−４
ｍｍ^-2 ）付近に設定することで、最も高い輝度を得る
ことができる。その他、上記の効果、も得られる。

【０１２７】(ii) 蛍光体２８を形成する場合、通常
は、コスト上の問題から、スクリーン印刷を採用する場
合が多い。このスクリーン印刷を用いて蛍光体ペースト
を塗布する際に、もし第１隔壁２９および第２隔壁５０
の高さが同じだとすると、第２方向Ｄ２に沿って蛍光体
ペーストを塗布していくので、塗布方向に対して第２隔
壁５０の第２頂上部５０Ｔが障害物の如く位置すること
となり、第２頂上部５０Ｔの上に蛍光体ペーストが付着
してしまうことになる。そして、蛍光体ペーストの塗布
完了後に、これを乾燥、焼成すると、第２隔壁５０の第
２頂上部５０Ｔに蛍光体ペーストが載った状態で焼成が
行われることになり、第２隔壁５０の実質的な高さが、
第１隔壁２９（この頂上部２９Ｔ上には蛍光体２８が載
っていない）よりも高くなってしまう。このように第２
隔壁５０の実質的な高さが高くなると、例えば赤色
（Ｒ）の単位発光領域において放電が発生した際に、隣
接の異色の光を発する単位発光領域（緑（Ｇ）や青
（Ｂ））にも放電が及んで（拡がって）しまい、隣接す
る単位発光領域の壁電荷の状態を変化させてしまうこと
（放電の干渉）によって、正常な表示が行えなくなる。

【０１２８】そこで、図８のＰＤＰ１Ｂのように、あら
かじめ第２隔壁５０の高さＨsubを低く形成することに
よって、蛍光体２８を形成する際に生ずる第２隔壁５０
の高さの実質的な上昇分を高低差（Ｈmain−Ｈsub）で
以て吸収してしまうことができ、上述の状況を未然に回
避することができる。

【０１２９】尚、排気コンダクタンスＣを規定する、排
気工程および封入工程における気体の流路断面ＦＣＳの
形状は、図９に例示したものに限定されるものではな
く、様々な形状のものが製作プロセスに応じて形成され
る。その幾つかの例を、形成プロセスごとに、図１４〜
図２０に示す。

【０１３０】イ）図１４は、後述の実施の形態７で説明
する製作プロセスで以て隔壁２９、５０を形成した場合
である。

【０１３１】ロ）図１５は、例えば多数回のスクリーン
印刷を行って形成した場合に、第１隔壁２９の第１頂上
部２９Ｔが逆Ｕ字状に丸くなってしまうときの、流路断
面ＦＣＳの形状例を示す。

【０１３２】ハ）図１６は、多数回のスクリーン印刷を
行って形成した場合に、第１隔壁２９の断面形状がΩ字
状となってしまうときの、流路断面ＦＣＳの形状例を示
す。

【０１３３】ニ）図１７は、例えば後述する実施の形態
６におけるサンドブラスト法で隔壁２９、５０を形成し
た結果、第１隔壁２９の断面が台形状となり、且つ第２
隔壁５０が直線的な第２頂上部５０Ｔを持つに至ったと
きの、流路断面ＦＣＳの一例を示す。

【０１３４】ホ）図１８は、例えば上記ニ）で述べたサ
ンドブラスト法で隔壁２９、５０を形成した結果、第２
隔壁５０が凸状の第２頂上部５０Ｔを持つに至ったとき
の、流路断面ＦＣＳの形状例を示す。

【０１３５】ヘ）図１９は、同じくサンドブラスト法で
隔壁２９、５０を形成したときに、第２隔壁５０の第２
頂上部５０Ｔが波立つときの、流路断面ＦＣＳの形状例
を示す。

【０１３６】ト）図２０は、同じくサンドブラスト法で
隔壁２９、５０を形成したときに、第２隔壁５０の第２
頂上部５０Ｔが凹状となるときの、流路断面ＦＣＳの形
状例を示す。

【０１３７】以上において、イ）〜ヘ）の場合には、流
路断面ＦＣＳの寸法ａは（Ｈmain−Ｈsub）で以て与え
られる（寸法Ｈsubを第２隔壁５０の高さの最大値とす
る）。しかし、ト）の場合には、寸法ａを（Ｈmain−Ｈ
sub）に等しいと定義すると、最大面積を有する内接四
角形の寸法ａとその定義上の値との間には若干の不一致
が生ずるが、この差異は実際的に問題とならない（許容
できる程度）。

【０１３８】上述したイ）〜ト）については、第１隔壁
２９、第２隔壁５０のそれぞれの形態に応じて形成され
る断面形状ＦＣＳが、理想的には長方形または正方形に
よって規定され、より現実的には長方形または正方形の
形状に近似した空間として規定されるので、この点を考
慮して、形状因子βにおける、各寸法ａ，ｂ，Ｌの各値
を定めれば良い。

【０１３９】この場合、上述したイ）〜ト）における排
気コンダクタンスの規定条件を、各図１４〜図２０中、
破線に示すように、気体の流路に内接する、とりうる最
大の長方形または正方形（総称して、四角形と定義す
る）の面積が、１．５×１０^-4ｍｍ2以上であれば、図
１０に関して述べた効果と同質の効果が得られる。

【０１４０】次に、既述した問題点（ｃ）を克服するた
めには、第２隔壁５０の高さＨsubをいかに決定付けれ
ば良いかを、検討する。

【０１４１】特に、第１隔壁２９の第１頂上部２９Ｔ
は、互いに発光色の異なる隣り合う単位発光領域のそれ
ぞれで生じる放電の分離を確実なものとするために、ほ
とんど保護層１８に当接するように構成されており、励
起粒子群が、第１方向Ｄ１に隣接する単位発光領域間で
拡散することは無い。

【０１４２】ここで、各放電空間３０においてガス放電
を発生させるに際して、予めその放電空間３０内に励起
粒子群が存在するときには、ガス放電の生じる確率が大
幅に増大すると共に、短時間にその放電が拡がる。従っ
て、上述のようなブライミング放電を各放電空間３０に
おいて行わせる場合には、第２隔壁５０を第１隔壁２９
よりも低く形成して、第２方向Ｄ２に励起粒子群の拡散
を行わせることが、非常に有効である。

【０１４３】そこで、本実施の形態２に係るＰＤＰ１Ｂ
では、図８に示されているように、第２隔壁５０の高さ
を第１隔壁２９のそれよりも低く形成している。これに
より、第２方向Ｄ２における励起粒子群の拡散を図るこ
とが可能となり、輝度の向上と共に、プライミング放電
を確実に生じさせることができる。

【０１４４】しかし、ここで問題となるのは、両隔壁間
の高低差（Ｈmain−Ｈsub）をいかなる範囲内でコント
ロールすれば良いかである。

【０１４５】この点に関し、発明者らの試験を通じての
検討によれば、第１隔壁２９および第２隔壁５０の双方
を設ける際に、数２で与えられる条件をもって行うこと
が非常に有効であることを見出した。

【０１４６】

【数２】

【０１４７】数２で示されるパラメータＫは、放電発生
の起こり易さを決定する、流路空間形状に依存するパラ
メータである。そこで以下、このパラメータＫを放電形
状因子と称する。

【０１４８】但し、放電形状因子Ｋを表す数２では、簡
単化のために、ａを（Ｈmain−Ｈsub）と定義している
が、ここでは、放電空間３０における第１基板１１上の
保護層１８から第２隔壁５０の上面までの間隔である。
なお、ａ，ｂ，Ｌの単位はそれぞれμｍ、ｐの単位はＴ
ｏｒｒである。従って、放電形状因子Ｋの単位はμｍ／
Ｔｏｒｒで表される。

【０１４９】図２１は、その縦軸にプライミング放電の
ために必要な印加電圧（以下、プライミング電圧と称
す）をとり、その横軸に放電形状因子Ｋをとった場合に
おいて、ＰＤＰ１Ｂの全放電空間に確実なプライミング
放電を起こしうる最小のプライミング電圧が、放電形状
因子Ｋの値によってどのように変化するかを表したもの
である。

【０１５０】図２１を参照して説明すると、放電形状因
子Ｋが０．０３μｍ／Ｔｏｒｒ以上の範囲内では、図６
１に示した従来構造の場合に得られる、通常のプライミ
ング電圧Ｖｐ（通常は、それは維持電圧Ｖｓの２倍以下
で与えられる）程度内に、本装置で必要なプライミング
電圧を設定することができる。しかし、放電形状因子Ｋ
が０．０３μｍ／Ｔｏｒｒよりも小さくなると、本装置
で必要とされるプライミング電圧が急激に上昇する。こ
のように、必要なプライミング電圧が急激に上昇する
と、後述する回路構成上の問題点が生ずると共に、全放
電空間の内の局所的な放電空間に大きな放電電流が流れ
てしまい、放電空間の性能の安定性が図れなくなってし
まうという問題点が生ずる。この点をより詳述すれば、
次の通りである。

【０１５１】放電形状因子Ｋが０．０３μｍ／Ｔｏｒｒ
の状態は、図２１のＶｐ−Ｋ曲線の変曲点にあたり、放
電形状因子Ｋ＝０．０３μｍ／Ｔｏｒｒのときに必要な
プライミング電圧は、通常のプライミング電圧Ｖｓの値
（例えば百数十Ｖ程度）の２倍程度であり、例えば３０
０Ｖ程度の電圧値となる。

【０１５２】ここで、放電形状因子Ｋ＜０．０３μｍ／
Ｔｏｒｒに対応する領域、すなわち、例えば３００Ｖ程
度を越えるようなプライミング電圧が必要である領域に
おける場合には図２１に示されるように、所要とするプ
ライミング電圧の値が増大してしまい、以下のような不
具合点が発生する。

【０１５３】イ）プライミングの効果は、イオンや電
子の拡散の状態に大きく影響を受けるが、プライミング
電圧が高すぎると、i）暗輝度が上昇してしまったり、i
i）パネル中の表示領域外（例えば蛍光体が塗布されて
いない部分）にある電極の延長部分間における放電が発
生しやすく（この場合には、例えばＮｅによるオレンジ
色の発光が生じる）、また、iii）パネルと外部のドラ
イバとを接続するためのフレキシブルプリント配線板
（以下、ＦＰＣと称す）の金属端子を構成する金属原子
が、当該金属端子間の、ＦＰＣの絶縁体中に拡散してし
まい、ＦＰＣの絶縁体が導通性を帯びてしまう（極端な
場合には、その間でショートが発生する）など、ＰＤＰ
の動作安定性や長寿命化に障害をきたす。

【０１５４】ロ）通常のＦＥＴ素子の耐圧は５００Ｖ
程度であるところ、図１の各駆動回路１４１，１４２等
で用いられている、必要なプライミング電圧が３００Ｖ
程度を越えるときには、安全率として、必要な１．５倍
を見込むことが困難になる。その意味で、必要なプライ
ミング電圧が３００Ｖ程度を越えないようにする必要が
ある。

【０１５５】ハ）さらに、図４に示す誘電体層１７の
耐電圧（それは通常５００Ｖ程度）程度に対する安全率
も見込めなくなってしまう。

【０１５６】ニ）耐電圧５００Ｖを越えるようなＦＥ
Ｔ素子は高価であり、そのようなＦＥＴ素子を使用する
ことはコストの上昇を招く。

【０１５７】従って、放電形状因子Ｋ≧０．０３μｍ／
Ｔｏｒｒとすることによって、上述のイ）〜ニ）のよう
な不具合点が発生しない、動作が安定な、耐久性に優れ
るプラズマディスプレイ装置が得られる。

【０１５８】数２において、ａは２００〜３００μｍの
範囲内で、ｂは１０〜５０μｍの範囲内で、ｐは、Ｘｅ
を１〜１５ｍｏｌ％含有するＮｅ−Ｘｅガス（ペニング
ガス）の気圧３００〜６００Ｔｏｒｒ、Ｌは５０〜５０
０μｍの範囲内で、いずれの値の組合せの場合にも、放
電形状因子Ｋ≧０．０３μｍ／Ｔｏｒｒを満足すれば、
プライミング電圧が安定し、輝度の向上と共に、プライ
ミング放電に続く書き込み動作が良好になる。

【０１５９】なお、放電形状因子Ｋの内、ｐを除くａ，
ｂ，Ｌの各値は、第１隔壁２９、第２隔壁５０のそれぞ
れの形態に応じて形成される流路空間の断面形状ＦＣＳ
が、理想的には長方形または正方形によって規定され、
より現実的には長方形または正方形に近似した空間をと
ることを考慮して決定すればよい。すなわち、上述した
排気コンダクタンスＣの規定の仕方と同様に考えればよ
い。

【０１６０】（実施の形態３）本実施の形態３は、既述
した実施の形態１，２の改良であり、その改良点は第２
隔壁５０の配置位置にある。以下では、説明の便宜上、
実施の形態２に係るＰＤＰ１Ｂに対して改良を加えた場
合について既述する。勿論、そこで実現される第２隔壁
５０の形態を実施の形態１のＰＤＰ１Ａに対しても適用
可能であり、同様に後述する効果が得られる。

【０１６１】図２２は、実施の形態３に係る、ＰＤＰ１
Ｃの要部断面構造を示す縦断面図（第１方向Ｄ１に直交
する面、かつＡ電極２２の中央に沿った切断面、つま
り、図８に示す曲線Ｉ１−Ｉ２に関する断面図）であ
る。同図２２中、図１３と同一符号のものは同一のもの
を示す。

【０１６２】ここでは、第２隔壁５０Ｃの配置構成が、
図１３中の第２隔壁５０と異なる。即ち、第２隔壁５０
Ｃは、(イ)（第２方向Ｄ２に沿って）ある表示ラインＤ
におけるＸ電極ＸＥとそれに隣接する他の表示ラインに
おけるＹ電極ＹＥのそれぞれの金属電極（バス電極）４
２、４２の直下に位置し、（第１方向Ｄ１に沿って）第
２基板２１の対向面２１Ｓの一部及びＡ電極２２の上面
２２Ｓの一部を含み、または、(ロ)（第２方向Ｄ２に沿
って）ある表示ラインＤのＹ電極ＹＥとそれに隣接する
他の表示ラインのＸ電極ＸＥのそれぞれの金属電極４
２、４２の直下に位置し、（第１方向Ｄ１に沿って）第
２基板２１の対向面２１Ｓの一部及びＡ電極２２の上面
２２Ｓの一部を含んで、設けられている。図２２に例示
したケースは、丁度、(イ)及び(ロ)の両ケースを実現した
場合にあたる。

【０１６３】換言すれば、第２隔壁５０Ｃの第３側面部
５０ＣＷ３は、金属電極４２が形成されていない透明電
極４１の部分４１ＡＲ（ないしは、その表面４１Ｓ）に
対面する、第２基板２１の対向面２１Ｓの部分及びＡ電
極２２の上面２２Ｓの部分を含む第２領域ＡＲ２内にあ
り、第２頂上部５０ＣＴの稜線ｒｄ中、第３側面部５０
ＣＷ３との境界部分からその最頂部５０ＣＴＣへ向けて
の第１稜線部分ｒｄ１は、Ｘ電極ＸＥと、当該Ｘ電極Ｘ
Ｅとその隣りの表示ラインのＹ電極ＹＥとのギャップｄ
（より正確には第１ギャップｄ１）とに対面している。

【０１６４】又、第２隔壁５０Ｃの第４側面部５０ＣＷ
４は、ある表示ラインＤにおけるＹ電極ＹＥの透明電極
４１において、その金属電極４２が形成されていない部
分４１ＡＲ（又はその表面４１Ｓ）に対面する、第２基
板２１の対向面２１Ｓの部分及びＡ電極２２の上面２２
Ｓの部分を含む第４領域ＡＲ４内にあり、その第２隔壁
５０Ｃの第２頂上部５０ＣＴの稜線部ｒｄ中、第４側面
部５０ＣＷ４との境界部分からその最頂上部５０ＣＴＣ
へ向けての第２稜線部分は、Ｙ電極ＹＥと、当該Ｙ電極
ＹＥとその隣りの表示ラインのＸ電極ＸＥとのギャップ
ｄ（より正確には第２ギャップｄ２）とに対面してい
る。

【０１６５】これにより、第３，第４側面部５０ＣＷ
３，５０ＣＷ４上に付着された蛍光体２８は、当該表示
ラインＤの、金属電極４２がその上に形成されていな
い、Ｘ電極ＸＥを構成する透明電極４１の部分４１ＡＲ
とＹ電極ＹＥを構成する透明電極４１の部分４１ＡＲと
に対面する、保護層１８の部分と対向面２１Ｓの部分と
の間における放電空間に、せり出して位置することにな
る。

【０１６６】このように、第２隔壁５０Ｃが形成されて
いる領域Ｌを、図２２に示すギャップｄ（＝ｄ１＋ｄ
２：ｄ１＝ｄ２）で与えられる範囲を越えて、そのギャ
ップｄの両側にある異なる表示ラインにおけるＸ及びＹ
電極ＸＥ，ＹＥに対面する、第２基板２１の対向面２１
Ｓの部分とＡ電極２２の上面２２Ｓの部分とを含む範囲
にまで拡大する理由は、次の点にある。

【０１６７】Ｘ電極ＸＥおよびＹ電極ＹＥ間において発
生する放電は、Ｘ電極ＸＥおよびＹ電極ＹＥの物理的な
配置以上に拡大する。すなわち、Ｘ電極ＸＥおよびＹ電
極ＹＥ間における放電は、透明電極４１、４１間におい
て発生するのみならず、放電空間３０に存在する放電ガ
スイオンを通じて金属電極４２の直下の空間部分にも発
生する（図７、図６３参照）。

【０１６８】ところが、金属電極４２の直下部分におい
て発生する放電に基づく発光は、光学的に不透明な金属
電極４２の遮蔽によって表示面Ｓ側には届かず、その点
で無駄な発光となってしまう。すなわち、金属電極４２
の直下の空間内で生ずる放電のために供給される電力
は、実質上の電力損失になってしまうと考えてよい。従
って、この電力損失を抑えるためには、金属電極４２の
直下の空間、即ち、金属電極４２に対面する、保護層１
８と第２頂上部５０ＣＴとの間における空間における放
電の発生を抑えればよいこととなる。

【０１６９】そこで、本実施の形態では、図２２に示す
ように、(イ)ある表示ラインＤのＸ電極ＸＥとそれに隣
接する他の表示ラインのＹ電極ＹＥ、又は、(ロ)ある表
示ラインＤのＹ電極ＹＥとそれに隣接する他の表示ライ
ンＤのＸ電極ＸＥの、それぞれの金属電極４２、４２に
対面する範囲にまで、第２隔壁５０Ｃの幅Ｌを拡大して
いる。これにより、励起された原子あるいは分子が、こ
の拡大された第２隔壁５０Ｃに衝突して基底状態に戻る
ことにより、エネルギーの損失が起こり、結果的に放電
電流が流れにくくなる。つまり、金属電極４２の直下の
空間では放電が発生しにくくなり、無効な電力損失を抑
止することができる。そして、第２隔壁５０Ｃの第２頂
上部５０ＣＴとその直上の保護層１８の表面との間隔を
小さくする程、従って、第２隔壁５０Ｃの高さを高くす
ればする程、上記衝突回数はより多くなるので、より放
電電流が流れにくくなる。

【０１７０】なお、以下の説明では、Ｘ電極ＸＥを構成
する金属電極４２に対面する、第２基板２１の対向面２
１Ｓ及びＡ電極２２の上面２２Ｓ内の範囲（第１領域）
を、対面範囲Ｊとして称すると共に、Ｙ電極ＹＥを構成
する金属電極４２に対面する、第２基板２１の対向面２
１Ｓ及びＡ電極２２の上面２２Ｓの部分を含む範囲（第
３領域）をも、同様に、対面範囲Ｊとして称する。

【０１７１】すなわち、図２２に示すように、表示ライ
ンＤの中心から金属電極４２までの最短距離をＥ、およ
び表示ラインＤの中心から第２隔壁５０Ｃの側面部５０
ＣＷ３，５０ＣＷ４までの最短距離をＦとするとき、Ｅ
≧Ｆなる関係を満足すれば、上述したように、放電空間
３０において金属電極４２に対向する部分での放電を確
実に抑えることができる。換言すれば、第２隔壁５０Ｃ
が対面する範囲Ｊ、Ｊを含むような幅Ｌを有することに
よって、上述したように、金属電極４２に対面する、保
護層１８の部分と第２隔壁５０Ｃの第２頂上部５０ＣＴ
との間の放電空間における放電を確実に抑えることがで
きる。

【０１７２】既述したように、隣り合う第２隔壁５０Ｃ
の第３，第４側面部５０ＣＷ３，５０ＣＷ４に付着され
た蛍光体２８が後述する距離Ｆで規定される空間内にせ
り出してくることになり、紫外線が蛍光体２８に到達す
るまでの距離も短くなるので、紫外線の吸収がより早く
起きることとなり、この点でも、発光効率の向上に寄与
する。

【０１７３】なお、図２２には、隣り合う金属電極４
２、４２に対応する両部分にわたって一つの第２隔壁５
０Ｃを設ける場合について示したが、対面する範囲Ｊ毎
に第２隔壁５０を設けるようにしても、上述と同様の効
果が得られる。

【０１７４】更に、第２隔壁５０Ｃの第３，第４側面部
５０ＣＷ３，５０ＣＷ４のいずれか一方の側面部に関し
てのみ第２隔壁５０Ｃの第３又は第４側面部５０ＣＷ３
又は５０ＣＷ４のように形成し、他方側の側面部を、図
１３の第２隔壁５０の側面部のように、対面する範囲Ｊ
を含まない形状で形成することも可能であり、この場合
には、対面する範囲Ｊを含む上記一方の側面部で上述と
同様の効果が得られる。

【０１７５】以上のように構成することで、金属電極４
２の直下の部分、より正確には、金属電極４２の部分に
対面する保護層１８の表面部分においては放電が発生し
ないこととなり、金属電極４２の部分を除く透明電極４
１，４１間においてのみ放電が発生し、輝度は若干減少
するが、金属電極４２に放電電流が流れることはないた
め、発光効率（すなわち、光出力／投入電力）が実質的
に向上する。また、第２隔壁５０Ｃの幅Ｌを図１３の第
２隔壁５０の幅よりも大きく形成することは、両基板１
１，２１の貼付け作業時の位置合わせのマージンを大き
くすることにも寄与する。

【０１７６】（実施の形態１〜３に共通する変形例）（変形例その１）以上述べた、実施の形態１乃至３の説
明においては、蛍光体２８は第２基板２１上およびＡ電
極２２上に形成されているが、これに代えて、次のよう
に構成しても良い。即ち、第２基板２１上に例えばガラ
ス成分を含む下地層を設け、その下地層の表面上にＡ電
極２２を設け、この下地層およびＡ電極２２の上に蛍光
体２８を形成するようにしても良い。この場合、上記下
地層と第２基板２１とを、「第２基板」として定義する
ことができる。このとき、上記下地層の表面が「第２基
板の対向面」となる。

【０１７７】要は、第１基板１１から第２基板２１に向
かう方向に、Ｘ電極ＸＥおよびＹ電極ＹＥに対面する側
に蛍光体２８が形成されていればよく、実施の形態１〜
３において説明した構成のもので得られる効果を、この
変形例においても得ることができる。

【０１７８】さらに、第２基板２１上に形成されたＡ電
極２２の上面が絶縁体によって覆われたような変形例を
考えることもできる。この場合には、上記絶縁体上に第
１及び第２隔壁と蛍光体とが形成されることとなるが、
既述した構成のもので得られる効果と同一の効果を得る
ことができる。この場合には、第２基板２１と絶縁体と
を以て「第２基板」という概念を想定することができ、
そのような第２基板がＡ電極２２を含んでいることとな
る。このとき、上記絶縁体の表面が「第２基板の対向
面」となる。

【０１７９】以上より、実施の形態１〜３及びここで述
べた変形例におけるＡ電極２２の配設位置に鑑みると、
第２基板は、その各々が隣接し合う第１隔壁間に位置す
るように第２方向に沿って延長配設された、複数のＡ電
極２２を備えていると、言える。

【０１８０】（変形例その２）実施の形態１〜３では、
第２方向Ｄ２に第１隔壁２９を延在させ、第１方向Ｄ１
に第２隔壁５０を延在させたが、この配設関係を逆転さ
せるようにしても良い。即ち、第１方向Ｄ１に第１隔壁
２９を延在させ、第１隔壁２９に直交するように、第２
方向Ｄ２に第２隔壁５０を延在させるのである。但し、
Ｘ，Ｙ電極ＸＥ，ＹＥ及びＡ電極２２の位置関係は実施
の形態１〜３の場合と同様である。従って、Ｘ，Ｙ電極
ＸＥ，ＹＥは第１方向Ｄ１に延在し、Ａ電極２２は第２
方向Ｄ２に延在する。勿論、このような両隔壁２９，５
０の位置関係の反転に応じて、同一蛍光色の蛍光体２８
の付着方向も、第２方向Ｄ２から第１方向Ｄ１へと反転
させる。

【０１８１】かかる変形例の構成を、透視平面図として
模式的に描いた図２３に示す。

【０１８２】但し、図２３の変形例では、表示ラインは
第２方向Ｄ２に平行となるので、ＰＤＰの書き込み工程
において、各Ａ電極２２に順次に印加すべきアドレスパ
ルスを、順次に隣接する異なる画素の同一蛍光色に関す
る画像データに基づき生成することとなる。このため、
図２３の変形例では、長方形の画面である場合には、走
査ライン数が多くなり、書き込みの期間が長くなってし
まうというデメリットはある。

【０１８３】（変形例その３）実施の形態１〜３では、
任意の単位発光領域ＥＵの両サイドに、対峙し合う、２
つの同質・同一形状・同一寸法の第２隔壁５０（５０
Ｃ）を設けている。しかし、各第２隔壁５０毎に、その
存在位置において、既述した各効果、即ち、１）発光効
率の改善（紫外線損失の低減）、２）発光もれの低減及
び３）放電もれの抑制が生じているのである。

【０１８４】そうであるならば、任意の単位発光領域Ｅ
Ｕの一方側にのみ、少なくとも１本の第２隔壁５０を設
ければ、図６１に示した従来構造よりも有利な効果が得
られる。かかる観点から、１本の第２隔壁５０を複数本
の第１隔壁２９と直交するように設けた例を模式的に示
すのが、図２４の透視平面図である。

【０１８５】同図２４において、ある単位発光領域ＥＵ
（ｉ）と、第２方向Ｄ２に隣接する単位発光領域ＥＵ
（ｉ＋１）との間には、両領域ＥＵ（ｉ），ＥＵ（ｉ＋
１）を隔離するように、ただ１本の第２隔壁５０が第１
方向Ｄ１に沿って延在されている。この場合、第２隔壁
５０を以下の条件で設けることによって、隣り合う両単
位発光領域ＥＵ（ｉ），ＥＵ（ｉ＋１）について、次の
効果が得られる。

【０１８６】（１）任意形状・任意寸法の第２隔壁５
０を設ける。このとき、当該隔壁５０に向かって進行し
てくる励起原子等は第２隔壁５０に衝突してそのエネル
ギーを失い、放電もれが、全く発生しない（第１隔壁２
９、第２隔壁５０が同一高さのとき）か、十分に低減さ
れる（Ｈsub＜Ｈmain）。

【０１８７】（２）第２隔壁５０を、可視光を反射し
うる材質、例えば、第１隔壁２９と同質のものとする。
このとき、第２隔壁５０付近に伝播してきた蛍光は第２
隔壁５０の側面部で反射され、発光もれが、完全に抑止
される（Ｈsub＝Ｈmainのとき）か、又は十分に抑止さ
れる（Ｈsub＜Ｈmain）。

【０１８８】（３）第２隔壁５０の第３，第４側面部
５０ＣＷ３，５０ＣＷ４上に、Ｈsub＜Ｈmainのとき
は、更にその第２頂上部５０Ｔ上に、蛍光体２８を固着
させる。このとき、第２隔壁５０近傍の蛍光は蛍光体２
８の表層で反射されるので、蛍光体２８は発光もれの低
減化に寄与すると共に、第２隔壁５０近傍の紫外線はよ
り早く蛍光体２８に吸収されるので、紫外線損失の低減
化を図ることができる。

【０１８９】ここで、特開平８−１５２８６５号公報の
図６と段落（０００３）とには（又は、ヨーロッパ特許
出願の公開公報ＥＰ０７０４８３４Ａ１のＦｉｇ．１
Ａ，１Ｂには）、同一高さの格子状の隔壁が示されてい
る。しかし、上記の文献の隔壁上には蛍光体が全く設け
られておらず、しかも、上記の文献には、本願で問題と
しているような課題認識が存在せず、本願において述べ
ているような事柄は示唆及び記述されてはいない。従っ
て、同文献に示された隔壁は実施の形態１〜３の第１，
第２隔壁２９，５０（５０Ｃ）と本質的に異なるもので
あると考える。ましてや、同文献の図６の構造からは、
本願の図２４に示す構造を採用しうる余地はない。

【０１９０】この点で、図２４のＰＤＰは、同先行文献
の図６の構造よりも、優位な効果を有する。

【０１９１】（変形例その４）図２５の平面図に模式的
に示すように、隣り合う第１隔壁２９（２９1，２９2）
と，隣り合う第２隔壁５０とによって囲まれる領域内に
おける単位発光領域ＥＵの数が任意数となるように、隣
り合うべき、一方の第２隔壁５０（５０_i-1）から第２
方向Ｄ２へ向けて他方の第２隔壁５０を見たときに、第
ｉ番目の単位発光領域ＥＵｉから数えて第ｊ番目の単位
発光領域ＥＵｊと次の隣りの単位発光領域ＥＵ（ｊ＋
１）との間に、他方の第２隔壁５０（５０j）を設けて
も良い。この場合、他方の第２隔壁５０（５０j）は一
方の第２隔壁（５０i）と同一材質，同一形状，同一寸
法としても良いし、異なるようにしても良い。又、他方
の第２隔壁５０jの側面部等に蛍光体２８を設けても良
いし、設けなくても良い。いずれにせよ、他方の第２隔
壁５０jで隔離された両単位発光領域ＥＵｊ，ＥＵ（ｊ
＋１）に関しても、上記変形例その３で述べた効果
（１）〜（３）が得られる。

【０１９２】特に、１つの単位発光領域ＥＵの一方側の
み規則的に第２隔壁５０が周期的に設けられる場合（図
２５に示す２つの第２隔壁５０_i-1，５０jが第２方向Ｄ
２に沿って繰返し配設されている場合）には、図２５の
一方の単位発光領域ＥＵ（ｉ−１），ＥＵｉ間及び他方
の単位発光領域ＥＵｊ，ＥＵ（ｊ＋１）間で輝度の向上
等が得られ、これらの単位発光領域ＥＵ（ｉ−１），Ｅ
Ｕｉ，ＥＵｊ，ＥＵ（ｊ＋１）と比べて、その間の単位
発光領域ＥＵ（ｉ＋１）〜ＥＵ（ｊ−１）では輝度の向
上は得られないこととなるので、これまでの実施の形態
１〜３において述べた構成によって得られる物理的な特
性効果としては目減りするが、第２隔壁５０の総数が実
施の形態１〜３と比べて少ない分だけ、プロセス的には
有利である。即ち、画素密度が大きくなるにつれて単位
発光領域が小さくなってくるので、任意数の単位発光領
域毎に第２隔壁を設けていくことにより、寸法上の制限
という問題点を克服しやすくなる。勿論、その点は、Ｐ
ＤＰの輝度等の特性との相関で決まる。

【０１９３】（変形例その５）変形例その４で、ｊ＝２
とした場合で且つ、第２方向Ｄ２に隣り合う画素ＥＧ
１，ＥＧ２の各単位発光領域のＸ電極ＸＥを共通化した
場合を、図２６〜図２９に示す。尚、図２７〜図２９に
示す記号ＢＬ１は境界線を示す。

【０１９４】この場合には、２画素毎に第２隔壁５０が
設けられることになり、各第２隔壁５０毎に、当該第２
隔壁５０を設けたことにより得られた効果が同様に得ら
れると共に、隣り合う２画素がＸ電極ＸＥを共有してい
るので、画素密度を高める際に物理的に有利である。し
かも、図４や図２２等では、電圧を高めにすると隣り合
う画素のそれぞれのＸ電極ＸＥとＹ電極ＹＥとの間に放
電が生じてしまうのを、図２６〜図２９の本変形例（及
び後述する図３０〜図３２に示す変形例その６）では回
避することができる。また、本変形例では、両基板１
１，２１の張り合わせの際の位置合わせマージンを実施
の形態１〜３の場合よりも大きくすることも可能であ
る。

【０１９５】（変形例その６）図３０〜図３２は、変形
例その５の変形例であり、変形例その５に対して、２画
素間で共通使用するＸ電極ＸＥの直下に、もう一つ、更
に別の第２隔壁５０を追加したものである。従って、図
２５におけるｉが１の場合であり、且つ２画素毎に１本
のＸ電極ＸＥが設けられているケースである。

【０１９６】尚、図３０〜図３２に示されている記号Ｂ
Ｌ２は、境界線を示す。

【０１９７】これにより、Ｘ電極ＸＥを共有し合う２画
素の内の一方の画素のＸ電極ＸＥと、他方の画素のＹ電
極ＹＥとの間で生じうる放電もれをも、共通のＸ電極Ｘ
Ｅの直下に追加した第２隔壁５０によって防止すること
ができる。

【０１９８】（変形例その７）図３３は、実施の形態１
の図４のＰＤＰ１Ａに対して、実施の形態２における考
え方を組合わせたＰＤＰの１画素分を示す斜視図であ
る。即ち、図３３では、第１隔壁２９と同一高さの第２
隔壁５０の第３及び第４側面部５０Ｗ３，５０Ｗ４を貫
通する（縦寸法ａ×横寸法ｂ）の断面面積を有する、流
路孔が形成されている。当該流路孔の寸法ａ，ｂ，Ｌ
も、実施の形態２で示した形状因子βと表示光の輝度と
の相関関係に基づき決定される。

【０１９９】（変形例その８）第２隔壁５０の高さＨsu
bは、各第２隔壁５０毎に異なっていても良いが、この
場合には輝度向上の効果も変化する。但し、なだらかな
輝度の変化（±１０％程度）は実用上殆ど問題とはなら
ず、寧ろこの場合の方がプロセス的に優位（排気，封入
工程）となる。このように構成する場合、例えば、ＰＤ
Ｐの排気口側の第２隔壁５０から順次に、その高さＨsu
bを、その形状因子βが１．５Ｅ−４ｍｍ^-2に向けて変
化してゆくように、段階的に大きくしてゆくことが考え
られる。

【０２００】又、ＰＤＰのパネル面の両端部には、蛍光
体ペーストの塗布との関係で、一般に、ダミーの単位発
光領域ＥＵが複数個設けられている。かかるダミーの単
位発光領域ＥＵについては、又、そのダミーの単位発光
領域ＥＵと隣接する、真正の単位発光領域ＥＵについて
は、第２隔壁５０の高さＨsubを第１隔壁２９の高さＨm
ainとほぼ同じように設定することもできる（Ｈsub≒Ｈ
main）。

【０２０１】（変形例その９）（ａ）ＰＤＰの全表示ラ
インの内で互いに隣り合う任意数の表示ラインのそれぞ
れは、第１方向に沿って２つの第２隔壁で囲まれてお
り、（ｂ）他の表示ラインは、２つの第２隔壁によって
囲まれていないという、変形例を考えることも可能であ
る。このような一例の模式的な透視平面図を、図３４に
示す。

【０２０２】同図３４に示す変形例では、２つの第２隔
壁５０で囲まれる単位発光領域ＥＵｉ〜ＥＵｊの全てに
ついて、第２隔壁５０を設けたことにより得られる効
果、即ち輝度等の向上が得られる。単位発光領域ＥＵｉ
〜ＥＵｊの周辺の単位発光領域では、第２隔壁は配設さ
れていない。

【０２０３】ここで、変形例その８で述べたダミーの単
位発光領域を、図３４に示すような、２つの第２隔壁で
囲まれていない上記周辺の単位発光領域とすれば、全て
の真正の単位発送領域において、第２隔壁を設けたこと
により得られる既述した効果が得られる。

【０２０４】尚、図３４に示す単位発光領域ＥＵｉ〜Ｅ
Ｕｊを所定の間隔をあけて繰り返し配置するようにして
も良い。

【０２０５】（実施の形態４）ここでは、実施の形態１
で述べたＰＤＰ１Ａの製造方法、特に、図４に示すよう
に、第２基板２１上に互いに格子状に交差し合う、同一
材質・同一高さ、あるいは、ほぼ同一の材質・高さから
なる第１及び第２隔壁２９、５０の製造方法のその１に
ついて、図４中の符号を適宜用いつつ、既述する。

【０２０６】図３５は、ＰＤＰ１Ａの製造工程の概略を
示すフローチャートである。本製造工程は、大別して３
つの工程より、即ち、第１基板１１ないしは前面パネル
の製造工程ＦＳ１、第２基板２１ないしは背面パネルの
製造工程ＦＳ２及びアセンブリ工程ＦＳ３から成る。こ
れらの工程中、工程ＦＳ１、ＦＳ３は既知の工程であ
り、この実施の形態にとって本質的な工程ではない。こ
の実施の形態の特徴部分は工程ＦＳ２、特に、隔壁形成
方法にある。ここで隔壁形成方法を概略すれば、次の通
りである。先ず、（ａ）複数のＡ電極２２を備える第２
基板を準備する。それは、図４のもの（２１）であって
も良いし、変形例その１で述べたようなものでも良い。
又、図４のように平行配置された第１隔壁２９，２９間
の第１間隔ｂと、隣り合う第２隔壁５０，５０間の第２
間隔とに基づいて定められた網目状のパターンを有す
る、マスクを準備する。更に、これらの隔壁の母材とな
る低融点ガラスペーストを準備する。（ｂ）そして、次
に、上記マスクに基づき第１，第２隔壁２９，５０を同
時に第２基板１１上に形成する。この「マスク」は、本
実施の形態では、例えば後述するＤＦＲにあたる。尚、
他の実施の形態５，７では、このＤＦＲと共に、リソグ
ラフィ工程で用いるマスク（ガラスマスク等）をも含め
て、「マスク」概念を形成している。（ｃ）次に、各升
形状空間内に、Ｒ，Ｇ，Ｂ色の対応する蛍光体２８を付
着させる。

【０２０７】以下、当該工程ＦＳ２の内の隔壁形成工程
部分について詳述する。蛍光体２８やＡ電極２２の形成
方法は周知の方法による。

【０２０８】尚、図３５は、他の実施の形態５〜７につ
いても共用される。

【０２０９】図３６は、第２隔壁５０を形成するための
フローチャートである。又、図３７〜図４２は、それぞ
れ図中の各ステップＳ１，Ｓ３，Ｓ４〜Ｓ７に対応し
た、図４中の第２方向Ｄ２から製作途上の第２基板２１
を含むＰＤＰ用背面パネルを眺めたときの縦断面図であ
る。

【０２１０】同図３６において、ステップＳ１は低融点
ガラスペースト２９Ｐを第２基板２１の内面２１Ｓ上に
全面的に塗布する工程（図３７参照）である。次に、ス
テップＳ２は、工程Ｓ１で塗布された低融点ガラスペー
スト２９Ｐを乾燥する工程であり、ステップＳ３は塗布
後乾燥して得られた低融点ガラス２９Ｇが所定の厚さ
（それは図４中の高さＨに該当）に達したかどうかを判
断する工程（図３８参照）であり、低融点ガラス２９Ｇ
の厚みが所定の厚さに達していなければ工程Ｓ１に戻
り、低融点ガラス２９Ｇの厚みが所定の厚さに達してい
るときは、次工程Ｓ４に移る。

【０２１１】ステップＳ４では、第１及び第２隔壁２
９、５０の配置位置ないしはそれらの第１，第２間隔に
応じた所定の網目状パターンを有するドライフィルムレ
ジスト（以下、ＤＦＲと称す）４００を形成する工程で
あり、そのための部材である感光性フィルムを低融点ガ
ラスペースト２９Ｇの上に貼り付ける。このＤＦＲ４０
０は、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）
とポリオレフィンとの間に感光材料を挟み込んだ上記感
光性フィルムに、ここでは、例えば網目状の所定のマス
クパターンを介して紫外光を照射した後、反応促進のた
めに加熱を行うことにより、形成される。当該ＤＦＲ４
００は、次工程でマスクとして機能するものである。そ
の後、Ｎａ2ＣＯ3溶液を用いて感光性フィルムを現像す
る。この現像の後に、図３９（ａ），（ｂ）に示すよう
に、各網目ないしは各開孔部４００Ｈがほぼ同一寸法・
同一形状で形成された、網目状のＤＦＲ４００が形成さ
れる（Ｓ４：ＤＦＲ形成工程）。図３９（ｂ）中、各開
孔部４００Ｈの第１寸法ｄ１，第２寸法ｄ２は、それぞ
れ、第１，第２隔壁２９，５０の第１，第２間隔に対応
付けられている。

【０２１２】ステップＳ５はサンドブラスト工程であ
る。例えば、図４０に示すように、ＣａＣＯ3を、露出
面全体（網目状のＤＦＲ４００およびＤＦＲ４００に形
成されている開孔４００Ｈを介して露出している乾燥し
た低融点ガラスペースト２９Ｇの表面）に吹き付けて、
網目状のＤＦＲ４００によってマスキングされた以外の
部分２９ＧＥの直下の乾燥した低融点ガラスペースト２
９Ｇを除去する。これにより、上記部分２９ＧＥより低
融点ガラスペースト２９Ｇの内部に向かって、低融点ガ
ラスペースト２９Ｇは穿設される。

【０２１３】ステップＳ６はサンドブラスト工程Ｓ５に
よって乾燥した低融点ガラスペースト２９Ｇを所定の深
さ（即ち、図１の高さＨに該当）まで除去できたかどう
か、即ち低融点ガラスペースト２９Ｇの穿設孔が第２基
板２１に到達したか否かを判断する工程であり、所定の
深さまで低融点ガラスペースト２９Ｇを除去できていな
いならば工程Ｓ５に戻りサンドブラストを続行し、所定
の深さまで低融点ガラスペースト２９Ｇを除去できたな
らば、残った網目状のＤＦＲ４００を剥離して焼成工程
Ｓ７に進む（図４１参照）。

【０２１４】焼成工程Ｓ７においては、乾燥した低融点
ガラスペースト２９Ｇを加熱溶融することにより、第２
基板２１の内面２１Ｓ上に、網目状の隔壁（第１隔壁２
９および第２隔壁５０によって構成される隔壁）が完成
される（図４２参照）。

【０２１５】以後の工程（蛍光体形成工程や図３４に示
すアセンブリ工程ＦＳ３）の説明は、実施の形態５にゆ
ずる。

【０２１６】このように、図３９（ｂ）に示すような規
則正しい網目状のパターンを有するＤＦＲ４００をリソ
グラフィ法を用いて準備することによって、従来より用
いられているサンドブラスト法という方法をそのまま利
用することが可能となり、特別な工程を新たに付加する
ことなく、第１〜第２隔壁２９、５０を同時に形成する
ことができる。

【０２１７】尚、感光性フィルムがネガがポジがに応じ
てリソグラフィ法で使用するマスクパターンの形状も設
定する。この点は、他の実施の形態５〜７でも同様であ
る。

【０２１８】（実施の形態５）ここでは、図４のＰＤＰ
１Ａの第１及び第２隔壁２９、５０の別の形成方法（そ
の２）を既述する。

【０２１９】図４３〜図４６は、製造方法のその２の各
工程を記述するために示した、実施の形態４と同様に図
４の第２方向Ｄ２から眺めたときの、製作途上の第２基
板２１を含むＰＤＰ用背面パネルの縦断面図である。

【０２２０】図４３に示すように、第２基板２１の内面
２１ＳとＡ電極２２との上に均一厚さの感光性フィルム
５００（マスク部材）をほぼ全面的に貼り付け、ここで
は、例えばドット状のパターン形成用マスク５０１（第
１マスクと称す）のパターンを介して、紫外線を感光性
フィルム５００に照射する。その後、反応促進のために
加熱（ポストベーク）を行い、図４４に示すように、Ｎ
ａ2ＣＯ3溶液を用いて感光性フィルム５００を現像す
る。この現像の後に、上記第１マスク５０１のドット状
のパターンが転写された、ドット状のＤＦＲ５０２（マ
スク）が形成される。

【０２２１】ドット状のＤＦＲ５０２が形成された後に
は、当該ＤＦＲ５０２を含めて、図４５に示すように、
例えば１００℃以下の温度で固化するパラフィンやアク
リル樹脂等を外形形状の維持および剥離の際の保護のた
めに含有する低融点ガラスペースト２９Ｐを塗布し、低
融点ガラスペースト２９Ｐの乾燥のための加熱処理を行
う。（この加熱処理後、乾燥した低融点ガラスペースト
２９Ｐの上面を研磨して、ＤＦＲ５０２の上面が現われ
るようにして、乾燥したガラスペースト２９Ｐの高さを
均一となるようにしても良い。

【０２２２】その後、図４６に示すように、ＤＦＲ５０
２のみを剥離すれば、網目状の乾燥した低融点ガラスペ
ースト２９Ｐが第２基板２１上に残る。この残った低融
点ガラスペースト２９Ｐを焼成すれば、第１隔壁２９お
よび第２隔壁５０が形成される。

【０２２３】この手法によれば、高い形成精度を有する
第１、第２隔壁２９、５０を形成することが可能であ
り、第１、第２隔壁２９、５０のエッジ部が丸くなら
ず、また第１、第２隔壁２９、５０の高さ変動も少な
い、良好な第１、第２隔壁２９、５０を形成することが
できる。

【０２２４】上述のような方法により第１隔壁２９およ
び第２隔壁５０を形成した後、隣り合う第１隔壁２９、
２９のそれぞれの第１、第２側面部２９Ｗ１、２９Ｗ２
と、隣り合う第２隔壁５０、５０のそれぞれの第３、第
４側面部５０Ｗ３、５０Ｗ４と、予めＡ電極２２が形成
された第２基板２１の内面とによって形成された、升形
状の中に、蛍光体ペーストを注入した後、同ペーストを
乾燥させる。その後、上記ペーストを加熱することによ
って、隣り合う第１隔壁２９、２９の対向し合う第１、
第２側面部２９Ｗ１、２９Ｗ２上、隣り合う第２隔壁５
０、５０の対向し合う第３、第４側面部５０Ｗ３、５０
Ｗ４上、隣り合う第１隔壁２９、２９で挟まれた第２基
板２１の内面部分上およびＡ電極２２の上面上を、それ
ぞれ覆うように、蛍光体２８が形成される。

【０２２５】なお、図３５に示すアセンブリ工程ＦＳ３
については、次の通りである。即ち、最終的には、第１
基板１１と第２基板２１とを張り合わせ、それぞれの基
板１１，２１の周辺部を低融点ガラス等で封止すること
によって、ＰＤＰが完成されることになる。しかし、実
施の形態４、５では、第１及び第２隔壁２９、５０の高
さＨ、ｈが等しいか又はほぼ等しく、それらの第１、第
２頂上部２９Ｔ、５０Ｔが保護層１８の表面に当接し、
各放電空間３０が完全に閉空間となってしまうため、封
止にあたっては、例えば、第１基板１１と第２基板２１
との全体を所定の放電ガス圧の雰囲気中に置いた上で、
両基板１１，１２の周辺部を封止するようにする。これ
により、図４に示した構成のＰＤＰ１Ａを得ることがで
きる。

【０２２６】尚、各基板１１，２１の大きさが大きくな
ると、上述した放電ガス圧の雰囲気中において封止する
ことが困難になる。しかし、かかる場合には、例えば、
第１基板１１の周辺部と第２基板２１の周辺部との間に
図示しない所定形状のスペーサを介在させて両基板１
１，２１を貼り合わせることによって、保護層１８と第
１隔壁２９の第１頂上部２９Ｔおよび第２隔壁５０の第
２頂上部５０Ｔとの間に多少の隙間を確保した上で、上
記の排気（真空引き）、放電ガス封入を順次行った後、
上記の封止を行うことにより、図４に示すプラズマディ
スプレイパネルＰＤＰ１Ａに対して、第１、第２隔壁２
９、５０の各頂上部２９Ｔ、５０Ｔと保護層１８の表面
との間に隙間を設けたようなＰＤＰを、得ることができ
る。但し、この場合には、第１方向Ｄ１に隣り合う単位
発光領域間（例えばＥＵR−ＥＵG間）で、既述した問題
点１）〜３）が若干少じてしまうという難点がある。

【０２２７】（実施の形態６）ここでは、図８に示した
ＰＤＰ１Ｂの製造方法、特に、高さの違う両隔壁２９、
５０を同時に製造する方法について詳述する。当該製造
方法は、実施の形態３、４において述べた方法と同様の
ものであるが、さらに図４７〜図５３を参照して説明す
る。

【０２２８】図４７は、実施の形態６における、第１及
び第２隔壁２９、５０を同時に形成するためのフローチ
ャートである。図４７において、ステップＳ２１は、低
融点ガラスペースト２９Ｐを内面２１Ｓ上に全面的に塗
布する工程であり（図４８）、ステップＳ２２は、工程
Ｓ２１で塗布された低融点ガラスペースト２９Ｐを乾燥
する工程である。又、ステップＳ２３は、塗布後乾燥し
た低融点ガラス２９Ｇが所定の厚さに達したかどうかを
判断する工程であり（図４９参照）、低融点ガラス２９
Ｇが所定の厚さに達していなければ工程Ｓ２１に戻り、
所定の厚さに達したら、ＤＦＲ６００（マスク）を形成
するために、例えば、ポリエチレンテレフタレート（Ｐ
ＥＴ）とポリオレフィンとの間に感光材料を挟み込んだ
感光性フィルム（マスク用部材）を全面的に貼り付け
る。ここでは、例えば、第１，第２隔壁２９，５０の第
１，第２間隔に基づいて形成された網目状のマスクパタ
ーン（ガラスマスク等）を介して紫外光を照射した後
（リソグラフィ法）、反応促進のために加熱を行うこと
により、ＤＦＲ６００を形成する。その後、Ｎａ2ＣＯ3
溶液を用いて感光性シートを現像する。この現像の後に
は、図５０の（ａ），（ｂ）に示される網目状のＤＦＲ
６００が、即ち、第２方向Ｄ２に沿った、第１マスク幅
Ｎを有する第１マスク部分６０１と、第１方向Ｄ１に沿
った、第１マスク幅Ｎよりも小さいか又は等しい第２マ
スク幅Ｍ（≦Ｎ）を有する第２マスク部分６０２とを有
する、ＤＦＲ６００が形成される（Ｓ２４：ＤＦＲ形成
工程）。上記第１マスク幅Ｎは第１隔壁２９の幅寸法に
対応して設定され、第２マスク幅Ｍは第２隔壁５０の幅
寸法Ｌに基づき設定される。

【０２２９】ステップＳ２５は図５１に示すサンドブラ
スト工程であり、例えばＣａＣＯ3を面全体（網目状の
ＤＦＲ６００（マスク）および乾燥した低融点ガラスペ
ースト２９Ｇの露出表面）に吹き付けて、網目状のＤＦ
Ｒ６００によってマスキングされた以外の乾燥した低融
点ガラスペースト２９Ｇを除去する。

【０２３０】ステップＳ２６は、サンドブラスト工程Ｓ
２５によって、乾燥した低融点ガラスペースト２９Ｇが
所定の深さ（高さＨに該当）まで除去できたかどうかを
判断する工程であり（図５３参照）、低融点ガラスペー
スト２９Ｇが、所定の深さまで除去できていないならば
工程Ｓ２５に戻りサンドブラスト工程Ｓ２５を続行し、
低融点ガラスペースト２９Ｇが、所定の深さまで除去で
きたならば、残った網目状のＤＦＲ６００を剥離して焼
成工程Ｓ２７に進む。焼成工程Ｓ２７において、乾燥し
た低融点ガラスペースト２９Ｇを加熱溶融することによ
り、第２基板２１上に網目状の隔壁（第１隔壁２９およ
び第２隔壁５０によって構成される隔壁）が完成する
（図５３）。

【０２３１】この実施の形態６における上述した網目状
のＤＦＲ６００は、既述した通り、第１隔壁２９に対応
する部分（第１マスク部分６０１）と第２隔壁５０に対
応する部分（第２マスク部分６０２）とでそれぞれマス
ク幅が異なるように形成されている。すなわち、図５０
（ｂ）に示すように、（第１隔壁２９に対応する第１マ
スク部分６０１の第１マスク幅Ｎ）≧（第２隔壁５０に
対応する第２マスク部分６０２の第２マスク幅Ｍ）なる
関係となっている。このようにすると、サンドブラスト
工程Ｓ２５において、マスクされていない低融点ガラス
ペースト２９Ｇが除去（研削）されるにつれてＤＦＲ６
００も除去（研削）されるが、第２隔壁５０に対応する
第２マスク部分６０２の第２マスク幅Ｍが第１隔壁２９
に対応する第１マスク部分６０１の第１マスク幅Ｎより
も狭いため、第２マスク部分６０２及び第１マスク部分
６０１が共に研削されていくが、いずれは第２隔壁５０
に対応する第２マスク部分６０２が除去されてしまう。
従って、第２マスク部分６０２のレジストが除去された
後に更にサンドブラスト工程Ｓ２５を続行すると、第２
マスク部分６０２によって覆われていた部分に対応する
低融点ガラスペースト２９Ｇが研削されることになる。

【０２３２】以降、第１隔壁２９に対応する第１マスク
部分６０１のみが残った状態で、さらにサンドブラスト
工程Ｓ２５を進行する。これにより、第１隔壁２９に対
応する第１マスク部分６０１によって覆われた部分に対
応する乾燥した低融点ガラスペースト２９Ｇは、その高
さ（Ｈ）を保った状態となるが、第２隔壁５０に対応す
る第２マスク部分６０２によって覆われていた部分に対
応する乾燥した低融点ガラスペースト２９Ｇは部分的に
除去されることになる。従って、最終的には、第２隔壁
５０が、第１隔壁２９の高さよりも低い状態で形成され
ることになる。

【０２３３】以上より、本実施の形態によれば、図５０
の（ａ），（ｂ）に示す、網目状パターンを有するマス
クとしてのＤＦＲ６００を用いることにより、従来より
採用されてきたサンドブラスト法をそのまま利用して図
８に示すＰＤＰ１Ｂを製造することができ、新たな製造
装置や工程を必要とすることなく、それぞれ高さの異な
る第１隔壁２９及び第２隔壁５０を形成することができ
る。

【０２３４】（実施の形態７）ここでは、ＰＤＰ１Ｂの
隔壁２９，５０の別の製造方法（その２）を説明する。
図５４〜図５９は、その２の製造工程を示すための、製
造途上にある第２基板２１を含むＰＤＰ用背面パネルの
縦断面図である。

【０２３５】図５４に示すように、まずは、網目状のＤ
ＦＲを形成するため、第２基板２１上に均一厚さ（第１
厚み）の第１感光性フィルム７００（マスク用部材）を
全面的に貼り付け、ここでは、例えば、第１，第２間隔
に対応したマスク幅を有する、メッシュ状の第１パター
ン形成用マスク７０１を第１感光性フィルム７００の表
面上に配置し、この第１パターン形成用マスク７０１を
介して、紫外光を第１感光性フィルム７００に照射した
後、反応促進のために、第１感光性フィルム７００の加
熱を行う。その後、Ｎａ2ＣＯ3溶液を用いて第１感光性
フィルム７００を現像する。この現像の後には、不要な
第１感光性フィルム７００の部分（感光されなかった部
分）が除去され、図５５に示すように、第１パターン形
成用マスク７０１のパターンが転写された、ドット状の
第１ＤＦＲ７０２が形成される。

【０２３６】次に、ストライプ状の第２ＤＦＲを形成す
るために、上述のドット状の第１ＤＦＲ７０２の表面上
に、均一厚さ（第２厚み）の第２感光性フィルム７０３
（マスク用部材）を貼り付け、ストライプ状の第２パタ
ーン形成用マスク７０４（当該第２パターン形成用マス
ク７０４には、第１隔壁２９の幅に応じた幅を有するス
トライプ状の複数の開孔が、第２方向に延び且つ第１間
隔で以て配列されている）を第２感光性フィルム７０３
の表面上に配置し、第２パターン形成用マスク７０４を
介して、紫外光を第２感光性フィルム７０３に照射する
（図５６）。その後、反応促進のために第２感光性フィ
ルム７０３の加熱を行う。その後、Ｎａ2ＣＯ3溶液を用
いて、第２感光性フィルム７０３を現像する。この現像
の後には、不要な第２感光性フィルム７０３の部分（感
光されなかった部分）は除去され、ストライプ状の第２
ＤＦＲ７０５が、第１方向Ｄ１に沿って並んだドット状
の第１ＤＦＲ７０２の上に、第１方向Ｄ１に沿って形成
される（図５７）。

【０２３７】ドット状およびストライプ状の両ＤＦＲ７
０２，７０５が第２基板２１の内面上に形成された後に
は、これらのＤＦＲ７０２，７０５をマスクとして、例
えば１００℃以下の温度で固化するパラフィンやアクリ
ル樹脂等を外形形状の維持および剥離の際の保護のため
に含有する低融点ガラスペースト２９Ｐを、第２基板上
に塗布して、両ＤＦＲ７０２，７０５と第２基板２１の
内面とで囲まれた空間を低融点ガラスペースト２９Ｐで
充填する。そして、低融点ガラスペースト２９Ｐの乾燥
のための加熱処理を行う（この加熱処理後、乾燥した低
融点ガラスペースト上面を研磨してＤＦＲ上面が現われ
るようにし、乾燥したガラスペーストの高さを均一とな
るようにしても良い）（図５８）。

【０２３８】その後、第１，第２ＤＦＲ７０２，７０５
を剥離すれば、網目状およびその上にストライプ状の乾
燥した低融点ガラスペーストが第２基板２１上に残る。
この残った低融点ガラスペーストを焼成すれば、第１隔
壁２９、およびこの第１隔壁２９よりも隔壁の高さが低
い第２隔壁５０が完成する（図５９）。この場合、第１
感光性フィルム７００及び第２感光性フィルム７０３の
第１，第２厚みの和は、ほぼ、第１隔壁の高さＨに相当
する。

【０２３９】この手法によれば、高い形成精度を有する
隔壁を形成することが可能であり、第２隔壁５０のエッ
ジ部が丸くならず、また隔壁の高さ変動が少ない、良好
な第１，第２隔壁２９，５０を形成することができる。

【０２４０】上述のような方法で第１隔壁２９および第
２隔壁５０を形成した後は、隣り合う第１隔壁２９、２
９の第１，第２側面部２９Ｗ１，２９Ｗ２と、隣り合う
第２隔壁５０、５０の第３，第４側面部５０Ｗ３，５０
Ｗ４と、両第２隔壁５０，５０の第２頂上部５０Ｔ，５
０Ｔと、両第１隔壁２９，２９で挟まれた第２基板２１
の内面部分とによって形成された升形（箱形）状の中
に、蛍光体ペーストを注入し、その後、蛍光体ペースト
を乾燥させる。その後、蛍光体ペーストを加熱すること
によって、蛍光体２８は、隣り合う第１隔壁２９、２９
の対向する第１，第２側面部２９Ｗ１，２９Ｗ２上、隣
り合う第２隔壁５０、５０の対向する第３，第４側面部
５０Ｗ３，５０Ｗ４上、両第２隔壁５０，５０の第２頂
上部５０Ｔ，５０Ｔ上、第１隔壁２９，２９で挟まれた
第２基板２１の内面上およびＡ電極２２の上面に固着さ
れる。

【０２４１】（隔壁形成方法の変形例） (i) また、第１隔壁２９および第２隔壁５０の形成方
法の一つの変形例として、紫外線硬化樹脂をガラスペー
ストに混入しておき、そのようなガラスペーストに図３
９，図５０のような網目状のマスクパターンを介して紫
外線を照射することによって、両隔壁２９，５０を形成
することもできる。

【０２４２】(ii) さらに、熱硬化樹脂をガラスペース
トに混入しておき、図３９，図５０のような網目状のマ
スクパターンを介して、例えばレーザ光のような熱線を
照射することによって、各隔壁２９，５０を形成しても
良い。

【０２４３】(iii) また、図３６，図４７に示した製
作プロセスのフローチャートに関して、塗布した低融点
ガラスペースト２９Ｐの厚みが所定の値に達したかどう
か、あるいは、サンドブラスト工程によって除去される
乾燥したガラスペースト２９Ｇが所定の深さにまで研削
されたかどうかを判断する工程を含む例について説明し
たが、あらかじめ所定の塗布回数だけ低融点ガラスペー
スト２９Ｐを塗布することとして、上記判定工程を削除
するか、あるいは、サンドブラスト工程をあらかじめ設
定された時間だけ実行して上記判定工程を省略するよう
にしてもよい。

【０２４４】

【発明の効果】請求項１に係る発明によれば、複数の第
１隔壁に直交する第２隔壁を設けているので、第２隔壁
で互いに隔離される、同色の可視光を発生する任意の放
電空間同士について、次の効果、が得られる。

【０２４５】上記任意の放電空間同士について、放
電もれに起因するセル間放電を低減ないしは完全に抑止
することができる。即ち、任意の放電空間のそれぞれに
於ける放電によって励起された、紫外線の発光源たる放
電ガス内の原子や分子等の内で、上記第２隔壁へ向けて
進行して来たものは、当該第２隔壁に衝突してその運動
エネルギーを第２隔壁に与えることとなり、このエネル
ギー損失のために、励起状態にあった衝突原子等はその
基底状態に戻ることとなる。従って、（ａ）第１及び第
２隔壁の高さが同一であり、且つ第１及び第２隔壁の各
頂上部が誘電体の表面と当接しているときには、隣の放
電空間側へ進行しようとする励起原子等にとって第２隔
壁が障害物となるため、当該励起原子等は全て第２隔壁
と衝突してそのエネルギーを損失する結果、第２隔壁で
仕切られた両放電空間の間では完全に放電もれが防止さ
れる。他方、（ｂ）第１隔壁の高さが第２隔壁の高さよ
りも高い場合、又は、第１及び第２隔壁の高さが同一で
あっても、第１及び第２隔壁の各頂上部が誘電体の表面
と当接していないときには、励起原子等は第２隔壁を乗
り越えて隣の放電空間側へ進行しようとするが、その多
くは第２隔壁と衝突してそのエネルギーを損失するの
で、第２隔壁を乗り越えて隣の放電空間へ進入してしま
う励起原子等の数を第２隔壁を有しない従来技術よりも
格段に低減することができ、これにより、第２隔壁を介
して隣り合う放電空間の間に於ける放電もれを格段に低
減することができる。

【０２４６】更に、放電もれに起因するセル間放電
を確実に低減ないしは完全に抑止することができるとき
には、第２隔壁を介して隣り合う任意の放電空間同士に
関して、その電極間ピッチを狭くすることもできること
となり、当該第２隔壁に沿って画素密度を高めることが
できる。従って、例えば当該第２隔壁をパネル全面にわ
たる領域内に設けるときには、高精細なパネルを実現す
ることができる。

【０２４７】請求項２に係る発明によれば、第２隔壁で
互いに隔離される任意の放電空間同士について、一方の
放電空間で生じた可視光の他方の放電空間への発光もれ
を完全に抑止または十分に低減化することができ、当該
第２隔壁に沿った画素に関して、色バランスへの影響を
完全にまたは十分に抑え、且つ、色にじみの無いかまた
は殆ど無い、より鮮明な画像を表示することができ、画
質の向上を図ることができるという効果を奏する。従っ
て、例えば当該第２隔壁をパネル全面にわたる領域内に
設けるときには、高輝度の画質の極めて良いパネルを実
現することができる。

【０２４８】即ち、本発明により、任意の放電空間同士
のそれぞれは、隣り合う第１隔壁の内の一方の第１側面
部と、他方の第２側面部と、第２隔壁の第３または第４
側面部とで囲まれた領域となっているので、任意の放電
空間同士のそれぞれの単位発光領域で生じた可視光は、
当該単位発光領域を挟む、隣り合う第１隔壁の一方の第
１側面部、及び他方の第２側面部のみならず、第２隔壁
の第３または第４側面部においても反射されることとな
り、観視者側へ向かう可視光の光量が格段に増加する。
従って、一方の単位発光領域から他方の単位発光領域へ
進入しようとする可視光の伝搬は、（ａ）第１及び第２
隔壁の高さが同一であり、且つ第１及び第２隔壁の各頂
上部が誘電体の表面と当接しているときには、当該可視
光の第２隔壁の第３または第４側面部における反射によ
って、確実に阻止されるし、（ｂ）第１隔壁の高さが第
２隔壁の高さよりも高い場合、又は、第１及び第２隔壁
の高さが同一であっても、第１及び第２隔壁の各頂上部
が誘電体の表面と当接していないときには、当該可視光
の多くは第２隔壁の第３または第４側面部によって反射
されるので、高い確率で以て阻止されることとなる。こ
れにより、一方の単位発光領域から他方の単位発光領域
への発光もれによる影響を抑止または十分に低減しつ
つ、観視者側へ向かう可視光の光量を増加させて、より
高輝度のプラズマディスプレイパネルを実現することも
可能となる。

【０２４９】請求項３に係る発明によれば、蛍光体が、
第１隔壁の第１及び第２側面部上のみならず、第２隔壁
の第３及び第４側面部上にも付着されているので、第２
隔壁で互いに隔離される任意の放電空間同士のそれぞれ
の単位発光領域について、次の２つの効果、を奏す
る。

【０２５０】紫外線を可視光に変換する発光効率を
従来装置よりも向上させることができ、その結果、輝度
の向上を図ることが可能となる。

【０２５１】即ち、任意の放電空間同士のそれぞれにつ
いて、第１及び第２基板と垂直な縦断面がＵ字状となる
ように蛍光体が付着されているので、放電によって生じ
る紫外線を受ける蛍光体の面積をより大きくする事がで
きる。従って、放電の繰返し回数が増えることによって
紫外線の損失がより大きくなる前に、あるいは、紫外線
の伝搬の進行距離が長くなって誘電体による紫外線吸収
に起因した紫外線の損失がより大きくなる前に、紫外線
をより早く且つより多く蛍光体に照射することが可能と
なり、紫外線の損失量を格段に低減することができる。

【０２５２】しかも、放電を包み込むように蛍光体
を設けることになるので、一方の単位発光領域で生じた
可視光の他方の単位発光領域への発光もれの抑止にも十
分に寄与することができるのである。即ち、一方の単位
発光領域における蛍光体より生じた可視光は、当該単位
発光領域に於ける第１及び第２側面部及び第３または第
４側面部、並びに第１及び第２側面部上の蛍光体で反射
されるのみならず、更に第３または第４側面部上の蛍光
体によっても反射されることとなるので、より一層多く
の可視光を観視者側へ伝搬させることができ、他方の単
位発光領域へ伝搬する可視光の光量をより一層低減させ
ることができる。

【０２５３】請求項４に係る発明によれば、第１隔壁の
第１高さと第２隔壁の第２高さとは略等しいので、第２
隔壁で互いに隔離される任意の放電空間同士について、
隣り合う第１隔壁の存在により得られる効果を従来技術
と同様に発揮させつつ、更に、１）紫外線の損失を低減
することによる高輝度化、２）発光漏れの抑止、３）放
電漏れの抑止という効果を重畳的に奏することが出来
る。

【０２５４】請求項５に係る発明によれば、第２隔壁の
第２高さは第１隔壁の第１高さよりも低く設定されてい
るので、第２隔壁で互いに隔離される任意の放電空間同
士について、隣り合う第１隔壁の存在により得られる効
果を従来技術と同様に発揮させつつ、更に、次の効果
、を得ることができる。

【０２５５】プラズマディスプレイパネルの製作時
の各放電空間の排気及び各放電空間への放電ガスの封入
を容易に実現可能としつつ、放電動作の安定化を図るこ
とによって、１）紫外線の損失を低減することによる高
輝度化、２）発光漏れの抑止、３）放電漏れの抑止とい
う効果を重畳的に奏することができる。

【０２５６】任意の放電空間同士のそれぞれに対し
て、プライミング放電を同時に且つ確実に発生させつ
つ、それぞれの放電空間に於ける放電動作の安定化を図
ることによって、１）紫外線の損失を低減することによ
る高輝度化、２）発光漏れの抑止、３）放電漏れの抑止
という効果を重畳的に得ることができる。

【０２５７】請求項６に係る発明によれば、第２隔壁の
第２頂上部上にも蛍光体が付着されているので、第２隔
壁で互いに隔離される任意の放電空間同士について、
１）紫外線の損失を低減することによる高輝度化及び
２）発光漏れの抑止という効果を更に一層向上させるこ
とができる。即ち、第２隔壁の第２頂上部と誘電体の表
面との間隙に伝搬してきた紫外線が第２頂上部上の蛍光
体により吸収される場合が発生し、又、当該間隙に伝搬
してきた可視光が第２頂上部上の蛍光体の表層によって
観視者側に反射される場合も発生する結果、上記の効果
１）、２）がより一層促進される。

【０２５８】請求項７に係る発明によれば、排気コンダ
クタンスと表示光の輝度との相関関係に基づき第１高さ
と第２高さの高低差が設定されているので、第２隔壁で
互いに隔離される任意の放電空間同士について、１）紫
外線の損失を低減することによる高輝度化、２）発光漏
れの抑止、３）放電漏れの抑止を図ると共に、４）プラ
ズマディスプレイパネルの製作時における各放電空間の
排気及び各放電空間への放電ガスの封入の容易化を図る
ことが可能となる。

【０２５９】請求項８に係る発明によれば、形状因子β
を１．５Ｅ−４ｍｍ2以上とし、且つ、（Ｈmain・ｂ）2
／（（Ｈmain＋ｂ）・Ｌ）で与えられる値よりも小さく
しているので、第２隔壁で互いに隔離される任意の放電
空間同士に於いて、プラズマディスプレイパネルの製作
時の各放電空間の排気及び各放電空間への放電ガスの封
入を容易に且つ確実に実現可能としつつ、放電動作の安
定化をも図ることができる。特に形状因子βを１．５Ｅ
−４ｍｍ2に近づける程、放電動作の安定化をより一層
図ることができ、１）紫外線の損失を低減することによ
る高輝度化、２）発光漏れの抑止、３）放電漏れの抑止
という効果を最大限発揮させることが可能となる。

【０２６０】請求項９に係る発明によれば、複数の放電
空間の全てがプライミング放電を起こし得る最小のプラ
イミング電圧に基づき、第１高さと第２高さの高低差が
設定されているので、第２隔壁で互いに隔離される任意
の放電空間同士に於いて、それぞれの放電空間に対して
プライミング放電を同時に且つ確実に発生させつつ、そ
れぞれの放電空間に於ける放電動作の安定化を図ると共
に、１）紫外線の損失を低減することによる高輝度化、
２）発光漏れの抑止、３）放電漏れの抑止という効果を
重畳的に得ることができる。

【０２６１】請求項１０に係る発明によれば、第２隔壁
で互いに隔離される任意の放電空間同士に於いて、各放
電空間に対してプライミング放電を同時に且つ確実に発
生させ得る最小のプライミング電圧を最適化することが
できるので、次の効果〜を奏することができる。

【０２６２】プライミング電圧が高過ぎることによ
り生じる、ｉ）暗輝度の上昇、ｉｉ）パネル中の表示領
域外における放電の発生、ｉｉｉ）パネルと外部の駆動
回路とを電気的に接続する端子間の絶縁性の劣化、とい
う問題点を未然に確実に防止することができる。

【０２６３】プライミング電圧を発生させるための
外部の駆動回路側の耐電圧特性の劣化を未然に確実に防
止することができる。

【０２６４】耐電圧の特に高い能動素子をプライミ
ング電圧を発生させるための外部の駆動回路内の素子と
して用いる必要性を無くして、汎用性のある能動素子を
利用可能とする。

【０２６５】誘電体の耐電圧特性の劣化を未然に確
実に防止することができる。

【０２６６】請求項１１に係る発明によれば、第２隔壁
の前記第３側面部が、第１表示電極の帯状透明導電膜の
内で金属電極が形成されていない部分に対面する、第２
基板の対向面内の第２領域内に位置しているので、次の
効果、を奏する。

【０２６７】任意の放電空間同士の内で第２隔壁の
第３側面部で隣りの放電空間と隔離される側の放電空間
に関して、第１表示電極の金属電極に於ける放電を抑え
て消費電力の低減化を促進することが可能となり、より
効率の良い面放電型プラズマディスプレイパネルを実現
することができる。即ち、第１表示電極の金属電極に対
面する第１領域内の第２隔壁と当該金属電極に対面する
誘電体の部分との間における放電空間では、（ａ）第１
及び第２隔壁の高さが同一であり、且つ第１及び第２隔
壁の各頂上部が誘電体の表面と当接しているときには、
隣りの放電空間へ向けて伝搬してきた励起原子等の全て
が第２隔壁に衝突してそのエネルギーを損失することと
なるので、当該放電空間で生じうる輝度に寄与しない放
電を完全に不発生とすることができ、（ｂ）他方、
（ａ）でないときには、隣りの放電空間へ向けて伝搬し
てきた励起原子等の多くが第２隔壁に衝突しうることと
なるので、上記の不要な放電の発生を従来技術よりもよ
り低減することが可能となるのである。

【０２６８】任意の放電空間同士の内で第２隔壁の
第３側面部によって隔離される側の放電空間に関して、
第３側面部およびその上に付着された蛍光体が当該放電
空間の内側へより一層に張り出した状態が実現されてい
る結果、第１表示電極の帯状透明導電膜の内で金属電極
が形成されていない部分に対面する、第２基板の対向面
の部分及び誘電体の部分間における放電空間で生じた紫
外線が、より早く第３側面部上の蛍光体及び当該第２隔
壁に到達することができることとなり、１）紫外線の損
失を低減することによる高輝度化、２）発光漏れの抑
止、３）放電漏れの抑止という効果をより一層発揮させ
ることが出来る。

【０２６９】請求項１２に係る発明によれば、第２隔壁
の前記第４側面部もまた、第２表示電極の帯状透明導電
膜の内で金属電極が形成されていない部分に対面する、
第２基板の対向面内の第４領域内にあるので、更に次の
効果、を奏する。

【０２７０】任意の放電空間同士の内で第２隔壁の
第４側面部によって隔離される隣りの放電空間に関して
も、第２表示電極の金属電極に於ける放電を抑えて消費
電力の低減化を促進することが可能となり、より効率の
良い面放電型プラズマディスプレイパネルを実現するこ
とができる。即ち、第２表示電極の金属電極に対面する
第１領域内の第２隔壁と当該金属電極に対面する誘電体
の部分との間における放電空間では、（ａ）第１及び第
２隔壁の高さが同一であり、且つ第１及び第２隔壁の各
頂上部が誘電体の表面と当接しているときには、他方の
放電空間へ向けて伝搬してきた励起原子等の全てが第２
隔壁に衝突してそのエネルギーを損失することとなるの
で、当該放電空間（隣りの放電空間）で生じうる輝度に
寄与しない放電を完全に不発生とすることができ、
（ｂ）他方、（ａ）でないときには、他方の放電空間へ
向けて伝搬してきた励起原子等の多くが第２隔壁に衝突
しうることとなるので、上記の不要な放電の発生を従来
技術よりも、より低減することが可能となるのである。

【０２７１】任意の放電空間同士の内で第２隔壁の
第４側面部によって隔離される隣りの放電空間に関して
も、第４側面部およびその上に付着された蛍光体が当該
放電空間の内側へより一層に張り出した状態が実現され
ているので、第２表示電極の帯状透明導電膜の内で金属
電極が形成されていない部分に対面する、第２基板の対
向面の部分及び誘電体の部分間における放電空間で生じ
た紫外線が、より早く第４側面部上の蛍光体及び当該第
２隔壁に到達することができることとなり、１）紫外線
の損失を低減することによる高輝度化、２）発光漏れの
抑止、３）放電漏れの抑止という効果を更により一層発
揮させることが出来る。

【０２７２】請求項１３に係る発明によれば、第ｊ番目
の単位発光領域と第（ｊ＋１）番目の単位発光領域との
間に他の第２隔壁を更に設けているので、当該他の第２
隔壁によって隔離される第ｊ番目の単位発光領域と第
（ｊ＋１）番目の単位発光領域とについても、第２隔壁
を設けたことにより任意の単位発光領域同士で得られる
効果、即ち、放電漏れの低減化または完全防止という効
果が同様に得られる。

【０２７３】請求項１４に係る発明によれば、第ｊ番目
の単位発光領域と第（ｊ＋１）番目の単位発光領域との
間に設けられた他の第２隔壁の上にも蛍光体が付着して
いるので、当該他の第２隔壁で隔離される第ｊ番目の単
位発光領域と第（ｊ＋１）番目の単位発光領域とについ
ても、第２隔壁及びその上に付着された蛍光体を共に設
けたことにより任意の単位発光領域同士で得られる全て
の効果が同様に得られる。

【０２７４】請求項１５に係る発明によれば、任意の画
素の単位発光領域について、請求項１４に係る発明と同
様の効果が得られる。

【０２７５】請求項１６に係る発明によれば、隣接する
画素の同色の単位発光領域同士を含む領域に対して、共
通の第１表示電極を設け、且つ隣合う第１隔壁と直交す
る２つの第２隔壁を設けているので、次の効果〜を
奏する。

【０２７６】２つの画素が第１表示電極を共有でき
る点において高画素密度化、従って高精細化に寄与する
ことが出来る。

【０２７７】隣接する画素の同色の単位発光領域同
士を含む領域に対して請求項１４に係る発明と同様の効
果を奏することが可能となる。

【０２７８】２つの画素が第１表示電極を共有でき
る点より、当該共有の第１表示電極が無い場合の問題
点、即ち、隣接する画素の同色の単位発光領域同士のそ
れぞれの隣接する第１、第２表示電極間で生じ得る放電
による影響を無くすことが出来る。

【０２７９】第２方向に関して２画素毎に第２隔壁
を設ければよいので、第１及び第２基板の貼り合わせ工
程時に於ける位置合わせマージンをより大きくすること
ができる。

【０２８０】請求項１７に係る発明によれば、第ｉ番目
の単位発光領域と前記第（ｉ＋１）番目の単位発光領域
との間の前記第２基板上に更に別の第２隔壁を設けてい
るので、請求項１７に係る発明の効果、、に加え
て、更に、共通の第１表示電極と、更に隣接する他の
画素に於ける第２表示電極との間で生じ得る放電もれを
完全にまたは十分に低減することが出来る。

【０２８１】請求項１８に係る発明によれば、請求項１
１又は請求項１２及び請求項１５ないし請求項１７の何
れかに記載の面放電型プラズマディスプレイパネルにお
いて得られる効果を奏することが可能な面放電型プラズ
マディスプレイ装置を実現することが出来る。

【０２８２】請求項１９に係る発明によれば、２つの隣
合う第１隔壁と、２つの隣合う第２隔壁とで囲まれた升
形状の放電空間毎に蛍光体が付着された第２基板を実現
することができる。従って、１）紫外線の損失を低減す
ることによる高輝度可、２）発光漏れの抑止、３）放電
漏れの抑止という効果を全て同時に奏する面放電型プラ
ズマディスプレイパネルを実現することも可能となる。

【０２８３】請求項２０に係る発明によれば、網目状パ
ターンを備えるマスクに基づいて、容易に複数の第１隔
壁と複数の第２隔壁とを同時に形成することができる。

【０２８４】請求項２１に係る発明によれば、従来用い
られてきたサンドブラスト法をそのまま踏襲して、同一
高さの第１隔壁と第２隔壁とを同時に形成することがで
きる。

【０２８５】請求項２２に係る発明によれば、従来用い
られてきたサンドブラスト法をそのまま踏襲しつつ、第
１隔壁とそれよりも低い第２隔壁とを同時に形成するこ
とができる。

【０２８６】請求項２３及び２４に係る発明によれば、
隔壁エッジ部が丸くならず、且つ隔壁の高さ寸法の変動
も少ない、良好な第１隔壁と第２隔壁とを、高精度で以
て同時に形成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に係る面放電型プラズマディスプレ
イ装置の全体構成を示すブロック図である。

【図２】この発明に係る面放電型プラズマディスプレ
イパネルの配線構成を模式的に示す平面図である。

【図３】この発明に係る面放電型プラズマディスプレ
イ装置に於ける各駆動信号のタイミングチャートであ
る。

【図４】この発明の実施の形態１に係る面放電型プラ
ズマディスプレイパネルの構造を模式的に示す斜視図で
ある。

【図５】この発明の実施の形態１に係る面放電型プラ
ズマディスプレイパネルに於ける、各電極と各隔壁との
配置関係及びその効果を模式的に示す透視平面図であ
る。

【図６】従来技術に係る面放電型プラズマディスプレ
イパネルに於ける、各電極と隔壁との配置関係を模式的
に示す透視平面図である。

【図７】この発明の実施の形態１に係る面放電型プラ
ズマディスプレイパネルに於ける、各電極と第２隔壁と
の配置関係及びその効果を模式的に示す縦断面図であ
る。

【図８】この発明の実施の形態２に係る面放電型プラ
ズマディスプレイパネルの構造を模式的に示す斜視図で
ある。

【図９】この発明の実施の形態２に係る面放電型プラ
ズマディスプレイパネルに於ける、流路とその断面とを
拡大して模式的に示す斜視図である。

【図１０】この発明の実施の形態２に係る面放電型プ
ラズマディスプレイパネルに於ける、形状因子と輝度と
の関係を、試験結果に基づき、示す図である。

【図１１】両電極間のギャップと印加電圧とによる、
放電もれへの影響を模式的に示す図である。

【図１２】両隔壁の高さ比と印加電圧とによる、放電
もれへの影響を模式的に示す図である。

【図１３】この発明の実施の形態２に係る面放電型プ
ラズマディスプレイパネルに於ける、各電極と第２隔壁
との配置関係及びその効果を模式的に示す縦断面図であ
る。

【図１４】この発明の実施の形態２に係る面放電型プ
ラズマディスプレイパネルに於ける、流路断面の一例を
模式的に示す縦断面図である。

【図１５】この発明の実施の形態２に係る面放電型プ
ラズマディスプレイパネルに於ける、流路断面の一例を
模式的に示す縦断面図である。

【図１６】この発明の実施の形態２に係る面放電型プ
ラズマディスプレイパネルに於ける、流路断面の一例を
模式的に示す縦断面図である。

【図１７】この発明の実施の形態２に係る面放電型プ
ラズマディスプレイパネルに於ける、流路断面の一例を
模式的に示す縦断面図である。

【図１８】この発明の実施の形態２に係る面放電型プ
ラズマディスプレイパネルに於ける、流路断面の一例を
模式的に示す縦断面図である。

【図１９】この発明の実施の形態２に係る面放電型プ
ラズマディスプレイパネルに於ける、流路断面の一例を
模式的に示す縦断面図である。

【図２０】この発明の実施の形態２に係る面放電型プ
ラズマディスプレイパネルに於ける、流路断面の一例を
模式的に示す縦断面図である。

【図２１】この発明の実施の形態２に係る面放電型プ
ラズマディスプレイパネルに於ける、放電形状因子と実
際に必要なプライミング電圧との関係を示す図である。

【図２２】この発明の実施の形態３に係る面放電型プ
ラズマディスプレイパネルに於ける、各電極と第２隔壁
との配置関係及びその効果を模式的に示す縦断面図であ
る。

【図２３】この発明の実施の形態１ないし３の変形例
に係る面放電型プラズマディスプレイパネルに於ける、
各電極と各隔壁との配置関係を模式的に示す透視平面図
である。

【図２４】この発明の実施の形態１ないし３の他の変
形例に係る面放電型プラズマディスプレイパネルに於け
る、各電極と各隔壁との配置関係を模式的に示す透視平
面図である。

【図２５】この発明の実施の形態１ないし３の更なる
他の変形例に係る面放電型プラズマディスプレイパネル
に於ける、各電極と各隔壁との配置関係を模式的に示す
透視平面図である。

【図２６】この発明の実施の形態１ないし３の更なる
他の変形例に係る面放電型プラズマディスプレイパネル
に於ける、各電極と各隔壁との配置関係を模式的に示す
透視平面図である。

【図２７】図２６に示す変形例に係る面放電型プラズ
マディスプレイパネルに於ける、各電極と第２隔壁との
配置関係及びその効果を模式的に示す縦断面図である。

【図２８】図２６に示す変形例に係る面放電型プラズ
マディスプレイパネルに於ける、各電極と第２隔壁との
配置関係及びその効果を模式的に示す縦断面図である。

【図２９】図２６に示す変形例に係る面放電型プラズ
マディスプレイパネルに於ける、各電極と第２隔壁との
配置関係及びその効果を模式的に示す縦断面図である。

【図３０】図２７ないし図２９に示す変形例の更なる
変形例に係る面放電型プラズマディスプレイパネルに於
ける、各電極と第２隔壁との配置関係及びその効果を模
式的に示す縦断面図である。

【図３１】図２７ないし図２９に示す変形例の更なる
変形例に係る面放電型プラズマディスプレイパネルに於
ける、各電極と第２隔壁との配置関係及びその効果を模
式的に示す縦断面図である。

【図３２】図２７ないし図２９に示す変形例の更なる
変形例に係る面放電型プラズマディスプレイパネルに於
ける、各電極と第２隔壁との配置関係及びその効果を模
式的に示す縦断面図である。

【図３３】この発明の実施の形態１の更なる変形例に
係る面放電型プラズマディスプレイパネルの構造を示す
斜視図である。

【図３４】この発明の実施の形態１ないし３の変形例
その９の一例を示す透視平面図である。

【図３５】この発明の実施の形態４ないし７に係る面
放電型プラズマディスプレイパネルの製造方法に共通す
る製造工程を示すフローチャートである。

【図３６】この発明の実施の形態４に係る両隔壁の製
造工程を示すフローチャートである。

【図３７】この発明の実施の形態４に係る両隔壁の製
造工程を示す縦断面図である。

【図３８】この発明の実施の形態４に係る両隔壁の製
造工程を示す縦断面図である。

【図３９】この発明の実施の形態４に係る両隔壁の製
造工程を示す縦断面図である。

【図４０】この発明の実施の形態４に係る両隔壁の製
造工程を示す縦断面図である。

【図４１】この発明の実施の形態４に係る両隔壁の製
造工程を示す縦断面図である。

【図４２】この発明の実施の形態４に係る両隔壁の製
造工程を示す縦断面図である。

【図４３】この発明の実施の形態５に係る両隔壁の製
造工程を示す縦断面図である。

【図４４】この発明の実施の形態５に係る両隔壁の製
造工程を示す縦断面図である。

【図４５】この発明の実施の形態５に係る両隔壁の製
造工程を示す縦断面図である。

【図４６】この発明の実施の形態５に係る両隔壁の製
造工程を示す縦断面図である。

【図４７】この発明の実施の形態６に係る両隔壁の製
造工程を示すフローチャートである。

【図４８】この発明の実施の形態６に係る両隔壁の製
造工程を示す縦断面図である。

【図４９】この発明の実施の形態６に係る両隔壁の製
造工程を示す縦断面図である。

【図５０】この発明の実施の形態６に係る両隔壁の製
造工程を示す縦断面図である。

【図５１】この発明の実施の形態６に係る両隔壁の製
造工程を示す縦断面図である。

【図５３】この発明の実施の形態６に係る両隔壁の製
造工程を示す縦断面図である。

【図５４】この発明の実施の形態７に係る両隔壁の製
造工程を示す縦断面図である。

【図５５】この発明の実施の形態７に係る両隔壁の製
造工程を示す縦断面図である。

【図５６】この発明の実施の形態７に係る両隔壁の製
造工程を示す縦断面図である。

【図５７】この発明の実施の形態７に係る両隔壁の製
造工程を示す縦断面図である。

【図５８】この発明の実施の形態７に係る両隔壁の製
造工程を示す縦断面図である。

【図５９】この発明の実施の形態７に係る両隔壁の製
造工程を示す縦断面図である。

【図６０】従来技術に係る面放電型プラズマディスプ
レイ装置の全体構成を示すブロック図である。

【図６１】従来技術に係る面放電型プラズマディスプ
レイパネルの構造を模式的に示す斜視図である。

【図６２】紫外線の自己吸収とその放射とを模式的に
示す図である。

【図６３】従来技術に係る面放電型プラズマディスプ
レイパネルに於ける、各電極と各隔壁との配置関係を模
式的に示す透視平面図である。

【図６４】従来技術に於ける問題点を模式的に示す透
視平面図である。

【図６５】従来技術に於ける問題点を模式的に示す透
視平面図である。

【符号の説明】

１１第１基板、２１第２基板、４１透明電極、４
２金属電極、ＸＥＸ電極、ＹＥＹ電極、ＥＵ単位
発光領域、ＥＧ画素、２９第１隔壁、５０第２隔
壁、２８蛍光体、２２Ａ電極。

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１０年４月３日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】図面の簡単な説明

【補正方法】変更

【補正内容】

【図面の簡単な説明】

【図５２】この発明の実施の形態６に係る両隔壁の製
造工程を示す縦断面図である。

【符号の説明】１１第１基板、２１第２基板、４１透明電極、４
２金属電極、ＸＥＸ電極、ＹＥＹ電極、ＥＵ単位
発光領域、ＥＧ画素、２９第１隔壁、５０第２隔
壁、２８蛍光体、２２Ａ電極。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者安江孝夫東京都千代田区丸の内二丁目２番３号三菱電機株式会社内 (72)発明者内海豊博東京都千代田区丸の内二丁目２番３号三菱電機株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】第１基板と、前記第１基板と平行に対面し、前記第１基板との間の空
間で以て、放電ガスによって満たされる複数の放電空間
を形成する第２基板と、前記複数の放電空間に接するように前記第１基板の前記
第２基板との対向面上に配設されており、前記複数の放
電空間の各々に対応して第１及び第２壁電荷を蓄積しう
る、誘電体と、前記第２基板の前記第１基板との対向面上に互いに平行
に配設されており、可視光領域の光を反射し得ると共
に、それぞれは第１側面部と、前記第１側面部に対向す
る第２側面部と、前記第１及び第２側面部に連続する第
１頂上部とを備える複数の第１隔壁と、前記第２基板の前記対向面上に、前記複数の第１隔壁が
配設される方向と交差する方向に配設された第２隔壁
と、前記複数の第１隔壁の内で互いに隣接する第１隔壁によ
り挟まれた前記第２基板の前記対向面上と、前記隣接す
る第１隔壁の内の一方における前記第１側面部上及び他
方における前記第２側面部上とに付着され、前記第１及
び第２壁電荷間における放電により生ずる紫外線に基づ
き可視光を発生する蛍光体とを備えたことを特徴とす
る、面放電型プラズマディスプレイパネル。
【請求項２】請求項１記載の面放電型プラズマディス
プレイパネルであって、前記第２隔壁は前記可視光領域の光を反射し得ることを
特徴とする、面放電型プラズマディスプレイパネル。
【請求項３】請求項２記載の面放電型プラズマディス
プレイパネルであって、前記第２隔壁は、第３側面部と、前記第３側面部に対向する第４側面部と、前記第３及び第４側面部に連続する第２頂上部とを備
え、前記蛍光体は、更に前記第２隔壁の前記第３及び第４側
面部上にも付着されていることを特徴とする、面放電型
プラズマディスプレイパネル。
【請求項４】請求項３記載の面放電型プラズマディス
プレイパネルであって、前記複数の第１隔壁における前記第１頂上部の各々は前
記誘電体と当接しており、前記第２基板から前記複数の第１隔壁における前記第１
頂上部に至る第１高さと、前記第２基板から前記第２隔
壁の前記第２頂上部に至る第２高さとは、略等しいこと
を特徴とする、面放電型プラズマディスプレイパネル。
【請求項５】請求項３記載の面放電型プラズマディス
プレイパネルであって、前記複数の第１隔壁における前記第１頂上部の各々は前
記誘電体と当接しており、前記第２基板から前記第２隔壁における前記第２頂上部
に至る第２高さは、前記第２基板から前記第１隔壁にお
ける前記第１頂上部に至る第１高さよりも低いことを特
徴とする、面放電型プラズマディスプレイパネル。
【請求項６】請求項５記載の面放電型プラズマディス
プレイパネルであって、前記蛍光体は、更に前記第２隔壁の前記第２頂上部上に
も付着されていることを特徴とする、面放電型プラズマ
ディスプレイパネル。
【請求項７】請求項５記載の面放電型プラズマディス
プレイパネルであって、前記第２高さは、前記隣接する第１隔壁と、前記第２隔壁の前記第２頂上
部と、前記誘電体とにより規定される気体の流路に対応
する排気コンダクタンスと、前記第１基板から外部へ放
射される表示光の輝度との相関関係に基づき、設定され
ていることを特徴とする、面放電型プラズマディスプレ
イパネル。
【請求項８】請求項７記載の面放電型プラズマディス
プレイパネルであって、前記第１高さ及び前記第２高さをそれぞれ記号Ｈmain、
Ｈsubと表記し、前記第２隔壁の幅を記号Ｌと表記し、前記流路に内接する四角形の内で最大面積の四角形に関
して、前記第２頂上部側の第１側辺の長さを記号ｂと表
記し、前記第１側辺に直交する第２側辺の長さを記号ａ
と表記すると共に、前記第２側辺長ａを（Ｈmain−Ｈsub）として定義し、前記排気コンダクタンスを決定する形状因子βを、 β＝（ａ・ｂ）²／（（ａ＋ｂ）・Ｌ）として定義すると、前記形状因子βは、１．５Ｅ−４ｍｍ²≦β＜（Ｈmain・ｂ）²／（（Ｈmain
＋ｂ）・Ｌ）で与えられる関係を満足することを特徴とする、面放電
型プラズマディスプレイパネル。
【請求項９】請求項５記載の面放電型プラズマディス
プレイパネルであって、前記第２高さは、前記複数の放電空間の全てがプライミング放電を起こし
得る最小のプライミング電圧に基づき、設定されている
ことを特徴とする、面放電型プラズマディスプレイパネ
ル。
【請求項１０】請求項９記載の面放電型プラズマディ
スプレイパネルであって、前記第１高さ及び前記第２高さをそれぞれ記号Ｈmain、
Ｈsubと表記し、前記第２隔壁の幅を記号Ｌと表記し、高低差（Ｈmain−Ｈsub）を記号ａとして表記し、前記任意の第１隔壁の内の前記一方の前記第１側面部と
前記他方の前記第２側面部との間隔を記号ｂとして表記
し、前記放電ガスの圧力を記号ｐとして表記し、放電形状因子Ｋを、Ｋ＝（ａ・ｂ）／（ｐ・Ｌ）として定義すると、前記放電形状因子Ｋは０．０３μｍ／Ｔｏｒｒ以上であ
ることを特徴とする、面放電型プラズマディスプレイパ
ネル。
【請求項１１】請求項３記載の面放電型プラズマディ
スプレイパネルであって、その各々が、前記第１基板の前記対向面上に第１方向に
沿って互いに平行に延長形成された第１及び第２表示電
極より成り、かつ、各表示ラインを構成する、前記誘電
体で被覆される複数の電極対とを更に備え、前記第２基板は、その各々が、前記任意の第１隔壁間に位置するように、
前記第１方向に直交する第２方向に沿って延長配設され
た、複数のアドレス電極を備え、前記複数の放電空間の各々は、前記複数の電極対の内で
対応する一つの電極対と、前記一つの電極対にあたかも
直交するように配設されている、前記複数のアドレス電
極の内で対応する一つのアドレス電極とによって規定さ
れており、前記第１及び第２表示電極は共に、帯状透明導電膜と、前記帯状透明導電膜の前記複数の放電空間との対向面で
あって、隣の表示ライン側の領域上に設けられた金属電
極とを備えており、前記第２隔壁は前記第１方向に沿って延長形成されてお
り、前記複数の第１隔壁は前記第２方向に沿って延長形成さ
れており、前記第２隔壁は、前記第２基板の前記対向面上における、前記複数の放電空間の内で前記第２隔壁によって隣りの
放電空間と隔離される放電空間に対応する前記第１表示
電極を構成する前記金属電極と対面する第１領域内に設
けられており、かつ、前記第２隔壁の前記第３側面部が、前記第２基板の前記対向面上における、前記第１表示電極を構成する前記金属電極が形成された
部分を除く、前記帯状透明導電膜の部分に対面する第２
領域内にあることを特徴とする、面放電型プラズマディ
スプレイパネル。
【請求項１２】請求項１１記載の面放電型プラズマデ
ィスプレイパネルであって、前記第２隔壁は、更に、前記第２基板の前記対向面上における、前記隣りの放電空間に対応する前記第２表示電極を構成
する前記金属電極と対面する第３領域内に設けられてお
り、かつ、前記第２隔壁の前記第４側面部が、前記第２基板の前記対向面上における、前記第２表示電極を構成する前記金属電極が形成された
部分を除く、前記帯状透明導電膜の部分に対面する第４
領域内にあることを特徴とする、面放電型プラズマディ
スプレイパネル。
【請求項１３】請求項３記載の面放電型プラズマディ
スプレイパネルであって、前記複数の放電空間の内で、前記隣接する第１隔壁によ
り挟まれ且つ前記第２隔壁によって互いに隔離される、
任意の放電空間の一方に対応付けられる発光領域を第ｉ
番目の単位発光領域と定義するときに、対向し合う前記
第１及び第２側面部に沿って当該第ｉ番目の単位発光領
域から数えて第ｊ番目の放電空間に対応付けられる第ｊ
番目の単位発光領域と、第（ｊ＋１）番目の放電空間に
対応付けられる第（ｊ＋１）番目の単位発光領域との間
における、前記第２隔壁に対して平行に延長形成された
他の第２隔壁を、前記第２基板の前記対向面上に更に備
えることを特徴とする、面放電型プラズマディスプレイ
パネル。
【請求項１４】請求項１３記載の面放電型プラズマデ
ィスプレイパネルであって、前記他の第２隔壁の両側面部上にも、前記蛍光体が更に
付着されていることを特徴とする、面放電型プラズマデ
ィスプレイパネル。
【請求項１５】請求項３記載の面放電型プラズマディ
スプレイパネルであって、その各々が、表示ラインを構成するように、前記第１基
板の前記対向面上に第１方向に沿って互いに平行に延長
形成され、前記誘電体によって被覆された第１及び第２
表示電極を含む、複数の電極対とを更に備え、前記第２基板は、その各々が、前記隣接する第１隔壁間に位置するよう
に、前記第１方向に直交する第２方向に沿って延長配設
された、複数のアドレス電極を備え、前記複数の放電空間が、各々、前記複数の電極対と前記
複数のアドレス電極との交差部分によって規定されてお
り、前記第２隔壁及び前記他の第２隔壁は共に前記第１方向
に沿って延長形成されると共に、前記複数の第１隔壁は前記第２方向に沿って延長形成さ
れており、前記複数の放電空間の各々に対応して前記第２隔壁が設
けられていることを特徴とする、面放電型プラズマディ
スプレイパネル。
【請求項１６】請求項１３記載の面放電型プラズマデ
ィスプレイパネルであって、前記第２基板は、前記隣接する第１隔壁間に位置するよ
うに第２方向に沿って延長配設された複数のアドレス電
極を備えており、前記第ｊ番目の単位発光領域は前記第（ｉ＋１）番目の
単位発光領域に該当し、前記第ｉ目及び前記第（ｉ＋１）番目の単位発光領域
は、（ａ）前記第ｉ番目の単位発光領域と前記第（ｉ
＋１）番目の単位発光領域との間を跨がるように、前記
第ｉ基板の前記対向面上に前記第２方向と直交する第１
方向に沿って延長形成され且つ前記誘電体で被覆され
た、前記第ｉ番目及び第（ｉ＋１）番目の単位発光領域
に共通の第１表示電極と、（ｂ）前記第１表示電極と
対を成して一方の表示ラインを形成し、前記第１基板の
前記対向面上に前記第１方向に沿って、前記第ｉ番目の
単位発光領域を横切るように延長形成され、且つ前記誘
電体で被覆された一方の第２表示電極と、（ｃ）前記
第１表示電極と対を成して他方の表示ラインを形成し、
前記第１基板の前記対向面上に前記第１方向に沿って、
前記第（ｉ＋１）番目の単位発光領域を横切るように延
長形成され、且つ前記誘電体で被覆された他方の第２表
示電極と、（ｄ）前記複数のアドレス電極とによっ
て、規定されており、前記第２隔壁及び前記他の第２隔壁は共に前記第１方向
に沿って延長形成されており、前記複数の第１隔壁は前記第２方向に沿って延長形成さ
れていることを特徴とする、面放電型プラズマディスプ
レイパネル。
【請求項１７】請求項１６記載の面放電型プラズマデ
ィスプレイパネルであって、前記第ｉ番目の単位発光領域と前記第（ｉ＋１）番目の
単位発光領域との間に、更に別の第２隔壁が設けられ、前記別の第２隔壁の両側面部上にも、前記蛍光体が更に
付着されていることを特徴とする、面放電型プラズマデ
ィスプレイパネル。
【請求項１８】請求項１１又は請求項１２及び請求項
１５ないし請求項１７の何れかに記載の前記面放電型プ
ラズマディスプレイパネルと、前記第１及び第２表示電極並びに前記複数のアドレス電
極のそれぞれに印加すべき駆動信号を生成・出力する駆
動制御部とを備えることを特徴とする、面放電型プラズ
マディスプレイ装置。
【請求項１９】（ａ）第１基板との間に、放電ガス
で満たされる複数の放電空間を定める基板であり、且
つ、第２方向に沿って延長形成された複数のアドレス電
極を備える第２基板を準備する工程と、（ｂ）互いに
隣り合うもの同士の間に前記複数のアドレス電極の各々
が位置するように、前記第２方向に互いに平行に第１間
隔を隔てて延長形成された複数の第１隔壁と、前記複数
の第１隔壁と直交するように、前記第２方向に直交する
第１方向に沿って互いに平行に第２間隔を隔てて延長形
成された複数の第２隔壁とを、前記第２基板上に形成す
る工程と、（ｃ）前記複数の第１隔壁の内で互いに隣
接する第１隔壁により挟まれた前記第２基板の領域上
と、前記隣接する第１隔壁の内の一方における第１側面
部上と、当該第１側面部に対面する他方における第２側
面部上とに、蛍光体を付着させる工程とを含むことを特
徴とする、面放電型プラズマディスプレイパネルの製造
方法。
【請求項２０】請求項１９記載の面放電型プラズマデ
ィスプレイパネルの製造方法であって、前記工程（ａ）は、（ａ−１）前記第１及び第２間隔
に基づき定められた網目状パターンを備えるマスクを生
成するための部材を準備する工程を含み、前記工程（ｂ）は、前記部材より前記マスクを生成し、
前記マスクに基づき前記複数の第１隔壁と前記複数の第
２隔壁とを同時に形成する工程であることを特徴とす
る、面放電型プラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２１】請求項２０記載の面放電型プラズマデ
ィスプレイパネルの製造方法であって、前記工程（ａ−１）は、（ａ−１−２）ガラスペース
トを準備する工程と、（ａ−１−３）所定の感光性フ
ィルムを前記部材として準備する工程とを更に含み、前記工程（ｂ）は、（ｂ−１）所定の厚みの前記ガラ
スペーストを前記第２基板上に全面的に形成する工程
と、（ｂ−２）前記ガラスペーストの表面上に前記感
光性フィルムを貼付しリソグラフィ法によって前記網目
状パターンを備える乾燥フィルムレジストを前記マスク
として形成し、前記乾燥フィルムレジストの網目をなす
開孔部を介して露出する前記ガラスペーストの露出表面
より前記ガラスペーストをサンドブラスト法により穿設
し、穿設孔が前記第２基板に達するまで前記サンドブラ
スト法による穿設を続行する工程とを含むことを特徴と
する、面放電型プラズマディスプレイパネルの製造方
法。
【請求項２２】請求項２１記載の面放電型プラズマデ
ィスプレイパネルの製造方法であって、前記乾燥フィルムレジストは、前記第２方向に延長形成された、第１マスク幅を有する
第１マスク部と、前記第１マスク部に直交するように前記第１方向に延長
形成された、第２マスク幅を有する第２マスク部とを備
え、（前記第１マスク幅）≧（前記第２マスク幅）の関係が
成立すると共に、前記第１及び前記第２マスク幅はそれぞれ前記第１及び
前記第２間隔に基づき設定されていることを特徴とす
る、面放電型プラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２３】請求項２０記載の面放電型プラズマデ
ィスプレイパネルの製造方法であって、前記工程（ａ）は、（ａ−２）ガラスペーストを準備
する工程と、（ａ−３）所定の厚みの感光性フィルム
を前記部材として準備する工程とを更に含み、前記工程（ｂ）は、（ｂ−１）前記感光性フィルムを
前記第２基板上に全面的に貼付する工程と、（ｂ−２）
前記感光性フィルムの表面上に、前記第１間隔及び前
記第２間隔に基づき定められた前記網目状パターンを有
する第１マスクを配置し、前記第１マスクを介して所定
の光を前記感光性フィルムに照射して前記感光性フィル
ムを露光することで、前記網目状パターンを前記感光性
フィルムに転写し、その後、前記感光性フィルムを現像
する工程と、（ｂ−３）転写後の前記感光性フィルム
を前記マスクとして、前記ガラスペーストを前記第２基
板上に塗布して前記ガラスペーストを乾燥させ、その
後、前記感光性フィルムを剥離する工程とを含むことを
特徴とする、面放電型プラズマディスプレイパネルの製
造方法。
【請求項２４】請求項２０記載の面放電型プラズマデ
ィスプレイパネルの製造方法であって、前記工程（ａ−１）は、それぞれが前記第１及び第２間隔に対応したマスク幅を
有する第１マスクと、前記第１方向に延びており、前記
第１間隔の幅を有する複数の開孔が前記第１隔壁の幅に
相当する間隔で以て配列された第２マスクとを準備する
工程を備え、前記工程（ａ）は、（ａ−２）ガラスペーストを準備
する工程と、（ａ−３）第１厚みの第１感光性フィル
ムと第２厚みの第２感光性フィルムとを前記部材として
準備する工程とを更に含み、前記工程（ｂ）は、（ｂ−１）前記第１感光性フィル
ムを前記第２基板上に全面的に貼付する工程と、（ｂ−
２）前記第１感光性フィルムの表面上に前記第１マス
クを配置し、前記第１マスクを介して所定の光を前記第
１感光性フィルムに照射して前記第１感光性フィルムを
露光することで、前記網目状パターンに相当する前記第
１マスクのパターンを前記第１感光性フィルムに転写
し、その後、前記第１感光性フィルムを現像する工程
と、（ｂ−３）現像後の前記第１感光性フィルムの表
面上に前記第２感光性フィルムを貼付する工程と、（ｂ
−４）前記第２感光性フィルムの表面上に前記第２マ
スクを配置し、前記第２マスクを介して前記所定の光を
前記第２感光性フィルムに照射して前記第２感光性フィ
ルムを露光することで、前記第２マスクのパターンを前
記第２感光性フィルムに転写し、その後、前記第２感光
性フィルムを現像する工程と、（ｂ−５）前記工程
（ｂ−４）後に残留する前記第１及び第２感光性フィル
ムを前記マスクとして、前記ガラスペーストを前記第２
基板上に塗布して前記ガラスペーストを乾燥させ、その
後、前記第１及び第２感光性フィルムを剥離する工程と
を含み、前記第１厚みと前記第２厚みとの和は前記第１隔壁の前
記第２基板からの高さに相当することを特徴とする、面
放電型プラズマディスプレイパネルの製造方法。