JPH11176199A - 直接アクセスモードテストを使用する半導体メモリ装置及びテスト方法 - Google Patents
直接アクセスモードテストを使用する半導体メモリ装置及びテスト方法Info
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Abstract
及び該装置のテスト方法を提供する。 【解決手段】 直接アクセステストモードに入ると、第
i番目のパイプラインブロック12より直列に順次出力
されるデータが第i+1番目のパイプラインブロック2
2に入力されるよう、第i番目のパイプラインブロック
の出力線を第i+1番目のパイプラインブロックの入力
線に直列に接続するテストモード制御部30とを備え
る。これにより、1つのデータ出力ピンによりN個のパ
イプラインブロックにラッチされたデータが出力され、
直接アクセスモードテストにおいて使用されるデータ出
力ピンの個数が1/N個に減少される。
Description
係り、特に、直接アクセスモードテストによりメモリセ
ルをテストする半導体メモリ装置及び該装置のテスト方
法に関する。
測定システムを用いてDC、AC及び機能テストを受けるこ
とになっている。中でも、機能テストは、メモリチップ
内のセル及び回路が正常に動作するかどうかを判断する
ためのものであって、メモリに所定のデータを書き込ん
だ後に、書き込まれたデータを読出し、読出されたデー
タをメモリに書き込んだデータと比較する。
DRAM(Dynamic Random Access Memory)とは異なって、
外部信号を入力する入出力部と、前記入出力部より出力
される指令によりこれをデコーディングするインタフェ
ースロジック部、及びDRAMコア部から構成される。この
高速メモリ装置におけるDRAMコア部の機能をテストする
ためには、主に直接アクセスモードテスト(Direct Acc
ess Test Mode)が使用されている。直接アクセスモー
ドテストとは、低周波テスト装備より出力されるテスト
信号を、インタフェースロジックをバイパス(bypass)
させてメモリセルに直接接続させることにより、メモリ
セルをテストする方法である。このように、インタフェ
ースロジックを介することなく、最小限に必要な信号の
み入力してメモリセルをテストすることから、直接アク
セスモードによりテストを行なうとテストの速度が速く
なる。
クセスモードテスト方法では、1つのデータ出力ピン
に、テスト装備に設けてある1つのテストピンを割当て
ることになっている。このため、テストピンの本数が制
限されているテスト装備においては、一回にテストでき
る高速メモリ装置の個数が限られてしまう。
ト装備において、x9、すなわち、データ出力ピンの個数
が9本の高速メモリ装置をテストしたいとき、16個の高
速メモリ装置を一回にテストでき、x16の場合は8個の高
速メモリ装置を一回にテストできる。このように、デー
タ出力ピンの個数が多くなるにつれて、一回にテストで
きる高速メモリ装置の個数が減り、多数のメモリ装置を
テストしたいときには、これにかかる時間が長くなって
しまう。。
直接アクセスモードテストにおいて、データの出力され
るピンの本数が減少された半導体メモリ装置を提供する
ことにある。
は、一回にテストされるメモリ装置の個数が増加できる
半導体メモリ装置のテスト方法を提供することにある。
るための本発明に係る半導体メモリ装置は、N(自然
数)個のメモリブロックと、前記各メモリブロックより
出力される複数個のデータを並列に入力して、順次直列
に出力するN個のパイプラインブロックと、前記各パイ
プラインブロックより出力されるデータをデータ出力ピ
ンに伝送するN個の出力ドライバと、メモリ装置が直接
アクセステストモードで動作する場合に、第i(Nより
小さい整数)番目のパイプラインブロックより出力され
るデータが、テストクロックに同期して第i+1番目の
パイプラインブロックに入力されるように、第i番目の
パイプラインブロックの出力線を第i+1番目のパイプ
ラインブロックの入力線に接続するN個のテストモード
制御手段とを備えることを特徴とする。
前記メモリブロックより出力されるデータをラッチして
出力する、直列につながれた複数個のラッチ部からなっ
ても、前記メモリブロックより出力されるデータをラッ
チして出力する複数個のラッチ部であって、奇数番目及
び偶数番目のラッチ部がそれぞれ並列に連結されるラッ
チ部と、前記奇数番目及び偶数番目のラッチ部より出力
されるデータをそれぞれ入力して、その一方を選択的に
出力する選択手段とからなってもよい。
る半導体メモリ装置のテスト方法は、N(自然数)個の
メモリブロック及び各メモリブロックより出力される複
数個のデータを入力して順次出力するN個のパイプライ
ンブロックを有する半導体メモリ装置のテスト方法であ
って、N個のメモリブロックのデータをN個のパイプラ
インブロックのそれぞれに並列に出力する段階と、第i
(Nより小さい自然数)番目のパイプラインブロックの
データを第i+1番目のパイプラインブロックに直列に
伝送しながら、第N番目のパイプラインブロックのデー
タを出力する段階とを備えることを特徴とする。
ンを以てN個のパイプラインブロックにラッチされたデ
ータを出力することから、直接アクセスモードテストに
おいて使用されるデータ出力ピンの本数が1/N個に減
少する。これにより、1つのテスト装備を用いて一回に
テストできる半導体メモリ装置の個数が増加する。
明の好適な実施の形態につき詳細に説明する。 <第1の実施の形態>図1は、本発明の第1の実施の形
態による高速メモリ装置の入出力回路のブロック図であ
って、2つのメモリブロック10、20を備えた場合を例に
取っている。図1に示すように、本発明の一実施の形態
による高速半導体メモリ装置は、第1及び第2のメモリ
ブロック10、20より出力されるデータRWD1〜RWD8を並列
に入力して、順次1つずつ直列に出力する第1及び第2
のパイプラインブロック12、22と、前記メモリ装置が直
接アクセステストモードで動作する場合に、前記第1パ
イプラインブロック12の出力線と第2パイプラインブロ
ック22の入力線とを結ぶテストモード制御部30とを備え
る。さらに、本実施の形態による高速半導体メモリ装置
は、前記第1及び第2パイプラインブロック12、22より
出力されるデータを入力して、データ出力ピンDQ1、DQ2
に伝送する出力ドライバ14、24を備える。前記第1及び
第2パイプラインブロック12、22のそれぞれは、複数個
のラッチ部LAT1〜LAT8から構成され、前記ラッチ部LAT1
〜LAT8には、第1及び第2メモリブロック10、20より出
力されるデータRWD1〜RWD8が1つずつ入力される。
が直接アクセステストモードで動作するときにアクティ
ブされるテストモード制御信号ΦDAEに基づいて制御さ
れる。また、前記テストモード制御部30は、直接アクセ
ステストモードにおいては第1パイプラインブロック12
の出力線と第2パイプラインブロック22の入力線とを接
続し、正常モードにおいてはパイプラインブロック間を
切断して各パイプラインブロック12、22の出力線をそれ
ぞれ出力ドライバ14、24に結ぶように構成される。
テストモード制御信号ΦDAEに基づいて制御されるスイ
ッチング素子32、例えば、接続される他の回路に影響を
与えないトライステートバッファ(tri-state buffer)
や、伝送ゲート(trasmisstion gate)から構成でき
る。前記テストモード制御部30は、正常モードで第2パ
イプラインブロック22の各ラッチ部に一定の電圧が供給
できるよう、前記テストモード制御信号ΦDAEが非活性
化するときにターンオンされるトランジスタ34をさらに
備えることが好ましい。本実施の形態において、前記ト
ランジスタ34は、図示の如く、該ソースが電源電圧Vdd
に連結され、該ドレインが前記第2パイプラインブロッ
ク22の入力線に連結されるPMOSトランジスタから構成で
きる。図示はしないが、前記トランジスタ34は、該ソー
スが接地電圧に連結され、該ドレインが前記第2パイプ
ラインブロック22の入力線に連結されるNMOSトランジス
タから構成されることも可能である。
態によるメモリ装置のデータ出力の動作につき説明す
る。図1に図示のメモリ装置が直接アクセステストモー
ドになると、テストモード制御信号ΦDAEが'ハイ'にア
クティブされるとともに、前記スイッチング素子32が'
ターンオン'される。これにより、第1パイプラインブ
ロック12の出力線が第2パイプライン22の入力線に接続
されたデータ経路が形成される。第1パイプラインブロ
ック12より順次出力されるデータは、テストモード制御
部30を介して第2パイプラインブロック22に伝達され、
第2パイプラインブロック22に配された第2データ出力
ピンDQ2を介して出力される。すなわち、直接アクセス
テストモードでは、第2パイプラインブロック22に配さ
れた第2データ出力ピンDQ2を介して、第1及び第2パ
イプラインブロック12、22にラッチされた16個のデータ
が順次出力される。
制御信号ΦDAEが'ロー'に非活性化され、前記スイッチ
ング素子32は'オフ'される。そして、2つのパイプライ
ンブロック12、22より出力されるデータは、それぞれに
配された出力ドライバ14、24及びデータ出力ピンDQ1、D
Q2を介して出力される。したがって、正常モードでは2
本のデータ出力ピンDQ1、DQ2を介してそれぞれ8個ずつ
のデータが順次出力される。
述の正常モードと同様のデータ経路を有するため、16個
のデータを出力するのに2本のデータ出力ピンDQ1、DQ2
が使用される。上記構成により、本実施の形態によれ
ば、従来の場合に比べ、パイプラインブロックが2つの
メモリ装置において使用されるデータ出力ピンの本数
が、1/2に減ったことが分かる。 <第2の実施の形態>図2は、本発明の第2の実施の形
態による高速メモリ装置の入出力回路を示すブロック図
であって、パイプラインブロック内のラッチ部LAT1〜LA
T8のうち、奇数番目のラッチ部LAT1、LAT3、LAT5、LAT7
及び偶数番目のラッチ部LAT2、LAT4、LAT6、LAT8を並列
に配することによってデータ出力の速度を速めた外は、
前記第1の実施の形態と同様である。図2において、図
1と同一の要素には同様の符号が付されている。図2に
示すように、本発明の第2の実施の形態によるパイプラ
インブロック52、62のそれぞれは、複数個のラッチ部LA
T1〜LAT8と、テストクロックTCLKにより制御されるそれ
ぞれ1つの選択部54、64とから構成される。前記ラッチ
部のうち奇数番目のラッチ部、すなわち、第1、第3、
第5、及び第7のラッチ部LAT1、LAT3、LAT5、LAT7と、
偶数番目のラッチ部、すなわち、第2、第4、第6、及
び第8のラッチ部LAT2、LAT4、LAT6、LAT8はそれぞれ直
列に連結され、前記奇数番目及び偶数番目のラッチ部の
出力は前記選択部54、64に並列に入力される。前記選択
部54、64はテストクロックTCLKの状態に応じて、奇数番
目のラッチ部及びこれに対応する偶数番目のラッチ部よ
り入力されるデータのうちいずれかを選択的に出力する
マルチプレクサから構成されることが好ましい。本実施
の形態に係る前記パイプラインブロック52、62の一例を
示す回路図が図3に示してあり、以下に説明する。
ード制御部40は、第1の実施の形態と同様に、テストモ
ード制御信号ΦDAEに基づいて制御され、メモリ装置が
直接アクセステストモードで動作する場合には、パイプ
ラインブロックを連結し、正常モードに動作する場合に
は連結しないように構成される。具体的には、前記テス
トモード制御部40は、前記テストモード制御信号ΦDAE
に基づいて制御され、奇数番目のラッチ部及び偶数番目
のラッチ部のそれぞれに直列に連結されるスイッチング
素子42、46から構成され、このスイッチング素子は、第
1の実施の形態と同様にトライステートバッファや伝送
ゲートから構成できる。また前記テストモード制御部40
は、正常モードで第2パイプラインブロック62の各ラッ
チ部に一定の電圧が供給できるよう、前記テストモード
制御信号ΦDAEの非活性化によってターンオンされるト
ランジスタ44、48をさらに備えることが好ましい。図2
に示すメモリ装置が直接アクセステストモードに入る
と、テストモード制御信号ΦDAEがアクティブされると
ともに、スイッチング素子42、46が'ターンオン'され
る。これにより、第1パイプラインブロック52より出力
される2本の出力線が第2パイプラインブロック62の2
本の入力線にそれぞれ接続される。第1パイプラインブ
ロック52より2つずつ順次出力されるデータは、テスト
モード制御部40を経て第2パイプラインブロック62に入
力され、第2パイプラインブロック62内のラッチ部をた
どり選択部64を介して1つずつ選択的に出力される。つ
まり、直接アクセステストモードでは、第2パイプライ
ンブロック62に配されたデータ出力ピンDQ2を介して、
第1及び第2パイプラインブロック52、62にラッチされ
た16個のデータが順次出力される。
て、テストクロックTCLKに同期して2つずつのデータが
隣接するラッチ部にシフトされ、論理'ハイ'及び論理'
ロー'の2種類の状態を有するテストクロックTCLKによ
り選択部62が制御されるので、テストクロックTCLKの一
周期中に2つのデータが順次出力される。したがって、
テストクロックの一周期にデータが1つずつ出力される
第1の実施の形態よりデータの出力速度が高速である。
つまり、16個のデータが16周期のテストクロックTCLKに
同期され出力される第1の実施の形態とは違って、8周
期のテストクロックTCLKに同期され出力される。
動作すると、前記スイッチング素子42、46が'オフ'さ
れ、2つのパイプラインブロック52、62より出力される
データは、それぞれに配された出力ドライバ14、24及び
データ出力ピンDQ1、DQ2を介して出力される。図3は、
図2に図示のパイプラインブロックの一例を示す回路図
である。前述の如く、本発明の第2の実施の形態による
パイプラインブロック52、62は、基本的に同様の構造を
有し、パイプラインブロックのそれぞれは、複数個のラ
ッチLAT1〜LAT8と、テストクロックTCLKにより制御され
る1つの選択部54、64とから構成される。
モリブロック(図2において10、20)より入力されるデ
ータRWD1〜RWD8を保存してから出力するラッチLT1〜LT8
と、前記ラッチLT1〜LT8より出力されるデータと隣接す
るラッチ部より入力されるデータとのうちいずれかを選
択して出力するマルチプレクサMUX1〜MUX8と、前記マル
チプレクサMUX1〜MUX8より出力されるデータをテストク
ロックTCLKに同期させて出力するフリップフロップF/F
1〜F/F8とから構成される。
ΦTRLに基づいてアクティブされるDフリップフロップか
ら構成できる。前記マルチプレクサMUX1〜MUX8のそれぞ
れは、2つの入力端子1、0及び1つの選択端子SELを有
し、前記選択端子SELにはテスト読出し信号ΦTRLが入力
され、2つの入力端子1、0には前記ラッチLT1〜LT8の出
力信号と隣接するラッチ部LAT1〜LAT8の出力信号とが入
力される。例えば、テスト読出し信号ΦTRLが論理'ハ
イ'のとき、ラッチLT1〜LT8に保存されたデータがフリ
ップフロップF/F1〜F/F8に入力され、テスト読出し信
号ΦTRLが論理'ロー'のとき、隣接するラッチ部LAT1〜L
AT8のフリップフロップに保存されたデータがフリップ
フロップに入力される。尚、本実施の形態に係る前記フ
リップフロップF/F0〜F/F7は、入力値Dに基づいて次
の状態が決まるDフリップフロップから構成できる。前
記選択部54、64の選択線SELにはテストクロックTCLKが
入力されているので、テストクロックTCLKの状態に基づ
いて奇数番目のデータ及び偶数番目のデータが選択的に
出力される。テスト読出し信号ΦTRLがアクティブされ
た状態で入力される最初のテストクロックTCLKが、例え
ば論理'ロー'の状態では第1のラッチ部LAT1に保存され
たデータRWD1が出力され、論理'ハイ'の状態では第2の
ラッチ部LAT2に保存されたデータRWD2が出力される。し
たがって、テストクロックTCLKの一周期中に2つのデー
タRWD1、RWD2が順次出力される。正常モードでは、前記
第7及び第8のマルチプレクサMUX7、MUX8の'0'入力端に
は、図示の如く、メモリ装置において使用される一定の
電圧、例えば、電源電圧Vddまたは接地電圧Vssが印加さ
れることが好ましく、これにより、8個のデータRWD1〜R
WD8出力が完了する時点で全てのフリップフロップF/F1
〜F/F8の出力が一定に保たれる。しかし、直接アクセ
ステストモードでは、図示のパイプラインブロックが、
例えば、第2パイプラインブロック62の場合、前記第7
及び第8のマルチプレクサMUX7、MUX8の'0'入力端には、
第1パイプラインブロック52の第1及び第2フリップフ
ロップF/F1、F/F2より出力されるデータRWD1、RWD2
が、テストモード制御部を介して入力される。図4は、
図2に示すメモリ装置を駆動する信号及びこれによる出
力データを示すタイミング図である。
セステストモードに入って、テストモード制御信号ΦDA
Eが論理ハイにアクティブされた状態で、ローアドレス
ストローブ(以下、/RAS)信号が論理ローにアクティブ
されれば、ローアドレス信号RADRが入力され、書込み許
容信号TWEが論理ローに非活性化した状態でカラムアド
レスストローブ(以下、/CAS)信号が論理ローにアクテ
ィブされれば、カラムアドレス信号CADRが入力される。
論理ハイにアクティブされれば、メモリブロック10、20
からパイプラインブロック52、62へデータが伝達され、
テスト読出し信号ΦTRLが論理ローに遷移すれば、テス
トクロックTCLKの立下がりエッジ(falling edge)及び
立上がりエッジ(rising edge)に同期され、データが
順次出力される。図4に基づき図2及び図3に示すメモ
リ装置の動作について説明する。まず、図2に示すメモ
リ装置が直接アクセステストモードに入れば、テストモ
ード制御信号ΦDAEが論理ハイにアクティブされ、テス
トモード制御部40内のスイッチング素子42、46がオンさ
れ、これにより、第1パイプラインブロック52の2本の
出力線が第2パイプラインブロック62の2本の入力線に
それぞれ接続される。/RAS信号がローにアクティブさ
れ、書込み許容信号TWEがローに非活性化した状態で/CA
S信号が入力されると、メモリブロック10、20よりデー
タRWD0〜RWD8が出力される。
TRLがハイにアクティブされるに従いラッチLT1〜LT8の
それぞれに伝送され、マルチプレクサMUX1〜MUX8により
選択されて、フリップフロップF/F1〜F/F8に入力され
る。次に、テスト読出し信号ΦTRL及びテストクロックT
CLKが論理'ロー'に遷移すれば、フリップフロップF/F1
〜F/F8に入力された前記データは、テストクロックTCL
Kに同期して順に隣接するマルチプレクサMUX1〜MUX8に
伝送され、前記フリップフロップには、隣接するフリッ
プフロップに保存されていたデータが入力される。
T2に入力されたデータRWD1、RWD2は、テスト読出し信号
ΦTRLがハイの状態で第1フリップフロップ及び第2フ
リップフロップに伝送され、テストクロックTCLKの立下
がりエッジ及び立上がりエッジに同期して選択部54、64
に伝送され順次出力される。すなわち、テストクロック
TCLKの立下がりエッジでは奇数番目のデータが、テスト
クロックの立上がりエッジでは偶数番目のデータが出力
され、16個のデータを順次出力するために8周期のテス
トクロックTCLKが入力される。 <第3の実施の形態>図5は、本発明の第3の実施の形
態による高速メモリ装置の入出力回路の示すブロック図
であって、N個のパイプラインブロックを備えた場合を
例に取っている他は、前記第1の実施の形態と同様であ
る。本発明の第3の実施の形態に係る高速半導体メモリ
装置は、N個のメモリブロック…、100、110、…、120、
N個のパイプラインブロック…、102、112、…、122、N-
1個のテストモード制御部…、130、140、…、前記各パ
イプラインブロックより出力されるデータを入力して、
データ出力ピン…、DQi、DQi+1、…、DQNに出力する出
力ドライバ…、104、114、…、124を備えてなる。
比べ、パイプラインブロックがN個のメモリ装置におい
て使用されるデータ出力ピンの本数が、1/Nに減るこ
とが分かる。図面及び明細書には最適の実施の形態が記
載されている。ここで、特定の用語が使われたが、これ
は単なる本発明を説明するための目的から使われたもの
であって、意味の限定や特許請求の範囲に記載された本
発明の範囲を制限するために使われたものでない。例え
ば、本明細書では、正常モードにおいて第2パイプライ
ンブロック22の入力端を電源電圧で固定する方式につい
てのみ記されているが、接地電圧で固定する他の実施の
形態も可能である。よって、本発明の権利範囲は添付し
た特許請求の範囲の技術的な思想によって定まるべきで
ある。
接アクセスモードテストにおいて使用されるデータ出力
ピンの本数が減少される。これにより、1つのテスト装
備を用いて一回にテストできる高速メモリ装置の個数が
増え、テスト装備の稼動効率が上がる。
置の入出力回路を示すブロック図である。
置の入出力回路を示すブロック図である。
す回路図である。
れによる出力データを示すタイミング図である。
置の入出力回路を示すブロック図である。
イプラインブロック 30,40,130,140 テストモード制御部 54,64 選択部 14,16,24,104,114,124 出力ドラ
イバ
Claims (14)
- 【請求項1】 N(自然数)個のメモリブロックと、 前記各メモリブロックより出力される複数個のデータを
並列に入力して、順次直列に出力するN個のパイプライ
ンブロックと、 前記各パイプラインブロックより出力されるデータをデ
ータ出力ピンに伝送するN個の出力ドライバと、 メモリ装置が直接アクセステストモードで動作する場合
に、第i(Nより小さい整数)番目のパイプラインブロ
ックより出力されるデータが、テストクロックに同期し
て第i+1番目のパイプラインブロックに入力されるよ
うに、第i番目のパイプラインブロックの出力線を第i
+1番目のパイプラインブロックの入力線に接続するN
個のテストモード制御手段とを備えることを特徴とする
半導体メモリ装置。 - 【請求項2】 前記テストモード制御手段は、 前記メモリ装置が直接アクセステストモードで動作する
場合にアクティブされるテストモード制御信号に基づい
て制御される、少なくとも1つのスイッチング素子を備
えることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ装
置。 - 【請求項3】 前記スイッチング素子は、トライステー
トバッファであることを特徴とする請求項2に記載の半
導体メモリ装置。 - 【請求項4】 前記スイッチング素子は、伝送ゲートで
あることを特徴とする請求項2に記載の半導体メモリ装
置。 - 【請求項5】 前記テストモード制御手段は、 前記テストモード制御信号の反転信号に基づいてゲート
が駆動され、ドレインが前記第i+1番目のパイプライ
ンブロックの入力線に接続されるとともに、ソースが一
定の電源線に接続される、少なくとも1つのトランジス
タをさらに備えることを特徴とする請求項2に記載の半
導体メモリ装置。 - 【請求項6】 前記パイプラインブロックのそれぞれ
は、 前記メモリブロックより出力されるデータをラッチして
出力する、直列につながれた複数個のラッチ部を備える
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項7】 前記ラッチ部のそれぞれは、 メモリブロックより入力されるデータを保存してから、
テスト読出し信号の活性化に応答して出力するラッチ
と、 前記ラッチより出力されるデータと他のラッチ部より入
力されるデータとのいずれか1つを、前記テスト読出し
信号に応答して選択して出力するマルチプレクサと、 前記マルチプレクサより出力されるデータをテストクロ
ックに同期して出力するフリップフロップとを備えるこ
とを特徴とする請求項6に記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項8】 前記パイプラインブロックのそれぞれ
は、 前記メモリブロックより出力されるデータをラッチして
出力する複数個のラッチ部であって、奇数番目及び偶数
番目のラッチ部がそれぞれ並列に連結されるラッチ部
と、 前記奇数番目及び偶数番目のラッチ部より出力されるデ
ータをそれぞれ入力して、その一方を選択的に出力する
選択手段とを備えることを特徴とする請求項1に記載の
半導体メモリ装置。 - 【請求項9】 前記選択手段は、 前記奇数番目及び偶数番目のラッチ部より出力されるデ
ータのうちいずれか1つを、前記テストクロックに応答
して選択的に出力するマルチプレクサを備えることを特
徴とする請求項8に記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項10】 前記ラッチ部のそれぞれは、 メモリブロックより入力されるデータを保存し、テスト
読出し信号の活性化に応答して出力するラッチと、 前記ラッチより出力されるデータと他のラッチ部より入
力されるデータとのいずれか1つを、前記テスト読出し
信号の状態に応答して選択して出力するマルチプレクサ
と、 前記マルチプレクサより出力されるデータをテストクロ
ックに同期して出力するフリップフロップとを備えるこ
とを特徴とする請求項8に記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項11】 前記テストモード制御手段 前記メモリ装置が直接アクセステストモードで動作する
場合にアクティブされるテストモード制御信号に基づい
て制御され、偶数番目のラッチ部及び奇数番目のラッチ
部のそれぞれに直列に結ばれた2つのスイッチング素子
を備えることを特徴とする請求項8に記載の半導体メモ
リ装置。 - 【請求項12】 前記スイッチング素子は、トライステ
ートバッファであることを特徴とする請求項11に記載
の半導体メモリ装置。 - 【請求項13】 前記スイッチング素子は、伝送ゲート
であることを特徴とする請求項11に記載の半導体メモ
リ装置。 - 【請求項14】 N(自然数)個のメモリブロック及び
各メモリブロックより出力される複数個のデータを入力
して順次出力するN個のパイプラインブロックを有する
半導体メモリ装置のテスト方法であって、 N個のメモリブロックのデータをN個のパイプラインブ
ロックのそれぞれに並列に出力する段階と、 第i(Nより小さい自然数)番目のパイプラインブロッ
クのデータを第i+1番目のパイプラインブロックに直
列に伝送しながら、第N番目のパイプラインブロックの
データを出力する段階とを備えることを特徴とする半導
体メモリ装置のテスト方法。
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