JPH09198887A - 高電圧発生回路 - Google Patents

高電圧発生回路

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JPH09198887A
JPH09198887A JP2176996A JP2176996A JPH09198887A JP H09198887 A JPH09198887 A JP H09198887A JP 2176996 A JP2176996 A JP 2176996A JP 2176996 A JP2176996 A JP 2176996A JP H09198887 A JPH09198887 A JP H09198887A
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high voltage
output
node
switch
clock
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JP2176996A
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Naoaki Sudo
直昭 須藤
Toshio Takeshima
俊夫 竹島
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02MAPPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
    • H02M3/00Conversion of dc power input into dc power output
    • H02M3/02Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac
    • H02M3/04Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters
    • H02M3/06Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters using resistors or capacitors, e.g. potential divider
    • H02M3/07Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters using resistors or capacitors, e.g. potential divider using capacitors charged and discharged alternately by semiconductor devices with control electrode, e.g. charge pumps
    • H02M3/073Charge pumps of the Schenkel-type
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory

Abstract

(57)【要約】 【課題】正の高電圧と負の高電圧を選択的に出力するこ
とにより面積を削減する、電荷転送型の高電圧発生回路
の提供。 【解決手段】電圧が最も低くなるノードに出力端子を持
ち、電圧が最も高くなるノードに出力端子を持ち、電位
が最も低くなるノードを第1のスイッチ1を介して第1
の電圧源VCCに接続し、電位が最も高くなるノードを第
2のスイッチ2を介して第2の電圧源GNDに接続し、第
1のスイッチをオン状態とし第2のスイッチをオフ状態
として電位が最も高くなるノードに正の高電圧VPPを出
力し、第2のスイッチをオン状態とし第1のスイッチを
オフ状態として電位が最も低くなるノードVBBに負の高
電圧を出力する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、EEPROM(El
ectrically Erasable and Programmable ROM;電気的に
消去及び書き換え可能な読み出し専用メモリ)やフラッ
シュメモリ等の半導体メモリ装置に用いて好適な高電圧
発生回路に関し、特に1個の高電圧発生回路を用いて正
の高電圧と負の高電圧両方を発生する高電圧発生回路に
関する。
【0002】
【従来の技術】EEPROMやフラッシュメモリ等の半
導体メモリ装置において、書き込み及び消去時には、電
源電圧以上の高電圧が用いられる。このために、これら
の高電圧をチップ内部で発生させるために、従来より、
さまざまな高電圧発生回路が広く用いられてきた。
【0003】特に、フラッシュメモリでは書き込み時に
負の高電圧、消去時に正の高電圧を用いることがあり、
このためにチップ内部には複数の昇圧回路を備えること
が必要とされている。
【0004】図10及び図11に、従来から用いられて
いる正の高電圧発生回路と負の高電圧発生回路の回路構
成の一例を示す。
【0005】図10に示す従来の正の高電圧発生回路
は、符号10で示すキャパシタとMOSトランジスタで
構成される部分を1段(例えばキャパシタC12とダイオ
ード接続されたMOSトランジスタM12)として、これ
を複数段接続することにより構成される。
【0006】高電圧発生回路には、図12に示すよう
な、相補的なクロック信号電圧CLK1、CLK2が入力され
る。
【0007】図10に示した、正の高電圧発生回路の動
作を以下に説明する。
【0008】高電圧発生回路がイネーブル状態にされる
とクロック発生回路(不図示)から互いに相補的な第
1、第2のクロック信号CLK1、CLK2が高電圧発生回路に
入力される。
【0009】ここで、キャパシタとMOSトランジスタ
で構成される回路部分10に注目する。10に含まれる
キャパシタC12の一端は第1のクロック信号CLK1が印加
されている。第1のクロック信号CLK1がHigh状態にあ
り、第2のクロック信号CLK2がLow状態の時、キャパシ
タC12のカップリングにより、キャパシタC12の他端で
あるノードN12の電圧値は上昇し、またノードN12から後
段側のノードN13(キャパシタC13の第2のクロック信
号CLK2が印加される端子の他端)に電流が流れ、ノード
N13の電圧値はノードN12に比べMOSトランジスタのし
きい値電圧Vt(「しきい値」ともいう)分だけ低い値
になる。
【0010】次に、第1のクロック信号CLK1がLow状態
になると、キャパシタC12のカップリングによりクロッ
クの振幅電圧分だけノードN12の電圧が下がろうとする
が、前段のノードN11から電流が供給されるので、前に
第1のクロック信号CLK1がLow状態だったときより電圧
は高くなる。
【0011】同様の繰り返しにより、図10の左から右
方向へ電流が供給され、定常時には高電圧発生回路の最
終段から、クロック振幅、ポンプの段数、キャパシタの
容量などの条件に依存する正の高電圧VPPが出力され
る。
【0012】図11に示す従来の負の高電圧発生回路
も、20で示すキャパシタとMOSトランジスタで構成
される部分を1段(キャパシタC22とMOSトランジス
タM22)として、これを複数段接続することにより構成
される。
【0013】図10に示した正の高電圧発生回路との最
大の違いは入力と出力が逆になっていることにある。す
なわち、MOSトランジスタのゲートが、逆に接続され
ているので、電圧が高くなっていく方向も逆になってい
るのである。
【0014】次に、この負の高電圧発生回路の動作特性
について説明する。負の高電圧発生回路は正の高電圧発
生回路と回路の向きを反転させているので、出力に向か
って電圧は低下していく。ここで、入力は接地電位GND
に固定してあるので、出力側には接地電位GNDよりも低
い負の高電圧が出力されることになる。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】上述したような従来の
EEPROMやフラッシュメモリなどの不揮発性半導体
メモリ装置において、正と負の高電圧を発生させるため
には、図10及び図11に示すような回路をチップ上に
複数備える必要がある。このために、チップ内部にしめ
る高電圧発生回路の面積の割合が増大し、チップサイズ
も増大するという問題があった。
【0016】さらに、最近では半導体メモリ装置の低消
費電力化の要求に伴い、電源電圧を低下させる必要が生
じている。
【0017】しかしながら、高電圧発生回路では電源電
圧を下げるとクロックの振幅電圧も小さくなるので出力
も低下する。このため要求する高電圧を実現するために
は、高電圧発生回路の面積がさらに増大し、これによ
り、チップサイズも増大するという問題もあった。
【0018】したがって、本発明の目的は、EEPRO
Mやフラッシュメモリ等の不揮発性半導体メモリ装置に
おいて、正と負の高電圧を1個の高電圧発生回路を用い
て出力することにより、チップサイズの面積を減少させ
る高電圧発生回路を提供することにある。
【0019】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明は、電荷転送型の高電圧発生回路において、
電位が最も高くなるノードを出力端子として正の高電圧
を出力するか、または電圧が最も低くなるノードを出力
端子として負の高電圧を出力するか、を選択的に切り替
える手段を備え、一の回路で正の高電圧と負の高電圧と
を選択自在に利用可能としたことを特徴とする高電圧発
生回路を提供する。
【0020】本発明に係る高電圧発生回路においては、
前記電位が最も低くなるノードを第1のスイッチを介し
て第1の電圧源に接続し、前記電位が最も高くなるノー
ドを第2のスイッチを介して第2の電圧源に接続し、前
記第1のスイッチをオン状態とし、且つ前記第2のスイ
ッチをオフ状態として、前記電位が最も高くなるノード
に正の高電圧を出力し、一方、前記第2のスイッチをオ
ン状態とし、且つ前記第1のスイッチをオフ状態とし
て、前記電位が最も低くなるノードに負の高電圧を出力
する、ことを特徴とする。
【0021】本発明に係る高電圧発生回路においては、
好ましくは、前記第1の電圧源をチップ供給電源電圧と
し、前記第2の電圧源を接地レベルとしたことを特徴と
する。
【0022】さらに、本発明に係る高電圧発生回路にお
いては、好ましくは、前記正の高電圧と前記負の高電圧
の出力を切り替える際に、チャージポンプ部に入力され
るクロックの振幅を変えるように構成してもよい。
【0023】そして、本発明に係る高電圧発生回路にお
いては、好ましくは、前記正の高電圧と前記負の高電圧
の出力を切り替える際に、チャージポンプ部に入力され
るクロックの周波数を変えるように構成してもよい。
【0024】
【作用】本発明によれば、高電圧発生回路の出力を電圧
が最も高くなるノードと電圧が最も低くなるノードに切
り替えて取り出すようにしたので、一つの高電圧発生回
路から正の高電圧と負の高電圧の両方を出力することが
でき、チップ中にしめる高電圧発生回路の面積を従来の
1/2程度にすることができる。
【0025】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を参照して以下に詳細に説明する。
【0026】図1は、本発明の第1の実施形態の構成を
示す図である。
【0027】図1を参照して、本実施形態が、前記した
従来の高電圧発生回路と異なる点は、高電圧発生回路中
の電位が最も低くなるノードN30の出力VBBを持ち、電位
が最も高くなるノードN35に出力VPPを持ち、さらに、ノ
ードN30にはチップ供給電源電圧VCCが第1のスイッチ1
を介して接続され、ノードN35には接地レベルGNDが第2
のスイッチ2を介して接続されている点である。
【0028】すなわち、2つのスイッチ1、2により、
出力VPPと出力VBBを切り替えて用いるようにしている。
【0029】本実施形態では、第1のスイッチ1にPチ
ャネルトランジスタ、第2のスイッチ2にNチャネルト
ランジスタを用いているが、本発明では特にこれに限定
されるものではなく、スイッチとして作用するものなら
ばどのようなものでもかまわない。
【0030】次に、本実施形態の動作について図2の波
形図を参照して説明する。
【0031】クロックCLK1およびCLK2がチャージポンプ
に入力され、チャージポンプが動作しているとき、スイ
ッチ制御端子SW(図1参照)に印加する信号がLow状態
とされ、ノードN30に接続されたスイッチトランジスタ
1がオン状態となるとともに、ノードN35に接続された
スイッチトランジスタ2がオフ状態になると、ノードN3
0の電圧値はほぼVCCの値に等しい固定電圧値となり、チ
ャージポンプにより電圧が上昇する方向にある出力VPP
には正の高電圧が出力される。
【0032】また、クロックCLK1およびCLK2がチャージ
ポンプに入力され、チャージポンプが動作していると
き、スイッチ制御端子SWに印加される信号がHigh状態
となり、ノードN30に接続されたスイッチトランジスタ
1がオフ状態となるとともに、ノードN35に接続された
スイッチトランジスタ2がオン状態になると、ノードN3
5の電圧値はほぼ接地レベルGNDの値に等しい固定電圧値
になり、チャージポンプにより電圧が下がる方向にある
出力VBBには負の高電圧が出力される。
【0033】従って、一個の高電圧発生回路を用いて、
2つのスイッチ1、2のオン/オフを制御することによ
り、正の高電圧と負の高電圧を出力することができる。
このため、チップ中の高電圧発生回路の面積を削減する
ことができ、チップのサイズを小さくすることができ
る。
【0034】図3に、本発明の第2の実施形態の構成を
示す。図3を参照して、本実施形態は、クロックを入力
するチャージポンプのキャパシタの手前にクロック切替
回路を設けた点が、図1を参照して説明した前記第1の
実施形態と相違している。
【0035】次に、本実施形態の動作について説明す
る。
【0036】通常、EEPROMやフラッシュメモリな
どの半導体メモリ装置において、正の高電圧と負の高電
圧の電圧値の絶対値は必ずしも一致しない。図1に示し
たような高電圧発生回路では、通常、ポンプ一段当たり
クロック振幅電圧からダイオードとして働くMOSトラ
ンジスタのしきい値を引いた分だけ電圧が上昇、または
低下するので、理想的には正の高電圧VPPと負の高電圧V
BBの絶対値はほぼ一致する。このため、必要とされる正
の高電圧と負の高電圧の電圧値の絶対値が異なる場合に
は、前記第1の実施形態の構成のままでは適用できな
い。
【0037】本実施形態は、クロックを入力するチャー
ジポンプのキャパシタの手前にクロック切替回路を接続
し、正の高電圧を発生する際には、その電圧値に最適な
クロック振幅VCLKPをもつクロック、例えば図4に示すC
LKP1、CLKP2のようなクロックをチャージポンプに入力
し、負の正電圧を発生する際には、その電圧値に最適な
クロック振幅VCLKNをもつクロック、例えば図4に示すC
LKN1、CLKN2のようなクロックをチャージポンプに入力
することにより、1個の高電圧発生回路で電圧値の絶対
値が異なる正の高電圧と負の高電圧を出力することがで
きる。
【0038】図3及び図5を参照して、本実施形態の変
形(本発明の第3の実施形態)を説明する。本実施形態
では、クロックを入力するチャージポンプのキャパシタ
の手前にクロック切替装置を備えたことは、前記第2の
実施形態と同様とされるが、正の高電圧を発生する際に
は、その電圧値に最適なクロック周波数をもつクロッ
ク、例えば図5に示すCLKP1、CLKP2のようなサイクルTC
YCPを持つクロックをチャージポンプに入力し、負の正
電圧を発生する際には、その電圧値に最適なクロック周
波数をもつクロック、例えば図5に示すCLKN1、CLKN2の
ようなサイクルTCYCNを持つクロックをチャージポンプ
に入力することであり、これにより1個の高電圧発生回
路で電圧値の絶対値が異なる正の高電圧と負の高電圧を
出力することができる。
【0039】図6を参照して、本発明の第4の実施形態
を以下に説明する。
【0040】図10及び図11に示したような、2相ク
ロック型の高電圧発生回路では、一段当たりクロックの
振幅(通常は電源電圧)からトランジスタのしきい値分
を引いただけ電圧が上昇する。また、段数が増えるに従
い基板効果の影響が現れるので、一段当たりの昇圧効率
は低下していくという問題がある。
【0041】この問題を解決するために、図13に示す
ような4相クロック型の高電圧発生回路が従来から提案
されている。
【0042】キャパシタに入力する2相のクロックCLKP
1、CLKP3と、M41からM45で示すMOSトランジスタの動
作を制御する2相のクロックCLKP2、CLKP4と、を、図8
に示すように組み合わせることにより(容量結合による
ブートストラップ法により)、これらのMOSトランジ
スタM41〜45のゲート電圧を、2相クロック型に比べ、
増加させることができるので、MOSトランジスタのし
きい値電圧分の降下を相殺することができる。これによ
り、2相クロック型に比べ、高効率で高電圧を発生する
ことができる。
【0043】同様に、図14に示すような4相クロック
を用いた負の高電圧発生回路も提案されている。図9に
負の高電圧発生回路に入力されるクロックCLKN1〜CLKN4
の波形図を示す。
【0044】図6を参照して、本実施形態は、前記第1
の実施形態のチャージポンプ部を4相クロックCLK21〜C
LK24を用いるように変えたものである。
【0045】従って、1個の高電圧発生回路を用いて、
2つのスイッチのオン・オフを制御することにより、し
きい値電圧分の降下がなく高効率に正の高電圧と負の高
電圧を出力することができるので、前記第1の実施形態
に比べさらにチップ中の高電圧発生回路の面積を削減す
ることができ、チップのサイズを小さくすることができ
る。
【0046】本実施形態においては、4相クロック型の
高電圧発生回路を用いて、前記第1の実施形態とは異な
るタイプの高電圧発生回路に適用できることを示した
が、本発明はかかる構成に限定されるものではなく、さ
らに他の電荷転送型の高電圧発生回路に適用可能であ
る。
【0047】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
高電圧発生回路の出力を、電圧が最も高くなるノード
と、電圧が最も低くなるノードに切り替えてとるように
し、一つの高電圧発生回路から要求に応じた正の高電圧
と負の高電圧の両方を出力することができ、チップ中に
しめる高電圧発生回路の面積を従来の1/2程度にする
ことができる。
【0048】また、本発明によれば、クロックを入力す
るチャージポンプのキャパシタの手前にクロック切替回
路を接続し、入力するクロックを切り替えるように構成
したことにより、1個の高電圧発生回路で電圧値の絶対
値が異なる正の高電圧と負の高電圧を出力することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態の構成を示す図であ
る。
【図2】本発明の第1の実施形態を説明するための波形
図である。
【図3】本発明の第2の実施形態の構成を示す図であ
る。
【図4】本発明の第2の実施形態において用いられるク
ロックの波形図である。
【図5】本発明の第3の実施形態において用いられるク
ロックの波形図である。
【図6】本発明の第4の実施形態の構成を示す図であ
る。
【図7】本発明の第4の実施形態において用いられるク
ロックの波形図である。
【図8】従来の4相クロックを用いた正の高電圧発生回
路において用いられるクロックの波形図である。
【図9】従来の4相クロックを用いた負の高電圧発生回
路において用いられるクロックの波形図である。
【図10】従来の正の高電圧発生回路を示す図である。
【図11】従来の負の高電圧発生回路を示す図である。
【図12】高電圧発生回路において用いられるクロック
の波形図である。
【図13】従来の4相クロックを用いた正の高電圧発生
回路を示す図である。
【図14】従来の4相クロックを用いた負の高電圧発生
回路を示す図である。
【符号の説明】
1、2 スイッチ 10、20、30 高電圧発生回路を構成する回路 M11〜M45 MOSトランジスタ C11〜C35 キャパシタ VCC 電源電圧 VPP 正の高電圧 VBB 負の高電圧 CLK1、CLK2 クロック信号 N30〜N35 ノード

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】電荷転送型の高電圧発生回路において、 電位が最も高くなるノードを出力端子として正の高電圧
    を出力するか、または電位が最も低くなるノードを出力
    端子として負の高電圧を出力するか、を選択的に切り替
    える手段を備え、 一の回路で正の高電圧と負の高電圧とを選択自在に利用
    可能としたことを特徴とする高電圧発生回路。
  2. 【請求項2】前記電位が最も低くなるノードを第1のス
    イッチを介して第1の電圧源に接続し、 前記電位が最も高くなるノードを第2のスイッチを介し
    て第2の電圧源に接続し、 前記第1のスイッチをオン状態とし、且つ前記第2のス
    イッチをオフ状態として、前記電位が最も高くなるノー
    ドに正の高電圧を出力し、 一方、前記第2のスイッチをオン状態とし、且つ前記第
    1のスイッチをオフ状態として、前記電位が最も低くな
    るノードに負の高電圧を出力する、 ことを特徴とする請求項1記載の高電圧発生回路。
  3. 【請求項3】前記第1の電圧源をチップ供給電源電圧と
    し、前記第2の電圧源を接地レベルとしたことを特徴と
    する請求項2記載の高電圧発生回路。
  4. 【請求項4】前記正の高電圧と前記負の高電圧の出力を
    切り替える際に、チャージポンプ部に入力されるクロッ
    クの振幅を変えることを特徴とする請求項1〜3のいず
    れか一に記載の高電圧発生回路。
  5. 【請求項5】前記正の高電圧と前記負の高電圧の出力を
    切り替える際に、チャージポンプ部に入力されるクロッ
    クの周波数を変えることを特徴とする請求項1〜3のい
    ずれか一に記載の高電圧発生回路。
  6. 【請求項6】前記チャージポンプ部のキャパシタの手前
    にクロック切替回路を備え、前記正の高電圧と前記負の
    高電圧の出力を切り替える際に、互いに相補的なクロッ
    ク信号を別の相補的なクロック信号に切り替えて供給す
    ることを特徴とする請求項4又は5記載の高電圧発生回
    路。
  7. 【請求項7】チャージポンプ部のダイオード接続された
    MOSトランジスタのゲート電位を容量結合によりブー
    トストラップするように構成し、前記チャージポンプ部
    のキャパシタに入力するクロック信号と共に所定の4相
    クロック信号を供給するように構成してなることを特徴
    とする請求項1又は2記載の高電圧発生回路。
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