JPH0865089A - 弾性表面波フィルタ - Google Patents
弾性表面波フィルタInfo
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- JPH0865089A JPH0865089A JP19672894A JP19672894A JPH0865089A JP H0865089 A JPH0865089 A JP H0865089A JP 19672894 A JP19672894 A JP 19672894A JP 19672894 A JP19672894 A JP 19672894A JP H0865089 A JPH0865089 A JP H0865089A
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- surface acoustic
- electrode
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 弾性表面波共振器を用いた弾性表面波フィル
タに関し、帯域幅によらず急峻なフィルタ特性を得た
り、帯域幅を狭くしたりする等のフィルタ特性を制御す
ることができる弾性表面波フィルタを提供する。 【構成】 圧電性基板１０と、圧電基板上１０に形成さ
れ、ラダー型に接続された複数の弾性表面波共振器Ｓ１
〜Ｓ４とを有する弾性表面波フィルタにおいて、圧電性
基板１０上に形成され、弾性表面波共振器Ｓ１、Ｓ２に
直列又は並列に接続された付加容量Ｃd1′、Ｃd2′を有
するように構成する。これにより、通過帯域の挿入損失
の急峻度が大きくしたり、通過帯域幅を狭くしたりする
ことができる。
タに関し、帯域幅によらず急峻なフィルタ特性を得た
り、帯域幅を狭くしたりする等のフィルタ特性を制御す
ることができる弾性表面波フィルタを提供する。 【構成】 圧電性基板１０と、圧電基板上１０に形成さ
れ、ラダー型に接続された複数の弾性表面波共振器Ｓ１
〜Ｓ４とを有する弾性表面波フィルタにおいて、圧電性
基板１０上に形成され、弾性表面波共振器Ｓ１、Ｓ２に
直列又は並列に接続された付加容量Ｃd1′、Ｃd2′を有
するように構成する。これにより、通過帯域の挿入損失
の急峻度が大きくしたり、通過帯域幅を狭くしたりする
ことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、弾性表面波共振器を用
いた弾性表面波フィルタに関する。
いた弾性表面波フィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、携帯電話やコードレス電話は小型
かつ軽量化が進み、急速に普及してきている。これら携
帯電話やコードレス電話の高周波回路として、小型、軽
量な弾性表面波共振器を用いた弾性表面波フィルタが採
用されている。携帯電話等の無線部に用いられるフィル
タの特性としては、帯域内において低損失であると共
に、帯域外減衰量が大きいことが要求される。このよう
な要求を満足するフィルタとして、図１４に示す弾性表
面波フィルタが提案されている。
かつ軽量化が進み、急速に普及してきている。これら携
帯電話やコードレス電話の高周波回路として、小型、軽
量な弾性表面波共振器を用いた弾性表面波フィルタが採
用されている。携帯電話等の無線部に用いられるフィル
タの特性としては、帯域内において低損失であると共
に、帯域外減衰量が大きいことが要求される。このよう
な要求を満足するフィルタとして、図１４に示す弾性表
面波フィルタが提案されている。
【０００３】この弾性表面波フィルタは、図１４（ａ）
に示すように、弾性表面波共振器Ａを直列素子として、
弾性表面波共振器Ｂを並列素子として、交互にラダー型
に反復接続されたものである。この弾性表面波フィルタ
のインピーダンスの周波数特性を図１４（ｂ）に示す、
挿入損失の周波数特性を図１４（ｃ）に示す。
に示すように、弾性表面波共振器Ａを直列素子として、
弾性表面波共振器Ｂを並列素子として、交互にラダー型
に反復接続されたものである。この弾性表面波フィルタ
のインピーダンスの周波数特性を図１４（ｂ）に示す、
挿入損失の周波数特性を図１４（ｃ）に示す。
【０００４】弾性表面波フィルタの直列素子Ａである弾
性表面波共振器が、図１４（ｂ）で実線で示すように反
共振周波数ｆ２の周波数特性を有し、並列素子Ｂである
弾性表面波共振器が、図１４（ｂ）で破線で示すように
共振周波数ｆ１の周波数特性を有していると、弾性表面
波フィルタは、図１４（ｃ）に示すように、周波数ｆ１
とｆ２間を通過帯域とする通過域特性を示す。
性表面波共振器が、図１４（ｂ）で実線で示すように反
共振周波数ｆ２の周波数特性を有し、並列素子Ｂである
弾性表面波共振器が、図１４（ｂ）で破線で示すように
共振周波数ｆ１の周波数特性を有していると、弾性表面
波フィルタは、図１４（ｃ）に示すように、周波数ｆ１
とｆ２間を通過帯域とする通過域特性を示す。
【０００５】携帯電話等における弾性表面波フィルタの
仕様としては、システムにより中心周波数や通過帯域が
異なるため、システム毎にフィルタ設計値を変更した
り、圧電性基板の結晶方位を変更したり、圧電性基板の
材料自体を変更したりして対応しようとしていた。
仕様としては、システムにより中心周波数や通過帯域が
異なるため、システム毎にフィルタ設計値を変更した
り、圧電性基板の結晶方位を変更したり、圧電性基板の
材料自体を変更したりして対応しようとしていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】弾性表面波フィルタの
特性は、一般的に、通過帯域を広げようとすると、急峻
なフィルタ特性が得られなくなる傾向があり、携帯電話
の周波数帯同志が近接しているような場合には不都合で
ある。弾性表面波フィルタの帯域幅を決定する大きな要
因は、圧電性基板の基板材料の電気機械結合係数Ｋ2 で
ある。したがって、圧電性基板の基板材料が決定されれ
ば、帯域幅の上限もほぼ決定され、帯域幅の下限やフィ
ルタ特性の急峻度もほぼ決定されてしまい、様々な仕様
を満足するように弾性表面波フィルタの特性を自由にコ
ントロールすることは困難であった。
特性は、一般的に、通過帯域を広げようとすると、急峻
なフィルタ特性が得られなくなる傾向があり、携帯電話
の周波数帯同志が近接しているような場合には不都合で
ある。弾性表面波フィルタの帯域幅を決定する大きな要
因は、圧電性基板の基板材料の電気機械結合係数Ｋ2 で
ある。したがって、圧電性基板の基板材料が決定されれ
ば、帯域幅の上限もほぼ決定され、帯域幅の下限やフィ
ルタ特性の急峻度もほぼ決定されてしまい、様々な仕様
を満足するように弾性表面波フィルタの特性を自由にコ
ントロールすることは困難であった。
【０００７】本発明の目的は、帯域幅によらず急峻なフ
ィルタ特性を得たり、帯域幅を狭くしたりする等のフィ
ルタ特性を制御することができる弾性表面波フィルタを
提供することにある。
ィルタ特性を得たり、帯域幅を狭くしたりする等のフィ
ルタ特性を制御することができる弾性表面波フィルタを
提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的は、圧電性基板
と、前記圧電基板上に形成され、ラダー型に接続された
複数の弾性表面波共振器とを有する弾性表面波フィルタ
において、前記圧電性基板上に形成され、前記弾性表面
波共振器に直列又は並列に接続された付加容量を有する
ことを特徴とする弾性表面波フィルタによって達成され
る。
と、前記圧電基板上に形成され、ラダー型に接続された
複数の弾性表面波共振器とを有する弾性表面波フィルタ
において、前記圧電性基板上に形成され、前記弾性表面
波共振器に直列又は並列に接続された付加容量を有する
ことを特徴とする弾性表面波フィルタによって達成され
る。
【０００９】上述した弾性表面波フィルタにおいて、前
記付加容量は、前記圧電性基板上に形成された第１の電
極層と、前記第１の電極層上に形成された誘電体層と、
前記誘電体層上に形成された第２の電極層とを有するこ
とが望ましい。上述した弾性表面波フィルタにおいて、
前記付加容量の前記第１の電極層は、前記弾性表面波共
振器の入出力電極又は接地電極に接続され、前記第２の
電極層は、前記弾性表面波共振器の接地電極又は入出力
電極に接続され、前記付加容量は、前記弾性表面波共振
器に並列に設けられていることが望ましい。
記付加容量は、前記圧電性基板上に形成された第１の電
極層と、前記第１の電極層上に形成された誘電体層と、
前記誘電体層上に形成された第２の電極層とを有するこ
とが望ましい。上述した弾性表面波フィルタにおいて、
前記付加容量の前記第１の電極層は、前記弾性表面波共
振器の入出力電極又は接地電極に接続され、前記第２の
電極層は、前記弾性表面波共振器の接地電極又は入出力
電極に接続され、前記付加容量は、前記弾性表面波共振
器に並列に設けられていることが望ましい。
【００１０】上述した弾性表面波フィルタにおいて、前
記付加容量の前記第１の電極層又は前記第２の電極層
は、前記弾性表面波共振器の入出力電極に接続され、前
記付加容量は、前記弾性表面波共振器に直列に設けられ
ていることが望ましい。上述した弾性表面波フィルタに
おいて、前記弾性表面波共振器は、前記圧電性基板上に
互いに対向する一組のくし型電極を有し、前記弾性表面
波共振器の前記一組のくし型電極上に形成された誘電体
層を有し、前記付加容量は、前記一組のくし型電極を電
極とし、前記誘電体層を誘電体とし、前記弾性表面波共
振器に並列に設けられていることが望ましい。
記付加容量の前記第１の電極層又は前記第２の電極層
は、前記弾性表面波共振器の入出力電極に接続され、前
記付加容量は、前記弾性表面波共振器に直列に設けられ
ていることが望ましい。上述した弾性表面波フィルタに
おいて、前記弾性表面波共振器は、前記圧電性基板上に
互いに対向する一組のくし型電極を有し、前記弾性表面
波共振器の前記一組のくし型電極上に形成された誘電体
層を有し、前記付加容量は、前記一組のくし型電極を電
極とし、前記誘電体層を誘電体とし、前記弾性表面波共
振器に並列に設けられていることが望ましい。
【００１１】上述した弾性表面波フィルタにおいて、前
記誘電体層は、酸化シリコン層又は窒化シリコン層であ
ることが望ましい。上述した弾性表面波フィルタにおい
て、前記付加容量は、前記圧電性基板上に形成され、前
記弾性表面波共振器の入出力電極に接続された第１の電
極と、前記圧電性基板上に、前記第１の電極と所定間隔
を隔てて対向する第２の電極と、前記第１の電極と前記
第２の電極間の前記圧電性基板からなる誘電体とを有
し、前記付加容量は、前記弾性表面波共振器に直列に設
けられていることが望ましい。
記誘電体層は、酸化シリコン層又は窒化シリコン層であ
ることが望ましい。上述した弾性表面波フィルタにおい
て、前記付加容量は、前記圧電性基板上に形成され、前
記弾性表面波共振器の入出力電極に接続された第１の電
極と、前記圧電性基板上に、前記第１の電極と所定間隔
を隔てて対向する第２の電極と、前記第１の電極と前記
第２の電極間の前記圧電性基板からなる誘電体とを有
し、前記付加容量は、前記弾性表面波共振器に直列に設
けられていることが望ましい。
【００１２】
【作用】本発明によれば、圧電性基板と、圧電基板上に
形成され、ラダー型に接続された複数の弾性表面波共振
器とを有する弾性表面波フィルタにおいて、圧電性基板
上に形成され、弾性表面波共振器に直列又は並列に接続
された付加容量を有するので、帯域幅によらず急峻なフ
ィルタ特性を得たり、帯域幅を狭くしたりして、フィル
タ特性を制御することができる。
形成され、ラダー型に接続された複数の弾性表面波共振
器とを有する弾性表面波フィルタにおいて、圧電性基板
上に形成され、弾性表面波共振器に直列又は並列に接続
された付加容量を有するので、帯域幅によらず急峻なフ
ィルタ特性を得たり、帯域幅を狭くしたりして、フィル
タ特性を制御することができる。
【００１３】上述した弾性表面波フィルタにおいて、付
加容量を、圧電性基板上に形成された第１の電極層と、
第１の電極層上に形成された誘電体層と、誘電体層上に
形成された第２の電極層とで構成したので、圧電性基板
上に簡単に設けることができる。上述した弾性表面波フ
ィルタにおいて、付加容量の前記第１の電極層を弾性表
面波共振器の入出力電極又は接地電極に接続し、第２の
電極層を弾性表面波共振器の接地電極又は入出力電極に
接続することにより、付加容量を弾性表面波共振器に並
列に設けてもよいし、付加容量の第１の電極層又は第２
の電極層を弾性表面波共振器の入出力電極に接続するこ
とにより、付加容量を弾性表面波共振器に直列に設けて
もよい。
加容量を、圧電性基板上に形成された第１の電極層と、
第１の電極層上に形成された誘電体層と、誘電体層上に
形成された第２の電極層とで構成したので、圧電性基板
上に簡単に設けることができる。上述した弾性表面波フ
ィルタにおいて、付加容量の前記第１の電極層を弾性表
面波共振器の入出力電極又は接地電極に接続し、第２の
電極層を弾性表面波共振器の接地電極又は入出力電極に
接続することにより、付加容量を弾性表面波共振器に並
列に設けてもよいし、付加容量の第１の電極層又は第２
の電極層を弾性表面波共振器の入出力電極に接続するこ
とにより、付加容量を弾性表面波共振器に直列に設けて
もよい。
【００１４】上述した弾性表面波フィルタにおいて、弾
性表面波共振器は、圧電性基板上に互いに対向する一組
のくし型電極を有し、弾性表面波共振器の一組のくし型
電極上に形成された誘電体層を有し、付加容量を一組の
くし型電極を電極とし、誘電体層を誘電体とし、弾性表
面波共振器に並列に設けるようにすれば、素子面積を増
加することなく付加容量を設けることができる上述した
弾性表面波フィルタにおいて、誘電体層を酸化シリコン
層又は窒化シリコン層により形成すれば、絶縁耐性等信
頼性に優れ、良好な特性を得ることができる。
性表面波共振器は、圧電性基板上に互いに対向する一組
のくし型電極を有し、弾性表面波共振器の一組のくし型
電極上に形成された誘電体層を有し、付加容量を一組の
くし型電極を電極とし、誘電体層を誘電体とし、弾性表
面波共振器に並列に設けるようにすれば、素子面積を増
加することなく付加容量を設けることができる上述した
弾性表面波フィルタにおいて、誘電体層を酸化シリコン
層又は窒化シリコン層により形成すれば、絶縁耐性等信
頼性に優れ、良好な特性を得ることができる。
【００１５】上述した弾性表面波フィルタにおいて、付
加容量は、圧電性基板上に形成され、弾性表面波共振器
の入出力電極に接続された第１の電極と、圧電性基板上
に、第１の電極と所定間隔を隔てて対向する第２の電極
と、第１の電極と第２の電極間の圧電性基板からなる誘
電体とを有するようにすれば、新たに誘電体層などを形
成することなく、付加容量を弾性表面波共振器に設ける
ことができる。
加容量は、圧電性基板上に形成され、弾性表面波共振器
の入出力電極に接続された第１の電極と、圧電性基板上
に、第１の電極と所定間隔を隔てて対向する第２の電極
と、第１の電極と第２の電極間の圧電性基板からなる誘
電体とを有するようにすれば、新たに誘電体層などを形
成することなく、付加容量を弾性表面波共振器に設ける
ことができる。
【００１６】
【実施例】本発明の第１の実施例による弾性表面波フィ
ルタを図１及び図２を用いて説明する。本実施例による
弾性表面波フィルタは、複数の弾性表面波共振器Ｓ１、
Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４をラダー型に接続して構成されてい
る。直列素子及び並列素子の一部に付加容量を並列接続
することにより、フィルタ特性の急峻度が大きくなるよ
うにしている。
ルタを図１及び図２を用いて説明する。本実施例による
弾性表面波フィルタは、複数の弾性表面波共振器Ｓ１、
Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４をラダー型に接続して構成されてい
る。直列素子及び並列素子の一部に付加容量を並列接続
することにより、フィルタ特性の急峻度が大きくなるよ
うにしている。
【００１７】図１（ａ）に示すように、１段目の直列素
子Ａ′は、弾性表面波共振器Ｓ１に付加容量Ｃd1′が並
列接続され、１段目の並列素子Ｂ′は、弾性表面波共振
器Ｓ２に付加容量Ｃd2′が並列接続され、２段目の直列
素子Ａは、弾性表面波共振器Ｓ３だけにより構成され、
２段目の並列素子Ｂは、弾性表面波共振器Ｓ４だけによ
り構成されている。
子Ａ′は、弾性表面波共振器Ｓ１に付加容量Ｃd1′が並
列接続され、１段目の並列素子Ｂ′は、弾性表面波共振
器Ｓ２に付加容量Ｃd2′が並列接続され、２段目の直列
素子Ａは、弾性表面波共振器Ｓ３だけにより構成され、
２段目の並列素子Ｂは、弾性表面波共振器Ｓ４だけによ
り構成されている。
【００１８】本実施例による弾性表面波フィルタの等価
回路を図１（ｂ）に示す。１段目の直列素子Ａ′の等価
回路は、弾性表面波共振器Ｓ１の等価容量Ｃ１、等価イ
ンダクタンスＬ１、端子間容量Ｃd1と、並列接続された
付加容量Ｃd1′からなり、１段目の並列素子Ｂ′の等価
回路は、弾性表面波共振器Ｓ２の等価容量Ｃ２、等価イ
ンダクタンスＬ２、端子間容量Ｃd2と、並列接続された
付加容量Ｃd2′からなり、２段目の直列素子Ａの等価回
路は、弾性表面波共振器Ｓ３の等価容量Ｃ３、等価イン
ダクタンスＬ３、端子間容量Ｃd3からなり、２段目の並
列素子Ｂの等価回路は、弾性表面波共振器Ｓ４の等価容
量Ｃ４、等価インダクタンスＬ４からなる。
回路を図１（ｂ）に示す。１段目の直列素子Ａ′の等価
回路は、弾性表面波共振器Ｓ１の等価容量Ｃ１、等価イ
ンダクタンスＬ１、端子間容量Ｃd1と、並列接続された
付加容量Ｃd1′からなり、１段目の並列素子Ｂ′の等価
回路は、弾性表面波共振器Ｓ２の等価容量Ｃ２、等価イ
ンダクタンスＬ２、端子間容量Ｃd2と、並列接続された
付加容量Ｃd2′からなり、２段目の直列素子Ａの等価回
路は、弾性表面波共振器Ｓ３の等価容量Ｃ３、等価イン
ダクタンスＬ３、端子間容量Ｃd3からなり、２段目の並
列素子Ｂの等価回路は、弾性表面波共振器Ｓ４の等価容
量Ｃ４、等価インダクタンスＬ４からなる。
【００１９】本実施例による弾性表面波フィルタの周波
数特性を図２に示す。図２（ａ）はインピーダンスの周
波数特性であり、図２（ｂ）は挿入損失の周波数特性で
ある。図２（ａ）、（ｂ）において、実線は、容量を付
加しなかった場合の特性であり、破線は、付加容量Ｃd
1′と付加容量Ｃd2′を並列接続した場合の特性であ
る。
数特性を図２に示す。図２（ａ）はインピーダンスの周
波数特性であり、図２（ｂ）は挿入損失の周波数特性で
ある。図２（ａ）、（ｂ）において、実線は、容量を付
加しなかった場合の特性であり、破線は、付加容量Ｃd
1′と付加容量Ｃd2′を並列接続した場合の特性であ
る。
【００２０】一般に、弾性表面波共振器Ｓの等価容量を
Ｃｏ、等価インダクタンスをＬｏ、端子間容量をＣｄと
すると、共振周波数ｆｒ、反共振周波数ｆａは次式によ
り示される。 ｆｒ＝（１／２π）｛１／（Ｃｏ・Ｌｏ）1/2 ｝ ｆａ＝（１／２π）｛（１／Ｌｏ）（１／Ｃｏ＋１／Ｃ
ｄ）｝1/2 ここで、弾性表面波共振器Ｓの端子間に付加容量Ｃｄ′
が並列接続されると、反共振周波数ｆａ′が次式に示す
ように共振周波数側にシフトする。
Ｃｏ、等価インダクタンスをＬｏ、端子間容量をＣｄと
すると、共振周波数ｆｒ、反共振周波数ｆａは次式によ
り示される。 ｆｒ＝（１／２π）｛１／（Ｃｏ・Ｌｏ）1/2 ｝ ｆａ＝（１／２π）｛（１／Ｌｏ）（１／Ｃｏ＋１／Ｃ
ｄ）｝1/2 ここで、弾性表面波共振器Ｓの端子間に付加容量Ｃｄ′
が並列接続されると、反共振周波数ｆａ′が次式に示す
ように共振周波数側にシフトする。
【００２１】ｆａ′＝（１／２π）×｛（１／Ｌｏ）
（１／Ｃｏ＋１／（Ｃｄ＋Ｃｄ′）｝1/2 本実施例の場合、弾性表面波共振器Ｓ１に付加容量Ｃd
1′が並列接続され、弾性表面波共振器Ｓ２に付加容量
Ｃd2′が並列接続されており、図２（ａ）に破線で示す
ように、弾性表面波共振器Ｓ１、Ｓ２の反共振周波数が
共振周波数側に変化し、見掛上の電気機械結合係数Ｋ2
が小さくなる。したがって、図２（ｂ）に破線で示すよ
うに、通過帯域の挿入損失の急峻度が大きくなり、急峻
なフィルタ特性を得ることができる。また、図２（ａ）
において、弾性表面波共振器Ｓ１、Ｓ２は共振周波数ｆ
１＝ｆ２になるように設計されている。
（１／Ｃｏ＋１／（Ｃｄ＋Ｃｄ′）｝1/2 本実施例の場合、弾性表面波共振器Ｓ１に付加容量Ｃd
1′が並列接続され、弾性表面波共振器Ｓ２に付加容量
Ｃd2′が並列接続されており、図２（ａ）に破線で示す
ように、弾性表面波共振器Ｓ１、Ｓ２の反共振周波数が
共振周波数側に変化し、見掛上の電気機械結合係数Ｋ2
が小さくなる。したがって、図２（ｂ）に破線で示すよ
うに、通過帯域の挿入損失の急峻度が大きくなり、急峻
なフィルタ特性を得ることができる。また、図２（ａ）
において、弾性表面波共振器Ｓ１、Ｓ２は共振周波数ｆ
１＝ｆ２になるように設計されている。
【００２２】このように本実施例によれば、ラダー型に
接続された弾性表面波共振器の一部に容量を付加するこ
とにより、急峻なフィルタ特性を得ることができる。本
発明の第２の実施例による弾性表面波フィルタを図３及
び図４を用いて説明する。本実施例による弾性表面波フ
ィルタは、２つの弾性表面波共振器Ｓ１、Ｓ２をラダー
型に接続して構成されている。全ての直列素子及び並列
素子に付加容量を並列接続することにより、帯域幅を狭
くするようにしている。
接続された弾性表面波共振器の一部に容量を付加するこ
とにより、急峻なフィルタ特性を得ることができる。本
発明の第２の実施例による弾性表面波フィルタを図３及
び図４を用いて説明する。本実施例による弾性表面波フ
ィルタは、２つの弾性表面波共振器Ｓ１、Ｓ２をラダー
型に接続して構成されている。全ての直列素子及び並列
素子に付加容量を並列接続することにより、帯域幅を狭
くするようにしている。
【００２３】図３（ａ）に示すように、１段目の直列素
子Ａ′は、弾性表面波共振器Ｓ１に付加容量Ｃd1′が並
列接続され、１段目の並列素子Ｂ′は、弾性表面波共振
器Ｓ２に付加容量Ｃd2′が並列接続されている。本実施
例による弾性表面波フィルタの等価回路を図３（ｂ）に
示す。直列素子Ａ′の等価回路は、弾性表面波共振器Ｓ
１の等価容量Ｃ１、等価インダクタンスＬ１、端子間容
量Ｃd1と、並列接続された付加容量Ｃd1′からなり、並
列素子Ｂ′の等価回路は、弾性表面波共振器Ｓ２の等価
容量Ｃ２、等価インダクタンスＬ２、端子間容量Ｃd2
と、並列接続された付加容量Ｃd2′からなっている。
子Ａ′は、弾性表面波共振器Ｓ１に付加容量Ｃd1′が並
列接続され、１段目の並列素子Ｂ′は、弾性表面波共振
器Ｓ２に付加容量Ｃd2′が並列接続されている。本実施
例による弾性表面波フィルタの等価回路を図３（ｂ）に
示す。直列素子Ａ′の等価回路は、弾性表面波共振器Ｓ
１の等価容量Ｃ１、等価インダクタンスＬ１、端子間容
量Ｃd1と、並列接続された付加容量Ｃd1′からなり、並
列素子Ｂ′の等価回路は、弾性表面波共振器Ｓ２の等価
容量Ｃ２、等価インダクタンスＬ２、端子間容量Ｃd2
と、並列接続された付加容量Ｃd2′からなっている。
【００２４】本実施例による弾性表面波フィルタの周波
数特性を図４に示す。図４（ａ）はインピーダンスの周
波数特性であり、図４（ｂ）は挿入損失の周波数特性で
ある。図４（ａ）、（ｂ）において、実線は、容量を付
加しなかった場合の特性であり、破線は、付加容量Ｃd
1′と付加容量Ｃd2′を並列接続した場合の特性であ
る。また、図４（ａ）において、弾性表面波共振器Ｓ
１、Ｓ２は共振周波数ｆ１＝ｆ２になるように設計され
ている。
数特性を図４に示す。図４（ａ）はインピーダンスの周
波数特性であり、図４（ｂ）は挿入損失の周波数特性で
ある。図４（ａ）、（ｂ）において、実線は、容量を付
加しなかった場合の特性であり、破線は、付加容量Ｃd
1′と付加容量Ｃd2′を並列接続した場合の特性であ
る。また、図４（ａ）において、弾性表面波共振器Ｓ
１、Ｓ２は共振周波数ｆ１＝ｆ２になるように設計され
ている。
【００２５】前述したように、一般に、弾性表面波共振
器の端子間に付加容量を並列接続すると、反共振周波数
が共振周波数側にシフトする。本実施例の場合、弾性表
面波共振器Ｓ１に付加容量Ｃd1′が並列接続され、弾性
表面波共振器Ｓ２に付加容量Ｃd2′が並列接続されてお
り、図４（ａ）に破線で示すように、弾性表面波共振器
Ｓ１、Ｓ２の反共振周波数が共振周波数側に大きく変化
する。したがって、図４（ｂ）に破線で示すように、通
過帯域幅を狭くしたフィルタ特性を得ることができる。
器の端子間に付加容量を並列接続すると、反共振周波数
が共振周波数側にシフトする。本実施例の場合、弾性表
面波共振器Ｓ１に付加容量Ｃd1′が並列接続され、弾性
表面波共振器Ｓ２に付加容量Ｃd2′が並列接続されてお
り、図４（ａ）に破線で示すように、弾性表面波共振器
Ｓ１、Ｓ２の反共振周波数が共振周波数側に大きく変化
する。したがって、図４（ｂ）に破線で示すように、通
過帯域幅を狭くしたフィルタ特性を得ることができる。
【００２６】このように本実施例によれば、ラダー型に
接続された弾性表面波共振器に容量を付加することによ
り、圧電性基板を変えることなく、通過帯域幅をコント
ロールすることができる。本発明の第３の実施例による
弾性表面波フィルタを図５乃至図１０を用いて説明す
る。
接続された弾性表面波共振器に容量を付加することによ
り、圧電性基板を変えることなく、通過帯域幅をコント
ロールすることができる。本発明の第３の実施例による
弾性表面波フィルタを図５乃至図１０を用いて説明す
る。
【００２７】本実施例による弾性表面波フィルタは、圧
電性基板１０として３６°回転Ｙ板ＬｉＴａＯ3 基板１
０上に、複数の弾性表面波共振器Ｓ１〜Ｓ１０をラダー
型に接続して構成されている。直列素子及び並列素子の
一部に付加容量を並列接続することにより、フィルタ特
性の急峻度が大きくなるようにしている。図５に示すよ
うに、１段目の直列素子Ａ′は、弾性表面波共振器Ｓ１
に付加容量Ｃd1′が並列接続され、１段目の並列素子
Ｂ′は、弾性表面波共振器Ｓ２に付加容量Ｃd2′が並列
接続され、２段目乃至４段目の直列素子Ａは、弾性表面
波共振器Ｓ３、Ｓ５、Ｓ７だけにより構成され、２段目
乃至４段目の並列素子Ｂは、弾性表面波共振器Ｓ４、Ｓ
６、Ｓ８だけにより構成され、５段目の直列素子Ａ′
は、弾性表面波共振器Ｓ９に付加容量Ｃd9′が並列接続
され、５段目の並列素子Ｂ′は、弾性表面波共振器Ｓ１
０に付加容量Ｃd10 ′が並列接続されている。
電性基板１０として３６°回転Ｙ板ＬｉＴａＯ3 基板１
０上に、複数の弾性表面波共振器Ｓ１〜Ｓ１０をラダー
型に接続して構成されている。直列素子及び並列素子の
一部に付加容量を並列接続することにより、フィルタ特
性の急峻度が大きくなるようにしている。図５に示すよ
うに、１段目の直列素子Ａ′は、弾性表面波共振器Ｓ１
に付加容量Ｃd1′が並列接続され、１段目の並列素子
Ｂ′は、弾性表面波共振器Ｓ２に付加容量Ｃd2′が並列
接続され、２段目乃至４段目の直列素子Ａは、弾性表面
波共振器Ｓ３、Ｓ５、Ｓ７だけにより構成され、２段目
乃至４段目の並列素子Ｂは、弾性表面波共振器Ｓ４、Ｓ
６、Ｓ８だけにより構成され、５段目の直列素子Ａ′
は、弾性表面波共振器Ｓ９に付加容量Ｃd9′が並列接続
され、５段目の並列素子Ｂ′は、弾性表面波共振器Ｓ１
０に付加容量Ｃd10 ′が並列接続されている。
【００２８】弾性表面波共振器Ｓは、図６に示すよう
に、１００対程度の櫛形の励起用電極１２（図６
（ｃ））を、５０対程度の反射器１４、１６（図６
（ｂ））により挟むようにして構成されている。直列素
子である弾性表面波共振器Ｓに付加容量Ｃｄを付加した
構造の一例を図６に示す。図６（ａ）に示すように、励
起用電極１２の入力電極１２Ａと出力電極１２Ｂから、
それぞれ電極層１８、２０を図６（ａ）右方向に延ば
し、反射器１６の右側で重ね合わせるようにする。すな
わち、図６（ｄ）に示すように、圧電性基板１０上に形
成された電極層１８、２０を、シリコン酸化膜２２を挟
んで重ね合わせている。これにより、弾性表面波共振器
Ｓの入力電極１２Ａと出力電極１２Ｂの間に付加容量Ｃ
ｄが並列接続される。
に、１００対程度の櫛形の励起用電極１２（図６
（ｃ））を、５０対程度の反射器１４、１６（図６
（ｂ））により挟むようにして構成されている。直列素
子である弾性表面波共振器Ｓに付加容量Ｃｄを付加した
構造の一例を図６に示す。図６（ａ）に示すように、励
起用電極１２の入力電極１２Ａと出力電極１２Ｂから、
それぞれ電極層１８、２０を図６（ａ）右方向に延ば
し、反射器１６の右側で重ね合わせるようにする。すな
わち、図６（ｄ）に示すように、圧電性基板１０上に形
成された電極層１８、２０を、シリコン酸化膜２２を挟
んで重ね合わせている。これにより、弾性表面波共振器
Ｓの入力電極１２Ａと出力電極１２Ｂの間に付加容量Ｃ
ｄが並列接続される。
【００２９】並列素子である弾性表面波共振器Ｓに付加
容量Ｃｄを付加した構造の一例を図７に示す。並列素子
の場合、弾性表面波共振器Ｓの出力側は接地されるの
で、図７（ａ）に示すように、励起用電極１２の出力電
極１２Ｂは反射器１４、１６に共通接続されて接地され
る。また、入力側では、反射器１４、１６から電極層２
４が中央方向に延ばされ、図７（ｂ）に示すように、そ
の上にシリコン酸化膜２２を介して入力電極１２Ａが形
成される。これにより、弾性表面波共振器Ｓの入力電極
１２Ａと接地（出力電極１２Ｂ）の間に付加容量Ｃｄが
並列接続される。
容量Ｃｄを付加した構造の一例を図７に示す。並列素子
の場合、弾性表面波共振器Ｓの出力側は接地されるの
で、図７（ａ）に示すように、励起用電極１２の出力電
極１２Ｂは反射器１４、１６に共通接続されて接地され
る。また、入力側では、反射器１４、１６から電極層２
４が中央方向に延ばされ、図７（ｂ）に示すように、そ
の上にシリコン酸化膜２２を介して入力電極１２Ａが形
成される。これにより、弾性表面波共振器Ｓの入力電極
１２Ａと接地（出力電極１２Ｂ）の間に付加容量Ｃｄが
並列接続される。
【００３０】付加容量Ｃｄの容量値は、シリコン酸化膜
２２をＰ−ＣＶＤにより形成した場合、その誘電率は
４．３程度であるから、シリコン酸化膜２２の膜厚を
０．８μｍで、電極が重なりあった面積を０．２×０．
２ｍｍ程度にすると、付加容量Ｃｄは２ｐＦ程度とな
る。なお、誘電体膜としてシリコン酸化膜２２を利用す
ると、絶縁耐性等信頼性に優れ、良好な特性を得ること
ができる。また、Ｐ−ＣＶＤを使用する場合には、シリ
コン酸化膜を低温で製造することができるので、素子へ
のダメージを回避することができると共に、緻密で良好
な膜質の誘電体膜を得ることができる。
２２をＰ−ＣＶＤにより形成した場合、その誘電率は
４．３程度であるから、シリコン酸化膜２２の膜厚を
０．８μｍで、電極が重なりあった面積を０．２×０．
２ｍｍ程度にすると、付加容量Ｃｄは２ｐＦ程度とな
る。なお、誘電体膜としてシリコン酸化膜２２を利用す
ると、絶縁耐性等信頼性に優れ、良好な特性を得ること
ができる。また、Ｐ−ＣＶＤを使用する場合には、シリ
コン酸化膜を低温で製造することができるので、素子へ
のダメージを回避することができると共に、緻密で良好
な膜質の誘電体膜を得ることができる。
【００３１】本実施例による弾性表面波フィルタの周波
数特性を図８に示す。図８（ａ）はインピーダンスの周
波数特性であり、図８（ｂ）は挿入損失の周波数特性で
ある。容量を付加しなかった弾性表面波共振器の場合、
図８（ａ）に実線で示すように、共振周波数と反共振周
波数の差が約３％であるのに対し、付加容量を並列接続
した弾性表面波共振器の場合、図８（ａ）に破線で示す
ように、共振周波数と反共振周波数の差が約１．７％で
ある。
数特性を図８に示す。図８（ａ）はインピーダンスの周
波数特性であり、図８（ｂ）は挿入損失の周波数特性で
ある。容量を付加しなかった弾性表面波共振器の場合、
図８（ａ）に実線で示すように、共振周波数と反共振周
波数の差が約３％であるのに対し、付加容量を並列接続
した弾性表面波共振器の場合、図８（ａ）に破線で示す
ように、共振周波数と反共振周波数の差が約１．７％で
ある。
【００３２】本実施例では、容量を付加しない場合の共
振周波数と、容量を付加した場合の共振周波数とを所望
の周波数に一致させるために、弾性表面波共振器の電極
ピッチを変化させている。このようにして一部の弾性表
面波共振器に付加容量を並列接続し、共振周波数を一致
させて、図５に示すように構成した弾性表面波フィルタ
の周波数特性を図８（ｂ）に示す。実線は、容量を付加
することなく構成した弾性表面波フィルタの特性であ
り、破線は、容量を付加した本実施例の弾性表面波フィ
ルタの特性である。図８（ｂ）から明らかなように、容
量を付加することにより、フィルタ特性が急峻となる。
振周波数と、容量を付加した場合の共振周波数とを所望
の周波数に一致させるために、弾性表面波共振器の電極
ピッチを変化させている。このようにして一部の弾性表
面波共振器に付加容量を並列接続し、共振周波数を一致
させて、図５に示すように構成した弾性表面波フィルタ
の周波数特性を図８（ｂ）に示す。実線は、容量を付加
することなく構成した弾性表面波フィルタの特性であ
り、破線は、容量を付加した本実施例の弾性表面波フィ
ルタの特性である。図８（ｂ）から明らかなように、容
量を付加することにより、フィルタ特性が急峻となる。
【００３３】このように本実施例によれば、ラダー型に
接続された弾性表面波共振器の一部に容量を付加するこ
とにより、急峻なフィルタ特性を得ることができる。上
記実施例では、弾性表面波共振器に付加容量を並列接続
したが、弾性表面波共振器に付加容量を直列接続するこ
とによっても、帯域幅によらず急峻なフィルタ特性を得
たり、帯域幅を狭くしたりして、フィルタ特性を制御す
ることが可能である。
接続された弾性表面波共振器の一部に容量を付加するこ
とにより、急峻なフィルタ特性を得ることができる。上
記実施例では、弾性表面波共振器に付加容量を並列接続
したが、弾性表面波共振器に付加容量を直列接続するこ
とによっても、帯域幅によらず急峻なフィルタ特性を得
たり、帯域幅を狭くしたりして、フィルタ特性を制御す
ることが可能である。
【００３４】弾性表面波共振器Ｓに付加容量Ｃｄを直列
接続した構造の一例を図９に示す。図９（ａ）に示すよ
うに、励起用電極１２の入力電極１２Ａを、２つの電極
層１２Ａａ、１２Ａｂに分割し、図９（ｂ）、（ｃ）に
示すように、これら電極層１２Ａａと電極層１２Ａｂを
シリコン酸化膜２２を挟んで重ね合わせている。これに
より、弾性表面波共振器Ｓの入力電極１２Ａに付加容量
Ｃｄが直列接続される。
接続した構造の一例を図９に示す。図９（ａ）に示すよ
うに、励起用電極１２の入力電極１２Ａを、２つの電極
層１２Ａａ、１２Ａｂに分割し、図９（ｂ）、（ｃ）に
示すように、これら電極層１２Ａａと電極層１２Ａｂを
シリコン酸化膜２２を挟んで重ね合わせている。これに
より、弾性表面波共振器Ｓの入力電極１２Ａに付加容量
Ｃｄが直列接続される。
【００３５】弾性表面波共振器Ｓに付加容量Ｃｄを直列
接続した構造の他の例を図１０に示す。図１０（ａ）に
示すように、励起用電極１２の入力電極１２Ａを、２つ
の電極層１２Ａａ、１２Ａｂに分割し、圧電性基板１０
上で所定距離を隔てて対向させる。電極層１２Ａａと電
極層１２Ａｂの間にはシリコン酸化膜等の誘電体を新た
に設けることはしていないが、図１０（ｂ）に示すよう
に、電極層１２Ａａ、１２Ａｂ間に誘電体である圧電性
基板１０が挟まれたコンデンサの構造となる。これによ
り、弾性表面波共振器Ｓの入力電極１２Ａに付加容量Ｃ
ｄが直列接続される。
接続した構造の他の例を図１０に示す。図１０（ａ）に
示すように、励起用電極１２の入力電極１２Ａを、２つ
の電極層１２Ａａ、１２Ａｂに分割し、圧電性基板１０
上で所定距離を隔てて対向させる。電極層１２Ａａと電
極層１２Ａｂの間にはシリコン酸化膜等の誘電体を新た
に設けることはしていないが、図１０（ｂ）に示すよう
に、電極層１２Ａａ、１２Ａｂ間に誘電体である圧電性
基板１０が挟まれたコンデンサの構造となる。これによ
り、弾性表面波共振器Ｓの入力電極１２Ａに付加容量Ｃ
ｄが直列接続される。
【００３６】圧電性基板１０である３６°回転Ｙ板Ｌｉ
ＴａＯ3 基板の比誘電率はε22（深さ方向）＝４２、ε
33（伝搬方向）＝４２であるので、電極層１２Ａａ、１
２Ａｂの長さが１ｍｍで、０．１ｍｍの間隔を隔てて対
向しているとすると、付加容量は０．０２ｐＦとなる。
なお、付加容量の容量値を大きくしたい場合には、図１
０（ｃ）に示すように、電極層１２Ａａ、１２Ａｂの櫛
形電極とし、対向する実効長さを長くすればよい。
ＴａＯ3 基板の比誘電率はε22（深さ方向）＝４２、ε
33（伝搬方向）＝４２であるので、電極層１２Ａａ、１
２Ａｂの長さが１ｍｍで、０．１ｍｍの間隔を隔てて対
向しているとすると、付加容量は０．０２ｐＦとなる。
なお、付加容量の容量値を大きくしたい場合には、図１
０（ｃ）に示すように、電極層１２Ａａ、１２Ａｂの櫛
形電極とし、対向する実効長さを長くすればよい。
【００３７】本発明の第４の実施例による弾性表面波フ
ィルタを図１１乃至図１３を用いて説明する。本実施例
による弾性表面波フィルタは、圧電性基板１０として３
６°回転Ｙ板ＬｉＴａＯ3 基板１０上に、複数の弾性表
面波共振器Ｓ１〜Ｓ６をラダー型に接続して構成されて
いる。全ての直列素子及び並列素子に付加容量を並列接
続することにより、帯域幅を狭くするようにしている。
ィルタを図１１乃至図１３を用いて説明する。本実施例
による弾性表面波フィルタは、圧電性基板１０として３
６°回転Ｙ板ＬｉＴａＯ3 基板１０上に、複数の弾性表
面波共振器Ｓ１〜Ｓ６をラダー型に接続して構成されて
いる。全ての直列素子及び並列素子に付加容量を並列接
続することにより、帯域幅を狭くするようにしている。
【００３８】図１１に示すように、１段目の直列素子
Ａ′は、弾性表面波共振器Ｓ１に付加容量Ｃd1′が並列
接続され、１段目の並列素子Ｂ′は、弾性表面波共振器
Ｓ２に付加容量Ｃd2′が並列接続され、２段目の直列素
子Ａ′は、弾性表面波共振器Ｓ３に付加容量Ｃd3′が並
列接続され、２段目の並列素子Ｂ′は、弾性表面波共振
器Ｓ４に付加容量Ｃd4′が並列接続され、３段目の直列
素子Ａ′は、弾性表面波共振器Ｓ５に付加容量Ｃd5′が
並列接続され、３段目の並列素子Ｂ′は、弾性表面波共
振器Ｓ６に付加容量Ｃd6′が並列接続されている。
Ａ′は、弾性表面波共振器Ｓ１に付加容量Ｃd1′が並列
接続され、１段目の並列素子Ｂ′は、弾性表面波共振器
Ｓ２に付加容量Ｃd2′が並列接続され、２段目の直列素
子Ａ′は、弾性表面波共振器Ｓ３に付加容量Ｃd3′が並
列接続され、２段目の並列素子Ｂ′は、弾性表面波共振
器Ｓ４に付加容量Ｃd4′が並列接続され、３段目の直列
素子Ａ′は、弾性表面波共振器Ｓ５に付加容量Ｃd5′が
並列接続され、３段目の並列素子Ｂ′は、弾性表面波共
振器Ｓ６に付加容量Ｃd6′が並列接続されている。
【００３９】本実施例では、前述した構造により個々の
弾性表面波共振器に付加容量を設けてもよいが、全ての
弾性表面波共振器に容量を付加するという特徴を考慮し
た構造例を図１２に示す。図１２（ａ）は弾性表面波共
振器の断面図であり、図１２（ｂ）は励起用電極１２の
一部を拡大した平面図であり、図１２（ｃ）はＦ−Ｆ′
線断面図である。
弾性表面波共振器に付加容量を設けてもよいが、全ての
弾性表面波共振器に容量を付加するという特徴を考慮し
た構造例を図１２に示す。図１２（ａ）は弾性表面波共
振器の断面図であり、図１２（ｂ）は励起用電極１２の
一部を拡大した平面図であり、図１２（ｃ）はＦ−Ｆ′
線断面図である。
【００４０】この構造例では、図１２（ａ）に示すよう
に、弾性表面波共振器Ｓ１〜Ｓ６上全面にシリコン酸化
膜２６を形成する。励起用電極１２、反射器１４、１６
を全て覆うようにシリコン酸化膜２６を形成すると、こ
のシリコン酸化膜２６を誘電体とする付加容量が形成さ
れる。図１２（ｂ）に示すように、一組のくし型電極１
２、１２′は互いに対向するように形成されているの
で、全面にシリコン酸化膜２６が形成されると、図１２
（ｃ）に示すように、一組のくし型電極１２、１２′間
の圧電性基板１０上にシリコン酸化膜２６が存在するこ
とになる。したがって、一組のくし型電極１２、１２′
を対向する電極とし、シリコン酸化膜２６を誘電体とす
る付加容量Ｃｄが、弾性表面波共振器Ｓ１〜Ｓ６に並列
接続される。
に、弾性表面波共振器Ｓ１〜Ｓ６上全面にシリコン酸化
膜２６を形成する。励起用電極１２、反射器１４、１６
を全て覆うようにシリコン酸化膜２６を形成すると、こ
のシリコン酸化膜２６を誘電体とする付加容量が形成さ
れる。図１２（ｂ）に示すように、一組のくし型電極１
２、１２′は互いに対向するように形成されているの
で、全面にシリコン酸化膜２６が形成されると、図１２
（ｃ）に示すように、一組のくし型電極１２、１２′間
の圧電性基板１０上にシリコン酸化膜２６が存在するこ
とになる。したがって、一組のくし型電極１２、１２′
を対向する電極とし、シリコン酸化膜２６を誘電体とす
る付加容量Ｃｄが、弾性表面波共振器Ｓ１〜Ｓ６に並列
接続される。
【００４１】くし型電極１２、１２′が１００対であ
り、その開口長Ａを０．３ｍｍ、電極指のピッチＬを１
０μｍ、電極層の厚さＨを０．７μｍ、メタライズ比を
１：１、シリコン酸化膜２６の誘電率を４．３程度とす
ると、付加容量Ｃｄの容量値は０．１ｐＦ程度となる。
本実施例による弾性表面波フィルタの周波数特性を図１
３に示す。実線は、容量を付加しなかった場合の特性で
あり、破線は、付加容量を並列接続した場合の特性であ
る。
り、その開口長Ａを０．３ｍｍ、電極指のピッチＬを１
０μｍ、電極層の厚さＨを０．７μｍ、メタライズ比を
１：１、シリコン酸化膜２６の誘電率を４．３程度とす
ると、付加容量Ｃｄの容量値は０．１ｐＦ程度となる。
本実施例による弾性表面波フィルタの周波数特性を図１
３に示す。実線は、容量を付加しなかった場合の特性で
あり、破線は、付加容量を並列接続した場合の特性であ
る。
【００４２】容量を付加しなかった場合に比べ、付加容
量を並列接続した場合、破線で示すように、通過帯域幅
が狭くなったフィルタ特性を得ることができる。このよ
うに本実施例によれば、ラダー型に接続された弾性表面
波共振器に容量を付加することにより、圧電性基板を変
えることなく、通過帯域幅をコントロールすることがで
きる。
量を並列接続した場合、破線で示すように、通過帯域幅
が狭くなったフィルタ特性を得ることができる。このよ
うに本実施例によれば、ラダー型に接続された弾性表面
波共振器に容量を付加することにより、圧電性基板を変
えることなく、通過帯域幅をコントロールすることがで
きる。
【００４３】本発明は上記実施例に限らず種々の変形が
可能である。例えば、上記実施例では誘電体膜としてシ
リコン酸化膜を用いたが、シリコン窒化膜などの他の誘
電体膜を用いてもよい。また、誘電体膜の形成方法とし
ては、Ｐ−ＣＶＤ法の他に、他のＣＶＤ法や、スパッタ
法により形成してもよい。
可能である。例えば、上記実施例では誘電体膜としてシ
リコン酸化膜を用いたが、シリコン窒化膜などの他の誘
電体膜を用いてもよい。また、誘電体膜の形成方法とし
ては、Ｐ−ＣＶＤ法の他に、他のＣＶＤ法や、スパッタ
法により形成してもよい。
【００４４】
【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、本発明に
よれば、圧電性基板と、圧電基板上に形成され、ラダー
型に接続された複数の弾性表面波共振器とを有する弾性
表面波フィルタにおいて、圧電性基板上に形成され、弾
性表面波共振器に直列又は並列に接続された付加容量を
有するので、帯域幅によらず急峻なフィルタ特性を得た
り、帯域幅を狭くしたりして、フィルタ特性を制御する
ことができる。
よれば、圧電性基板と、圧電基板上に形成され、ラダー
型に接続された複数の弾性表面波共振器とを有する弾性
表面波フィルタにおいて、圧電性基板上に形成され、弾
性表面波共振器に直列又は並列に接続された付加容量を
有するので、帯域幅によらず急峻なフィルタ特性を得た
り、帯域幅を狭くしたりして、フィルタ特性を制御する
ことができる。
【００４５】上述した弾性表面波フィルタにおいて、付
加容量を、圧電性基板上に形成された第１の電極層と、
第１の電極層上に形成された誘電体層と、誘電体層上に
形成された第２の電極層とで構成したので、圧電性基板
上に簡単に設けることができる。上述した弾性表面波フ
ィルタにおいて、付加容量の前記第１の電極層を弾性表
面波共振器の入出力電極又は接地電極に接続し、第２の
電極層を弾性表面波共振器の接地電極又は入出力電極に
接続することにより、付加容量を弾性表面波共振器に並
列に設けてもよいし、付加容量の第１の電極層又は第２
の電極層を弾性表面波共振器の入出力電極に接続するこ
とにより、付加容量を弾性表面波共振器に直列に設けて
もよい。
加容量を、圧電性基板上に形成された第１の電極層と、
第１の電極層上に形成された誘電体層と、誘電体層上に
形成された第２の電極層とで構成したので、圧電性基板
上に簡単に設けることができる。上述した弾性表面波フ
ィルタにおいて、付加容量の前記第１の電極層を弾性表
面波共振器の入出力電極又は接地電極に接続し、第２の
電極層を弾性表面波共振器の接地電極又は入出力電極に
接続することにより、付加容量を弾性表面波共振器に並
列に設けてもよいし、付加容量の第１の電極層又は第２
の電極層を弾性表面波共振器の入出力電極に接続するこ
とにより、付加容量を弾性表面波共振器に直列に設けて
もよい。
【００４６】上述した弾性表面波フィルタにおいて、弾
性表面波共振器は、圧電性基板上に互いに対向する一組
のくし型電極を有し、弾性表面波共振器の一組のくし型
電極上に形成された誘電体層を有し、付加容量を一組の
くし型電極を電極とし、誘電体層を誘電体とし、弾性表
面波共振器に並列に設けるようにすれば、素子面積を増
加することなく付加容量を設けることができる上述した
弾性表面波フィルタにおいて、誘電体層を酸化シリコン
層又は窒化シリコン層により形成すれば、絶縁耐性等信
頼性に優れ、良好な特性を得ることができる。
性表面波共振器は、圧電性基板上に互いに対向する一組
のくし型電極を有し、弾性表面波共振器の一組のくし型
電極上に形成された誘電体層を有し、付加容量を一組の
くし型電極を電極とし、誘電体層を誘電体とし、弾性表
面波共振器に並列に設けるようにすれば、素子面積を増
加することなく付加容量を設けることができる上述した
弾性表面波フィルタにおいて、誘電体層を酸化シリコン
層又は窒化シリコン層により形成すれば、絶縁耐性等信
頼性に優れ、良好な特性を得ることができる。
【００４７】上述した弾性表面波フィルタにおいて、付
加容量は、圧電性基板上に形成され、弾性表面波共振器
の入出力電極に接続された第１の電極と、圧電性基板上
に、第１の電極と所定間隔を隔てて対向する第２の電極
と、第１の電極と第２の電極間の圧電性基板からなる誘
電体とを有するようにすれば、新たに誘電体層などを形
成することなく、付加容量を弾性表面波共振器に設ける
ことができる。
加容量は、圧電性基板上に形成され、弾性表面波共振器
の入出力電極に接続された第１の電極と、圧電性基板上
に、第１の電極と所定間隔を隔てて対向する第２の電極
と、第１の電極と第２の電極間の圧電性基板からなる誘
電体とを有するようにすれば、新たに誘電体層などを形
成することなく、付加容量を弾性表面波共振器に設ける
ことができる。
【図１】本発明の第１の実施例による弾性表面波フィル
タを示す図である。
タを示す図である。
【図２】本発明の第１の実施例による弾性表面波フィル
タの周波数特性を示すグラフである。
タの周波数特性を示すグラフである。
【図３】本発明の第２の実施例による弾性表面波フィル
タを示す図である。
タを示す図である。
【図４】本発明の第２の実施例による弾性表面波フィル
タの周波数特性を示すグラフである。
タの周波数特性を示すグラフである。
【図５】本発明の第３の実施例による弾性表面波フィル
タを示す図である。
タを示す図である。
【図６】本発明の第３の実施例の弾性表面波フィルタに
おける直列素子である弾性表面波共振器の構造の一例を
示す図である。
おける直列素子である弾性表面波共振器の構造の一例を
示す図である。
【図７】本発明の第３の実施例の弾性表面波フィルタに
おける並列素子である弾性表面波共振器の構造の一例を
示す図である。
おける並列素子である弾性表面波共振器の構造の一例を
示す図である。
【図８】本発明の第３の実施例による弾性表面波フィル
タの周波数特性を示すグラフである。
タの周波数特性を示すグラフである。
【図９】弾性表面波共振器に付加容量を直列接続した構
造の一例を示す図である。
造の一例を示す図である。
【図１０】弾性表面波共振器に付加容量を直列接続した
構造の他の例を示す図である。
構造の他の例を示す図である。
【図１１】本発明の第４の実施例による弾性表面波フィ
ルタを示す図である。
ルタを示す図である。
【図１２】本発明の第４の実施例の弾性表面波フィルタ
における弾性表面波共振器の構造の一例を示す図であ
る。
における弾性表面波共振器の構造の一例を示す図であ
る。
【図１３】本発明の第４の実施例による弾性表面波フィ
ルタの周波数特性を示すグラフである。
ルタの周波数特性を示すグラフである。
【図１４】従来の弾性表面波フィルタを示す図である。
１０…圧電性基板 １２…励起用電極 １２Ａ…入力電極 １２Ｂ…出力電極 １４、１６…反射器 １８、２０、２４…電極層 ２２、２６…シリコン酸化膜 Ａ、Ａ′…直列素子 Ｂ、Ｂ′…並列素子 Ｓ１〜Ｓ１０…弾性表面波共振器 Ｃ１〜Ｃ４…等価容量 Ｌ１〜Ｌ４…等価インダクタンス Ｃd1〜Ｃd4…端子間容量 Ｃd1′〜Ｃd10 ′…付加容量
Claims (7)
- 【請求項１】 圧電性基板と、前記圧電基板上に形成さ
れ、ラダー型に接続された複数の弾性表面波共振器とを
有する弾性表面波フィルタにおいて、 前記圧電性基板上に形成され、前記弾性表面波共振器に
直列又は並列に接続された付加容量を有することを特徴
とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項２】 請求項１記載の弾性表面波フィルタにお
いて、 前記付加容量は、 前記圧電性基板上に形成された第１の電極層と、 前記第１の電極層上に形成された誘電体層と、 前記誘電体層上に形成された第２の電極層とを有するこ
とを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項３】 請求項２記載の弾性表面波フィルタにお
いて、 前記付加容量の前記第１の電極層は、前記弾性表面波共
振器の入出力電極又は接地電極に接続され、前記第２の
電極層は、前記弾性表面波共振器の接地電極又は入出力
電極に接続され、 前記付加容量は、前記弾性表面波共振器に並列に設けら
れていることを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項４】 請求項２記載の弾性表面波フィルタにお
いて、 前記付加容量の前記第１の電極層又は前記第２の電極層
は、前記弾性表面波共振器の入出力電極に接続され、 前記付加容量は、前記弾性表面波共振器に直列に設けら
れていることを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項５】 請求項１記載の弾性表面波フィルタにお
いて、 前記弾性表面波共振器は、前記圧電性基板上に互いに対
向する一組のくし型電極を有し、 前記弾性表面波共振器の前記一組のくし型電極上に形成
された誘電体層を有し、 前記付加容量は、前記一組のくし型電極を電極とし、前
記誘電体層を誘電体とし、前記弾性表面波共振器に並列
に設けられていることを特徴とする弾性表面波フィル
タ。 - 【請求項６】 請求項１乃至５のいずれかに記載の弾性
表面波フィルタにおいて、 前記誘電体層は、シリコン酸化膜又はシリコン窒化膜で
あることを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項７】 請求項１記載の弾性表面波フィルタにお
いて、 前記付加容量は、 前記圧電性基板上に形成され、前記弾性表面波共振器の
入出力電極に接続された第１の電極と、 前記圧電性基板上に、前記第１の電極と所定間隔を隔て
て対向する第２の電極と、 前記第１の電極と前記第２の電極間の前記圧電性基板か
らなる誘電体とを有し、 前記付加容量は、前記弾性表面波共振器に直列に設けら
れていることを特徴とする弾性表面波フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19672894A JP3390537B2 (ja) | 1994-08-22 | 1994-08-22 | 弾性表面波フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19672894A JP3390537B2 (ja) | 1994-08-22 | 1994-08-22 | 弾性表面波フィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0865089A true JPH0865089A (ja) | 1996-03-08 |
| JP3390537B2 JP3390537B2 (ja) | 2003-03-24 |
Family
ID=16362610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19672894A Expired - Lifetime JP3390537B2 (ja) | 1994-08-22 | 1994-08-22 | 弾性表面波フィルタ |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3390537B2 (ja) |
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