JPWO2019123810A1 - 弾性波装置 - Google Patents
弾性波装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2019123810A1 JPWO2019123810A1 JP2019560832A JP2019560832A JPWO2019123810A1 JP WO2019123810 A1 JPWO2019123810 A1 JP WO2019123810A1 JP 2019560832 A JP2019560832 A JP 2019560832A JP 2019560832 A JP2019560832 A JP 2019560832A JP WO2019123810 A1 JPWO2019123810 A1 JP WO2019123810A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bus bar
- electrode
- electrode finger
- idt
- finger
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005764 inhibitory process Effects 0.000 abstract description 24
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 58
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 33
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 33
- 239000000463 material Substances 0.000 description 18
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 14
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 11
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 11
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 10
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N Magnesium oxide Chemical compound [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 6
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 6
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 5
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 229910052839 forsterite Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N magnesium orthosilicate Chemical compound [Mg+2].[Mg+2].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052878 cordierite Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N dimagnesium dioxido-bis[(1-oxido-3-oxo-2,4,6,8,9-pentaoxa-1,3-disila-5,7-dialuminabicyclo[3.3.1]nonan-7-yl)oxy]silane Chemical compound [Mg++].[Mg++].[O-][Si]([O-])(O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2)O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2 JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 1
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02228—Guided bulk acoustic wave devices or Lamb wave devices having interdigital transducers situated in parallel planes on either side of a piezoelectric layer
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
- H03H9/1457—Transducers having different finger widths
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
- H03H9/02574—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of combined substrates, multilayered substrates, piezoelectrical layers on not-piezoelectrical substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02842—Means for compensation or elimination of undesirable effects of reflections
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02921—Measures for preventing electric discharge due to pyroelectricity
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02992—Details of bus bars, contact pads or other electrical connections for finger electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14538—Formation
- H03H9/14541—Multilayer finger or busbar electrode
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/6436—Coupled resonator filters having one acoustic track only
Abstract
ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能な弾性波装置を提供する。弾性波装置（１）は、圧電体部（２４）と、第１端子（１１）と第２端子（１２）とに接続されているＩＤＴ電極（３）と、第２端子（１２）と接続されている反射器（８）と、を備える。ＩＤＴ電極３では、ＩＤＴ電極３では、一群の電極指のうち第２方向Ｄ２において一方の端に位置する電極指を第１端電極指とし、他方の端に位置する電極指を第２端電極指とした場合に、第１端電極指は、第２方向Ｄ２において、反射器（８）と第２端電極指との間に位置している。第１バスバー（４）と第２バスバー（５）とのうち第１端電極指に接続されていないバスバーの外側バスバー部は、第２方向Ｄ２において第１端電極指の第１方向Ｄ１の中央部よりも内側に位置している。
Description
本発明は、一般に弾性波装置に関し、より詳細には、ＩＤＴ電極を備える弾性波装置に関する。
従来、弾性波装置として、圧電基板（圧電体部）と、圧電基板上に設けられたＩＤＴ電極と、を備え、ＩＤＴ電極の電極指の一部に太幅部が設けられている弾性波装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載された弾性波装置の一例では、圧電基板上には、ＩＤＴ電極の弾性表面波伝搬方向両側に、反射器が形成されている。ＩＤＴ電極及び反射器は、金属材料により形成されている。特許文献１に記載された弾性波装置の特徴は、ＩＤＴ電極においてピストンモードを形成することにより横モードリップルを抑圧する構造が備えられていることにある。
特許文献１に記載された弾性波装置では、ＩＤＴ電極は、第１のバスバーと、第１のバスバーと隔てられて配置された第２のバスバーと、第１のバスバーに基端が電気的に接続されており、先端が第２のバスバーに向かって延ばされている複数本の第１の電極指と、第２のバスバーに基端が接続されており、先端が第１のバスバーに向かって延ばされている複数本の第２の電極指と、を有する。上記の弾性波装置では、第１の電極指及び第２の電極指の双方に太幅部が設けられている。
第１のバスバーは、第１のバスバーの長さ方向に沿って分離配置された複数の開口部を有する。第１のバスバーは、複数の開口部よりも第１の電極指側に位置しており、かつ第１のバスバーの長さ方向に延びる内側バスバー部と、複数の開口部が設けられている中央バスバー部と、内側バスバー部と中央バスバー部を挟んで反対側に位置している外側バスバー部と、を有する。
第２のバスバーは、第２のバスバーの長さ方向に沿って分離配置された複数の開口部を有する。第２のバスバーは、複数の開口部よりも第２の電極指側に位置しており、かつ第２のバスバーの長さ方向に延びる内側バスバー部と、複数の開口部が設けられている中央バスバー部と、内側バスバー部と中央バスバー部を挟んで反対側に位置している外側バスバー部と、を有する。
ＩＤＴ電極の電極指の一部に太幅部が設けられた弾性波装置では、例えば、第１のバスバー及び第２のバスバーの長さ方向におけるＩＤＴ電極の端領域で、外側バスバー部が、電位の異なる反射器等の金属材料部と隣接するので、静電気放電（ＥＳＤ：Electrostatic Discharge）によりサージ破壊されてしまうことがあった。
本発明の目的は、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能な弾性波装置を提供することにある。
本発明の一態様に係る弾性波装置は、第１端子と、第２端子と、圧電体部と、ＩＤＴ電極と、反射器と、を備える。前記第２端子は、前記第１端子の電位よりも低い電位になる。前記ＩＤＴ電極は、前記圧電体部上に設けられており、前記第１端子及び前記第２端子と電気的に接続されている。前記反射器は、前記圧電体部上に設けられており、前記第２端子と電気的に接続されている。前記ＩＤＴ電極は、第１バスバーと、第２バスバーと、複数の第１電極指と、複数の第２電極指と、を有する。前記第１バスバーは、前記第１端子と電気的に接続されている。前記第２バスバーは、第１方向において前記第１バスバーに対向しており、前記第２端子と電気的に接続されている。前記複数の第１電極指は、前記第１バスバーに接続され前記第１方向において前記第１バスバーから第２バスバー側に延びている。前記複数の第２の電極指は、前記第２バスバーに接続され前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバー側に延びている。前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に直交する第２方向において、互いに離隔して並んでいる。前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指それぞれの少なくとも１つの電極指が、前記少なくとも１つの電極指の前記第１方向の中央部よりも前記第２方向の幅が大きな太幅部を含む。前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、開口部と、内側バスバー部と、外側バスバー部と、連結部と、を含む。前記内側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している。前記外側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している。前記連結部は、前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結している。前記ＩＤＴ電極では、前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とを含む一群の電極指のうち前記第２方向において一方の端に位置する電極指を第１端電極指とし、他方の端に位置する電極指を第２端電極指とした場合に、前記第１端電極指は、前記第２方向において、前記反射器と前記第２端電極指との間に位置している。前記第１バスバーと前記第２バスバーとのうち前記第１端電極指に接続されていないバスバーの外側バスバー部は、前記第２方向において前記第１端電極指の前記第１方向の中央部よりも内側に位置している。
本発明の一態様に係る弾性波装置は、第１端子と、第２端子と、圧電体部と、複数のＩＤＴ電極と、２つの反射器と、を備える。前記第２端子は、前記第１端子の電位よりも低い電位になる。前記複数のＩＤＴ電極は、前記圧電体部上に設けられており、前記第１端子及び前記第２端子と電気的に接続されている。前記２つの反射器は、前記圧電体部上に設けられており、前記複数のＩＤＴ電極により励振された弾性波を反射する。前記複数のＩＤＴ電極の各々は、第１バスバーと、第２バスバーと、複数の第１電極指と、複数の第２電極指と、を有する。前記第２バスバーは、第１方向において前記第１バスバーに対向している。前記複数の第１電極指は、前記第１バスバーに接続され前記第１方向において前記第１バスバーから第２バスバー側に延びている。前記複数の第２の電極指は、前記第２バスバーに接続され前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバー側に延びている。前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に直交する第２方向において、互いに離隔して並んでいる。前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指それぞれの少なくとも１つの電極指が、前記少なくとも１つの電極指の前記第１方向の中央部よりも前記第２方向の幅が大きな太幅部を含む。前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、開口部と、内側バスバー部と、外側バスバー部と、連結部と、を含む。前記内側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している。前記外側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している。前記連結部は、前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結している。前記複数のＩＤＴ電極が前記第２方向において並んでいる。前記２つの反射器は、前記第２方向において並んでいる前記複数のＩＤＴ電極のうち両側のＩＤＴ電極それぞれの、隣りのＩＤＴ電極とは反対側に位置している。前記複数のＩＤＴ電極のうち、前記２つの反射器のうち１つの反射器に隣り合うＩＤＴ電極では、前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とを含む一群の電極指のうち前記第２方向における一方の端に位置する電極指を第１端電極指とし、他方の端に位置する電極指を第２端電極指とした場合に、前記第１端電極指は、前記第２方向において、前記１つの反射器と前記第２端電極指との間に位置している。前記１つの反射器に隣り合うＩＤＴ電極では、前記第１バスバーと前記第２バスバーとのうち前記第１端電極指に接続されていないバスバーの外側バスバー部は、前記第２方向において、前記第１端電極指の前記第１方向の中央部よりも内側に位置している。
本発明の一態様に係る弾性波装置は、第１端子と、第２端子と、圧電体部と、ＩＤＴ電極と、反射器と、を備える。前記第２端子は、前記第１端子の電位よりも低い電位になる。前記ＩＤＴ電極は、前記圧電体部上に設けられており、前記第１端子及び前記第２端子と電気的に接続されている。前記反射器は、前記圧電体部上に設けられており、前記第２端子と電気的に接続されている。前記ＩＤＴ電極は、第１バスバーと、第２バスバーと、複数の第１電極指と、複数の第２電極指と、を有する。前記第１バスバーは、前記第１端子に電気的に接続されている。前記第２バスバーは、第１方向において前記第１バスバーに対向しており、前記第２端子と電気的に接続されている。前記複数の第１電極指は、前記第１バスバーに接続され前記第１方向において前記第１バスバーから第２バスバー側に延びている。前記複数の第２の電極指は、前記第２バスバーに接続され前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバー側に延びている。前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に直交する第２方向において、互いに離隔して並んでいる。前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指それぞれの少なくとも１つの電極指が、前記少なくとも１つの電極指の前記第１方向の中央部よりも前記第２方向の幅が大きな太幅部を含む。前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、開口部と、内側バスバー部と、外側バスバー部と、連結部と、を含む。前記内側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している。前記外側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している。前記連結部は、前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結している。前記ＩＤＴ電極では、前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とを含む一群の電極指のうち前記第２方向において一方の端に位置する電極指を第１端電極指とし、他方の端に位置する電極指を第２端電極指とした場合に、前記第１端電極指は、前記第２方向において、前記反射器と前記第２端電極指との間に位置している。前記第１バスバーと前記第２バスバーとのうち前記第１端電極指に接続されていないバスバーの外側バスバー部は、前記第２方向において、前記第１端電極指に接続されていないバスバーの内側バスバー部よりも内側に位置している。
本発明の一態様に係る弾性波装置は、第１端子と、第２端子と、圧電体部と、複数のＩＤＴ電極と、２つの反射器と、を備える。前記第２端子は、前記第１端子の電位よりも低い電位になる。前記複数のＩＤＴ電極は、前記圧電体部上に設けられており、前記第１端子及び前記第２端子と電気的に接続されている。前記２つの反射器は、前記圧電体部上に設けられており、前記複数のＩＤＴ電極により励振された弾性波を反射する。前記複数のＩＤＴ電極の各々は、第１バスバーと、第２バスバーと、複数の第１電極指と、複数の第２電極指と、を有する。前記第２バスバーは、第１方向において前記第１バスバーに対向している。前記複数の第１電極指は、前記第１バスバーに接続され前記第１方向において前記第１バスバーから第２バスバー側に延びている。前記複数の第２の電極指は、前記第２バスバーに接続され前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバー側に延びている。前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に直交する第２方向において、互いに離隔して並んでいる。前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指それぞれの少なくとも１つの電極指が、前記少なくとも１つの電極指の前記第１方向の中央部よりも前記第２方向の幅が大きな太幅部を含む。前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、開口部と、内側バスバー部と、外側バスバー部と、連結部と、を含む。前記内側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している。前記外側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している。前記連結部は、前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結している。前記複数のＩＤＴ電極が前記第２方向において並んでいる。前記２つの反射器は、前記第２方向において並んでいる前記複数のＩＤＴ電極のうち両側のＩＤＴ電極それぞれの、隣りのＩＤＴ電極とは反対側に位置している。前記複数のＩＤＴ電極のうち、前記２つの反射器のうち１つの反射器に隣り合うＩＤＴ電極では、前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とを含む一群の電極指のうち前記第２方向における一方の端に位置する電極指を第１端電極指とし、他方の端に位置する電極指を第２端電極指とした場合に、前記第１端電極指は、前記第２方向において、前記１つの反射器と前記第２端電極指との間に位置している。前記１つの反射器に隣り合うＩＤＴ電極では、前記第１バスバーと前記第２バスバーとのうち前記第１端電極指に接続されていないバスバーの外側バスバー部は、前記第２方向において、前記第１端電極指に接続されていないバスバーの内側バスバー部よりも内側に位置している。
本発明の一態様に係る弾性波装置は、第１端子と、第２端子と、圧電体部と、複数のＩＤＴ電極と、を備える。前記第２端子は、前記第１端子の電位よりも低い電位になる。前記複数のＩＤＴ電極は、前記圧電体部上に設けられており、前記第１端子及び前記第２端子と電気的に接続されている。前記複数のＩＤＴ電極の各々は、第１バスバーと、第２バスバーと、複数の第１電極指と、複数の第２電極指と、を有する。前記第２バスバーは、第１方向において前記第１バスバーに対向している。前記複数の第１電極指は、前記第１バスバーに接続され前記第１方向において前記第１バスバーから前記第２バスバー側に延びている。前記複数の第２電極指は、前記第２バスバーに接続され前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバー側に延びている。前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に直交する第２方向において、互いに離隔して並んでいる。前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指それぞれの少なくとも１つの電極指が、前記少なくとも１つの電極指の前記第１方向の中央部よりも前記第２方向の幅が大きな太幅部を含む。前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、開口部と、内側バスバー部と、外側バスバー部と、連結部と、を含む。前記内側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している。前記外側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している。前記連結部は、前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結している。前記複数のＩＤＴ電極のうち前記第２方向において隣り合う２つのＩＤＴ電極の一方を第１ＩＤＴ電極、他方を第２ＩＤＴ電極としたとき、前記第１ＩＤＴ電極において、前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とを含む一群の電極指のうち前記第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指に接続されていない外側バスバー部と、前記第２ＩＤＴ電極において、前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とを含む一群の電極指のうち前記第１ＩＤＴ電極に最も近い電極指に接続されていない外側バスバー部と、の間隔が、前記第１ＩＤＴ電極において前記第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指の中央部と、前記第２ＩＤＴ電極において前記第１ＩＤＴ電極に最も近い電極指の中央部と、の間隔よりも大きい。
本発明の一態様に係る弾性波装置は、第１端子と、第２端子と、圧電体部と、複数のＩＤＴ電極と、を備える。前記第２端子は、前記第１端子の電位よりも低い電位になる。前記複数のＩＤＴ電極は、前記圧電体部上に設けられており、前記第１端子及び前記第２端子と電気的に接続されている。前記複数のＩＤＴ電極の各々は、第１バスバーと、第２バスバー部と、複数の第１電極指と、複数の第２電極指と、を有する。前記第２バスバーは、第１方向において前記第１バスバーに対向している。前記複数の第１電極指は、前記第１バスバーに接続され前記第１方向において前記第１バスバーから前記第２バスバー側に延びている。前記複数の第２電極指は、前記第２バスバーに接続され前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバー側に延びている。前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に直交する第２方向において、互いに離隔して並んでいる。前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指それぞれの少なくとも１つの電極指が、前記少なくとも１つの電極指の前記第１方向の中央部よりも前記第２方向の幅が大きな太幅部を含む。前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、開口部と、内側バスバー部と、外側バスバー部と、連結部と、を含む。前記内側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している。前記外側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している。前記連結部は、前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結している。前記複数のＩＤＴ電極のうち前記第２方向において隣り合う２つのＩＤＴ電極の一方を第１ＩＤＴ電極、他方を第２ＩＤＴ電極としたとき、前記第１ＩＤＴ電極の前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とを含む一群の電極指のうち前記第２方向において前記第２ＩＤＴ電極側の端に位置する電極指を前記第１ＩＤＴ電極の第１端電極指とし、前記第２ＩＤＴ電極とは逆側の端に位置する電極指を前記第１ＩＤＴ電極の第２端電極指とし、前記第２ＩＤＴ電極の前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とを含む一群の電極指のうち前記第２方向において前記第１ＩＤＴ電極側の端に位置する電極指を前記第２ＩＤＴ電極の第１端電極指とし、前記第１ＩＤＴ電極とは逆側の端に位置する電極指を前記第２ＩＤＴ電極の第２端電極指とした場合に、前記第１ＩＤＴ電極の前記第１端電極指が、前記第１端子に接続されており、前記第２ＩＤＴ電極の前記第１端電極指が、前記第２端子に接続されている。前記第１ＩＤＴ電極及び前記第２ＩＤＴ電極の各々では、前記第２方向において、前記第１端子と前記第２端子とのうち前記第１端電極指と異なる端子に電気的に接続されている外側バスバー部が、前記第１端電極指と異なる端子に電気的に接続されている前記内側バスバー部よりも内側に位置している。
本発明の一態様に係る弾性波装置は、第１端子と、第２端子と、圧電体部と、複数のＩＤＴ電極と、を備える。前記第２端子は、前記第１端子の電位よりも低い電位になる。前記複数のＩＤＴ電極は、前記圧電体部上に設けられており、前記第１端子及び前記第２端子と電気的に接続されている。前記複数のＩＤＴ電極の各々は、第１バスバーと、第２バスバー部と、複数の第１電極指と、複数の第２電極指と、を有する。前記第２バスバーは、第１方向において前記第１バスバーに対向している。前記複数の第１電極指は、前記第１バスバーに接続され前記第１方向において前記第１バスバーから前記第２バスバー側に延びている。前記複数の第２電極指は、前記第２バスバーに接続され前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバー側に延びている。前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に直交する第２方向において、互いに離隔して並んでいる。前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指それぞれの少なくとも１つの電極指が、前記少なくとも１つの電極指の前記第１方向の中央部よりも前記第２方向の幅が大きな太幅部を含む。前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、開口部と、内側バスバー部と、外側バスバー部と、連結部と、を含む。前記内側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している。前記外側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している。前記連結部は、前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結している。前記複数のＩＤＴ電極のうち少なくとも１つのＩＤＴ電極では、前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とを含む一群の電極指のうち前記第２方向における一方の端に位置する電極指を第１端電極指とし、他方の端に位置する電極指を第２端電極指とした場合に、前記第１端電極指は、前記第２方向において、前記少なくとも１つのＩＤＴ電極の隣りのＩＤＴ電極側に位置している。前記少なくとも１つのＩＤＴ電極では、前記第１バスバーと前記第２バスバーとのうち前記第１端電極指に接続されていないバスバーの外側バスバー部は、前記第２方向において、少なくとも隣り合うＩＤＴ電極側で、前記第１バスバーと前記第２バスバーとのうち前記第１端電極指に接続されていないバスバーの内側バスバー部よりも内側に位置している。
本発明の弾性波装置は、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
以下、実施形態１、２に係る弾性波装置について、図面を参照して説明する。
以下の実施形態１、２等において参照する図１〜１７は、いずれも模式的な図であり、図中の各構成要素の大きさや厚さそれぞれの比が、必ずしも実際の寸法比を反映しているとは限らない。
（実施形態１）
（１．１）弾性波装置の全体構成
以下、実施形態１に係る弾性波装置１について、図面を参照して説明する。
（１．１）弾性波装置の全体構成
以下、実施形態１に係る弾性波装置１について、図面を参照して説明する。
実施形態１に係る弾性波装置１は、図１、２Ａ、２Ｂ、３及び４に示すように、第１端子（例えば、信号端子）１１と、第２端子（例えば、グラウンド端子）１２と、圧電体部２４と、ＩＤＴ（Interdigital Transducer）電極３と、反射器８と、を備える。第２端子１２は、第１端子１１の電位よりも低い電位になる。したがって、第１端子１１は、第２端子１２の電位よりも高い電位になる。第１端子１１及び第２端子１２は、圧電体部２４上に設けられている。ここにおいて、「圧電体部２４上に設けられている」とは、圧電体部２４上に直接的に設けられている場合と、圧電体部２４上に間接的に設けられている場合と、を含む。弾性波装置１は、第２端子１２を複数（３つ）備えているが、少なくとも１つ備えていればよい。圧電体部２４は、圧電材料により形成されている。ＩＤＴ電極３及び反射器８は、圧電体部２４上に設けられている。ここにおいて、「圧電体部２４上に設けられている」とは、圧電体部２４上に直接的に設けられている場合と、圧電体部２４上に間接的に設けられている場合と、を含む。実施形態１に係る弾性波装置１は、１ポート型弾性表面波共振子である。弾性波装置１は、反射器８を２つ備えている。
また、実施形態１に係る弾性波装置１は、ＩＤＴ電極３と第１端子１１とを電気的に接続している第１配線層１３と、ＩＤＴ電極３と第２端子１２とを電気的に接続している第２配線層１４と、を更に備える。図１では、説明の便宜上、第１端子１１及びＩＤＴ電極３において第１端子１１に電気的に接続されている部分（高電位側部分）に「Ｈ」の記号を表記し、第２端子１２及びＩＤＴ電極３において第２端子１２に電気的に接続されている部分（低電位側部分）に「Ｅ」の記号を表記してある。高電位側部分と低電位側部分とは電位が異なる。高電位側部分は、低電位側部分よりも高電位となる部分である。「Ｈ」、「Ｅ」の表記は、符号ではないし、実際にあるわけでもない。図１及び２Ａでは、ＩＤＴ電極３及び各反射器８にドットのハッチングを付してあるが、これらのハッチングは、断面を表すものではなく、ＩＤＴ電極３及び各反射器８と圧電体部２４との関係を分かりやすくするために付してあるにすぎない。また、図１では、第１端子１１、第２端子１２、第１配線層１３及び第２配線層１４にドットのハッチングを付してあるが、これらのハッチングは、断面を表すものではなく、第１端子１１、第２端子１２、第１配線層１３及び第２配線層１４と圧電体部２４との関係を分かりやすくするために付してあるにすぎない。
実施形態１に係る弾性波装置１では、圧電体部２４が圧電膜であり、上述のＩＤＴ電極３は、圧電体部２４を有する積層型基板２上に形成されている。積層型基板２は、少なくとも一部に圧電性を有する圧電性基板である。
（１．２）弾性波装置の各構成要素
次に、弾性波装置１の各構成要素について、図面を参照して説明する。
次に、弾性波装置１の各構成要素について、図面を参照して説明する。
（１．２．１）積層型基板
積層型基板２は、図２Ｂに示すように、高音速支持基板２１と、高音速支持基板２１上に直接的に積層されており、圧電体部２４を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が低速である低音速膜２３と、低音速膜２３上に直接的に積層された圧電体部２４と、を含む。高音速支持基板２１では、圧電体部２４を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が高速である。低音速膜２３は、高音速支持基板２１上に設けられている。ここにおいて、「低音速膜２３上に設けられている」とは、低音速膜２３上に直接的に設けられている場合と、低音速膜２３上に間接的に設けられている場合と、を含む。圧電体部２４は、高音速支持基板２１上に間接的に積層されている。この場合、弾性波装置１では、高音速支持基板２１と圧電体部２４との間に低音速膜２３が形成されていることにより、弾性波の音速が低下する。弾性波は本質的に低音速な媒質にエネルギーが集中する。したがって、弾性波装置１では、圧電体部２４内及び弾性波が励振されているＩＤＴ電極３内への弾性波エネルギーの閉じ込め効果を高めることができる。そのため、弾性波装置１では、低音速膜２３が設けられていない場合に比べて、損失を低減し、Ｑ値を高めることができる。
積層型基板２は、図２Ｂに示すように、高音速支持基板２１と、高音速支持基板２１上に直接的に積層されており、圧電体部２４を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が低速である低音速膜２３と、低音速膜２３上に直接的に積層された圧電体部２４と、を含む。高音速支持基板２１では、圧電体部２４を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が高速である。低音速膜２３は、高音速支持基板２１上に設けられている。ここにおいて、「低音速膜２３上に設けられている」とは、低音速膜２３上に直接的に設けられている場合と、低音速膜２３上に間接的に設けられている場合と、を含む。圧電体部２４は、高音速支持基板２１上に間接的に積層されている。この場合、弾性波装置１では、高音速支持基板２１と圧電体部２４との間に低音速膜２３が形成されていることにより、弾性波の音速が低下する。弾性波は本質的に低音速な媒質にエネルギーが集中する。したがって、弾性波装置１では、圧電体部２４内及び弾性波が励振されているＩＤＴ電極３内への弾性波エネルギーの閉じ込め効果を高めることができる。そのため、弾性波装置１では、低音速膜２３が設けられていない場合に比べて、損失を低減し、Ｑ値を高めることができる。
圧電体部２４は、例えば、リチウムタンタレート（ＬｉＴａＯ3）、リチウムニオベイト（ＬｉＮｂＯ3）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、又は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなる。
高音速支持基板２１は、低音速膜２３と圧電体部２４とを含む積層体を支持している。高音速支持基板２１は、その厚さ方向において互いに反対側にある第１主面２１１及び第２主面２１２を有する。第１主面２１１及び第２主面２１２は、互いに背向する。高音速支持基板２１の平面視形状（高音速支持基板２１を厚さ方向から見たときの外周形状）は、正方形状であるが、正方形状に限らず、例えば長方形状であってもよい。高音速支持基板２１の厚さは、例えば、１２０μｍである。高音速支持基板２１の材料は、シリコンである。高音速支持基板２１は、シリコンに限らず、例えば、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、窒化ケイ素、サファイア、リチウムタンタレート、リチウムニオベイト、水晶等の圧電体、アルミナ、ジルコニア、コージライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライト等の各種セラミック、マグネシアダイヤモンド、又は、上記各材料を主成分とする材料、上記各材料の混合物を主成分とする材料のいずれかにより形成されていてもよい。
低音速膜２３は、酸化ケイ素、ガラス、酸窒化ケイ素、酸化タンタル、酸化ケイ素にフッ素又は炭素又はホウ素を加えた化合物、又は、上記各材料を主成分とする材料のいずれかからなる。
低音速膜２３が酸化ケイ素の場合、温度特性を改善することができる。リチウムタンタレートの弾性定数は負の温度特性を有し、酸化ケイ素は正の温度特性を有する。したがって、弾性波装置１では、周波数温度特性（ＴＣＦ：Temperature Coefficient of Frequency）の絶対値を小さくすることができる。加えて、酸化ケイ素の固有音響インピーダンスはリチウムタンタレートの固有音響インピーダンスより小さい。したがって、弾性波装置１では、電気機械結合係数の増大すなわち比帯域の拡大と、周波数温度特性の改善との双方を図ることができる。
圧電体部２４の厚さは、ＩＤＴ電極３の電極指周期で定まる弾性波の波長をλとしたときに、３．５λ以下であることが望ましい。なぜならば、Ｑ値が高くなるためである。また、弾性波装置１では、圧電体部２４の厚さを２．５λ以下とすることで、周波数温度特性が良くなる。さらに、弾性波装置１では、圧電体部２４の厚さを１．５λ以下とすることで、音速の調整が容易になる。圧電体部２４の厚さは、例えば、６００ｎｍである。
低音速膜２３の厚さは、ＩＤＴ電極３の電極指周期で定まる弾性波の波長をλとすると、２．０λ以下であることが望ましい。弾性波装置１では、低音速膜２３の厚さを２．０λ以下とすることにより、膜応力を低減することができ、その結果、製造時に高音速支持基板２１の元になるウェハの反りを低減することが可能となり、良品率の向上及び特性の安定化が可能となる。低音速膜２３の厚さは、例えば、６００ｎｍである。
（１．２．２）反射器
２つの反射器８は、圧電体部２４の一の主面２４１上に設けられている。ここで、２つの反射器８は、第２方向Ｄ２においてＩＤＴ電極３の両側に１つずつ配置されている。
２つの反射器８は、圧電体部２４の一の主面２４１上に設けられている。ここで、２つの反射器８は、第２方向Ｄ２においてＩＤＴ電極３の両側に１つずつ配置されている。
２つの反射器８の各々は、弾性波を反射する。２つの反射器８の各々は、グレーティング反射器である。２つの反射器８の各々は、複数の電極指９を有し、複数の電極指９の第１方向Ｄ１の一端同士、他端同士を短絡してある。図１、２Ａ及び２Ｂ等では、２つの反射器８の各々について、図面を見やすくするために電極指９の数を減らして描いてある。各反射器８は、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、チタン（Ｔｉ）、ニッケル（Ｎｉ）、クロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）又はこれらの金属のいずれかを主体とする合金などの適宜の金属材料により形成することができる。また、各反射器８は、これらの金属又は合金からなる複数の金属膜を積層した構造を有していてもよい。各反射器８の厚さは、例えば、１５０ｎｍである。
（１．２．３）ＩＤＴ電極
ＩＤＴ電極３は、アルミニウム、銅、白金、金、銀、チタン、ニッケル、クロム、モリブデン、タングステン又はこれらの金属のいずれかを主体とする合金などの適宜の金属材料により形成することができる。また、ＩＤＴ電極３は、これらの金属又は合金からなる複数の金属膜を積層した構造を有していてもよい。ＩＤＴ電極３の厚さは、例えば、１５０ｎｍである。
ＩＤＴ電極３は、アルミニウム、銅、白金、金、銀、チタン、ニッケル、クロム、モリブデン、タングステン又はこれらの金属のいずれかを主体とする合金などの適宜の金属材料により形成することができる。また、ＩＤＴ電極３は、これらの金属又は合金からなる複数の金属膜を積層した構造を有していてもよい。ＩＤＴ電極３の厚さは、例えば、１５０ｎｍである。
ＩＤＴ電極３は、図１及び２Ａに示すように、第１バスバー４と、第２バスバー５と、複数の第１電極指６と、複数の第２電極指７と、を有する。
ＩＤＴ電極３では、第１バスバー４と第２バスバー５とは、圧電体部２４の厚さ方向（図２Ｂの上下方向）に直交する第１方向Ｄ１において対向し合っている。つまり、第２バスバー５は、第１方向Ｄ１において第１バスバー４に対向している。
第１バスバー４及び第２バスバー５は、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２を長手方向とする長尺状である。図１、２Ａ及び４等では、第１バスバー４及び第２バスバー５が長尺状に見えないが、これは、図面を見やすくするために第１電極指６及び第２電極指７それぞれの数を減らして描いてあるためである。第２方向Ｄ２は、弾性波の伝搬方向に沿った方向である。第２方向Ｄ２は、圧電体部２４の厚さ方向にも直交する。
複数の第１電極指６は、第１バスバー４に接続され第１方向Ｄ１において第１バスバー４から第２バスバー５側に延びている。ここにおいて、複数の第１電極指６は、第１バスバー４から第１バスバー４の長手方向に直交する方向に沿って延びている。つまり、複数の第１電極指６は、弾性波の伝搬方向に直交する方向に沿って延びている。ＩＤＴ電極３では、複数の第１電極指６と第２バスバー５とは離れており、第１方向Ｄ１において対向する第１電極指６と第２バスバー５との間にギャップ３１が形成されている。上述の弾性波の波長をλとしたときに、第１方向Ｄ１におけるギャップ３１の長さは、例えば、０．５λ以下である。
図１及び２Ａの例では、複数の第１電極指６は、互いの長さが同じである。複数の第１電極指６の各々の先端部６１は、第１電極指６の第１方向Ｄ１の中央部６０よりも第２方向Ｄ２の幅が大きな太幅部６２を含む。また、複数の第１電極指６の各々は、太幅部６２とは別に太幅部６４（図２Ａ参照）を含む。太幅部６４は、第１電極指６の先端部６１とは反対側の基端部６３（図２Ａ参照）と中央部６０との間に形成されており、第１電極指６の第１方向Ｄ１の中央部６０よりも第２方向Ｄ２の幅が大きい。太幅部６４は、第１方向Ｄ１において第１バスバー４から離れている。複数の第１電極指６の各々では、第１方向Ｄ１において太幅部６２と太幅部６４との間の部分が、中央部６０を構成している。複数の第１電極指６の各々では、第１方向Ｄ１において、中央部６０は、各太幅部６２、６４よりも長い。
また、図１及び２Ａの例では、複数の第１電極指６は、互いの中央部６０の幅が同じである。また、複数の第１電極指６は、互いの先端部６１の太幅部６２の幅が同じである。また、複数の第１電極指６は、互いの基端部６３側の太幅部６４の幅が同じである。また、複数の第１電極指６の各々は、先端部６１の太幅部６２の幅と基端部６３側の太幅部６４の幅とが同じである。複数の第１電極指６の各々は、第１方向Ｄ１に沿った中心線６Ｘ（図３参照）を基準として線対称な形状である。太幅部６２及び６４の形状は、矩形状であるが、これに限らず、例えば、六角形状、円形状等であってもよい。
複数の第２電極指７は、第２バスバー５に接続され第１方向Ｄ１において第２バスバー５から第１バスバー４側に延びている。ここにおいて、複数の第２電極指７は、第２バスバー５から第２バスバー５の長手方向に直交する方向に沿って延びている。つまり、複数の第２電極指７は、弾性波の伝搬方向に直交する方向に沿って延びている。ＩＤＴ電極３では、複数の第２電極指７と第１バスバー４とは離れており、第１方向Ｄ１において対向する第２電極指７と第１バスバー４との間にギャップ３２が形成されている。上述の弾性波の波長をλとしたときに、第１方向Ｄ１におけるギャップ３２の長さは、例えば、０．５λ以下である。
図１及び２Ａの例では、複数の第２電極指７は、互いの長さが同じである。複数の第２電極指７の各々の先端部７１は、第２電極指７の第１方向Ｄ１の中央部７０よりも第２方向Ｄ２の幅が大きな太幅部７２を含む。また、複数の第２電極指７の各々は、太幅部７２とは別に太幅部７４（図２Ａ参照）を含む。太幅部７４は、第２電極指７の先端部７１とは反対側の基端部７３（図２Ａ参照）と中央部７０との間に形成されており、第２電極指７の第１方向Ｄ１の中央部７０よりも第２方向Ｄ２の幅が大きい。太幅部７４は、第１方向Ｄ１において第２バスバー５から離れている。複数の第２電極指７の各々では、第１方向Ｄ１において太幅部７２と太幅部７４との間の部分が、中央部７０を構成している。複数の第２電極指７の各々では、第１方向Ｄ１において、中央部７０は、各太幅部７２、７４よりも長い。
また、図１及び２Ａの例では、複数の第２電極指７は、互いの中央部７０の幅が同じである。また、複数の第２電極指７は、互いの先端部７１の太幅部７２の幅が同じである。また、複数の第２電極指７は、互いの基端部７３側の太幅部７４の幅が同じである。また、複数の第２電極指７の各々は、先端部７１の太幅部７２の幅と基端部７３側の太幅部７４の幅とが同じである。複数の第２電極指７の各々は、第１方向Ｄ１に沿った中心線７Ｘ（図３参照）を基準として線対称な形状である。太幅部７２及び７４の形状は、矩形状であるが、これに限らず、例えば、六角形状、円形状等であってもよい。
ＩＤＴ電極３では、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２において、１本ずつ交互に互いに離隔して並んでいる。したがって、第２方向Ｄ２において隣り合う第１電極指６と第２電極指７とは離れている。
ＩＤＴ電極３では、複数の第１電極指６の先端部６１の太幅部６２と第２電極指７の基端部７３側の太幅部７４とが、第２方向Ｄ２において、１つずつ交互に互いに離隔して並んでいる。また、ＩＤＴ電極３では、複数の第１電極指６の基端部６３側の太幅部６４と第２電極指７の先端部７１の太幅部７２とが、第２方向Ｄ２において、１つずつ交互に互いに離隔して並んでいる。ＩＤＴ電極３の電極指周期は、隣り合う第１電極指６の中央部６０と第２電極指７の中央部７０との互いに対応する辺間の距離の２倍の値である。ＩＤＴ電極３の電極指周期は、複数の第１電極指６のうち第２方向Ｄ２において隣り合う２つの第１電極指６の中心線６Ｘ（図３参照）間の距離により規定されても同じ値となる。また、ＩＤＴ電極３の電極指周期は、複数の第２電極指７のうち第２方向Ｄ２において隣り合う２つの第２電極指７の中心線７Ｘ（図３参照）間の距離により規定されても同じ値となる。一群の電極指は、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２において、離隔して並んでいる構成であればよく、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが交互に互いに離隔して並んでいない構成であってもよい。例えば、第１電極指６と第２電極指７とが１本ずつ離隔して並んでいる領域と、第１電極指６又は第２電極指７が第２方向Ｄ２において２つ並んでいる領域と、とが混在してもよい。
第１バスバー４は、開口部４０と、内側バスバー部４２と、外側バスバー部４１と、連結部４３と、含む。内側バスバー部４２は、第１方向Ｄ１において開口部４０よりも複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７側に位置している。外側バスバー部４１は、第１方向Ｄ１において開口部４０から見て内側バスバー部４２とは反対側に位置している。つまり、外側バスバー部４１は、第１方向Ｄ１において複数の第１電極指６が存在する側とは反対側に位置している。連結部４３は、第１方向Ｄ１において内側バスバー部４２と外側バスバー部４１とを連結している。連結部４３は、第２方向Ｄ２において開口部４０の両側に位置している。図１の例では、連結部４３は、第１電極指６の中央部６０と同じ幅を有し、かつ第１電極指６の延長線上に位置している。ただし、連結部４３の寸法及び連結部４３の配置はこれに限定されるものではない。
また、開口部４０の開口形状は、矩形状であるが、これに限らない。上述の弾性波の波長をλとしたときに、第１方向Ｄ１における内側バスバー部４２の幅は、例えば、０．５λ以下である。また、第１方向Ｄ１における連結部４３の長さは、例えば、２．０λである。
第１バスバー４は開口部４０を複数含んでいるが、図１及び２Ａでは図面を見やすくするために第１電極指６の数を減らして描いてあるため、図１及び２Ａでは、開口部４０が１つだけ図示されている。複数の開口部４０は、例えば、第２方向Ｄ２において略等間隔で並んでいる。図１及び２Ａの例では、第２方向Ｄ２における開口部４０の開口幅は、例えば、第２方向Ｄ２において隣り合う２つの第１電極指６の中央部６０間の距離と同じである。また、上述のように図１及び２Ａでは、開口部４０が１つしか図示されていないが、第２方向Ｄ２において隣り合う２つの開口部４０間の距離は、例えば、第２方向Ｄ２における第１電極指６の中央部６０の幅と同じである。
第２バスバー５は、開口部５０と、内側バスバー部５２と、外側バスバー部５１と、連結部５３と、含む。内側バスバー部５２は、第１方向Ｄ１において開口部５０よりも複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７側に位置している。外側バスバー部５１は、第１方向Ｄ１において開口部５０から見て内側バスバー部５２とは反対側に位置している。つまり、外側バスバー部５１は、第１方向Ｄ１において複数の第２電極指７が存在する側とは反対側に位置している。連結部５３は、第１方向Ｄ１において内側バスバー部５２と外側バスバー部５１とを連結している。連結部５３は、第２方向Ｄ２において開口部５０の両側に位置している。図１及び２Ａの例では、連結部５３は、第２電極指７の中央部７０と同じ幅を有し、かつ第２電極指７の延長線上に位置している。ただし、連結部５３の寸法及び連結部５３の配置はこれに限定されない。
また、開口部５０の開口形状は、矩形状であるが、これに限らない。上述の弾性波の波長をλとしたときに、第１方向Ｄ１における内側バスバー部５２の幅は、例えば、０．５λ以下である。また、第１方向Ｄ１における連結部５３の長さは、例えば、２．０λである。
実施形態１に係る弾性波装置１は、ＩＤＴ電極３において、ピストンモードを形成することにより横モードリップルを抑圧する構造を有する。この点については、図４を参照して説明する。
弾性波装置１は、図４の左側に示すように、弾性波装置１の厚さ方向からの平面視で、第１方向Ｄ１における１１個の領域Ａ１〜Ａ１１を含んでいる。１１個の領域Ａ１〜Ａ１１は、圧電体部２４及びＩＤＴ電極３それぞれにおいて互いに異なる部分を含んでいる。図４の右側には、１１個の領域Ａ１〜Ａ１１を伝搬する弾性波の速度（音速）を模式的に示してある。
弾性波装置１では、上述の１１個の領域Ａ１〜Ａ１１のうち第１方向Ｄ１において中央に位置する領域Ａ６が、中央領域を構成している。中央領域は、複数の第１電極指６の中央部６０と複数の第２電極指７の中央部７０とを含む。要するに、中央領域は、複数の第１電極指６の中央部６０と複数の第２電極指７の中央部７０とが第２方向Ｄ２において重なる領域である。中央領域では、電極指幅（第１電極指６の中央部６０及び第２電極指の中央部７０それぞれの幅）を上記の電極指周期の２分の１の値で除した値（デューティ比）は、例えば、０．５である。
弾性波装置１では、上述の１１個の領域Ａ１〜Ａ１１のうち第１方向Ｄ１の両端それぞれに位置する領域Ａ１、Ａ１１が、外側バスバー領域を構成している。領域Ａ１は、第１バスバー４の外側バスバー部４１を含む。領域Ａ１１は、第２バスバー５の外側バスバー部５１を含む。外側バスバー領域では、中央領域よりも弾性波の音速が遅くなる。
弾性波装置１では、上述の１１個の領域Ａ１〜Ａ１１のうち第１方向Ｄ１の両端それぞれから数えて２番目に位置する領域Ａ２、Ａ１０が、連結領域を構成している。領域Ａ２は、第１バスバー４の複数の連結部４３と複数の開口部４０とを含む。領域Ａ１０は、第２バスバー５の複数の連結部５３と複数の開口部５０とを含む。連結領域では、外側バスバー領域及び中央領域よりも弾性波の音速が速くなる。
弾性波装置１では、上述の１１個の領域Ａ１〜Ａ１１のうち第１方向Ｄ１の両端それぞれから数えて３番目に位置する領域Ａ３、Ａ９が、内側バスバー領域を構成している。領域Ａ３は、第１バスバー４の内側バスバー部４２を含む。領域Ａ９は、第２バスバー５の内側バスバー部５２を含む。内側バスバー領域では、中央領域よりも弾性波の音速が遅くなる。
弾性波装置１では、上述の１１個の領域Ａ１〜Ａ１１のうち第１方向Ｄ１の両端それぞれから数えて４番目に位置する領域Ａ４、Ａ８が、ギャップ領域を構成している。領域Ａ４は、複数の第１電極指６の基端部６３と複数のギャップ３２とを含む。領域Ａ８は、複数の第２電極指７の基端部７３と複数のギャップ３１とを含む。ギャップ領域では、内側バスバー領域及び中央領域よりも弾性波の音速が速くなる。
弾性波装置１では、上述の１１個の領域Ａ１〜Ａ１１のうち第１方向Ｄ１の両端それぞれから数えて５番目に位置する領域Ａ５、Ａ７が、太幅領域を構成している。領域Ａ５は、複数の第１電極指６の太幅部６４と複数の第２電極指７の太幅部７２とを含む。領域Ａ７は、複数の第１電極指６の太幅部６２と複数の第２電極指７の太幅部７４とを含む。太幅領域では、中央領域よりも弾性波の音速が遅くなる。
弾性波装置１では、ＩＤＴ電極３が上記のように構成されているため、中央領域（領域Ａ６）の外側に低音速の領域（領域Ａ５、Ａ３及び領域Ａ７、Ａ９）が存在し、低音速領域の外側に高音速の領域Ａ２及び領域Ａ１０が存在している。したがって、弾性波装置１では、ピストンモードを形成することが可能となり、横モードリップルを効果的に抑制することができる。
（１．３）ＩＤＴ電極及び反射器それぞれの電位
図５は、実施形態１に係る弾性波装置１の表面（ＩＤＴ電極３の表面及び圧電体部２４の一の主面２４１を含む）の電荷分布を示す。図５に示す電荷分布の前提条件は、ＩＤＴ電極３に係る領域で表面弾性波の励振現象が生じていること、反射器８が電気的に短絡している（短絡グレーティングである）こと、及び、反射器８に係る領域で表面弾性波の励振現象が生じていないこと（反射器８は電気的に短絡しているため、圧電効果を引き起こす駆動電圧は零となる）、である。ここにおいて、図５に示す電荷分布が生じる原理は以下の通りである。表面弾性波の励振が生じている領域と励振が生じていない領域の境界領域にて、エッジ効果（Edge effect；縁端効果ともいう）が生じる。エッジ効果により、同境界領域の電荷量は、同境界領域の周辺領域の電荷量に比べて、局所的に大きくなる。したがって、弾性波装置１では、図５に示すような電荷分布が生じる。
図５は、実施形態１に係る弾性波装置１の表面（ＩＤＴ電極３の表面及び圧電体部２４の一の主面２４１を含む）の電荷分布を示す。図５に示す電荷分布の前提条件は、ＩＤＴ電極３に係る領域で表面弾性波の励振現象が生じていること、反射器８が電気的に短絡している（短絡グレーティングである）こと、及び、反射器８に係る領域で表面弾性波の励振現象が生じていないこと（反射器８は電気的に短絡しているため、圧電効果を引き起こす駆動電圧は零となる）、である。ここにおいて、図５に示す電荷分布が生じる原理は以下の通りである。表面弾性波の励振が生じている領域と励振が生じていない領域の境界領域にて、エッジ効果（Edge effect；縁端効果ともいう）が生じる。エッジ効果により、同境界領域の電荷量は、同境界領域の周辺領域の電荷量に比べて、局所的に大きくなる。したがって、弾性波装置１では、図５に示すような電荷分布が生じる。
図５から分かるように、弾性波装置１では、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とを含む一群の電極指が並んでいる第２方向Ｄ２において、ＩＤＴ電極３の両端の電荷量がＩＤＴ電極３の中央の電荷量よりも多くなる。また、第２方向Ｄ２に沿った方向において、反射器８のＩＤＴ電極３側の端の電荷量がＩＤＴ電極３とは反対側の端の電荷量よりも多くなる。このため、弾性波装置１では、例えば、２つの外側バスバー部４１、５１のうち相対的に高電位となる外側バスバー部４１と、外側バスバー部４１に隣り合う反射器８との間で電気力線の密度が大きくなりやすい。
以下では、上記の一群の電極指に関し、第２方向Ｄ２において図１及び２Ａの左側の端に位置している第２電極指７を第２電極指７Ｌと称し、図１及び２Ａの右側の端に位置している第２電極指７を第２電極指７Ｒと称することもある。
ＩＤＴ電極３では、第１バスバー４の内側バスバー部４２と第２バスバー５の内側バスバー部５２とのうち第１バスバー４の内側バスバー部４２が、第２電極指７Ｌ、７Ｒに近接している。第２電極指７Ｌ、７Ｒとは異なる電位となる外側バスバー部４１は、上記の一群の電極指のうち第２方向Ｄ２において一方の端に位置する第２電極指７Ｌ及び他方の端に位置する第２電極指７Ｒそれぞれの第１方向Ｄ１の中央部７０、７０よりも第２方向Ｄ２において内側に位置している。
図３では、説明の便宜上、ＩＤＴ電極３において第１端子１１に電気的に接続されている部分（高電位側部分）に「Ｈ」の記号を表記し、第２端子１２に電気的に接続されている部分（低電位側部分）に「Ｅ」の記号を表記してある。高電位側部分と低電位側部分とは電位が異なる。高電位側部分は、低電位側部分よりも高電位となる部分である。「Ｈ」、「Ｅ」の表記は、符号ではないし、実際にあるわけでもない。図３は、図１及び２Ａの左側の端に位置する第２電極指７と、この第２電極指７に近接している内側バスバー部４２と、を含む拡大図である。図１及び２Ａにおいて「Ｈ」の記号が表記されている高電位側部分（第１バスバー４と複数の第１電極指６とを含む第１導体部）と、「Ｅ」の記号が表記されている低電位側部分（第２バスバー５と複数の第２電極指７とを含む第２導体部）とは、電位が異なる。
（１．４）効果
実施形態１に係る弾性波装置１は、第１端子１１と、第２端子１２と、圧電体部２４と、ＩＤＴ電極３と、反射器８と、を備える。第２端子１２は、第１端子１１の電位よりも低い電位になる。ＩＤＴ電極３は、圧電体部２４圧電体部２４上に設けられており、第１端子１１及び第２端子１２と電気的に接続されている。反射器８は、圧電体部２４上に設けられており、第２端子１２と電気的に接続されている。ＩＤＴ電極３は、第１バスバー４と、第２バスバー５と、複数の第１電極指６と、複数の第２電極指７と、を有する。第１バスバー４は、第１端子１１と電気的に接続されている。第２バスバー５は、第１方向Ｄ１において第１バスバー４に対向しており、第２端子１２と電気的に接続されている。複数の第１電極指６は、第１バスバー４に接続され第１方向Ｄ１において第１バスバー４から第２バスバー５側に延びている。複数の第２電極指７は、第２バスバー５に接続され第１方向Ｄ１において第２バスバー５から第１バスバー４側に延びている。複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２において、１本ずつ交互に互いに離隔して並んでいる。複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７それぞれの少なくとも１つの電極指（第１電極指６、第２電極指７）が、この少なくとも１つの電極指（第１電極指６、第２電極指７）の第１方向Ｄ１の中央部６０、７０よりも第２方向Ｄ２の幅が大きな太幅部６２、７２を含む。第１バスバー４及び第２バスバー５の各々は、開口部４０、５０と、内側バスバー部４２、５２と、外側バスバー部４１、５１と、連結部４３、５３と、を含む。内側バスバー部４２、５２は、第１方向Ｄ１において開口部４０、５０よりも複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７側に位置している。外側バスバー部４１、５１は、第１方向Ｄ１において開口部４０、５０から見て内側バスバー部４２、５２とは反対側に位置している。連結部４３、５３は、第１方向Ｄ１において内側バスバー部４２、５２と外側バスバー部４１、５１とを連結している。ＩＤＴ電極３では、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とを含む一群の電極指のうち第２方向Ｄ２において一方の端に位置する電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）を第１端電極指とし、他方の端に位置する電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）を第２端電極指とした場合に、第１端電極指は、第２方向Ｄ２において、反射器８と第２端電極指との間に位置している。
実施形態１に係る弾性波装置１は、第１端子１１と、第２端子１２と、圧電体部２４と、ＩＤＴ電極３と、反射器８と、を備える。第２端子１２は、第１端子１１の電位よりも低い電位になる。ＩＤＴ電極３は、圧電体部２４圧電体部２４上に設けられており、第１端子１１及び第２端子１２と電気的に接続されている。反射器８は、圧電体部２４上に設けられており、第２端子１２と電気的に接続されている。ＩＤＴ電極３は、第１バスバー４と、第２バスバー５と、複数の第１電極指６と、複数の第２電極指７と、を有する。第１バスバー４は、第１端子１１と電気的に接続されている。第２バスバー５は、第１方向Ｄ１において第１バスバー４に対向しており、第２端子１２と電気的に接続されている。複数の第１電極指６は、第１バスバー４に接続され第１方向Ｄ１において第１バスバー４から第２バスバー５側に延びている。複数の第２電極指７は、第２バスバー５に接続され第１方向Ｄ１において第２バスバー５から第１バスバー４側に延びている。複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２において、１本ずつ交互に互いに離隔して並んでいる。複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７それぞれの少なくとも１つの電極指（第１電極指６、第２電極指７）が、この少なくとも１つの電極指（第１電極指６、第２電極指７）の第１方向Ｄ１の中央部６０、７０よりも第２方向Ｄ２の幅が大きな太幅部６２、７２を含む。第１バスバー４及び第２バスバー５の各々は、開口部４０、５０と、内側バスバー部４２、５２と、外側バスバー部４１、５１と、連結部４３、５３と、を含む。内側バスバー部４２、５２は、第１方向Ｄ１において開口部４０、５０よりも複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７側に位置している。外側バスバー部４１、５１は、第１方向Ｄ１において開口部４０、５０から見て内側バスバー部４２、５２とは反対側に位置している。連結部４３、５３は、第１方向Ｄ１において内側バスバー部４２、５２と外側バスバー部４１、５１とを連結している。ＩＤＴ電極３では、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とを含む一群の電極指のうち第２方向Ｄ２において一方の端に位置する電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）を第１端電極指とし、他方の端に位置する電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）を第２端電極指とした場合に、第１端電極指は、第２方向Ｄ２において、反射器８と第２端電極指との間に位置している。
第１バスバー４と第２バスバー５とのうち第１端電極指に接続されていないバスバー（第１バスバー４）の外側バスバー部（外側バスバー部４１）は、第２方向Ｄ２において第１端電極指の第１方向Ｄ１の中央部（中央部７０）よりも内側に位置している。
これにより、実施形態１に係る弾性波装置１では、ＩＤＴ電極３が上記の構成を有しているので、ピストンモードの阻害を抑制することが可能となる。また、実施形態１に係る弾性波装置１では、第２電極指７Ｌ、７Ｒに接続されていない外側バスバー部４１が、外側バスバー部４１と反射器８との間でのＥＳＤにる外側バスバー部４１のサージ破壊が起こりにくくなり、ＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。よって、実施形態１に係る弾性波装置１では、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
また、実施形態１に係る弾性波装置１は、反射器８を２つ備える。反射器８は、第２方向Ｄ２においてＩＤＴ電極３の両隣に１つずつ配置されている。実施形態１に係る弾性波装置１では、第２電極指７Ｌ、７Ｒに接続されていない第１バスバー４の外側バスバー部４１は、第２方向Ｄ２において第２電極指７Ｌの太幅部７２及び第２電極指７Ｒの太幅部７２よりも内側に位置している。これにより、弾性波装置１では、第２電極指７Ｌの太幅部７２と外側バスバー部４１とが第１方向Ｄ１において重なる場合と比べて、サージ破壊が起こりにくくなり、ＥＳＤ耐性が向上する。
また、弾性波装置１では、外側バスバー部４１は、第１方向Ｄ１において第２電極指７Ｌ及び第２電極指７Ｒと重ならないように第２方向Ｄ２において第２電極指７Ｌ及び第２電極指７Ｒよりも内側に位置している。これにより、弾性波装置１では、外側バスバー部４１と反射器８との最短距離をより長くすることができ、ＥＳＤ耐性の更なる向上を図ることが可能となる。
また、弾性波装置１では、第２電極指７Ｌ、７Ｒに接続されていない第１バスバー４の内側バスバー部４２の、第１方向Ｄ１に沿った一方（第２方向Ｄ２の左側）の辺４２Ｌと、第２電極指７Ｌの太幅部７２の、第２電極指７Ｒ側とは反対側（左側）の辺７２ＬＬとが一直線上に並び、内側バスバー部４２の、第１方向Ｄ１に沿った他方（第２方向Ｄ２の右側の辺４２Ｒと、第２電極指７Ｒの太幅部７２の、第２電極指７Ｌ側とは反対側（右側）の辺７２ＲＲと、が一直線上に並んでいる。これにより、弾性波装置１では、内側バスバー部４２の形状を変更することなく外側バスバー部４１の形状のみを変更することでＥＳＤ耐性の向上を図れるので、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の更なる向上を図ることが可能となる。
ところで、ＩＤＴ電極３では、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とを含む一群の電極指のうち第２方向Ｄ２において一方の端に位置する第２電極指７Ｌ及び他方の端に位置する第２電極指７Ｒに接続されていない第１バスバー４の外側バスバー部４１は、第２方向Ｄ２において両方の端に位置する第２電極指７Ｌ、７Ｒに近接する内側バスバー部４２よりも第２方向Ｄ２において内側に位置している。
これにより、実施形態１に係る弾性波装置１では、第２電極指７Ｌ、７Ｒに接続されていない第１バスバー４の外側バスバー部４１が、ＥＳＤによりサージ破壊されるのを抑制することが可能となる。よって、実施形態１に係る弾性波装置１では、ＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
（１．５）実施形態１の変形例１
図５に示す実施形態１の変形例１に係る弾性波装置１ａでは、外側バスバー部４１の左側の辺と第２電極指７Ｌの太幅部７２の右側の辺とが一直線上に並んでいる。また、外側バスバー部４１の右側の辺と第２電極指７Ｒ（図２Ａ参照）の太幅部７２の左側の辺とが一直線上に並んでいる。変形例１に係る弾性波装置１ａの他の構成は実施形態１に係る弾性波装置１と同様なので図示及び説明を省略する。
図５に示す実施形態１の変形例１に係る弾性波装置１ａでは、外側バスバー部４１の左側の辺と第２電極指７Ｌの太幅部７２の右側の辺とが一直線上に並んでいる。また、外側バスバー部４１の右側の辺と第２電極指７Ｒ（図２Ａ参照）の太幅部７２の左側の辺とが一直線上に並んでいる。変形例１に係る弾性波装置１ａの他の構成は実施形態１に係る弾性波装置１と同様なので図示及び説明を省略する。
変形例１に係る弾性波装置１ａでは、実施形態１に係る弾性波装置１と比べて、第２方向Ｄ２における外側バスバー部４１の長さを長くできるので、ピストンモードの阻害を、より抑制することが可能となる。
（１．６）実施形態１の他の変形例
ＩＤＴ電極３における複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７それぞれの数は特に限定されない。ここにおいて、ＩＤＴ電極３では、一群の電極指のうち第２方向Ｄ２の両方の端それぞれに位置する電極指は、第２電極指７である場合に限らない。例えば、一群の電極指のうち第２方向Ｄ２の一方の端に位置する電極指が第２電極指７で、他方の端に位置する電極指が第１電極指６であってもよい。この場合、一方の端に位置する第２電極指７には、第１バスバー４の内側バスバー部４２が近接し、他方の端に位置する第１電極指６には、第２バスバー５の内側バスバー部５２が近接する。また、一群の電極指のうち第２方向Ｄ２の一方の端及び他方の端それぞれに位置する電極指が、第１電極指６であってもよい。この場合、一方の端及び他方の端それぞれに位置する第１電極指６には、第２バスバー５の内側バスバー部５２が近接する。また、一群の電極指は、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２において、離隔して並んでいる構成であればよい。例えば、一変形例の弾性波装置において、第１電極指６と第２電極指７とが１本ずつ離隔して並んでいる領域と、第１電極指６又は第２電極指７が第２方向Ｄ２において２つ並んでいる領域と、とが混在してもよい。これらのいずれの変形例の弾性波装置でも、一群の電極指のうち第２方向Ｄ２において一方の端及び他方の端に１つずつ位置する２つの電極指の少なくとも一方の電極指に接続されていない外側バスバー部が、当該少なくとも一方の電極指の第１方向Ｄ１の中央部よりも第２方向Ｄ２において内側に位置していることにより、ＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。また、ＩＤＴ電極３における複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７それぞれにおいては、少なくとも１つの第１電極指６及び第２電極指７が太幅部６２、７２を有していればよい。
ＩＤＴ電極３における複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７それぞれの数は特に限定されない。ここにおいて、ＩＤＴ電極３では、一群の電極指のうち第２方向Ｄ２の両方の端それぞれに位置する電極指は、第２電極指７である場合に限らない。例えば、一群の電極指のうち第２方向Ｄ２の一方の端に位置する電極指が第２電極指７で、他方の端に位置する電極指が第１電極指６であってもよい。この場合、一方の端に位置する第２電極指７には、第１バスバー４の内側バスバー部４２が近接し、他方の端に位置する第１電極指６には、第２バスバー５の内側バスバー部５２が近接する。また、一群の電極指のうち第２方向Ｄ２の一方の端及び他方の端それぞれに位置する電極指が、第１電極指６であってもよい。この場合、一方の端及び他方の端それぞれに位置する第１電極指６には、第２バスバー５の内側バスバー部５２が近接する。また、一群の電極指は、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２において、離隔して並んでいる構成であればよい。例えば、一変形例の弾性波装置において、第１電極指６と第２電極指７とが１本ずつ離隔して並んでいる領域と、第１電極指６又は第２電極指７が第２方向Ｄ２において２つ並んでいる領域と、とが混在してもよい。これらのいずれの変形例の弾性波装置でも、一群の電極指のうち第２方向Ｄ２において一方の端及び他方の端に１つずつ位置する２つの電極指の少なくとも一方の電極指に接続されていない外側バスバー部が、当該少なくとも一方の電極指の第１方向Ｄ１の中央部よりも第２方向Ｄ２において内側に位置していることにより、ＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。また、ＩＤＴ電極３における複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７それぞれにおいては、少なくとも１つの第１電極指６及び第２電極指７が太幅部６２、７２を有していればよい。
また、ＩＤＴ電極３では、一群の電極指のうち少なくとも１つの電極指が３以上の太幅部を含んでいてもよい。
弾性波装置１は、第１端子１１上に形成されており、導電性を有する第１バンプと、第２端子１２上に形成されており、導電性を有する第２バンプと、を更に備えていてもよい。また、第２端子１２の数は複数に限らず、例えば、１つでもよい。
（実施形態２）
（２．１）弾性波装置の全体構成
以下、実施形態２に係る弾性波装置１ｂについて、図面を参照して説明する。
（２．１）弾性波装置の全体構成
以下、実施形態２に係る弾性波装置１ｂについて、図面を参照して説明する。
実施形態２に係る弾性波装置１ｂは、縦結合共振子型フィルタであり、図７〜１０に示すように、第１端子（例えば、信号端子）１１と、第２端子（例えば、グラウンド端子）１２と、圧電体部２４と、複数のＩＤＴ電極３と、を備える。圧電体部２４は、圧電材料により形成されている。複数のＩＤＴ電極３は、圧電体部２４上に設けられている。実施形態２に係る弾性波装置１ｂは、２つの反射器８を更に備えている。図７及び８では、複数のＩＤＴ電極３及び各反射器８にドットのハッチングを付してあるが、これらのハッチングは、断面を表すものではなく、複数のＩＤＴ電極３及び各反射器８と圧電体部２４との関係を分かりやすくするために付してあるにすぎない。実施形態２に係る弾性波装置１ｂに関し、実施形態１に係る弾性波装置１（図１〜４参照）と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を適宜省略する。
（２．２）弾性波装置の各構成要素
次に、弾性波装置１ｂの各構成要素について、図面を参照して説明する。
次に、弾性波装置１ｂの各構成要素について、図面を参照して説明する。
（２．２．１）積層型基板
実施形態２に係る弾性波装置１ｂでは、圧電体部２４が圧電膜であり、複数のＩＤＴ電極３は、圧電体部２４を有する積層型基板２ｂ上に形成されている。積層型基板２ｂにおける高音速支持基板２１（図９参照）の平面視形状（高音速支持基板２１を厚さ方向から見たときの外周形状）は、長方形状であるが、長方形状に限らず、例えば正方形状であってもよい。
実施形態２に係る弾性波装置１ｂでは、圧電体部２４が圧電膜であり、複数のＩＤＴ電極３は、圧電体部２４を有する積層型基板２ｂ上に形成されている。積層型基板２ｂにおける高音速支持基板２１（図９参照）の平面視形状（高音速支持基板２１を厚さ方向から見たときの外周形状）は、長方形状であるが、長方形状に限らず、例えば正方形状であってもよい。
（２．２．２）反射器
２つの反射器８は、圧電体部２４上に設けられている。ここで、２つの反射器８は、第２方向Ｄ２において３つのＩＤＴ電極３のうち両側のＩＤＴ電極３それぞれにおける真ん中のＩＤＴ電極３とは反対側に、１つずつ配置されている。以下では、説明の便宜上、３つのＩＤＴ電極３を区別する場合に、複数のＩＤＴ電極３のうち第２方向Ｄ２において隣り合う２つのＩＤＴ電極３の一方を第１ＩＤＴ電極３Ａ、他方を第２ＩＤＴ電極３Ｂと称することもある。図７及び８の例では、３つのＩＤＴ電極３のうち真ん中のＩＤＴ電極３を第１ＩＤＴ電極３Ａと称し、両端のＩＤＴ電極３を第２ＩＤＴ電極３Ｂと称する。
２つの反射器８は、圧電体部２４上に設けられている。ここで、２つの反射器８は、第２方向Ｄ２において３つのＩＤＴ電極３のうち両側のＩＤＴ電極３それぞれにおける真ん中のＩＤＴ電極３とは反対側に、１つずつ配置されている。以下では、説明の便宜上、３つのＩＤＴ電極３を区別する場合に、複数のＩＤＴ電極３のうち第２方向Ｄ２において隣り合う２つのＩＤＴ電極３の一方を第１ＩＤＴ電極３Ａ、他方を第２ＩＤＴ電極３Ｂと称することもある。図７及び８の例では、３つのＩＤＴ電極３のうち真ん中のＩＤＴ電極３を第１ＩＤＴ電極３Ａと称し、両端のＩＤＴ電極３を第２ＩＤＴ電極３Ｂと称する。
（２．２．３）ＩＤＴ電極
実施形態２に係る弾性波装置１ｂでは、３つのＩＤＴ電極３は、第２方向Ｄ２において並んでいる。３つのＩＤＴ電極３の各々は、第１バスバー４と、第２バスバー５と、複数の第１電極指６と、複数の第２電極指７と、を有する。
実施形態２に係る弾性波装置１ｂでは、３つのＩＤＴ電極３は、第２方向Ｄ２において並んでいる。３つのＩＤＴ電極３の各々は、第１バスバー４と、第２バスバー５と、複数の第１電極指６と、複数の第２電極指７と、を有する。
第１バスバー４は、開口部４０と、内側バスバー部４２と、外側バスバー部４１と、連結部４３と、含む。第２バスバー５は、開口部５０と、内側バスバー部５２と、外側バスバー部５１と、連結部５３と、含む。ＩＤＴ電極３では、複数の第１電極指６の先端部６１の太幅部６２と第２電極指７の基端部７３側の太幅部７４とが、第２方向Ｄ２において、１つずつ交互に互いに離隔して並んでいる。また、ＩＤＴ電極３では、複数の第１電極指６の基端部６３側の太幅部６４と第２電極指７の先端部７１の太幅部７２とが、第２方向Ｄ２において、１つずつ交互に互いに離隔して並んでいる。
（２．３）ＩＤＴ電極の電位
図７及び８では、説明の便宜上、ＩＤＴ電極３において第１端子（信号端子）１１に電気的に接続されている部分（高電位側部分）に「Ｈ」の記号を表記し、ＩＤＴ電極３及び反射器８において第２端子（グラウンド端子）１２に電気的に接続されている部分（低電位側部分）に「Ｅ」の記号を表記してある。高電位側部分と低電位側部分とは電位が異なる。高電位側部分は、低電位側部分よりも高電位となる部分である。「Ｈ」、「Ｅ」の表記は、符号ではないし、実際にあるわけでもない。
図７及び８では、説明の便宜上、ＩＤＴ電極３において第１端子（信号端子）１１に電気的に接続されている部分（高電位側部分）に「Ｈ」の記号を表記し、ＩＤＴ電極３及び反射器８において第２端子（グラウンド端子）１２に電気的に接続されている部分（低電位側部分）に「Ｅ」の記号を表記してある。高電位側部分と低電位側部分とは電位が異なる。高電位側部分は、低電位側部分よりも高電位となる部分である。「Ｈ」、「Ｅ」の表記は、符号ではないし、実際にあるわけでもない。
弾性波装置１ｂは、第１端子１１を２つ備え、第２端子１２を２つ備えている。２つの第１端子１１を区別する場合、一方を第１端子１１Ａと称し、他方を第１端子１１Ｂと称する。また、２つの第２端子１２を区別する場合、一方を第２端子１２Ａと称し、他方を第２端子１２Ｂと称する。
第１ＩＤＴ電極３Ａの第１バスバー４は、第１端子１１Ａと電気的に接続されている。弾性波装置１ｂは、第１端子１１Ａと第１ＩＤＴ電極３Ａの第１バスバー４とを電気的に接続する第１配線層１３（１３Ａ）を備えている。第１ＩＤＴ電極３Ａの第２バスバー５は、第２端子１２Ａ及び第２端子１２Ｂと電気的に接続されている。弾性波装置１ｂは、第２端子１２Ａ及び第２端子１２Ｂと第１ＩＤＴ電極３Ａの第２バスバー５とを電気的に接続する第２配線層１４（１４Ａ）を備えている。第１ＩＤＴ電極３Ａでは、第２バスバー５の電位が、第１バスバー４の電位よりも低くなる。
各第２ＩＤＴ電極３Ｂの第１バスバー４は、第２端子１２Ｂと電気的に接続されている。弾性波装置１ｂは、第２端子１２Ｂと第２ＩＤＴ電極３Ｂの第１バスバー４とを電気的に接続する第２配線層１４（１４Ｂ）を備えている。各第２ＩＤＴ電極３Ｂの第２バスバー５は、第１端子１１Ｂと電気的に接続されている。弾性波装置１ｂは、第１端子１１Ｂと第２ＩＤＴ電極３Ｂの第２バスバー５とを電気的に接続する第１配線層１３（１３Ｂ）を備えている。各第２ＩＤＴ電極３Ｂでは、第１バスバー４の電位が第２バスバー５の電位よりも低くなる。
各反射器８は、第２端子１２Ａ及び第２端子１２Ｂと電気的に接続されている。各反射器８の電位は、各第２ＩＤＴ電極３Ｂの第２バスバー５の電位よりも低くなる。
弾性波装置１ｂは、第１配線層１３（１３Ａ）と第２配線層１４（１４Ｂ）とを電気的に絶縁する電気絶縁層１５を備えている。電気絶縁層１５は、第１配線層１３（１３Ａ）と第２配線層１４（１４Ｂ）との間に一部が介在するように圧電体部２４上に設けられている。また、弾性波装置１ｂは、第１配線層１３（１３Ｂ）と第２配線層１４（１４Ａ）とを電気的に絶縁する電気絶縁層１６を備えている。電気絶縁層１６は、第１配線層１３（１３Ｂ）と第２配線層１４（１４Ａ）との間に一部が介在するように圧電体部２４上に設けられている。
弾性波装置１ｂは、第１端子１１上に形成されており、導電性を有する第１バンプと、第２端子１２上に形成されており、導電性を有する第２バンプと、を更に備えていてもよい。また、第１端子１１及び第２端子１２それぞれの数は複数に限らず、例えば、１つでもよい。
図１０は、図７及び８の真ん中の第１ＩＤＴ電極３Ａの左側の端に位置する第１電極指６と、図７及び８の左側の第２ＩＤＴ電極３Ｂの右側の端に位置する第１電極指６と、を含む拡大図である。図７、８及び１０において「Ｈ」の記号が表記されている高電位側部分と、「Ｅ」の記号が表記されている低電位側部分とは、電位が異なる。例えば、図１０において、第１ＩＤＴ電極３Ａの左側の端に位置する第１電極指６と、第２ＩＤＴ電極３Ｂの右側の端に位置する第１電極指６とは、電位が異なる。また、図１０において、第１ＩＤＴ電極３Ａの左側の端に位置する第１電極指６と、この第１電極指６に近接する、第１ＩＤＴ電極３Ａの第２バスバー５とは、電位が異なる。また、図１０において、第２ＩＤＴ電極３Ｂの右側の端に位置する第１電極指６と、この第１電極指６に近接する、第２ＩＤＴ電極３Ｂの第２バスバー５とは、電位が異なる。また、第１ＩＤＴ電極３Ａの第２バスバー５と第２ＩＤＴ電極３Ｂの第２バスバー５とは、電位が異なる。
図１１は、実施形態２に係る弾性波装置１ｂの表面（３つのＩＤＴ電極３の表面及び圧電体部２４の一の主面２４１を含む）の電荷分布を示す。図１１に示す電荷分布の前提条件は第１ＩＤＴ電極３Ａに係る領域、及び、第２ＩＤＴ電極３Ｂに係る領域で表面弾性波の励振現象が生じていること、第１ＩＤＴ電極３Ａに係る領域と第２ＩＤＴ電極３Ｂに係る領域が互いに異なる電気端子（第１端子１１Ａ、第１端子１１Ｂ）と接続されていること、反射器８が電気的に短絡している（短絡グレーティングである）こと、及び、反射器８に係る領域で表面弾性波の励振現象が生じていないこと（反射器８は電気的に短絡しているため、圧電効果を引き起こす駆動電圧は零となる）、である。ここにおいて、図１１に示す電荷分布が生じる原理は以下の通りである。表面弾性波の励振が生じている領域と励振が生じていない領域の境界領域にて、エッジ効果（Edge effect；縁端効果ともいう）が生じる。エッジ効果は、互いに表面弾性波の励振のようすが異なる２領域の境界領域においても、生じる。エッジ効果により、同境界領域の電荷量は、同境界領域の周辺領域の電荷量に比べて、局所的に大きくなる。エッジ効果は、原理上、互いに表面弾性波の励振のようすが異なっていれば、該当する種々の境界領域で、生じうる。しかし、実施形態２に係る弾性波装置１ｂ（縦結合共振子型フィルタ）の場合、図１１に示すように、第１ＩＤＴ電極３Ａに係る領域と第２ＩＤＴ電極３Ｂに係る領域との境界領域、及び、第２ＩＤＴ電極３Ｂに係る領域と反射器８に係る領域との境界領域で、局所的な電荷量の集中が発生する場合が多い。したがって、実施形態２に係る弾性波装置１ｂでは、図１１に示すような電荷分布が生じる。
図１１から分かるように、弾性波装置１ｂでは、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とを含む一群の電極指が並んでいる第２方向Ｄ２において、ＩＤＴ電極３の両端の電荷量がＩＤＴ電極３の中央の電荷量よりも多くなる。このため、弾性波装置１では、例えば、隣り合うＩＤＴ電極３の外側バスバー部５１間での電気力線の密度が大きくなりやすい。また、第２方向Ｄ２に沿った方向において、反射器８のＩＤＴ電極３側の端の電荷量がＩＤＴ電極３とは反対側の端の電荷量よりも多くなる。このため、弾性波装置１ｂでは、例えば、２つの外側バスバー部４１、５１のうち相対的に高電位となる外側バスバー部４１と、外側バスバー部４１に隣り合う反射器８との間で電気力線の密度が大きくなりやすい。
（２．４）効果
実施形態２に係る弾性波装置１ｂは、第１端子１１と、第２端子１２と、圧電体部２４と、複数のＩＤＴ電極３と、を備える。第２端子１２は、第１端子１１の電位よりも低い電位になる。複数のＩＤＴ電極３は、圧電体部２４上に設けられており、第１端子１１及び第２端子１２と電気的に接続されている。複数のＩＤＴ電極３の各々は、第１バスバー４と、第２バスバー５と、複数の第１電極指６と、複数の第２電極指７と、を有する。第２バスバー５は、第１方向Ｄ１において第１バスバー４に対向している。複数の第１電極指６は、第１バスバー４に接続され第１方向Ｄ１において第１バスバー４から第２バスバー５側に延びている。複数の第２電極指７は、第２バスバー５に接続され第１方向Ｄ１において第２バスバー５から第１バスバー４側に延びている。複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２において、１本ずつ交互に互いに離隔して並んでいる。複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７それぞれが、第１方向Ｄ１の中央部６０、７０よりも第２方向Ｄ２の幅が大きな太幅部６２、７２を含む。第１バスバー４及び第２バスバー５の各々は、開口部４０、５０と、内側バスバー部４２、５２と、外側バスバー部４１、５１と、連結部４３、５３と、を含む。内側バスバー部４２、５２は、第１方向Ｄ１において開口部４０、５０よりも複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７側に位置している。外側バスバー部４１、５１は、第１方向Ｄ１において開口部４０、５０から見て内側バスバー部４２、５２とは反対側に位置している。連結部４３、５３は、第１方向Ｄ１において内側バスバー部４２、５２と外側バスバー部４１，５１とを連結している。複数のＩＤＴ電極３のうち第２方向Ｄ２において隣り合う２つのＩＤＴ電極３の一方を第１ＩＤＴ電極３Ａ、他方を第２ＩＤＴ電極３Ｂとしたとき、第１ＩＤＴ電極３Ａにおいて、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とを含む一群の電極指のうち第２ＩＤＴ電極３Ｂに最も近い第１電極指６に接続されていない外側バスバー部５１と、第２ＩＤＴ電極３Ｂにおいて、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とを含む一群の電極指のうち第１ＩＤＴ電極３Ａに最も近い第１電極指６に接続されていない外側バスバー部５１と、の間隔が、第１ＩＤＴ電極３Ａにおいて第２ＩＤＴ電極３Ｂに最も近い第１電極指６の中央部６０と、第２ＩＤＴ電極３Ｂにおいて第１ＩＤＴ電極３Ａに最も近い第１電極指の中央部６０と、の間隔よりも大きい。
実施形態２に係る弾性波装置１ｂは、第１端子１１と、第２端子１２と、圧電体部２４と、複数のＩＤＴ電極３と、を備える。第２端子１２は、第１端子１１の電位よりも低い電位になる。複数のＩＤＴ電極３は、圧電体部２４上に設けられており、第１端子１１及び第２端子１２と電気的に接続されている。複数のＩＤＴ電極３の各々は、第１バスバー４と、第２バスバー５と、複数の第１電極指６と、複数の第２電極指７と、を有する。第２バスバー５は、第１方向Ｄ１において第１バスバー４に対向している。複数の第１電極指６は、第１バスバー４に接続され第１方向Ｄ１において第１バスバー４から第２バスバー５側に延びている。複数の第２電極指７は、第２バスバー５に接続され第１方向Ｄ１において第２バスバー５から第１バスバー４側に延びている。複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２において、１本ずつ交互に互いに離隔して並んでいる。複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７それぞれが、第１方向Ｄ１の中央部６０、７０よりも第２方向Ｄ２の幅が大きな太幅部６２、７２を含む。第１バスバー４及び第２バスバー５の各々は、開口部４０、５０と、内側バスバー部４２、５２と、外側バスバー部４１、５１と、連結部４３、５３と、を含む。内側バスバー部４２、５２は、第１方向Ｄ１において開口部４０、５０よりも複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７側に位置している。外側バスバー部４１、５１は、第１方向Ｄ１において開口部４０、５０から見て内側バスバー部４２、５２とは反対側に位置している。連結部４３、５３は、第１方向Ｄ１において内側バスバー部４２、５２と外側バスバー部４１，５１とを連結している。複数のＩＤＴ電極３のうち第２方向Ｄ２において隣り合う２つのＩＤＴ電極３の一方を第１ＩＤＴ電極３Ａ、他方を第２ＩＤＴ電極３Ｂとしたとき、第１ＩＤＴ電極３Ａにおいて、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とを含む一群の電極指のうち第２ＩＤＴ電極３Ｂに最も近い第１電極指６に接続されていない外側バスバー部５１と、第２ＩＤＴ電極３Ｂにおいて、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とを含む一群の電極指のうち第１ＩＤＴ電極３Ａに最も近い第１電極指６に接続されていない外側バスバー部５１と、の間隔が、第１ＩＤＴ電極３Ａにおいて第２ＩＤＴ電極３Ｂに最も近い第１電極指６の中央部６０と、第２ＩＤＴ電極３Ｂにおいて第１ＩＤＴ電極３Ａに最も近い第１電極指の中央部６０と、の間隔よりも大きい。
これにより、実施形態２に係る弾性波装置１ｂでは、第１ＩＤＴ電極３Ａの外側バスバー部５１と第２ＩＤＴ電極３Ｂの外側バスバー部５１との間でのＥＳＤによるサージ破壊を抑制することが可能となり、ＥＳＤ耐性の向上を図れることが可能となる。
また、実施形態２に係る弾性波装置１ｂでは、第１ＩＤＴ電極３Ａに関し、外側バスバー部５１は、第２方向Ｄ２において内側バスバー部５２よりも内側に位置している。これにより、弾性波装置１ｂでは、第１ＩＤＴ電極３Ａの外側バスバー部５１が、内側バスバー部５２と同様に、一群の電極指のうち第２方向Ｄ２において一方の端及び他方の端に１つずつ位置する第１電極指６それぞれと第１方向Ｄ１において重なっている場合と比べて、サージ破壊が起こりにくくなり、ＥＳＤ耐性が向上する。また、実施形態２に係る弾性波装置１ｂでは、第２ＩＤＴ電極３Ｂに関し、外側バスバー部５１は、第２方向Ｄ２において内側バスバー部５２よりも内側に位置している。これにより、弾性波装置１ｂでは、第２ＩＤＴ電極３Ｂの外側バスバー部５１が、内側バスバー部５２と同様に、一群の電極指のうち第２方向Ｄ２において一方の端及び他方の端に１つずつ位置する第１電極指６それぞれと第１方向Ｄ１において重なっている場合と比べて、サージ破壊が起こりにくくなり、ＥＳＤ耐性が向上する。
実施形態２に係る弾性波装置１ｂの第１ＩＤＴ電極３Ａ及び第２ＩＤＴ電極３Ｂの各々では、第２方向Ｄ２において外側バスバー部５１が内側バスバー部５２よりも内側に位置している。弾性波装置１ｂでは、ピストンモードを形成して横モードリップルを抑制する観点からは内側バスバー部５２が一群の電極指のうち第２方向Ｄ２において一方の端及び他方の端に１つずつ位置する第１電極指６それぞれと第１方向Ｄ１において重なることと、外側バスバー部５１が一群の電極指のうち第２方向Ｄ２において両方の端に位置する第１電極指６それぞれと第１方向Ｄ１において重なること、のうち、前者の方が重要である。よって、実施形態２に係る弾性波装置１ｂでは、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。また、弾性波装置１ｂでは、内側バスバー部５２と外側バスバー部５１とのうち内側バスバー部５２のみ、一群の電極指のうち第２方向Ｄ２において一方の端及び他方の端に１つずつ位置する第１電極指６それぞれと第１方向Ｄ１において重なっているので、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の更なる向上を図ることが可能となる。
（２．５）実施形態２の変形例１
図１２に示す実施形態２の変形例１に係る弾性波装置１ｃは、複数のＩＤＴ電極３の各々における外側バスバー部５１の長さが、実施形態２に係る弾性波装置１ｂよりも長い点で実施形態２に係る弾性波装置１ｂと相違する。変形例１に係る弾性波装置１ｃの他の構成は実施形態２に係る弾性波装置１ｂと同様なので図示及び説明を省略する。
図１２に示す実施形態２の変形例１に係る弾性波装置１ｃは、複数のＩＤＴ電極３の各々における外側バスバー部５１の長さが、実施形態２に係る弾性波装置１ｂよりも長い点で実施形態２に係る弾性波装置１ｂと相違する。変形例１に係る弾性波装置１ｃの他の構成は実施形態２に係る弾性波装置１ｂと同様なので図示及び説明を省略する。
変形例１に係る弾性波装置１ｃでは、隣り合う２つのＩＤＴ電極３の内側バスバー部５２同士の距離は、隣り合う２つのＩＤＴ電極３において隣り合う太幅部６２の互いに近接する辺同士の距離と同じである。また、変形例１に係る弾性波装置１ｃでは、隣り合う２つのＩＤＴ電極３の外側バスバー部５１同士の距離は、隣り合う２つのＩＤＴ電極３において隣り合う太幅部６２の互いに近接する辺とは反対側の辺同士の距離と同じである。
弾性波装置１ｃでは、第１ＩＤＴ電極３Ａの外側バスバー部５１の第２ＩＤＴ電極３Ｂ側の辺と、第１ＩＤＴ電極３Ａの上記の一群の電極指のうち第２ＩＤＴ電極３Ｂに最も近い第１電極指６の太幅部６２の第２電極指７側の辺とが一直線上に並んでいる。また、弾性波装置１ｃでは、第２ＩＤＴ電極３Ｂの外側バスバー部５１の第１ＩＤＴ電極３Ａ側の辺と、第２ＩＤＴ電極３Ｂの上記の一群の電極指のうち第１ＩＤＴ電極３Ａに最も近い第１電極指６の太幅部６２の第２電極指７側の辺とが一直線上に並んでいる。
変形例１に係る弾性波装置１ｃは、実施形態２に係る弾性波装置１ｂと比べて、外側バスバー部５１の長さが長くなるので、ピストンモードの阻害を抑制することが可能となる。
（２．６）実施形態２の変形例２
実施形態２の変形例２に係る弾性波装置１ｄは、図１３及び１４に示すように、３つのＩＤＴ電極３のうち左側の第２ＩＤＴ電極３Ｂのみ、第２方向Ｄ２において第２バスバー５の外側バスバー部５１が、第１ＩＤＴ電極３Ａ側で内側バスバー部５２よりも内側に位置している点で、実施形態２に係る弾性波装置１ｂ（図７〜１１参照）と相違する。変形例２に係る弾性波装置１ｄの他の構成は実施形態２に係る弾性波装置１ｂと同様なので図示及び説明を省略する。
実施形態２の変形例２に係る弾性波装置１ｄは、図１３及び１４に示すように、３つのＩＤＴ電極３のうち左側の第２ＩＤＴ電極３Ｂのみ、第２方向Ｄ２において第２バスバー５の外側バスバー部５１が、第１ＩＤＴ電極３Ａ側で内側バスバー部５２よりも内側に位置している点で、実施形態２に係る弾性波装置１ｂ（図７〜１１参照）と相違する。変形例２に係る弾性波装置１ｄの他の構成は実施形態２に係る弾性波装置１ｂと同様なので図示及び説明を省略する。
変形例２に係る弾性波装置１ｄにおいて、３つのＩＤＴ電極３のうち真ん中の第１ＩＤＴ電極３Ａ及び右側の第２ＩＤＴ電極３Ｂでは、第２バスバー５の外側バスバー部５１がその全長に亘って、第１方向Ｄ１において内側バスバー部５２と重なっている。ここにおいて、外側バスバー部５１の長さは、内側バスバー部５２の長さと同じである。また、外側バスバー部５１と内側バスバー部５２とは、第２方向Ｄ２の左辺同士及び右辺同士がそれぞれ一直線上に並んでいる。
変形例２に係る弾性波装置１ｄでは、実施形態２に係る弾性波装置１ｂよりも、ピストンモードの阻害を抑制することが可能となる。また、変形例２に係る弾性波装置１ｄは、第２ＩＤＴ電極３Ｂに関して、第２方向Ｄ２において第２バスバー５の外側バスバー部５１が、第１ＩＤＴ電極３Ａ側で内側バスバー部５２よりも内側に位置している。これにより、変形例２に係る弾性波装置１ｄでは、第２ＩＤＴ電極３Ｂの外側バスバー部５１と第１ＩＤＴ電極３Ａの外側バスバー部５１との間でのＥＳＤによるサージ破壊の発生を抑制することが可能となり、ＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
（２．７）実施形態２の変形例３
図１５に示す実施形態２の変形例３に係る弾性波装置１ｅでは、左側の第２ＩＤＴ電極３Ｂの外側バスバー部５１の長さが実施形態２の変形例２に係る弾性波装置１ｄよりも長い点で、弾性波装置１ｄと相違する。変形例３に係る弾性波装置１ｅの他の構成は実施形態２の変形例２に係る弾性波装置１ｄと同様なので図示及び説明を省略する。
図１５に示す実施形態２の変形例３に係る弾性波装置１ｅでは、左側の第２ＩＤＴ電極３Ｂの外側バスバー部５１の長さが実施形態２の変形例２に係る弾性波装置１ｄよりも長い点で、弾性波装置１ｄと相違する。変形例３に係る弾性波装置１ｅの他の構成は実施形態２の変形例２に係る弾性波装置１ｄと同様なので図示及び説明を省略する。
弾性波装置１ｅでは、左側の第２ＩＤＴ電極３Ｂの外側バスバー部５１の第１ＩＤＴ電極３Ａ側の辺と、左側の第２ＩＤＴ電極３Ｂの上記の一群の電極指のうち第１ＩＤＴ電極３Ａに最も近い第１電極指６の太幅部６２の第２電極指７側の辺とが、第１方向Ｄ１において一直線上に並んでいる。
変形例３に係る弾性波装置１ｅは、変形例２に係る弾性波装置１ｄと比べて、左側の第２ＩＤＴ電極３Ｂの外側バスバー部５１の長さが長くなるので、ピストンモードの阻害を抑制することが可能となる。
（２．８）実施形態２の変形例４
実施形態２の変形例４に係る弾性波装置１ｆでは、図１６に示すように、積層型基板２ｆが、高音速膜２２と、低音速膜２３と、圧電体部２４と、を含む。高音速膜２２は、支持基板２０上に設けられている。ここにおいて、「支持基板２０上に設けられている」とは、支持基板２０上に直接的に設けられている場合と、支持基板２０上に間接的に設けられている場合と、を含む。高音速膜２２では、圧電体部（圧電膜）２４を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が高速である。低音速膜２３は、高音速膜２２上に設けられている。ここにおいて、「高音速膜２２上に設けられている」とは、高音速膜２２上に直接的に設けられている場合と、高音速膜２２上に間接的に設けられている場合と、を含む。低音速膜２３では、圧電体部２４を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が低速である。圧電体部２４は、低音速膜２３上に設けられている。ここにおいて、「低音速膜２３上に設けられている」とは、低音速膜２３上に直接的に設けられている場合と、低音速膜２３上に間接的に設けられている場合と、を含む。変形例４に係る弾性波装置１ｆに関し、実施形態２に係る弾性波装置１ｂ（図７〜１１参照）と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
実施形態２の変形例４に係る弾性波装置１ｆでは、図１６に示すように、積層型基板２ｆが、高音速膜２２と、低音速膜２３と、圧電体部２４と、を含む。高音速膜２２は、支持基板２０上に設けられている。ここにおいて、「支持基板２０上に設けられている」とは、支持基板２０上に直接的に設けられている場合と、支持基板２０上に間接的に設けられている場合と、を含む。高音速膜２２では、圧電体部（圧電膜）２４を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が高速である。低音速膜２３は、高音速膜２２上に設けられている。ここにおいて、「高音速膜２２上に設けられている」とは、高音速膜２２上に直接的に設けられている場合と、高音速膜２２上に間接的に設けられている場合と、を含む。低音速膜２３では、圧電体部２４を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が低速である。圧電体部２４は、低音速膜２３上に設けられている。ここにおいて、「低音速膜２３上に設けられている」とは、低音速膜２３上に直接的に設けられている場合と、低音速膜２３上に間接的に設けられている場合と、を含む。変形例４に係る弾性波装置１ｆに関し、実施形態２に係る弾性波装置１ｂ（図７〜１１参照）と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
支持基板２０としては、サファイア、リチウムタンタレート、リチウムニオベイト、水晶等の圧電体、アルミナ、マグネシア、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、炭化ケイ素、ジルコニア、コージライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライト等の各種セラミック、ガラス等の誘電体、又はシリコン、窒化ガリウム等の半導体、及び樹脂基板等を用いることができる。
変形例４に係る弾性波装置１ｆでは、高音速膜２２は、弾性波が高音速膜２２より下の構造に漏れないように機能する。
変形例４に係る弾性波装置１ｆでは、フィルタや共振子の特性を得るために利用する特定のモードの弾性波のエネルギーは圧電体部２４及び低音速膜２３の全体に分布し、高音速膜２２の低音速膜２３側の一部にも分布し、高音速支持基板２１には分布しないことになる。高音速膜２２により弾性波を閉じ込めるメカニズムは非漏洩なＳＨ波であるラブ波型の表面波の場合と同様のメカニズムであり、例えば、文献「弾性表面波デバイスシミュレーション技術入門」、橋本研也、リアライズ社、ｐ．２６−２８に記載されている。上記メカニズムは、音響多層膜によるブラッグ反射器を用いて弾性波を閉じ込めるメカニズムとは異なる。
高音速膜２２は、ダイヤモンドライクカーボン、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、窒化ケイ素、シリコン、サファイア、リチウムタンタレート、リチウムニオベイト、水晶等の圧電体、アルミナ、ジルコニア、コージライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライト等の各種セラミック、マグネシアダイヤモンド、又は、上記各材料を主成分とする材料、上記各材料の混合物を主成分とする材料からなる。
高音速膜２２の厚さに関しては、弾性波を圧電体部２４及び低音速膜２３に閉じ込める機能を高音速膜２２が有するため、高音速膜２２の厚さは厚いほど望ましい。
変形例４に係る弾性波装置１ｆでは、実施形態２に係る弾性波装置１ｂ（図７〜１１参照）と同様、第１ＩＤＴ電極３Ａの外側バスバー部５１と第２ＩＤＴ電極３Ｂの外側バスバー部５１との間でのＥＳＤによるサージ破壊を抑制することが可能となり、ＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
（２．９）実施形態２の変形例５
実施形態２の変形例５に係る弾性波装置１ｇでは、図１７に示すように、圧電体部２４ｇが、圧電基板により構成されており、実施形態２に係る弾性波装置１ｂにおける高音速支持基板２１及び低音速膜２３を備えていない。変形例５に係る弾性波装置１ｇに関し、実施形態２に係る弾性波装置１ｂ（図７〜１１参照）と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
実施形態２の変形例５に係る弾性波装置１ｇでは、図１７に示すように、圧電体部２４ｇが、圧電基板により構成されており、実施形態２に係る弾性波装置１ｂにおける高音速支持基板２１及び低音速膜２３を備えていない。変形例５に係る弾性波装置１ｇに関し、実施形態２に係る弾性波装置１ｂ（図７〜１１参照）と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
弾性波装置１ｇでは、圧電体部２４ｇを構成する圧電基板は、１２８度Ｙ−Ｘのリチウムニオベイト（ＬｉＮｂＯ3）基板からなる。圧電基板は、例えば、５０°ＹカットＸ伝搬リチウムタンタレート（ＬｉＴａＯ3）圧電単結晶又は圧電セラミックス（Ｘ軸を中心軸としてＹ軸から５０°回転した軸を法線とする面で切断したリチウムタンタレート単結晶、又はセラミックスであって、Ｘ軸方向に弾性波が伝搬する単結晶又はセラミックス）からなる基板であってもよい。図１７で図示は省略しているが、弾性波装置１ｇは、複数（３つ）のＩＤＴ電極３、２つの反射器８及び圧電体部２４ｇの一の主面２４１ｇのうち複数（３つ）のＩＤＴ電極３及び２つの反射器８に覆われていない領域を覆う酸化ケイ素（ＳｉＯ2）膜を備えている。弾性波装置１ｇでは、酸化ケイ素膜の表面形状は、３つのＩＤＴ電極３及び２つの反射器８それぞれの形状に対応した凹凸が形成されている。
変形例５に係る弾性波装置１ｇでは、実施形態２に係る弾性波装置１ｂ（図７〜１１参照）と同様、第１ＩＤＴ電極３Ａの外側バスバー部５１と第２ＩＤＴ電極３Ｂの外側バスバー部５１との間でのＥＳＤによるサージ破壊を抑制することが可能となり、ＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
（２．１０）実施形態２の他の変形例
複数のＩＤＴ電極３の各々における複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７それぞれの数は特に限定されない。ここにおいて、第１ＩＤＴ電極３Ａでは、一群の電極指のうち第２方向Ｄ２の一方の端及び他方の端それぞれに位置する第１端電極指及び第２端電極指は、第１電極指６である場合に限らない。例えば、第１端電極指と第２端電極指との一方が第１電極指６で、他方が第２電極指７であってもよい。この場合、第１端電極指を構成する第１電極指６には、第２バスバー５の内側バスバー部５２が近接し、第２端電極指を構成する第２電極指７には、第１バスバー４の内側バスバー部４２が近接する。また、第１端電極指及び第２電極指それぞれが、第２電極指７であってもよい。この場合、第１端電極指及び第２端電極指それぞれを構成する第２電極指７には、第１バスバー４の内側バスバー部４２が近接する。また、一群の電極指は、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２において、離隔して並んでいる構成であればよい。例えば、一変形例の弾性波装置において、第１電極指６と第２電極指７とが１本ずつ離隔して並んでいる領域と、第１電極指６又は第２電極指７が第２方向Ｄ２において２つ並んでいる領域と、とが混在してもよい。また、変形例２に係る弾性波装置１ｄでは、２つの第２ＩＤＴ電極３Ｂのうち図１３の左側の第２ＩＤＴ電極３Ｂに関して、第２方向Ｄ２において第２バスバー５の外側バスバー部５１が、第１ＩＤＴ電極３Ａ側で内側バスバー部５２よりも内側に位置しているが、これに限らない。例えば、図１３の右側の第２ＩＤＴ電極３Ｂに関して、第２方向Ｄ２において第２バスバー５の外側バスバー部５１が、第１ＩＤＴ電極３Ａ側で内側バスバー部５２よりも内側に位置していてもよい。また、第１ＩＤＴ電極３Ａに関して、第２方向Ｄ２において第２バスバー５の外側バスバー部５１が、２つの第２ＩＤＴ電極３Ｂの少なくとも一方側で内側バスバー部５２よりも内側に位置していてもよい。これらのいずれの変形例の弾性波装置でも、第２方向Ｄ２において外側バスバー部５１が内側バスバー部５２よりも内側に位置していることにより、ＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。また、ＩＤＴ電極３における複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７それぞれにおいては、少なくとも１つの第１電極指６及び第２電極指７が太幅部６２、７２を有していればよい。
複数のＩＤＴ電極３の各々における複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７それぞれの数は特に限定されない。ここにおいて、第１ＩＤＴ電極３Ａでは、一群の電極指のうち第２方向Ｄ２の一方の端及び他方の端それぞれに位置する第１端電極指及び第２端電極指は、第１電極指６である場合に限らない。例えば、第１端電極指と第２端電極指との一方が第１電極指６で、他方が第２電極指７であってもよい。この場合、第１端電極指を構成する第１電極指６には、第２バスバー５の内側バスバー部５２が近接し、第２端電極指を構成する第２電極指７には、第１バスバー４の内側バスバー部４２が近接する。また、第１端電極指及び第２電極指それぞれが、第２電極指７であってもよい。この場合、第１端電極指及び第２端電極指それぞれを構成する第２電極指７には、第１バスバー４の内側バスバー部４２が近接する。また、一群の電極指は、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２において、離隔して並んでいる構成であればよい。例えば、一変形例の弾性波装置において、第１電極指６と第２電極指７とが１本ずつ離隔して並んでいる領域と、第１電極指６又は第２電極指７が第２方向Ｄ２において２つ並んでいる領域と、とが混在してもよい。また、変形例２に係る弾性波装置１ｄでは、２つの第２ＩＤＴ電極３Ｂのうち図１３の左側の第２ＩＤＴ電極３Ｂに関して、第２方向Ｄ２において第２バスバー５の外側バスバー部５１が、第１ＩＤＴ電極３Ａ側で内側バスバー部５２よりも内側に位置しているが、これに限らない。例えば、図１３の右側の第２ＩＤＴ電極３Ｂに関して、第２方向Ｄ２において第２バスバー５の外側バスバー部５１が、第１ＩＤＴ電極３Ａ側で内側バスバー部５２よりも内側に位置していてもよい。また、第１ＩＤＴ電極３Ａに関して、第２方向Ｄ２において第２バスバー５の外側バスバー部５１が、２つの第２ＩＤＴ電極３Ｂの少なくとも一方側で内側バスバー部５２よりも内側に位置していてもよい。これらのいずれの変形例の弾性波装置でも、第２方向Ｄ２において外側バスバー部５１が内側バスバー部５２よりも内側に位置していることにより、ＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。また、ＩＤＴ電極３における複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７それぞれにおいては、少なくとも１つの第１電極指６及び第２電極指７が太幅部６２、７２を有していればよい。
上記の実施形態１、２等は、本発明の様々な実施形態の一つに過ぎない。上記の実施形態は、本発明の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。
例えば、弾性波装置１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆ、１ｇでは、ＩＤＴ電極３が、圧電体部２４、２４ｇの一の主面２４１、２４１ｇ上に直接的に設けられているが、これに限らず、ＩＤＴ電極３が、圧電体部２４、２４ｇの一の主面２４１、２４１ｇ上に間接的に設けられていてもよい。例えば、弾性波装置１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆ、１ｇでは、ＩＤＴ電極３が圧電体部２４、２４ｇの一の主面２４１、２４１ｇ上に誘電体膜を介して設けられていてもよい。
また、弾性波装置１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅでは、積層型基板２、２ｂが、低音速膜２３と高音速支持基板２１との間に介在する膜を含んでもよい。また、弾性波装置１ｅでは、積層型基板２ｆが、高音速膜２２と高音速支持基板２１との間に介在する膜と、低音速膜２３と圧電体部２４との間に介在する膜と、の少なくとも一方を含んでもよい。また、弾性波装置１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅでは、積層型基板２、２ｂが、圧電体部２４と高音速支持基板２１との間に、低音速膜２３の代わりに、音響インピーダンス層を備えていてもよい。音響インピーダンス層は、ＩＤＴ電極３で励振された弾性波が高音速支持基板２１に漏洩するのを抑制する機能を有する。音響インピーダンス層は、音響インピーダンスが相対的に高い少なくとも１つの高音響インピーダンス層と音響インピーダンスが相対的に低い少なくとも１つの低音響インピーダンス層とが高音速支持基板２１の厚さ方向において並んだ積層構造を有する。上記の積層構造では、高音響インピーダンス層が複数設けられてもよいし、低音響インピーダンス層が複数設けられてもよい。この場合、上記の積層構造は、複数の高音響インピーダンス層と複数の低音響インピーダンス層とが高音速支持基板２１の厚さ方向において一層ごとに交互に並んだ構造である。
高音響インピーダンス層は、例えば、白金、タングステン、窒化アルミニウム、リチウムタンタレート、サファイア、リチウムニオベイト、窒化シリコン又は酸化亜鉛からなる。
低音響インピーダンス層は、例えば、酸化ケイ素、アルミニウム又はチタンからなる。
また、複数のＩＤＴ電極３を備えた構成は、縦結合共振子型フィルタに限らず、例えば、横結合共振子型フィルタ、ラダー型フィルタ等であってもよい。
（まとめ）
以上説明した実施形態等から以下の態様が開示されている。
以上説明した実施形態等から以下の態様が開示されている。
第１の態様に係る弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）は、第１端子（１１）と、第２端子（１２）と、圧電体部（２４；２４ｇ）と、ＩＤＴ電極（３）と、反射器（８）と、を備える。第２端子（１２）は、第１端子（１１）の電位よりも低い電位になる。ＩＤＴ電極（３）は、圧電体部（２４；２４ｇ）上に設けられており、第１端子（１１）及び第２端子（１２）と電気的に接続されている。反射器（８）は、圧電体部（２４；２４ｇ）上に設けられており、第２端子（１２）と電気的に接続されている。ＩＤＴ電極（３）は、第１バスバー（４）と、第２バスバー（５）と、複数の第１電極指（６）と、複数の第２電極指（７）と、を有する。第１バスバー（４）は、第１端子（１１）と電気的に接続されている。第２バスバー（５）は、第１方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）に対向しており、第２端子（１２）と電気的に接続されている。複数の第１電極指（６）は、第１バスバー（４）に接続され第１方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）から第２バスバー（５）側に延びている。複数の第２電極指（７）は、第２バスバー（５）に接続され第１方向（Ｄ１）において第２バスバー（５）から第１バスバー（４）側に延びている。複数の第１電極指（６）と複数の第２電極指（７）とが、第１方向（Ｄ１）に直交する第２方向（Ｄ２）において、互いに離隔して並んでいる。複数の第１電極指（６）及び複数の第２電極指（７）それぞれの少なくとも１つの電極指が、少なくとも１つの電極指の第１方向（Ｄ１）の中央部（６０、７０）よりも第２方向（Ｄ２）の幅が大きな太幅部（６２、７２）を含む。第１バスバー（４）及び第２バスバー（５）の各々は、開口部（４０、５０）と、内側バスバー部（４２、５２）と、外側バスバー部（４１、５１）と、連結部（４３、５３）と、を含む。内側バスバー部（４２、５２）は、第１方向（Ｄ１）において開口部（４０、５０）よりも複数の第１電極指（６）及び複数の第２電極指（７）側に位置している。外側バスバー部（４１、５１）は、第１方向（Ｄ１）において開口部（４０、５０）から見て内側バスバー部（４２、５２）とは反対側に位置している。連結部（４３、５３）は、第１方向（Ｄ１）において内側バスバー部（４２、５２）と外側バスバー部（４１、５１）とを連結している。ＩＤＴ電極（３）では、複数の第１電極指（６）と複数の第２電極指（７）とを含む一群の電極指のうち第２方向（Ｄ２）において一方の端に位置する電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）を第１端電極指とし、他方の端に位置する電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）を第２端電極指とした場合に、第１端電極指は、第２方向（Ｄ２）において、反射器（８）と第２端電極指との間に位置している。第１バスバー（４）と第２バスバー（５）とのうち第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）に接続されていないバスバー（第１バスバー４）の外側バスバー部（４１）は、第２方向（Ｄ２）において第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）の第１方向（Ｄ１）の中央部（７０）よりも内側に位置している。
第１の態様に係る弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）では、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
第２の態様に係る弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）は、第１の態様において、反射器（８）を２つ備えている。２つの反射器（８）は、第２方向（Ｄ２）においてＩＤＴ電極（３）の両隣に１つずつ配置されている。第１バスバー（４）と第２バスバー（５）とのうち第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）及び第２端電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）に接続されていないバスバー（第１バスバー４）の外側バスバー部（４１）は、第２方向（Ｄ２）において第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）の太幅部（７２）及び第２端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）の太幅部（７２）よりも内側に位置している。
第２の態様に係る弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）では、第１バスバー（４）と第２バスバー（５）とのうち第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）及び第２端電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）に接続されていないバスバー（第１バスバー４）の外側バスバー部（４１）と、第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）の太幅部（７２）及び第２端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）の太幅部（７２）とが、第１方向（Ｄ１）において重なる場合と比べて、サージ破壊が起こりにくくなり、ＥＳＤ耐性が向上する。
第３の態様に係る弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）は、第１の態様において、反射器（８）を２つ備えている。２つの反射器（８）は、第２方向（Ｄ２）においてＩＤＴ電極（３）の両隣に１つずつ配置されている。第１バスバー（４）と第２バスバー（５）とのうち第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）及び第２端電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）に接続されていないバスバー（第１バスバー４）の外側バスバー部（４１）は、第１方向（Ｄ１）において第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）及び第２端電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）それぞれと重ならないように第２方向（Ｄ２）において第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）及び第２端電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）よりも内側に位置している。
第３の態様に係る弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）では、ＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
第４の態様に係る弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）では、第３の態様において、第１バスバー（４）と第２バスバー（５）とのうち第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）及び第２端電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）に接続されていないバスバー（第１バスバー４）の内側バスバー部（４２）の、第１方向（Ｄ１）に沿った一方の辺（辺４２Ｌ又は辺４２Ｒ）と、第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）の太幅部（７２）の、第２端電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）側とは反対側の辺（辺７２ＬＬ又は辺７２ＲＲ）とが一直線上に並んでいる。
第４に係る弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）では、第１バスバー（４）と第２バスバー（５）とのうち第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）及び第２端電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）に接続されていないバスバー（第１バスバー４）の内側バスバー部（４２）の形状を変更することなく、第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）及び第２端電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）に接続されていないバスバー（第１バスバー４）の外側バスバー部（４１）の形状のみを変更することでＥＳＤ耐性の向上を図れるので、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の更なる向上を図ることが可能となる。
第５の態様に係る弾性波装置（１ｂ；１ｃ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）は、第１端子（１１）と、第２端子（１２）と、圧電体部（２４；２４ｇ）と、複数のＩＤＴ電極（３）と、２つの反射器（８）と、を備える。第２端子（１２）は、第１端子（１１）の電位よりも低い電位になる。複数のＩＤＴ電極（３）は、圧電体部（２４；２４ｇ）上に設けられており、第１端子（１１）及び第２端子（１２）と電気的に接続されている。２つの反射器（８）は、圧電体部（２４；２４ｇ）上に設けられており、複数のＩＤＴ電極（３）により励振された弾性波を反射する。複数のＩＤＴ電極（３）の各々は、第１バスバー（４）と、第２バスバー（５）と、複数の第１電極指（６）と、複数の第２電極指（７）と、を有する。第２バスバー（５）は、第１方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）に対向している。複数の第１電極指（６）は、第１バスバー（４）に接続され第１方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）から第２バスバー（５）側に延びている。複数の第２電極指（７）は、第２バスバー（５）に接続され第１方向（Ｄ１）において第２バスバー（５）から第１バスバー（４）側に延びている。複数の第１電極指（６）と複数の第２電極指（７）とが、第１方向（Ｄ１）に直交する第２方向（Ｄ２）において、互いに離隔して並んでいる。複数の第１電極指（６）及び複数の第２電極指（７）それぞれの少なくとも１つの電極指が、少なくとも１つの電極指の第１方向（Ｄ１）の中央部（６０、７０）よりも第２方向（Ｄ２）の幅が大きな太幅部（６２、７２）を含む。第１バスバー（４）及び第２バスバー（５）の各々は、開口部（４０、５０）と、内側バスバー部（４２、５２）と、外側バスバー部（４１、５１）と、連結部（４３、５３）と、を含む。内側バスバー部（４２、５２）は、第１方向（Ｄ１）において開口部（４０、５０）よりも複数の第１電極指（６）及び複数の第２電極指（７）側に位置している。外側バスバー部（４１、５１）は、第１方向（Ｄ１）において開口部（４０、５０）から見て内側バスバー部（４２、５２）とは反対側に位置している。連結部（４３、５３）は、第１方向（Ｄ１）において内側バスバー部（４２、５２）と外側バスバー部（４１、５１）とを連結している。複数のＩＤＴ電極（３）が第２方向（Ｄ２）において並んでいる。２つの反射器（８）は、第２方向（Ｄ２）において並んでいる複数のＩＤＴ電極（３）のうち両側のＩＤＴ電極（３）それぞれの、隣りのＩＤＴ電極（３）とは反対側に位置している。複数のＩＤＴ電極（３）のうち、２つの反射器（８）のうち１つの反射器（８）に隣り合うＩＤＴ電極（３）では、複数の第１電極指（６）と複数の第２電極指（７）とを含む一群の電極指のうち第２方向（Ｄ２）における一方の端に位置する電極指（第１電極指６）を第１端電極指とし、他方の端に位置する電極指（第１電極指６）を第２端電極指とした場合に、第１端電極指は、第２方向（Ｄ２）において、１つの反射器（８）と第２端電極指との間に位置している。１つの反射器（８）に隣り合うＩＤＴ電極（３）では、第１バスバー（４）と第２バスバー（５）とのうち第１端電極指（第１電極指６）に接続されていないバスバー（第２バスバー５）の外側バスバー部（５１）は、第２方向（Ｄ２）において、第１端電極指（第１電極指６）の第１方向（Ｄ１）の中央部（６０）よりも内側に位置している。
第５の態様に係る弾性波装置（１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）では、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
第６の態様に係る弾性波装置（１ｂ；１ｃ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）では、第５の態様において、１つの反射器（８）に隣り合うＩＤＴ電極（３）では、第１バスバー（４）と第２バスバー（５）とのうち第１端電極指（第１電極指６）及び第２端電極指（第１電極指６）に接続されていないバスバー（第２バスバー５）の外側バスバー部（外側バスバー部５１）は、第２方向（Ｄ２）において、第１端電極指（第１電極指６）及び第２端電極指（第１電極指６）それぞれの太幅部（６２、６２）よりも内側に位置している。
第６の態様に係る弾性波装置（１ｂ；１ｃ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）では、１つの反射器（８）に隣り合うＩＤＴ電極（３）で、第１バスバー（４）と第２バスバー（５）とのうち第１端電極指（第１電極指６）及び第２端電極指（第１電極指６）に接続されていないバスバー（第２バスバー５）の外側バスバー部（５１）と、第１端電極指（第１電極指６）及び第２端電極指（第１電極指６）それぞれの太幅部（６２、６２）とが、第１方向（Ｄ１）において重なる場合と比べて、サージ破壊が起こりにくくなり、ＥＳＤ耐性が向上する。
第７の態様に係る弾性波装置（１ｂ；１ｃ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）では、第５の態様において、１つの反射器（８）に隣り合うＩＤＴ電極（３）では、第１バスバー（４）と第２バスバー（５）とのうち第１端電極指（第１電極指６）及び第２端電極指（第１電極指６）に接続されていないバスバー（第２バスバー５）の外側バスバー部（５１）は、第１方向（Ｄ１）において第１端電極指（第１電極指６）及び第２端電極指（第１電極指６）それぞれと重ならないように第２方向（Ｄ２）において内側に位置している。
第７の態様に係る弾性波装置（１ｂ；１ｃ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）では、ＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
第８の態様に係る弾性波装置では、第７の態様において、１つの反射器（８）に隣り合うＩＤＴ電極（３）では、第１バスバー（４）と第２バスバー（５）とのうち第１端電極指（第１電極指６）及び第２端電極指（第１電極指６）に接続されていないバスバー（第２バスバー５）の内側バスバー部（内側バスバー部５２）の、１つの反射器（８）側の辺と、第１端電極指（第１電極指６）の太幅部（６２）の、１つの反射器（８）側の辺とが一直線上に並んでいる。
第８に係る弾性波装置（１ｂ；１ｃ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）では、第１バスバー（４）と第２バスバー（５）とのうち第１端電極指（第１電極指６）及び第２端電極指（第１電極指６）に接続されていないバスバー（第２バスバー５）の内側バスバー部（５２）の形状を変更することなく、第１バスバー（４）と第２バスバー（５）とのうち第１端電極指（第１電極指６）及び第２端電極指（第１電極指６）に接続されていないバスバー（第２バスバー５）の外側バスバー部（５１）の形状のみを変更することでＥＳＤ耐性の向上を図れるので、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の更なる向上を図ることが可能となる。
第９の態様に係る弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）は、第１端子（１１）と、第２端子（１２）と、圧電体部（２４；２４ｇ）と、ＩＤＴ電極（３）と、反射器（８）と、を備える。第２端子（１２）は、第１端子（１１）の電位よりも低い電位になる。ＩＤＴ電極（３）は、圧電体部（２４；２４ｇ）上に設けられており、第１端子（１１）及び第２端子（１２）と電気的に接続されている。反射器（８）は、圧電体部（２４；２４ｇ）上に設けられており、第２端子（１２）と電気的に接続されている。ＩＤＴ電極（３）は、第１バスバー（４）と、第２バスバー（５）と、複数の第１電極指（６）と、複数の第２電極指（７）と、を有する。第１バスバー（４）は、第１端子（１１）と電気的に接続されている。第２バスバー（５）は、第１方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）に対向しており、第２端子（１２）と電気的に接続されている。複数の第１電極指（６）は、第１バスバー（４）に接続され第１方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）から第２バスバー（５）側に延びている。複数の第２電極指（７）は、第２バスバー（５）に接続され第１方向（Ｄ１）において第２バスバー（５）から第１バスバー（４）側に延びている。複数の第１電極指（６）と複数の第２電極指（７）とが、第１方向（Ｄ１）に直交する第２方向（Ｄ２）において、互いに離隔して並んでいる。複数の第１電極指（６）及び複数の第２電極指（７）それぞれの少なくとも１つの電極指が、少なくとも１つの電極指の第１方向（Ｄ１）の中央部（６０、７０）よりも第２方向（Ｄ２）の幅が大きな太幅部（６２、７２）を含む。第１バスバー（４）及び第２バスバー（５）の各々は、開口部（４０、５０）と、内側バスバー部（４２、５２）と、外側バスバー部（４１、５１）と、連結部（４３、５３）と、を含む。内側バスバー部（４２、５２）は、第１方向（Ｄ１）において開口部（４０、５０）よりも複数の第１電極指（６）及び複数の第２電極指（７）側に位置している。外側バスバー部（４１、５１）は、第１方向（Ｄ１）において開口部（４０、５０）から見て内側バスバー部（４２、５２）とは反対側に位置している。連結部（４３、５３）は、第１方向（Ｄ１）において内側バスバー部（４２、５２）と外側バスバー部（４１、５１）とを連結している。ＩＤＴ電極（３）では、複数の第１電極指（６）と複数の第２電極指（７）とを含む一群の電極指のうち第２方向（Ｄ２）において一方の端に位置する電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）を第１端電極指とし、他方の端に位置する電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）を第２端電極指とした場合に、第１端電極指は、第２方向（Ｄ２）において、反射器（８）と第２端電極指との間に位置している。第１バスバー（４）と第２バスバー（５）とのうち第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）に接続されていないバスバー（第１バスバー４）の外側バスバー部（４１）は、第２方向（Ｄ２）において、第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）に接続されていないバスバー（第１バスバー４）の内側バスバー部（４２）よりも内側に位置している。
第９の態様に係る弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）では、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
第１０の態様に係る弾性波装置（１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）は、第１端子（１１）と、第２端子（１２）と、圧電体部（２４；２４ｇ）と、複数のＩＤＴ電極（３）と、２つの反射器（８）と、を備える。第２端子（１２）は、第１端子（１１）の電位よりも低い電位になる。複数のＩＤＴ電極（３）は、圧電体部（２４；２４ｇ）上に設けられており、第１端子（１１）及び第２端子（１２）と電気的に接続されている。２つの反射器８は、圧電体部（２４；２４ｇ）上に設けられており、複数のＩＤＴ電極（３）により励振された弾性波を反射する。複数のＩＤＴ電極（３）の各々は、第１バスバー（４）と、第２バスバー（５）と、複数の第１電極指（６）と、複数の第２電極指（７）と、を有する。第２バスバー（５）は、第１方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）に対向している。複数の第１電極指（６）は、第１バスバー（４）に接続され第１方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）から第２バスバー（５）側に延びている。複数の第２電極指（７）は、第２バスバー（５）に接続され第１方向（Ｄ１）において第２バスバー（５）から第１バスバー（４）側に延びている。複数の第１電極指（６）と複数の第２電極指（７）とが、第１方向（Ｄ１）に直交する第２方向（Ｄ２）において、互いに離隔して並んでいる。複数の第１電極指（６）及び複数の第２電極指（７）それぞれの少なくとも１つの電極指が、少なくとも１つの電極指の第１方向（Ｄ１）の中央部（６０、７０）よりも第２方向（Ｄ２）の幅が大きな太幅部（６２、７２）を含む。第１バスバー（４）及び第２バスバー（５）の各々は、開口部（４０、５０）と、内側バスバー部（４２、５２）と、外側バスバー部（４１、５１）と、連結部（４３、５３）と、を含む。内側バスバー部（４２、５２）は、第１方向（Ｄ１）において開口部（４０、５０）よりも複数の第１電極指（６）及び複数の第２電極指（７）側に位置している。外側バスバー部（４１、５１）は、第１方向（Ｄ１）において開口部（４０、５０）から見て内側バスバー部（４２、５２）とは反対側に位置している。連結部（４３、５３）は、第１方向（Ｄ１）において内側バスバー部（４２、５２）と外側バスバー部（４１、５１）とを連結している。複数のＩＤＴ電極（３）が第２方向（Ｄ２）において並んでいる。２つの反射器（８）は、第２方向（Ｄ２）において並んでいる複数のＩＤＴ電極（３）のうち両側のＩＤＴ電極（３）それぞれの、隣りのＩＤＴ電極（３）とは反対側に位置している。複数のＩＤＴ電極（３）のうち、２つの反射器（８）のうち１つの反射器（８）に隣り合うＩＤＴ電極（３）では、複数の第１電極指（６）と複数の第２電極指（７）とを含む一群の電極指のうち第２方向（Ｄ２）における一方の端に位置する電極指（第１電極指６）を第１端電極指とし、他方の端に位置する電極指（第１電極指６）を第２端電極指とした場合に、第１端電極指（第１電極指６）は、第２方向（Ｄ２）において、１つの反射器（８）と第２端電極指（第１電極指６）との間に位置している。１つの反射器（８）に隣り合うＩＤＴ電極（３）では、第１バスバー（４）と第２バスバー（５）とのうち第１端電極指（第１電極指６）に接続されていないバスバー（第２バスバー５）の外側バスバー部（５１）は、第２方向（Ｄ２）において、第１端電極指（第１電極指６）に接続されていないバスバー（第２バスバー）の内側バスバー部（５２）よりも内側に位置している。
第１０の態様に係る弾性波装置（１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）では、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
第１１の態様に係る弾性波装置（１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）は、第１端子（１１）と、第２端子（１２）と、圧電体部（２４；２４ｇ）と、複数のＩＤＴ電極（３）と、を備える。第２端子（１２）は、第１端子（１１）の電位よりも低い電位になる。複数のＩＤＴ電極（３）は、圧電体部（２４；２４ｇ）上に設けられており、第１端子（１１）及び第２端子（１２）と電気的に接続されている。複数のＩＤＴ電極（３）の各々は、第１バスバー（４）と、第２バスバー（５）と、複数の第１電極指（６）と、複数の第２電極指（７）と、を有する。第２バスバー（５）は、第１方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）に対向している。複数の第１電極指（６）は、第１バスバー（４）に接続され第１方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）から第２バスバー（５）側に延びている。複数の第２電極指（７）は、第２バスバー（５）に接続され第１方向（Ｄ１）において第２バスバー（５）から第１バスバー（４）側に延びている。複数の第１電極指（６）と複数の第２電極指（７）とが、第１方向（Ｄ１）に直交する第２方向（Ｄ２）において、互いに離隔して並んでいる。複数の第１電極指（６）及び複数の第２電極指（７）それぞれの少なくとも１つの電極指が、少なくとも１つの電極指の第１方向（Ｄ１）の中央部（６０、７０）よりも第２方向（Ｄ２）の幅が大きな太幅部（６２、７２）を含む。第１バスバー（４）及び第２バスバー（５）の各々は、開口部（４０、５０）と、内側バスバー部（４２、５２）と、外側バスバー部（４１、５１）と、連結部（４３、５３）と、を含む。内側バスバー部（４２、５２）は、第１方向（Ｄ１）において開口部（４０、５０）よりも複数の第１電極指（６）及び複数の第２電極指（７）側に位置している。外側バスバー部（４１、５１）は、第１方向（Ｄ１）において開口部（４０、５０）から見て内側バスバー部（４２、５２）とは反対側に位置している。連結部（４３、５３）は、第１方向（Ｄ１）において内側バスバー部（４２、５２）と外側バスバー部（４１、５１）とを連結している。複数のＩＤＴ電極（３）のうち第２方向（Ｄ２）において隣り合う２つのＩＤＴ電極（３）の一方を第１ＩＤＴ電極（３Ａ）、他方を第２ＩＤＴ電極（３Ｂ）としたとき、第１ＩＤＴ電極（３Ａ）において、複数の第１電極指（６）と複数の第２電極指（７）とを含む一群の電極指のうち第２ＩＤＴ電極（３Ｂ）に最も近い電極指に接続されていない外側バスバー部（５１）と、第２ＩＤＴ電極（３Ｂ）において、複数の第１電極指（６）と複数の第２電極指（７）とを含む一群の電極指のうち第１ＩＤＴ電極（３Ａ）に最も近い電極指に接続されていない外側バスバー部（５１）と、の間隔が、第１ＩＤＴ電極（３Ａ）において第２ＩＤＴ電極（３Ｂ）に最も近い電極指（第１電極指６）の中央部（６０）と、第２ＩＤＴ電極（３Ｂ）において第１ＩＤＴ電極（３Ａ）に最も近い電極指（第１電極指６）の中央部（６０）と、の間隔よりも大きい。
第１１の態様に係る弾性波装置（１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）では、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
第１２の態様に係る弾性波装置（１ｂ；１ｃ；１ｆ；１ｇ）は、第１端子（１１）と、第２端子（１２）と、圧電体部（２４；２４ｇ）と、複数のＩＤＴ電極（３）と、を備える。第２端子（１２）は、第１端子（１１）の電位よりも低い電位になる。複数のＩＤＴ電極（３）は、圧電体部（２４；２４ｇ）上に設けられており、第１端子（１１）及び第２端子（１２）と電気的に接続されている。複数のＩＤＴ電極（３）の各々は、第１バスバー（４）と、第２バスバー（５）と、複数の第１電極指（６）と、複数の第２電極指（７）と、を有する。第２バスバー（５）は、第１方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）に対向している。複数の第１電極指（６）は、第１バスバー（４）に接続され第１方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）から第２バスバー（５）側に延びている。複数の第２電極指（７）は、第２バスバー（５）に接続され第１方向（Ｄ１）において第２バスバー（５）から第１バスバー（４）側に延びている。複数の第１電極指（６）と複数の第２電極指（７）とが、第１方向（Ｄ１）に直交する第２方向（Ｄ２）において、互いに離隔して並んでいる。複数の第１電極指（６）及び複数の第２電極指（７）それぞれの少なくとも１つの電極指が、少なくとも１つの電極指の第１方向（Ｄ１）の中央部（６０、７０）よりも第２方向（Ｄ２）の幅が大きな太幅部（６２、７２）を含む。第１バスバー（４）及び第２バスバー（５）の各々は、開口部（４０、５０）と、内側バスバー部（４２、５２）と、外側バスバー部（４１、５１）と、連結部（４３、５３）と、を含む。内側バスバー部（４２、５２）は、第１方向（Ｄ１）において開口部（４０、５０）よりも複数の第１電極指（６）及び複数の第２電極指（７）側に位置している。外側バスバー部（４１、５１）は、第１方向（Ｄ１）において開口部（４０、５０）から見て内側バスバー部（４２、５２）とは反対側に位置している。連結部（４３、５３）は、第１方向（Ｄ１）において内側バスバー部（４２、５２）と外側バスバー部（４１、５１）とを連結している。複数のＩＤＴ電極（３）のうち第２方向（Ｄ２）において隣り合う２つのＩＤＴ電極（３）の一方を第１ＩＤＴ電極（３Ａ）、他方を第２ＩＤＴ電極（３Ｂ）としたとき、第１ＩＤＴ電極（３Ａ）の複数の第１電極指（６）と複数の第２電極指（７）とを含む一群の電極指のうち第２方向（Ｄ２）において第２ＩＤＴ電極（３Ｂ）側の端に位置する電極指（第１電極指６）を第１ＩＤＴ電極（３Ａ）の第１端電極指とし、第２ＩＤＴ電極（３Ｂ）とは逆側の端に位置する電極指（第１電極指６）を第１ＩＤＴ電極（３Ａ）の第２端電極指とし、第２ＩＤＴ電極（３Ｂ）の複数の第１電極指（６）と複数の第２電極指（７）とを含む一群の電極指のうち第２方向（Ｄ２）において第１ＩＤＴ電極（３Ａ）側の端に位置する電極指（第１電極指６）を第２ＩＤＴ電極（３Ｂ）の第１端電極指とし、第１ＩＤＴ電極（３Ａ）とは逆側の端に位置する電極指（第１電極指６）を第２ＩＤＴ電極（３Ｂ）の第２端電極指とした場合に、第１ＩＤＴ電極（３Ａ）の第１端電極指が、第１端子（１１）に接続されており、第２ＩＤＴ電極（３Ｂ）の第１端電極指が、第２端子（１２）に接続されている。第１ＩＤＴ電極（３Ａ）及び第２ＩＤＴ電極（３Ｂ）の各々では、第２方向（Ｄ２）において、第１端子（１１）と第２端子（１２）とのうち第１端電極指と異なる端子に電気的に接続されている外側バスバー部（５１）が、第１端電極指と異なる端子に電気的に接続されている内側バスバー部（５２）よりも内側に位置している。
第１２の態様に係る弾性波装置（１ｂ；１ｃ；１ｆ；１ｇ）では、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
第１３の態様に係る弾性波装置（１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）は、第１端子（１１）と、第２端子（１２）と、圧電体部（２４；２４ｇ）と、複数のＩＤＴ電極（３）と、を備える。第２端子（１２）は、第１端子（１１）の電位よりも低い電位になる。複数のＩＤＴ電極（３）は、圧電体部（２４；２４ｇ）上に設けられており、第１端子（１１）及び第２端子（１２）と電気的に接続されている。複数のＩＤＴ電極（３）の各々は、第１バスバー（４）と、第２バスバー（５）と、複数の第１電極指（６）と、複数の第２電極指（７）と、を有する。第２バスバー（５）は、第１方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）に対向している。複数の第１電極指（６）は、第１バスバー（４）に接続され第１方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）から第２バスバー（５）側に延びている。複数の第２電極指（７）は、第２バスバー（５）に接続され第１方向（Ｄ１）において第２バスバー（５）から第１バスバー（４）側に延びている。複数の第１電極指（６）と複数の第２電極指（７）とが、第１方向（Ｄ１）に直交する第２方向（Ｄ２）において、互いに離隔して並んでいる。複数の第１電極指（６）及び複数の第２電極指（７）それぞれの少なくとも１つの電極指が、少なくとも１つの電極指の第１方向（Ｄ１）の中央部（６０、７０）よりも第２方向（Ｄ２）の幅が大きな太幅部（６２、７２）を含む。第１バスバー（４）及び第２バスバー（５）の各々は、開口部（４０、５０）と、内側バスバー部（４２、５２）と、外側バスバー部（４１、５１）と、連結部（４３、５３）と、を含む。内側バスバー部（４２、５２）は、第１方向（Ｄ１）において開口部（４０、５０）よりも複数の第１電極指（６）及び複数の第２電極指（７）側に位置している。外側バスバー部（４１、５１）は、第１方向（Ｄ１）において開口部（４０、５０）から見て内側バスバー部（４２、５２）とは反対側に位置している。連結部（４３、５３）は、第１方向（Ｄ１）において内側バスバー部（４２、５２）と外側バスバー部（４１、５１）とを連結している。複数のＩＤＴ電極（３）のうち少なくとも１つのＩＤＴ電極（３）では、複数の第１電極指（６）と複数の第２電極指（７）とを含む一群の電極指のうち第２方向（Ｄ２）における一方の端に位置する電極指（第１電極指６）を第１端電極指とし、他方の端に位置する電極指（第１電極指６）を第２端電極指とした場合に、第１端電極指は、第２方向（Ｄ２）において、少なくとも１つのＩＤＴ電極（３）の隣りのＩＤＴ電極（３）側に位置している。少なくとも１つのＩＤＴ電極（３）では、第１バスバー（４）と第２バスバー（５）とのうち第１端電極指に接続されていないバスバー（第２バスバー５）の外側バスバー部（５１）は、第２方向（Ｄ２）において、少なくとも隣り合うＩＤＴ電極（３）側で、第１バスバー（４）と第２バスバー（５）とのうち第１端電極指に接続されていないバスバー（第２バスバー５）の内側バスバー部（５２）よりも内側に位置している。
第１３の態様に係る（１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）では、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
第１４の態様に係る弾性波装置（１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）は、第１１〜１３の態様のいずれか一つにおいて、複数のＩＤＴ電極（３）が第２方向（Ｄ２）において並んでおり、２つの反射器（８）を更に備える。２つの反射器（８）は、第２方向（Ｄ２）において並んでいる複数のＩＤＴ電極（３）のうち両側のＩＤＴ電極（３）それぞれの、隣りのＩＤＴ電極（３）とは反対側で圧電体部（２４）上に１つずつ設けられている。２つの反射器（８）は、複数のＩＤＴ電極（３）により励振された弾性波を反射する。
第１４の態様に係る弾性波装置（１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）は、縦結合共振子型フィルタを構成できる。
第１５の態様に係る弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ）では、第１〜１４の態様のいずれか一つにおいて、複数の第１電極指（６）及び複数の第２電極指（７）それぞれの少なくとも１つの電極指の先端部（６１、７１）が、太幅部（６２，７２）を含む。
第１６の態様に係る弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）では、第１〜１５の態様のいずれか一つにおいて、弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）は、弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）の厚さ方向からの平面視で、第１方向（Ｄ１）にいて互いに異なる複数の領域（Ａ１〜Ａ１１）を有する。複数の領域（Ａ１〜Ａ１１）は、中央領域（領域Ａ６）と、２つの外側バスバー領域（領域Ａ１、Ａ１１）と、２つの内側バスバー領域（領域Ａ３、Ａ９）と、２つの連結領域（領域Ａ２、Ａ１０）と、２つのギャップ領域（領域Ａ４、Ａ８）と、２つの太幅領域（Ａ７、Ａ５）と、を含む。中央領域（領域Ａ６）は、第１方向（Ｄ１）において中央に位置しており、複数の第１電極指（６）の中央部（６０）と複数の第２電極指（７）の中央部（７０）とを含む。２つの外側バスバー領域（領域Ａ１、Ａ１１）は、第１バスバー（４）の外側バスバー部（４１）及び第２バスバー（５）の外側バスバー部（５１）をそれぞれ含む。２つの内側バスバー領域（領域Ａ３、Ａ９）は、第１バスバー（４）の内側バスバー部（４２）及び第２バスバー（５）の内側バスバー部（５２）をそれぞれ含む。２つの連結領域（領域Ａ２、Ａ１０）は、第１バスバー（４）の連結部（４３）と開口部（４０）及び第２バスバー（５）の連結部（５３）と開口部（５０）をそれぞれ含む。２つのギャップ領域（領域Ａ４、Ａ８）は、複数の第１電極指（６）と第２バスバー（５）との間のギャップ（３１）及び複数の第２電極指（７）と第１バスバー（４）との間のギャップ（３２）それぞれを含む。２つの太幅領域（Ａ７、Ａ５）は、複数の第１電極指（６）の少なくとも１つの電極指（第１電極指６）の太幅部（６２）及び複数の第２電極指（７）の少なくとも１つの電極指（第２電極指７）の太幅部（７２）それぞれを含む。２つの外側バスバー領域（領域Ａ１、Ａ１１）では、中央領域（領域Ａ６）よりも弾性波の音速が遅くなる。２つの内側バスバー領域（領域Ａ３、Ａ９）では、中央領域（領域Ａ６）よりも弾性波の音速が遅くなる。２つの連結領域（領域Ａ２、Ａ１０）では、２つの外側バスバー領域（領域Ａ１、Ａ１１）及び中央領域（領域Ａ６）よりも弾性波の音速が速くなる。２つのギャップ領域（領域Ａ４、Ａ８）では、２つの内側バスバー領域（領域Ａ３、Ａ９）及び中央領域（領域Ａ６）よりも弾性波の音速が速くなる。２つの太幅領域（Ａ７、Ａ５）では、中央領域（領域Ａ６）よりも弾性波の音速が遅くなる。
１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆ、１ｇ 弾性波装置
２、２ｂ、２ｆ 積層型基板
２０ 支持基板
２１ 高音速支持基板
２１１ 第１主面
２１２ 第２主面
２２ 高音速膜
２３ 低音速膜
２４、２４ｇ 圧電体部
２４１、２４１ｇ 一の主面
３ ＩＤＴ電極
３Ａ 第１ＩＤＴ電極
３Ｂ 第２ＩＤＴ電極
３１ ギャップ
３２ ギャップ
４ 第１バスバー
４０ 開口部
４１ 外側バスバー部
４２ 内側バスバー部
４２Ｌ 辺
４２Ｒ 辺
５ 第２バスバー
５０ 開口部
５１ 外側バスバー部
５２ 内側バスバー部
６ 第１電極指
６Ｘ 中心線
６０ 中央部
６１ 先端部
６２ 太幅部
６３ 基端部
６４ 太幅部
７ 第２電極指
７Ｘ 中心線
７Ｌ 第２電極指（左側の端に位置している第２電極指）
７Ｒ 第２電極指（右側の端に位置している第２電極指）
７０ 中央部
７１ 先端部
７２ 太幅部
７２ＬＬ 辺
７２ＲＲ 辺
７３ 基端部
７４ 太幅部
８ 反射器
９ 電極指
Ｄ１ 第１方向
Ｄ２ 第２方向
Ａ１ 領域（外側バスバー領域）
Ａ２ 領域（連結領域）
Ａ３ 領域（内側バスバー領域）
Ａ４ 領域（ギャップ領域）
Ａ５ 領域（太幅領域）
Ａ６ 領域（中央領域）
Ａ７ 領域（太幅領域）
Ａ８ 領域（ギャップ領域）
Ａ９ 領域（内側バスバー領域）
Ａ１０ 領域（連結領域）
Ａ１１ 領域（外側バスバー領域）
２、２ｂ、２ｆ 積層型基板
２０ 支持基板
２１ 高音速支持基板
２１１ 第１主面
２１２ 第２主面
２２ 高音速膜
２３ 低音速膜
２４、２４ｇ 圧電体部
２４１、２４１ｇ 一の主面
３ ＩＤＴ電極
３Ａ 第１ＩＤＴ電極
３Ｂ 第２ＩＤＴ電極
３１ ギャップ
３２ ギャップ
４ 第１バスバー
４０ 開口部
４１ 外側バスバー部
４２ 内側バスバー部
４２Ｌ 辺
４２Ｒ 辺
５ 第２バスバー
５０ 開口部
５１ 外側バスバー部
５２ 内側バスバー部
６ 第１電極指
６Ｘ 中心線
６０ 中央部
６１ 先端部
６２ 太幅部
６３ 基端部
６４ 太幅部
７ 第２電極指
７Ｘ 中心線
７Ｌ 第２電極指（左側の端に位置している第２電極指）
７Ｒ 第２電極指（右側の端に位置している第２電極指）
７０ 中央部
７１ 先端部
７２ 太幅部
７２ＬＬ 辺
７２ＲＲ 辺
７３ 基端部
７４ 太幅部
８ 反射器
９ 電極指
Ｄ１ 第１方向
Ｄ２ 第２方向
Ａ１ 領域（外側バスバー領域）
Ａ２ 領域（連結領域）
Ａ３ 領域（内側バスバー領域）
Ａ４ 領域（ギャップ領域）
Ａ５ 領域（太幅領域）
Ａ６ 領域（中央領域）
Ａ７ 領域（太幅領域）
Ａ８ 領域（ギャップ領域）
Ａ９ 領域（内側バスバー領域）
Ａ１０ 領域（連結領域）
Ａ１１ 領域（外側バスバー領域）
本発明の一態様に係る弾性波装置は、第１端子と、第２端子と、圧電体部と、複数のＩＤＴ電極と、を備える。前記第２端子は、前記第１端子の電位よりも低い電位になる。前記複数のＩＤＴ電極は、前記圧電体部上に設けられており、前記第１端子及び前記第２端子と電気的に接続されている。前記複数のＩＤＴ電極の各々は、第１バスバーと、第２バスバーと、複数の第１電極指と、複数の第２電極指と、を有する。前記第２バスバーは、第１方向において前記第１バスバーに対向している。前記複数の第１電極指は、前記第１バスバーに接続され前記第１方向において前記第１バスバーから前記第２バスバー側に延びている。前記複数の第２電極指は、前記第２バスバーに接続され前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバー側に延びている。前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に直交する第２方向において、互いに離隔して並んでいる。前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指それぞれの少なくとも１つの電極指が、前記少なくとも１つの電極指の前記第１方向の中央部よりも前記第２方向の幅が大きな太幅部を含む。前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、開口部と、内側バスバー部と、外側バスバー部と、連結部と、を含む。前記内側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している。前記外側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している。前記連結部は、前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結している。前記複数のＩＤＴ電極のうち前記第２方向において隣り合う２つのＩＤＴ電極の一方を第１ＩＤＴ電極、他方を第２ＩＤＴ電極としたとき、前記第１ＩＤＴ電極において、前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とを含む一群の電極指のうち前記第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指に接続されていない外側バスバー部と、前記第２ＩＤＴ電極において、前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とを含む一群の電極指のうち前記第１ＩＤＴ電極に最も近い電極指に接続されていない外側バスバー部と、の間隔が、前記第１ＩＤＴ電極において前記第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指の、前記第１方向における中央部と、前記第２ＩＤＴ電極において前記第１ＩＤＴ電極に最も近い電極指の、前記第１方向における中央部と、の間隔よりも大きい。
本発明の一態様に係る弾性波装置は、第１端子と、第２端子と、圧電体部と、複数のＩＤＴ電極と、を備える。前記第２端子は、前記第１端子の電位よりも低い電位になる。前記複数のＩＤＴ電極は、前記圧電体部上に設けられており、前記第１端子及び前記第２端子と電気的に接続されている。前記複数のＩＤＴ電極の各々は、第１バスバーと、第２バスバーと、複数の第１電極指と、複数の第２電極指と、を有する。前記第２バスバーは、第１方向において前記第１バスバーに対向している。前記複数の第１電極指は、前記第１バスバーに接続され前記第１方向において前記第１バスバーから前記第２バスバー側に延びている。前記複数の第２電極指は、前記第２バスバーに接続され前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバー側に延びている。前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に直交する第２方向において、互いに離隔して並んでいる。前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指それぞれの少なくとも１つの電極指が、前記少なくとも１つの電極指の前記第１方向の中央部よりも前記第２方向の幅が大きな太幅部を含む。前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、開口部と、内側バスバー部と、外側バスバー部と、連結部と、を含む。前記内側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している。前記外側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している。前記連結部は、前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結している。前記複数のＩＤＴ電極のうち前記第２方向において隣り合う２つのＩＤＴ電極の一方を第１ＩＤＴ電極、他方を第２ＩＤＴ電極としたとき、前記第１ＩＤＴ電極の前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とを含む一群の電極指のうち前記第２方向において前記第２ＩＤＴ電極側の端に位置する電極指を前記第１ＩＤＴ電極の第１端電極指とし、前記第２ＩＤＴ電極とは逆側の端に位置する電極指を前記第１ＩＤＴ電極の第２端電極指とし、前記第２ＩＤＴ電極の前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とを含む一群の電極指のうち前記第２方向において前記第１ＩＤＴ電極側の端に位置する電極指を前記第２ＩＤＴ電極の第１端電極指とし、前記第１ＩＤＴ電極とは逆側の端に位置する電極指を前記第２ＩＤＴ電極の第２端電極指とした場合に、前記第１ＩＤＴ電極の前記第１端電極指が、前記第１端子に接続されており、前記第２ＩＤＴ電極の前記第１端電極指が、前記第２端子に接続されている。前記第１ＩＤＴ電極及び前記第２ＩＤＴ電極の各々では、前記第２方向において、前記第１端子と前記第２端子とのうち前記第１端電極指と異なる端子に電気的に接続されている外側バスバー部が、前記第１端電極指と異なる端子に電気的に接続されている前記内側バスバー部よりも内側に位置している。
本発明の一態様に係る弾性波装置は、第１端子と、第２端子と、圧電体部と、複数のＩＤＴ電極と、を備える。前記第２端子は、前記第１端子の電位よりも低い電位になる。前記複数のＩＤＴ電極は、前記圧電体部上に設けられており、前記第１端子及び前記第２端子と電気的に接続されている。前記複数のＩＤＴ電極の各々は、第１バスバーと、第２バスバーと、複数の第１電極指と、複数の第２電極指と、を有する。前記第２バスバーは、第１方向において前記第１バスバーに対向している。前記複数の第１電極指は、前記第１バスバーに接続され前記第１方向において前記第１バスバーから前記第２バスバー側に延びている。前記複数の第２電極指は、前記第２バスバーに接続され前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバー側に延びている。前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に直交する第２方向において、互いに離隔して並んでいる。前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指それぞれの少なくとも１つの電極指が、前記少なくとも１つの電極指の前記第１方向の中央部よりも前記第２方向の幅が大きな太幅部を含む。前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、開口部と、内側バスバー部と、外側バスバー部と、連結部と、を含む。前記内側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している。前記外側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している。前記連結部は、前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結している。前記複数のＩＤＴ電極のうち少なくとも１つのＩＤＴ電極では、前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とを含む一群の電極指のうち前記第２方向における一方の端に位置する電極指を第１端電極指とし、他方の端に位置する電極指を第２端電極指とした場合に、前記第１端電極指は、前記第２方向において、前記少なくとも１つのＩＤＴ電極の隣りのＩＤＴ電極側に位置している。前記少なくとも１つのＩＤＴ電極では、前記第１バスバーと前記第２バスバーとのうち前記第１端電極指に接続されていないバスバーの外側バスバー部は、前記第２方向において、少なくとも隣り合うＩＤＴ電極側で、前記第１バスバーと前記第２バスバーとのうち前記第１端電極指に接続されていないバスバーの内側バスバー部よりも内側に位置している。
低音速膜２３が酸化ケイ素の場合、温度特性を改善することができる。リチウムタンタレートの弾性定数は負の温度特性を有し、酸化ケイ素の弾性定数は正の温度特性を有する。したがって、弾性波装置１では、周波数温度特性（ＴＣＦ：Temperature Coefficient of Frequency）の絶対値を小さくすることができる。加えて、酸化ケイ素の固有音響インピーダンスはリチウムタンタレートの固有音響インピーダンスより小さい。したがって、弾性波装置１では、電気機械結合係数の増大すなわち比帯域の拡大と、周波数温度特性の改善との双方を図ることができる。
（１．４）効果
実施形態１に係る弾性波装置１は、第１端子１１と、第２端子１２と、圧電体部２４と、ＩＤＴ電極３と、反射器８と、を備える。第２端子１２は、第１端子１１の電位よりも低い電位になる。ＩＤＴ電極３は、圧電体部２４上に設けられており、第１端子１１及び第２端子１２と電気的に接続されている。反射器８は、圧電体部２４上に設けられており、第２端子１２と電気的に接続されている。ＩＤＴ電極３は、第１バスバー４と、第２バスバー５と、複数の第１電極指６と、複数の第２電極指７と、を有する。第１バスバー４は、第１端子１１と電気的に接続されている。第２バスバー５は、第１方向Ｄ１において第１バスバー４に対向しており、第２端子１２と電気的に接続されている。複数の第１電極指６は、第１バスバー４に接続され第１方向Ｄ１において第１バスバー４から第２バスバー５側に延びている。複数の第２電極指７は、第２バスバー５に接続され第１方向Ｄ１において第２バスバー５から第１バスバー４側に延びている。複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２において、１本ずつ交互に互いに離隔して並んでいる。複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７それぞれの少なくとも１つの電極指（第１電極指６、第２電極指７）が、この少なくとも１つの電極指（第１電極指６、第２電極指７）の第１方向Ｄ１の中央部６０、７０よりも第２方向Ｄ２の幅が大きな太幅部６２、７２を含む。第１バスバー４及び第２バスバー５の各々は、開口部４０、５０と、内側バスバー部４２、５２と、外側バスバー部４１、５１と、連結部４３、５３と、を含む。内側バスバー部４２、５２は、第１方向Ｄ１において開口部４０、５０よりも複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７側に位置している。外側バスバー部４１、５１は、第１方向Ｄ１において開口部４０、５０から見て内側バスバー部４２、５２とは反対側に位置している。連結部４３、５３は、第１方向Ｄ１において内側バスバー部４２、５２と外側バスバー部４１、５１とを連結している。ＩＤＴ電極３では、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とを含む一群の電極指のうち第２方向Ｄ２において一方の端に位置する電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）を第１端電極指とし、他方の端に位置する電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）を第２端電極指とした場合に、第１端電極指は、第２方向Ｄ２において、反射器８と第２端電極指との間に位置している。
実施形態１に係る弾性波装置１は、第１端子１１と、第２端子１２と、圧電体部２４と、ＩＤＴ電極３と、反射器８と、を備える。第２端子１２は、第１端子１１の電位よりも低い電位になる。ＩＤＴ電極３は、圧電体部２４上に設けられており、第１端子１１及び第２端子１２と電気的に接続されている。反射器８は、圧電体部２４上に設けられており、第２端子１２と電気的に接続されている。ＩＤＴ電極３は、第１バスバー４と、第２バスバー５と、複数の第１電極指６と、複数の第２電極指７と、を有する。第１バスバー４は、第１端子１１と電気的に接続されている。第２バスバー５は、第１方向Ｄ１において第１バスバー４に対向しており、第２端子１２と電気的に接続されている。複数の第１電極指６は、第１バスバー４に接続され第１方向Ｄ１において第１バスバー４から第２バスバー５側に延びている。複数の第２電極指７は、第２バスバー５に接続され第１方向Ｄ１において第２バスバー５から第１バスバー４側に延びている。複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２において、１本ずつ交互に互いに離隔して並んでいる。複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７それぞれの少なくとも１つの電極指（第１電極指６、第２電極指７）が、この少なくとも１つの電極指（第１電極指６、第２電極指７）の第１方向Ｄ１の中央部６０、７０よりも第２方向Ｄ２の幅が大きな太幅部６２、７２を含む。第１バスバー４及び第２バスバー５の各々は、開口部４０、５０と、内側バスバー部４２、５２と、外側バスバー部４１、５１と、連結部４３、５３と、を含む。内側バスバー部４２、５２は、第１方向Ｄ１において開口部４０、５０よりも複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７側に位置している。外側バスバー部４１、５１は、第１方向Ｄ１において開口部４０、５０から見て内側バスバー部４２、５２とは反対側に位置している。連結部４３、５３は、第１方向Ｄ１において内側バスバー部４２、５２と外側バスバー部４１、５１とを連結している。ＩＤＴ電極３では、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とを含む一群の電極指のうち第２方向Ｄ２において一方の端に位置する電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）を第１端電極指とし、他方の端に位置する電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）を第２端電極指とした場合に、第１端電極指は、第２方向Ｄ２において、反射器８と第２端電極指との間に位置している。
図１１から分かるように、弾性波装置１ｂでは、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とを含む一群の電極指が並んでいる第２方向Ｄ２において、ＩＤＴ電極３の両端の電荷量がＩＤＴ電極３の中央の電荷量よりも多くなる。このため、弾性波装置１ｂでは、例えば、隣り合うＩＤＴ電極３の外側バスバー部５１間での電気力線の密度が大きくなりやすい。また、第２方向Ｄ２に沿った方向において、反射器８のＩＤＴ電極３側の端の電荷量がＩＤＴ電極３とは反対側の端の電荷量よりも多くなる。このため、弾性波装置１ｂでは、例えば、２つの外側バスバー部４１、５１のうち相対的に高電位となる外側バスバー部４１と、外側バスバー部４１に隣り合う反射器８との間で電気力線の密度が大きくなりやすい。
また、弾性波装置１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅでは、積層型基板２、２ｂが、低音速膜２３と高音速支持基板２１との間に介在する膜を含んでもよい。また、弾性波装置１ｆでは、積層型基板２ｆが、高音速膜２２と支持基板２０との間に介在する膜と、低音速膜２３と圧電体部２４との間に介在する膜と、の少なくとも一方を含んでもよい。また、弾性波装置１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅでは、積層型基板２、２ｂが、圧電体部２４と高音速支持基板２１との間に、低音速膜２３の代わりに、音響インピーダンス層を備えていてもよい。音響インピーダンス層は、ＩＤＴ電極３で励振された弾性波が高音速支持基板２１に漏洩するのを抑制する機能を有する。音響インピーダンス層は、音響インピーダンスが相対的に高い少なくとも１つの高音響インピーダンス層と音響インピーダンスが相対的に低い少なくとも１つの低音響インピーダンス層とが高音速支持基板２１の厚さ方向において並んだ積層構造を有する。上記の積層構造では、高音響インピーダンス層が複数設けられてもよいし、低音響インピーダンス層が複数設けられてもよい。この場合、上記の積層構造は、複数の高音響インピーダンス層と複数の低音響インピーダンス層とが高音速支持基板２１の厚さ方向において一層ごとに交互に並んだ構造である。
第２の態様に係る弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）は、第１の態様において、反射器（８）を２つ備えている。２つの反射器（８）は、第２方向（Ｄ２）においてＩＤＴ電極（３）の両隣に１つずつ配置されている。第１バスバー（４）と第２バスバー（５）とのうち第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）及び第２端電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）に接続されていないバスバー（第１バスバー４）の外側バスバー部（４１）は、第２方向（Ｄ２）において第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）の太幅部（７２）及び第２端電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）の太幅部（７２）よりも内側に位置している。
第２の態様に係る弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）では、第１バスバー（４）と第２バスバー（５）とのうち第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）及び第２端電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）に接続されていないバスバー（第１バスバー４）の外側バスバー部（４１）と、第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）の太幅部（７２）及び第２端電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）の太幅部（７２）とが、第１方向（Ｄ１）において重なる場合と比べて、サージ破壊が起こりにくくなり、ＥＳＤ耐性が向上する。
第４の態様に係る弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）では、第１バスバー（４）と第２バスバー（５）とのうち第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）及び第２端電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）に接続されていないバスバー（第１バスバー４）の内側バスバー部（４２）の形状を変更することなく、第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）及び第２端電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）に接続されていないバスバー（第１バスバー４）の外側バスバー部（４１）の形状のみを変更することでＥＳＤ耐性の向上を図れるので、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の更なる向上を図ることが可能となる。
第８の態様に係る弾性波装置（１ｂ；１ｃ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）では、第１バスバー（４）と第２バスバー（５）とのうち第１端電極指（第１電極指６）及び第２端電極指（第１電極指６）に接続されていないバスバー（第２バスバー５）の内側バスバー部（５２）の形状を変更することなく、第１バスバー（４）と第２バスバー（５）とのうち第１端電極指（第１電極指６）及び第２端電極指（第１電極指６）に接続されていないバスバー（第２バスバー５）の外側バスバー部（５１）の形状のみを変更することでＥＳＤ耐性の向上を図れるので、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の更なる向上を図ることが可能となる。
第１１の態様に係る弾性波装置（１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）は、第１端子（１１）と、第２端子（１２）と、圧電体部（２４；２４ｇ）と、複数のＩＤＴ電極（３）と、を備える。第２端子（１２）は、第１端子（１１）の電位よりも低い電位になる。複数のＩＤＴ電極（３）は、圧電体部（２４；２４ｇ）上に設けられており、第１端子（１１）及び第２端子（１２）と電気的に接続されている。複数のＩＤＴ電極（３）の各々は、第１バスバー（４）と、第２バスバー（５）と、複数の第１電極指（６）と、複数の第２電極指（７）と、を有する。第２バスバー（５）は、第１方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）に対向している。複数の第１電極指（６）は、第１バスバー（４）に接続され第１方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）から第２バスバー（５）側に延びている。複数の第２電極指（７）は、第２バスバー（５）に接続され第１方向（Ｄ１）において第２バスバー（５）から第１バスバー（４）側に延びている。複数の第１電極指（６）と複数の第２電極指（７）とが、第１方向（Ｄ１）に直交する第２方向（Ｄ２）において、互いに離隔して並んでいる。複数の第１電極指（６）及び複数の第２電極指（７）それぞれの少なくとも１つの電極指が、少なくとも１つの電極指の第１方向（Ｄ１）の中央部（６０、７０）よりも第２方向（Ｄ２）の幅が大きな太幅部（６２、７２）を含む。第１バスバー（４）及び第２バスバー（５）の各々は、開口部（４０、５０）と、内側バスバー部（４２、５２）と、外側バスバー部（４１、５１）と、連結部（４３、５３）と、を含む。内側バスバー部（４２、５２）は、第１方向（Ｄ１）において開口部（４０、５０）よりも複数の第１電極指（６）及び複数の第２電極指（７）側に位置している。外側バスバー部（４１、５１）は、第１方向（Ｄ１）において開口部（４０、５０）から見て内側バスバー部（４２、５２）とは反対側に位置している。連結部（４３、５３）は、第１方向（Ｄ１）において内側バスバー部（４２、５２）と外側バスバー部（４１、５１）とを連結している。複数のＩＤＴ電極（３）のうち第２方向（Ｄ２）において隣り合う２つのＩＤＴ電極（３）の一方を第１ＩＤＴ電極（３Ａ）、他方を第２ＩＤＴ電極（３Ｂ）としたとき、第１ＩＤＴ電極（３Ａ）において、複数の第１電極指（６）と複数の第２電極指（７）とを含む一群の電極指のうち第２ＩＤＴ電極（３Ｂ）に最も近い電極指に接続されていない外側バスバー部（５１）と、第２ＩＤＴ電極（３Ｂ）において、複数の第１電極指（６）と複数の第２電極指（７）とを含む一群の電極指のうち第１ＩＤＴ電極（３Ａ）に最も近い電極指に接続されていない外側バスバー部（５１）と、の間隔が、第１ＩＤＴ電極（３Ａ）において第２ＩＤＴ電極（３Ｂ）に最も近い電極指（第１電極指６）の、第１方向（Ｄ１）における中央部（６０）と、第２ＩＤＴ電極（３Ｂ）において第１ＩＤＴ電極（３Ａ）に最も近い電極指（第１電極指６）の、第１方向（Ｄ１）における中央部（６０）と、の間隔よりも大きい。
第１３の態様に係る弾性波装置（１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ；１ｇ）では、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
Claims (16)
- 第１端子と、
前記第１端子の電位よりも低い電位になる第２端子と、
圧電体部と、
前記圧電体部上に設けられており、前記第１端子及び前記第２端子と電気的に接続されているＩＤＴ電極と、
前記圧電体部上に設けられており、前記第２端子と電気的に接続されている反射器と、を備え、
前記ＩＤＴ電極は、
前記第１端子と電気的に接続されている第１バスバーと、
第１方向において前記第１バスバーに対向しており、前記第２端子と電気的に接続されている第２バスバーと、
前記第１バスバーに接続され前記第１方向において前記第１バスバーから前記第２バスバー側に延びている複数の第１電極指と、
前記第２バスバーに接続され前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバー側に延びている複数の第２電極指と、を有し、
前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に直交する第２方向において、互いに離隔して並んでおり、
前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指それぞれの少なくとも１つの電極指が、前記少なくとも１つの電極指の前記第１方向の中央部よりも前記第２方向の幅が大きな太幅部を含み、
前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、
開口部と、
前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している内側バスバー部と、
前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している外側バスバー部と、
前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結する連結部と、を含み、
前記ＩＤＴ電極では、前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とを含む一群の電極指のうち前記第２方向において一方の端に位置する電極指を第１端電極指とし、他方の端に位置する電極指を第２端電極指とした場合に、前記第１端電極指は、前記第２方向において、前記反射器と前記第２端電極指との間に位置しており、
前記第１バスバーと前記第２バスバーとのうち前記第１端電極指に接続されていないバスバーの外側バスバー部は、前記第２方向において前記第１端電極指の前記第１方向の中央部よりも内側に位置している、
弾性波装置。 - 前記反射器を２つ備え、
前記２つの反射器は、前記第２方向において前記ＩＤＴ電極の両隣に１つずつ配置され、
前記第１バスバーと前記第２バスバーとのうち前記第１端電極指及び前記第２端電極指に接続されていないバスバーの外側バスバー部は、前記第２方向において前記第１端電極指の前記太幅部及び前記第２端電極指の前記太幅部よりも内側に位置している、
請求項１に記載の弾性波装置。 - 前記反射器を２つ備え、
前記２つの反射器は、前記第２方向において前記ＩＤＴ電極の両隣に１つずつ配置され、
前記第１バスバーと前記第２バスバーとのうち前記第１端電極指及び前記第２端電極指に接続されていないバスバーの外側バスバー部は、前記第１方向において前記第１端電極指及び前記第２端電極指それぞれと重ならないように前記第２方向において前記第１端電極指及び前記第２端電極指よりも内側に位置している、
請求項１に記載の弾性波装置。 - 前記第１バスバーと前記第２バスバーとのうち前記第１端電極指及び前記第２端電極指に接続されていないバスバーの内側バスバー部の、前記第１方向に沿った一方の辺と、前記第１端電極指の前記太幅部の、前記第２端電極指側とは反対側の辺とが一直線上に並んでいる、
請求項３に記載の弾性波装置。 - 第１端子と、
前記第１端子の電位よりも低い電位になる第２端子と、
圧電体部と、
前記圧電体部上に設けられており、前記第１端子及び前記第２端子と電気的に接続されている、複数のＩＤＴ電極と、
前記圧電体部上に設けられており、前記複数のＩＤＴ電極により励振された弾性波を反射する２つの反射器と、を備え、
前記複数のＩＤＴ電極の各々は、
第１バスバーと、
第１方向において前記第１バスバーに対向している第２バスバーと、
前記第１バスバーに接続され前記第１方向において前記第１バスバーから前記第２バスバー側に延びている複数の第１電極指と、
前記第２バスバーに接続され前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバー側に延びている複数の第２電極指と、を有し、
前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に直交する第２方向において、離隔して並んでおり、
前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指それぞれの少なくとも１つの電極指が、前記少なくとも１つの電極指の前記第１方向の中央部よりも前記第２方向の幅が大きな太幅部を含み、
前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、
開口部と、
前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している内側バスバー部と、
前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している外側バスバー部と、
前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結する連結部と、を含み、
前記複数のＩＤＴ電極が前記第２方向において並んでおり、
前記２つの反射器は、前記第２方向において並んでいる前記複数のＩＤＴ電極のうち両側のＩＤＴ電極それぞれの、隣りのＩＤＴ電極とは反対側に位置しており、
前記複数のＩＤＴ電極のうち、前記２つの反射器のうち１つの反射器に隣り合うＩＤＴ電極では、前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とを含む一群の電極指のうち前記第２方向における一方の端に位置する電極指を第１端電極指とし、他方の端に位置する電極指を第２端電極指とした場合に、前記第１端電極指は、前記第２方向において、前記１つの反射器と前記第２端電極指との間に位置しており、
前記１つの反射器に隣り合うＩＤＴ電極では、前記第１バスバーと前記第２バスバーとのうち前記第１端電極指に接続されていないバスバーの外側バスバー部は、前記第２方向において、前記第１端電極指の前記第１方向の中央部よりも内側に位置している、
弾性波装置。 - 前記１つの反射器に隣り合うＩＤＴ電極では、前記第１バスバーと前記第２バスバーとのうち前記第１端電極指及び前記第２端電極指に接続されていないバスバーの外側バスバー部は、前記第２方向において、前記第１端電極指及び前記第２端電極指それぞれの前記太幅部よりも内側に位置している、
請求項５に記載の弾性波装置。 - 前記１つの反射器に隣り合うＩＤＴ電極では、前記第１バスバーと前記第２バスバーとのうち前記第１端電極指及び前記第２端電極指に接続されていないバスバーの外側バスバー部は、前記第１方向において前記第１端電極指及び前記第２端電極指それぞれと重ならないように前記第２方向において内側に位置している、
請求項５に記載の弾性波装置。 - 前記１つの反射器に隣り合うＩＤＴ電極では、前記第１バスバーと前記第２バスバーとのうち前記第１端電極指及び前記第２端電極指に接続されていないバスバーの内側バスバー部の、前記１つの反射器側の辺と、前記第１端電極指の前記太幅部の、前記１つの反射器側の辺とが一直線上に並んでいる、
請求項７に記載の弾性波装置。 - 第１端子と、
前記第１端子の電位よりも低い電位になる第２端子と、
圧電体部と、
前記圧電体部上に設けられており、前記第１端子及び前記第２端子と電気的に接続されているＩＤＴ電極と、
前記圧電体部上に設けられており、前記第２端子と電気的に接続されている反射器と、を備え、
前記ＩＤＴ電極は、
前記第１端子に電気的に接続されている第１バスバーと、
第１方向において前記第１バスバーに対向しており、前記第２端子と電気的に接続されている第２バスバーと、
前記第１バスバーに接続され前記第１方向において前記第１バスバーから前記第２バスバー側に延びている複数の第１電極指と、
前記第２バスバーに接続され前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバー側に延びている複数の第２電極指と、を有し、
前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に直交する第２方向において、互いに離隔して並んでおり、
前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指それぞれの少なくとも１つの電極指が、前記少なくとも１つの電極指の前記第１方向の中央部よりも前記第２方向の幅が大きな太幅部を含み、
前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、
開口部と、
前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している内側バスバー部と、
前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している外側バスバー部と、
前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結する連結部と、を含み、
前記ＩＤＴ電極では、前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とを含む一群の電極指のうち前記第２方向において一方の端に位置する電極指を第１端電極指とし、他方の端に位置する電極指を第２端電極指とした場合に、前記第１端電極指は、前記第２方向において、前記反射器と前記第２端電極指との間に位置しており、
前記第１バスバーと前記第２バスバーとのうち前記第１端電極指に接続されていないバスバーの外側バスバー部は、前記第２方向において、前記第１端電極指に接続されていないバスバーの内側バスバー部よりも内側に位置している、
弾性波装置。 - 第１端子と、
前記第１端子の電位よりも低い電位になる第２端子と、
圧電体部と、
前記圧電体部上に設けられており、前記第１端子及び前記第２端子と電気的に接続されている、複数のＩＤＴ電極と、
前記圧電体部上に設けられており、前記複数のＩＤＴ電極により励振された弾性波を反射する２つの反射器と、を備え、
前記複数のＩＤＴ電極の各々は、
第１バスバーと、
第１方向において前記第１バスバーに対向している第２バスバーと、
前記第１バスバーに接続され前記第１方向において前記第１バスバーから前記第２バスバー側に延びている複数の第１電極指と、
前記第２バスバーに接続され前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバー側に延びている複数の第２電極指と、を有し、
前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に直交する第２方向において、互いに離隔して並んでおり、
前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指それぞれの少なくとも１つの電極指が、前記少なくとも１つの電極指の前記第１方向の中央部よりも前記第２方向の幅が大きな太幅部を含み、
前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、
開口部と、
前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している内側バスバー部と、
前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している外側バスバー部と、
前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結する連結部と、を含み、
前記複数のＩＤＴ電極が前記第２方向において並んでおり、
前記２つの反射器は、前記第２方向において並んでいる前記複数のＩＤＴ電極のうち両側のＩＤＴ電極それぞれの、隣りのＩＤＴ電極とは反対側に位置しており、
前記複数のＩＤＴ電極のうち、前記２つの反射器のうち１つの反射器に隣り合うＩＤＴ電極では、前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とを含む一群の電極指のうち前記第２方向における一方の端に位置する電極指を第１端電極指とし、他方の端に位置する電極指を第２端電極指とした場合に、前記第１端電極指は、前記第２方向において、前記１つの反射器と前記第２端電極指との間に位置しており、
前記１つの反射器に隣り合うＩＤＴ電極では、前記第１バスバーと前記第２バスバーとのうち前記第１端電極指に接続されていないバスバーの外側バスバー部は、前記第２方向において、前記第１端電極指に接続されていないバスバーの内側バスバー部よりも内側に位置している、
弾性波装置。 - 第１端子と、
前記第１端子の電位よりも低い電位になる第２端子と、
圧電体部と、
前記圧電体部上に設けられており、前記第１端子及び前記第２端子と電気的に接続されている、複数のＩＤＴ電極と、を備え、
前記複数のＩＤＴ電極の各々は、
第１バスバーと、
第１方向において前記第１バスバーに対向している第２バスバーと、
前記第１バスバーに接続され前記第１方向において前記第１バスバーから前記第２バスバー側に延びている複数の第１電極指と、
前記第２バスバーに接続され前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバー側に延びている複数の第２電極指と、を有し、
前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に直交する第２方向において、互いに離隔して並んでおり、
前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指それぞれの少なくとも１つの電極指が、前記少なくとも１つの電極指の前記第１方向の中央部よりも前記第２方向の幅が大きな太幅部を含み、
前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、
開口部と、
前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している内側バスバー部と、
前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している外側バスバー部と、
前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結する連結部と、を含み、
前記複数のＩＤＴ電極のうち前記第２方向において隣り合う２つのＩＤＴ電極の一方を第１ＩＤＴ電極、他方を第２ＩＤＴ電極としたとき、
前記第１ＩＤＴ電極において、前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とを含む一群の電極指のうち前記第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指に接続されていない外側バスバー部と、前記第２ＩＤＴ電極において、前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とを含む一群の電極指のうち前記第１ＩＤＴ電極に最も近い電極指に接続されていない外側バスバー部と、の間隔が、前記第１ＩＤＴ電極において前記第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指の中央部と、前記第２ＩＤＴ電極において前記第１ＩＤＴ電極に最も近い電極指の中央部と、の間隔よりも大きい、
弾性波装置。 - 第１端子と、
前記第１端子の電位よりも低い電位になる第２端子と、
圧電体部と、
前記圧電体部上に設けられており、前記第１端子及び前記第２端子と電気的に接続されている、複数のＩＤＴ電極と、を備え、
前記複数のＩＤＴ電極の各々は、
第１バスバーと、
第１方向において前記第１バスバーに対向している第２バスバーと、
前記第１バスバーに接続され前記第１方向において前記第１バスバーから前記第２バスバー側に延びている複数の第１電極指と、
前記第２バスバーに接続され前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバー側に延びている複数の第２電極指と、を有し、
前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に直交する第２方向において、互いに離隔して並んでおり、
前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指それぞれの少なくとも１つの電極指が、前記少なくとも１つの電極指の前記第１方向の中央部よりも前記第２方向の幅が大きな太幅部を含み、
前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、
開口部と、
前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している内側バスバー部と、
前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している外側バスバー部と、
前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結する連結部と、を含み、
前記複数のＩＤＴ電極のうち前記第２方向において隣り合う２つのＩＤＴ電極の一方を第１ＩＤＴ電極、他方を第２ＩＤＴ電極としたとき、
前記第１ＩＤＴ電極の前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とを含む一群の電極指のうち前記第２方向において前記第２ＩＤＴ電極側の端に位置する電極指を前記第１ＩＤＴ電極の第１端電極指とし、前記第２ＩＤＴ電極とは逆側の端に位置する電極指を前記第１ＩＤＴ電極の第２端電極指とし、前記第２ＩＤＴ電極の前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とを含む一群の電極指のうち前記第２方向において前記第１ＩＤＴ電極側の端に位置する電極指を前記第２ＩＤＴ電極の第１端電極指とし、前記第１ＩＤＴ電極とは逆側の端に位置する電極指を前記第２ＩＤＴ電極の第２端電極指とした場合に、
前記第１ＩＤＴ電極の前記第１端電極指が、前記第１端子に接続されており、
前記第２ＩＤＴ電極の前記第１端電極指が、前記第２端子に接続されており、
前記第１ＩＤＴ電極及び前記第２ＩＤＴ電極の各々では、前記第２方向において、前記第１端子と前記第２端子とのうち前記第１端電極指と異なる端子に電気的に接続されている外側バスバー部が、前記第１端電極指と異なる端子に電気的に接続されている前記内側バスバー部よりも内側に位置している、
弾性波装置。 - 第１端子と、
前記第１端子の電位よりも低い電位になる第２端子と、
圧電体部と、
前記圧電体部上に設けられており、前記第１端子及び前記第２端子と電気的に接続されている、複数のＩＤＴ電極と、を備え、
前記複数のＩＤＴ電極の各々は、
第１バスバーと、
第１方向において前記第１バスバーに対向している第２バスバーと、
前記第１バスバーに接続され前記第１方向において前記第１バスバーから前記第２バスバー側に延びている複数の第１電極指と、
前記第２バスバーに接続され前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバー側に延びている複数の第２電極指と、を有し、
前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に直交する第２方向において、互いに離隔して並んでおり、
前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指それぞれの少なくとも１つの電極指が、前記少なくとも１つの電極指の前記第１方向の中央部よりも前記第２方向の幅が大きな太幅部を含み、
前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、
開口部と、
前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している内側バスバー部と、
前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している外側バスバー部と、
前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結する連結部と、を含み、
前記複数のＩＤＴ電極のうち少なくとも１つのＩＤＴ電極では、前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とを含む一群の電極指のうち前記第２方向における一方の端に位置する電極指を第１端電極指とし、他方の端に位置する電極指を第２端電極指とした場合に、前記第１端電極指は、前記第２方向において、前記少なくとも１つのＩＤＴ電極の隣りのＩＤＴ電極側に位置しており、
前記少なくとも１つのＩＤＴ電極では、前記第１バスバーと前記第２バスバーとのうち前記第１端電極指に接続されていないバスバーの外側バスバー部は、前記第２方向において、少なくとも隣り合うＩＤＴ電極側で、前記第１バスバーと前記第２バスバーとのうち前記第１端電極指に接続されていないバスバーの内側バスバー部よりも内側に位置している、
弾性波装置。 - 前記複数のＩＤＴ電極が前記第２方向において並んでおり、
前記第２方向において並んでいる前記複数のＩＤＴ電極のうち両側のＩＤＴ電極それぞれの、隣りのＩＤＴ電極とは反対側で前記圧電体部上に１つずつ設けられており、前記複数のＩＤＴ電極により励振された弾性波を反射する２つの反射器を更に備える、
請求項１１〜１３のいずれか一項に記載の弾性波装置。 - 前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指それぞれの少なくとも１つの電極指の先端部が、前記太幅部を含む、
請求項１〜１４のいずれか一項に記載の弾性波装置。 - 前記弾性波装置は、前記弾性波装置の厚さ方向からの平面視で、前記第１方向にいて互いに異なる複数の領域を有し、
前記複数の領域は、
前記第１方向において中央に位置しており、前記複数の第１電極指の中央部と前記複数の第２電極指の中央部とを含む中央領域と、
前記第１バスバーの前記外側バスバー部及び前記第２バスバーの前記外側バスバー部をそれぞれ含む２つの外側バスバー領域と、
前記第１バスバーの前記内側バスバー部及び前記第２バスバーの前記内側バスバー部をそれぞれ含む２つの内側バスバー領域と、
前記第１バスバーの連結部と開口部及び前記第２バスバーの連結部と開口部をそれぞれ含む２つの連結領域と、
前記複数の第１電極指と前記第２バスバーとの間のギャップ及び前記複数の第２電極指と前記第１バスバーとの間のギャップそれぞれを含む２つのギャップ領域と、
前記複数の第１電極指の少なくとも１つの電極指の太幅部及び前記複数の第２電極指の少なくとも１つの電極指の太幅部それぞれを含む２つの太幅領域と、を含み、
前記２つの外側バスバー領域では、前記中央領域よりも弾性波の音速が遅くなり、
前記２つの内側バスバー領域では、前記中央領域よりも弾性波の音速が遅くなり、
前記２つの連結領域では、前記２つの外側バスバー領域及び前記中央領域よりも弾性波の音速が速くなり、
前記２つのギャップ領域では、前記２つの内側バスバー領域及び前記中央領域よりも弾性波の音速が速くなり、
前記２つの太幅領域では、前記中央領域よりも弾性波の音速が遅くなる、
請求項１〜１５のいずれか一項に記載の弾性波装置。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017242526 | 2017-12-19 | ||
| JP2017242526 | 2017-12-19 | ||
| PCT/JP2018/039061 WO2019123810A1 (ja) | 2017-12-19 | 2018-10-19 | 弾性波装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2019123810A1 true JPWO2019123810A1 (ja) | 2020-11-26 |
| JP6874861B2 JP6874861B2 (ja) | 2021-05-19 |
Family
ID=66992774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2019560832A Active JP6874861B2 (ja) | 2017-12-19 | 2018-10-19 | 弾性波装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US11689180B2 (ja) |
| JP (1) | JP6874861B2 (ja) |
| CN (1) | CN111527696B (ja) |
| WO (1) | WO2019123810A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110572136B (zh) * | 2019-09-09 | 2022-11-01 | 杭州左蓝微电子技术有限公司 | 一种叉指换能器 |
| WO2021220936A1 (ja) * | 2020-04-27 | 2021-11-04 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
| WO2023035235A1 (zh) * | 2021-09-10 | 2023-03-16 | 华为技术有限公司 | 谐振器、滤波器及电子设备 |
| CN116683885B (zh) * | 2023-05-23 | 2023-12-22 | 无锡市好达电子股份有限公司 | 一种具有活塞模式的声表面波装置 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03242013A (ja) * | 1990-02-20 | 1991-10-29 | Nec Corp | 弾性表面波装置 |
| JPH0865089A (ja) * | 1994-08-22 | 1996-03-08 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波フィルタ |
| JP2002016470A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-18 | Oki Electric Ind Co Ltd | 共振器型弾性表面波フィルタ |
| JP2011259516A (ja) * | 2011-10-06 | 2011-12-22 | Panasonic Corp | 弾性表面波フィルタ及びそれを用いた通信機器 |
| WO2014192756A1 (ja) * | 2013-05-29 | 2014-12-04 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE69700938T2 (de) * | 1996-05-23 | 2000-05-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Akustischer Oberflächenwellenfilter und mehrstufiger akustischer Oberflächenwellenfilter |
| EP1324489A1 (en) * | 2001-12-21 | 2003-07-02 | Temex | Method for realising surface acoustic wave filter arrangements and filter arrangement obtained in accordance to this method |
| CN1497846A (zh) * | 2002-10-18 | 2004-05-19 | 富士通媒体部品株式会社 | 多模表面声波滤波器器件和双工器 |
| JP4873077B2 (ja) * | 2007-05-30 | 2012-02-08 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ装置 |
| WO2010098065A1 (ja) * | 2009-02-25 | 2010-09-02 | パナソニック株式会社 | 弾性波素子および弾性波フィルタ |
| US9013251B2 (en) | 2010-02-09 | 2015-04-21 | Kyocera Corporation | Acoustic wave device |
| JP2012065272A (ja) | 2010-09-17 | 2012-03-29 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 弾性波デバイス |
| JP6107947B2 (ja) * | 2013-05-29 | 2017-04-05 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ装置 |
| JP6247377B2 (ja) * | 2014-07-30 | 2017-12-13 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 |
| DE112015005349B4 (de) * | 2014-11-28 | 2023-05-04 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vorrichtung für elastische Wellen |
| CN107534428B (zh) * | 2015-04-24 | 2020-12-18 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
-
2018
- 2018-10-19 JP JP2019560832A patent/JP6874861B2/ja active Active
- 2018-10-19 CN CN201880082671.3A patent/CN111527696B/zh active Active
- 2018-10-19 WO PCT/JP2018/039061 patent/WO2019123810A1/ja active Application Filing
-
2020
- 2020-06-09 US US16/896,263 patent/US11689180B2/en active Active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03242013A (ja) * | 1990-02-20 | 1991-10-29 | Nec Corp | 弾性表面波装置 |
| JPH0865089A (ja) * | 1994-08-22 | 1996-03-08 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波フィルタ |
| JP2002016470A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-18 | Oki Electric Ind Co Ltd | 共振器型弾性表面波フィルタ |
| JP2011259516A (ja) * | 2011-10-06 | 2011-12-22 | Panasonic Corp | 弾性表面波フィルタ及びそれを用いた通信機器 |
| WO2014192756A1 (ja) * | 2013-05-29 | 2014-12-04 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2019123810A1 (ja) | 2019-06-27 |
| CN111527696B (zh) | 2023-09-26 |
| CN111527696A (zh) | 2020-08-11 |
| US11689180B2 (en) | 2023-06-27 |
| JP6874861B2 (ja) | 2021-05-19 |
| US20200304092A1 (en) | 2020-09-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP7014319B2 (ja) | 弾性波装置 | |
| JP6813108B2 (ja) | 弾性波装置 | |
| JP6874861B2 (ja) | 弾性波装置 | |
| JPWO2020100744A1 (ja) | 弾性波装置 | |
| WO2019065666A1 (ja) | 弾性波装置 | |
| JP7231015B2 (ja) | 弾性波装置 | |
| JP7268747B2 (ja) | 弾性波装置 | |
| US20220345108A1 (en) | Acoustic wave device | |
| WO2019065667A1 (ja) | 弾性波フィルタ装置 | |
| WO2020122005A1 (ja) | 弾性波装置 | |
| WO2020262388A1 (ja) | フィルタ装置 | |
| WO2021085465A1 (ja) | 弾性波装置 | |
| WO2018079574A1 (ja) | 弾性波素子 | |
| US20220368305A1 (en) | Acoustic wave device | |
| WO2022158370A1 (ja) | 弾性波装置 | |
| WO2021177341A1 (ja) | 弾性波装置 | |
| WO2021002382A1 (ja) | 弾性波装置 | |
| WO2021177340A1 (ja) | 弾性波装置 | |
| WO2021117581A1 (ja) | 弾性波装置 | |
| WO2022065137A1 (ja) | 弾性波装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200525 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200525 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201201 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210201 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210323 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210405 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6874861 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |