JPH0440705A - 縦型2重モード弾性表面波フィルタ - Google Patents
縦型2重モード弾性表面波フィルタInfo
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- JPH0440705A JPH0440705A JP14893490A JP14893490A JPH0440705A JP H0440705 A JPH0440705 A JP H0440705A JP 14893490 A JP14893490 A JP 14893490A JP 14893490 A JP14893490 A JP 14893490A JP H0440705 A JPH0440705 A JP H0440705A
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- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 45
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims abstract description 25
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims abstract description 25
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims abstract description 25
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 20
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 claims description 26
- 229910012463 LiTaO3 Inorganic materials 0.000 abstract description 12
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract description 3
- 230000005611 electricity Effects 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 5
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 244000124853 Perilla frutescens Species 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
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- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、縦型2重モード結合を利用した、帯域通過
型で低損失の弾性表面波フィルタに関するものである。
型で低損失の弾性表面波フィルタに関するものである。
[従来の技術]
第6図に、弾性表面波(SAW)を利用するエネルギ閉
じ込め型共振子によって構成された従来の縦型2重モー
ドSAWフィルタ]、が示されている。このSAWフィ
ルタ1は、圧電基板2の表面に、表面波励起用の2組の
くし型電極3および4を備え、その両側に反射器5およ
び6を配置した構成となっている。
じ込め型共振子によって構成された従来の縦型2重モー
ドSAWフィルタ]、が示されている。このSAWフィ
ルタ1は、圧電基板2の表面に、表面波励起用の2組の
くし型電極3および4を備え、その両側に反射器5およ
び6を配置した構成となっている。
このような構成において、第7図に示すように、反射器
5と反射器6との間で励振された表面波のエネルギは閉
じ込められ、縦0次および縦1次の共振モードが現われ
る。これら2つのモードの周波数差は、くし型電極3お
よび4の総対数によって変化し、入出力インピーダンス
と整合をとることにより、前述した2つのモードの周波
数差を通過帯域とする、縦型2重モードSAWフィルタ
1が実現される。
5と反射器6との間で励振された表面波のエネルギは閉
じ込められ、縦0次および縦1次の共振モードが現われ
る。これら2つのモードの周波数差は、くし型電極3お
よび4の総対数によって変化し、入出力インピーダンス
と整合をとることにより、前述した2つのモードの周波
数差を通過帯域とする、縦型2重モードSAWフィルタ
1が実現される。
また、さらに高次の共振モードも現実には存在し、たと
えば、第8図に示すように、反射器5と反射器6との間
に、2組のくし型電極3および4に加えて、さらにもう
1組のくし型電極7を設けたものもある。この場合、縦
0次および縦2次の共振モードが現われることは、容易
に類推できる。
えば、第8図に示すように、反射器5と反射器6との間
に、2組のくし型電極3および4に加えて、さらにもう
1組のくし型電極7を設けたものもある。この場合、縦
0次および縦2次の共振モードが現われることは、容易
に類推できる。
なお、第6図ないし第8図に示したような構成では、一
般に通過帯域外での抑圧量が不充分であることが多く、
通常、上述したような構成のSAWフィルタすなわちエ
ネルギ閉じ込め型共振子を1セクションとして、同じも
のを2セクション以上多段縦続接続した、第9図に示す
ような構成を採用しでいる。
般に通過帯域外での抑圧量が不充分であることが多く、
通常、上述したような構成のSAWフィルタすなわちエ
ネルギ閉じ込め型共振子を1セクションとして、同じも
のを2セクション以上多段縦続接続した、第9図に示す
ような構成を採用しでいる。
第9図に示した縦型2重モードSAWフィルタ1aでは
、1つの圧電基板2a上において、前述したSAWフィ
ルタ1に設けられていたくし型電極3および4ならびに
反射器5および6に加えて、さらに2組のくし型電極8
および9ならびに反射器10および11が設けられてい
る。ぞして、これら2セクションのエネルギ閉じ込め型
共振子は、くし型電極4とくし型電極8とを接続するこ
とにより、縦続接続されている。
、1つの圧電基板2a上において、前述したSAWフィ
ルタ1に設けられていたくし型電極3および4ならびに
反射器5および6に加えて、さらに2組のくし型電極8
および9ならびに反射器10および11が設けられてい
る。ぞして、これら2セクションのエネルギ閉じ込め型
共振子は、くし型電極4とくし型電極8とを接続するこ
とにより、縦続接続されている。
[発明が解決しようとする課題]
以上述べたような構成の縦型2重モードSAWフィルタ
において、その通過帯域をより広帯域化するためには、
36゜Y回転カットX方向伝搬のLiTaO3圧電基板
のような電気機械結合係数の大きい圧電基板を用いるこ
とが望ましい。
において、その通過帯域をより広帯域化するためには、
36゜Y回転カットX方向伝搬のLiTaO3圧電基板
のような電気機械結合係数の大きい圧電基板を用いるこ
とが望ましい。
しかしながら、たとえば前述した第9図に示した縦型2
重モードSAWフィルタ1aのように、エネルギ閉じ込
め型共振子を2セクション以上多段縦続接続した構成と
した場合、その伝送特性は、第10図に示すように、縦
0次の共振点foO高域側に不要スプリアスf0が現わ
れる。この不要スプリアスfcはXカットY方向伝搬の
LiTaO3を圧電基板として用いた場合でも同様に生
じるが、この場合には、不要スプリアスfcの位置は、
縦0次の共振点foのごく近傍に現われるため、くし型
電極の電極指の対数、くし型電極の膜厚および外部イン
ピーダンスを適当な値とすることで、通過帯域において
ほぼ平坦な特性とすることができ、実用上問題とはなら
ない。しかしながら、36゜Y回転カットX方向伝搬の
LiTaO3圧電基板の場合には、不要スプリアスf。
重モードSAWフィルタ1aのように、エネルギ閉じ込
め型共振子を2セクション以上多段縦続接続した構成と
した場合、その伝送特性は、第10図に示すように、縦
0次の共振点foO高域側に不要スプリアスf0が現わ
れる。この不要スプリアスfcはXカットY方向伝搬の
LiTaO3を圧電基板として用いた場合でも同様に生
じるが、この場合には、不要スプリアスfcの位置は、
縦0次の共振点foのごく近傍に現われるため、くし型
電極の電極指の対数、くし型電極の膜厚および外部イン
ピーダンスを適当な値とすることで、通過帯域において
ほぼ平坦な特性とすることができ、実用上問題とはなら
ない。しかしながら、36゜Y回転カットX方向伝搬の
LiTaO3圧電基板の場合には、不要スプリアスf。
を通過帯域内に納めることは困難であり、36゜Y回転
カットX方向伝搬のLiTaO3圧電基板を用いた縦型
2重モードSAWフィルタの実用上の問題となっていた
。
カットX方向伝搬のLiTaO3圧電基板を用いた縦型
2重モードSAWフィルタの実用上の問題となっていた
。
なお、第10図において、flは、縦1次の共振点を示
している。
している。
それゆえに、この発明の目的は、36゜Y回転カットX
方向伝搬のLiTaO3圧電基板を使用した縦型2重モ
ードSAWフィルタにおいて、不要スプリアスのない通
過帯域を得ることができるようにしようとすることであ
る。
方向伝搬のLiTaO3圧電基板を使用した縦型2重モ
ードSAWフィルタにおいて、不要スプリアスのない通
過帯域を得ることができるようにしようとすることであ
る。
口課題を解決するための手段]
この発明は、36゜Y回転カットX方向伝搬のLfTa
O3圧電基板の上に、各々、少なくとも2組のくし型電
極が近接配置されかつ前記くし型電極の両側に反射器が
配置されることによって、複数セクションのエネルギ閉
じ込め型共振子が構成され、これらエネルギ閉じ込め型
共振子か多段縦続接続された、縦型2重モードSAWフ
ィルタに向けられるものであって、上述した技術的課題
を解決するため、前記エネルギ閉じ込め型共振子の各セ
クション間の接続部に、前記くし型電極と電気的に並列
となる結合容量を備えることを特徴としている。
O3圧電基板の上に、各々、少なくとも2組のくし型電
極が近接配置されかつ前記くし型電極の両側に反射器が
配置されることによって、複数セクションのエネルギ閉
じ込め型共振子が構成され、これらエネルギ閉じ込め型
共振子か多段縦続接続された、縦型2重モードSAWフ
ィルタに向けられるものであって、上述した技術的課題
を解決するため、前記エネルギ閉じ込め型共振子の各セ
クション間の接続部に、前記くし型電極と電気的に並列
となる結合容量を備えることを特徴としている。
好ましくは、くし型電極の電極指の対数および結合容量
の大きさか、次のように設定される。すなわち、前記エ
ネルギ閉じ込め型共振子の1セクションにおけるくし型
電極の電極指の総対数をN1前記接続部によって接続さ
れるくし型電極による総容量をC11前記結合容量の大
きさをCcとしたとき、 N≦80 Cc / Ct≧0.5 に設定される。
の大きさか、次のように設定される。すなわち、前記エ
ネルギ閉じ込め型共振子の1セクションにおけるくし型
電極の電極指の総対数をN1前記接続部によって接続さ
れるくし型電極による総容量をC11前記結合容量の大
きさをCcとしたとき、 N≦80 Cc / Ct≧0.5 に設定される。
[作用コ
この発明によれば、36゜Y回転カットX方向伝搬のL
iTaO3圧電基板を用いた場合であっても、前述した
結合容量を設けることにより、不要スプリアスを縦0次
モードの共振点に近づけられることが実験的に確認され
た。したがって、この発明による縦型2重モードSAW
フィルタは、平坦な通過帯域特性を与えることができる
。
iTaO3圧電基板を用いた場合であっても、前述した
結合容量を設けることにより、不要スプリアスを縦0次
モードの共振点に近づけられることが実験的に確認され
た。したがって、この発明による縦型2重モードSAW
フィルタは、平坦な通過帯域特性を与えることができる
。
[発明の効果コ
このように、この発明によれば、不要スプリアスの発生
により、これまで困難視されていた、36゜Y回転カッ
トX方向伝搬のLiTaO3圧電基板を用いた縦型2重
モードSAWフィルタを実現できるようになり、従来の
2重モードSAWフィルタに比べ、広帯域のSAWフィ
ルタを提供することができる。
により、これまで困難視されていた、36゜Y回転カッ
トX方向伝搬のLiTaO3圧電基板を用いた縦型2重
モードSAWフィルタを実現できるようになり、従来の
2重モードSAWフィルタに比べ、広帯域のSAWフィ
ルタを提供することができる。
したがって、この発明によるSAWフィルタは、たとえ
ば通信機器等に採用することにより、そのような機器の
小型化を可能にするとともに、性能の広範囲化を可能に
する。
ば通信機器等に採用することにより、そのような機器の
小型化を可能にするとともに、性能の広範囲化を可能に
する。
[実施例]
第1図は、この発明の第1の実施例による縦型2重モー
ドSAWフィルタ20の構成図である。
ドSAWフィルタ20の構成図である。
第1図を参照して、SAWフィルタ20は、36゜Y回
転カットX方向伝搬のLiTaO3圧電基板21を備え
る。この圧電基板21の上には、2セクションのエネル
ギ閉じ込め型共振子が構成される。
転カットX方向伝搬のLiTaO3圧電基板21を備え
る。この圧電基板21の上には、2セクションのエネル
ギ閉じ込め型共振子が構成される。
第1セクションのエネルギ閉じ込め型共振子は、近接配
置された2組のくし型電極22および23、ならびにこ
れらくし型電極22および23の両側に配置された反射
器24および25を備える。
置された2組のくし型電極22および23、ならびにこ
れらくし型電極22および23の両側に配置された反射
器24および25を備える。
第2セクションのエネルギ閉じ込め型共振子は、近接配
置された2組のくし型電極26および27、ならびにこ
れらくし型電極26および27の両側に配置された反射
器28および29を備える。
置された2組のくし型電極26および27、ならびにこ
れらくし型電極26および27の両側に配置された反射
器28および29を備える。
第1セクションにあるくし型電極23と第2セクション
にあるくし型電極26とが接続されることにより、これ
ら第1および第2セクションのエネルギ閉じ込め型共振
子は縦続接続される。
にあるくし型電極26とが接続されることにより、これ
ら第1および第2セクションのエネルギ閉じ込め型共振
子は縦続接続される。
この実施例において特徴となるのは、第1セクションに
おける出力側くし型電極23と第2セクションにある入
力側くし型電極26との接続部に、電気的に並列に結合
容量30を設けていることである。この実施例では、結
合容量30は、くし型電極22,23,26.27によ
って励起される表面波と干渉しないような位置に配置さ
れたくし型電極で構成されているが、その他、電極パッ
ドまたは外部付加容量で構成してもよい。
おける出力側くし型電極23と第2セクションにある入
力側くし型電極26との接続部に、電気的に並列に結合
容量30を設けていることである。この実施例では、結
合容量30は、くし型電極22,23,26.27によ
って励起される表面波と干渉しないような位置に配置さ
れたくし型電極で構成されているが、その他、電極パッ
ドまたは外部付加容量で構成してもよい。
第1図に示したSAWフィルタ20は、第7図に示した
ものと同様、縦0次および縦1次の共振モードを利用し
ている。
ものと同様、縦0次および縦1次の共振モードを利用し
ている。
第2図は、この発明の第2の実施例による縦型2重モー
ドSAWフィルタ20aの構成図である。
ドSAWフィルタ20aの構成図である。
第2図を参照して、SAWフィルタ20aは、前述した
SAWフィルタ20の場合と同様、360Y回転カット
X方向伝搬のLiTaO3圧電基板21aを備える。こ
の圧電基板21aの上には、縦続接続された2セクショ
ンのエネルギ閉じ込め型共振子が構成される。
SAWフィルタ20の場合と同様、360Y回転カット
X方向伝搬のLiTaO3圧電基板21aを備える。こ
の圧電基板21aの上には、縦続接続された2セクショ
ンのエネルギ閉じ込め型共振子が構成される。
第1図に示したSAWフィルタ20との比較を明瞭にす
るため、第1図において用いた参照番号を対応の要素に
付して説明すると、第1セクションのエネルギ閉じ込め
型共振子においては、反射器24と反射器25との間に
、くし型電極22および23に加えて、もう1組のくし
型電極31が配置される。第2セクションのエネルギ閉
じ込め型共振子においては、反射器28と反射器29と
の間に、くし型電極26および27に加えて、もう1組
のくし型電極32が配置される。このようにして、第1
および第2のエネルギ閉じ込め型共振子は、くし型電極
を3分割しているため、前述した第8図に示したものと
同様、縦0次および縦2次の共振モードが利用される。
るため、第1図において用いた参照番号を対応の要素に
付して説明すると、第1セクションのエネルギ閉じ込め
型共振子においては、反射器24と反射器25との間に
、くし型電極22および23に加えて、もう1組のくし
型電極31が配置される。第2セクションのエネルギ閉
じ込め型共振子においては、反射器28と反射器29と
の間に、くし型電極26および27に加えて、もう1組
のくし型電極32が配置される。このようにして、第1
および第2のエネルギ閉じ込め型共振子は、くし型電極
を3分割しているため、前述した第8図に示したものと
同様、縦0次および縦2次の共振モードが利用される。
また、第1および第2セクションのエネルギ閉じ込め型
共振子を縦続接続するため、第1セクションにおけるく
し型電極23および31と第2セクションにおけるくし
型電極26および32とが接続される。
共振子を縦続接続するため、第1セクションにおけるく
し型電極23および31と第2セクションにおけるくし
型電極26および32とが接続される。
また、この第2の実施例においても、第1の実施例と同
様、第1セクションの出力側くし型電極23および31
の結合部から第2セクションの入力側くし型電極26お
よび32の結合部へ至る電極部に、電気的に並列に結合
容量30が設けられている。
様、第1セクションの出力側くし型電極23および31
の結合部から第2セクションの入力側くし型電極26お
よび32の結合部へ至る電極部に、電気的に並列に結合
容量30が設けられている。
上述した第1および第2の実施例のいずれにおいても、
反射器24,25,28.29と関連のくし型電極22
. 23. 26. 27. 31. 32との間の間
隔、ならびにくし型電極22. 23゜26.27,3
1.32相互間の間隔を、それぞれ、くし型電極22.
23. 26. 27. 3132の電極指ピッチの
整数倍に設定し、反射器24.25,28.29の格子
間ピッチに対し、電極指ピッチを約2%程度小さくする
ことによって、共振子のQか向上される。このような条
件を満足させることが、縦型2重モードSAWフィルタ
の設計上、望ましいことは、周知である。
反射器24,25,28.29と関連のくし型電極22
. 23. 26. 27. 31. 32との間の間
隔、ならびにくし型電極22. 23゜26.27,3
1.32相互間の間隔を、それぞれ、くし型電極22.
23. 26. 27. 3132の電極指ピッチの
整数倍に設定し、反射器24.25,28.29の格子
間ピッチに対し、電極指ピッチを約2%程度小さくする
ことによって、共振子のQか向上される。このような条
件を満足させることが、縦型2重モードSAWフィルタ
の設計上、望ましいことは、周知である。
この発明において特徴とするところは、従来の縦型2重
モードSAWフィルタに対して、前述したように、結合
容量を付加し、たことにある。これによって、従来では
、スプリアスが生じ、実用化が困難であった、36゜Y
回転カットX方向伝搬のLiTaO3圧電基板を使用し
た縦型2重モードSAV、7フイルタを実現することか
できる。
モードSAWフィルタに対して、前述したように、結合
容量を付加し、たことにある。これによって、従来では
、スプリアスが生じ、実用化が困難であった、36゜Y
回転カットX方向伝搬のLiTaO3圧電基板を使用し
た縦型2重モードSAV、7フイルタを実現することか
できる。
以下、特に、第2図に示した第2の実施例に関連して、
この発明に係る縦型2重モードSAWフィルタの設計上
の好ましい条件について説明する。
この発明に係る縦型2重モードSAWフィルタの設計上
の好ましい条件について説明する。
まず、縦型2重モードSAWフィルタの通過帯域は、2
つの縦モードの周波数差によって決定され、第2の実施
例の場合は、縦0次の共振モードの周波数と縦2次の共
振モードの周波数との差によって決定されることは、従
来技術において説明したとおりである。また、この周波
数差は、第2図におけるくし型電極22,23.31の
総対数、ならびにくし型電極26,27.32の総対数
によって変化し、さらに、比帯域幅の上限は、反射器2
4.25,28.29のストップバンド幅によって決定
されることは、周知の事実である。ここで、ストップバ
ンド幅を広くするためには、励振される表面波の波長λ
に対する電極の膜厚りの比率である電極膜厚比h/λを
増大させることが望ましいが、そのために電極の膜厚り
を増大させると、電極の加工が困難となり、かつバルク
波への変換のために生じる損失も増大するので、概ね、
h/λは、2〜4%の範囲が適当であることが知られて
いる。したがって、以下に、電極の膜厚りが、以上のよ
うな加工上の問題等の生じない範囲とされた場合におい
て、第2の実施例に関する実験結果について説明する。
つの縦モードの周波数差によって決定され、第2の実施
例の場合は、縦0次の共振モードの周波数と縦2次の共
振モードの周波数との差によって決定されることは、従
来技術において説明したとおりである。また、この周波
数差は、第2図におけるくし型電極22,23.31の
総対数、ならびにくし型電極26,27.32の総対数
によって変化し、さらに、比帯域幅の上限は、反射器2
4.25,28.29のストップバンド幅によって決定
されることは、周知の事実である。ここで、ストップバ
ンド幅を広くするためには、励振される表面波の波長λ
に対する電極の膜厚りの比率である電極膜厚比h/λを
増大させることが望ましいが、そのために電極の膜厚り
を増大させると、電極の加工が困難となり、かつバルク
波への変換のために生じる損失も増大するので、概ね、
h/λは、2〜4%の範囲が適当であることが知られて
いる。したがって、以下に、電極の膜厚りが、以上のよ
うな加工上の問題等の生じない範囲とされた場合におい
て、第2の実施例に関する実験結果について説明する。
第3図は、第2の実施例に基づき、1セクションにおけ
るくし型電極22,23.31または26.27.32
の電極指の総対数Nの大きさによる比帯域幅の変動を示
した図である。なお、この明細書において、総対数Nは
、電極指の数の1/2としている。
るくし型電極22,23.31または26.27.32
の電極指の総対数Nの大きさによる比帯域幅の変動を示
した図である。なお、この明細書において、総対数Nは
、電極指の数の1/2としている。
第3図に示した結果から、使用する圧電基板21aの材
料である36゜Y回転カットx方向伝搬のLiTaO3
の100℃の周囲温度変動に対する周波数変動分0.3
5%を考慮すると、くし型電極の電極指の総対数Nは、
80以下とすることが望ましいと判断できる。
料である36゜Y回転カットx方向伝搬のLiTaO3
の100℃の周囲温度変動に対する周波数変動分0.3
5%を考慮すると、くし型電極の電極指の総対数Nは、
80以下とすることが望ましいと判断できる。
次に、前述した第10図に示すような不要スプリアスf
。を抑圧するために、前述したように、結合容量30が
付加されるが、この結合容量30の大きさCcが適切に
設定されると、特に顕著な効果を発揮する。以下、第2
の実施例における結合容量30の大きさCcの適切な範
囲を決定するために行なった実験の結果を説明する。
。を抑圧するために、前述したように、結合容量30が
付加されるが、この結合容量30の大きさCcが適切に
設定されると、特に顕著な効果を発揮する。以下、第2
の実施例における結合容量30の大きさCcの適切な範
囲を決定するために行なった実験の結果を説明する。
第4図は、第2図における接続部によって接続されたく
し型電極23および31ならびに26および32の総容
量Ctに対して結合容量30の大きさCcを変化させた
場合の、不要スプリアスf。と縦0次モードの共振点f
。との周波数差すなわち(f o−f o ) / f
oの変化を示したものである。
し型電極23および31ならびに26および32の総容
量Ctに対して結合容量30の大きさCcを変化させた
場合の、不要スプリアスf。と縦0次モードの共振点f
。との周波数差すなわち(f o−f o ) / f
oの変化を示したものである。
第10図に示した結果から、不要スプリアスf。は、結
合容量比Cc / Ctを増大させることによって、縦
O次モードの共振点fOに近づくことが確認される。
合容量比Cc / Ctを増大させることによって、縦
O次モードの共振点fOに近づくことが確認される。
第5図は、適当な大きさの結合容量30を備えた、第2
の実施例に係る縦型2重モードSAWフィルタ20aの
周波数特性を示している。不要スプリアスは、縦O次モ
ードの共振点と結合しているため、平坦な帯域特性か得
られているのが確認される。
の実施例に係る縦型2重モードSAWフィルタ20aの
周波数特性を示している。不要スプリアスは、縦O次モ
ードの共振点と結合しているため、平坦な帯域特性か得
られているのが確認される。
なお、各くし型電極の交さ幅を適当に与えてやれば、入
出力インピーダンスを要求に合致させることが可能であ
ることは、広く知られている。したがって、このような
交さ幅は、この発明を実現する上で、特に限定されるも
のではない。
出力インピーダンスを要求に合致させることが可能であ
ることは、広く知られている。したがって、このような
交さ幅は、この発明を実現する上で、特に限定されるも
のではない。
また、第3図から、実用上のくし型電極の電極指の総対
数Nの下限を20と判断すれば、前記結合容量比Cc
/ Ctの大きさは、第4図から、Cc / Ct≧0
.5に設定すればよいことが理解されよう。
数Nの下限を20と判断すれば、前記結合容量比Cc
/ Ctの大きさは、第4図から、Cc / Ct≧0
.5に設定すればよいことが理解されよう。
したがって、以上の実験結果を総括すると、くし型電極
の電極指の総対数Nおよび結合容量比Cc / Ctを
、それぞれ、 N≦80 Cc / Ct≧0.5 のような範囲となるように、NおよびCcを設定するこ
とにより、比帯域幅が2%程度のスプリアスのない縦型
2重モードSAWフィルタを実現することができる。
の電極指の総対数Nおよび結合容量比Cc / Ctを
、それぞれ、 N≦80 Cc / Ct≧0.5 のような範囲となるように、NおよびCcを設定するこ
とにより、比帯域幅が2%程度のスプリアスのない縦型
2重モードSAWフィルタを実現することができる。
第1図は、この発明の第1の実施例による縦型2重モー
ドSAWフィルタ20を示す構成図である。 第2図は、この発明の第2の実施例による縦型2重モー
ドSAWフィルタ20aを示す構成図である。 第3図は、第2の実施例に基づいて行なった実験によっ
て得られた、くし型電極の電極指の総対数Nと比帯域幅
との関係を示す図である。 第4図は、第2の実施例に基づいて行なった実験によっ
て得られた、結合容量比Cc / Ctとスプリアスの
周波数差(fc fo)/foとの関係を示す図であ
る。 第5図は、第2の実施例による縦型2重モードSAWフ
ィルタ20aの周波数特性を示す図である。 第6図は、従来の縦型2重モードSAWフィルタ1を示
す構成図である。 第7図は、第6図に示したSAWフィルタ1の2つのモ
ード分布を表わす概念図である。 第8図は、第6図に示したSAWフィルタ1の変形例に
おける2つのモード分布を示す概念図である。 第9図は、他の従来例としての縦型2重モードSAWフ
ィルタ1aを示す構成図である。 第10図は、第9図に示した縦型2重モードSAWフィ
ルタ1aの周波数特性を示す図である。 図において、20.20aは縦型2重モードSAWフィ
ルタ、21.21aは圧電基板、22゜23.26,2
7,31.32はくし型電極、24.25,28.29
は反射器、30は結合容量である。 〈 U型1P、不!し総之:r数N 局合溶1rこC≠t
ドSAWフィルタ20を示す構成図である。 第2図は、この発明の第2の実施例による縦型2重モー
ドSAWフィルタ20aを示す構成図である。 第3図は、第2の実施例に基づいて行なった実験によっ
て得られた、くし型電極の電極指の総対数Nと比帯域幅
との関係を示す図である。 第4図は、第2の実施例に基づいて行なった実験によっ
て得られた、結合容量比Cc / Ctとスプリアスの
周波数差(fc fo)/foとの関係を示す図であ
る。 第5図は、第2の実施例による縦型2重モードSAWフ
ィルタ20aの周波数特性を示す図である。 第6図は、従来の縦型2重モードSAWフィルタ1を示
す構成図である。 第7図は、第6図に示したSAWフィルタ1の2つのモ
ード分布を表わす概念図である。 第8図は、第6図に示したSAWフィルタ1の変形例に
おける2つのモード分布を示す概念図である。 第9図は、他の従来例としての縦型2重モードSAWフ
ィルタ1aを示す構成図である。 第10図は、第9図に示した縦型2重モードSAWフィ
ルタ1aの周波数特性を示す図である。 図において、20.20aは縦型2重モードSAWフィ
ルタ、21.21aは圧電基板、22゜23.26,2
7,31.32はくし型電極、24.25,28.29
は反射器、30は結合容量である。 〈 U型1P、不!し総之:r数N 局合溶1rこC≠t
Claims (2)
- (1)36゜Y回転カットX方向伝搬のLiTaO_3
圧電基板の上に、各々、少なくとも2組のくし型電極が
近接配置されかつ前記くし型電極の両側に反射器が配置
されることによって、複数セクションのエネルギ閉じ込
め型共振子が構成され、これらエネルギ閉じ込め型共振
子が多段縦続接続された、縦型2重モード弾性表面波フ
ィルタにおいて、 前記エネルギ閉じ込め型共振子の各セクション間の接続
部に、前記くし型電極と電気的に並列となる結合容量を
備えることを特徴とする、縦型2重モード弾性表面波フ
ィルタ。 - (2)前記エネルギ閉じ込め型共振子の1セクションに
おけるくし型電極の電極指の総対数をN、前記接続部に
よって接続されるくし型電極による総容量をCt、前記
結合容量の大きさをCcとしたとき、 N≦80 Cc/Ct≧0.5 に設定されたことを特徴とする、請求項1に記載の縦型
2重モード弾性表面波フィルタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14893490A JPH0440705A (ja) | 1990-06-06 | 1990-06-06 | 縦型2重モード弾性表面波フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14893490A JPH0440705A (ja) | 1990-06-06 | 1990-06-06 | 縦型2重モード弾性表面波フィルタ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0440705A true JPH0440705A (ja) | 1992-02-12 |
Family
ID=15463930
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14893490A Pending JPH0440705A (ja) | 1990-06-06 | 1990-06-06 | 縦型2重モード弾性表面波フィルタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0440705A (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Citations (2)
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-
1990
- 1990-06-06 JP JP14893490A patent/JPH0440705A/ja active Pending
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GB2457392A (en) * | 2006-12-25 | 2009-08-19 | Murata Manufacturing Co | Elastic wave device |
JPWO2008078496A1 (ja) * | 2006-12-25 | 2010-04-22 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
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GB2457392B (en) * | 2006-12-25 | 2011-07-20 | Murata Manufacturing Co | Acoustic wave device |
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