JPH08335844A - 圧電共振部品及びその製造方法 - Google Patents
圧電共振部品及びその製造方法Info
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Abstract
電極の断線防止を図ることができる圧電共振部品及びそ
の製造方法を提供する。また、周波数変化を抑制しつ
つ、スプリアス特性の向上を図ることが可能な圧電フィ
ルタを提供する。 【構成】本発明に係る圧電共振部品は、主表面上に電極
パターンが形成された圧電基板1と、この圧電基板1の
両主表面上に接着剤層10を介して接合された外装基板
3とからなり、これら圧電基板1及び外装基板3の積層
側面4上に外部電極5が形成されたものであって、接着
剤層10は、ショアー硬さがD60以下の柔らかい接着
剤からなる第1層11と、ショアー硬さがD60を越え
る硬い接着剤からなる第2層12とを積層して形成され
たものであり、積層側面4上の外部電極5が形成される
部分には第2層12のみが露出していることを特徴とす
る。
Description
ミックフィルタなどのような圧電共振部品の構造と、そ
の製造方法とに関する。
のうちには、図8で示すように、振動部分を含む所要の
電極パターン(図示していない)が主表面上に形成され
た圧電基板1と、この圧電基板1の両主表面上に接着剤
層2を介して接合された一対の外装基板3とからなり、
圧電基板1及び外装基板3の積層側面4上を含む周囲に
沿っては所定幅の外部電極5を互いに離間させて形成し
たものがある。そして、このような圧電フィルタとして
は、ガラス・エポキシ系素材からなる外装基板3を用い
たうえ、硬化後におけるショアー硬さがD70ないし8
0程度となるエポキシ系樹脂などの硬い接着剤からなる
1層または2層構造の接着剤層2を設けたもの(以下、
第1従来例という)や、チタン酸マグネシウム系素材か
らなる外装基板3を用い、かつ、ショアー硬さがD30
程度となるエポキシ系樹脂などの柔らかい接着剤からな
る1層構造の接着剤層2を設けたもの(以下、第2従来
例という)が知られている。
造とされた圧電フィルタでは、電極パターンの振動部分
に対して接着剤層2中の空間部分、つまり、接着剤が塗
布されていない部分を対応させることによって振動空間
を確保するのが一般的となっている。また、第2従来例
構造の圧電フィルタでは、柔らかい接着剤からなる接着
剤層2のみによって振動空間を確保することが困難であ
るため、振動空間用の凹部(図示していない)を外装基
板3の所定位置に形成しておくことが行われている。
電フィルタは周知のリフロー半田付けを採用したうえで
配線基板上に実装されるのであるが、第1従来例構造の
圧電フィルタでは、リフロー後における周波数の経時変
化が大きく、また、湿中で保持した場合の周波数変化が
大きいという不都合が生じる。そして、このような不都
合が生じるのは、ガラス・エポキシ系素材からなる外装
基板3が水分の侵入によって膨張及び収縮し、このこと
に起因する応力が圧電基板1に対して加わるためである
と考えられている。
タでは、チタン酸マグネシウム系素材からなる外装基板
3の所定位置に対して振動空間用の凹部を予め形成して
おく必要があるため、外装基板3を用意するのに手間が
かかり、コスト上昇を招いてしまう。また、この圧電フ
ィルタにおいては、柔らかい接着剤のみを使用したうえ
で接着剤層2を形成するのであるから、外部電極5を断
線させないためには接着剤層2の厚みを薄くしておく必
要があるにも拘わらず、接着剤層2の厚みを薄くしたの
では接着剤層2によるダンピング効果が期待できなくな
る結果、大きなスプリアスが現れることになってしま
う。
れたものであり、振動空間を確保するための凹部を形成
しておく必要がなく、外部電極の断線防止を図ることが
できる圧電共振部品及びその製造方法の提供を目的とし
ている。また、特に、本発明の適用により、周波数変化
を抑制しつつ、スプリアス特性の向上を図ることが可能
な圧電フィルタの提供を目的とする。
品は、主表面上に電極パターンが形成された圧電基板
と、この圧電基板の両主表面上に接着剤層を介して接合
された外装基板とからなり、これら圧電基板及び外装基
板の積層側面上に外部電極が形成されたものであって、
接着剤層は、ショアー硬さがD60以下の柔らかい接着
剤からなる第1層と、ショアー硬さがD60を越える硬
い接着剤からなる第2層とを積層して形成されたもので
あり、積層側面上の外部電極が形成される部分には第2
層のみが露出していることを特徴とする。なお、この際
における外装基板側には接着剤層の第1層が配置され、
かつ、圧電基板側には第2層が配置されていることが実
用上好都合となる。
法は、電極パターンが形成された圧電基板の主表面上に
接合される外装基板それぞれの主表面上に柔らかい接着
剤からなる第1層を形成した後、この第1層上に硬い接
着剤からなる第2層を形成する工程を含んでいることを
特徴としている。
合する接着剤層の第1層を柔らかい接着剤でもって形成
し、かつ、その第2層を硬い接着剤でもって形成してい
るので、硬い接着剤からなる第2層によって振動空間を
確保するとともに、ダンピング効果を得ることが可能と
なる。また、この際、外装基板の膨張や収縮に伴って発
生した応力は柔らかい接着剤からなる第1層によって緩
和され、圧電基板に対しては加わらないことになるの
で、リフロー後や湿中保持状態下において周波数変化が
発生することも抑制し得ることになる。
する。
である圧電フィルタの全体構造を示す外観斜視図であ
り、図2はその分解斜視図である。なお、これらの図1
及び図2において、従来例を示す図8と互いに同一もし
くは相当する部品、部分には同一符号を付し、ここでの
詳しい説明は省略する。
様、振動部分9aを含む所要の電極パターン9が主表面
上に形成された平面視矩形状の圧電基板1と、この圧電
基板1の両主表面上に接着剤層10を介して接合された
一対の外装基板3とからなっており、これら圧電基板1
及び外装基板3の積層側面4上を含む周囲に沿っては所
定幅の外部電極5が互いに離間した状態として形成され
ている。なお、この際における圧電フィルタの両端部に
位置する外部電極5のそれぞれは電極パターン9の入出
力部と導通接続され、かつ、その中央部に位置する外部
電極5は電極パターン9の接地部と導通接続されたもの
であり、圧電基板1はPZTを用いて作製されたもので
ある。
板形状のガラス・エポキシ系素材やチタン酸マグネシウ
ム系素材などを用いて作製されたものであり、圧電基板
1及び外装基板3の主表面同士を接合する接着剤層10
は、硬化後のショアー硬さがD60以下となる接着剤、
例えば、D30程度となるエポキシ系樹脂などの柔らか
い接着剤を用いて形成された第1層11と、ショアー硬
さがD60を越える接着剤、例えば、D70ないし80
程度となるエポキシ系樹脂などの硬い接着剤を用いて形
成された第2層12とを積層したものとなっている。ま
た、この際の接着剤層10を構成する第1層11は外装
基板3側に配置される一方、第2層12は圧電基板1側
に配置されており、硬い接着剤からなる第2層12中に
は電極パターン9の振動部分9aと対向状に配置されて
振動空間となる空間部分12aが平面視円形状として設
けられている。
1中には、第2層12中の空間部分12aとほぼ等しい
大きさ及び形状の空間部分11aが空間部分12aと対
応して設けられており、積層された圧電基板1及び外装
基板3の積層側面4上に形成される外部電極5と対応す
る第1層11の所定位置ごとには平面視半円形状や1/
4円形状を有する切欠部分11bがそれぞれ設けられて
いる。なお、第2層12の空間部分12aのみでもって
振動空間を確保し得る場合には、第1層11中における
空間部分11aを設けておく必要はないことになる。そ
こで、接着剤層10を介して積層された圧電基板1及び
外装基板3の積層側面4上において外部電極5が形成さ
れる部分には第2層12のみが露出しており、第1層1
1は全く露出していないことになる。その結果、圧電フ
ィルタにおける外部電極5のそれぞれは、圧電基板1及
び外装基板3と、接着剤層10を構成する第2層12と
からなる積層側面5上に形成されていることになる。
は、つぎのような手順に従って構成されることになる。
すなわち、まず、外装基板3の主表面上に柔らかい接着
剤をスクリーン印刷などの手法でもって塗布し、かつ、
完全に硬化した第1層11上に硬い接着剤をスクリーン
印刷などの手法でもって塗布した後、外装基板3でもっ
て圧電基板1を挟み込んだうえで接着硬化させると、第
2層12が形成されたことになる。そして、引き続き、
乾式メッキといわれるスパッタリングや蒸着でもって圧
電基板1及び外装基板3の積層側面4上を含む周囲に沿
って外部電極5を形成すると、図1で示した構造を有す
る圧電フィルタが完成するのである。
に係る圧電フィルタと、従来例に係る圧電フィルタとの
特性試験を行ってみたところ、図3ないし図7のそれぞ
れで示すような試験結果が得られた。つまり、ここでの
図3はリフロー後における周波数の経時変化を示す特性
比較図、図4はリフロー後の湿中保持特性を示す特性比
較図であり、これらの図3,4においては、本実施例に
係る10個の圧電フィルタが示した特性を実線でもって
表す一方、第1従来例に係る圧電フィルタの示した特性
を破線でもって表している。なお、図3,4中の縦軸は
基本周波数の変化量(KHz)、横軸は経過時間(Hr
s)を示しており、湿中保持条件は温度が60℃で湿度
が95%とされている。そして、これらの特性比較図に
よれば、本実施例における周波数経時変化及び湿中保持
特性のいずれもが、従来例よりも大幅に向上することが
明らかとなっている。
の有するフィルタ特性を示すフィルタ特性図、図6は第
1従来例に係る圧電フィルタのフィルタ特性図、図7は
第2従来例に係る圧電フィルタのフィルタ特性図であ
り、これらの図5ないし図7における縦軸は減衰量(d
B)を示し、横軸は周波数(MHz)を示している。な
お、この特性試験においては、本実施例に係る圧電フィ
ルタの外装基板3がチタン酸マグネシウム系素材からな
り、接着剤層10を構成する第1層11が厚み50μm
でショアー硬さがD30の接着剤を用いて形成され、か
つ、第2層12が厚み50μmでショアー硬さがD80
の接着剤を用いて形成されたものであるのに対し、第1
従来例に係る圧電フィルタの外装基板3がチタン酸マグ
ネシウム系素材であり、その接着剤層2が厚み100μ
mでショアー硬さがD80の接着剤を用いて形成された
ものである一方、第2従来例に係る圧電フィルタの外装
基板3がチタン酸マグネシウム系素材であり、その接着
剤層2が厚み10μm程度でショアー硬さがD30の接
着剤を用いて形成されたものであるとしている。
比較してみると、本実施例に係る圧電フィルタでは46
dBの減衰量が得られているにも拘わらず、第1従来例
に係る圧電フィルタでは35dBの減衰量しか、また、
第2従来例に係る圧電フィルタでは39dBの減衰量し
か得られないことが明らかとなっており、本実施例に係
る圧電フィルタの有するフィルタ特性が従来例に比べて
大きく向上していることが分かる。ところで、本実施例
においては圧電共振部品が圧電フィルタであるとして説
明したが、本発明の適用範囲が圧電フィルタのみに限定
されることはなく、セラミック発振子などのような他の
圧電共振部品に対しても本発明の適用が可能であること
は勿論である。
共振部品によれば、圧電基板と外装基板との間に介装さ
れて両基板を接合する接着剤層の第1層を柔らかい接着
剤でもって形成し、かつ、その第2層を硬い接着剤でも
って形成しているので、硬い接着剤からなる第2層によ
って振動空間を確保するとともに、ダンピング効果を得
ることが可能となる。したがって、振動空間を確保する
ための凹部を形成しておく必要がなくなるとともに、外
部電極の有効な断線防止を図ることができることにな
る。そして、この際、外装基板側に接着剤層の第1層を
配置し、かつ、圧電基板側に第2層を配置しておけば、
工程手順の合理化を実現することができるという実用上
の利点が得られる。
ば、外装基板の膨張や収縮に伴って発生した応力は柔ら
かい接着剤からなる第1層によって緩和されることにな
り、圧電基板に対して応力が加わらないので、リフロー
後や湿中保持状態下において周波数変化が発生すること
も起こらず、スプリアス特性の向上を図ることができる
という効果が得られる。
外観斜視図である。
性比較図である。
ある。
特性を示すフィルタ特性図である。
タ特性を示すフィルタ特性図である。
タ特性を示すフィルタ特性図である。
観斜視図である。
Claims (3)
- 【請求項1】主表面上に電極パターンが形成された圧電
基板と、この圧電基板の両主表面上に接着剤層を介して
接合された外装基板とからなり、これら圧電基板及び外
装基板の積層側面上に外部電極が形成されてなる圧電共
振部品であって、 接着剤層は、ショアー硬さがD60以下の柔らかい接着
剤からなる第1層と、ショアー硬さがD60を越える硬
い接着剤からなる第2層とを積層して形成されたもので
あり、積層側面上の外部電極が形成される部分には第2
層のみが露出していることを特徴とする圧電共振部品。 - 【請求項2】外装基板側には接着剤層の第1層が配置さ
れ、かつ、圧電基板側には第2層が配置されていること
を特徴とする請求項1記載の圧電共振部品。 - 【請求項3】電極パターンが形成された圧電基板の主表
面上に接合される外装基板それぞれの主表面上に柔らか
い接着剤からなる第1層を形成した後、この第1層上に
硬い接着剤からなる第2層を形成する工程を含んでいる
ことを特徴とする圧電共振部品の製造方法。
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