JPH07226644A - エネルギー閉じ込め型圧電共振子 - Google Patents
エネルギー閉じ込め型圧電共振子Info
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- JPH07226644A JPH07226644A JP6019648A JP1964894A JPH07226644A JP H07226644 A JPH07226644 A JP H07226644A JP 6019648 A JP6019648 A JP 6019648A JP 1964894 A JP1964894 A JP 1964894A JP H07226644 A JPH07226644 A JP H07226644A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1035—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by two sealing substrates sandwiching the piezoelectric layer of the BAW device
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J11/00—Features of adhesives not provided for in group C09J9/00, e.g. additives
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- Organic Chemistry (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 接着剤層の厚みにより圧電共振素子の共振部
の振動を妨げないための空間を高精度に形成し得る構造
を備えたエネルギー閉じ込め型圧電共振子を提供する。 【構成】 圧電板16の両主面に第1,第2の共振電極
を形成してなるすべりモードを利用したエネルギー閉じ
込め型圧電共振素子12の両主面に、共振部の振動を妨
げないように接着剤層15a,15cを介して第1,第
2の保持板13,14を接着し、圧電板16を第1,第
2の保持板13,14で補強してなり、かつ接着剤層1
5a,15cに粒状固体20が含有されているエネルギ
ー閉じ込め型圧電共振子。
の振動を妨げないための空間を高精度に形成し得る構造
を備えたエネルギー閉じ込め型圧電共振子を提供する。 【構成】 圧電板16の両主面に第1,第2の共振電極
を形成してなるすべりモードを利用したエネルギー閉じ
込め型圧電共振素子12の両主面に、共振部の振動を妨
げないように接着剤層15a,15cを介して第1,第
2の保持板13,14を接着し、圧電板16を第1,第
2の保持板13,14で補強してなり、かつ接着剤層1
5a,15cに粒状固体20が含有されているエネルギ
ー閉じ込め型圧電共振子。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電共振素子及びその
保持構造が改良されたエネルギー閉じ込め型圧電共振子
に関する。
保持構造が改良されたエネルギー閉じ込め型圧電共振子
に関する。
【0002】
【従来の技術】図1は、従来のエネルギー閉じ込め型圧
電共振素子の一例を示す斜視図である。圧電共振素子1
は、矢印P方向に分極処理された矩形の圧電板2を用い
て構成されている。圧電板2の両主面には、第1,第2
の共振電極3,4が圧電板2の中央領域で表裏対向する
ように形成されている。第1の共振電極3は、圧電板2
の上面において中央領域から圧電板2の一端まで延ばさ
れている。また、第2の共振電極4は、圧電板2の下面
において中央領域から圧電板2の他端まで延ばされてい
る。
電共振素子の一例を示す斜視図である。圧電共振素子1
は、矢印P方向に分極処理された矩形の圧電板2を用い
て構成されている。圧電板2の両主面には、第1,第2
の共振電極3,4が圧電板2の中央領域で表裏対向する
ように形成されている。第1の共振電極3は、圧電板2
の上面において中央領域から圧電板2の一端まで延ばさ
れている。また、第2の共振電極4は、圧電板2の下面
において中央領域から圧電板2の他端まで延ばされてい
る。
【0003】圧電共振素子1では、第1,第2の共振電
極3,4が重なり合っている部分がエネルギー閉じ込め
型の共振部を構成している。第1,第2の共振電極3,
4から交流電圧を印加することにより上記共振部がすべ
りモードで励振され、該共振部に振動エネルギーが閉じ
込められる。
極3,4が重なり合っている部分がエネルギー閉じ込め
型の共振部を構成している。第1,第2の共振電極3,
4から交流電圧を印加することにより上記共振部がすべ
りモードで励振され、該共振部に振動エネルギーが閉じ
込められる。
【0004】上記のような圧電共振素子1を用いたチッ
プ型電子部品として、図2に示すように、圧電共振素子
1の上下に保護基板5,6を接着剤を用いて貼り合わせ
た構造が知られている。保護基板5,6は、側面からみ
た場合に略コの字状の形状を有し、凹部5a,6aによ
り、共振部の振動を妨げないための空間が確保されてい
る。
プ型電子部品として、図2に示すように、圧電共振素子
1の上下に保護基板5,6を接着剤を用いて貼り合わせ
た構造が知られている。保護基板5,6は、側面からみ
た場合に略コの字状の形状を有し、凹部5a,6aによ
り、共振部の振動を妨げないための空間が確保されてい
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】図2に示した構造で
は、圧電共振素子1の振動部の振動を妨げないための空
間を確保するために、凹部5a,6aを有する保護基板
5,6を用意しなければならなかった。すなわち、平板
状の保護基板ではなく、凹部5a,6aが形成された保
護基板5,6を用意しなければならなかった。従って、
保護基板5,6のコストが高くつき、かつ成形等の加工
が煩雑であった。
は、圧電共振素子1の振動部の振動を妨げないための空
間を確保するために、凹部5a,6aを有する保護基板
5,6を用意しなければならなかった。すなわち、平板
状の保護基板ではなく、凹部5a,6aが形成された保
護基板5,6を用意しなければならなかった。従って、
保護基板5,6のコストが高くつき、かつ成形等の加工
が煩雑であった。
【0006】他方、圧電共振素子1の上下に振動部分の
振動を妨げない厚みに接着剤を塗布し、平板状の保護基
板を貼り合わせた構造も考えられる。しかしながら、共
振部の振動を妨げないための空間を接着剤により確実に
形成することは非常に困難であった。例えば、圧電共振
素子1の上面及び下面において振動部分を除いて接着剤
を塗布し、平板状の保護基板を貼り合わせる際には、あ
る程度の圧力を加える必要がある。この圧力により接着
剤が共振部方向に流れ出したり、あるいは接着剤が側面
に流れ出したりすることにより、接着剤層の厚みが薄く
なり過ぎることがあった。
振動を妨げない厚みに接着剤を塗布し、平板状の保護基
板を貼り合わせた構造も考えられる。しかしながら、共
振部の振動を妨げないための空間を接着剤により確実に
形成することは非常に困難であった。例えば、圧電共振
素子1の上面及び下面において振動部分を除いて接着剤
を塗布し、平板状の保護基板を貼り合わせる際には、あ
る程度の圧力を加える必要がある。この圧力により接着
剤が共振部方向に流れ出したり、あるいは接着剤が側面
に流れ出したりすることにより、接着剤層の厚みが薄く
なり過ぎることがあった。
【0007】そこで、2液型のエポキシ接着剤などを用
い、一旦接着剤を仮硬化させて接着剤層の厚みを確保し
た後に、平板状の保護基板を貼り合わせる方法も考えら
れている。しかしながら、接着剤を一度仮硬化させる必
要があるので、接着作業に長時間を要し、かつそのよう
な方法を採用したとしても、接着剤層の厚みを高精度に
制御することは非常に困難であった。
い、一旦接着剤を仮硬化させて接着剤層の厚みを確保し
た後に、平板状の保護基板を貼り合わせる方法も考えら
れている。しかしながら、接着剤を一度仮硬化させる必
要があるので、接着作業に長時間を要し、かつそのよう
な方法を採用したとしても、接着剤層の厚みを高精度に
制御することは非常に困難であった。
【0008】本発明の目的は、エネルギー閉じ込め型圧
電共振素子の振動部分の振動を妨げないための空間を接
着剤層により確実に形成することが可能とされた構造を
備える安価な圧電共振子を提供することにある。
電共振素子の振動部分の振動を妨げないための空間を接
着剤層により確実に形成することが可能とされた構造を
備える安価な圧電共振子を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、共振部の振動
エネルギーが部分的に閉じ込められるエネルギー閉じ込
め型圧電共振素子と、前記圧電共振素子の両主面から前
記圧電共振素子を挟持するように配置された第1,第2
の保持板と、前記共振部の振動を妨げないように、かつ
前記圧電共振素子と第1,第2の保持板とを一体化する
ように、前記共振部外の領域で圧電共振素子と第1,第
2の保持板とを接着している接着剤層とを備え、前記接
着剤層に粒状固体が含有されていることを特徴とする、
エネルギー閉じ込め型圧電共振子である。
エネルギーが部分的に閉じ込められるエネルギー閉じ込
め型圧電共振素子と、前記圧電共振素子の両主面から前
記圧電共振素子を挟持するように配置された第1,第2
の保持板と、前記共振部の振動を妨げないように、かつ
前記圧電共振素子と第1,第2の保持板とを一体化する
ように、前記共振部外の領域で圧電共振素子と第1,第
2の保持板とを接着している接着剤層とを備え、前記接
着剤層に粒状固体が含有されていることを特徴とする、
エネルギー閉じ込め型圧電共振子である。
【0010】本発明において接着剤層に含有されている
上記粒状固体としては、金属粉やセラミック粉などの適
宜の材料を用いることができ、特に限定されるものでは
ない。もっとも、粒状固体を含有させることにより接着
剤層の厚みを確保するためには、上記粒状固体の粒径は
3〜10μm程度とすることが望ましい。
上記粒状固体としては、金属粉やセラミック粉などの適
宜の材料を用いることができ、特に限定されるものでは
ない。もっとも、粒状固体を含有させることにより接着
剤層の厚みを確保するためには、上記粒状固体の粒径は
3〜10μm程度とすることが望ましい。
【0011】また、本発明において上記粒状固体を含有
させる接着剤層を構成する接着剤としても任意のものを
用いることができ、特に限定されるものではないが、例
えばエポキシ樹脂系接着剤やシリコーン系接着剤を用い
ることができ、好ましくは、1液型の接着剤を用いるこ
とにより加工工程を簡略化することができる。
させる接着剤層を構成する接着剤としても任意のものを
用いることができ、特に限定されるものではないが、例
えばエポキシ樹脂系接着剤やシリコーン系接着剤を用い
ることができ、好ましくは、1液型の接着剤を用いるこ
とにより加工工程を簡略化することができる。
【0012】また、本発明において用いられるエネルギ
ー閉じ込め型の圧電共振素子としては、前述した厚みす
べりモードを利用したものに限らず、厚み縦振動モード
を利用したものなども用いることができ、特に限定され
るものではない。
ー閉じ込め型の圧電共振素子としては、前述した厚みす
べりモードを利用したものに限らず、厚み縦振動モード
を利用したものなども用いることができ、特に限定され
るものではない。
【0013】
【作用】本発明のエネルギー閉じ込め型圧電共振子で
は、圧電共振素子と第1,第2の保持板との間に振動部
分の振動を妨げないための空間が上記接着剤層により構
成されている。従って、第1,第2の保持板として凹部
を有しない平板状の保持板を用いることができ、保持板
を用意するためのコスト及び工程を簡略化することがで
きる。
は、圧電共振素子と第1,第2の保持板との間に振動部
分の振動を妨げないための空間が上記接着剤層により構
成されている。従って、第1,第2の保持板として凹部
を有しない平板状の保持板を用いることができ、保持板
を用意するためのコスト及び工程を簡略化することがで
きる。
【0014】また、接着に際し接着部分を加圧したとし
ても、接着剤層の厚みは、粒状固体により目的とする厚
みに確保され得る。従って、共振部の振動を妨げないた
めの空間を接着剤層により高精度に構成することができ
る。
ても、接着剤層の厚みは、粒状固体により目的とする厚
みに確保され得る。従って、共振部の振動を妨げないた
めの空間を接着剤層により高精度に構成することができ
る。
【0015】
【実施例の説明】以下、本発明の非限定的な実施例を説
明することにより、本発明を明らかにする。
明することにより、本発明を明らかにする。
【0016】図3は、本発明の実施例に係るエネルギー
閉じ込め型圧電共振子を示す斜視図であり、図4はその
要部を示す分解斜視図である。エネルギー閉じ込め型圧
電共振子11は、圧電共振素子12の両主面に第1,第
2の保持板13,14を接着剤層15a〜15dにより
接着した構造を有する。
閉じ込め型圧電共振子を示す斜視図であり、図4はその
要部を示す分解斜視図である。エネルギー閉じ込め型圧
電共振子11は、圧電共振素子12の両主面に第1,第
2の保持板13,14を接着剤層15a〜15dにより
接着した構造を有する。
【0017】図4に示すように、圧電共振素子12は、
圧電セラミックスなどの圧電材料よりなる矩形の圧電板
16を有する。圧電板16は、矢印P方向に、すなわち
主面と平行な方向に分極処理されている。また、圧電板
16の両主面には、第1,第2の共振電極17,18が
形成されている。第1の共振電極17は、圧電板16の
上面において、一方端から中央領域に延びるように形成
されている。第2の共振電極18は、圧電板16の下面
において圧電板16の他端から中央領域に延びるように
形成されている。なお、19a,19bは引き出し電極
を示す。
圧電セラミックスなどの圧電材料よりなる矩形の圧電板
16を有する。圧電板16は、矢印P方向に、すなわち
主面と平行な方向に分極処理されている。また、圧電板
16の両主面には、第1,第2の共振電極17,18が
形成されている。第1の共振電極17は、圧電板16の
上面において、一方端から中央領域に延びるように形成
されている。第2の共振電極18は、圧電板16の下面
において圧電板16の他端から中央領域に延びるように
形成されている。なお、19a,19bは引き出し電極
を示す。
【0018】第1,第2の共振電極17,18は、圧電
板16の中央領域で圧電板16を介して対向するように
配置されており、共振電極17,18が対向している部
分がエネルギー閉じ込め型共振部を構成している。すな
わち、共振電極17,18から交流電圧を印加すること
により、共振部がすべりモードで励振され、共振エネル
ギーが該共振部に閉じ込められる。
板16の中央領域で圧電板16を介して対向するように
配置されており、共振電極17,18が対向している部
分がエネルギー閉じ込め型共振部を構成している。すな
わち、共振電極17,18から交流電圧を印加すること
により、共振部がすべりモードで励振され、共振エネル
ギーが該共振部に閉じ込められる。
【0019】圧電共振素子12の共振周波数は、圧電板
16の厚み、幅寸法及び長さ寸法に影響される。一般に
は、圧電板16の厚み寸法を小さくすることにより、共
振周波数を高めることができる。
16の厚み、幅寸法及び長さ寸法に影響される。一般に
は、圧電板16の厚み寸法を小さくすることにより、共
振周波数を高めることができる。
【0020】図4を参照して、圧電共振素子12の上方
及び下方から、第1,第2の保持板13,14が圧電板
16に接着される。保持板13,14は、圧電共振素子
12を補強するために設けられている。従って、補強効
果が得られる限り、適宜の材料から構成することがで
き、例えば誘電体セラミックス、圧電セラミックス、ガ
ラスエポキシ複合材料、合成樹脂などの材料から構成す
ることができる。
及び下方から、第1,第2の保持板13,14が圧電板
16に接着される。保持板13,14は、圧電共振素子
12を補強するために設けられている。従って、補強効
果が得られる限り、適宜の材料から構成することがで
き、例えば誘電体セラミックス、圧電セラミックス、ガ
ラスエポキシ複合材料、合成樹脂などの材料から構成す
ることができる。
【0021】もっとも、保持板13,14は接着剤層1
5a〜15dにより圧電共振素子12と一体化されるた
め、圧電板16を構成している材料と熱膨張係数が近い
材料で保持板13,14を構成することが望ましい。
5a〜15dにより圧電共振素子12と一体化されるた
め、圧電板16を構成している材料と熱膨張係数が近い
材料で保持板13,14を構成することが望ましい。
【0022】本実施例の圧電共振子11の特徴は、接着
剤層15a〜15dにより圧電共振素子12の共振部の
振動を妨げないための空間が確保されており、かつ該空
間を確実に確保するために、接着剤層15a〜15dに
粒状固体が含有されていることにある。すなわち、図5
に部分拡大断面図で示すように、接着剤層15a,15
cには、粒状固体20が含有されている。粒状固体20
としては、セラミック粉末や金属粉末あるいは合成樹脂
粉末等の適宜の材料からなるものが用いられる。粒状固
体20が含有されているため、接着に際し、保持基板1
3,14を圧電共振素子12側に貼り合わせた状態で圧
力を加えたとしても、接着剤層15a,15cの厚みが
振動空間を確保するのに充分な厚みに確保され得る。
剤層15a〜15dにより圧電共振素子12の共振部の
振動を妨げないための空間が確保されており、かつ該空
間を確実に確保するために、接着剤層15a〜15dに
粒状固体が含有されていることにある。すなわち、図5
に部分拡大断面図で示すように、接着剤層15a,15
cには、粒状固体20が含有されている。粒状固体20
としては、セラミック粉末や金属粉末あるいは合成樹脂
粉末等の適宜の材料からなるものが用いられる。粒状固
体20が含有されているため、接着に際し、保持基板1
3,14を圧電共振素子12側に貼り合わせた状態で圧
力を加えたとしても、接着剤層15a,15cの厚みが
振動空間を確保するのに充分な厚みに確保され得る。
【0023】よって、圧電共振子12の共振部の振動を
妨げないための空間を接着剤層15a〜15dにより確
実にかつ高精度に形成することが可能である。また、本
実施例の圧電共振子11では、圧電共振素子12が、接
着剤層15a〜15dにより保持基板13,14と一体
化されて補強されている。従って、圧電共振素子12に
用いられている圧電板16の厚みを薄くすることがで
き、高周波化に対応が容易である。よって、圧電板16
の長さ寸法を一定としたまま、より高周波用途で用い得
る圧電共振子11を構成することができる。
妨げないための空間を接着剤層15a〜15dにより確
実にかつ高精度に形成することが可能である。また、本
実施例の圧電共振子11では、圧電共振素子12が、接
着剤層15a〜15dにより保持基板13,14と一体
化されて補強されている。従って、圧電共振素子12に
用いられている圧電板16の厚みを薄くすることがで
き、高周波化に対応が容易である。よって、圧電板16
の長さ寸法を一定としたまま、より高周波用途で用い得
る圧電共振子11を構成することができる。
【0024】なお、上記接着剤層15a〜15dを構成
するための接着剤としては、エポキシ系接着剤やシリコ
ン系接着剤などの適宜の接着剤を用いることができる。
加えて、本実施例の圧電共振子11では、上記保持板1
3,14は、単に平板状の部材で構成されている。従っ
て、保持板13,14についても、煩雑な機械加工を実
施することなく、かつ複雑な成形型を用意することなく
得ることができる。例えば、共振部の振動空間を確保す
るために、図2に示した保護基板5,6を成形により得
る場合には、凹部5a,6aに応じた寸法の凸部を有す
る金型を用意しなければならない。ところが、必要とさ
れる振動空間の寸法は周波数によって様々である。従っ
て、様々な周波数の圧電共振子を得ようとした場合、種
々の寸法の凹部5a,6aを形成するために多種多様な
金型が必要である。
するための接着剤としては、エポキシ系接着剤やシリコ
ン系接着剤などの適宜の接着剤を用いることができる。
加えて、本実施例の圧電共振子11では、上記保持板1
3,14は、単に平板状の部材で構成されている。従っ
て、保持板13,14についても、煩雑な機械加工を実
施することなく、かつ複雑な成形型を用意することなく
得ることができる。例えば、共振部の振動空間を確保す
るために、図2に示した保護基板5,6を成形により得
る場合には、凹部5a,6aに応じた寸法の凸部を有す
る金型を用意しなければならない。ところが、必要とさ
れる振動空間の寸法は周波数によって様々である。従っ
て、様々な周波数の圧電共振子を得ようとした場合、種
々の寸法の凹部5a,6aを形成するために多種多様な
金型が必要である。
【0025】これに対して、第1,第2の保持板13,
14では、上述のような凹部の形成が必要でないため、
成形法により安価にかつ効率よく保持板13,14を得
ることができる。しかも、図4に示した接着剤層の長さ
Xを変更するだけで、共振部周囲の振動空間を確実に確
保することができる。すなわち、種々の周波数の圧電共
振素子12を用いる場合、振動空間の寸法が上述のよう
に異なるが、本実施例では、接着剤層15a〜15dの
長さ寸法Xを変更するだけで、共振部の振動を妨げない
ための振動空間を確実に構成することができる。
14では、上述のような凹部の形成が必要でないため、
成形法により安価にかつ効率よく保持板13,14を得
ることができる。しかも、図4に示した接着剤層の長さ
Xを変更するだけで、共振部周囲の振動空間を確実に確
保することができる。すなわち、種々の周波数の圧電共
振素子12を用いる場合、振動空間の寸法が上述のよう
に異なるが、本実施例では、接着剤層15a〜15dの
長さ寸法Xを変更するだけで、共振部の振動を妨げない
ための振動空間を確実に構成することができる。
【0026】本実施例のエネルギー閉じ込め型圧電共振
子11は、図3に示した構造のまま用いることも可能で
あるが、カップ型金属端子と組み合わせ、外装樹脂によ
り外装を施すことによりリード端子付きの部品として構
成され得る。すなわち、図6に示すように、圧電共振子
11の両側にカップ型金属端子21,22を配置する。
子11は、図3に示した構造のまま用いることも可能で
あるが、カップ型金属端子と組み合わせ、外装樹脂によ
り外装を施すことによりリード端子付きの部品として構
成され得る。すなわち、図6に示すように、圧電共振子
11の両側にカップ型金属端子21,22を配置する。
【0027】図6に示すように、カップ型金属端子2
1,22のカップ部21a,22a間にエネルギー閉じ
込め型圧電共振子11を配置し、引き出し電極19a,
19bを、それぞれ、カップ部21a,22aとはんだ
付けすることにより、圧電共振子11をカップ型金属端
子21,22と接合することができる。しかる後、共振
部の周囲にワックスを塗布し、さらに金属端子21,2
2の引き出し端子部21b,22bを除く残りの部分を
熱硬化性樹脂で被覆し、加熱硬化させることにより樹脂
外装を形成することができ、かつ上記ワックスを飛散さ
せて共振部の周囲に振動空間を確保することができる。
1,22のカップ部21a,22a間にエネルギー閉じ
込め型圧電共振子11を配置し、引き出し電極19a,
19bを、それぞれ、カップ部21a,22aとはんだ
付けすることにより、圧電共振子11をカップ型金属端
子21,22と接合することができる。しかる後、共振
部の周囲にワックスを塗布し、さらに金属端子21,2
2の引き出し端子部21b,22bを除く残りの部分を
熱硬化性樹脂で被覆し、加熱硬化させることにより樹脂
外装を形成することができ、かつ上記ワックスを飛散さ
せて共振部の周囲に振動空間を確保することができる。
【0028】また、図7に示すように、円筒状の絶縁筒
30の一方端に金属キャップ31を固定し、絶縁筒30
内に図3に示したエネルギー閉じ込め型圧電共振子11
を挿入し、絶縁筒30の他方端に金属キャップ31と同
様の金属キャップを固定し、それによってチップ型の圧
電共振子として構成することも可能である。この場合、
金属キャップ31及び絶縁筒30の他方端側に固定され
る金属キャップが、上述した引き出し電極19a,19
bに、それぞれ、導電性接着剤やはんだ付けにより電気
的に接続される。
30の一方端に金属キャップ31を固定し、絶縁筒30
内に図3に示したエネルギー閉じ込め型圧電共振子11
を挿入し、絶縁筒30の他方端に金属キャップ31と同
様の金属キャップを固定し、それによってチップ型の圧
電共振子として構成することも可能である。この場合、
金属キャップ31及び絶縁筒30の他方端側に固定され
る金属キャップが、上述した引き出し電極19a,19
bに、それぞれ、導電性接着剤やはんだ付けにより電気
的に接続される。
【0029】このようなチップ型圧電共振子に用いる場
合にも、上記圧電共振子11における圧電板16の長さ
寸法を標準化し得るため、用意する絶縁筒30や金属キ
ャップ31の寸法を標準化することができる。
合にも、上記圧電共振子11における圧電板16の長さ
寸法を標準化し得るため、用意する絶縁筒30や金属キ
ャップ31の寸法を標準化することができる。
【0030】図8は、図3に示した実施例のエネルギー
閉じ込め型圧電共振子11の変形例を示す斜視図であ
る。図8に示したエネルギー閉じ込め型圧電共振子41
では、保持板14の側面に容量取り出しのための電極4
2が形成されている。従って、電極42と、両側の引き
出し電極19a,19bとの間にコンデンサが構成さ
れ、引き出し電極19a,19bと電極42とを外部と
の接続端とする3端子型の容量内蔵型圧電発振子を構成
することができる。その他の点については、上述の実施
例と同様であるため、同一の部分については同一の参照
番号を付することにより説明は省略する。
閉じ込め型圧電共振子11の変形例を示す斜視図であ
る。図8に示したエネルギー閉じ込め型圧電共振子41
では、保持板14の側面に容量取り出しのための電極4
2が形成されている。従って、電極42と、両側の引き
出し電極19a,19bとの間にコンデンサが構成さ
れ、引き出し電極19a,19bと電極42とを外部と
の接続端とする3端子型の容量内蔵型圧電発振子を構成
することができる。その他の点については、上述の実施
例と同様であるため、同一の部分については同一の参照
番号を付することにより説明は省略する。
【0031】さらに、図9に示す圧電共振子51のよう
に、引き出し電極19a,19bが形成されている側と
は反対側の側面にも、引き出し電極52a、52bを引
き出し電極19a,19bと同様にして形成した構造で
あってもよい。
に、引き出し電極19a,19bが形成されている側と
は反対側の側面にも、引き出し電極52a、52bを引
き出し電極19a,19bと同様にして形成した構造で
あってもよい。
【0032】図9のエネルギー閉じ込め型圧電共振子5
1では、引き出し電極が、両端において両側面に形成さ
れている。従って、図6に示したカップ型金属端子2
1,22を用いてリード付きの圧電発振子を構成する場
合、金属端子の接合強度を高めることができる。
1では、引き出し電極が、両端において両側面に形成さ
れている。従って、図6に示したカップ型金属端子2
1,22を用いてリード付きの圧電発振子を構成する場
合、金属端子の接合強度を高めることができる。
【0033】図8及び図9に示したエネルギー閉じ込め
型圧電共振子41,51においても、実施例の圧電共振
子11と同様に、接着剤層15a〜15dに粒状固体が
含有されているため、共振部の振動を妨げないための空
間を確実に形成することができる。
型圧電共振子41,51においても、実施例の圧電共振
子11と同様に、接着剤層15a〜15dに粒状固体が
含有されているため、共振部の振動を妨げないための空
間を確実に形成することができる。
【0034】
【発明の効果】本発明では、圧電共振素子と第1,第2
の保持板とを接着している接着剤層に粒状固体が含有さ
れているため、接着に際し保持板を圧電共振素子側に加
圧したとしても、接着剤層の厚みが粒状固体により充分
な寸法に確保され得る。従って、圧電共振素子の共振部
の振動を妨げないための空間を接着剤層の厚みにより確
実に形成することができる。
の保持板とを接着している接着剤層に粒状固体が含有さ
れているため、接着に際し保持板を圧電共振素子側に加
圧したとしても、接着剤層の厚みが粒状固体により充分
な寸法に確保され得る。従って、圧電共振素子の共振部
の振動を妨げないための空間を接着剤層の厚みにより確
実に形成することができる。
【0035】加えて、圧電共振素子が第1,第2の保持
板により接着剤層により接着されて補強されているた
め、圧電板の厚みを従来例より薄くすることができ、機
械的強度を低下させることなく、より高周波用途に用い
ることが可能な圧電共振子を提供することができる。
板により接着剤層により接着されて補強されているた
め、圧電板の厚みを従来例より薄くすることができ、機
械的強度を低下させることなく、より高周波用途に用い
ることが可能な圧電共振子を提供することができる。
【0036】さらに、接着剤層により共振部の周囲の振
動空間を確保するものであるため、接着剤層の塗布領域
を変更するだけで、様々な周波数で用いる圧電共振子に
適切な振動空間を形成することも可能である。
動空間を確保するものであるため、接着剤層の塗布領域
を変更するだけで、様々な周波数で用いる圧電共振子に
適切な振動空間を形成することも可能である。
【図1】圧電共振素子を示す斜視図。
【図2】図1の圧電共振素子に用いられた従来の圧電共
振子を示す斜視図。
振子を示す斜視図。
【図3】本発明の実施例のエネルギー閉じ込め型圧電共
振子を示す斜視図。
振子を示す斜視図。
【図4】図3に示したエネルギー閉じ込め型圧電共振子
の要部を示す分解斜視図。
の要部を示す分解斜視図。
【図5】実施例の圧電共振子の要部を説明するための部
分拡大断面図。
分拡大断面図。
【図6】実施例の圧電共振子を用いて構成されたリード
端子付き圧電共振子を示す斜視図。
端子付き圧電共振子を示す斜視図。
【図7】実施例の圧電共振子を用いてチップ型部品を構
成するための絶縁筒及び金属キャップを示す斜視図。
成するための絶縁筒及び金属キャップを示す斜視図。
【図8】変形例のエネルギー閉じ込め型圧電共振子を示
す斜視図。
す斜視図。
【図9】さらに他の変形例のエネルギー閉じ込め型圧電
共振子を示す斜視図。
共振子を示す斜視図。
11…エネルギー閉じ込め型圧電共振子 12…圧電共振素子 13,14…第1,第2の保持板 15a〜15d…接着剤層 16…圧電板 17,18…第1,第2の共振電極 20…粒状固体 41…エネルギー閉じ込め型圧電共振子 51…エネルギー閉じ込め型圧電共振子
Claims (1)
- 【請求項1】 共振部の振動エネルギーが部分的に閉じ
込められるエネルギー閉じ込め型圧電共振素子と、 前記圧電共振素子の両主面から前記圧電共振素子を挟持
するように配置された第1,第2の保持板と、 前記共振部の振動を妨げないように、かつ前記圧電共振
素子と第1,第2の保持板とを一体化するように、前記
共振部外の領域で圧電共振素子と第1,第2の保持板と
を接着している接着剤層とを備え、 前記接着剤層に粒状固体が含有されていることを特徴と
する、エネルギー閉じ込め型圧電共振子。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6019648A JPH07226644A (ja) | 1994-02-16 | 1994-02-16 | エネルギー閉じ込め型圧電共振子 |
US08/387,200 US5532542A (en) | 1994-02-16 | 1995-02-13 | Energy-trap chip-type piezoelectric resonance component |
KR1019950002949A KR100231201B1 (ko) | 1994-02-16 | 1995-02-16 | 에너지-트랩 칩형 압전공진 부품 |
CN95102938A CN1065664C (zh) | 1994-02-16 | 1995-02-16 | 能阱芯片型压电谐振组件 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6019648A JPH07226644A (ja) | 1994-02-16 | 1994-02-16 | エネルギー閉じ込め型圧電共振子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07226644A true JPH07226644A (ja) | 1995-08-22 |
Family
ID=12005068
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6019648A Pending JPH07226644A (ja) | 1994-02-16 | 1994-02-16 | エネルギー閉じ込め型圧電共振子 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5532542A (ja) |
JP (1) | JPH07226644A (ja) |
KR (1) | KR100231201B1 (ja) |
CN (1) | CN1065664C (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014150452A (ja) * | 2013-02-01 | 2014-08-21 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 圧電デバイス |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3186510B2 (ja) * | 1995-06-09 | 2001-07-11 | 株式会社村田製作所 | 圧電共振部品及びその製造方法 |
US6043588A (en) * | 1995-07-18 | 2000-03-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric sensor and acceleration sensor |
US5887480A (en) * | 1996-06-20 | 1999-03-30 | Tokin Corporation | Piezoelectric vibratory gyroscope utilizing an energy-trapping vibration mode |
JPH10308643A (ja) * | 1997-05-07 | 1998-11-17 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品 |
JPH11150153A (ja) * | 1997-11-18 | 1999-06-02 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品 |
JPH11234071A (ja) * | 1998-02-16 | 1999-08-27 | Murata Mfg Co Ltd | チップ状電子部品の製造方法 |
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US7143144B2 (en) * | 1999-11-30 | 2006-11-28 | Ricoh Company, Ltd. | System, method and computer readable medium for certifying release of electronic information on an internet |
JP3446705B2 (ja) * | 2000-01-20 | 2003-09-16 | 株式会社村田製作所 | 圧電共振子 |
JP2006050592A (ja) * | 2004-07-06 | 2006-02-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電共振器及びその製造方法 |
CN114257928A (zh) * | 2020-09-23 | 2022-03-29 | 北京小米移动软件有限公司 | 混合胶和电子设备 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5478694A (en) * | 1977-12-05 | 1979-06-22 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Crystal vibrator |
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JPS62166608A (ja) * | 1986-01-17 | 1987-07-23 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子 |
JPS6318800A (ja) * | 1986-07-09 | 1988-01-26 | Nec Corp | 水中超音波トランスジユ−サ |
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US5218259A (en) * | 1992-02-18 | 1993-06-08 | Caterpillar Inc. | Coating surrounding a piezoelectric solid state motor stack |
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-
1994
- 1994-02-16 JP JP6019648A patent/JPH07226644A/ja active Pending
-
1995
- 1995-02-13 US US08/387,200 patent/US5532542A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-02-16 KR KR1019950002949A patent/KR100231201B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1995-02-16 CN CN95102938A patent/CN1065664C/zh not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014150452A (ja) * | 2013-02-01 | 2014-08-21 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 圧電デバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5532542A (en) | 1996-07-02 |
CN1065664C (zh) | 2001-05-09 |
CN1111404A (zh) | 1995-11-08 |
KR100231201B1 (ko) | 1999-11-15 |
KR950034872A (ko) | 1995-12-28 |
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