JPH08320360A - Icテスタのタイミング発生器 - Google Patents
Icテスタのタイミング発生器Info
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Abstract
対して安定にする。 【構成】 粗タイミング発生手段13より出力されたパ
ルスは振り分け手段17で波形生成制御回路18によっ
てセット側遅延手段26sとリセット側遅延手段26r
とに振り分けられる。メモリ11からの設定データ中の
T以下のデータとセット側のスキュー吸収データおよび
リセット側のスキュー吸収データとをそれぞれ加算した
データDr、Dsが、遅延手段26s、26rに遅延制
御信号として供給される。Ds中のT以上の値によって
論理遅延手段27sが0または1Tまたは2Tのいずれ
かに遅延されたパルスが、精遅延手段28sに供給さ
れ、Ds中のT以下の値だけ遅延される。同様にしてリ
セット側のパルスはDrによってT以上が論理遅延さ
れ、T以下が精遅延手段28rにより遅延される。精遅
延手段28s、28rの出力によってフリップフロップ
25がセット、リセットされて波形生成出力が得られ
る。
Description
試験ICのピンごとに設けられ、被試験ICへ供給する
各種パターンの波形の生成などに用いられるタイミング
を発生するタイミング発生器に関する。
周期メモリ11には設定データが、基本周期以上のDi
と基本周期以下のデータDfとに分けて記憶され、この
周期メモリ11はテストサイクルごとに順次読み出され
る。読み出された設定データは設定データレジスタ12
に格納され、そのレジスタ12中の基本周期以上のデー
タDiは粗タイミング発生手段13へ入力される。粗タ
イミング発生手段13は安定なクロック発生器15より
の基本周期Tのクロックが入力されて、この基本周期の
整数倍、つまり設定データDiと対応した周期を持つパ
ルスを精遅延手段16へ供給する。精遅延手段16には
レジスタ12中の基本周期以下のデータDfが与えられ
ており、このデータに応じた遅延が与えられる。この精
遅延手段16の出力パルスは、つまり設定データに応じ
たパルスは振り分け手段17において波形生成制御回路
18の出力により、つまりゲート17aと17bとによ
りセット側とリセット側に振り分けられる。この振り分
けられたパルスはこのタイミング発生器より被試験IC
19に達するセット側の伝搬路における伝搬遅延のばら
つきを補正する、いわゆるスキュー吸収遅延手段21へ
供給され、またリセット側に振り分けられたパルスは同
様にタイミング発生器より被試験ICへ至る通路におけ
る伝搬遅延のばらつきを補正するスキュー吸収遅延手段
22へ供給される。つまりスキュー吸収遅延手段21、
22にはそれぞれレジスタ23、24に格納されている
伝搬遅延補正データ(スキュー吸収データ)に応じた遅
延が与えられる。スキュー吸収遅延手段21、22の出
力パルスによってフリップフロップ25がセット、リセ
ット制御され、フリップフロップ25の出力が被試験I
Cの1つのピンへ図に示していない駆動回路を通じて供
給される。
サイクルごとに読みだされ、つまりタイミング発生器よ
り発生するパルスは試験周期ごとに変更することができ
るように構成されている。一方、スキュー吸収遅延手段
21、22における遅延制御は、実時間制御は行わず、
適当なときに伝搬し遅延を測定して、そのばらつきを補
正する伝搬遅延補正データを作りレジスタ23、24に
設定する。
器においては、精遅延手段16とスキュー吸収遅延手段
21、22とは微細な遅延を制御することができるよう
に、その遅延手段は通常IC内に構成されたゲートやバ
ッファなどにおける伝搬遅延を利用し、その遅延用バッ
ファを通すか通さないかの選択を行う回路を多段に接続
して構成されており、しかも精遅延手段16は最大で基
本周期Tまで、要求された高い精度に応じた各種の遅延
量の遅延を可能とする必要があり、またスキュー吸収遅
延手段21、22においては基本周期以上の補正をする
必要があり、かつ、その遅延精度は精遅延手段16と同
程度である必要がある。このため、これらスキュー吸収
遅延手段21、22も精遅延手段16と同様構成の遅延
手段が使用されている。このようなバッファの伝搬遅延
を利用した遅延回路においては電源電圧の変動によって
遅延量が変化し、またクロック速度によって遅延量が変
化する。かつ温度の影響も受けやすく、さらに製造のば
らつきも大きい。しかも高い精度とするには前述した遅
延段を多数、多段に設ける必要があり、より前記各種影
響を受けやすく、雑音も乗りやすいなどの欠点があり、
そのような遅延手段を従来においては3つも必要として
おり、それだけ高い精度を得るのは困難であった。
ミング発生手段よりのパルスが波形生成制御回路によっ
てセット側とリセット側とに振り分けられ、これらセッ
ト側とリセット側とに振り分けられたパルスはセット側
遅延手段とリセット側遅延手段へ供給される。セット側
遅延手段は設定データ中の基本周期以下のデータとセッ
ト側の伝搬路遅延補正データ、いわゆるスキュー吸収デ
ータとを加算したデータ分遅延を与え、またリセット側
遅延手段は設定データ中の基本周期以下のデータとリセ
ット側のスキュー吸収データとを加算した分だけ遅延を
与える。
の遅延手段はセット側遅延手段とリセット側遅延手段と
にそれぞれ1つ設ければよく、かつその精遅延手段とし
ての遅延量は最大で基本周期分とすることが可能とな
る。
示し、図4と対応する部分に同一符号を付けてある。こ
の実施例においては周期メモリ11には設定データの基
本周期以上のデータDiはそのまま記憶されるが、基本
周期以下のデータDfはセット側のスキュー吸収デー
タ、つまり伝搬遅延補正データと加算したデータDsと
リセット側のスキュー吸収データとを加算したDrとが
記憶される。セット側のデータDsはその加算によって
生じた、あるいはスキュー吸収データ自体が基本周期以
上であったりするための基本周期以上のデータDsiと
基本周期以下のデータDsfとがあり、同様にリセット
側のデータDrに基本周期以上のデータDriと基本周
期以下のデータDrfとがあり、これらの基本周期以上
のデータDsi、Driは例えば2ビットで構成され
る。周期メモリ11では試験サイクルごとに読みだされ
るが、読み出されたデータ中の基本周期のデータDiは
レジスタ12iに格納されて、これより従来と同様に粗
タイミング発生手段13へ供給される。またセット側の
データDsはレジスタ12sに、リセット側のデータD
rはレジスタ12rにそれぞれ格納される。
様に設定されたデータDiと対応した基本周期を持つパ
ルスが出力されるが、この発明においてはこのパルスは
まず振り分け手段17によって波形生成制御回路18の
出力によってセット側とリセット側とに振り分けられ
て、それぞれセット側遅延手段26s、リセット側遅延
手段26rに供給される。セット側遅延手段26sは振
り分け手段17により振り分けられたセット側のパルス
が入力される論理遅延手段27sと、その論理遅延手段
27sの出力が入力される精遅延手段28sとにより構
成される。
され、レジスタ23s中の基本周期以上のデータDsi
に応じた遅延を入力パルスに与えるものである。精遅延
手段28sはレジスタ12s中の基本周期以下のデータ
Dsfに応じた遅延を与える。論理遅延手段27sはD
型フリップフロップ31s、32sが継続的に接続さ
れ、その初段側のフリップフロップ31sの入力側と、
フリップフロップ31s、32sの各出力側とがセレク
タ33sの入力側に接続され、セレクタ33sは基本周
期以上のデータDsiによってその入力の1つを選択す
る。すなわちデータDsiが0の場合はフリップフロッ
プ31s、32sを通ること無く、入力されたパルスを
直ちに精遅延手段28sへ供給し、データDsiが1の
場合はフリップフロップ31sの出力、つまり1基本周
期だけ遅延されたパルスを精遅延手段28sへ供給し、
データDsiが2の場合はフリップフロップ32sの出
力、つまり2基本周期遅延されたパルスを精遅延手段2
8sへ供給する。なおフリップフロップ31s、32s
はクロック発生器15のクロックによってそれぞれトリ
ガされる。
手段26sと同様に構成される。つまり論理遅延手段2
7rと精遅延手段28rとにより構成され、論理遅延手
段27rは振り分けられたリセット側パルスが入力さ
れ、クロック発生器15によりトリガされるフリップフ
ロップ31r、32rよりなる2段の遅延回路が構成さ
れ、さらにこのフリップフロップを通らないパルスと、
フリップフロップ31rを通ったパルスと、フリップフ
ロップ32rを通ったパルス、つまり遅延されないパル
スと、1基本周期遅延されたパルスと、2周期遅延され
たパルスとがセレクタ33rによって選択され、このセ
レクタ33rはレジスタ12rの基本周期以上のデータ
Driによって選択制御され、このセレクタ33rの出
力が精遅延手段28rへ供給される。これら精遅延手段
28s、28rの出力パルスによってフリップフロップ
25がセット、リセット制御される。
遅延手段26sにおいて設定データ中の基本周期以下の
データとセット側のスキュー吸収データとの和に応じた
遅延が行われ、またリセット側遅延手段26rにおいて
は設定データ中の基本周期以下のデータとリセット側の
スキュー吸収データとの和に応じた遅延が与えられる。
従って、フリップフロップ25の出力は従来と同様とな
り、しかも精遅延手段28s、28rはそれぞれ最大遅
延は基本周期Tでよく、かつ論理遅延手段27s、27
rは論理回路で構成されているため、その遅延は電源電
圧や温度など外部変動の影響を受けがたく、外部の影響
を受ける恐れのある精遅延手段は従来に比べて2つでよ
く、しかもその長さは従来のスキュー吸収遅延手段より
も短くて済み、小さな規模となる。
はクロック発生器15よりの基準クロックを示す。図2
Bは粗タイミング発生手段13の出力であって、この基
準クロックの整数倍だけの周期を持ったパルスが出力さ
れ、波形生成制御回路18のセット側出力とリセット側
出力は、図2C、Dのように示され、従ってセット側と
リセット側に振り分けられたパルスは図2E、Fにそれ
ぞれ示すように粗タイミング発生手段13の出力が交互
に振り分けられて取り出され、これら振り分けられたパ
ルスはセット側遅延手段26s、リセット側遅延手段2
6rによってそれぞれΔDs、ΔDrだけ図2G、Hに
示すようにセット側パルス、リセット側パルスに対して
遅延され、これら遅延パルスによってフリップフロップ
25がセット、リセットされ出力波形は図2Iに示すよ
うになる。
4と対応する部分に同一符号を付けて示す。この実施例
においては周期メモリ11には図4と同様のデータが記
憶されており、従ってこれより読み出されたデータ中の
基本周期以上のデータDiはレジスタ12iに格納さ
れ、基本周期以下のデータDfはレジスタ12fに格納
される。またセット側遅延手段26s及びリセット側遅
延手段26rにおいて図1と同様に論理遅延手段および
精遅延手段が設けられるが、さらにセット側遅延手段2
6sに加算器35sが設けられ、設定データ中の基本周
期以下のデータ、つまりレジスタ12sよりのデータD
fとレジスタ23よりのセット側スキュー吸収データ、
つまりセット側伝搬遅延補正データとが加算される。そ
の加算出力中の基本周期以下のデータは精遅延手段28
sに設定データとして与えられ、これとともに加算器3
5sの桁上げ出力とレジスタ23中の基本周期を越える
データがセレクタ33sに制御データとして供給され
る。この制御データにより図1と同様にセレクタ33s
が制御される。つまり基本周期以下のデータDsとセッ
ト側スキュー吸収データとを加算した値中の基本周期以
上のデータとによってセレクタ33sが制御され、この
基本周期以上のデータが0であれば入力されたセット側
振り分けパルスがそのまま精遅延手段28sへ供給さ
れ、基本周期以上の値が1であればフリップフロップ3
1sの出力が選出されて精遅延手段28sへ供給され、
加算データが2であればフリップフロップ32sの出力
が精遅延手段28sへ供給される。
に加算器35rが設けられ、これにより基本周期以下の
データDfとレジスタ24よりのリセット側スキュー吸
収データが加算されて、その基本周期以下のデータによ
って精遅延手段28rが遅延制御され、加算器35rの
桁上げ信号とレジスタ24内の基本周期以上の値とによ
ってセレクタ33rが制御される。その他の構成及び動
作は図1の場合と同様である。
タイミング発生手段13よりのパルスを振り分け手段に
よりまず振り分けて、セット側遅延手段とリセット側遅
延手段とに供給し、セット側遅延手段とリセット側遅延
手段によりそれぞれ設定周期データの基本周期以下のデ
ータとそれぞれのスキュー吸収データとを加算した値に
よってだけセット側のパルスとリセット側のパルスとを
遅延制御しており、このため精遅延手段としては最高遅
延時間は基本周期あれば良く、従来に比べて基本周期お
よび基本周期以上の遅延が可能な精遅延手段を3つ設け
た場合と比べて精遅延手段の数が少なく、その遅延量も
少ない。論理遅延手段をセット側、リセット側に設けて
いるが、これは電源電圧、温度変動などの影響を受けが
たく、また雑音の影響を受けがたい。精遅延手段が少な
く、かつその最大遅延時間が小さいということは外部変
動や雑音などの影響を受けがたい効果がある。
波形を示すタイムチャート。
Claims (3)
- 【請求項1】 ICテスタにおける被試験ICのピンご
とに設けられるタイミング発生器において、 設定データに応じ、基本周期の整数倍の周期を持つパル
スを出力する粗タイミング発生手段と、 上記パルスを波形生成制御回路の出力によりセット側と
リセット側とに振り分ける振り分け手段と、 上記振り分け手段によりセット側に振り分けられたパル
スを、上記設定データ中の基本周期以下のデータと、上
記タイミング発生器より後段で発生するセット側の伝搬
遅延補正データとを加算したデータ分遅延するセット側
遅延手段と、 上記振り分け手段によりリセット側に振り分けられたパ
ルスを、上記設定データの基本周期以下のデータと、上
記タイミング発生器より後段で発生するリセット側伝搬
遅延補正データとを加算したデータ分遅延するリセット
側遅延手段と、 を具備することを特徴とするICテスタのタイミング発
生器。 - 【請求項2】 上記設定データ中の基本周期以上のデー
タと、上記セット側の加算データと、上記リセット側の
加算データとを記憶し、試験サイクルごとに読みださ
れ、読み出された上記基本周期以上のデータを上記粗タ
イミング発生手段へ供給するメモリが設けられ、 上記セット側遅延手段はこれに入力されたパルスを、上
記読み出されたセット側加算データ中の基本周期以上の
データに応じた遅延を与える論理遅延手段と、その論理
遅延手段の出力パルスを上記読み出されたセット側加算
データ中の基本周期以下のデータに応じた遅延を与える
精遅延手段とよりなり、 上記リセット側遅延手段はこれに供給されるパルスを、
上記読み出されたリセット側加算データ中の基本周期以
上のデータに応じた遅延を与える論理遅延手段と、その
論理遅延手段の出力パルスを上記読み出されたリセット
側データ中の基本周期以下のデータに応じた遅延を与え
る精遅延手段とよりなることを特徴とする請求項1記載
のICテスタのタイミング発生器。 - 【請求項3】 上記設定データがその基本周期以上のデ
ータと以下のデータとして記憶され、試験サイクルごと
に読みだされて、その読み出された基本周期以上のデー
タを上記粗タイミング発生手段へ供給するメモリが設け
られ、 上記セット側遅延手段は上記読み出された基本データ中
の基本周期以下のデータと、上記セット側伝搬遅延補正
データとを加算する加算器と、その加算出力データ中の
基本周期以上のデータに応じて入力されたパルスを遅延
する論理遅延手段と、その論理遅延手段の出力パルスを
上記加算データ中の基本周期以下のデータに応じた遅延
をする精遅延手段とよりなり、 上記リセット側遅延手段は上記読み出されたデータ中の
基本周期以下のデータと、上記リセット側伝搬路遅延補
正データとを加算する加算器と、その加算器の出力デー
タ中の基本周期以上のデータに応じて入力パルスを遅延
する論理遅延手段と、その論理遅延手段の出力パルスを
上記加算データ中の基本周期以下のデータに応じた遅延
をする精遅延手段とよりなることを特徴とする請求項1
記載のICテスタのタイミング発生器。
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