JPH08320360A - Icテスタのタイミング発生器 - Google Patents

Icテスタのタイミング発生器

Info

Publication number
JPH08320360A
JPH08320360A JP7127883A JP12788395A JPH08320360A JP H08320360 A JPH08320360 A JP H08320360A JP 7127883 A JP7127883 A JP 7127883A JP 12788395 A JP12788395 A JP 12788395A JP H08320360 A JPH08320360 A JP H08320360A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
data
delay means
delay
basic
reset
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP7127883A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3574696B2 (ja
Inventor
Masakatsu Suda
昌克 須田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advantest Corp filed Critical Advantest Corp
Priority to JP12788395A priority Critical patent/JP3574696B2/ja
Priority to TW085105425A priority patent/TW296434B/zh
Priority to US08/652,344 priority patent/US5710744A/en
Priority to KR1019960018001A priority patent/KR100216415B1/ko
Publication of JPH08320360A publication Critical patent/JPH08320360A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3574696B2 publication Critical patent/JP3574696B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/319Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/31917Stimuli generation or application of test patterns to the device under test [DUT]
    • G01R31/31922Timing generation or clock distribution
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K5/00Manipulating of pulses not covered by one of the other main groups of this subclass
    • H03K5/13Arrangements having a single output and transforming input signals into pulses delivered at desired time intervals
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26Testing of individual semiconductor devices
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/3183Generation of test inputs, e.g. test vectors, patterns or sequences
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K5/00Manipulating of pulses not covered by one of the other main groups of this subclass
    • H03K5/13Arrangements having a single output and transforming input signals into pulses delivered at desired time intervals
    • H03K5/131Digitally controlled
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K5/00Manipulating of pulses not covered by one of the other main groups of this subclass
    • H03K5/13Arrangements having a single output and transforming input signals into pulses delivered at desired time intervals
    • H03K5/135Arrangements having a single output and transforming input signals into pulses delivered at desired time intervals by the use of time reference signals, e.g. clock signals

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 高精度遅延手段の使用が少なく、外部変動に
対して安定にする。 【構成】 粗タイミング発生手段13より出力されたパ
ルスは振り分け手段17で波形生成制御回路18によっ
てセット側遅延手段26sとリセット側遅延手段26r
とに振り分けられる。メモリ11からの設定データ中の
T以下のデータとセット側のスキュー吸収データおよび
リセット側のスキュー吸収データとをそれぞれ加算した
データDr、Dsが、遅延手段26s、26rに遅延制
御信号として供給される。Ds中のT以上の値によって
論理遅延手段27sが0または1Tまたは2Tのいずれ
かに遅延されたパルスが、精遅延手段28sに供給さ
れ、Ds中のT以下の値だけ遅延される。同様にしてリ
セット側のパルスはDrによってT以上が論理遅延さ
れ、T以下が精遅延手段28rにより遅延される。精遅
延手段28s、28rの出力によってフリップフロップ
25がセット、リセットされて波形生成出力が得られ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明はICテスタにおいて被
試験ICのピンごとに設けられ、被試験ICへ供給する
各種パターンの波形の生成などに用いられるタイミング
を発生するタイミング発生器に関する。
【0002】
【従来の技術】図4に従来のタイミング発生器を示す。
周期メモリ11には設定データが、基本周期以上のDi
と基本周期以下のデータDfとに分けて記憶され、この
周期メモリ11はテストサイクルごとに順次読み出され
る。読み出された設定データは設定データレジスタ12
に格納され、そのレジスタ12中の基本周期以上のデー
タDiは粗タイミング発生手段13へ入力される。粗タ
イミング発生手段13は安定なクロック発生器15より
の基本周期Tのクロックが入力されて、この基本周期の
整数倍、つまり設定データDiと対応した周期を持つパ
ルスを精遅延手段16へ供給する。精遅延手段16には
レジスタ12中の基本周期以下のデータDfが与えられ
ており、このデータに応じた遅延が与えられる。この精
遅延手段16の出力パルスは、つまり設定データに応じ
たパルスは振り分け手段17において波形生成制御回路
18の出力により、つまりゲート17aと17bとによ
りセット側とリセット側に振り分けられる。この振り分
けられたパルスはこのタイミング発生器より被試験IC
19に達するセット側の伝搬路における伝搬遅延のばら
つきを補正する、いわゆるスキュー吸収遅延手段21へ
供給され、またリセット側に振り分けられたパルスは同
様にタイミング発生器より被試験ICへ至る通路におけ
る伝搬遅延のばらつきを補正するスキュー吸収遅延手段
22へ供給される。つまりスキュー吸収遅延手段21、
22にはそれぞれレジスタ23、24に格納されている
伝搬遅延補正データ(スキュー吸収データ)に応じた遅
延が与えられる。スキュー吸収遅延手段21、22の出
力パルスによってフリップフロップ25がセット、リセ
ット制御され、フリップフロップ25の出力が被試験I
Cの1つのピンへ図に示していない駆動回路を通じて供
給される。
【0003】先に述べたように、周期メモリ11は試験
サイクルごとに読みだされ、つまりタイミング発生器よ
り発生するパルスは試験周期ごとに変更することができ
るように構成されている。一方、スキュー吸収遅延手段
21、22における遅延制御は、実時間制御は行わず、
適当なときに伝搬し遅延を測定して、そのばらつきを補
正する伝搬遅延補正データを作りレジスタ23、24に
設定する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来のタイミング発生
器においては、精遅延手段16とスキュー吸収遅延手段
21、22とは微細な遅延を制御することができるよう
に、その遅延手段は通常IC内に構成されたゲートやバ
ッファなどにおける伝搬遅延を利用し、その遅延用バッ
ファを通すか通さないかの選択を行う回路を多段に接続
して構成されており、しかも精遅延手段16は最大で基
本周期Tまで、要求された高い精度に応じた各種の遅延
量の遅延を可能とする必要があり、またスキュー吸収遅
延手段21、22においては基本周期以上の補正をする
必要があり、かつ、その遅延精度は精遅延手段16と同
程度である必要がある。このため、これらスキュー吸収
遅延手段21、22も精遅延手段16と同様構成の遅延
手段が使用されている。このようなバッファの伝搬遅延
を利用した遅延回路においては電源電圧の変動によって
遅延量が変化し、またクロック速度によって遅延量が変
化する。かつ温度の影響も受けやすく、さらに製造のば
らつきも大きい。しかも高い精度とするには前述した遅
延段を多数、多段に設ける必要があり、より前記各種影
響を受けやすく、雑音も乗りやすいなどの欠点があり、
そのような遅延手段を従来においては3つも必要として
おり、それだけ高い精度を得るのは困難であった。
【0005】
【課題を解決するための手段】この発明によれば粗タイ
ミング発生手段よりのパルスが波形生成制御回路によっ
てセット側とリセット側とに振り分けられ、これらセッ
ト側とリセット側とに振り分けられたパルスはセット側
遅延手段とリセット側遅延手段へ供給される。セット側
遅延手段は設定データ中の基本周期以下のデータとセッ
ト側の伝搬路遅延補正データ、いわゆるスキュー吸収デ
ータとを加算したデータ分遅延を与え、またリセット側
遅延手段は設定データ中の基本周期以下のデータとリセ
ット側のスキュー吸収データとを加算した分だけ遅延を
与える。
【0006】このように構成されているから、高い精度
の遅延手段はセット側遅延手段とリセット側遅延手段と
にそれぞれ1つ設ければよく、かつその精遅延手段とし
ての遅延量は最大で基本周期分とすることが可能とな
る。
【0007】
【実施例】図1にこの発明の請求項2の発明の実施例を
示し、図4と対応する部分に同一符号を付けてある。こ
の実施例においては周期メモリ11には設定データの基
本周期以上のデータDiはそのまま記憶されるが、基本
周期以下のデータDfはセット側のスキュー吸収デー
タ、つまり伝搬遅延補正データと加算したデータDsと
リセット側のスキュー吸収データとを加算したDrとが
記憶される。セット側のデータDsはその加算によって
生じた、あるいはスキュー吸収データ自体が基本周期以
上であったりするための基本周期以上のデータDsiと
基本周期以下のデータDsfとがあり、同様にリセット
側のデータDrに基本周期以上のデータDriと基本周
期以下のデータDrfとがあり、これらの基本周期以上
のデータDsi、Driは例えば2ビットで構成され
る。周期メモリ11では試験サイクルごとに読みだされ
るが、読み出されたデータ中の基本周期のデータDiは
レジスタ12iに格納されて、これより従来と同様に粗
タイミング発生手段13へ供給される。またセット側の
データDsはレジスタ12sに、リセット側のデータD
rはレジスタ12rにそれぞれ格納される。
【0008】粗タイミング発生手段13からは従来と同
様に設定されたデータDiと対応した基本周期を持つパ
ルスが出力されるが、この発明においてはこのパルスは
まず振り分け手段17によって波形生成制御回路18の
出力によってセット側とリセット側とに振り分けられ
て、それぞれセット側遅延手段26s、リセット側遅延
手段26rに供給される。セット側遅延手段26sは振
り分け手段17により振り分けられたセット側のパルス
が入力される論理遅延手段27sと、その論理遅延手段
27sの出力が入力される精遅延手段28sとにより構
成される。
【0009】論理遅延手段27sは論理回路により構成
され、レジスタ23s中の基本周期以上のデータDsi
に応じた遅延を入力パルスに与えるものである。精遅延
手段28sはレジスタ12s中の基本周期以下のデータ
Dsfに応じた遅延を与える。論理遅延手段27sはD
型フリップフロップ31s、32sが継続的に接続さ
れ、その初段側のフリップフロップ31sの入力側と、
フリップフロップ31s、32sの各出力側とがセレク
タ33sの入力側に接続され、セレクタ33sは基本周
期以上のデータDsiによってその入力の1つを選択す
る。すなわちデータDsiが0の場合はフリップフロッ
プ31s、32sを通ること無く、入力されたパルスを
直ちに精遅延手段28sへ供給し、データDsiが1の
場合はフリップフロップ31sの出力、つまり1基本周
期だけ遅延されたパルスを精遅延手段28sへ供給し、
データDsiが2の場合はフリップフロップ32sの出
力、つまり2基本周期遅延されたパルスを精遅延手段2
8sへ供給する。なおフリップフロップ31s、32s
はクロック発生器15のクロックによってそれぞれトリ
ガされる。
【0010】リセット側遅延手段26rもセット側遅延
手段26sと同様に構成される。つまり論理遅延手段2
7rと精遅延手段28rとにより構成され、論理遅延手
段27rは振り分けられたリセット側パルスが入力さ
れ、クロック発生器15によりトリガされるフリップフ
ロップ31r、32rよりなる2段の遅延回路が構成さ
れ、さらにこのフリップフロップを通らないパルスと、
フリップフロップ31rを通ったパルスと、フリップフ
ロップ32rを通ったパルス、つまり遅延されないパル
スと、1基本周期遅延されたパルスと、2周期遅延され
たパルスとがセレクタ33rによって選択され、このセ
レクタ33rはレジスタ12rの基本周期以上のデータ
Driによって選択制御され、このセレクタ33rの出
力が精遅延手段28rへ供給される。これら精遅延手段
28s、28rの出力パルスによってフリップフロップ
25がセット、リセット制御される。
【0011】このように構成されているため、セット側
遅延手段26sにおいて設定データ中の基本周期以下の
データとセット側のスキュー吸収データとの和に応じた
遅延が行われ、またリセット側遅延手段26rにおいて
は設定データ中の基本周期以下のデータとリセット側の
スキュー吸収データとの和に応じた遅延が与えられる。
従って、フリップフロップ25の出力は従来と同様とな
り、しかも精遅延手段28s、28rはそれぞれ最大遅
延は基本周期Tでよく、かつ論理遅延手段27s、27
rは論理回路で構成されているため、その遅延は電源電
圧や温度など外部変動の影響を受けがたく、外部の影響
を受ける恐れのある精遅延手段は従来に比べて2つでよ
く、しかもその長さは従来のスキュー吸収遅延手段より
も短くて済み、小さな規模となる。
【0012】図1の動作例を図2に示す、つまり図2A
はクロック発生器15よりの基準クロックを示す。図2
Bは粗タイミング発生手段13の出力であって、この基
準クロックの整数倍だけの周期を持ったパルスが出力さ
れ、波形生成制御回路18のセット側出力とリセット側
出力は、図2C、Dのように示され、従ってセット側と
リセット側に振り分けられたパルスは図2E、Fにそれ
ぞれ示すように粗タイミング発生手段13の出力が交互
に振り分けられて取り出され、これら振り分けられたパ
ルスはセット側遅延手段26s、リセット側遅延手段2
6rによってそれぞれΔDs、ΔDrだけ図2G、Hに
示すようにセット側パルス、リセット側パルスに対して
遅延され、これら遅延パルスによってフリップフロップ
25がセット、リセットされ出力波形は図2Iに示すよ
うになる。
【0013】図3に請求項3の実施例を示し、図1、図
4と対応する部分に同一符号を付けて示す。この実施例
においては周期メモリ11には図4と同様のデータが記
憶されており、従ってこれより読み出されたデータ中の
基本周期以上のデータDiはレジスタ12iに格納さ
れ、基本周期以下のデータDfはレジスタ12fに格納
される。またセット側遅延手段26s及びリセット側遅
延手段26rにおいて図1と同様に論理遅延手段および
精遅延手段が設けられるが、さらにセット側遅延手段2
6sに加算器35sが設けられ、設定データ中の基本周
期以下のデータ、つまりレジスタ12sよりのデータD
fとレジスタ23よりのセット側スキュー吸収データ、
つまりセット側伝搬遅延補正データとが加算される。そ
の加算出力中の基本周期以下のデータは精遅延手段28
sに設定データとして与えられ、これとともに加算器3
5sの桁上げ出力とレジスタ23中の基本周期を越える
データがセレクタ33sに制御データとして供給され
る。この制御データにより図1と同様にセレクタ33s
が制御される。つまり基本周期以下のデータDsとセッ
ト側スキュー吸収データとを加算した値中の基本周期以
上のデータとによってセレクタ33sが制御され、この
基本周期以上のデータが0であれば入力されたセット側
振り分けパルスがそのまま精遅延手段28sへ供給さ
れ、基本周期以上の値が1であればフリップフロップ3
1sの出力が選出されて精遅延手段28sへ供給され、
加算データが2であればフリップフロップ32sの出力
が精遅延手段28sへ供給される。
【0014】リセット側遅延手段26rにおいても同様
に加算器35rが設けられ、これにより基本周期以下の
データDfとレジスタ24よりのリセット側スキュー吸
収データが加算されて、その基本周期以下のデータによ
って精遅延手段28rが遅延制御され、加算器35rの
桁上げ信号とレジスタ24内の基本周期以上の値とによ
ってセレクタ33rが制御される。その他の構成及び動
作は図1の場合と同様である。
【0015】
【発明の効果】以上述べたように、この発明によれば粗
タイミング発生手段13よりのパルスを振り分け手段に
よりまず振り分けて、セット側遅延手段とリセット側遅
延手段とに供給し、セット側遅延手段とリセット側遅延
手段によりそれぞれ設定周期データの基本周期以下のデ
ータとそれぞれのスキュー吸収データとを加算した値に
よってだけセット側のパルスとリセット側のパルスとを
遅延制御しており、このため精遅延手段としては最高遅
延時間は基本周期あれば良く、従来に比べて基本周期お
よび基本周期以上の遅延が可能な精遅延手段を3つ設け
た場合と比べて精遅延手段の数が少なく、その遅延量も
少ない。論理遅延手段をセット側、リセット側に設けて
いるが、これは電源電圧、温度変動などの影響を受けが
たく、また雑音の影響を受けがたい。精遅延手段が少な
く、かつその最大遅延時間が小さいということは外部変
動や雑音などの影響を受けがたい効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】請求項2の発明の実施例を示すブロック図。
【図2】図1に示したタイミング発生器の動作の各部の
波形を示すタイムチャート。
【図3】請求項3の発明の実施例を示すブロック図。
【図4】従来のタイミング発生器を示すブロック図。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ICテスタにおける被試験ICのピンご
    とに設けられるタイミング発生器において、 設定データに応じ、基本周期の整数倍の周期を持つパル
    スを出力する粗タイミング発生手段と、 上記パルスを波形生成制御回路の出力によりセット側と
    リセット側とに振り分ける振り分け手段と、 上記振り分け手段によりセット側に振り分けられたパル
    スを、上記設定データ中の基本周期以下のデータと、上
    記タイミング発生器より後段で発生するセット側の伝搬
    遅延補正データとを加算したデータ分遅延するセット側
    遅延手段と、 上記振り分け手段によりリセット側に振り分けられたパ
    ルスを、上記設定データの基本周期以下のデータと、上
    記タイミング発生器より後段で発生するリセット側伝搬
    遅延補正データとを加算したデータ分遅延するリセット
    側遅延手段と、 を具備することを特徴とするICテスタのタイミング発
    生器。
  2. 【請求項2】 上記設定データ中の基本周期以上のデー
    タと、上記セット側の加算データと、上記リセット側の
    加算データとを記憶し、試験サイクルごとに読みださ
    れ、読み出された上記基本周期以上のデータを上記粗タ
    イミング発生手段へ供給するメモリが設けられ、 上記セット側遅延手段はこれに入力されたパルスを、上
    記読み出されたセット側加算データ中の基本周期以上の
    データに応じた遅延を与える論理遅延手段と、その論理
    遅延手段の出力パルスを上記読み出されたセット側加算
    データ中の基本周期以下のデータに応じた遅延を与える
    精遅延手段とよりなり、 上記リセット側遅延手段はこれに供給されるパルスを、
    上記読み出されたリセット側加算データ中の基本周期以
    上のデータに応じた遅延を与える論理遅延手段と、その
    論理遅延手段の出力パルスを上記読み出されたリセット
    側データ中の基本周期以下のデータに応じた遅延を与え
    る精遅延手段とよりなることを特徴とする請求項1記載
    のICテスタのタイミング発生器。
  3. 【請求項3】 上記設定データがその基本周期以上のデ
    ータと以下のデータとして記憶され、試験サイクルごと
    に読みだされて、その読み出された基本周期以上のデー
    タを上記粗タイミング発生手段へ供給するメモリが設け
    られ、 上記セット側遅延手段は上記読み出された基本データ中
    の基本周期以下のデータと、上記セット側伝搬遅延補正
    データとを加算する加算器と、その加算出力データ中の
    基本周期以上のデータに応じて入力されたパルスを遅延
    する論理遅延手段と、その論理遅延手段の出力パルスを
    上記加算データ中の基本周期以下のデータに応じた遅延
    をする精遅延手段とよりなり、 上記リセット側遅延手段は上記読み出されたデータ中の
    基本周期以下のデータと、上記リセット側伝搬路遅延補
    正データとを加算する加算器と、その加算器の出力デー
    タ中の基本周期以上のデータに応じて入力パルスを遅延
    する論理遅延手段と、その論理遅延手段の出力パルスを
    上記加算データ中の基本周期以下のデータに応じた遅延
    をする精遅延手段とよりなることを特徴とする請求項1
    記載のICテスタのタイミング発生器。
JP12788395A 1995-05-26 1995-05-26 Icテスタのタイミング発生器 Expired - Fee Related JP3574696B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12788395A JP3574696B2 (ja) 1995-05-26 1995-05-26 Icテスタのタイミング発生器
TW085105425A TW296434B (ja) 1995-05-26 1996-05-08
US08/652,344 US5710744A (en) 1995-05-26 1996-05-23 Timing generator for IC testers
KR1019960018001A KR100216415B1 (ko) 1995-05-26 1996-05-27 Ic 테스터의 타이밍 발생장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12788395A JP3574696B2 (ja) 1995-05-26 1995-05-26 Icテスタのタイミング発生器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08320360A true JPH08320360A (ja) 1996-12-03
JP3574696B2 JP3574696B2 (ja) 2004-10-06

Family

ID=14971014

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12788395A Expired - Fee Related JP3574696B2 (ja) 1995-05-26 1995-05-26 Icテスタのタイミング発生器

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5710744A (ja)
JP (1) JP3574696B2 (ja)
KR (1) KR100216415B1 (ja)
TW (1) TW296434B (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003062843A1 (fr) * 2002-01-18 2003-07-31 Advantest Corporation Testeur
WO2007013578A1 (ja) * 2005-07-29 2007-02-01 Advantest Corporation タイミング発生器及び半導体試験装置
JP2008008657A (ja) * 2006-06-27 2008-01-17 Yokogawa Electric Corp 遅延時間測定方法及びこれを用いた遅延時間測定装置
WO2010073458A1 (ja) * 2008-12-26 2010-07-01 株式会社アドバンテスト タイミング発生器および試験装置ならびにテストレートの制御方法
WO2010150303A1 (ja) * 2009-06-22 2010-12-29 株式会社アドバンテスト タイミング発生器および試験装置

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6032282A (en) * 1994-09-19 2000-02-29 Advantest Corp. Timing edge forming circuit for IC test system
JP3690899B2 (ja) * 1997-05-30 2005-08-31 富士通株式会社 クロック発生回路及び半導体装置
US5867453A (en) * 1998-02-06 1999-02-02 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Self-setup non-overlap clock generator
US6304623B1 (en) * 1998-09-03 2001-10-16 Time Domain Corporation Precision timing generator system and method
US6172544B1 (en) * 1999-02-25 2001-01-09 Advantest Corp. Timing signal generation circuit for semiconductor test system
US6304119B1 (en) * 2000-12-27 2001-10-16 Chroma Ate Inc. Timing generating apparatus with self-calibrating capability
JP2003249923A (ja) * 2002-02-25 2003-09-05 Ando Electric Co Ltd ビットエラー測定装置及びそのトリガー信号発生回路
US20090274254A1 (en) * 2006-06-16 2009-11-05 Panasonic Corporation Data transmitting device and data transmitting method
DE112007003424T5 (de) * 2007-03-27 2010-01-21 Advantest Corp. Prüfgerät
JP5328920B2 (ja) * 2009-08-10 2013-10-30 株式会社アドバンテスト 差動型srフリップフロップおよびそれを用いた試験装置
JP2012138793A (ja) 2010-12-27 2012-07-19 Advantest Corp Srフリップフロップならびにそれを用いた試験装置
CN112711295A (zh) * 2019-10-25 2021-04-27 瑞昱半导体股份有限公司 时序产生器、时序产生方法以及控制芯片
US11500016B2 (en) * 2020-12-07 2022-11-15 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. Circuit screening system and circuit screening method

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5321700A (en) * 1989-10-11 1994-06-14 Teradyne, Inc. High speed timing generator
JP2854659B2 (ja) * 1990-03-20 1999-02-03 三菱電機株式会社 半導体装置のテスト装置
JP2590741Y2 (ja) * 1993-10-18 1999-02-17 株式会社アドバンテスト 半導体試験装置用タイミング発生器

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003062843A1 (fr) * 2002-01-18 2003-07-31 Advantest Corporation Testeur
JP4657053B2 (ja) * 2005-07-29 2011-03-23 株式会社アドバンテスト タイミング発生器及び半導体試験装置
WO2007013578A1 (ja) * 2005-07-29 2007-02-01 Advantest Corporation タイミング発生器及び半導体試験装置
JP2007033386A (ja) * 2005-07-29 2007-02-08 Advantest Corp タイミング発生器及び半導体試験装置
KR100964061B1 (ko) * 2005-07-29 2010-06-16 가부시키가이샤 어드밴티스트 타이밍 발생기 및 반도체 시험 장치
US7944263B2 (en) 2005-07-29 2011-05-17 Advantest Corp. Timing generator and semiconductor test apparatus
JP2008008657A (ja) * 2006-06-27 2008-01-17 Yokogawa Electric Corp 遅延時間測定方法及びこれを用いた遅延時間測定装置
US8150648B2 (en) 2008-12-26 2012-04-03 Advantest Corporation Timing generator
WO2010073458A1 (ja) * 2008-12-26 2010-07-01 株式会社アドバンテスト タイミング発生器および試験装置ならびにテストレートの制御方法
JPWO2010073458A1 (ja) * 2008-12-26 2012-05-31 株式会社アドバンテスト タイミング発生器および試験装置ならびにテストレートの制御方法
US8392145B2 (en) 2008-12-26 2013-03-05 Advantest Corporation Timing generator
WO2010150303A1 (ja) * 2009-06-22 2010-12-29 株式会社アドバンテスト タイミング発生器および試験装置
US8441296B2 (en) 2009-06-22 2013-05-14 Advantest Corporation Timing generator and test apparatus
KR101285287B1 (ko) * 2009-06-22 2013-07-11 가부시키가이샤 어드밴티스트 타이밍 발생기 및 시험 장치
JP5274660B2 (ja) * 2009-06-22 2013-08-28 株式会社アドバンテスト タイミング発生器および試験装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP3574696B2 (ja) 2004-10-06
KR960042083A (ko) 1996-12-19
TW296434B (ja) 1997-01-21
US5710744A (en) 1998-01-20
KR100216415B1 (ko) 1999-08-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH08320360A (ja) Icテスタのタイミング発生器
CA1242770A (en) Edge programmable timing signal generator
US5376849A (en) High resolution programmable pulse generator employing controllable delay
KR100274901B1 (ko) 반도체집적회로
US5406132A (en) Waveform shaper for semiconductor testing devices
US20040199842A1 (en) Test system with high accuracy time measurement system
JP3633988B2 (ja) 半導体ic試験装置のタイミングエッジ生成回路
US20020036533A1 (en) Timing controller and controlled delay circuit for controlling timing or delay time of a signal by changing phase thereof
KR100270350B1 (ko) 지연 회로
KR20010088277A (ko) 파형발생장치
WO2004055532A1 (ja) タイミング発生回路とこのタイミング発生回路を備えた半導体試験装置
JP2957493B2 (ja) Pwmパルス発生回路
JP2965049B2 (ja) タイミング発生装置
JP2976276B2 (ja) タイミング発生器
JPS59191657A (ja) デジタル・パタ−ン発生器
JP3501923B2 (ja) 半導体試験装置用タイミング発生器
JPH03113523A (ja) ラッチ装置
JP2532718B2 (ja) 半導体集積回路装置
JP2788729B2 (ja) 制御信号発生回路
JP3691112B2 (ja) 半導体集積回路
JPH0774818B2 (ja) テスターのタイミング信号発生回路
JPH0536752B2 (ja)
RU1827713C (ru) Устройство задержки
SU1674017A1 (ru) Устройство дл контрол динамических параметров и функционировани цифровых интегральных схем
JPH08195657A (ja) パルス遅延回路

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20040309

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040407

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040428

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20040514

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20040608

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040705

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080709

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080709

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090709

Year of fee payment: 5

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees